JP2021502553A

JP2021502553A - 凍結媒体に対する保護機能を備える圧力センサシステム

Info

Publication number: JP2021502553A
Application number: JP2020524872A
Authority: JP
Inventors: クリスティアンヴォールゲムート，; ベンヤミンボール，
Original assignee: TDK Electronics AG
Current assignee: TDK Electronics AG
Priority date: 2017-11-08
Filing date: 2018-11-07
Publication date: 2021-01-28
Anticipated expiration: 2038-11-07
Also published as: DE102017126121A1; CN111492216A; CN111492216B; US11561146B2; JP6938786B2; WO2019092035A1; EP3707485A1; US20200340874A1; EP3707485B1

Abstract

凍結媒体に対する保護機能を備える圧力センサシステム（１）は、可撓性の板（１１）を備える圧力センサ素子（１０）と、その上に前記圧力センサ素子（１０）が配置された支持要素（２０）と、を含んでいる。前記圧力センサ素子（１０）は、ピエゾ抵抗型のセンサ素子として形成されている。前記支持要素（２０）内には前記媒体を前記可撓性の板（１１）に供給するための流路（３０）が延びている。前記流路（３０）は少なくとも１つのサブセクション（３１）を備え、その長手方向は、前記可撓性の板（１１）の下で垂直方向に延びている。前記流路（３０）の前記少なくとも１つのサブセクション（３１）の流路断面は、前記流路の前記サブセクション内の如何なる部位においても、前記可撓性の板（１１）の面積よりも小さくない。【選択図】図１

Description

本発明は、凍結媒体による破壊から保護されている圧力センサシステムに関する。

例えば水又は尿素溶液のような水溶液中の圧力を測定するために、ピエゾ抵抗型の圧力センサ素子を備える圧力センサシステムを使用することができる。そのような圧力センサ素子は、可撓性の板の形態の膜を含んでいる。圧力センサ素子は、例えば上述した水溶液のような媒体が膜／可撓性の板に向かって流れるように、流路に連結されている。媒体の圧力に応じて、可撓性の板は歪む。圧力センサ素子の接続接点では、媒体の圧力又は可撓性の板の曲げに応じて、抵抗の変化を測定することができる。

上述したピエゾ抵抗型の圧力センサシステムにおいて、可撓性の板又は膜は、薄い層として形成することができる。圧力センサシステムが低温の環境にある場合、可撓性の板／膜に連結された流路内の媒体が凍結するリスクが存在する。その際、凍結媒体が薄膜層を破裂させ又は損傷を与え、その結果、圧力センサシステムが破壊されることは阻止されなければならない。

本発明の関心事は、圧力センサシステムの圧力センサ素子が凍結媒体による破壊から保護されている圧力センサシステムを提供することである。

凍結媒体に対する保護機能を備える圧力センサシステムの一実施形態が、請求項１において提示されている。

圧力センサシステムは、可撓性の板を備える圧力センサ素子を含んでおり、当該圧力センサ素子はピエゾ抵抗型のセンサ素子として形成されている。圧力センサシステムは、更に、その上に圧力センサ素子が配置された支持要素を含んでいる。支持要素内には、媒体を圧力センサ素子の可撓性の板に供給するための流路が延びている。流路は、少なくとも１つのサブセクションを備え、その長手方向は、圧力センサ素子の可撓性の板の下で垂直方向に延びている。したがって、媒体は、可撓性の板の直下に配置された流路のサブセクションから、可撓性の板に向かって垂直方向に流れる。流路のこの少なくとも１つのサブセクションの流路断面は、流路のサブセクション内の如何なる部位においても、圧力センサ素子の可撓性の板の面積よりも小さくない。

これは、流路の少なくとも１つのサブセクションが、流路のサブセクション内の如何なる部位においても、アンダーカットを有していないことを意味する。流路の少なくとも１つのサブセクションの如何なる部位においても、圧力センサ素子の可撓性の板の投影面内の流路内に位置する、例えば材料突出部の形態の狭窄部は、流路内に突出していない。特に、凍結時に膨張する媒体を支持することができる対抗支持体（Gegenlager）は、流路内には存在しない。したがって、流路はアンダーカットを有していない。

したがって、媒体が凍結した場合、媒体が可撓性の板に対して押し付けられる圧力は、流路内には構築され得ない。その代わりに、流路は、媒体の凍結の結果として流路内に構築される圧力が、圧力センサ素子に対して逆方向に、即ち圧力センサ素子から離れるように転向されるよう、形成されている。

