JP2022001851A - 欠陥検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】ワークの画像に基づいて該ワークの欠陥を検査する際に、検査精度を維持しつつ、検査時間を出来る限り短縮する。【解決手段】同一の検査領域について複数の画像を取得するカメラ10と、複数の画像のそれぞれから欠陥候補領域を抽出する欠陥候補抽出部105と、複数の画像のうち少なくとも2つの画像について、各画像の全体に対して、各欠陥候補領域に対応する領域の特徴量をそれぞれ算出する特徴量算出部106と、を備え、複数の画像は、照明条件がそれぞれ異なる画像を含み、カメラ10は、複数の画像を取得するときには、全ての画像を取得するまで、ワークWに対して相対移動しないように固定されている。【選択図】図1
Description
ここに開示された技術は、ワークの欠陥を検査する欠陥検査装置に関する技術分野に属する。
従来より、ワークの画像から該ワークの欠陥を検査する欠陥検査装置が知られている。
例えば、特許文献1には、複数の撮像条件にて試料(ワーク)の画像データを取得する検出光学系と、取得した複数の画像データを格納する画像記憶部と、各画像データのそれぞれより欠陥候補を検出する欠陥候補検出部と、画像記憶部に格納された少なくとも2つの撮像条件の画像データから、複数の画像データのいずれかで検出した欠陥候補位置とその周辺を含む部分画像を切り出す画像切り出し部と、切り出された部分画像を統合処理することで欠陥候補を分類する統合後処理部と、を備える欠陥検査装置が開示されている。
特許文献1の欠陥検査装置では、複数の検出光学系を用いて試料の画像データを取得しており、統合後処理部は、各部分画像データに対して、画像位置合わせや画像明るさずれ補正などを実施している。
特許文献1に記載の欠陥検査装置では、ワークに対する検出光学系の光軸角度が異なる複数の検出光学系を用いているため、各検出光学系で取得された各画像同士を比較する際に、画像の位置合わせ等が必要になる。特に、特許文献1に記載の欠陥検査装置は、異なる画像データに対して部分画像の切り出しが必要となるため、精度の高い位置合わせが必要となる。このため、特許文献1に記載の欠陥検査装置は、欠陥の検査に比較的長い時間を要してしまう。
単一の画像からワークの欠陥を判定するようにすれば、欠陥の検査にかかる時間を短縮することができる。しかし、この場合には、検査精度が悪化するおそれがある。
ここに開示された技術は、斯かる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするとこは、ワークの画像に基づいて該ワークの欠陥を検査する際に、検査精度を維持しつつ、検査時間を出来る限り短縮することにある。
前記課題を解決するために、ここに開示された技術では、ワークの欠陥を検査する欠陥検査装置を対象として、前記ワークにおける同一の検査領域について複数の画像を取得する画像取得装置と、前記ワークの前記検査領域に光を照射する照明装置と、前記画像取得装置により得られた複数の画像のそれぞれから欠陥候補領域を抽出する欠陥候補抽出部と、前記複数の画像のうち少なくとも2つの画像について、前記欠陥候補抽出部が抽出した前記各欠陥候補領域に対応する領域の特徴量をそれぞれ算出する特徴量算出部と、を備え、前記複数の画像は、前記照明装置による照明条件がそれぞれ異なる画像を含み、前記画像取得装置は、前記複数の画像を取得するときには、全ての画像を取得するまで、前記ワークに対して相対移動しないように固定されている、という構成とした。
この構成によると、画像取得装置は、全ての画像を取得するまで、ワークに対して相対移動しないように固定されているため、画像取得装置により取得される各画像は、座標系が固定された状態となる。このため、特徴量算出部が欠陥候補領域の特徴量を算出する際に、画像間の位置合わせが不要になる。このため、検査時間を短縮することができる。
また、照明装置による照射条件が異なる画像を用いるため、複数の画像に基づいて検査を行うため、検査精度については維持することが可能である。
したがって、検査精度を維持しつつ、検査時間を出来る限り短縮することができる。
前記欠陥検査装置において、前記特徴量算出部は、前記画像取得装置が取得した同一の検査領域に関する全ての画像について、前記欠陥候補抽出部が抽出した前記各欠陥候補領域に対応する領域の特徴量をそれぞれ算出する、という構成でもよい。
