JP2021190505A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 支持基板の反りを抑制可能な半導体装置を提供すること。【解決手段】 半導体装置A1は、z方向において離間する主面211および裏面212を有する絶縁基板21と、主面211に配置され、かつ、互いに離間した主面金属層22A,22Bと、主面金属層22A,22Bに支持された半導体素子10A,10Bと、を備え、主面金属層22A,22Bは、絶縁基板21よりも厚い。【選択図】 図11
Description
本開示は、半導体装置に関する。
特許文献1には、従来の半導体装置(パワーモジュール)が開示されている。特許文献1に記載の半導体装置は、半導体素子と、支持基板と、放熱部材とを備えている。支持基板は、半導体素子を支持する。支持基板は、絶縁基板と、絶縁基板の両面に積層された銅製の導体層とを含む。一方の導体層には、半導体素子が接合され、他方の導体層には放熱部材が接合されている。
上述の半導体装置では、製造時や使用時の熱変化に起因して、支持基板に反りが生じることが懸念される。
本開示は、上記した事情のもとで考え出されたものであって、支持基板の反りを抑制可能な半導体装置を提供することをその課題とする。
本開示によって提供される半導体装置は、第1方向において離間する主面および裏面を有する絶縁基板と、前記主面に配置され、かつ、互いに離間した主面金属層と、前記主面金属層に支持された半導体素子と、を備え、前記主面金属層は、前記絶縁基板よりも厚い。
本開示の好ましい実施の形態においては、前記主面金属層と前記半導体素子との間に介在する導電部材をさらに備える。
本開示の好ましい実施の形態においては、前記導電部材は、グラファイトからなる導電層を含む。
本開示の好ましい実施の形態においては、前記導電部材は、前記導電層を挟む一対の金属層をさらに含む。
本開示の好ましい実施の形態においては、前記裏面に配置された裏面金属層をさらに備え、前記主面金属層は、前記裏面金属層よりも厚い。
本開示の好ましい実施の形態においては、前記主面金属層は、単体の金属層からなる。
本開示の好ましい実施の形態においては、前記主面金属層は、第1層および当該第1層に対して前記絶縁基板とは反対側に配置された第2層とを含む。
本開示の好ましい実施の形態においては、前記第2層は、前記第1層よりも厚い。
本開示の好ましい実施の形態においては、前記第2層は、前記絶縁基板よりも厚い。
本開示の好ましい実施の形態においては、前記第2層は、前記裏面金属層よりも厚い。
本開示の好ましい実施の形態においては、前記第1層は、前記裏面金属層と同じ厚さである。
本開示の好ましい実施の形態においては、前記主面金属層は、前記第2層を前記第1層に接合する接合層をさらに含む。
本開示の好ましい実施の形態においては、前記絶縁基板は、セラミックスからなる。
本開示の好ましい実施の形態においては、前記絶縁基板、前記主面金属層および前記半導体素子を覆う封止部材をさらに備える。
本開示の好ましい実施の形態においては、互いに離間した複数の前記主面金属層、前記複数の主面金属層に個別に支持された複数の前記半導体素子、を備える。
本開示の好ましい実施の形態においては、前記複数の主面金属層に個別に支持された複数の前記導電部材、を備える。
本開示の好ましい実施の形態においては、前記裏面金属層は、前記第1方向に沿って視て、前記主面金属層と重なる。
本開示の好ましい実施の形態においては、前記裏面金属層は、前記第1方向に沿って視た面積が、前記主面金属層の面積よりも小さい。
本開示の半導体装置によれば、支持基板の反りを抑制することができる。
本開示のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。
以下、本開示の好ましい実施の形態につき、図面を参照して具体的に説明する。
