JP2022045143A - 光硬化性組成物、その硬化物、電子デバイスおよび光学部材 - Google Patents
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- Epoxy Resins (AREA)
Abstract
Description
特許文献2には、赤外線カットフィルターの形成に適用される組成物として、ヘキサフルオロイソプロピルメタクリレートとエポキシ含有メタクリレートとの共重合体を含む組成物が開示されている。
特許文献3には、含フッ素アクリレートとグリシジルメタクリレートとの共重合体、含フッ素二官能エポキシ化合物、溶剤、及びカチオン重合開始剤を含有する組成物が記載されている。また、特許文献3には、この組成物を塗布、加熱乾燥後、光照射によって硬化させて、低屈折率の硬化物を得た旨が開示されている。
特許文献4には、1H,1H,5H-ペンタフルオロペンチルメタクリレートと脂環式エポキシ含有メタクリレートとの共重合体、カチオン反応性希釈剤、及びカチオン重合開始剤を用いた組成物を、光照射後に加熱を行うことで硬化物を得ることが開示されている。
(B)反応性希釈剤、および、
(C)光カチオン重合開始剤
を含む光硬化性組成物。
R1はH、CH3、F、CF3またはClであり、
R2、R3およびR4は、それぞれ独立に、H、CH3、F、CF3および環状フルオロアルキル基からなる群から選ばれる少なくともいずれかの基であり、
R2、R3およびR4のうち少なくとも2つがCF3または環状フルオロアルキル基であるか、または、R2、R3およびR4のうち少なくとも1つがCF3または環状フルオロアルキル基でありR2、R3およびR4のうち少なくとも1つがCH3である。
R5はH、CH3、F、CF3またはClであり、
mは2以上の整数であり、
nは1~10の整数である。
本明細書中、数値範囲の説明における「X~Y」との表記は、特に断らない限り、X以上Y以下のことを表す。例えば、「1~5質量%」とは「1質量%以上5質量%以下」を意味する。
本明細書における基(原子団)の表記において、置換か無置換かを記していない表記は、置換基を有しないものと置換基を有するものの両方を包含するものである。例えば「アルキル基」とは、置換基を有しないアルキル基(無置換アルキル基)のみならず、置換基を有するアルキル基(置換アルキル基)をも包含するものである。
本明細書における「(メタ)アクリル」との表記は、アクリルとメタクリルの両方を包含する概念を表す。「(メタ)アクリレート」等の類似の表記についても同様である。
本明細書における「有機基」の語は、特に断りが無い限り、有機化合物から1つ以上の水素原子を除いた原子団のことを意味する。例えば、「1価の有機基」とは、任意の有機化合物から1つの水素原子を除いた原子団のことを表す。
本実施形態の光硬化性組成物は、以下(A)~(C)を含む。
(A)以下一般式(1)で表される含フッ素構造単位および/または以下一般式(2)で表される含フッ素構造単位と、エポキシ基および/またはオキセタニル基を有するカチオン反応性構造単位と、を含む(メタ)アクリレートポリマー
(B)反応性希釈剤
(C)光カチオン重合開始剤
R1はH、CH3、F、CF3またはClであり、
R2、R3およびR4は、それぞれ独立に、H、CH3、F、CF3および環状フルオロアルキル基からなる群から選ばれる少なくともいずれかの基であり、
R2、R3およびR4のうち少なくとも2つがCF3または環状フルオロアルキル基であるか、または、R2、R3およびR4のうち少なくとも1つがCF3または環状フルオロアルキル基でありR2、R3およびR4のうち少なくとも1つがCH3である。
mは2以上の整数であり、好ましくは2~4の整数であり、
nは1~10の整数である。
例えば特許文献4に記載の1H,1H,5H-ペンタフルオロペンチルメタクリレートと脂環式エポキシ含有メタクリレートとの共重合体においては、共重合体の側鎖末端に-CF2H基が存在する。有機化学分野の知見によれば、-CF2H基は水素結合性を有する極性基としてふるまうため、これがカチオン重合性を低下させている可能性がある。
一方、本実施形態の光硬化性組成物において、(A)(メタ)アクリレートポリマーの側鎖は-CF3基であるため、上記のようなカチオン重合性の低下が無く、光硬化性が高まっているものと推察される。
また、(B)反応性希釈剤を(A)(メタ)アクリレートポリマーと併用することにより、(A)(メタ)アクリレートポリマーのカチオン重合反応(架橋反応)がアシストされ、光硬化性が一層高まっていると推測される。
