JP2022016234A

JP2022016234A - キャリア装置及びキャリアキット

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Publication number: JP2022016234A
Application number: JP2020157302A
Authority: JP
Inventors: 弘仁陳; Hung-Jen Chen
Original assignee: Mat Analysis Tech Inc; MATERIALS ANALYSIS Tech Inc
Current assignee: Mat Analysis Tech Inc; MATERIALS ANALYSIS Tech Inc
Priority date: 2020-07-10
Filing date: 2020-09-18
Publication date: 2022-01-21
Anticipated expiration: 2040-09-18
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Abstract

【課題】観察結果に粘着剤の混入による影響が及ばないキャリア装置を提供する。
【解決手段】本発明は、キャリア装置及びキャリアキットを開示する。キャリアキットは、キャリア装置及び試料キャリア部材を含む。キャリア装置は、試料キャリア部材をキャリアするために、試料ホルダー（ｓｐｅｃｉｍｅｎｈｏｌｄｅｒ）に固設する。試料キャリア部材内に試料をキャリアするための試料収容チャネルが設けられると共に、収容チャネルの一部が２つの観測凹溝から露出する。キャリア装置の本体部の一方側に試料キャリア部材を収容するための収容溝が凹設されている。試料キャリア部材が収容溝に配置された時、本体部中の１つの観測凹溝は、観察窓に介して本体部から露出される。制限素子は本体部に配置され、収容溝内の試料キャリア部材が本体部に対する活動範囲を制限するために用いられる。
【選択図】図４

Description

本発明は、キャリア装置及びキャリアキットに関し、特に試料キャリア部材をキャリアするために、電子顕微鏡デバイスの試料ホルダー（ｓｐｅｃｉｍｅｎｈｏｌｄｅｒ）に配置されるキャリア装置、及びキャリア装置と試料キャリア部材を含むキャリアキットに関する。

従来の電子顕微鏡装置、例えば、透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）、走査型トンネル電子顕微鏡（ＳＴＭ）、走査型透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）、高分解能透過電子顕微鏡（ＨＲＴＥＭ）等の電子顕微鏡装置は、銅グリッド上に観察すべき被検体を配置してから、銅グリッドを試料ホルダー上に配置し、さらに、試料ホルダーを、電子顕微鏡装置上に配置して、銅グリッド上の試料を、試料に関連する電子ビームを介して観察するように構成されている。

上記の観察態様では、液体試料を観察することができない。このため、液体試料をキャリアできるように構成される部材が提供される。その部材は、接着剤を介して銅リングに固定され、銅リングと共に試料ホルダー上に配置されることにより、液体試料を観察できるようにすることが必要である。

上記素子は、従来の銅グリッドを用いて液状の試料を観察することができないという問題を解決することができるが、銅リングに接着剤を用いて部材を固定する工程では、試料に接着剤が混入したり、部材に接着剤が混入したりするなどの問題が発生する可能性が高い。

本発明が解決しようとする課題は、試料をキャリアするための試料キャリア部材を改善して、粘着剤により試料キャリア部材を銅リング（Ｃｕｒｉｎｇ）固定することによる、粘着剤の混入が観察結果に影響がかかっている課題を解決するためのキャリア装置を開示する。

本発明に係る実施形態の１つにはキャリア装置が開示される。キャリア装置は、電子顕微鏡デバイスの試料ホルダー（ｓｐｅｃｉｍｅｎｈｏｌｄｅｒ）に固設され、試料キャリア部材をキャリアするように用いられる。試料キャリア部材における相対的な両側に観測凹溝がそれぞれ凹設されている。試料キャリア部材に試料を収容するための収容チャネルが設けられる。各観測凹溝から収容チャネルの一部が露出されている。キャリア装置は、本体部及び少なくとも１つの制限素子を含む。試料キャリア部材を収容するための収容溝が本体部の一方側に凹設され、本体部はさらに観察窓を含み、観察窓と収容溝とは互いに連通される。試料キャリア部材が収容溝に配置される時、一方の観測凹溝は観察窓を介して本体部に露出する。制限素子は本体部に配置され、制限素子は、収容溝内の試料キャリア部材が本体部に対する活動範囲を制限するために用いられる。

本発明に係る特定の実施形態にキャリアキットが開示される。キャリアキットは、試料キャリア部材及びキャリア装置を含む。試料キャリア部材における相対的な両側にそれぞれ観測凹溝が凹設される。試料キャリア部材に試料を収容するための収容チャネルが配置され、観測凹溝のそれぞれから収容チャネルの一部が露出される。キャリア装置は、電子顕微鏡デバイスに配置される試料ホルダー（ｓｐｅｃｉｍｅｎｈｏｌｄｅｒ）を固定するために用いられ、かつ、キャリア装置は、試料キャリア部材をキャリアするために用いられる。キャリア装置は、本体部及び少なくとも１つの制限素子を含む。本体部の一方側に試料キャリア部材を収容するための収容溝が凹設される。本体部は、観察窓を有し、観察窓と収容溝とは互いに連通される。試料キャリア部材が収容溝に配置される時、一方の観測凹溝は、観察窓を介して本体部に露出するようになり得る。制限素子は、本体部に配置され、制限素子は、収容溝内の試料キャリア部材が本体部に対する活動範囲を制限するために用いられる。

上記を踏まえて、本発明に係るキャリア装置及びキャリアキットは、本体部及び制限素子などの配置により、粘着剤を使用することなくても、試料キャリア部材を本体部に安定的に固定させることができる。本発明に係るキャリア装置及びキャリアキットは、粘着剤を使用しなくてもよいため、液状の試料をキャリアするように構成された素子を接着剤で固定する際に、試料の接着剤汚染や素子の接着剤汚染が発生しやすく、試料の観察に支障を来すといった従来技術における問題点を解決することができる。

電子顕微鏡デバイスを示す模式図である。電子顕微鏡デバイスの試料ホルダーを示す模式図である。本発明に係るキャリアキットが設けられる電子顕微鏡デバイスの試料ホルダーを示す模式図である。電子顕微鏡デバイスの試料ホルダー、及び本発明に係るキャリアキットの第１の実施形態を示す分解模式図である。本発明に係るキャリア装置の第１の実施形態に試料キャリア部材が配置される状況を示す組立模式図である。本発明に係るキャリア装置の第１の実施形態に試料キャリア部材が配置される状況を示す分解模式図である。本発明に係るキャリアキットの試料キャリア部材を示す斜視模式図である。本発明に係るキャリアキットの試料キャリア部材を示す断面模式図である。本発明に係るキャリア装置の第１の実施形態を示す上面模式図である。本発明に係るキャリア装置の第１の実施形態を示す断面模式図である。試料キャリア部材（断面されない）を本発明に係るキャリア装置の第１の実施形態（断面）に配置する工程を示す模式図である。試料キャリア部材（断面されない）を本発明に係るキャリア装置の第１の実施形態（断面）に配置する工程を示す模式図である。試料キャリア部材（断面されない）を本発明に係るキャリア装置の第１の実施形態（断面）に配置する工程を示す模式図である。試料キャリア部材が配置されている本発明に係るキャリア装置の第２の実施形態を示す模式図である。本発明に係るキャリア装置の第２の実施形態を示す模式図である。試料キャリア部材が配置されている本発明に係るキャリア装置の第３の実施形態を示す模式図である。本発明に係るキャリア装置の第４の実施形態及び試料キャリア部材を示す分解模式図である。試料キャリア部材（断面されない）を本発明に係るキャリア装置の第５の実施形態（断面）に配置する工程を示す模式図である。試料キャリア部材（断面されない）を本発明に係るキャリア装置の第５の実施形態（断面）に配置する工程を示す模式図である。試料キャリア部材（断面されない）を本発明に係るキャリア装置の第６の実施形態（断面）に配置する工程を示す模式図である。試料キャリア部材（断面されない）を本発明に係るキャリア装置の第６の実施形態（断面）に配置する工程を示す模式図である。本発明に係るキャリア装置の第７の実施形態及び試料キャリア部材を示す分解模式図である。本発明に係るキャリア装置の第７の実施形態及び試料キャリア部材を示す組立て模式図である。試料キャリア部材（断面されない）を本発明に係るキャリア装置の第８の実施形態（断面）に配置する工程を示す模式図である。試料キャリア部材（断面されない）を本発明に係るキャリア装置の第８の実施形態（断面）に配置する工程を示す模式図である。試料キャリア部材（断面されない）を本発明に係るキャリア装置の第９の実施形態（断面）に配置する工程を示す模式図である。試料キャリア部材（断面されない）を本発明に係るキャリア装置の第９の実施形態（断面）に配置する工程を示す模式図である。試料キャリア部材（断面されない）を本発明に係るキャリア装置の第１０の実施形態（断面）に配置する工程を示す模式図である。試料キャリア部材（断面されない）を本発明に係るキャリア装置の第１０の実施形態（断面）に配置する工程を示す模式図である。試料キャリア部材（断面されない）が配置されている本発明に係るキャリア装置の第１１の実施形態（断面）を示す模式図である。本発明に係るキャリア装置の第１２の実施形態（断面）と試料キャリア部材（断面されない）とが互いに組立てされる工程を示す模式図である。本発明に係るキャリア装置の第１２の実施形態（断面）と試料キャリア部材（断面されない）とが互いに組立てされる工程を示す模式図である。本発明に係るキャリア装置の第１２の実施形態（断面）と試料キャリア部材（断面されない）が互いに組立てされることを示す模式図である。本発明に係るキャリア装置の第１３の実施形態（断面）と試料キャリア部材（断面されない）とが互いに組立てされる工程を示す模式図である。本発明に係るキャリア装置の第１３の実施形態（断面）と試料キャリア部材（断面されない）とが互いに組立てされる工程を示す模式図である。本発明に係るキャリア装置の第１４の実施形態及び試料キャリア部材を示す分解及び組立て模式図である。本発明に係るキャリア装置の第１４の実施形態（断面）と試料キャリア部材（断面されない）が互いに組立てされる工程を示す模式図である。本発明に係るキャリア装置の第１４の実施形態（断面）と試料キャリア部材（断面されない）が互いに組立てされる工程を示す模式図である。本発明に係るキャリア装置の第１５の実施形態（断面）と試料キャリア部材（断面されない）を示す分解模式図である。本発明に係るキャリア装置の第１６の実施形態を示す分解模式図である。試料キャリア部材（断面されない）を本発明に係るキャリア装置の第１７の実施形態（断面）に配置する工程を示す模式図である。本発明に係るキャリア装置の製造方法の第１の実施形態による工程を示す模式図である。本発明に係るキャリア装置の製造方法の第２の実施形態による工程を示す模式図である。本発明に係るキャリア装置の製造方法の第２の実施形態による工程を示す模式図である。本発明に係るキャリア装置の製造方法の第２の実施形態を利用して作られたキャリア装置を示す断面模式図である。

発明の特徴及び技術内容がより一層分かるように、以下本発明に関する詳細な説明と添付図面を参照する。しかし、提供される添付図面は参考と説明のために提供するものに過ぎず、本発明の特許請求の範囲を制限するためのものではない。