本開示において、「ある物Aがある物Bに形成されている」および「ある物Aがある物B上に形成されている」とは、特段の断りのない限り、「ある物Aがある物Bに直接形成されていること」、および、「ある物Aとある物Bとの間に他の物を介在させつつ、ある物Aがある物Bに形成されていること」を含む。同様に、「ある物Aがある物Bに配置されている」および「ある物Aがある物B上に配置されている」とは、特段の断りのない限り、「ある物Aがある物Bに直接配置されていること」、および、「ある物Aとある物Bとの間に他の物を介在させつつ、ある物Aがある物Bに配置されていること」を含む。同様に、「ある物Aがある物B上に位置している」とは、特段の断りのない限り、「ある物Aがある物Bに接して、ある物Aがある物B上に位置していること」、および、「ある物Aとある物Bとの間に他の物が介在しつつ、ある物Aがある物B上に位置していること」を含む。また、「ある物Aがある物Bにある方向に見て重なる」とは、特段の断りのない限り、「ある物Aがある物Bのすべてに重なること」、および、「ある物Aがある物Bの一部に重なること」を含む。
<第1実施形態>
図1〜図15は、本開示の第1実施形態にかかる半導体装置を示している。第1実施形 態の半導体装置A1は、複数の半導体素子10、支持基板20、2つの入力端子31,32、出力端子33、一対のゲート端子34A,34B、一対の検出端子35A,35B、複数のダミー端子36および一対の側方端子37A,37B、複数の土台部41、複数の線状接続部材51、複数の板状接続部材52および封止部材60を備えている。
図1〜図15は、本開示の第1実施形態にかかる半導体装置を示している。第1実施形 態の半導体装置A1は、複数の半導体素子10、支持基板20、2つの入力端子31,32、出力端子33、一対のゲート端子34A,34B、一対の検出端子35A,35B、複数のダミー端子36および一対の側方端子37A,37B、複数の土台部41、複数の線状接続部材51、複数の板状接続部材52および封止部材60を備えている。
図1は、半導体装置A1を示す斜視図である。図2は、図1の斜視図において封止部材60を省略した図である。図3は、半導体装置A1を示す平面図である。図4は、図3の平面図において封止部材60を想像線(二点鎖線)で示している。図5は、図4の一部を拡大した部分拡大図である。図6は、図4の平面図において一部の構成要素を抜粋した図である。図7は、半導体装置A1を示す正面図である。図8は、半導体装置A1を示す底面図である。図9は、半導体装置A1を示す側面図(左側面図)である。図10は、半導体装置A1を示す側面図(右側面図)である。図11は、図4のXI−XI線に沿う断面図である。図12は、図4のXII−XII線に沿う断面図である。図13は、図12の一部を拡大した部分拡大図である。図14は、図4のXIV−XIV線に沿う断面図である。図15は、図4のXV−XV線に沿う断面図である。
説明の便宜上、図1〜図14において、互いに直交する3つの方向を、x方向、y方向、z方向と定義する。x方向は、半導体装置A1の平面図(図2および図3参照)における左右方向である。y方向は、半導体装置A1の平面図(図2および図3参照)における上下方向である。必要に応じて、x方向の一方をx1方向、x方向の他方をx2方向とする。同様に、y方向の一方をy1方向、y方向の他方をy2方向とし、z方向の一方をz1方向、z方向の他方をz2方向とする。なお、z1方向を下、z2方向を上という場合もある。また、z方向の寸法を「厚み」あるいは「厚さ」という場合もある。z方向が、特許請求の範囲に記載の「第1方向」に相当する。
複数の半導体素子10はそれぞれ、SiC(炭化ケイ素)を主とする半導体材料を用いて構成されている。当該半導体材料は、SiCに限定されず、Si(シリコン)、GaAs(ヒ化ガリウム)あるいはGaN(窒化ガリウム)などであってもよい。複数の半導体素子10はそれぞれ、たとえば、MOSFET(Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor)である。