圧力センサ素子の下に配置された流路の少なくとも１つのサブセクションは、例えば、圧力センサ素子の可撓性の板の方向とは逆の長手方向において、広がることはできるが、決して狭まることはできない。決定的なのは、圧力センサ素子の可撓性の板／膜の表面に平行な、流路の少なくとも１つのサブセクションの平面内に位置する材料突出部が、可撓性の板の下にある流路のサブセクション内に存在しないことである。

更なる実施形態によれば、流路の少なくとも１つのサブセクションの下で、圧縮可能な要素を支持要素のキャビティ内に組み込むことができる。媒体が、垂直方向において圧力センサ素子の可撓性の板の下の少なくとも１つのサブセクション内で凍結すると、膨張する媒体は圧縮可能な要素に対して押し付けられる。圧縮可能な要素は、例えば独立気泡発泡体、特にシリコン発泡体であることができる。圧縮可能な要素は、凍結保護手段として作用し、その圧縮性に起因して、媒体凍結時の氷形成の際に、流路の少なくとも１つのサブセクションの下で強固な対抗支持体が生じることを阻止する。

媒体が凍結した場合に、可撓性の板の下で圧力センサ素子の可撓性の板に垂直方向に作用する氷柱の高さを最小限に抑えるために、媒体の供給は、支持要素内において屈曲した流路を介して行うことができる。圧力センサシステムの一実施形態の変形例によれば、媒体供給流路の一部は、圧力センサのハウジング内に位置することができる。

提案された圧力センサシステムは、オイルが充填されたシステムを意図的に省略することによって、部材及びプロセスステップの低減を可能とし、それにもかかわらず、圧力センサ素子は、凍結に強いセンサシステムに一体化され得る。別の利点は、圧力センサシステムの構造が、自動車用途に典型的なハウジングへの一体化を可能にすることである。

本発明が、以下において、本発明の実施例を示す図面を参照して詳細に説明される。

圧力センサシステムの全体図を断面図で示している。図１の圧力センサシステム一部の拡大詳細図を示している。

凍結媒体に対する保護機能を備える圧力センサシステム１の様々な構成要素が、図１及び２を参照して詳細に説明される。圧力センサシステム１は、可撓性の板又は膜１１を備える圧力センサ素子１０を含んでいる。圧力センサ素子１０は、ピエゾ抵抗型のセンサ素子として形成されている。曲げ板１１に圧力が作用すると曲げ板の変形が生じ、その結果として、ピエゾ抵抗型の抵抗器の測定可能な抵抗の変化が生じる。圧力センサシステムは、更に、その上に圧力センサ素子１０が配置された支持要素２０を含んでいる。

支持要素２０内には、センサ素子１０への、特に可撓性の板１１への媒体供給を保障するために、流路３０が延びている。流路３０は少なくとも１つのサブセクション３１を備え、その長手方向は、可撓性の板１１の下で垂直方向に延びている。したがって、少なくとも１つのサブセクション３１内を流れる媒体は、可撓性の板１１に向かって垂直に流れることができる。圧力センサシステムは、流路３０の少なくとも１つのサブセクション３１の流路断面が、このサブセクション３１内の如何なる部位においても、可撓性の板１１の面積よりも小さくないように構築されている。

したがって、媒体通路の形状は、感圧素子１０の領域において、感応構造／曲げ板１１に至るまでの流路３０のサブセクション３１にアンダーカットが存在しないように選択されている。即ち、流路３０の少なくとも１つのサブセクション３１の如何なる部位においても、流路内で可撓性の板１１の投影面内にある材料突出部が流路内へ突出することはない。図１及び２に基づいて認識され得るように、例えば、流路３０の少なくとも１つのサブセクション３１内には、流路の側壁を起点として可撓性の板１１まである距離を置いた流路のサブセクション３１のある部位において、流路内へ及び可撓性の板への垂直な投影において、可撓性の板の下まで延びる材料突出部がない。

特に、垂直方向において可撓性の板１１の下に位置する流路の少なくとも１つのサブセクション３１内には、アンダーカットとして流路内に突出する構造要素がない。それにより、流路のサブセクション３１内の垂直方向において曲げ板１１の下に、強固な対抗支持体（Widerlager）が存在することが防止され、当該対抗支持体には、凍結媒体が体積膨張の際に支持され、したがって可撓性の板１１に対して押し付けられ得る。したがって、アンダーカットのない流路３０の構成により、凍結媒体が可撓性の板１１に損傷を与え、場合によっては、その台座から飛散することが防止され得る。