以下の説明において、特定の図面または特定の図面に示されているように参照がなされる場合、これは、後続の説明において、記載されている関連する内容の大部分がその特定の図に現れることを強調するためだけであり、その後続の説明における内容をその特定の図面に限定するものではない。

図１乃至図４を合わせて参照する。図１は、電子顕微鏡デバイスを示す模式図であり、図２は、電子顕微鏡デバイスの試料ホルダーを示す模式図であり、図３及び図４はそれぞれ電子顕微鏡デバイスの試料ホルダーと本発明に係るキャリアキットを示す組立てまたは分解模式図である。

電子顕微鏡デバイス１は、デバイス本体１０及び試料ホルダー１１を含む。次の説明に、デバイス本体１０について説明を行い、デバイス本体１０に係る説明されない部分では、既存の透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）、走査型トンネル電子顕微鏡（ＳＴＭ）、走査型透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）、高分解能透過電子顕微鏡（ＨＲＴＥＭ）等の電子顕微鏡装置に含まれる構成または電子素子と同様であるため、ここでは説明を繰り返さない。

デバイス本体１０は、電子ビーム出射装置１０１、観測装置１０２、処理装置１０３、複数の入力装置１０４、及び表示装置１０５を含む。電子ビーム出射装置１０１は電子ビームを発射するために用いられる。観測装置１０２は、デバイス本体１０に配置される試料ホルダー１１における試料キャリア部材２にキャリアされた試料を、使用者が観察するために用いられる。処理装置１０３は、電子ビーム出射装置１０１に電気的に接続され、処理装置１０３は、電子ビーム出射装置１０１が電子ビームを発射させるために電子ビーム出射装置１０１を制御することができる。入力装置１０４は、処理装置１０３に電気的に接続される。入力装置１０４では、使用者が操作して、処理装置１０３を介してデバイス本体１０内の関連機械または電子素子を作動させるために制御することができる。表示装置１０５は、デバイス本体１０における試料ホルダー１１に放置される試料キャリア部材２でキャリアされた試料に対応する画像を示すために用いられる。

図２乃至図４に示すように、試料ホルダー１１は、把持部１１１、棒状体１１２、搬送終端部１１３、及び規制部材１１４を含む。試料ホルダー１１の把持部１１１は、使用者が把持するために用いられる。棒状体１１２と把持部１１１とは互いに連接され、搬送終端部１１３は、棒状体１１２における把持部１１１と反対する端部に位置する。なかでも、試料ホルダー１１における棒状体１１２及び搬送終端部１１３は、デバイス本体１０に取り付けられてもよい。

図３及び図４に示すように、搬送終端部１１３は、凹溝１１３１、及び貫通孔１１３２を有する。凹溝１１３１は、本発明に係るキャリア装置３が配置するように用いられる。かつ、凹溝１１３１に、標準銅グリッド（ＳｔａｎｄａｒｄＣｕｇｒｉｄ）も配置されることができる。規制部材１１４は、可動的に搬送終端部１１３に配置される。規制部材１１４は、選択的に凹溝１１３１におけるキャリア装置３に押し当てるように操作されることでできる。貫通孔１１３２は、搬送終端部１１３を貫通するように配置され、かつ、貫通孔１１３２と凹溝１１３１とが互いに連通される。具体的に、規制部材１１４は、可動部１１４１、及び押し当て構造１１４２を含んでもよい。可動部１１４１と押し当て構造１１４２は互いに連接され、押し当て構造１１４２は、可動部１１４１を介して回転可能に搬送終端部１１３に配置される。凹溝１１３１におけるキャリア装置３を押し当てるか、または凹溝１１３１におけるキャリア装置３から離れるために、押し当て構造１１４２は、可動部１１４１により、凹溝１１３１に接近または離間させる方向に回転することができる。押し当て構造１１４２の形状は、Ｃ字形を呈してもよいが、この例に制限されなく、例えば、環状を呈してもよい。また、ここで、押し当て構造１１４２とは、実際のニーズに応じて、既存の試料ホルダーにおいて、銅グリッド（Ｃｕｇｒｉｄ）を押し当てるための各種の構造をいう。

図３乃至図１０を一緒に参照されたい。図５及び図６はそれぞれ、試料キャリア部材が配置されている本発明に係るキャリア装置の第１の実施形態を示す組立て及び分解模式図である。図７及び図８はそれぞれ、試料キャリア部材を示す斜視及び断面模式図である。図９及び図１０はそれぞれ、本発明に係るキャリア装置の第１の実施形態を示す上面及び断面模式図である。本発明に係るキャリア装置３は、試料ホルダー１１における搬送終端部１１３の凹溝１１３１に配置される。キャリア装置３は試料キャリア部材２をキャリアするために用いられる。試料キャリア部材２は、観測しようとする試料をキャリアするために用いられる。試料キャリア部材２における互いに相対的な両側に、観測凹溝２０がそれぞれ凹設されている。試料キャリア部材２内に収容チャネル２１が設けられる。収容チャネル２１は、観測しようとする前記試料を収容するために用いられる。各観測凹溝２０から収容チャネル２１の一部が露出される。実用上では、試料キャリア部材２は、シリコン製であってもよく、収容チャネル２１を区画するために試料キャリア部材２にＳｉ３Ｎ４膜を配置してもよい。

キャリア装置３は、本体部３０及び２つの制限素子３２を含む。本実施形態において、キャリア装置３が２つの制限素子３２を例として挙げられたが、キャリア装置３が含む制限素子３２の数は２つに限らなく、特定の実施形態において、キャリア装置３が僅か１つの制限素子３２を含んだり、或いは、キャリア装置３が３つ以上の制限素子３２を含んだりしてもよい。

本体部３０の一方側に収容溝３０１が凹設され、かつ、収容溝３０１における本体部３０の同側に対応的に収容口３０２が配置される。試料キャリア部材２の少なくとも一部は、収容口３０２を介して収容溝３０１に収容され得る。前記収容溝３０１主には、試料キャリア部材２を収容するために用いられるため、実用上では、収容溝３０１の形状、サイズは、実質的に試料キャリア部材２の形状、サイズと対応するように構成されるが、収容溝３０１の具体的な形状及びサイズは、図面に示されたものに制限されない。即ち、収容溝３０１は、試料キャリア部材２を半分以上収容できれば、収容溝３０１の形状は制限されない。本体部３０の全体的の形状は、ディスク形状に形成されてもよい、本体部３０は、標準銅グリッド（ｓｔａｎｄａｒｄＣｕｇｒｉｄ）と同様なサイズを有することが好ましい。例えば、本体部３０が直径３ミリメートル（ｍｍ）となるディスク形状の銅シート構造であってもよい。

具体的に、本体部３０は、シート状構造３０３、及び支持構造３０４を含んでもよい。シート状構造３０３がディスク形状を呈し、かつ、シート状構造３０３における両側面のそれぞれが天面３０３１と底面３０３２として定義される。シート状構造３０３に前記収容口３０２が有さえられ、かつ、シート状構造３０３は、底面３０３２から外方へ延在して支持構造３０４をなしている。支持構造３０４及びシート状本体部３０は共に、前記収容溝３０１を形成させる。支持構造３０４におけるシート状構造３０３から離れる側に観察窓３０５が形成される。実用上では、支持構造３０４と本体部３０とは一体成型された構造に構成されてもよいが、この例に制限されない。別の応用では、様々な加工方式で、別構造となる支持構造３０４を本体部３０に固定してもよい。なかでも、支持構造３０４及び収容溝３０１の形状は、試料キャリア部材２の形状及びサイズに応じて設計されてもよく、図面にはただ１つの実施態様を示すに過ぎない。

図５及び図６に示すように、実用上では、収容溝３０１の深さは、試料キャリア部材２の高さを下回ってもよい。なお、試料キャリア部材２が収容溝３０１に配置された時、試料キャリア部材２の一部が対応的に本体部３０から露出されてもよいが、この例に制限されない。特定の実施形態において、収容溝３０１の深さが試料キャリア部材２の高さを上回ってもよい。

図５、図６、図９及び図１０に示すように、２つの制限素子３２が本体部３０に配置されており、２つの制限素子３２と本体部３０とは、一緒に収容溝３０１における試料キャリア部材２に固設されている。なかでも、２つの制限素子３２は主に、試料キャリア部材２が本体部３０に対する活動範囲を制限するために用いられる。例えば、図６及び図９に示すように、各制限素子３２は、本体部３０と一体成型に配置されてもよい。具体的に、キャリア装置３を製造する場合、まず、実質的にＣ字形状を呈する２つの貫通孔（例えば、図１５に示すように）を収容溝３０１の両側に形成させ、さらに、関連する機械や工具によって、実質的にＣ字形状を呈する貫通孔の中央構造を上向いて屈曲させ、それにより、前記制限素子３２を形成させる。例えば、図６に示すように、上記方法で形成した制限素子３２のそばに対応的に１つの貫通孔３０６が配置されている。

図９に示すように、各制限素子３２が、収容溝３０１に配置される試料キャリア部材２を保持するように、本体部３０と効果的に協働するようにするために、前記キャリア装置３に上面図では、各制限素子３２の一部は、対応的に収容口３０２に位置する。そのように、図５に示すように、試料キャリア部材２が収容溝３０１に配置された時、各制限素子３２は、試料キャリア部材２の一側に当接し得る。

図１０乃至図１３を一緒に参照されたい。図１１乃至図１３は、試料キャリア部材（断面されない）を本発明に係るキャリア装置の第１の実施形態（断面）に配置する工程を示す模式図である。図１０に示すように、実用上では、本実施形態に例示したキャリア装置３は、出荷の際、それに含まれた２つの制限素子３２は、本体部３０と一体的に構成されており、かつ、２つの制限素子３２は互いに対向するように配置されると共に、２つの制限素子３２の間の距離は、試料キャリア部材２の長さＤ（例えば、図１１に示すように）を下回ってもよい。

作業員がキャリア装置３を購入して、試料キャリア部材２をキャリア装置３の収容溝３０１に配置しようとする場合、図１０乃至図１３に示された操作流れに従って行ってもよい。詳しくは、まず、図１０に示すように、作業員は、関連補助工具（図示されないが、例えば、ピンセットを使用してもよい）を使用して、本体部３０における制限素子３２の両側を保持して、本体部３０を制限素子３２が存在する方向と反対する方向に向かって屈曲させ、それにより、本体部３０は、図１０に示した状態から図１１に示した状態に変形され、２つの制限素子３２の間の距離は増加する。

図１１及び図１２に示すように、次に、作業員は、試料キャリア部材２を、２つの制限素子３２の間の拡張された空間から通過させ、収容溝３０１に配置させる。図１２及び図１３に示すように、試料キャリア部材２が収容溝３０１に配置された後、本体部３０を屈曲する関連工具を開放して、本体部３０はその自身の回復弾性力で、図１２に示した状態から図１３に示した状態に変化する。なお、２つの制限素子３２は、そのように試料キャリア部材２の両側を当接し、２つの制限素子３２は、試料キャリア部材２の突き当て力を受けることで回復弾性力が生じ、それにより、試料キャリア部材２に隙間なく当接されるようになる。