各半導体素子10は、MOSFETに限定されず、MISFET(Metal-Insulator-Semiconductor FET)を含む電界効果トランジスタや、IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)のようなバイポーラトランジスタ、LSIなどのICチップ、ダイオード、コンデンサなどであってもよい。本実施形態においては、複数の半導体素子10は、いずれも同一素子であり、かつ、たとえばnチャネル型のMOSFETである場合を例に説明するがこれに限定されず、複数の半導体素子10が異なる種類の半導体素子を含む構成であってもよい。各半導体素子10は、z方向に見て(以下、「平面視」ともいう。)、たとえば矩形状であるが、これに限定されない。各半導体素子10は、たとえばその厚さが50μm〜370μm程度であるが、これに限定されない。また、半導体素子10の個数は、特に限定されず、1つでもよいし複数でもよい。
複数の半導体素子10は、複数の半導体素子10Aおよび複数の半導体素子10Bを含んでいる。半導体装置A1は、図2および図4に示すように、4つの半導体素子10Aおよび4つの半導体素子10Bを含んでいる。半導体素子10の数は、本構成に限定されず、半導体装置A1に要求される性能に応じて適宜変更されうる。半導体装置A1が、たとえばハーフブリッジ型のスイッチング回路である場合、複数の半導体素子10Aは、このスイッチング回路における上アーム回路を構成し、複数の半導体素子10Bは、このスイッチング回路における下アーム回路を構成する。
複数の半導体素子10Aの各々は、図2、図4、図5および図12に示すように、支持基板20(後述する導電部材24A)に搭載されている。複数の半導体素子10Aは、y方向に並んでおり、互いに離間している。各半導体素子10Aは、図4、図5および図1 2に示すように、導電性接合材19Aを介して、支持基板20(導電部材24A)に導通接合されている。導電性接合材19Aは、たとえばはんだあるいは金属ペースト、焼結金属などのいずれかである。言い換えると、複数の半導体素子10Aは、支持基板20の絶縁基板21に支持されている。
複数の半導体素子10Bの各々は、図2、図4、図5および図11に示すように、支持基板20(後述する導電部材24B)に搭載されている。複数の半導体素子10Bは、y方向に並んでおり、互いに離間している。各半導体素子10Bは、図4、図5および図11に示すように、導電性接合材19Bを介して、支持基板20(導電部材24B)に導通接合されている。導電性接合材19Bは、導電性接合材19Aと同様に、たとえばはんだあるいは金属ペースト、焼結金属などのいずれかである。言い換えると、複数の半導体素子10Bは、支持基板20の絶縁基板21に支持されている。図4に示す例では、複数の半導体素子10Aと複数の半導体素子10Bとは、x方向に見て交互に並んで配置されているが、複数の半導体素子10Aと複数の半導体素子10Bとは、x方向に見て重なるように配置されていてもよい。
複数の半導体素子10(複数の半導体素子10Aおよび複数の半導体素子10B)はそれぞれ、図11〜図13に示すように、素子主面101および素子裏面102を有する。図13においては、半導体素子10Aが示されているが、半導体素子10Bも同等に構成されている。各半導体素子10において、素子主面101および素子裏面102は、z方向において離間している。素子主面101は、z2方向を向き、素子裏面102は、z1方向を向く。各半導体素子10Aの素子裏面102は、導電部材24Aに対向する。各半導体素子10Bの素子裏面102は、導電部材24Bに対向する。
複数の半導体素子10の各々は、図5および図13に示すように、主面電極11、裏面電極12および絶縁膜13を有する。
主面電極11は、素子主面101に設けられている。主面電極11は、図4および図11に示すように、第1電極111および第2電極112を含む。第1電極111は、たとえばソース電極であって、ソース電流が流れる。第2電極112は、たとえばゲート電極であって、各半導体素子10を駆動させるためのゲート電圧が印加される。第1電極111は、第2電極112よりも大きい。図5に示す例示においては、第1電極111は、1つの領域で構成されている場合を示すが、複数の領域に分割されていてもよい。