圧力センサシステムは、第１の領域４１と、それに隣接する第２の領域４２とを有するキャビティ４０を備えている。キャビティの第１の領域４１及び第２の領域４２は、支持要素の内側で延びている。キャビティ４０は、支持要素２０の内側において、支持要素２０の内壁２１によって取り囲まれている。図１及び２に示された圧力センサシステムの実施形態によれば、キャビティの第１の領域４１は、圧力センサ素子１０の可撓性の板１１の方向に漏斗状に先細りになっている。流路３０の少なくとも１つのサブセクション３１は、キャビティ４０のこの第１の領域４１によって形成される。その結果、流路３０の少なくとも１つのサブセクション３１も、圧力センサ素子の可撓性の板１１の方向に漏斗状に先細りになっている。その代わりに、キャビティ４０の第２の領域４２は円筒状に形成されている。

キャビティ４０の第１及び第２の領域４１，４２の長手方向は、支持要素２０内において、圧力センサ素子１０の可撓性の板１１の表面に対して垂直に延びている。図１及び２に基づいて認識され得るように、キャビティ４０の第１の領域４１の断面積は、キャビティ４０の第１の領域４１の長手方向に沿った各位置において、少なくとも圧力センサ素子１０の可撓性の板１１の面積と同じ大きさである。キャビティ４０の第２の領域４２の断面積は、キャビティ４０の第２の領域４２の長手方向に沿った各位置において、圧力センサ素子１０の可撓性の板１１の面積よりも大きい。したがって、キャビティ４０は、曲げ板１１の直下の領域を起点として、離れて位置する領域の方向に更に大きく広がっている。

１つの可能な実施形態によれば、圧力センサシステム１は、キャビティ４０の第２の領域４２内に配置された圧縮可能な要素５０を含んでいる。圧縮可能な要素５０は、媒体の凍結時に媒体によって圧縮されるように形成されている。圧縮可能な要素は、特に、独立気泡発泡体として、例えばシリコン発泡体として形成することができる。キャビティ４０内、特にキャビティ４０の第２の領域４２内に、圧縮可能な要素５０を一体化することにより、媒体の凍結時にキャビティ４０内又は流路３０内における強固な対抗支持体を阻止することができる。

図１及び２に示された圧力センサシステム１の実施形態によれば、圧縮可能な要素５０は円筒状に形成されている。圧縮可能な要素５０は、キャビティの第１の領域４１の下のキャビティ４０の第２の領域４２内に配置されている。したがって、圧縮可能な要素５０により、感応素子１０の下の領域の終端が形成される。特に、圧縮可能な要素５０は、キャビティ４０の漏斗状の第１の領域４１又は流路３０の漏斗状のサブセクション３１の下で中央に配置することができる。

キャビティ４０の第２の領域４２の断面積は、キャビティの漏斗状の第１の領域４１の開口の断面積よりも大きい。更に、圧縮可能な要素５０の断面積は、少なくともキャビティ４０の漏斗状の第１の領域４１の開口の断面積と同じ大きさである。具体的には、図１及び２に示された圧力センサシステムの実施形態では、圧縮可能な要素５０の断面積は、キャビティ４０の漏斗状の第１の領域４１の開口の断面積よりも大きい。したがって、キャビティ４０の第１の領域４１は、圧縮可能な要素５０によって閉鎖されている。図１及び２に基づいて更に認識され得るように、圧縮可能な要素５０の断面積は、キャビティ４０の第２の領域４２の断面積よりも小さい。

流路３０は、支持要素２０内に、流路の少なくとも１つのサブセクション３１に隣接する少なくとも１つの別のサブセクション３２を備えている。流路３０の別のサブセクション３２は、圧縮可能な要素５０、特に圧縮可能な要素５０の外面と、キャビティ４０の第２の領域４２を画定する支持要素２０の内壁２１との間に位置している。したがって、キャビティの領域４２において、圧縮可能な要素５０の外面は、媒体供給流路３０の横方向の終端である。

流路は、キャビティの第２の領域４２において支持要素２０の内壁２１と圧縮可能な要素５０の外面との間に形成されるので、圧力センサシステム内には、媒体供給のための屈曲した流路が生じる。したがって、媒体が凍結した場合、氷柱の高さは圧力センサ素子１０より下に最小化される。

