JP2021508181A - 真空溶接炉の搬送機構 - Google Patents

Abstract

真空溶接炉の搬送機構は、搬送バー（２４）と、溶接室（１８）の下側に設置された昇降機構、並進機構及び開閉機構とを含み、搬送バー（２４）は、対称に２本設置され、且つ搬送バー（２４）の中央部が溶接室（１８）内に設置され、開閉機構は、２本の搬送バー（２４）に同時に連結し、その２本の搬送バー（２４）を開閉させるように駆動し、並進機構は、開閉機構に連結され、排出端に近接又は離間する方向に沿ってその開閉機構を移動させるように駆動し、昇降機構は、並進機構に連結され、その並進機構の昇降を駆動し、各搬送バー（２４）のいずれにも複数の支持部が設けられ、溶接室（１８）内の溶接台（２０）に、支持部に１対１に対応する退避口が設置される。この搬送機構は、搬送バーの三次元空間内での移動を可能にし、動作が柔軟であり、搬送バー上の支持部がシートの下側に移動し、シートの両端が溶接台から伸出し変形することを回避する。【選択図】図１

Description

真空溶接炉の搬送機構であり、真空溶接の技術分野に属する。

ダイオード、トランジスタ、サイリスタ又はブリッジ等の電子部品を製造する際、トップシートとボトムシートとの間にチップを半田付けする必要があり、該プロセスは積層と呼ばれる。積層の具体的な作業プロセスは、以下の通りである。まず、ボトムシートの上側に半田ペーストを塗布し、チップをボトムシートの具体的な位置に置き、その後、下側に半田ペーストが塗布されたトップシートをボトムシートの上側に積み重ね、さらに、溶接金型のトップカバーを溶接金型の底板に覆い、最後に、溶接金型を溶接炉内に送り込んで溶接する。シートの溶接は、真空炉内で行う必要がある。

出願番号２０１４２０８２０４１８．２の中国実用新案特許は、連続型の真空溶接炉を開示し、使用過程において以下のような技術的課題がある。

（１）伝動機構がシートを搬送しやすくするために、シートの両端は、支持台から伸出しなければならず、伝動機構は、シート両端の伸出部を介してシートを持ち上げて搬送する。加熱後のシートが柔らかいため、シート両端の伸出する部分は、下へ曲がる。よって、シート両端のチップの位置とシートの接点との位置合わせができず、大量の不良品が発生させてしまう。

（２）溶接後のシートの温度が高すぎ、冷却速度が遅く、真空処理装置から搬出されたシートは、酸化されやすい。また、機械テーブルから搬出されたシートの温度は依然として高すぎるため、作業者がシートを直接処理することができない。

（３）伝動機構は、シートを搬送する際にシートの両端でシートを支持するが、加熱されたシートが軟らかく、両端でシートを支持する際にシートが変形し伝動機構から離脱しやすいという問題があり、動作が不安定であった。

本発明が解決しようとする技術的課題は、従来技術の問題点を解決し、シート全体を溶接台に載置可能にすることによりシートの変形を防止することができ、動作の柔軟性に優れた真空溶接炉の搬送機構を提供することである。

本発明がその技術的課題を解決するために用いる技術的解決手段としての真空溶接炉の搬送機構は、真空溶接炉の搬送機構であって、搬送バーと、溶接室の下側に設置された昇降機構、並進機構及び開閉機構とを含み、搬送バーは、対称に２本設置され、且つその中央部が溶接室内に設置され、開閉機構は、２本の搬送バーに同時に連結し、その２本の搬送バーを開閉させるように駆動し、並進機構は、開閉機構に連結され、排出端に近接又は離間する方向に沿ってその開閉機構を移動させるように駆動し、昇降機構が並進機構に連結され、その並進機構の昇降を駆動し、各搬送バーのいずれにも複数の支持部が設けられ、溶接室内の溶接台に、支持部に１対１に対応する退避口が設置されることを特徴とする。

好ましくは、前記溶接室の両端のいずれにもエンドカバーによって封止され、各エンドカバーの両側のいずれにも搬送口が対称に設置され、搬送バーは、搬送口を通し開閉機構に連結され、エンドカバーの底部と溶接台とが間隔を置いて設置される。

好ましくは、各前記エンドカバーの両側にバッフル板取付溝が対称に設置され、バッフル板取付溝の位置する平面が搬送バーの中心線に垂直であり、バッフル板取付溝内にバッフル板が摺動するように取り付けられ、バッフル板が搬送バーに摺動し且つ密封するように連結され、バッフル板が対応側のエンドカバーに連係され溶接室の端部を密封する。

好ましくは、前記溶接室の下側に搬送バーと１対１対応する搬送取付アームが設けられ、搬送取付アームの両端が対応側の搬送バーの両端に連結され、開閉機構が２つの搬送取付アームに連結される。

好ましくは、前記開閉機構は、水平に設置された開閉案内板と開閉動力モジュールとを含み、開閉案内板は、２本の搬送バーの間に設置され、開閉案内板の両側のいずれにも排出端に近接する方向に沿って徐々に内側への傾斜状の開閉案内部が設けられ、各搬送バーの下側のいずれにも開閉案内部に貼り合わせられる開閉案内輪が取り付けられ、２本の搬送バーの間に引張状態の開閉バネが設けられ、開閉動力モジュールは、開閉案内板に連結され、排出端に近接又は離間する方向に沿ってその開閉案内板を移動させるように駆動する。

好ましくは、前記昇降機構は、昇降案内ブロックと搬送昇降シリンダとを含み、昇降案内ブロックの上側に排出端に近接する方向に沿って徐々に下への傾斜状の昇降案内部が設置され、並進機構の下側に昇降案内部に貼り合わせられる昇降案内輪が取り付けられ、搬送昇降シリンダのピストンロッドが昇降案内ブロックに連結され、排出端に近接又は離間する方向に沿ってその昇降案内ブロックを移動させるように駆動する。

好ましくは、前記溶接台の供給端に近接する側が加熱区域であり、前記溶接台の排出端に近接する側が冷却区域であり、溶接室又は炉蓋にシールドガス導入管が設置される。

好ましくは、前記溶接台は、複数の加熱板と複数の冷却板とを含み、加熱領域は、複数の加熱板をつなぎ合わせて形成され、冷却領域は、複数の冷却板をつなぎ合わせて形成される。

好ましくは、各前記加熱板の両側のいずれにも電気加熱管が対称に設置され、加熱板の中央部にセンサ取付穴が設置され、センサ取付穴が２つの電気加熱管の間に設置された止まり穴であり、センサ取付穴に温度センサが取り付けられる。