この構成によると、全ての画像について欠陥候補領域の特徴量を算出するため、検査精度を向上させることができる。
前記欠陥検査装置において、前記画像取得装置により取得される複数の画像は、前記ワークの前記検査領域の2次元画像と、該検査領域の3次元画像とを含む、という構成でもよい。
この構成によると、2次元画像に加えて、3次元画像を用いることで、欠陥候補領域の特徴量をより精度良く算出することが可能である。したがって、検査精度をより向上させることができる。
以上説明したように、ここに開示された技術によると、ワークの画像に基づいて該ワークの欠陥を検査する際に、検査精度を維持しつつ、検査時間を出来る限り短縮することができる。
以下、例示的な実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
〈装置構成〉
図1〜図3は、本実施形態に係る欠陥検査装置1を概略的に示す。この欠陥検査装置1は、例えば、ワークWとしての半導体チップ等の欠陥を検査する装置である。ここでいう「欠陥」とは、傷、凹み、不純物の付着等である。尚、図3では、後述のアーム8の記載を省略している。
図1〜図3は、本実施形態に係る欠陥検査装置1を概略的に示す。この欠陥検査装置1は、例えば、ワークWとしての半導体チップ等の欠陥を検査する装置である。ここでいう「欠陥」とは、傷、凹み、不純物の付着等である。尚、図3では、後述のアーム8の記載を省略している。
欠陥検査装置1は、箱状の筐体2を有する。筐体2内には、3つのトレー収納部4,5,6と、1つの検査部3とが設けられている。トレー収納部4,5,6は、検査前のワークWが並べられたトレーを収納する検査前トレー収納部4と、欠陥無しと判定されたワークWが並べられたトレーを収納する良品トレー収納部5と、欠陥有りと判定されたワークWが並べられたトレーを収納する欠陥品トレー収納部6とを含む。検査部3の詳細については後述する。尚、3つのトレー収納部4,5,6及び1つの検査部3の配置については、特に限定されない。
各トレー収納部4,5,6及び検査部3の上側には、各トレー収納部4,5,6及び検査部3が並ぶ方向に沿って延びるレール7が設けられている。レール7にはワークWを保持するアーム8が、該レール7に沿ってスライド可能に支持されている。アーム8の先端(ここでは下側端)には、実際にワークWを保持する保持部8aが設けられている。保持部8aは、ワークWを真空吸着により吸着保持する。保持部8aは、上下方向に移動可能に構成されている。アーム8は、レール7に沿って移動することで、保持部8aに保持されたワークWを検査部3、良品トレー収納部5若しくは欠陥品トレー収納部6に搬送する。アーム8は、後述するコントローラ100のアーム制御部101により制御される。
各トレー収納部4,5,6に収納されたトレーは、コンベヤ(図示省略)により、レール7及び上下方向の両方に直交する方向に移動可能に構成されている。このコンベヤにより、アーム8とトレーとの位置合わせができるようになっている。尚、レール7が、該レール7及び上下方向の両方に直交する方向に移動可能に構成されていて、レール7を移動させることで、アーム8とトレーとの位置合わせをする構成でもよい。
検査部3は、円筒状の壁部3aを有する。検査部3は、壁部3a内に、ワークWの画像を取得する1つのカメラ10と、ワークWにおける検査領域に光を照射する複数(ここでは4つ)の照明装置20とを備える。
本実施形態では、カメラ10は、1つの検査部3に対して1つだけ設けられている。つまり、欠陥検査装置1の検査部3は、画像取得装置として単一のカメラを備える。カメラ10は、ワークW側(ここでは上側)を向いた状態で、該ステージ11上に載置されている。カメラ10は、アーム8に保持されたワークWの下側部分を撮影する。カメラ10は、ワークWにおける同一の検査領域について複数の画像を取得する。カメラ10は、図2及び図4に示すように、コントローラ100と通信可能に構成されていて、コントローラ100の光学系制御部103により制御される。
カメラ10が載置されるステージ11は、水平面内での移動、回転、及び上下方向への移動が可能に構成されている。ステージ11の作動は、コントローラ100のステージ制御部102により制御される。