圧力センサシステム１は、更に、その内部に圧力センサ素子１０及び支持要素２０が配置されたハウジング６０を含んでいる。流路３０及びキャビティ４０は、ハウジング６０内へ延びている。支持要素２０のハウジング６０への接続は、径方向のシールシステムを介して行うことができる。図１に示された圧力センサシステムの実施形態では、支持要素２０と圧力センサのハウジング６０との間にシール要素７０が存在する。シール要素７０は、例えばＯリングとして形成することができる。

キャビティ４０は、第１及び第２の領域４１，４２に加えて、キャビティ４０の第２の領域４２に隣接する別の第３の領域４３を備えている。第３の領域４３は、ハウジング６０の内壁６１によって取り囲まれている。圧縮可能な要素５０は、キャビティ４０の第２の領域４２内に配置された第１のセクション５１を備えている。更に、圧縮可能な要素５０は、キャビティ４０の第３の領域４３内に配置された第２のセクション５２を備えている。圧縮可能な要素５０の第２のセクション５２の断面積は、圧縮可能な要素の第１のセクション５１の断面積に対応している。したがって、圧縮可能な要素は、キャビティ４０の第２の領域４２及び第３の領域４３内に配置された円筒状の圧縮可能なボディとして形成されている。

圧縮可能な要素５０の第２のセクション５２の断面積は、キャビティ４０の第３の領域４３の断面積よりも小さい。それにより、ハウジング６０内へ延びる流路３０のサブセクション３３が形成され、当該サブセクション３３は、圧縮可能な要素５０の第２のセクション５２、特に圧縮可能な要素の第２のセクション５２の外面と、キャビティ４０の第３の領域４３を画定するハウジング６０の内壁６１と、の間を延びている。したがって、流路３０のサブセクション３３も、ハウジング６０内を延びている。媒体を流路３０内に導入するために、ハウジング６０は圧力接続部６２を備えている。

媒体供給流路をセンサハウジング６０内及び支持要素２０内に一体化することによって、圧縮可能な要素５０は、単純な形状、例えば２-1/2の寸法で図１に示された円筒状の形状によって実現され得る。支持要素２０及びハウジング６０の形状及び構成は、圧縮可能な要素５０の典型的な大きな公差が、圧力及び温度範囲において機能の制限をもたらさないように選択されている。

ハウジング６０は、プラスチック・ハウジングとして形成することができる。圧力センサ素子１０は、シリコンから形成することができる。支持要素２０は、好ましくはセラミック材料を含んでいる。支持要素２０の熱膨張係数を圧力センサ素子１０のシリコンに適合させることにより、シリコンセンサ素子１０とセラミック支持要素２０との間の付加的なガラス物体（Glasgegenkoerper）を省略することができる。それにより、センサ素子平面上にアンダーカットはない。圧力センサ素子１０は、機械的に強固で媒体耐性のある接続材料を用いて支持要素２０に結合することができる。特に、圧力センサ素子１０は、ガラス半田層８０を介して支持要素２０と接続することができる。ガラス半田を使用することにより、金属半田とは対照的に、支持要素２０及び圧力センサ素子１０のメタライゼーションを省略することができる。

１つの可能な実施形態によれば、流路３０の少なくとも１つのサブセクション３１に面している圧力センサ素子１０の背面は、不動態化層９０（Passivierungsschicht）を備えることができる。センサ素子１０の背面のそのような不動態化により、曲げ板１１を例えば尿素溶液のような腐食性媒体から保護することができる。

圧力センサシステムは、実施形態に応じて、絶対圧力又は相対圧力を測定するために使用することができる。絶対圧力測定においては、全ての圧力が圧力基準に関連付けられる。そのような実施形態は、特に図２に示されている。図２に示された実施形態においては、圧力センサ素子１０の上に、特に曲げ板１１の上方に、ガラスキャップ１２が配置されている。可撓性の板１１とガラスキャップ１２との間には、例えば真空のような基準圧力が支配するキャビティがある。

絶対圧力測定とは対照的に、相対圧力測定のために構成された圧力センサ素子においては、ガラスキャップ１２が省略される。相対圧力測定においては、測定媒体の圧力は、周囲圧力に対して相対的に測定される。圧力センサシステム１は、この場合、上方から大気圧が可撓性の板１１に、下方から媒体の圧力が可撓性の板１１に、それぞれ作用するように形成されている。