好ましくは、前記冷却板の両側に給水通路が対称に設置され、冷却板の少なくとも一端に２つの前記給水通路に連通する排水通路が設置される。

好ましくは、前記溶接室の下側に貯液カバーが設置され、貯液カバーの底部の両側は、側部から中央部に徐々に下への傾斜状であり、貯液カバー底部に貯液カバー排出管が設けられる。

好ましくは、前記各支持部と搬送機構との間のいずれにも伸縮モジュールが設置され、伸縮モジュールの中心線が前記シートの移動方向に平行し、前記伸縮モジュールの伸縮部が前記シートの中央部に向かって設置され、前記溶接台に複数のステーションが設置され、各ステーションの両側のいずれも支持部と連係する複数の退避口が対称に設置される。

従来技術と比べると、本発明の有益な効果は以下のとおりである。

１、本真空溶接炉の搬送機構の開閉機構は、２本の搬送バーを開閉するように駆動可能であり、昇降機構は、搬送バーを昇降させるように駆動し、並進機構は、搬送バーを並進させるように駆動し、搬送バーの三次元空間内での移動を可能にし、動作は、柔軟であり、シートの様々な位置での支持のための条件を作り出し、溶接台に退避口が設置され、搬送バー上の支持部がシートの下側に移動することで、溶接台の上側に完全に位置するシートを持ち上げることができ、シートの両端が溶接台から伸出し変形することを回避することができる。

２、搬送バーは搬送口を通過し溶接室から伸出し、開閉機構に連結される。溶接室内のシートを搬送することを実現するだけでなく、シートを溶接室内に搬送し、さらに溶接室内の溶接されたシートを溶接室外に搬送することができ、溶接過程において炉蓋を開けることなくシートの搬入及び搬出を実現することができる。

３、バッフル板は搬送バーの移動とともにバッフル板取付溝内にて移動し、それにより早急に溶接室を封止することができ、シールドガスの漏洩を回避し、シールドガスの消費を低減し、さらに溶接コストを低減できる。

４、開閉機構は溶接室の下側の搬送取付アームに連結され、搬送バーを連結しやすくする。

５、開閉動力モジュールは、開閉案内板を移動させるように駆動し、開閉案内板の開閉案内部は、開閉案内輪によって２本の搬送バーを逆方向へ同期しつつ移動させるように駆動し、開閉バネにより開閉案内輪に開閉案内板の開閉案内部を常に圧着させることができ、さらに２本の搬送バーの開閉を実現し、シートを搬送しやすくし、さらに搬送バーが負圧吸引モジュールの動作を妨げることを回避することができ、搬送バーのストロークが安定し、エンドカバーを破損することがない。

６、搬送昇降シリンダは、昇降案内ブロックを並進させるように駆動し、昇降案内ブロックの昇降案内部は、昇降案内輪によって並進機構を昇降させるように駆動し、さらに２本の搬送バーの同期しつつの昇降を実現し、搬送バーの昇降動作が安定するように保証し、且つ昇降のストロークが特定され、溶接室を破損することがない。

７、真空溶接炉制御システム及びその制御方法は、加熱領域を設置しシートを加熱することによって、シートを負圧チャンバ内で高速溶接させる。溶接室内にシールドガスが充填されるため、加熱過程においてシートが酸素と反応することを回避することができる。冷却領域は、シートを冷却することができるため、溶接室から搬出されるシートの温度を低減し、シートの酸化を回避するだけでなく、溶接されたシートを早急に処理するのに適する。また、シートの処理過程においてシートの温度が高すぎて変性しやすくなるため処理過程にシートが変形し、不良率が増加するという問題が発生することはない。シートは、加熱領域又は冷却領域と直接接触し、熱伝導の方式により加熱及び冷却を実現し、放射を用いる加熱方式に比べて、加熱速度を大幅に向上させ、シートを迅速に昇温及び降温させ、エネルギーの消費を低減する。

８、加熱領域は、複数の加熱板をつなぎ合わせて形成され、冷却領域は、複数の冷却板をつなぎ合わせて形成され、溶接室内に複数のシートを同時に収容することができ、加熱領域は、同時に複数のシートを加熱し、シートを迅速に溶接温度に達するようにし、溶接速度を向上させる。

９、各加熱板のいずれにも電気加熱管及び温度センサが設置されるため、各加熱板は独立した温度制御を実現する。それによりシートの搬送過程において徐々にシートを加熱することができ、加熱が速すぎるためシートが変形することを回避し、さらに加熱が速すぎて半田ペーストが融解して流出することにより、不良品が発生することを回避する。

１０、各冷却板のいずれにも給水通路と排水通路とが設置され、徐々にシートを降温させることを実現し、降温が速すぎるため凝固後の半田ペーストに亀裂が発生し、チップとシートとの接触が不良となり、不良品が発生することを回避し、シートの変形も回避できる。

１１、貯液カバーは貯液カバー排出管を介して冷却領域において凝集し形成された液体を排出することができる。

１２、ステーションの両側のいずれにも退避口が設置され、支持部が伸縮モジュールに取り付けられ、伸縮モジュールが支持部の位置を調節可能であるため、シートの両側からシートを支持することができ、シートが加熱により柔らかくなり、シートの両端でシートを支持する際にシートが変形して搬送機構から離脱することを回避し、本溶接炉は、軟質のワークの溶接にも対応でき、適応範囲が広く、動作が安定し、しかも、溶接されたワークが変形することを回避し、溶接品質を向上させ、不良品の発生を低減することができる。