上記のように、図１乃至図４及び図１３に示すように、試料キャリア部材２をキャリアしているキャリア装置３が凹溝１１３１配置されており、かつ、規制部材１１４が本体部３０に押し当てる場合、電子ビーム出射装置１０１が発射する電子ビームは、試料キャリア部材２の観測凹溝２０及び収容チャネル２１に位置する試料、キャリア装置３の観察窓３０５、搬送終端部１１３の貫通孔１１３２を通過することができる。なお、観測者は、観測装置１０２により、収容チャネル２１に収容された試料を観察でき、かつ、処理装置１０３は、表示装置１０５が試料に対応する画像を示すように表示装置１０５を制御することができる。

なお、液体試料をキャリアする部材を粘着剤により銅リングに固定さえる従来の方法では、一般には液体試料をキャリアする部材のサイズが小さいので、作業員が粘着剤を使用して、液体試料をキャリアする部材を銅リングに固定させる過程において、粘着剤が液体試料をキャリアする部材の観測窓に流れ込んで、それで電子ビームがうまく試料を通過し得ず、観測者が試料を観測できない問題が生じうることを説明しておきたい。一方、本発明に係るキャリア装置３は、制限素子３２等の配置により、粘着剤を使用しないまま、試料キャリア部材２と互いに固定することができ、それにより、試料キャリア部材２にキャリアされた試料に予期せぬ外乱が発生する確率を大幅に下げることができる。

図１４及び図１５を一緒に参照されたい。図１４は、試料キャリア部材が配置されている本発明に係るキャリア装置の第２の実施形態を示す模式図である。図１５は、本発明に係るキャリア装置の第２の実施形態を示す模式図である。本実施形態と前記第１の実施形態との最大な相違点は、試料キャリア部材２がキャリア装置３に配置された時、各制限素子３２に一部は、試料キャリア部材２の天面２２に対応的に当接してもよい点である。

図１４及び図１５に示すように、特筆に値するのは、実用上では、キャリア装置３は、図１５に示した態様で販売されてもよい。作業員が例えば、図１５に示したキャリア装置３を購入した後、まず、試料キャリア部材２を収容溝３０１に取り付けて、さらに、関連工具（例えば、ピンセット）により、Ｃ字形状となる貫通孔３０７の中にある構造を、試料キャリア部材２の方向に屈曲させ、それにより、前記制限素子３２を形成させてもよいことにある。

図１６を参照されたい。図１６は、試料キャリア部材が配置されている本発明に係るキャリア装置の第３の実施形態を示す模式図である。本実施形態と前記実施形態との最大な相違点では、各制限素子３２は、本体部３０と一体的に成形されず、各制限素子３２は別構造として本体部３０に固定される点である。実用上では、本実施形態に挙げられたキャリア装置３において、各制限素子３２は、キャリア装置３のメーカーが予めに本体部３０に固定しておいてもよいか、或いは、各制限素子３２を予めに本体部３０に取り付けなくてもよい。この場合、作業員がキャリア装置３を購入した後、まず、２つの制限素子３２を本体部３０に固定したから、図１０乃至図１３に示した方式で、試料キャリア部材２を収容溝３０１に配置するようになる。

図１７を参照されたい。図１７は、本発明に係るキャリア装置の第４の実施形態及び試料キャリア部材を示す分解模式図である。本実施形態と前記実施形態との最大な相違点では、２つの制限素子３２は収容溝３０１の２つの長辺に隣接して配置し、かつ、２つの制限素子３２の間の最短距離Ｌは、試料キャリア部材２の幅Ｗを下回ってもよい点である。試料キャリア部材２が２つの制限素子３２を介して収容溝３０１に配置される過程において、２つの制限素子３２は試料キャリア部材２に圧迫され弾性変形して、試料キャリア部材２の半分が収容溝３０１中に配置された時、圧迫され弾性変形した２つの制限素子３２は、隙間なく試料キャリア部材２の２つの長辺側に当接するようになる。

本実施形態の図面では、各制限素子３２と本体部３０とは一体成型ではないのを例として挙げられたが、この例に制限されない。特定の実施形態において、各制限素子３２が本体部３０と一体成型に構成されてもよい。また、試料キャリア部材２が通過する時に２つの制限素子３２が弾性変形し、かつ、試料キャリア部材２の半分が収容溝３０１に収容された時、弾性変形した２つの制限素子３２は、隙間なく試料キャリア部材２に当接し得るさえなれれば、２つの制限素子３２の形状は任意に設定され、即ち、各制限素子３２は、図面に示した円弧状構成に制限されない。

本実施形態において、２つの制限素子３２を収容溝３０１の２つの長辺に隣接して配置する構成を例として挙げられたが、この例に制限されない。特定の実施形態において、本実施形態に挙げられた２つの制限素子３２が収容溝３０１の２つの短辺に隣接して配置されてもよいことを説明しておきたい。同様に、前記各実施形態において、２つの制限素子３２は、収容溝３０１の２つの短辺に隣接して配置されるが、前記各実施形態に挙げられた２つの制限素子３２は、収容溝３０１の２つの長辺に隣接して配置されてもよい。

特筆に値するのは、前記各実施形態において、キャリア装置３が２つの制限素子３２を有し、２つの制限素子３２が互いに対向して配置されるのを例として挙げられたが、キャリア装置３が含む制限素子３２の数は２つに限らず、特定の実施形態において、キャリア装置３が４つの制限素子３２を、対応的に収容溝３０１の４つの側辺に隣接して配置されるように含んでもよいことにある。特別な用途では、キャリア装置３の２つの制限素子３２は、収容溝３０１の両側辺に配置するのに限定されず、収容溝３０１の対向する角部に配置されていてもよい。

図１８及び図１９を一緒に参照されたい。図１８及び図１９はそれぞれ、本発明に係るキャリア装置の第５の実施形態（断面）及び試料キャリア部材（断面されない）を示す分解模式図及び組立て模式図である。本実施形態と前記実施形態との最大な相違点では、キャリア装置３は僅か１つの制限素子３２を含んでもよい。制限素子３２は、固定ベース３２１、及び可撓性構造３２２を含む。固定ベース３２１は本体部３０に固定され、収容溝３０１に近接するかまたは離れる方向に向かって屈曲するように可撓性構造３２２は操作されることができる。

図１８に示すように、作業員が試料キャリア部材２を収容溝３０１に配置しようとする時、まず、可撓性構造３２２を収容溝３０１から離れる方向に向かって屈曲させ、それにより、試料キャリア部材２を邪魔されずに収容溝３０１に直々に配置することができる。図１９に示すように、作業員が試料キャリア部材２を収容溝３０１に配置した後、作業員が可撓性構造３２２をさらに試料キャリア部材２に押し当てるように屈曲させ、それにより、試料キャリア部材２が本体部３０に対する活動範囲を制限してもよい。ここでは、特定の実施形態において、キャリア装置３は、本実施形態が挙げられた制限素子３２を２つ以上含んでもよいのを説明しておきたい。

図２０及び図２１を一緒に参照されたい。図２０及び図２１はそれぞれ本発明に係るキャリア装置の第６の実施形態（断面）及び試料キャリア部材（断面されない）を示す分解模式図及び組立て模式図である。本実施形態と前記実施形態との最大な相違点では、キャリア装置３が含む制限素子３２は、枢着部３２３、及び当接部３２４を有する。枢着部３２３は、回転可能に本体部３０と連接され、枢着部３２３は、本体部３０の法線方向に平行となる中心軸Ｃを中心として本体部３０に対して回転することができる。当接部３２４は枢着部３２３と連接されており、当接部３２４は枢着部３２３と共に本体部３０に対して回転することができる。

図２０に示すように、作業員が試料キャリア部材２を収容溝３０１に配置しようとする時、当接部３２４を操作して、収容溝３０１の上方に当接部３２４が位置しないように当接部３２４を本体部３０に対して回転させてもよい。そのように、作業員が試料キャリア部材２の半分を収容溝３０１に配置することができる。図２１に示すように、試料キャリア部材２の半分が収容溝３０１内に配置された時、作業員が再び当接部３２４を操作して、当接部３２４を試料キャリア部材２の上部に当接させることにより、試料キャリア部材２が本体部３０に対する活動範囲を制限するようになる。

図２２及び図２３を一緒に参照されたい。図２２及び図２３は、本発明に係るキャリア装置の第７の実施形態及び試料キャリア部材を示す分解模式図及び組立て模式図である。本実施形態と前記実施形態との最大な相違点では、キャリア装置３が含む制限素子３２は、本体部３０に対して、収容溝３０１に接近または離間させる方向に向かって摺動することにより、収容溝３０１に配置された試料キャリア部材２を選択的に規制することができることにある。

具体的に、キャリア装置３は、２つの制限素子３２及び２つの軌道構造３４を含んでもよい。各制限素子３２に、摺動部３２５、及び当接部３２６が含まれる。摺動部３２５は、本体部３０における天面３０３１から収容溝３０１に近接するかまたは収容溝３０１から離れる方向に向かって移動することができる。当接部３２６は摺動部３２５と互いに連接され、当接部３２６は、摺動部３２５と一緒に本体部３０に対して移動することができる。２つの軌道構造３４は本体部３０に配置され、かつ、２つの軌道構造３４は収容溝３０１の両端部に隣接するように配置され、各軌道構造３４に軌道路３４１が配置されており、各摺動部３２５は摺動可能に各軌道構造３４に配置される。各軌道構造３４は、粘着剤または別の方式で、別構造として本体部３０に固設されてもよいが、この例に制限されない。例えば、特定の実施形態において、各軌道構造３４が本体部３０と一体成型に構成されてもよい。各軌道構造３４の形状は、実際のニーズに応じて変更して、さらに、軌道路３４１及び摺動部３２５の形状も実際のニーズに応じて変更することができる。

実用上では、作業員は、まず、試料キャリア部材２を収容溝３０１に配置した後、さらに、各制限素子３２の摺動部３２５を軌道路３４１に挿入することにより、各制限素子３２の当接部３２６が対応的に試料キャリア部材２の一方端に当接するようになり、そのように、各制限素子３２は、試料キャリア部材２が本体部３０に対する活動範囲を制限することができる。

本実施形態に挙げられたキャリア装置３は、商品として包装される場合、各制限素子３２が軌道構造３４に組み合わせない状態で保持し、作業員がキャリア装置３を手に入れた後、まず、試料キャリア部材２を収容溝３０１に配置してから、各制限素子３２を各軌道構造３４と組み合わせてもよい。また、実用上では、各軌道路３４１のサイズが、各摺動部３２５のサイズよりもわずかに小さいとなってもよい、なお、各可動部１１４１は、軌道路３４１と緊嵌合で互いに固定されてもよい。特定の実施形態において、本体部３０における各軌道構造３４に隣接する位置に、制限素子３２が軌道構造３４に対して活動範囲を制限するための構造を配置してもよい。例えば、本体部３０における軌道構造３４に隣接する側に実質的にＣ字形状を呈する貫通孔３０８を配置してもよい。作業員が制限素子３２の可動部１１４１を軌道路３４１に配置した後、関連工具でＣ字形状を呈する貫通孔３０８で囲まれた構造を上向いて屈曲させ、それにより、止め構造３０９を形成させることができる。前記止め構造３０９は、制限素子３２が軌道構造３４から脱出しないように制限することができる。