「硬化物とした後の屈折率変化が小さい」ということは、本実施形態の光硬化性組成物を光学部材の量産に適用した場合に、品質のばらつきが抑えられ、歩留まりが向上することにつながる。
本実施形態の光硬化性組成物は、
・前掲の一般式(1)で表される含フッ素構造単位および/または前掲の一般式(2)で表される含フッ素構造単位と、
・エポキシ基および/またはオキセタニル基を有するカチオン反応性構造単位と、
を含む(メタ)アクリレートポリマーを含む。
以下、これら2つの構造単位について説明を加える。
一般式(1)において、好ましくは、R2、R3およびR4のうち少なくとも2つはCF3または環状フルオロアルキル基を含み、より好ましくは、R2、R3およびR4のうち少なくとも2つはCF3を含む。
(A)(メタ)アクリレートポリマー中の含フッ素構造単位の比率は、例えば50~95mol%、好ましくは55~90mol%、さらに好ましくは60~80mol%、60~90mol%である。含フッ素構造単位の比率が適度に大きいことにより、得られる硬化膜の屈折率をより小さくしやすい。一方、含フッ素構造単位の比率が大きすぎないことにより、例えば(B)反応性希釈剤との相溶性が向上し、塗布性や硬化膜の均一性などが向上する効果を得やすい。
(A)(メタ)アクリレートポリマー中のカチオン反応性構造単位の比率は、例えば5~50mol%、好ましくは10~45mol%、さらに好ましくは10~40mol%、特に好ましくは20~40mol%である。カチオン反応性構造単位の比率が適度に大きいことにより、十分な硬化性を得やすい。一方、カチオン反応性構造単位の比率が大きすぎないことにより、過度な硬化が抑えられ、例えば硬化膜のクラック発生が抑えられる。
その他の構造単位の素となるモノマーとしては、その他(メタ)アクリレート系モノマー、及びビニルエステル系モノマー、ビニルエーテル系モノマー、スチレン系モノマーなどを挙げることができる。
特に、(A)(メタ)アクリレートポリマーが、ヒドロキシエチル基(メタ)アクリレートなどのヒドロキシ基を含むモノマーに由来する構造単位を含むことが好ましい。(A)(メタ)アクリレートポリマーがヒドロキシ基を含むことで、ヒドロキシ基の極性により、密着性向上や他成分との相溶性向上などを図りうる。
重量平均分子量は、通常、ポリスチレンを標準物質として用いたゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により求めることができる。
本実施形態の光硬化性組成物は、(B)反応性希釈剤を含む。「反応性希釈剤」とは、通常、エポキシ樹脂などの硬化性樹脂材料の分野で、樹脂の性能を損なわずに低粘度化するものとして知られている。
(B)反応性希釈剤は、通常、カチオン重合性基であるエポキシ基および/またはオキセタニル基を有する。別の表現として、(B)反応性希釈剤は、カチオン反応性希釈剤であるとも言える。(B)反応性希釈剤は、カチオン重合性基を有することにより、硬化物の一部となることができる。
(B)反応性希釈剤1分子当たりのカチオン重合性基の数は、好ましくは1~2個、より好ましくは1個である。
(B)反応性希釈剤は、ラジカル重合性を有するビニル基、アクリロイル基、メタクリロイル基等を有しないことが好ましい。
(B)反応性希釈剤は、通常、低分子化合物であり、ポリマー(モノマーを重合して得られる重合体)ではない。(B)反応性希釈剤の分子量は、通常1000以下、好ましくは750以下、より好ましくは500以下、さらに好ましくは400以下、特に好ましくは300以下である。
硬化膜の屈折率をより小さくする観点からは、(B)反応性希釈剤は、芳香族環を有しない化合物であることが好ましい。
また、(B)反応性希釈剤は、反応により変化はするものの硬化膜中に残存する。(B)反応性希釈剤がフッ素原子を有することにより、硬化膜中により多くのフッ素原子が存在することとなり、その結果として硬化膜の屈折率がより小さくなりやすい。
-C(Rf1)(Rf2)-OH (x)
一般式(x)中、Rf1およびRf2は、それぞれ独立に、含フッ素アルキル基である。Rf1およびRf2の具体例については、後掲の一般式(b)を参照されたい。
Rは、水素原子または1価の有機基を表し、
Xは、m+n価の有機基を表し、
mは、1~4であり、
nは、1~4であり、
Rf1は、含フッ素アルキル基であり、
Rf2は、含フッ素アルキル基である。
アルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、イソブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、ペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、およびデシル基が挙げられる。中でも、メチル基、およびエチル基が好ましい。
アルコキシ基としては、たとえば、メトキシ基、エトキシ基、n-プロポキシ基、i-プロポキシ基、n-ブトキシ基、s-ブトキシ基、イソブトキシ基、t-ブトキシ基が挙げられる。中でも、メトキシ基、およびエトキシ基が好ましい。
nは1~4であり、好ましくは1または2であり、より好ましくは1である。
(A)(メタ)アクリレートポリマーと、(B)反応性希釈剤との量比を適切に調整することで、光照射による硬化性を一層高めたり、かつ/または、得られる硬化膜の屈折率をより小さくしたりすることができる。
具体的には、(A)(メタ)アクリレートポリマーと、(B)反応性希釈剤との量比は、質量比で、好ましくは(A):(B)=10:90~70:30、より好ましくは(A):(B)=20:80~60:40である。
本実施形態の光硬化性組成物は、(C)光カチオン重合開始剤を含む。(C)光カチオン重合開始剤は、光(典型的には紫外線)の照射によりカチオンを発生して、(A)(メタ)アクリレートポリマーおよび/または(B)反応性希釈剤が含む反応性基(エポキシ基および/またはオキセタニル基)を重合させうるものである限り、任意の化合物であることができる。
中でも、パターニング性の観点から、トリアリールスルホニウム塩を用いることが好ましい。
光硬化性組成物の含有量は、組成物の不揮発成分全体を基準として、例えば、0.1~5.0質量%、好ましくは0.2~4.5質量%、より好ましくは0.5~4.0質量%である。
本実施形態の重合性組成物は、上述の成分のほか、有機溶剤、可塑剤、カップリング剤、界面活性剤、密着助剤、増感剤、フィラー等の添加成分を含んでもよい。
具体的には、本実施形態の光硬化性組成物中の有機溶剤の含有量は、好ましくは0~10質量%、より好ましくは0~5質量%、さらに好ましくは0~1質量%である。特に好ましくは、本実施形態の重合性組成物は有機溶剤を実質的に含まない。ただし、本実施形態の光硬化性組成物は、原料の不純物や製造雰囲気に由来して不可避的に含まれる有機溶剤を排除するものではない。
ちなみに、フッ素系ポリマーの中には、溶剤や反応性希釈剤との相性が悪いものがあり、フッ素系ポリマーの種類によっては均一なワニス状の組成物を容易に得ることができない場合もある。しかし、本実施形態においては、(A)(メタ)アクリレートポリマーの、(B)反応性希釈剤との親和性は良好であり、溶剤を用いずとも均一なワニス状の光硬化性組成物を得ることができる。
本実施形態の硬化物は、上述の光硬化性組成物の硬化物である。
硬化物は、例えば、(1)まず、上述の光硬化性組成物を、スピンコート、ロールコート、フローコート、ディップコート、スプレーコート、ドクターコート等の方法で基板表面に塗布して塗布膜を得、(2)その後、その塗布膜に光を照射することにより作製される。
表1に記載のモノマーを、表1に記載のモノマー仕込み比(モル比)で重合して、ポリマー1~3を準備した。重量平均分子量とともに示す。
HFIP-M:ヘキサフルオロイソプロピルメタクリレート
4HBAGE:4-ヒドキロシブチルアクリレートグリシジルエーテル
サイクロマーM100:3,4-エポキシシクロヘキシルメチルメタアクリレート(以下構造の化合物、株式会社ダイセル製)
ヘキサフルオロイソプロピルメタクリレート(HFIP-M)17.4g、4-ヒドキロシブチルアクリレートグリシジルエーテル(4HBAGE)5.3g、および、ジメチル2,2'-アゾビス(2-メチルプロピオネート)(V-601)0.20gを、20gのメチルエチルケトンに溶解し、80℃にて6時間反応させた。
反応終了後の反応液を濃縮し、ヘプタンによる再沈殿を行った。これによりポリマー1を15.4g得た。ポリスチレンを標準物質として用いたGPC測定によると、得られたポリマーのMwは30,000、Mw/Mnは3.02であった。
以下のようにして、反応性希釈剤「BTHB-epo」を合成した。