図3に示すように、複数の照明装置20は、カメラ10を囲むようにそれぞれ配置されている。各照明装置20は、可視光領域の光を照射するように構成されている。具体的には、白色光、赤色光、青色光等の波長の異なる光を、単色で照射したり、組み合わせて照射したりする。各照明装置20は、図2に示すように、それぞれ壁部3aに支持されている。各照明装置20が照射する光のワークWへの入射角度、及び光量は、コントローラ100の光学系制御部103により、それぞれ独立して調整される。すなわち、コントローラ100により、一部の照明装置20のみを作動させかつ他の照明装置20を停止させたり、全ての照明装置20を作動させかつ各照明装置20の光量をそれぞれ異ならせたりすることができる。尚、照明装置20の数や配置は、照明装置20が2つ以上設けられるのであれば、特に限定されない。特に、照明装置20は、カメラ10の周囲全体を囲むように、壁部3aの内周面の周方向全体に配置されてもよい。
欠陥検査装置1は、カメラ10により撮影された画像や、後述する欠陥検査の結果を表示することができる表示装置30を備える。表示装置30は、コントローラ100を経由して送られてきた画像等を表示する。表示装置30は、カメラ10、ステージ11、及び照明装置20を操作するためのアイコンが表示されるように構成されていてもよい。
〈制御系〉
欠陥検査装置1は、コントローラ100により作動制御される。コントローラ100は、CPUを有するプロセッサ、複数のモジュールが格納されたメモリ等を有する。コントローラ100は、カメラ10により撮影された画像に基づいて、ワークWの欠陥を検査する機能を有する。このような機能は、メモリのモジュールにソフトウェアとして格納されている。プロセッサ及びメモリの数は1つに限定されず、コントローラ100が2つ以上のプロセッサ及びメモリを有していてもよい。
欠陥検査装置1は、コントローラ100により作動制御される。コントローラ100は、CPUを有するプロセッサ、複数のモジュールが格納されたメモリ等を有する。コントローラ100は、カメラ10により撮影された画像に基づいて、ワークWの欠陥を検査する機能を有する。このような機能は、メモリのモジュールにソフトウェアとして格納されている。プロセッサ及びメモリの数は1つに限定されず、コントローラ100が2つ以上のプロセッサ及びメモリを有していてもよい。
図4に示すように、コントローラ100は、アーム8の動作を制御するアーム制御部101と、ステージ11の動作を制御するステージ制御部102と、カメラ10及び各照明装置20を制御する光学系制御部103と、カメラ10により取得された画像に所定の処理を施す画像処理部104と、カメラ10により得られた複数の画像のそれぞれから欠陥候補領域を抽出する欠陥候補抽出部105と、欠陥候補抽出部105が抽出した各欠陥候補領域に対応する領域の特徴量をそれぞれ算出する特徴量算出部106と、特徴量算出部106の算出結果に基づいてワークWの欠陥の有無を判定する欠陥判定部107と、を有する。ステージ制御部102、光学系制御部103、画像処理部104、欠陥候補抽出部105、特徴量算出部106、及び欠陥判定部107は、それぞれ、メモリに格納されたモジュールの一例である。
アーム制御部101は、アーム8の移動、保持部8aの動作等を制御する。アーム制御部101は、アーム8に設けられた位置センサ(図示省略)によりアーム8の位置に関する情報を取得する。アーム制御部101は、位置センサからの情報に基づいて、アーム8が所望の位置に位置するように、アーム8を移動させる。アーム制御部101は、ワークWが適切に搬送されるように、保持部8aの上下動及び吸着動作を制御する。
ステージ制御部102は、前述のようにステージ11の水平面内での位置、水平面内での回転位置(θ方向の位置)、及び上下方向の位置等を制御する。ステージ制御部102は、予め設定されたプログラムにしたがってステージ11を移動させてもよいし、作業者の指定によりステージ11を移動させてもよい。
光学系制御部103は、カメラ10のピント調整をしたり、各照明装置20の位置、角度、及び光量等を調整したりする。カメラ10は、光学系制御部103からの制御信号にしたがって、ワークWの画像を取得する。詳しくは後述するが、カメラ10は、光学系制御部103の制御信号に基づいて、各照明装置20による照明条件がそれぞれ異なる複数の画像を取得する。また、光学系制御部103は、ワークWの検査領域について、少なくとも1つの2次元画像と、少なくとも1つの3次元画像とを取得するように、カメラ10及び各照明装置20を制御する。
画像処理部104は、カメラ10により取得した画像に対して、シェーディング補正、暗レベル補正、ビット圧縮、座標設定等の前処理を行う。本実施形態では、画像処理部104は、同一の検査領域に対して撮影された複数の画像については、画像間の位置合わせ補正を行わない。