なお、本実施形態に係る図面に示した制限素子３２及び軌道構造３４は、制限素子３２が摺動可能に本体部３０に固定させる手段の一つ実施形態として挙げられたが、実用上では、制限素子３２が本体部３０に対して摺動できると共に、収容溝３０１に配置された試料キャリア部材２の変化を規制できれば、いずれも、本実施形態の範囲に含まれる変形例に属する。また、キャリア装置３に含まれる制限素子３２及び軌道構造３４の数は図面に示された数に制限されない。

図２４及び図２５を一緒に参照されたい。図２４及び図２５はそれぞれ、本発明に係るキャリア装置の第８の実施形態（断面）及び試料キャリア部材を示す分解模式図及び組立模式図である。本実施形態と前記実施形態との最大な相違点は、本体部３０は、第１の係合構造３１０を含んでもよい点である。第１の係合構造３１０は係合溝３１０１を含む。制限素子３２は、第２の係合構造３２７、及び当接部３２８を含んでもよい。なお、制限素子３２の第２の係合構造３２７が係合溝３１０１に係合し得る。当接部３２８と第２の係合構造３２７とが互いに連接され、第２の係合構造３２７が係合溝３１０１に係合している時、当接部３２８は、対応的に収容溝３０１に配置される試料キャリア部材２の一方端に当接し、それにより、試料キャリア部材２が本体部３０に対する活動範囲を制限する。実際の利用では、係合溝３１０１のサイズは第２の係合構造３２７のサイズよりもわずかに小さいであってもよい。なお、第２の係合構造３２７が係合溝３１０１に係合している時、緊嵌合で互いに固定されてもよい。実用上では、キャリア装置３は、単一の第１の係合構造３１０を含んで、それを単一の制限素子３２と協働して使用してもよいか、または、２つ以上の第１の係合構造３１０を含んでそれらを２つ以上の制限素子３２と協働して使用してもよい。

図２６及び図２７を一緒に参照されたい。図２６及び図２７はそれぞれ、本発明に係るキャリア装置の第９の実施形態（断面）及び試料キャリア部材を示す分解模式図及び組立模式図である。本実施形態と前記実施形態との最大の相違点は、キャリア装置３の本体部３０は固定穴３１１を含み、制限素子３２に挿入部３２９、及び当接部３３０が含まれる点である。挿入部３２９は固定穴３１１に穿設され、当接部３３０と挿入部３２９とが連接されている。挿入部３２９が固定穴３１１に挿入したとき、当接部３３０は、対応的に収容溝３０１に配置された試料キャリア部材２を当接し、それにより、試料キャリア部材２が本体部３０に対する活動範囲を制限することができる。実用上では、固定穴３１１は、制限素子３２の挿入部３２９よりもわずか小さいサイズを有してもよく、かつ、挿入部３２９は、緊嵌合で固定穴３１１と互いに固定されてもよい。本実施形態に係るキャリア装置３を販売する場合、制限素子３２が本体部３０に組み合わされていない状況であってもよい。作業員は、まず試料キャリア部材２を収容溝３０１内に配置してから、挿入部３２９を固定穴３１１に挿入し、それにより、当接部３３０を試料キャリア部材２に当接させ、もって試料キャリア部材２が本体部３０に対する活動範囲を制限する。本実施形態に挙げられたキャリア装置３が含む制限素子３２及び固定穴３１１の数は、実際のニーズに応じて変化でき、１つとは限らない。制限素子３２における当接部３３０の形状も、試料キャリア部材２の形状に応じて変化し得て、図面に示したのはただの１つ態様の例示に過ぎない。

ところで、制限素子３２はさらに押し当て部３３１を含んでもよい。押し当て部３３１と挿入部３２９とは互いに連接される。例えば、図２６に示すように、挿入部３２９が固定穴３１１に挿入したとき、押し当て部３３１は、対応的に本体部３０の天面３０３１に押し当て、さらに、試料キャリア部材２をキャリアしているキャリア装置３が試料ホルダー１１（例えば、図４に示すように）に配置される時、規制部材１１４（例えば、図４に示すように）における押し当て構造１１４２（例えば、図４に示すように）は、対応的に制限素子３２の押し当て部３３１に押し当て、それにより、制限素子３２が本体部３０に対する活動範囲を制限することができる。即ち、押し当て部３３１は、試料ホルダー１１の押し当て構造１１４２が押し当てるために用いられる。

図２８及び図２９を一緒に参照されたい。図２８及び図２９はそれぞれ、本発明に係るキャリア装置の第１０の実施形態（断面）及び試料キャリア部材を示す分解模式図及び組立模式図である。前記各実施形態が挙げられたキャリア装置３のいずれも、収容溝３０１の深さが試料キャリア部材２の高さよりも小さいように構成される。なお、試料キャリア部材２が収容溝３０１に配置されたとき、試料キャリア部材２の半分が本体部３０に露出する。一方、本実施形態が挙げられたキャリア装置３では、収容溝３０１の深さが試料キャリア部材２の高さ以上であり、かつ、試料キャリア部材２が収容溝３０１に配置されたとき、試料キャリア部材２は実質的に完全に収容溝３０１に入り込んで、試料キャリア部材２が収容溝３０１から露出されない。

本実施形態と前記実施形態との最大の相違点は、本体部３０における支持構造３０４とは反対の一側に、補助収容構造３０４Ａが外方へ延在するように形成される。補助収容構造３０４Ａ、本体部３０及び支持構造３０４はともに、試料キャリア部材２を完全に収容できる収容溝３０１をなしている。また、制限素子３２は、可動的に本体部３０に配置され、制限素子３２は、補助収容構造３０４Ａの一側をカバーするように操作され、それにより、収容溝３０１における試料キャリア部材２が本体部３０に対する活動範囲を制限することができる。

特筆に値するのは、実用上では、試料キャリア部材２が収容溝３０１に配置されたとき、試料キャリア部材２の中心軸ＣＰは、実質的に本体部３０の天面３０３１と揃えていることことにある。そのように、電子顕微鏡デバイスで試料を観測している場合、試料キャリア部材２に焦点が合わないという問題を回避することができる。実用上では、補助収容構造３０４Ａの形状や本体部３０に対する高さのいずれも、試料キャリア部材２の形状及びサイズに応じて変更し得、本実施形態の図面はその一態様を示すに過ぎない。また、制限素子３２と本体部３０との連接方式は、図面に制限されない。制限素子３２が補助収容構造３０４Ａと協働して、収容溝３０１における試料キャリア部材２が本体部３０に対する活動範囲を制限できれば、制限素子３２のサイズ、形状、及び本体部３０との連接方式等いずれもニーズに応じて変更することができる。

図３０を参照されたい。図３０は、本発明に係るキャリア装置の第１１の実施形態（断面）及び試料キャリア部材を示す分解模式図及び組立模式図である。本実施形態と前記実施形態との最大な相違点は、キャリア装置３はさらに、処理モジュール３５、及び電気接続部材３６を含む点である。処理モジュール３５は本体部３０に固設され、処理モジュール３５に、電力供給ユニット３５１、及び制御ユニット３５２が含まれている。電力供給ユニット３５１は電力を蓄えるように用いられ、制御ユニット３５２と電力供給ユニット３５１とが電気的に接続される。電気接続部材３６と処理モジュール３５とが互いに連接される。電気接続部材３６は、導電性を有する可撓性構造であり、電気接続部材３６における処理モジュール３５と連接する端部と離れる端部では、試料キャリア部材２の電気接続部２３と連接するために用いられる。実用上では、前記電力供給ユニット３５１としては例えば、各種のキャパシタンスが挙げられ、前記制御ユニット３５２としては、例えば、各種のマイクロプロセッサが挙げられる。

試料キャリア部材２が収容溝３０１に固設され、かつ、電気接続部材３６と試料キャリア部材２との電気接続部２３が互いに接続されたとき、電力供給ユニット３５１は、制御ユニット３５２が作動するに必要な電力を提供する。かつ、電力供給ユニット３５１は、試料キャリア部材２内の電子部品に必要な電力を提供する。試料キャリア部材２の電子部材は、例えば、加熱器、混合器、流量制御器、濾過機、スイッチ等、少なくとも１つを含む。

上記のように本実施形態が挙げられたキャリア装置３では、処理モジュール３５及び電気接続部材３６により、収容溝３０１に配置される試料キャリア部材２の電子部品に対して給電することができ、それで試料キャリア部材２内の試料を所定の温度または条件が維持されながら観測できる。特に、本発明にかかるキャリア装置３、及び電子部品付きの試料キャリア部材２は、対応的に各種の試料ホルダー１１に適用し得て、試料ホルダー１１に電力供給ユニットまたは制御ユニットを追加する必要はない。そのように、観察コストを大幅に低減することができる。具体的に、既存の試料ホルダー１１では、電力供給ユニット及び制御ユニットを有しないのが一般的であり、作業員が試料に対して加熱等の作業を行うために、別部材として高額な特定仕様の試料ホルダー１１を購入しなければならない。そのように、観測に必要なコストは大幅に高まれてしまう。一方、本発明に係るキャリア装置３は、電子部品付きの試料キャリア部材２と互いに協働することにより、試料ホルダー１１を追加購入する必要なく、直接に試料に対して加熱等の作業を行うことができる。なお、本実施形態に挙げられた処理モジュール３５及び電気接続部材３６は、前記いずれの実施形態に適用でき、本実施形態には限らない。

図３１乃至図３３を一緒に参照されたい。図３１及び図３２はそれぞれ、本発明に係るキャリア装置の第１２の実施形態（断面）と試料キャリア部材とを組み合わせる過程を示す模式図である。図３３は、本発明に係るキャリア装置の第１２の実施形態（断面）及び試料キャリア部材を示す組立模式図である。本実施形態と前記実施形態との最大な相違点は、キャリア装置３の本体部が第１の本体部３０Ａとして定義され、キャリア装置３の収容溝が第１の収容溝３０１Ａとして定義される点である。制限素子３２は、第２の本体部３３２を含み、第２の本体部３３２の一方側に第２の収容溝３３２１が凹設され、かつ、第２の本体部３３２は、第２の開口３３２２を有し、第２の収容溝３３２１は、第２の開口３３２２を介して外部と連通する。第２の本体部３３２及び第２の収容溝３３２１のサイズや形状は、第１の本体部３０Ａ及び第１の収容溝３０１のサイズや形状と実質的に同じであってもよい。なかでも、第１の本体部３０Ａの観察窓３０５の大きさ及び第２の本体部３３２の第２の開口３３２２の大きさのいずれも、試料キャリア部材２の両端の観測凹溝２０の大きさを上回る。電子ビームは、観察窓３０５及び第２の開口３３２２を介して、試料キャリア部材２に出たり入ったりすることができる。