炉蓋を取り外した後の真空溶接炉の斜視模式図である。

図１におけるＡ部の部分拡大図である。

電動プッシュロッドの取付模式図である。

搬送機構を示す斜視模式図である。

搬送機構の正面模式図である。

真空溶接炉の斜視模式図である。

炉蓋の斜視模式図である。

炉蓋の正面断面模式図である。

図８におけるＢ部の部分拡大図である。

吸気板の正面断面模式図である。

溶接台の斜視模式図である。

溶接台の右側面模式図である。

加熱板の平面断面模式図である。

冷却板の平面断面模式図である。

溶接室取付具の正面断面模式図である。

取付ピンの正面断面模式図である。

負圧吸引モジュールの正面模式図である。

フラックス浄化モジュールの斜視模式図である。

１：ラック、２：搬送機構、３：炉蓋シリンダ、４：炉蓋、５：主窒素ガス導入管、６：案内カバー、７：浄化導入管、８：浄化排気管、９：負圧吸引モジュール、１０：接続アーム、１１：スイングアーム、１２：取付アーム、１３：連結棒、１４：炉蓋取付板、１４０１：取付口、１５：ガスカバー、１６：副窒素ガス導入管、１７：吸気板、１７０１：吸気口、１７０２：噴気孔、１８：溶接室、１９：排出台、１９０１：排出台退避口、２０：溶接台、２１：供給台、２１０１：供給台退避口、２２：取付板、２３：調節バネ、２４：搬送バー、２５：密封カバー、２６：エンドカバー、２６０１：搬送口、２６０２：バッフル板取付溝、２７：バッフル板、２８：冷却板、２８０１：冷却板退避口、２８０２：給水通路、２８０３：排水通路、２８０４：冷却板取付孔、２９：給水管、３０：加熱板、３００１：加熱板退避口、３００２：電気加熱管取付孔、３００３：センサ取付孔、３００４：加熱板取付孔、３１：電気加熱管、３２：温度センサ、３３：貯液カバー、３３０１：貯液カバー排出管、３４：負圧吸引取付枠、３５：負圧吸引昇降シリンダ、３６：密封板、３７：連結管、３８：連結板、３９：取付ピン、３９０１：ねじ孔、４０：溶接室取付部材、４００１：固定部、４００２：段付孔、４１：並進板、４２：開閉取付棒、４３：開閉案内板、４４：開閉案内輪、４５：搬送取付アーム、４６：搬送昇降シリンダ、４７：昇降案内枠、４８：昇降案内ブロック、４９：並進枠、５０：並進枠ガイドレール、５１：並進板ガイドレール、５２：搬送取付板、５３：並進モータ、５４：並進モータ取付枠、５５：搬送移動枠、５６：開閉移動枠、５７：開閉モータ取付枠、５８：開閉モータ、５９：浄化モジュール、６０：給油箱、６９：電動プッシュロッド

図１〜図１８は本発明における好適な実施例であり、以下、図１〜図１８に合わせて本発明をさらに説明する。

真空溶接炉の搬送機構は、搬送バーと、溶接室１８の下側に設置された昇降機構、並進機構及び開閉機構とを含み、搬送バー２４が対称に２本配置され、且つ搬送バー２４の中央部が溶接室１８内に配置され、開閉機構が同時に２本の搬送バー２４に連結し、その２本の搬送バー２４を開閉させるように駆動し、並進機構が昇降機構に連結され、排出端に近接又は離間する方向に沿ってその昇降機構を移動させるように駆動し、昇降機構が並進機構に連結され、その並進機構を昇降させるように駆動し、各搬送バー２４のいずれにも複数の支持部が設けられ、溶接室１８内の溶接台２０に、支持部に１対１に対応する退避口が設置される。本真空溶接炉の搬送機構の開閉機構は、２本の搬送バー２４を開閉するように駆動可能であり、昇降機構は、搬送バー２４を昇降させるように駆動可能であり、並進機構は、搬送バー２４を並進させるように駆動させ、搬送バー２４の三次元空間内での移動を可能にし、動作は、柔軟であり、シートの様々な位置での支持のための条件を作り出し、溶接台２０に退避口が設置され、搬送バー２４上の支持部がシートの下側に移動することで、溶接台２０の上側に完全に位置するシートを持ち上げることができ、シートの両端が溶接台２０から伸出して変形することを回避することができる。

以下、具体的な実施例に合わせて本発明をさらに説明するが、当業者であれば、ここで図面に合わせた詳細な説明はより良く解釈するためのものであり、本発明の構造は必ずこれらの限られた実施例の範囲を超えるものであり、一部の同等の代替手段又は一般的な手段について本明細書はその説明を省略するが、依然として本発明の保護範囲に属することを理解すべきである。

〔実施例１〕

図１〜２に示すように、溶接室１８は、ラック１の上側に取付けられ、溶接室１８の両端は、エンドカバー２６によって封止され、且つ各エンドカバー２６の両側のいずれにも搬送口２６０１が設置され、搬送バー２４は、溶接室１８の長手方向に沿って水平に設置され、且つ２本の搬送バー２４は、溶接室１８の両側に対称に設置され、各搬送バー２４の両端は、いずれもエンドカバー２６の搬送口２６０１を通過し伸出する。溶接室１８の下側に搬送取付アーム４５が水平に設置され、搬送取付アーム４５は、搬送バー２４と１対１対応し、搬送取付アーム４５は、対応側の搬送バー２４の下側に設置され、各搬送バー２４の両端のいずれも取付板２２によって対応側の搬送取付アーム４５に連結され、取付板２２の上端は、搬送バー２４に連結され、取付板２２の下端は、搬送取付アーム４５に連結され、昇降機構は、ラック１に取り付けられ、並進機構は、昇降機構に取り付けられ、開閉機構は、並進機構に取り付けられ、且つ開閉機構は、同時に２本の搬送バー２４に連結され、それにより２本の搬送バー２４の開閉、昇降及び並進動作を実現し、シートを搬送しやすくする。

各搬送バー２４の一端と取付板２２との間には調節バネ２３が設置され、調節バネ２３は、搬送バー２４に外嵌され、搬送バー２４の調節バネ２３に近接する一端は、取付板２２に摺動するように接続連結され、調節バネ２３は、取付板２２の外側に設置され、調節バネ２３の一端は、取付板２２に支持され、他端は、搬送バー２４の端部に支持され、それにより軸方向において搬送バー２４の位置を調節しやすくなる。調節バネ２３は、さらに緩衝作用を果たし、搬送過程に発生する衝撃荷重によってシートを落下させることを回避する。

溶接室１８両端のエンドカバー２６の下側と溶接台２０の上側は、間隔をおいて設置され、それにより溶接室１８の両端に供給端と排出端とを形成し、且つ加熱領域に近接する一端は、溶接室１８の供給端であり、冷却領域に近接する一端は、溶接室１８の排出端である。各エンドカバー２６の両端のいずれにも垂直のバッフル板取付溝２６０２が設置され、バッフル板取付溝２６０２内にバッフル板２７が摺動するように取り付けられ、バッフル板２７は、搬送バー２４に摺動するように連結され、且つバッフル板２７と搬送バー２４との間は密閉するように設置され、バッフル板２７は、搬送口２６０１を封止し、それにより搬送バー２４がシートを搬送する過程においてバッフル板２７は搬送バー２４とともにエンドカバー２６の位置する平面内で移動し、バッフル板２７に常に搬送口２６０１を封止させることができ、窒素ガスの漏洩を回避し、さらに搬送口２６０１の大きさに対する制限を解除し、さらに搬送バー２４の移動軌跡を設置しやすくすることができる。バッフル板２７は、さらにエンドカバー２６と溶接台２０との間の隙間、即ち供給端又は排出端を封止し、搬送バー２４がシートを持ち上げる時に供給端又は排出端を開放することができ、シートの溶接室１８への搬入又は溶接室１８からの搬出に便利であり、窒素ガスの漏洩を回避する。各搬送バー２４の両端のいずれにも密封カバー２５が取り付けられ、各搬送バー２４は密封カバー２５によってバッフル板２７に摺動且つ密閉するように連結される。