欠陥候補抽出部105は、画像処理部104により前処理が完了した画像に基づいて、各画像から欠陥候補領域をそれぞれ抽出する。欠陥候補抽出部105は、画像処理部104で設定された座標により設定された領域ごとに、他の領域との明暗差、濃淡差、コントラスト等を算出して欠陥候補領域を抽出する。抽出された欠陥候補領域の領域情報(領域を示す座標等)は、コントローラ100の記憶部に記憶される。
特徴量算出部106は、前期記憶部から抽出された欠陥候補領域の情報を取得する。特徴量算出部106は、同一の検査領域に対して撮影された全ての画像について、各欠陥候補領域DAに対応する領域の特徴量をそれぞれ算出する。すなわち、特徴量算出部106は、同一の検査領域が撮影されかつ欠陥候補領域が抽出されなかった画像に対しても、各欠陥候補領域に対応する領域について特徴量を算出する。特徴量は、明暗差、濃淡差、コントラスト等である。
欠陥判定部107は、特徴量算出部106が算出した特徴量に基づいてワークWの欠陥の有無を判定する。欠陥判定部107は、例えば、各特徴量に対して閾値をそれぞれ設定し、閾値を超える特徴量の数や閾値を超える特徴量の組み合わせに基づいて欠陥の有無を判定する。すなわち、欠陥判定部107は、1つの画像で欠陥候補とみなされたとしても、他の画像における対応する欠陥候補領域の特徴量からすると、欠陥とはみなせないときには、当該欠陥候補については欠陥ではないと判定することがある。欠陥判定部107が欠陥と判定する基準と、欠陥候補抽出部105が欠陥候補領域を抽出する基準とは、異なる基準であってよい。
コントローラ100は、欠陥判定部107の判定結果を表示するように表示装置30に制御信号を出力する。コントローラ100は、欠陥判定部107が欠陥ありと判定したときには、ワークWの欠陥箇所が分かるように表示装置30に表示させる。
〈欠陥検査〉
次に、欠陥検査装置1によるワークWの欠陥検査について、図5のフローチャート、及び図6〜図8を参照しながら詳細に説明する。この欠陥検査は予め記憶されたプログラムに基づいて自動で行われてもよいし、作業者の操作により行われてもよい。また、一部を作業者が操作し、その他の部分をプログラムにより自動で行ってもよい。
次に、欠陥検査装置1によるワークWの欠陥検査について、図5のフローチャート、及び図6〜図8を参照しながら詳細に説明する。この欠陥検査は予め記憶されたプログラムに基づいて自動で行われてもよいし、作業者の操作により行われてもよい。また、一部を作業者が操作し、その他の部分をプログラムにより自動で行ってもよい。
ワークWが、アーム8により検査前トレー収納部4のトレーから検査部3に搬送された後、コントローラ100は、ステップS101において、ステージ11を操作して、カメラ10の位置合わせを行う。コントローラ100は、最初の検査領域(以下、特定検査領域SA1という)がカメラ10の視野に入るように位置合わせを行う。
次に、ステップS102において、コントローラ100は、カメラ10及び各照明装置20により複数の画像を取得する。コントローラ100は、まず、各照明装置20による照明条件を変更しながら、特定検査領域SA1の2D画像を取得する。照明条件は、照明装置20の角度、光量、作動させる照明装置20の数等である。ここでは、例として、図6に示すように、照明条件の異なる2つの2次元画像(以下、第1の2D画像51、第2の2D画像52という)を取得したとする。
また、コントローラ100は、カメラ10及び各照明装置20を操作して特定検査領域SA1の3次元画像を取得する。3次元画像を取得する方法は、既知の方法を採用することができ、例えば、位相シフト法を採用することができる。ここでは、図6に示すように、1つの3次元画像(以下、3D画像53という)を取得したとする。
このステップS102において、特定検査領域SA1に関する画像である、第1の2D画像51、第2の2D画像52、及び3D画像53の全てを取得するまで、カメラ10は、ワークWに対して相対移動しない。つまり、特定検査領域SA1の検査に必要な各画像51,52,53の全てを取得するまでは、ステージ11は固定されたままである。
次いで、ステップS103において、コントローラ100は、カメラ10から送信された各画像(第1及び第2の2D画像51,52、並びに3D画像53)のデータに対して、前述したような所定の前処理を行う。