第１の本体部３０Ａはさらに２つの補助位置決め構造３１２を含み、２つの補助位置決め構造３１２は、第２の本体部３３２を固定し、第２の本体部３３２が第１の本体部３０Ａに対する活動範囲を制限するために用いられる。具体的に、２つの補助位置決め構造３１２は第１の本体部３０Ａと一体成型に配置されてもよい。２つの補助位置決め構造３１２はシート状構造であってもよい。かつ、２つの補助位置決め構造３１２が互いに対向して配置されてもよい。２つの補助位置決め構造３１２同士の間の距離は、第２の本体部３３２の外径を下回って、即ち、第２の本体部３３２は、第１の本体部３０Ａの一方側に直接に取り付けることができない。

図３１及び図３２に示すように、作業員が第２の本体部３３２を第１の本体部３０Ａの一方側に取り付けようとするとき、まず、試料キャリア部材２を第１の収容溝３０１Ａ内に配置してから、第２の本体部３３２を屈曲して、さらに屈曲された状態になった第２の本体部３３２を、第１の本体部３０Ａにおける２つの補助位置決め構造３１２の間に組込んで、最後に、第２の本体部３３２を屈曲する力を解放して、第２の本体部３３２はその自体の回復弾性力で、屈曲される前の状態に戻して、そのように、第２の本体部３３２は、安定的に２つの補助位置決め構造３１２同士の間に当接される。第１の本体部３０Ａが含む補助位置決め構造３１２の数、配置位置、形状等では、第２の本体部３３２のサイズ、形状に応じて変更し得て、本実施形態に係る図面に示されたのはただの一つ例に過ぎない。

図３３に示すように、第１の本体部３０Ａにおける２つの補助位置決め構造３１２により、第２の本体部３３２が第１の本体部３０Ａの一方側に固定されたとき、第１の収容溝３０１Ａ及び第２の収容溝３３２１は一緒に組合せ収容溝ＳＰを形成し、試料キャリア部材２は、対応的に前記組合せ収容溝ＳＰに配置される。好ましい実施形態において、組合せ収容溝ＳＰのサイズや形状は、試料キャリア部材２のサイズや形状に応じてなされるが、これに制限されない。即ち、組合せ収容溝ＳＰが試料キャリア部材２を収容できれば、組合せ収容溝ＳＰのサイズや形状は、実際のニーズに応じて変更できる。

図３４及び図３５を一緒に参照されたい。図３４び図３５はそれぞれ、本発明に係るキャリア装置の第１３の実施形態（断面）及び試料キャリア部材を示す分解模式図及び組立て模式図である。本実施形態と前記本発明に係るキャリア装置の第１２の実施形態との最大な相違点では、第１の本体部３０Ａに補助位置決め構造３１２が配置されず、かつ、第２の本体部３３２に、２つの補助位置決め構造３３２３が配置される点である。作業員が第２の本体部３３２を第１の本体部３０Ａの一方側に固定しようとする時、第２の本体部３３２における２つの補助位置決め構造３３２３が互いに離れる方向に屈曲されるように、第２の本体部３３２を屈曲させ、その後、２つの補助位置決め構造３３２３は第１の本体部３０Ａを挟持し、第２の本体部３３２及びそれに含まれた２つの補助位置決め構造３３２３は、一緒に第１の本体部３０Ａを保持するようになる。

なお、前記本発明に係るキャリア装置３の第１２の実施形態及び第１３の実施形態に挙げられた補助位置決め構造は、１つの例に過ぎないのが注意されたい。実用上では、第１の本体部３０Ａ及び第２の本体部３３２の少なくとも１つに、固定構造を有して、かつ、第１の本体部３０Ａ及び第２の本体部３３２は、前記固定構造により互いに固定されるとすれば、いずれも本発明に係るキャリア装置３の第１２の実施形態及び第１３の実施形態の変形例に属する。

図３６乃至図３８を一緒に参照されたい。図３６は、本発明に係るキャリア装置の第１４の実施形態及び試料キャリア部材を示す分解模式図である。図３７及び図３８はそれぞれ、本発明に係るキャリア装置の第１４の実施形態（断面）及び試料キャリア部材（断面ではない）を示す分解模式図及び組立て模式図である。本実施形態と前記第１２の実施形態との最大な相違点では、本実施形態に係る第１の本体部３０Ａは前記２つの補助位置決め構造を備えず、かつ、本実施形態に係る第１の本体部３０Ａが２つの第１の規制部３１３を備え、第２の本体部３３２が２つの第２の規制部３３２４を含む点である。第１の規制部３１３は第２の規制部３３２４と互いに固定することにより、第１の本体部３０Ａと第２の本体部３３２との互いの活動範囲を制限することができる。

図３６に示すように、第１の本体部３０Ａに含まれる各第１の規制部３１３は、柱構造であってもよい。第２の本体部３３２における各第２の規制部３３２４は対応的に貫通孔（または盲穴）に形成される。別の実施形態において、各第１の規制部３１３が貫通孔（または盲穴）であり、各第２の規制部３３２４が柱構造に形成されてもよい。なかでも、柱構造となった第１の規制部３１３（または第２の規制部３３２４）は、例えば、円柱状構造、ドーム状構造形成されてもよい。即ち、第２の規制部３３２４（または第１の規制部３１３）と互いに係合できれば、第１の規制部３１３及び第２の規制部３３２４の数、形状、サイズ、設置位置等は実際のニーズに応じて変更できる。

図３７及び図３８に示すように、第１の収容溝３０１Ａと第２の収容溝３３２１は実質的に同じ大きさや形状を有する。第１の本体部３０Ａ及び第２の本体部３３２は、２つの第１の規制部３１３及び２つの第２の規制部３３２４によって、互いに固定された時、第１の収容溝３０１Ａは、第２の収容溝３３２１と互いに連通して組合せ収容溝ＳＰをなしており、試料キャリア部材２は、対応的に組合せ収容溝ＳＰに収容される。

別の実施形態において、第１の規制部３１３及び第２の規制部３３２４の数を変更するか、或いは、第１の規制部３１３及び第２の規制部３３２４の形状を、別の第１の規制部３１３及び第２の規制部３３２４と異なる形状や設計を持たせることにより、作業員が所定の方向に沿って第１の本体部３０Ａを第２の本体部３３２に配置するようにさせることができる。例えば、第１の規制部３１３の中の１つを円形を呈した貫通孔として、別の第１の規制部３１３を四角形を呈した貫通孔にして、さらに、２つの第２の規制部３３２４を対応的に円柱状構造及び四角柱構造にすることにより、作業員が所定の方向に沿って第２の本体部３３２を第１の本体部３０Ａに配置することを制限できる。或いは、第１の本体部３０Ａに３つの第１の規制部３１３を持たせると共に、その中の２つの第１の規制部３１３が第１の収容溝３０１Ａの一方端に位置し、残りの１つ第１の規制部３１３が第１の収容溝３０１Ａの他方端に位置して、かつ、第２の本体部３３２に対応的に３つの第２の規制部３３２４が備えられ、そのようにしても、作業員が所望な方向に沿って第１の本体部３０Ａに第２の本体部３３２を配置するのを制限できる。

図３９を参照されたい。図３９は、本発明に係るキャリア装置の第１５の実施形態（断面）及び試料キャリア部材を示す分解模式図である。本実施形態と前記実施形態との最大な相違点では、キャリア装置３に、さらに彎曲構造３７が含まれる点である。彎曲構造３７は第１の本体部３０Ａと連接され、彎曲構造３７は第２の本体部３３２と連接され、かつ、第２の本体部３３２は、彎曲構造３７を介して第１の本体部３０Ａに対して回転することにより、第１の本体部３０Ａに接近または離間させる方向に移動し得る。前記彎曲構造３７は任意の可撓性構造であってもよい。彎曲構造３７は任意の方式で第１の本体部３０Ａ及び第２の本体部３３２と連接される。第１の本体部３０Ａと彎曲構造３７との連接箇所、及び第２の本体部３３２と彎曲構造３７との連接箇所については、実際のニーズに応じて変更でき、図面に例示したものに制限されない。

なお、前記各実施形態に挙げられたキャリア装置３は、ディスク形状構造を例として挙げられたが、本実施形態に挙げられた第１の本体部３０Ａに形状は、ディスク形状構造に限らず、第１の本体部３０Ａ及び第２の本体部３３２の形状は、彎曲構造３７の配置位置に応じて変更できることが注意されたい。達例えば、第１の本体部３０Ａ及び第２の本体部３３２の形状は実質的に四角形に形成されてもよい。また、実用上では、彎曲構造３７は別構造として第１の本体部３０Ａ及び第２の本体部３３２に追加固定される構造であってもよい。また、第１の本体部３０Ａ、第２の本体部３３２及び彎曲構造３７は所定の製造工程により一緒に製造されたものであってもよい。

特筆に値するのは、別の実施形態において、第１の本体部３０Ａは第１の補助位置決め部３１４を、第２の本体部３３２は、第２の補助位置決め部３３２５をさらに含んでもよい点である。第１の補助位置決め部３１４は、第２の補助位置決め部３３２５と互いに係合され、第２の本体部３３２が彎曲構造３７を介して第１の本体部３０Ａに向かう方向に屈曲して第１の本体部３０Ａに配置された時、第２の補助位置決め部３３２５は、第１の補助位置決め部３１４と互いに係合するようになり、そのように、第２の本体部３３２が第１の本体部３０Ａに対する活動範囲を制限する。そのように、第２の本体部３３２が第１の本体部３０Ａに対して活動しないように確報できる。本実施形態の図面において、第１の補助位置決め部３１４を貫通孔として、第２の補助位置決め部３３２５を突出構造として挙げられるが、この例に制限されない。即ち、第１の補助位置決め部３１４及び第２の補助位置決め部３３２５としては、互いに係合できば、任意の構造であってもよい。

図４０を参照されたい。図４０は、本発明に係るキャリア装置の第１６の実施形態（断面）及び試料キャリア部材を示す分解模式図である。本実施形態と前記第１５の実施形態との最大な相違点では、第１の本体部３０Ａはさらに第１の枢着部３１５を含み、第２の本体部３３２はさらに２つの第２の枢着部３３２６を含む点である。第１の枢着部３１５と第２の枢着部３３２６とは互いに枢着されており、かつ、第２の本体部３３２が第１の本体部３０Ａに対して回転自由に設置される。具体的に、第１の本体部３０Ａの第１の枢着部３１５は円柱状構造に形成されてもよく、かつ、第１の本体部３０Ａにおける第１の枢着部３１５に近接する位置に２つの回避貫通孔３１６が形成され、各第２の枢着部３３２６は円弧状構造に構成される。なお、円弧状構造に構成される各第２の枢着部３３２６は、対応的に円柱状構造に構成される第１の枢着部３１５と互いに係合される。なかでも、第２の本体部３３２が第１の本体部３０Ａに対して回転しながら、円弧状構造に構成された第２の枢着部３３２６は貫通孔３１６を回避することにより、円柱状構造をなしている第１の枢着部３１５に対して回転する。本実施形態において、第２の本体部３３２に円柱状構造をなしている第２の枢着部３３２６を２つ有するのを例として説明するが、第２の本体部３３２が含む第２の枢着部３３２６の数は２つに限らず、実際のニーズに応じて変更できる。