１つの可能な実施形態によれば、圧力センサシステム１は、支持要素２０に関して別個のキャリア又は構成要素本体として形成された配線キャリア１００を備えている。圧力センサシステム１は、作用する媒体の圧力に起因する圧力センサ素子の抵抗変化を評価するための信号変換器要素１１０を含んでいる。信号変換器要素１１０は、温度挙動を増幅し、正規化し、補償する。外部接触のために、圧力センサシステム１は、プラグ・ハウジング１３０内に配置された接触要素１２０を含んでいる。

図１及び２に示された、別個の支持要素２０及び配線キャリア１００を備える圧力センサシステム１の実施形態においては、信号変換器要素１１０が配線キャリア１００の上に配置されている。配線キャリア１００は、支持要素２０の上に配置されている。支持要素２０は、特に配線キャリア１００の凹部内に突出している。

特に、支持要素２０とは別個の配線キャリア１００を備える実施形態においては、配線キャリアがガラス半田付けプロセス中に生じる高温を通じて案内される必要がないので、配線キャリアの材料選択に比較的大きな自由度が得られる。様々な配線及び信号変換器要素の適合した配線キャリア上での使用は、圧力センサシステムの基本的な構造を変更することなく行われ得る。特に、流路３０を有する支持要素２０は、不変のままであり得る。

圧力センサシステム１の別の実施形態によれば、別個の配線キャリア１００を完全に省略することができる。この実施形態では、電気部品、特に信号変換器要素１１０は、支持要素２０の上に直接的に配置され、ワイヤボンド接続を介して電気的に接続される。

１圧力センサシステム
１０圧力センサ素子
１１可撓性の板
２０支持要素
２１支持要素の内壁
３０流路
３１，３２，３３流路のサブセクション
４０キャビティ
４１，４２，４３キャビティの領域
５０圧縮可能な要素
６０ハウジング
７０シール要素
８０ガラス半田層
９０不動態化層
１００配線キャリア
１１０信号変換器要素
１２０接触要素
１３０プラグ接続