次に、ステップS104において、コントローラ100は、各画像51,52,53のそれぞれにから欠陥候補領域を抽出する。コントローラ100は、抽出した欠陥候補領域に関する領域情報を前記記憶部に記憶する。ここでは、図6に示すように、第1の2D画像51からは、2つの欠陥候補領域(以下、第1欠陥候補領域A1、第2欠陥候補領域A2という)が抽出され、第2の2D画像52からは欠陥候補領域が検出されず、3D画像53からは1つの欠陥候補領域(以下、第3欠陥候補領域C1という)が抽出されたとする。すなわち、図6(b)に示すように、第2の2D画像52には、僅かに明暗差が生じる部分があるが、欠陥候補とはみなされなかったとする。
次いで、ステップS105において、コントローラ100は、記憶した各欠陥候補領域A1,A2,C1を読み出して、カメラ10が取得した特定検査領域SA1に関する全ての画像に対して、欠陥候補抽出部105が抽出した各欠陥候補領域A1,A2,C1を当てはめる。図7には、第1の2D画像51に対して、各欠陥候補領域A1,A2,C1を当てはめた状態を示す。本実施形態では、カメラ10が単一でありかつワークWに対して相対移動しないため、各画像51,52,53の座標は共通している。このため、前処理段階で各画像51,52,53の位置合わせをせずとも各欠陥候補領域A1,A2,C1の正確な当てはめが可能となる。
続いて、ステップS106において、コントローラ100は、各欠陥候補領域A1,A2,C1に対応する領域の特徴量を、各画像51,52,53毎にそれぞれ算出する。このとき、コントローラ100は、各画像51,52,53毎に、第1検査領域SAの全体を参照して、該第1検査領域SAにおける他の領域との比較により各欠陥候補領域A1,A2,C1に対応する領域の特徴量を算出する。算出された特徴量は、図8に示すようなテーブル110にまとめられる。このテーブル110には、各欠陥候補領域A1,A2,C1の領域情報としての座標情報(特に水平面内における座標情報)、各画像51,52,53における各欠陥候補領域A1,A2,C1の特徴量(明暗差k、濃淡差m、コントラストl等)がまとめられている。
次いで、ステップS107において、コントローラ100は、テーブル110を参照して、欠陥がないか否かを判定する。コントローラ100は、欠陥がないと判定されるYESのときには、ステップS108に進む一方で、欠陥があると判定されるNOのときにはステップS109に進む。
前記ステップS108において、欠陥がないことを表示装置30により報知した後、リターンして、次の検査領域の検査を実行する準備を行う。
一方で、前記ステップS109では、コントローラ100は、表示装置30により、欠陥箇所が分かるような画像を表示して欠陥があることを報知する。その後、コントローラ100は、リターンして、次の検査領域の検査を実行する準備を行う。
そして、コントローラ100は、ワークWの全ての領域において欠陥検査が完了したときには、当該ワークWについての欠陥検査を終了する。欠陥検査の結果、欠陥無しと判定されたときには、コントローラ100は、アーム8を操作して、該ワークWを良品トレー収納部5のトレーまで搬送する。一方で、欠陥有りと判定されたときには、コントローラ100は、アーム8を操作して、該ワークWを欠陥品トレー収納部6のトレーまで搬送する。
したがって、本実施形態は、ワークWにおける同一の検査領域について複数の画像を取得するカメラ10と、ワークWの検査領域に光を照射する照明装置20と、カメラ10により得られた複数の画像のそれぞれから欠陥候補領域を抽出する欠陥候補抽出部105と、複数の画像の全てについて、欠陥候補抽出部105が抽出した各欠陥候補領域に対応する領域の特徴量をそれぞれ算出する特徴量算出部106と、を備え、複数の画像は、照明装置20による照明条件がそれぞれ異なる画像を含み、カメラ10は、複数の画像を取得するときには、全ての画像を取得するまで、ワークWに対して相対移動しないように固定されている。このように、単一のカメラ10を固定した状態で、照明条件を変更しながら同一の検査領域の画像を取得すれば、検査に用いる画像間の位置合わせ補正を行う必要がなくなる。これにより、欠陥検査の検査時間を出来る限り短くすることができる。また、照明条件の異なる複数の画像により、同一の検査領域に関する欠陥検査を行うため検査精度は高い状態を維持することができる。したがって、ワークWの画像に基づいて欠陥検査を行う際に、検査精度を維持しつつ、検査時間を出来る限り短縮することができる。