3L三口ナスフラスコに、以下に示されるBTHB(166.46g、800mmol)(セントラル硝子社製)とジクロロメタン(800ml)を混合後、氷冷し、メタクロロ過安息香酸(195.26g、792mmol)を小分けにして加えていった。その後、終夜35℃で撹拌後、10質量%チオ硫酸ナトリウム水洗を1回、5質量%重曹水洗を1回行い、エバポレーターで濃縮した。濃縮液を減圧蒸留(2kPa、67-70℃)により回収し、BTHB-epo(146.9g、収率82%)を得た。
19F-NMR:-78.5ppm(q,12.4Hz,6F)
後掲の表2に記載の希釈剤、ポリマーおよび開始剤を、各欄の括弧内に記載の量(単位:質量部)で均一に混合して液状の光硬化性組成物を調製した。念のため記載しておくと、調製したすべての光硬化性組成物の性状は、均一なワニス状であった。
まず、光硬化性組成物をSiウェハ上にバーコーターにて50μmの膜厚に塗布して塗膜を形成した。
この塗膜に、波長365nmの光を発するLED光源からの光(約200mW/cm2の光)を75秒間照射することで、硬化反応を進行させた。これにより硬化膜を得た。
一連の工程は、室温下で行い、塗膜やSiウェハを加熱することはしなかった。
(この測定においては、プリズムカプラを硬化膜に接触させる必要があるため、タック性が無いことが屈折率評価の必要条件となる。)
ちなみに、屈折率については、反応性希釈剤としてフッ素原子を有する反応性希釈剤を用いることで、より小さくなる傾向がみられた(entry6と1~5との対比)。
表2のentry1と2についは、光照射から1週間後の硬化膜の屈折率に加え、光照射直後の硬化膜の屈折率も測定した。
また、以下のentry1'とentry2'の光硬化性組成物を調製し、光照射直後と光照射から1週間後の硬化膜の屈折率を測定した。
entry1':entry1のポリマー1を、OFP-M/4HBAGE=70/30(仕込み比、モル比)、Mw=28700のポリマーに替えた光硬化性組成物
entry2':entry2のポリマー2を、OFP-M/4HBAGE=80/20(仕込み比、モル比)、Mw=70kのポリマーに替えた光硬化性組成物
(「OFP-M」は、以下化学式で表される、1H,1H,5H-オクタフルオロペンチルメタクリレートである。)
Entry1と1'、Entry2と2'で、屈折率の上昇量の差は10-3のオーダーであり、この差は一見小さいようにも思える。しかし、特に品質管理が厳しい昨今の光学部材においては、この差は大きな差である。
Claims (9)
- (A)以下一般式(1)で表される含フッ素構造単位および/または以下一般式(2)で表される含フッ素構造単位と、エポキシ基および/またはオキセタニル基を有するカチオン反応性構造単位と、を含む(メタ)アクリレートポリマー
(B)反応性希釈剤、および、
(C)光カチオン重合開始剤
を含む光硬化性組成物。
R1はH、CH3、F、CF3またはClであり、
R2、R3およびR4は、それぞれ独立に、H、CH3、F、CF3および環状フルオロアルキル基からなる群から選ばれる少なくともいずれかの基であり、
R2、R3およびR4のうち少なくとも2つがCF3または環状フルオロアルキル基であるか、または、R2、R3およびR4のうち少なくとも1つがCF3または環状フルオロアルキル基でありR2、R3およびR4のうち少なくとも1つがCH3である。
R5はH、CH3、F、CF3またはClであり、
mは2以上の整数であり、
nは1~10の整数である。 - 請求項1に記載の光硬化性組成物であって、
前記(B)反応性希釈剤は、エポキシ基および/またはオキセタニル基を有する反応性希釈剤を含む光硬化性組成物。 - 請求項1または2に記載の光硬化性組成物であって、
前記(B)反応性希釈剤は、フッ素原子を有する反応性希釈剤を含む光硬化性組成物。 - 請求項1~3のいずれか1項に記載の光硬化性組成物であって、
前記(B)反応性希釈剤は、以下一般式(x)で表される基を有する反応性希釈剤を含む光硬化性組成物。
-C(Rf1)(Rf2)-OH (x)
一般式(x)中、Rf1およびRf2は、それぞれ独立に、含フッ素アルキル基である。 - 請求項1~5のいずれか1項に記載の光硬化性組成物であって、
当該光硬化性組成物中の有機溶剤の含有量が0~10質量%である光硬化性組成物。 - 請求項1~6のいずれか1項に記載の光硬化性組成物の硬化物。
- 請求項7に記載の硬化物を備える電子デバイス。
- 請求項7に記載の硬化物を備える光学部材。
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