また、本実施形態の図面に挙げられた第１の枢着部３１５及び第２の枢着部３３２６の形状、サイズ、数量、並びに第１の本体部３０Ａ及び第２の本体部３３２での設置位置のいずれも、一つの実施形態に過ぎず、実用上では、第１の本体部３０Ａを第２の本体部３３２に対して回転させることができる構造のいずれも、本実施形態が挙げられた第１の枢着部３１５及び第２の枢着部３３２６が適用し得る範囲に属する。勿論、特別の用途では、第１の枢着部３１５、第２の枢着部３３２６は別の部材と共働して、第１の本体部３０Ａを第２の本体部３３２に対して回転させてもよい。

上記を踏まえて、本発明に係るキャリア装置３は、粘着剤を使用しなくても、作業員が簡単に関連工具を介して、試料キャリア部材２を収容溝に配置させるのみで、試料の前処理を完成できるため、粘着剤で液体試料をキャリアし得る部材を銅グリッドに固定する既存の技術と比べて、本発明に係るキャリア装置３は、操作が簡単かつ迅速で、サンプル前処理歩留りが高い等の利点を有する。従来の技術において、作業員がサンプルの前処理を行う最中、粘着剤が試料キャリア部材２の観測凹溝２０に流れ込んでしまう問題が生じ易いため、従来の技術は、本発明に係るキャリア装置３に比べると、サンプル前処理の歩留りは低めである。また、本発明に係るキャリア装置３は、従来技術と比較して、低コストで拡張性が高いという利点もある（例えば、キャリア装置の機能を向上させるために、処理モジュール及び電気接続部材をキャリア装置に配置することができる。）

図４１を参照されたい。図４１は、本発明に係るキャリア装置の第１７の実施形態（断面）及び試料キャリア部材を示す分解模式図である。本実施形態と前記実施形態との最大な相違点では、第２の本体部３３２には、処理モジュール３５における電力供給ユニット３５１及び制御ユニット３５２が配置されると共に、電気接続部材３６の一方端は、対応的に第２の本体部３３２の第２の開口３３２２に位置する。図４３に示すように、第２の本体部３３２が第１の本体部３０Ａに一方側に配置された時、電気接続部材３６の一方端は、対応的に試料キャリア部材２に配置される的電気接続部２３と互いに接続される。そのように、電力供給ユニット３５１は試料キャリア部材２内の電子部品に作動必要な電力を給電することができる。本実施形態が挙げられた処理モジュール３５及び電気接続部材３６は、前記キャリア装置３の第１２の実施形態乃至第１６の実施形態のいずれかに適用し得る。

図４２を参照されたい。図４２は、本発明に係るキャリア装置を製造する製造方法の１つを示す模式図である。本実施形態に挙げられた製造方法は主に、第１の本体部３０Ａ及び第２の本体部３３２を含むキャリア装置３を製造する方法を説明する。前記製造方法は次のステップを含む。
銅箔基材４の表面を洗浄する表面洗浄ステップ；
図４２における一番目の図に示すように、銅箔基材４をドライエッチングすることにより、銅箔基材４の一方側に第１の凹溝４０、複数の中央凹溝４１、及び第２の凹溝４２を形成させるドライエッチングステップであって、なかでも、複数の中央凹溝４１は互いに離間して配置され、複数の中央凹溝４１が第１の凹溝４０と第２の凹溝４２との間に位置し、なかでも、第１の凹溝４０、各中央凹溝４１及び第２の凹溝４２が銅箔基材４貫通していないドライエッチングステップ；
銅箔基材４における第１の凹溝４０、複数の中央凹溝４１及び第２の凹溝４２が形成された側に、ニッケル層４３を形成させてから、ニッケル層４３に金層４４を形成させる、ニッケル－金層形成ステップ；
金層４４に、複数の中央凹溝４１の上方以外に、フォトレジスト層を形成させるフォトレジスト形成ステップ；
露光現像技術を用いて、フォトレジスト層で遮蔽されていない金層４４を除去した後、補助金層４６を厚めにめっきする露光現像・電気めっきステップ；
金層４４及び補助金層４６に保護膜を形成する保護膜接合ステップ；
銅箔基板４をエッチング液中に置き、銅箔基板４の金層４４が形成されている側とは反対側の面をエッチング液がエッチングし、ニッケル層４３の一部が外側に露出するようにする（図４２の上から下への２番目の図に示すように）ウェットエッチングステップ；
金層４４上の保護膜を除去する、保護膜除去ステップ；
上型５、及び下型６を使用して、銅箔基材４を押圧することにより、銅箔基材４におけるニッケル層４３が露出したセクションを、銅箔基材４のニッケル層４３が形成されていない一方側からニッケル層４３が形成された他方側に屈曲させ、それで、複数の中央凹溝４１の両側それぞれに、大きさ及び形状がほぼ同じとなった第１の収容溝３０１Ａ及び第２の収容溝３３２１を形成する（例えば、図４２の上から下への３番目の図に示すように）、金型成形ステップと、
中央凹溝４１に配置されたニッケル層４３と金層４４と補助金層４６のみを残して、中央凹溝４１以外のニッケル層４３と金層４４と補助金層４６を除去して、観察口３０５と第２の開口部３３２２とを形成する。なお、いて、第１の収容溝３０１Ａは、観察窓３０５中の１つを介して外部と連通可能であり、第２の収容溝３３２１は、第２の開口部３３２２中の１つを介して外部と連通可能である（図４２の上から下への４番目の図に示すように）、孔を開けるステップ；
銅箔基板４を、第１の収容溝と第２の収容溝とが互いに対向するように屈曲させ、複数の凹溝と、そこに形成されたニッケル層４３、金層４４及び補助金層４６とを、前記彎曲構造３７として機能させる、屈曲ステップ。

以上のように、ニッケル層４３の配置により、金層４４及び補助金層４６を銅箔基板４に強固に固定することができる。また、金層４４及び補助金層４６は、比較的良好な変形性を有しているので、作業員がキャリア装置の製造方法を実行する際に、第１の本体部３０Ａと第２の本体部３３２とを互いに接近または離間させることができる。

他の実施形態では、上述の製造方法は、保護膜接合ステップおよび保護膜除去ステップを除外することができる。さらに、本実施形態の図４２には、銅箔基板４の部分的な断面のみが示されている。実際には、上述した製造方法は、１つの銅箔基板４に複数のキャリアデバイス３を形成することができる。なお、実用的には、上型５および下型６の形状および大きさは、実際の試料キャリア部材２の形状および大きさに応じて調整できることに留意すべきである。本実施形態の図４２に示す担体装置の製造方法における要素の大きさ及び形状は、構成の一例に過ぎない。

図４３乃至図４５を一緒に参照されたい。図４３は本発明に係るキャリア装置の第１の本体部（または第２の本体部）を製造する方法を示す模式図である。図４４は、本発明に係るキャリア装置の第２の本体部（または第１の本体部）を製造する製造方法を示す模式図である。図４５は、図４３乃至図４４の製造方法に従って製造した２つのキャリア装置を示す模式図である。

図４３に示すように、本発明に係るキャリア装置の第１の本体部（または第２の本体部）を製造する製造方法は次のステップを含む。
銅箔基材４の表面を洗浄する表面洗浄ステップ；
図４３における一番目の図に示すように、銅箔基材４をドライエッチングすることにより、銅箔基材４の一方側に第１の凹溝４０、中央凹溝４１、及び第２の凹溝４２を形成させるドライエッチングステップであって、なかでも、中央凹溝４１が第１の凹溝４０と第２の凹溝４２との間に位置し、第１の凹溝４０、各中央凹溝４１及び第２の凹溝４２が銅箔基材４貫通していないドライエッチングステップ；
銅箔基材４における第１の凹溝４０、中央凹溝４１及び第２の凹溝４２が形成された側に、ニッケル層４３を形成させてから、ニッケル層４３に金層４４を形成させる、ニッケル－金層形成ステップ；
金層４４に、中央凹溝４１に隣接する位置、第１の凹溝４０に隣接する位置、第２の凹溝４２に隣接する位置を除いて、フォトレジスト層（図示しない）を形成させるフォトレジスト形成ステップ；
露光現像技術により、フォトレジスト層で遮蔽されていない金層４４を除去した後、補助金層４６をめっきするステップであって、補助金層４６が柱状構造である（図４３の上から下に向かって２番目の図に示すように）、露光現像・電気めっきステップ；
金層４４及び補助金層４６に保護膜（図示しない）を形成する保護膜接合ステップ；
銅箔基板４をエッチング液中に置き、銅箔基板４の金層４４が形成されている側と反対側の面をエッチング液がエッチングするようにして、ニッケル層４３の一部を外側に露出させる。ウェットエッチングステップ；
金層４４上の保護膜を除去する、保護膜除去ステップ；
上型５、及び下型６を使用して、銅箔基材４を押圧することにより、銅箔基材４におけるニッケル層４３が露出したセクションを、銅箔基材４のニッケル層４３が形成されていない一方側からニッケル層４３が形成された他方側に屈曲させ、それで、例えば、図４３の上から下への３番目の図に示すように、中央凹溝４１の両側それぞれに、大きさ及び形状がほぼ同じとなった第１の収容溝３０１Ａ及び第２の収容溝３３２１を形成する、金型成形ステップ；
補助金層４６と各補助金層４６に接続されたニッケル層４３とを除いて、他の金層４４とニッケル層４３を除去して、例えば、図４３の上から下への４番目の図に示すように、第１の収容溝３０１Ａのそれぞれが観察窓３０５を介して外部と連通可能な観察口３０５を１つ形成する、孔を開けるステップ。

図４３の上から下への４番目の図に示すように、本発明に係る複数のキャリア装置３の第１の本体部３０Ａは、上述した製造方法により製造することができる。他の実施形態では、前記製造方法は、保護膜接合ステップおよび保護膜除去ステップを除外することができる。さらに、上型５および下型６の形状や大きさは、実際の試料キャリア部材２の形状や大きさに応じて調整することができ、本実施形態の図面に限定されるものではない。