図３に示すように、各ステーションの両側の搬送バー２４に、搬送バー２４の内側に設置された複数の保持部が設けられており、且つ各保持部と搬送バー２４との間に、シリンダ又は電動プッシュロッド６９、本実施形態では電動プッシュロッド６９である伸縮モジュールが配置される。電動プッシュロッド６９のピストンロッドは、支持部取付ロッドを介して支持部に連結され、支持部をシートの中央付近まで伸出させ、シートを持ち上げる際の安定化を図っている。電動プッシュロッド６９は、水平に設置され、支持部は、電動プッシュロッド６９の伸縮部の下側に取付けされ、各ステーションの両側の支持部がステーションの中央部に向けて設置される。

図４〜５に示すように、溶接室１８の下側に並進板４１が間隔をおいて設置され、搬送取付アーム４５は、並進板４１と溶接室１８との間に設置され、搬送取付アーム４５は、取付座によって並進板４１に摺動するように取り付けられ、並進機構は、並進板４１に連結され、シートの搬送方向に沿って並進板４１を並進させるように駆動する。並進板４１の下側に水平の搬送取付板５２が間隔をおいて設置され、搬送取付板５２の上部の両側に並進板ガイドレール５１が対称に設置され、並進板ガイドレール５１は、搬送バー２４の中心線と平行に設置され、並進板４１は、下側に設置された並進板スライダによって並進板ガイドレール５１に摺動するように取り付けられ、搬送取付板５２は、昇降機構に取り付けられ、昇降機構とともに昇降する。

昇降機構は、水平に設置された並進枠４９と、昇降案内ブロック４８と、昇降案内枠４７と、搬送昇降シリンダ４６とを含み、ラック１に水平の並進枠ガイドレール５０が取り付けられ、並進枠ガイドレール５０は、並進板ガイドレール５１と平行に設置され、並進枠４９は、下側の並進枠スライダによって並進枠ガイドレール５０に摺動するように取り付けられる。搬送昇降シリンダ４６は、ラック１に水平に取り付けられ、且つ搬送昇降シリンダ４６のピストンロッドは、並進枠４９の方向に向けて設置され、搬送昇降シリンダ４６のピストンロッドは、並進枠４９に連結され、シートの搬送方向に沿い並進枠４９を移動させるように駆動する。並進枠４９の両側のいずれにも昇降案内ブロック４８が対称に設置され、昇降案内ブロック４８の上側に昇降案内部が設置され、昇降案内部は、搬送昇降シリンダ４６に近接する方向に沿い徐々に上への傾斜状であり、昇降案内枠４７は、昇降案内ブロック４８と１対１対応し、昇降案内枠４７の下側に昇降案内輪が回転可能に取り付けられ、昇降案内輪は、対応側の昇降案内ブロック４８の昇降案内部に貼り合わせられ、搬送取付板５２の昇降を実現する。ラック１に垂直の昇降ガイドレールが設置され、昇降取付板５２は、昇降スライダによって昇降ガイドレールに摺動するように取り付けられ、搬送取付板５２を案内する。

並進機構は、並進モータ取付枠５４と、搬送移動枠５５と、並進モータ５３とを含み、並進モータ取付枠５４は、搬送取付板５２の下側に設置され、並進モータ５３は、並進モータ取付枠５４に取り付けられ、並進モータ５３の出力軸は、水平に設置され、シートの搬送方向と平行に設置される。並進モータ５３に同軸に並進ねじが取り付けられ、並進ねじは、並進モータ５３とともに同期しつつ回転し、搬送移動枠５５は、並進モータ取付枠５４に摺動するように取り付けられ、搬送移動枠５５に並進ねじに連係する並進ナットが設置される。搬送移動枠５５の上側は、搬送取付板５２を通過した後に並進板４１に連結され、並進板４１を同期しつつ移動させるように駆動し、搬送移動枠５５と搬送取付板５２とが摺動するように設置される。

開閉機構は、開閉取付棒４２と、開閉案内板４３と、開閉移動枠５６と、開閉モータ取付枠５７と、開閉モータ移動枠５６と、開閉動力モジュールとを含み、当該実施例において、開閉動力モジュールは、開閉モータ５８である。開閉モータ取付枠５７は、搬送取付板５２の下側に設置され、開閉モータ取付枠５７の上側は、並進板４１に連結され、並進板４１とともに同期しつつ移動し、開閉モータ取付枠５７は、搬送取付板５２に摺動するように連結される。開閉モータ５８は、開閉モータ取付枠５７に取り付けられる。開閉移動枠５６は、開閉モータ取付枠５７に摺動するように取り付けられ、開閉モータ５８の出力軸に開閉ねじが同軸に取り付けられ、開閉移動枠５６に開閉ねじに連係する開閉ナットが設置され、開閉モータ５８は、ねじナットのペアによってシートの搬送方向に沿い開閉移動枠５６を並進させるように駆動する。並進板４１の上側に取付棒スライダが設置され、開閉取付棒４２は、取付棒スライダに摺動するように取り付けられ、取付棒は、シートの搬送方向に沿い設置され、開閉移動枠５６の上側は、開閉取付棒４２に連結され、開閉取付棒４２を同期しつつ移動させるように駆動し、開閉移動枠５６は、搬送取付板５２に摺動するように連結される。開閉取付棒４２の両端のいずれにも開閉案内板４３が設置され、開閉案内板４３の両側のいずれにも開閉案内部が設置され、開閉案内部は、シートの搬送方向に沿い徐々に内側への傾斜状であり、各搬送取付アーム４５の両端のいずれにも開閉案内輪４４が取り付けられ、２つの搬送取付アーム４５の間にさらに開閉案内輪４４と開閉案内板４３の開閉案内部とを貼り合わせする開閉バネが設置される。並進板４１にさらに取付アームガイドレールが取り付けられ、取付アームガイドレールは、開閉取付棒４２と垂直に設置され、搬送取付アーム４５は、開閉スライダによって取付アームガイドレールに摺動するように取り付けられる。