Claims

凍結媒体に対する保護機能を備える圧力センサシステムであって、
可撓性の板（１１）を備え、ピエゾ抵抗型のセンサ素子として形成された圧力センサ素子（１０）と、
その上に前記圧力センサ素子（１０）が配置された支持要素（２０）と、を含み、
前記支持要素（２０）内には前記媒体を前記可撓性の板（１１）に供給するための流路（３０）が延びており、
前記流路（３０）は、その長手方向が前記可撓性の板（１１）の下で垂直方向に延びる少なくとも１つのサブセクション（３１）を備え、
前記流路（３０）の前記少なくとも１つのサブセクション（３１）の流路断面は、前記流路の前記サブセクション内の如何なる部位においても、前記可撓性の板（１１）の面積よりも小さくない、圧力センサシステム。
前記流路（３０）の前記少なくとも１つのサブセクション（３１）は、前記流路の前記少なくとも１つのサブセクション（３１）内の如何なる部位においても、アンダーカットを備えていない、請求項１に記載の圧力センサシステム。
第１の領域（４１）と、それに隣接する第２の領域（４２）とを有するキャビティ（４０）を含み、
前記キャビティの前記第１及び第２の領域（４１，４２）は前記支持要素内を延び、前記支持要素（２０）の内壁（２１）によって取り囲まれており、
前記キャビティの前記第１の領域（４１）は、前記圧力センサ素子（１０）の前記可撓性の板（１１）の方向に漏斗状に先細りになっており、
前記流路（３０）の前記少なくとも１つのサブセクション（３１）は、前記キャビティ（４０）の前記第１の領域（４１）によって形成され、
前記キャビティ（４０）の前記第２の領域（４２）は円筒状に形成されている、請求項１又は２に記載の圧力センサシステム。
前記キャビティ（４０）の前記第１及び第２の領域（４１，４２）の長手方向は、前記支持要素（２０）内において、前記圧力センサ素子（１０）の前記可撓性の板（１１）の表面に対して垂直に延びており、
前記キャビティ（４０）の前記第１の領域（４１）の断面積は、前記キャビティ（４０）の前記第１の領域（４１）の長手方向に沿った各位置において、少なくとも前記圧力センサ素子（１０）の前記可撓性の板（１１）の面積と同じ大きさであり、
前記キャビティ（４０）の前記第２の領域（４２）の断面積は、前記キャビティ（４０）の前記第２の領域（４２）の長手方向に沿った各位置において、前記圧力センサ素子（１０）の前記可撓性の板（１１）の面積よりも大きい、請求項３に記載の圧力センサシステム。
前記キャビティ（４０）の前記第２の領域（４２）に配置された圧縮可能な要素（５０）を含み、
前記圧縮可能な要素（５０）は、前記媒体の凍結時に前記媒体によって圧縮されるように形成されている、請求項３又は４に記載の圧力センサシステム。
前記圧縮可能な要素（５０）は円筒状に形成されていると共に、前記キャビティの漏斗状の前記第１の領域（４１）の下の前記キャビティ（４０）の前記第２の領域（４２）内に配置されている、請求項５に記載の圧力センサシステム。
前記キャビティ（４０）の前記第２の領域（４２）の断面積は、前記ャビティの漏斗状の前記第１の領域（４１）の前記開口の断面積よりも大きく、
前記圧縮可能な要素（５０）の断面積は、少なくとも前記キャビティ（４０）の漏斗状の前記第１の領域（４１）の前記開口の断面積と同じ大きさであり、
前記圧縮可能な要素（５０）の断面積は、前記キャビティ（４０）の前記第２の領域（４２）の断面積よりも小さい、請求項４又は５に記載の圧力センサシステム。
前記流路（３０）は、前記支持要素（２０）内に、前記流路の前記少なくとも１つのサブセクション（３１）に隣接する少なくとも１つの別のサブセクション（３２）を備え、
前記流路（３０）の前記別のサブセクション（３２）は、前記圧縮可能な要素（５０）と、前記キャビティの前記第２の領域（４２）を画定する前記支持要素（２０）の内壁（２１）と、の間に位置している、請求項５〜７のいずれか１項に記載の圧力センサシステム。
その内部に前記圧力センサ素子（１０）及び前記支持要素（２０）が配置されたハウジング（６０）を含み、
前記流路（３０）及び前記キャビティ（４０）は前記ハウジング（６０）内へ延びており、
前記記支持要素（２０）と前記ハウジング（６０）との間には、シール要素（７０）が存在する、請求項１〜８のいずれか１項に記載の圧力センサシステム。
前記キャビティ（４０）は第３の領域（４３）を備え、前記第３の領域（４３）は前記キャビティ（４０）の前記第２の領域（４２）に隣接すると共に、前記ハウジングの内壁（６１）によって取り囲まれており、
前記圧縮可能な要素（５０）の第１のセクション（５１）は前記キャビティ（４０）の前記第２の領域（４２）内に、前記圧縮可能な要素（５０）の第２のセクション（５２）は前記キャビティの前記第３の領域（４３）内に、それぞれ配置されており、
前記圧縮可能な要素（５０）の前記第２のセクション（５２）の断面積は、前記キャビティ（４０）の前記第３の領域（４３）の断面積よりも小さい、請求項９に記載の圧力センサシステム。
前記ハウジング（６０）内へ延びる前記流路（３０）のサブセクション（３３）は、前記圧縮可能な要素（５０）の前記第２のセクション（５２）と、前記キャビティ（４０）の前記第３の領域（４３）を画定する前記ハウジング（６０）の前記内壁（６１）との間を延びている、請求項１０に記載の圧力センサシステム。
前記圧力センサ素子（１０）は、シリコンから形成されており、
前記支持要素（２０）は、セラミック材料を含んでおり、
前記圧力センサ素子（１０）は、ガラス半田層（８０）によって前記支持要素（２０）と接続されている、請求項１〜１１のいずれか１項に記載の圧力センサシステム。
前記流路（３０）の前記少なくとも１つのサブセクション（３１）に面している前記圧力センサ素子（１０）の背面は、不動態化層（９０）を備えている、請求項１〜１２のいずれか１項に記載の圧力センサシステム。
前記圧力センサ素子（１０）の前記可撓性の板（１１）に作用する前記媒体の圧力に応じて電気信号を生成するための信号変換器要素（１１０）と、
その上に前記信号変換器要素（１１０）が配置された、前記支持要素（２０）とは別個の配線キャリア（１００）と、を含み、
前記配線キャリア（１００）は、前記支持要素（２０）の上に配置されている、請求項１〜１３のいずれか１項に記載の圧力センサシステム。
前記圧力センサ素子（１０）の前記可撓性の板（１１）に作用する前記媒体の圧力に応じて電気信号を生成するための信号変換器要素（１１０）を含み、
前記信号変換器要素（１１０）は、前記支持要素（２０）の上に直接的に配置されている、請求項１〜１３のいずれか１項に記載の圧力センサシステム。