図４４に示すように、本発明に係るキャリア装置の第２の本体部（または第１の本体部）を製造する製造方法は次のステップを含む。
銅箔基材４の表面を洗浄する表面洗浄ステップ；
図４４における一番目の図に示すように、銅箔基材４をドライエッチングすることにより、銅箔基材４の一方側に、第１の凹溝４０、中央凹溝４１、第２の凹溝４２、及び４つの予備凹溝４８を形成させるドライエッチングステップであって、なかでも、中央凹溝４１が第１の凹溝４０と第２の凹溝４２との間に位置し、２つの予備凹溝４８がそれぞれ第１の凹溝４０の両側に位置し、残り２つの予備凹溝４８が第２の凹溝４２の両側に位置し、第１の凹溝４０、各中央凹溝４１、第２の凹溝４２及び各予備凹溝４８が銅箔基材４貫通していない、ドライエッチングステップ；
銅箔基材４における第１の凹溝４０、中央凹溝４１及び第２の凹溝４２が形成された側に、ニッケル層４３を形成させてから、ニッケル層４３に金層４４を形成させる、ニッケル－金層形成ステップと、
銅箔基板４をエッチング液中に置き、銅箔基板４の金層４４が形成されている側とは反対側の面をエッチング液がエッチングし、ニッケル層４３の一部が外側に露出するようにする（図４４の上から下への２番目の図に示すように）ウェットエッチングステップ；
上型５、及び下型６を使用して、銅箔基材４を押圧することにより、２つの予備凹溝４８の間に位置した銅箔基材４を、銅箔基材４のニッケル層４３が形成されていない一方側からニッケル層４３が形成された他方側に屈曲させ、それで、２つの第２の収容溝を形成する（例えば、図４４の上から下への３番目の図に示すように）、金型成形ステップ；
ニッケル層４３および金層４４の全体を除去して、例えば、図４４の上から下への４番目の図に示されているように、２つの第２の開口３３２２を形成し、なかでも、２つの第２の収容溝３３２１の各々は、第２の開口３３２２の１つを介して外部連通することができる、孔を開けるステップ。

図４４に示すように、本発明に係る複数のキャリア装置３の第２の本体部３３２は、上記の製造方法によって製造することができる。他の実施形態では、上記製造方法は、保護膜接合ステップおよび保護膜除去ステップを除外することができる。さらに、上型５および下型６の形状や大きさは、実際の試料キャリア部材２の大きさや形状に応じて調整することができ、本実施形態の図面に限定されるものではない。

図４５に示すように、上記製造方法により製造された第１の本体部３０Ａ及び第２の本体部３３２は、製品として直接包装して販売することができる。さらに、上記製造方法により製造された第１の本体部３０Ａおよび第２の本体部３３２はそれぞれ、第１の規制部（すなわち、図４５に示す補助金層４６およびニッケル層４３）および第２の制限部３３２４を対応的に有しており、第１の規制部および第２の制限部３３２４によって、作業員は、第１の本体部３０Ａと第２の本体部３３２とを互いに固定することができる。

上述したように、前記実施形態で述べたキャリア装置３は、例えば、精密機械加工や電気メッキ、半導体技術、微小電気機械技術などを用いて、実際に製造することができるが、これに限定されるものではない。さらに、キャリア装置３の本体部３０の材質は、例えば、銅、アルミニウム、ニッケル、金、白金、錫、セラミック、プラスチック、またはシリコンであってもよいが、これに限定されるものではない。また、制限素子３２の材質は、例えば、銅、アルミニウム、ニッケル、金、白金、錫、シリコン、炭化ケイ素、窒化アルミニウム、ポリマー、ゴム、アクリル等とすることができるが、これに限定されるものではない。

先の実施形態で述べたキャリア装置３は、別個に販売することができ、先の実施形態で述べたキャリア装置３は、試料キャリア部材２と一緒に販売してキャリアキットを形成することもできることに留意すべきである。換言すれば、本発明のキャリアキットは、試料キャリア部材２とキャリア装置３とを含む。

以上に開示された内容は本発明の好ましい実施形態に過ぎず、これにより本発明の特許請求の範囲を制限するものではない。そのため、本発明の明細書及び添付図面の内容に基づき為された等価の技術変形は、全て本発明の特許請求の範囲に含まれるものとする。

１電子顕微鏡デバイス
１０デバイス本体
１０１電子ビーム出射装置
１０２観測装置
１０３処理装置
１０４入力装置
１０５表示装置
１１試料ホルダー
１１１把持部
１１２棒状体
１１３搬送終端部
１１３１凹溝
１１３２貫通孔
１１４規制部材
１１４１可動部
１１４２押し当て構造
２試料キャリア部材
２０観測凹溝
２１収容チャネル
２２天面
２３電気接続部
３キャリア装置
３０本体部
３０Ａ第１の本体部
３０１収容溝
３０１Ａ第１の収容溝
３０２収容口
３０３シート状構造
３０３１天面
３０３２底面
３０４支持構造
３０４Ａ補助収容構造
３０５観察窓
３０６貫通孔
３０７貫通孔
３０８貫通孔
３０９止め構造
３１０第１の係合構造
３１０１係合溝
３１１固定穴
３１２補助位置決め構造
３１３第１の規制部
３１４第１の補助位置決め部
３１５第１の枢着部
３１６回避貫通孔
３２制限素子
３２１固定ベース
３２２可撓性構造
３２３枢着部
３２４当接部
３２５摺動部
３２６当接部
３２７第２の係合構造
３２８当接部
３２９挿入部
３３０当接部
３３１押し当て部
３３２第２の本体部
３３２１第２の収容溝
３３２２第２の開口
３３２３補助位置決め構造
３３２４第２の規制部
３３２５第２の補助位置決め部
３３２６第２の枢着部
３４軌道構造
３４１軌道路
３５処理モジュール
３５１電力供給ユニット
３５２制御ユニット
３６電気接続部材
３７彎曲構造
４銅箔基材
４０第１の凹溝
４１中間凹溝
４２第２の凹溝
４３ニッケル層
４４金層
４６補助金層
４８予備凹溝
Ｃ中心軸
ＣＰ中心軸
Ｄ長さ
Ｌ距離
Ｗ幅
ＳＰ組合せ収容溝