図６に示すように、本発明は、溶接室１８と、炉蓋４と、前記搬送機構２と、炉蓋４に設置された負圧吸引モジュール９とを備え、炉蓋４は、溶接室１８の上側に蓋合わせ溶接室１８と炉蓋４との間に溶接チャンバが形成され、溶接室１８の下部に溶接台２０が設けられ、負圧吸引モジュール９の底部と溶接台２０とが囲み負圧チャンバを密閉し、溶接台２０に複数のステーションが設置され、それぞれのステーションの両側の搬送機構２のいずれに支持部が設置され、支持部と搬送機構２との間に、伸縮モジュールが設置され、伸縮モジュールの中心線は、シートの移動方向に平行であり、伸縮モジュールの伸縮部は、シートの中央部に向けて設置され、各ステーションの両側に、支持部に連係した退避口が対称に複数設置される真空溶接炉を提供する。本発明の適用範囲が広い真空溶接炉は、各々のステーションの両側のいずれにも退避口が設置され、支持部が伸縮モジュールに取り付けられ、伸縮モジュールが支持部の位置を調節可能であり、それによりシートの両側でシートを支持することができ、シートが熱で柔らかくなり、シートの両端でシートを支持する際にシートが変形し搬送機構から離脱することがなく、本溶接炉は、軟質のワークの溶接にも対応することができ、適応範囲が広く、動作が安定し、しかも、溶接されたワークが変形することを回避し、溶接品質を向上させ、不良品の発生を低減することができる。

溶接台２０の供給端に近接する側は、加熱領域であり、溶接台２０の排出端に近接する側は、冷却領域であり、負圧吸引モジュール９は、加熱領域の冷却領域に近接する一端の上側に設置され、炉蓋４に昇降可能に取付けされ、負圧吸引モジュール９の底部と加熱領域とが囲み密閉した負圧チャンバを形成し、シールドガス導入管は、溶接室１８又は炉蓋４に設置される。本真空溶接炉の加熱領域は、シートを加熱することにより、シートを負圧チャンバ内で迅速に溶接させることができる。溶接室１８内にシールドガスが充填されるため、加熱過程にシートが酸素と反応することを回避することができる。冷却領域は、シートを冷却することができるため、溶接室１８から搬出されるシートの温度を低減し、シートの酸化を回避するだけでなく、溶接されたシートを早急に処理するのに適する。また、シートの処理過程にシートの温度が高すぎて変性しやすいため処理過程にシートが変形し、不良率が増加するという問題が発生することはない。シートは、加熱領域又は冷却領域と直接接触し、熱伝導の方式により加熱及び冷却を実現し、放射を用いる加熱方式に比べて、加熱速度を大幅に向上させ、シートを迅速に昇温及び降温させ、エネルギーの消費を低減する。

溶接室１８は、上側へ開口する直方体筐体であり、溶接室１８の両端は、それぞれ供給端と排出端であり、溶接室１８は、ラック１の上側に取り付けられ、搬送機構２は、溶接室１８の下側のラック１に取付けられる。炉蓋４は、溶接室１８の上側に取り付けられ、溶接室１８の上側を封止する。負圧吸引モジュール９は、炉蓋４に設置され、且つ負圧吸引モジュール９の下端が炉蓋４を通過した後に溶接室１８内に伸び、負圧吸引モジュール９は、冷却領域と加熱領域との間に設置される。負圧吸引モジュール９は、複数設置されてもよく、それにより溶接速度を向上させ、１つ設置されてもよい。

ラック１の両端に連結アーム１０が対称に設置され、連結アーム１０の上端は、上へ伸出し、且つ連結アーム１０の上端は、溶接室１８よりも高く設置される。炉蓋４の両端に取付アーム１２が対称に設置され、取付アーム１２は、水平に設置され、各取付アーム１２の一端は、炉蓋４に固定するように連結され、他端は連結アーム１０の上端に回転可能に連結される。炉蓋４を開閉させるように駆動する炉蓋シリンダ３が炉蓋４にさらに連結され、炉蓋シリンダ３のピストンロッドは、連結棒１３及びスイングアーム１１を介して取付アーム１２に連結され、取付アーム１２の上端は、取付アーム１２の中央部に回転可能に連結され、取付アーム１２の下端は、連結棒１３の中央部に回転可能に連結され、連結棒１３の一端は、ラック１又は連結アーム１０に回転可能に連結され、他端は、炉蓋シリンダ３のピストンロッドに回転可能に連結され、それにより炉蓋４の自動的な開放と閉鎖とを実現する。

図７に示すように、炉蓋４は、上側の炉蓋カバーと下側の炉蓋取付板１４とを含み、炉蓋カバーは、下側へ開口する直方体筐体であり、炉蓋取付板１４は、直方体板であり、炉蓋取付板１４は、炉蓋カバーの下側に設置され、炉蓋カバーの下側の開口を封止する。取付アーム１２及び負圧吸引モジュール９は、いずれも炉蓋取付板１４に取付けられる。

本実施形態では、シールドガスは、窒素ガスであり、シールドガス導入管は、主窒素ガス導入管５を含み、炉蓋取付板１４の両端のいずれにも主窒素ガス導入管５が設置され、主窒素ガス導入管５の上端は、炉蓋カバーから伸出し、各主窒素ガス導入管５の上側のいずれにも案内カバー６が設置され、案内カバー６は、対応側の主窒素ガス導入管５の上側に間隔をおいて設置され、主窒素ガス導入管５の上端と間隔をおいて設置され、案内カバー６は、円筒状であり、案内カバー６と主窒素ガス導入管５とのいずれも垂直に設置され、案内カバー６は、炉蓋カバーの上側に設置され、且つ案内カバー６と主窒素ガス導入管５とが同軸に設置され、案内カバー６は、主窒素ガス導入管５と連結される導管に対して案内することができる。各主窒素ガス導入管５と炉蓋取付板１４との間のいずれにもガスカバー１５が設置され、ガスカバー１５の上部の左右両側はいずれも下から上へ徐々に内側への傾斜状であり、ガスカバー１５は、炉蓋取付板１４と炉蓋カバーとの間に設置され、ガスカバー１５の下側は、開口するように設置され、ガスカバー１５の下側は、炉蓋取付板１４に固定するように連結され、且つ炉蓋４の下側にガスカバー１５と溶接室１８とを連通させるための長孔が設置され、それによりシールドガスを均一に溶接室１８内に噴入することができる。

炉蓋取付板１４の上側にさらに浄化導入管７と浄化排気管８とが設置され、浄化導入管７と浄化排気管８とのいずれもガスカバー１５によって溶接室１８と連通し、浄化導入管７と浄化排気管８とは、負圧吸引モジュール９の同じ側に設置され、それにより窒素ガスの温度が低すぎ溶接室１８内でフラックスが液化され、シートの温度を低くし、さらにシートの溶接時間を延長させることを回避することができる。浄化排気管８は、浄化モジュール５９の吸気端と連通し、それにより半田ペースト内のフラックスが加熱されて発生するフラックスヒュームを除去することができ、フラックスヒュームがシートの溶接に影響を与えることを回避することができる。