裏面電極12は、図13に示すように、素子裏面102に設けられている。裏面電極12は、素子裏面102の全体にわたって形成されている。裏面電極12は、たとえばドレイン電極であって、ドレイン電流が流れる。
絶縁膜13は、図5および図13に示すように、素子主面101に設けられている。絶縁膜13は、電気絶縁性を有する。絶縁膜13は、平面視において主面電極11を囲んでいる。絶縁膜13は、第1電極111と第2電極112とを絶縁する。絶縁膜13は、たとえばSiO2(二酸化ケイ素)層、SiN4(窒化ケイ素)層、ポリベンゾオキサゾール層が、素子主面101からこの順番で積層されたものである。絶縁膜13の構成は、上記したものに限定されず、たとえば、ポリベンゾオキサゾール層に代えてポリイミド層を用いてもよい。
支持基板20は、複数の半導体素子10を支持する。支持基板20は、絶縁基板21、一対の主面金属層22A,22B、一対の裏面金属層23A,23B、一対の導電部材24A,24B、一対の絶縁層25A,25B、一対のゲート層26A,26Bおよび一対の検出層27A,27Bを含んでいる。絶縁基板21、一対の主面金属層22A,22B、および、一対の裏面金属層23A,23Bは、いわゆるDBC(Direct Bonded Copper)基板によって構成されている。本実施形態においては、DBC基板である場合を示すが、これに限定されず、たとえばDBA(Direct Bonded Aluminum)基板であってもよい。
絶縁基板21は、各主面金属層22A,22Bと各裏面金属層23A,23Bとを絶縁する。絶縁基板21の構成材料は、たとえば熱伝導性に優れたセラミックである。このようなセラミックとしては、たとえばAlN(窒化アルミニウム)、SiN(窒化ケイ素)、Al2O3(酸化アルミニウム)などが用いられる。絶縁基板21の厚さは、たとえば0.32mm程度である。絶縁基板21は、図4に示すように、平面視矩形状である。絶縁基板21は、1つの平板状である。
絶縁基板21は、図11、図12、図14および図15に示すように、主面211および裏面212を有している。主面211と裏面212とは、z方向において離間している。主面211は、z2方向を向き、裏面212はz1方向を向く。主面211には、一対の主面金属層22A,22Bが配置されている。裏面212には、一対の裏面金属層23A,23Bが配置されている。
一対の主面金属層22A,22Bはそれぞれ、図11、図12、図14および図15に示すように、絶縁基板21の主面211に配置されている。一対の主面金属層22A,22Bは、互いに離間しており、x方向に並んでいる。本実施形態の主面金属層22A,22Bは、単体の金属層によって構成されている。各主面金属層22A,22Bの構成材料は、たとえばCu(銅)あるいはCu合金、Al(アルミニウム)である。このような主面金属層22A,22Bは、たとえばろう材を貼り付けることによって形成される。各主面金属層22A,22Bは、絶縁基板21よりも厚い。また、主面金属層22A,22Bは、裏面金属層23A,23Bよりも厚いことが好ましい。主面金属層22A,22Bの厚さは、たとえば0.5mm〜1.0mmである。各主面金属層22A,22Bは、平面視において略矩形状である。各主面金属層22A,22Bは、たとえば、x方向寸法が20mm程度であり、y方向寸法が30mm程度である。
各主面金属層22A,22Bは、図6および図8に示すように、一対の端縁221,222および一対の端縁223,224を有している。一対の端縁221,222は、各々が平面視においてy方向に延びている。一対の端縁221,222は、互いにx方向に離間している。端縁222は、端縁221よりもx2方向に位置する。図6および図8に示す例では、一対の端縁221,222は、略平行である。一対の端縁223,224は、各々が平面視においてx方向に延びている。一対の端縁223,224は、互いにy方向に離間している。端縁224は、端縁223よりもy2方向に位置する。図6および図8に示す例では、各主面金属層22A,22Bが平面視矩形状であるので、一対の端縁221,222および一対の端縁223,224はそれぞれ、略平行である。