Claims

電子顕微鏡デバイスの試料ホルダー（ｓｐｅｃｉｍｅｎｈｏｌｄｅｒ）に固設され、試料キャリア部材をキャリアするために用いられ、本体部及び少なくとも１つの制限素子を具備する、キャリア装置であって、
前記試料キャリア部材における互いに反対面となる両側面に観測凹溝がそれぞれ凹設され、前記試料キャリア部材内に、試料を収容するための収容チャネルが配置され、前記収容チャネルの一部が各前記観測凹溝から露出し、
前記本体部の一方側に、前記試料キャリア部材を収容するための収容溝が凹設され、前記本体部はさらに、前記収容溝と互いに連通する観察窓を含み、前記試料キャリア部材が前記収容溝に収容された時、前記観測凹溝中の１つは、前記観察窓から前記本体部に露出し、
前記少なくとも１つの制限素子は前記本体部に配置され、前記収容溝に配置された前記試料キャリア部材が前記本体部に対する活動範囲を制限するために用いられる、ことを特徴とする、キャリア装置。
前記本体部は、シート状構造、及び支持構造を含み、前記シート状構造はディスク形状を呈し、かつ、前記シート状構造は、天面、及び底面を有し、前記シート状構造には、前記底面から外方へ延在した前記支持構造が形成され、前記支持構造における前記シート状構造から離れる側に前記観察窓が形成される、請求項１に記載のキャリア装置。
前記本体部における前記支持構造が形成した側と反対する側に、補助収容構造が延在して形成され、前記補助収容構造と前記支持構造とは一緒に前記収容溝を形成し、前記収容溝は、前記試料キャリア部材の全部を収容し得て、前記制限素子は可動的に前記本体部に配置され、かつ、前記制限素子は、前記補助収容構造をカバーするように操作し得て、それにより、前記収容溝に配置される前記試料キャリア部材が前記本体部に対する活動範囲を制限する、請求項２に記載のキャリア装置。
前記収容溝の深さは、前記試料キャリア部材の深さを下回り、前記試料キャリア部材が前記収容溝に配置された時、前記試料キャリア部材の一部が前記本体部から露出し、前記キャリア装置は２つの前記制限素子を含み、前記収容溝は、前記本体部に収容口を形成し、前記試料キャリア部材は、前記収容口を介して前記収容溝に収容され、前記キャリア装置の上面視において、各前記制限素子の一部が前記収容口に位置する、請求項１に記載のキャリア装置。
２つの前記制限素子は互いに対向するように配置され、かつ、前記制限素子と前記本体部とは一体成型に配置され、前記本体部は屈曲されるように操作でき、前記本体部が屈曲される過程において、２つの前記制限素子の間の距離は変化される、請求項４に記載のキャリア装置。
前記収容溝の深さは前記試料キャリア部材の高さを下回り、前記試料キャリア部材が前記収容溝に配置された時、前記試料キャリア部材の一部が前記本体部から露出し、前記本体部はＣ字形状を呈する少なくとも１つの貫通孔を有し、前記貫通孔に囲まれた前記本体部の部分は前記制限素子とされており、前記制限素子は、前記本体部に対して屈曲されるように操作されることができる、請求項１に記載のキャリア装置。
前記収容溝の深さは前記試料キャリア部材の高さを下回り、前記試料キャリア部材が前記収容溝に収容された時、前記試料キャリア部材の一部が前記本体部から露出し、前記制限素子は、前記本体部に固定され、前記制限素子における前記本体部と離間する端部は屈曲されるように操作し得て、それにより、前記収容溝に配置される前記試料キャリア部材の一方側に当接する、請求項１に記載のキャリア装置。
前記収容溝の深さは前記試料キャリア部材の高さを下回り、前記試料キャリア部材が前記収容溝に収容された時、前記試料キャリア部材の一部が前記本体部から露出し、前記キャリア装置は２つの前記制限素子を含み、２つの前記制限素子は互いに対向するように配置され、前記試料キャリア部材を前記収容溝に配置する過程において、２つの前記制限素子は前記試料キャリア部材で圧迫され、弾性変形される、請求項１に記載のキャリア装置。
前記収容溝の深さは前記試料キャリア部材の高さを下回り、前記試料キャリア部材が前記収容溝に配置された時、前記試料キャリア部材の一部が前記本体部から露出し、前記制限素子は、固定ベース、及び可撓性構造を含み、前記固定ベースが前記本体部に固定され、前記可撓性構造は前記収容溝に接近または離間する方向に向かって屈曲するように操作されることができ、前記可撓性構造の一方端は、前記収容溝における前記試料キャリア部材の一方側に当接し、それにより、前記試料キャリア部材が前記本体部に対する活動範囲を制限するために用いられる、請求項１に記載のキャリア装置。
前記収容溝の深さは前記試料キャリア部材の高さを下回り、前記試料キャリア部材が前記収容溝に配置された時、前記試料キャリア部材の一部が前記本体部から露出し、前記制限素子は、枢着部及び当接部を含み、前記枢着部は回転可能に前記本体部と連接され、前記当接部と前記枢着部とが連接され、なお、前記当接部は、前記枢着部と一緒に前記本体部に対して回転し得て、前記制限素子が操作され前記本体部に対して回転しており、かつ、前記当接部が前記収容溝の上方にある時、前記当接部は、前記収容溝に配置された前記試料キャリア部材を当接するようになり、前記枢着部は、前記本体部の法線方向と平行になった中心軸を中心として前記本体部に対して回転する、請求項１に記載のキャリア装置。
前記制限素子は、摺動部及び当接部を含み、前記本体部の天面において、前記摺動部は前記収容溝に接近または離間する方向に向かって移動し得、前記当接部と前記摺動部とが互いに連接され、前記当接部は前記摺動部と一緒に前記本体部に対して移動し得る、請求項１に記載のキャリア装置。
前記本体部は軌道構造を含み、前記制限素子の前記摺動部は可動的に前記軌道構造の軌道路に配置される、請求項１１に記載のキャリア装置。
前記本体部は止め構造をさらに含み、前記止め構造は前記軌道構造に一方端に位置し、前記止め構造は、前記摺動部が前記軌道構造から脱出することを防止するために用いられる、請求項１２に記載のキャリア装置。
前記本体部は固定穴を含み、前記制限素子は挿入部、及び当接部を含み、前記挿入部が前記固定穴に穿設され、前記当接部と前記挿入部とが連接され、前記挿入部が前記固定穴に挿入した時、前記当接部は前記収容溝に配置される前記試料キャリア部材に当接するようになる、請求項１に記載のキャリア装置。
前記制限素子は押し当て部を含み、前記押し当て部は前記本体部の天面に押し当て、前記キャリア装置が前記試料ホルダーに配置された時、前記試料ホルダーの規制部材は、前記押し当て部に押圧することにより、前記制限素子が前記本体部に対する活動範囲を制限する、請求項１４に記載のキャリア装置。
前記キャリア装置は処理モジュール、及び電気接続部材をさらに含み、前記処理モジュールは前記本体部に固設され、前記処理モジュールは電力供給ユニット、及び制御ユニットを含み、前記電力供給ユニットは電力を貯めるために用いられ、前記制御ユニットと前記電力供給ユニットとが電気的に接続され、前記電気接続部材と前記処理モジュールが互いに連接され、前記電気接続部材における前記処理モジュールから離れる端部は、前記試料キャリア部材における電気接続部と接続するために用いられ、前記試料キャリア部材が前記収容溝に固設され、かつ、前記電気接続部材と前記試料キャリア部材における前記電気接続部とが互いに接続された時、前記電力供給ユニットは前記制御ユニットに作動必要な電力を給電し得て、かつ、前記電力供給ユニットは、前記試料キャリア部材内の電子部品に作動必要な電力を給電し得る、請求項１に記載のキャリア装置。
前記本体部は第１の係合構造を有し、前記制限素子は第２の係合構造、及び当接部を含み、前記制限素子における前記第２の係合構造は、前記第１の係合構造と互いに係合でき、前記当接部と前記第２の係合構造とが互いに連接され、かつ、前記当接部は、前記収容溝における前記試料キャリア部材が前記本体部に対する活動範囲を制限するために用いられる、請求項１に記載のキャリア装置。
前記キャリア装置における前記本体部は、第１の本体部として定義され、前記キャリア装置の前記収容溝が第１の収容溝として定義され、前記制限素子は、第２の本体部を含み、前記第２の本体部の一方側に第２の収容溝が凹設され、前記第１の本体部及び前記第２の本体部の少なくとも一方に固定構造が配置され、前記固定構造は、前記第２の本体部を前記第１の本体部の一方側に固設するために用いられ、前記第２の本体部が前記第１の本体部の一方側に固設されたとき、前記第１の収容溝は前記第２の収容溝と互いに連通しながら、一緒に組合せ収容溝を形成し、前記組合せ収容溝は、前記試料キャリア部材を収容するために用いられ、前記組合せ収容溝に配置した前記試料キャリア部材は、前記第１の本体部と前記第２の本体部と一緒に保持されるようになる、請求項１に記載のキャリア装置。
前記キャリア装置の前記本体部が第１の本体部として定義され、前記キャリア装置の前記収容溝が第１の収容溝として定義され、前記制限素子は第２の本体部を含み、前記第２の本体部の一方側に第２の収容溝が凹設され、前記第１の本体部は２つの補助位置決め構造を含み、２つの前記補助位置決め構造は、前記第２の本体部を固定して、それにより、前記第２の本体部を前記第１の本体部の一方側に固設させるように用いられ、前記第２の本体部が前記第１の本体部の一方側に固設されたとき、前記第１の収容溝は前記第２の収容溝と互いに連通しながら、一緒に組合せ収容溝を形成し、前記組合せ収容溝は、前記試料キャリア部材を収容するために用いられ、前記組合せ収容溝に配置される前記試料キャリア部材は、前記第１の本体部と前記第２の本体部と一緒に保持されるようになる、請求項１に記載のキャリア装置。
前記キャリア装置の前記本体部は第１の本体部として定義され、前記キャリア装置の前記収容溝が第１の収容溝として定義され、前記制限素子は第２の本体部を含み、前記第２の本体部の一方側に第２の収容溝が凹設され、前記第２の本体部は２つの補助位置決め構造を含み、２つの前記補助位置決め構造は、前記第１の本体部を固定して、それにより、前記第２の本体部が前記第１の本体部の一方側に固設させるように用いられ、前記第２の本体部が前記第１の本体部の一方側に固設された時、前記第１の収容溝は前記第２の収容溝と互いに連通しながら、一緒に組合せ収容溝を形成し、前記組合せ収容溝は、前記試料キャリア部材を収容するために用いられ、前記組合せ収容溝に配置される前記試料キャリア部材は、前記第１の本体部と前記第２の本体部と一緒に保持されるようになる、請求項１に記載のキャリア装置。
前記キャリア装置における前記本体部が第１の本体部として定義され、前記キャリア装置における前記収容溝が第１の収容溝として定義され、前記制限素子は第２の本体部を含み、前記第２の本体部の一方側に第２の収容溝が凹設され、前記第１の本体部は少なくとも１つの第１の規制部を含み、前記第２の本体部は少なくとも１つの第２の規制部を含み、前記第１の規制部は、前記第２の規制部と互いに固定され、それにより、前記第２の本体部を前記第１の本体部の一方側に固設させ、前記第２の本体部が前記第１の本体部の一方側に固設されたとき、前記第１の収容溝は、前記第２の収容溝と互いに連通しながら、一緒に組合せ収容溝を形成し、前記組合せ収容溝は、前記試料キャリア部材を収容するために用いられ、前記組合せ収容溝に配置された前記試料キャリア部材は、前記第１の本体部と前記第２の本体部と一緒に保持されるようになる、請求項１に記載のキャリア装置。
前記キャリア装置における前記本体部が第１の本体部として定義され、前記キャリア装置における前記収容溝が第１の収容溝として定義され、前記制限素子は第２の本体部を含み、前記第２の本体部の一方側に第２の収容溝が凹設され、前記第１の本体部は第１の枢着部をさらに含み、前記第２の本体部は第２の枢着部をさらに含み、前記第１の枢着部と前記第２の枢着部とが互いに枢着され、前記第２の本体部は前記第１の本体部に対して回転し得、前記第２の本体部が前記第１の本体部の一方側に固設されたとき、前記第１の収容溝は前記第２の収容溝と互いに連通しながら、一緒に組合せ収容溝を形成し、前記組合せ収容溝は前記試料キャリア部材を収容するために用いられ、前記組合せ収容溝に配置された前記試料キャリア部材は、前記第１の本体部と前記第２の本体部と一緒に保持されるようになる、請求項１に記載のキャリア装置。
前記キャリア装置における前記本体部が第１の本体部として定義され、前記キャリア装置における前記収容溝が第１の収容溝として定義され、前記制限素子は第２の本体部を含み、前記第２の本体部の一方側に第２の収容溝が凹設され、前記キャリア装置は彎曲構造をさらに含み、前記彎曲構造と前記第１の本体部とが互いに連接され、前記彎曲構造と前記第２の本体部とが互いに連接され、前記第２の本体部は、前記彎曲構造を介して、前記第１の本体部に対して回転でき、前記第２の本体部が前記第１の本体部の一方側に固設されたとき、前記第１の収容溝は前記第２の収容溝と互いに連通しながら、一緒に組合せ収容溝を形成し、前記組合せ収容溝は前記試料キャリア部材を収容するために用いられ、前記組合せ収容溝に配置された前記試料キャリア部材は、前記第１の本体部と前記第２の本体部と一緒に保持されるようになる、請求項１に記載のキャリア装置。
前記キャリア装置における前記本体部が第１の本体部として定義され、前記キャリア装置における前記収容溝が第１の収容溝として定義され、前記制限素子は第２の本体部を含み、前記第２の本体部の一方側に第２の収容溝が凹設され、前記第２の本体部が前記第１の本体部の一方側に固設されたとき、前記第１の収容溝は前記第２の収容溝と互いに連通しながら、一緒に組合せ収容溝を形成し、前記組合せ収容溝は前記試料キャリア部材を収容するために用いられ、前記組合せ収容溝に配置された前記試料キャリア部材は、前記第１の本体部と前記第２の本体部と一緒に保持されるようになり、前記キャリア装置は処理モジュール、及び電気接続部材をさらに含み、前記処理モジュールは前記第２の本体部に固定され、前記処理モジュールは、電力供給ユニット及び制御ユニットを含み、前記電力供給ユニットは電力を貯めるために用いられ、前記制御ユニットと前記電力供給ユニットとが電気的に接続され、前記電気接続部材と前記処理モジュールとが接続され、前記電気接続部材における前記処理モジュールから離れる端部は、前記試料キャリア部材における電気接続部と接続するために用いられ、前記試料キャリア部材が前記組合せ収容溝に固定され、かつ、前記電気接続部材と前記試料キャリア部材における前記電気接続部とが互いに接続されたとき、前記電力供給ユニットは、前記制御ユニットに作動必要な電力を給電し得、かつ、前記電力供給ユニットが前記試料キャリア部材における電子部品に作動必要な電力を給電できる、請求項１に記載のキャリア装置。
試料キャリア部材と、本体部及び少なくとも１つの制限素子を含むキャリア装置とを具備する、キャリアキットであって、
前記試料キャリア部材における互いに反対面となる両側面に観測凹溝がそれぞれ凹設され、前記試料キャリア部材内に、試料を収容するための収容チャネルが配置され、前記収容チャネルの一部が各前記観測凹溝から露出し、
前記キャリア装置は、電子顕微鏡デバイスの試料ホルダー（ｓｐｅｃｉｍｅｎｈｏｌｄｅｒ）に固設され、試料キャリア部材をキャリアするために用いられ、
前記本体部の一方側に、前記試料キャリア部材を収容するための収容溝が凹設され、前記本体部はさらに、前記収容溝と互いに連通する観察窓を含み、前記試料キャリア部材が前記収容溝に収容された時、前記観測凹溝中の１つは、前記観察窓から前記本体部に露出し、
前記少なくとも１つの制限素子は前記本体部に配置され、前記収容溝に配置された前記試料キャリア部材が前記本体部に対する活動範囲を制限するために用いられる、ことを特徴とする、キャリアキット。