図８〜図１０に示すように、炉蓋取付板１４の中央部の両側にさらに副窒素ガス導入管１６が対称に設置される。副窒素ガス導入管１６は、炉蓋取付板１４の上側に設置され、副窒素ガス導入管１６の排気端は、溶接室１８と連通し、それにより溶接室１８内に窒素ガスをより均一に噴入することができ、溶接室１８内の窒素ガスが完全に排出されることを保証し、シートが加熱された後に酸素と反応することを回避する。炉蓋取付板１４の中央部の下側に吸気板１７が設置され、吸気板１７は、長方形板であり、吸気板１７の上側に開口が上向きである吸気口１７０１が設置され、吸気口１７０１は、吸気板１７の長手方向に沿って設置された長孔であり、炉蓋取付板１４の各側のいずれにも２つの吸気板１７が設置され、且つ２つの吸気板１７は、炉蓋取付板１４の長手方向に沿って順に配列され、各吸気板１７のいずれにも長手方向に沿って複数の噴気孔１７０２が間隔をおいて設置され、それにより窒素ガスが均一に溶接室１８内に噴入されることを保証することができる。炉蓋取付板１４の下側に内側へ凹んだ取付口１４０１が設置され、取付口１４０１は、吸気板１７と１対１対応し、吸気板１７の上部は、炉蓋取付板１４の取付口１４０１内に取り付けられ、且つ各吸気板１７の吸気口１７０１は、いずれも炉蓋取付板１４の取付口１４０１と囲み吸気チャンバを形成し、副窒素ガス導入管１６の排気端は、吸気チャンバと連通し、それにより吸気チャンバ内に窒素ガスを噴入しやすくなる。

図１１に示すように、溶接台２０は、複数の加熱板３０と複数の冷却板２８とを含み、複数の加熱板３０は、溶接室１８の長手方向に沿って順に設置され、加熱領域を形成し、複数の冷却板２８は、溶接室１８の長手方向に沿って順に設置され、冷却領域を形成し、且つ冷却領域は、排出端に近接するように設置される。負圧吸引モジュール９は、冷却領域に近接する一端の加熱板３０の上側に設置される。

各加熱板３０の両端に加熱板退避口３００１が対称に設置され、各冷却板２８の両端に冷却板退避口２８０１が対称に設置され、支持部は、加熱板退避口３００１又は冷却板退避口２８０１内に伸び、加熱板３０又は冷却板２８に水平に置かれたシートを持ち上げ、シート全体を冷却板２８又は加熱板３０に載置させることができ、シートが加熱され柔らかくなり、シートが変形することを回避し、負圧吸引モジュール９と加熱板３０とを密閉しやすくする。

各加熱板３０の両側のいずれにも電気加熱管３１が対称に取り付けられ、２つの電気加熱管３１の間の加熱板３０に温度センサ３２が設置され、それにより各加熱板３０に対する独立した制御を実現し、加熱板３０の排出端に近接する方向に沿い温度を徐々に増加させ、徐々にシートを加熱し、加熱が速すぎるため半田ペーストが滴下することを回避する。各冷却板２８のいずれにも給水管２９と排水管とが連結され、冷却板２８は、冷却水によって冷却板２８上のシートを降温し、且つ排出端に近接する方向に沿い、冷却板２８の温度は徐々に低減し、それにより徐々にシートを降温し、降温が速すぎるため凝固した半田ペーストが亀裂することを回避する。

溶接室１８の供給端の外側に供給台２１が設置され、供給台２１の両端のいずれにも支持部に連係する供給台退避口２１０１が設置され、シートを供給台２１に載置するだけで、搬送機構２は、シートを溶接室１８内の溶接台２０に搬送することができる。溶接室１８の排出端に排出台１９が設置され、排出台１９の両端のいずれにも支持部に連係する排出台退避口１９０１が設置され、搬送機構２は、冷却後のシートを排出台１９に搬送し、それにより当該真空溶接炉の連続的な溶接を実現し、炉蓋４を開けることなく、排出と供給とを実現することができる。

図１２に示すように、溶接室１８の底部に貯液カバー３３が設置され、貯液カバー３３の両側は、側部から中央部へ徐々に下への傾斜状であり、且つ貯液カバー３３の中央部の両端に貯液カバー排出管３３０１が対称に設置され、貯液カバー３３は、冷却領域に液化して形成された水滴を収集し、溶接室１８の外に排出することができ、溶接室１８内にシートの溶接を妨げることを回避する。

図１３に示すように、加熱板３０は、長方形板であり、加熱板３０のコーナー部に加熱板取付孔３００４が設置される。加熱板３０の両側に電気加熱管取付孔３００２が対称に設置され、電気加熱管取付孔３００２は、水平に設置された貫通孔であり、各電気加熱管取付孔３００２内のいずれにも電気加熱管３１が取り付けられ、それにより均一に加熱することを保証することができる。加熱板３０の中央部にさらに水平のセンサ取付孔３００３が設置され、センサ取付孔３００３は電気加熱管取付孔３００２と平行に設置された止まり穴であり、且つセンサ取付孔３００３の長さは、加熱板３０の長さの半分であり、温度センサ３２は、センサ取付孔３００３内に取り付けられ、それによりリアルタイムに加熱板３０の温度を検出することができる。

図１４に示すように、冷却板２８は、長さと幅がそれぞれ加熱板３０の長さと幅に等しい長方形板であり、冷却板２８のコーナー部に冷却板取付孔２８０４が設置され、冷却板２８の両側に水平の給水通路２８０２が対称に設置され、給水通路２８０２は、冷却板２８の長手方向に沿って設置され、且つ冷却板２８の一端に水平の排水通路２８０３が設置され、排水通路２８０３は、２つの給水通路２８０２を連通し、それにより冷却板２８全体の温度を均一にし、冷却効果に優れる。排水通路２８０３と給水通路２８０２との両端のいずれにも連結部が設置され、給水管２９と排水管とを連結しやすくする。