特に、本実施形態では、カメラ10により取得される複数の画像は、ワークWの検査領域の2次元画像(例えば、第1の2D画像51、第2の2D画像52)と、該検査領域の3次元画像(例えば、3D画像53)とを含む。これにより、2次元画像では検出しにくいワークWの凹みやそりを3次元画像により検出することができる。この結果、欠陥候補領域の特徴量をより精度良く算出することが可能である。したがって、検査精度をより向上させることができる。
(その他の実施形態)
ここに開示された技術は、前述の実施形態に限られるものではなく、請求の範囲の主旨を逸脱しない範囲で代用が可能である。
ここに開示された技術は、前述の実施形態に限られるものではなく、請求の範囲の主旨を逸脱しない範囲で代用が可能である。
例えば、前述の実施形態において、カメラ10は、ワークWを下側から撮影するように配置されており、照明装置20もワークWを下側から照射するように配置されていた。これに限らず、カメラ10及び照明装置20を、ワークWを上側から撮影するように配置してもよい。これは、例えば、カメラ10及び照明装置20の向きをそれぞれ下向きにして、ステージ11と離間して該ステージ11よりも上側に配置し、アーム8を用いてワークWをステージ11上に載置するように搬送すればよい。
また、前述の実施形態おいて、特定検査領域SA1の欠陥検査において、2つの2次元画像(第1の2D画像51、第2の2D画像52)と1つの3次元画像(3D画像53)とを用いて検査を行っていた。これに限らず、3つ以上の2次元画像を用いてもよく、2つ以上の3次元画像を用いてもよい。また、3次元画像を用いずに、2次元画像のみで欠陥検査を行ってもよい。しかし、ワークWの凹みやそりについても検査する必要があるときには、少なくとも1つの3次元画像を用いることが好ましい。
また、前述の実施形態において、コントローラ100には欠陥判定部107は設けられており、欠陥判定部107が各欠陥候補に基づく欠陥の判定を行っていた。これに限らず、最終的な欠陥の判定は、作業者が各画像の欠陥候補領域における特徴量を参照して行ってもよい。
前述の実施形態は単なる例示に過ぎず、本開示の範囲を限定的に解釈してはならない。本開示の範囲は請求の範囲によって定義され、請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本開示の範囲内のものである。
ここに開示された技術は、ワークの欠陥を検査する欠陥検査装置として有用である。
1 欠陥検査装置
10 カメラ(画像取得装置)
20 照明装置
51 2D画像(2次元画像)
52 2D画像(2次元画像)
53 3D画像(3次元画像)
105 欠陥候補抽出部
106 特徴量算出部
W ワーク
10 カメラ(画像取得装置)
20 照明装置
51 2D画像(2次元画像)
52 2D画像(2次元画像)
53 3D画像(3次元画像)
105 欠陥候補抽出部
106 特徴量算出部
W ワーク
Claims (3)
- ワークの欠陥を検査する欠陥検査装置であって、
前記ワークにおける同一の検査領域について複数の画像を取得する画像取得装置と、
前記ワークの前記検査領域に光を照射する照明装置と、
前記画像取得装置により得られた複数の画像のそれぞれから欠陥候補領域を抽出する欠陥候補抽出部と、
前記複数の画像のうち少なくとも2つの画像について、前記欠陥候補抽出部が抽出した前記各欠陥候補領域に対応する領域の特徴量をそれぞれ算出する特徴量算出部と、を備え、
前記複数の画像は、前記照明装置による照明条件がそれぞれ異なる画像を含み、
前記画像取得装置は、前記複数の画像を取得するときには、全ての画像を取得するまで、前記ワークに対して相対移動しないように固定されていることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1に記載の欠陥検査装置において、
前記特徴量算出部は、前記画像取得装置が取得した同一の検査領域に関する全ての画像について、前記欠陥候補抽出部が抽出した前記各欠陥候補領域に対応する領域の特徴量をそれぞれ算出するよう構成されていることを特徴とする欠陥検査装置。 - 請求項1又は2に記載の欠陥検査装置において、
前記画像取得装置により取得される複数の画像は、前記ワークの前記検査領域の2次元画像と、該検査領域の3次元画像とを含むことを特徴とする欠陥検査装置。
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