図１５〜図１６に示すように、溶接室１８は、ラック１の上側に設置され、溶接室１８は、溶接室取付部材４０によってラック１に固定するように連結される。溶接室１８の両側には、複数の溶接室取付部材４０が対称に設置され、溶接室取付部材４０の下側の両端に下へ突出した固定部４００１が対称に設置され、固定部４００１に貫通孔が設置され、溶接室取付部材４０は、固定部４００１の貫通孔内に設置されたボルトによってラック１に固定するように連結される。溶接室取付部材４０の両端に段付孔４００２が対称に設置され、段付孔４００２の上部の直径は、下部の直径より大きく、各段付孔４００２のいずれにも取付ピン３９が取り付けられ、取付ピン３９は、円筒状であり、且つ取付ピン３９の下端にねじ孔３９０１が同軸設置され、ねじ孔３９０１は、取付ピン３９に設置された止まり穴であり、取付ピン３９の直径は、段付孔４００２上部の直径に等しく、取付ピン３９の下端は、段付孔４００２の上部内に伸び、ボルトによって溶接室取付部材４０に固定するように連結される。加熱板３０の加熱板取付孔３００４は、取付ピン３９の上部に外嵌され、加熱板３０の取り付けを完了させ、冷却板２８の冷却板取付孔２８０４は、取付ピン３９の上部に外嵌され、冷却板２８の取り付けを完了させ、着脱しやすくなる。

図１７に示すように、負圧吸引モジュール９は、負圧吸引取付枠３４と、密封板３６と、連結管３７と、負圧吸引昇降シリンダ３５とを含み、負圧吸引取付枠３４は、炉蓋取付板１４の上側に取り付けられ、負圧吸引昇降シリンダ３５は、負圧吸引取付枠３４に取り付けられ、負圧吸引昇降シリンダ３５のピストンロッドは、下へ垂直に設置され、制御モジュールは、負圧吸引昇降シリンダ３５の下への移動を制御し、密封板３６は、炉蓋取付板１４の下側に設置され、密封板３６は、水平に設置されており、密封板３６の底部は、内側へ凹み、密封板３６の底面の密封板３６を取り囲む外縁にシールリングが設置され、密封板３６と加熱板３０とが囲み負圧チャンバを形成し、溶接されるシートは、負圧チャンバ内に設置され、負圧吸引昇降シリンダ３５のピストンロッドに水平の連結板３８が取り付けられ、連結板３８は、炉蓋取付板１４の上側に設置され、連結管３７は、連結板３８と密封板３６との間に設置され、連結管３７は、炉蓋取付板１４に摺動且つ密封するように連結され、連結管３７の下端は、負圧チャンバと連通し、連結管３７の上端に負圧吸引管が連結される。

図１８に示すように、浄化モジュール５９は、浄化箱と、浄化箱内に設置されたコイル及びストレーナとを含み、浄化箱は、直方体筐体であり、浄化箱の一側に浄化箱導入管が連結され、浄化箱の他側に浄化箱排気管が連結されており、浄化箱排気管と溶接室１８との間にファンが設置される。コイルは、浄化箱内に設置され、コイルにさらに給油箱６０が連結され、給油箱６０の排油口は、循環ポンプを介してコイルの一端と連通し、コイルの他端は、給油箱６０と連通して、冷却油の循環を実現する。浄化箱内にさらにコイルに連結されたフィンが設置され、それにより窒素ガスとより速く熱交換を行い、窒素ガスの温度を低減することができる。浄化箱の浄化箱排気管に近接する側にストレーナ取付箱が設置され、浄化箱の排気管は、ストレーナ取付箱によって浄化箱と連通し、ストレーナは、ストレーナ取付箱内に垂直に設置され、冷却後の窒素ガスは、ストレーナを通過した後に浄化箱排気管を介して排出され、再び溶接室１８内に輸送され、ストレーナは、液化後のフラックスを濾過し、それにより窒素ガス内のフラックスヒュームを除去するのに用いられる。

浄化箱の下側にさらにフラックス回収バレルが設置され、浄化箱の下側は、フラックス回収バレルに近接する一端が他端より低い傾斜状であり、それにより降温し液化された液体をフラックス回収バレル内に流れ込むようにすることができる。

上記の真空溶接炉の溶接方法であって、以下のステップを含む。

１）炉蓋４は、溶接室１８を封止し、シールドガス導入管は、溶接室１８内にシールドガスを充填する。

溶接室１８に、主窒素ガス導入管５および副窒素ガス導入管１６を介して窒素ガスが充填され、溶接室１８全体が窒素ガスで充満され、溶接室１８内の空気を完全に排出する。同時に、電気加熱管３１が加熱板３０を加熱し、給水管２９が冷却板２８内に冷却水を通水する。

２）搬送機構２は、シートを１枚ずつ負圧チャンバ内に搬送し、加熱領域は、搬送中のシートを段階的に加熱する。

シートを供給台２１に載置し、昇降機構が搬送バー２４を下へ移動させるように駆動し、開閉機構が下へシートに近接する位置に２本の搬送バー２４を移動させるように駆動し、供給台２１上の供給台退避口２１０１と位置合わせ、昇降機構が再び搬送バー２４を下へ移動ように駆動し、そして支持部を供給台退避口２１０１内に位置するように駆動し、続いて電動プッシュロッド６９が支持部を移動させるように駆動し、支持部をシートの下側に移動させるように駆動する。昇降機構は、搬送バー２４を上へ移動させるように駆動し、シートの持ち上げを完了させ、同時に供給端のバッフル板２７により供給端をオープンにさせ、並進機構が溶接室１８の排出端に近接する方向へ搬送バー２４を移動させるように駆動し、シートを溶接室１８内の加熱板３０に搬送する。搬送機構２は、逐次に搬送し、それによりシートを各加熱板３０により加熱した後、負圧吸引モジュール９の真下の加熱板３０に入る。

負圧吸引昇降シリンダ３５が密封板３６を下へ移動させるように駆動し、密封板３６とその真下の加熱板３０とが囲み密封した負圧チャンバを形成し、同時に負圧吸引管が負圧チャンバ内のガスを抽出し、負圧チャンバ内を負圧ないし真空状態に維持し、半田ペースト内の気泡が溢れ出るようにし、溶接の品質を保証する。溶接完了後に負圧吸引昇降シリンダ３５は、密封板３６を上昇させるように駆動する。

３）搬送機構２は、負圧チャンバ内で溶接が完了したシートを排出端に搬送し、冷却領域はシートを徐冷する。

搬送機構２は、引き続き、排出端に向けてシートを搬送し、順次に各冷却板２８により冷却した後に排出台１９上に移動し、シートの溶接を完了する。

〔実施例２〕

実施例２が実施例１と異なる点は、搬送バー２４に支持部を直接取り付け、加熱板３０の両端に加熱板退避口３００１を設置し、冷却板２８の両端に冷却板退避口２８０１を設置し、支持部がシートの両端でシートを支持する点である。

以上の説明は、本発明の好ましい実施例に過ぎず、本発明に対するその他の形式による制限ではなく、如何なる当業者であっても、以上に開示された技術的内容により同等に変更された同等の実施例に変更又は変形することができる。但し、本発明の技術的解決手段の内容から逸脱することなく、本発明と均等の範囲で以上の実施例に対して行われる如何なる簡単な修正、同等の変更及び変形は、依然として本発明の技術的解決手段の保護範囲に属する。

Claims (14)

1. 真空溶接炉の搬送機構であって、搬送バー（２４）と、溶接室（１８）の下側に設置された開閉機構、並進機構、及び昇降機構とを含み、搬送バー（２４）は、対称に２本設置され、且つ搬送バー（２４）の中央部が溶接室（１８）内に設置され、開閉機構は、２本の搬送バー（２４）に同時に連結し、その２本の搬送バー（２４）を開閉させるように駆動し、並進機構は、開閉機構に連結され、排出端に近接又は離間する方向に沿ってその開閉機構を移動させるように駆動し、昇降機構は、並進機構に連結され、その並進機構を昇降させるように駆動し、各搬送バー（２４）のいずれにも複数の支持部が設けられ、溶接室（１８）内の溶接台（２０）に、支持部に１対１に対応する退避口が設置される、ことを特徴とする真空溶接炉の搬送機構。
2. 前記溶接室（１８）の両端のいずれにもエンドカバー（２６）によって封止され、各エンドカバー（２６）の両側のいずれにも搬送口（２６０１）が対称に設置され、搬送バー（２４）は、搬送口（２６０１）を通し開閉機構に連結され、エンドカバー（２６）の底部と溶接台（２０）とが間隔をおいて設置される、ことを特徴とする請求項１に記載の真空溶接炉の搬送機構。
3. 各前記エンドカバー（２６）の両側にバッフル板取付溝（２６０２）が対称に設置され、バッフル板取付溝（２６０２）の位置する平面が搬送バー（２４）の中心線に垂直であり、バッフル板取付溝（２６０２）内にバッフル板（２７）が摺動するように取り付けられ、バッフル板（２７）が搬送バー（２４）に摺動し且つ密封するように連結され、バッフル板（２７）が対応側のエンドカバー（２６）に連係され溶接室（１８）の端部を密封する、ことを特徴とする請求項２に記載の真空溶接炉の搬送機構。
4. 前記溶接室（１８）の下側に前記搬送バー（２４）と１対１対応する搬送取付アーム（４５）が設けられ、前記搬送取付アーム（４５）の両端が対応側の搬送バー（２４）の両端に連結され、前記開閉機構が２つの搬送取付アーム（４５）に連結される、ことを特徴とする請求項１に記載の真空溶接炉の搬送機構。
5. 前記溶接室（１８）の下側に前記搬送バー（２４）と１対１対応する搬送取付アーム（４５）が設けられ、前記搬送取付アーム（４５）の両端が対応側の搬送バー（２４）の両端に連結され、前記開閉機構が２つの搬送取付アーム（４５）に連結される、ことを特徴とする請求項２に記載の真空溶接炉の搬送機構。
6. 前記溶接室（１８）の下側に前記搬送バー（２４）と１対１対応する搬送取付アーム（４５）が設けられ、前記搬送取付アーム（４５）の両端が対応側の搬送バー（２４）の両端に連結され、前記開閉機構が２つの搬送取付アーム（４５）に連結される、ことを特徴とする請求項３に記載の真空溶接炉の搬送機構。
7. 前記開閉機構は、水平に設置された開閉案内板（４３）と開閉動力モジュールとを含み、開閉案内板（４３）は、２本の搬送バー（２４）の間に設置され、開閉案内板（４３）の両側のいずれにも排出端に近接する方向に沿って徐々に内側への傾斜状の開閉案内部が設けられ、各搬送バー（２４）の下側のいずれにも開閉案内部に貼り合わせられる開閉案内輪（４４）が取り付けられ、２本の搬送バー（２４）の間に引張状態の開閉バネが設けられ、開閉動力モジュールは、開閉案内板（４３）に連結され、それを排出端に近接又は離間する方向に沿って移動させるように駆動する、ことを特徴とする請求項１に記載の真空溶接炉の搬送機構。
8. 前記昇降機構は、昇降案内ブロック（４８）と搬送昇降シリンダ（４６）とを含み、昇降案内ブロック（４８）の上側に排出端に近接する方向に沿って徐々に下への傾斜状の昇降案内部が設置され、並進機構の下側に昇降案内部に貼り合わせられる昇降案内輪が取り付けられ、搬送昇降シリンダ（４６）のピストンロッドが昇降案内ブロック（４８）に連結され、排出端に近接又は離間する方向に沿ってその昇降案内ブロック（４８）を移動させるように駆動する、ことを特徴とする請求項１に記載の真空溶接炉の搬送機構。
9. 前記溶接台（２０）の供給端に近接する側が加熱領域であり、溶接台（２０）の排出端に近接する側が冷却領域であり、前記溶接室又は炉蓋（４）にシールドガス導入管が設置される、ことを特徴とする請求項１に記載の真空溶接炉の搬送機構。
10. 前記溶接台（２０）は、複数の加熱板（３０）と複数の冷却板（２８）とを含み、加熱領域は、複数の加熱板（３０）をつなぎ合わせて形成され、冷却領域は、複数の冷却板をつなぎ合わせて形成される、ことを特徴とする請求項９に記載の真空溶接炉の搬送機構。
11. 各前記加熱板（３０）の両側のいずれにも電気加熱管（３１）が対称に設置され、前記加熱板（３０）の中央部にセンサ取り付穴（３００３）が設置され、センサ取付穴（３００３）が２つの前記電気加熱管（３１）の間に設置された止まり穴であり、前記センサ取付穴（３００３）に温度センサ（３２）が取り付けられる、ことを特徴とする請求項１０に記載の真空溶接炉の搬送機構。
12. 前記冷却板（２８）の両側に給水通路（２８０２）が対称に設置され、冷却板（２８）の少なくとも一端に２つの給水通路（２８０２）に連通する排水通路（２８０３）が設置される、ことを特徴とする請求項１０に記載の真空溶接炉の搬送機構。
13. 溶接室（１８）の下側に貯液カバー（３３）が設置され、貯液カバー（３３）の底部の両側は、側部から中央部に徐々に下への傾斜状であり、貯液カバー（３３）底部に貯液カバー排出管（３３０１）が設けられる、ことを特徴とする請求項１に記載の真空溶接炉の搬送機構。
14. 各支持部と搬送機構（２）との間のいずれにも伸縮モジュールが設置され、伸縮モジュールの中心線がシートの移動方向に平行し、伸縮モジュールの伸縮部がシートの中央部に向かって設置され、溶接台（２０）に複数のステーションが設置され、各ステーションの両側のいずれも支持部と連係する複数の退避口が対称に設置される、ことを特徴とする請求項１に記載の真空溶接炉の搬送機構。

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