一対の裏面金属層23A,23Bはそれぞれ、図11、図12、図14および図15に示すように、絶縁基板21の裏面212に配置されている。一対の裏面金属層23A,23Bは、互いに離間しており、x方向に並んでいる。各裏面金属層23A,23Bは、下面(z1方向を向く面)が封止部材60から露出している。各裏面金属層23A,23Bの下面には、たとえば図示しないヒートシンクなどが接続されうる。各裏面金属層23A,23Bの構成材料は、たとえば各主面金属層22A,22Bと同じである。つまり、各裏面金属層23A,23Bの構成材料は、たとえばCuあるいはCu合金、Alである。各裏面金属層23A,23Bの厚さは、たとえば0.2mm〜0.4mm程度である。各裏面金属層23A,2 3Bは、平面視において略矩形状である。各裏面金属層23A,23Bは、たとえば、x方向寸法が20mm程度であり、y方向寸法が23mm程度である。
各裏面金属層23A,23Bは、図6および図8に示すように、一対の端縁231,232および一対の端縁233,234を有している。一対の端縁231,232は、各々が平面視においてy方向に延びている。一対の端縁231,232は、互いにx方向に離間している。端縁232は、端縁231よりもx2方向に位置する。一対の端縁233,234は、各々が平面視においてx方向に延びている。一対の端縁233,234は、互いにy方向に離間している。端縁234は、端縁233よりもy2方向に位置する。図6および図8に示す例では、各裏面金属層23A,23Bが平面視矩形状であるので、一対の端縁231,232および一対の端縁233,234はそれぞれ、略平行である。
図6に示すように、裏面金属層23Aの端縁233は、平面視において、複数の半導体素子10Aのうち最もy1方向に位置する半導体素子10Aに重なっている。裏面金属層23Bの端縁234は、平面視において、複数の半導体素子10Bのうち最もy2方向に位置する半導体素子10Bに重なっている。なお、裏面金属層23Aと複数の半導体素子10Aとの配置関係は、何ら限定されない。
支持基板20において、図6および図8に示すように、主面金属層22Aと裏面金属層23Aとは、平面視において重なり、主面金属層22Bと裏面金属層23Bとは、平面視において重なっている。特に、図6に示す例では、平面視において、各主面金属層22A,22Bのy方向中央と、各裏面金属層23A,23Bのy方向中央とは、重なっている。各裏面金属層23A,23Bの端縁231は、平面視において、各主面金属層22A,22Bの端縁221に重なり、各裏面金属層23A,23Bの端縁232は、平面視において、各主面金属層22A,22Bの端縁222に重なる。また、各裏面金属層23A,23Bの端縁233は、平面視において、各主面金属層22A,22Bに重なっており、各主面金属層22A,22Bの端縁223よりもy2方向に位置する。各裏面金属層23A,23Bの端縁234は、平面視において、各主面金属層22A,22Bに重なっており、各主面金属層22A,22Bの端縁224よりもy1方向に位置する。また、図示された例においては、裏面金属層23Aは、z方向に沿って視た面積が、主面金属層22Aよりも小さい。同様に、裏面金属層23Bは、z方向に沿って視た面積が、主面金属層22Bよりも小さい。なお、主面金属層22A,22Bと裏面金属層23A,23Bとの位置関係は、何ら限定されない。
一対の導電部材24A,24Bは、図4、図11および図12に示すように、互いに離間しており、x方向に並んでいる。導電部材24Aは、主面金属層22Aの上に配置され、導電部材24Bは、主面金属層22Bの上に配置されている。導電部材24Aには、複数の半導体素子10Aが配置されており、導電部材24Bには、複数の半導体素子10Bが配置されている。導電部材24Aは、導電層241Aおよび2つの金属層242A,243Aを含んでおり、導電部材24Bは、導電層241Bおよび2つの金属層242B,243Bを含んでいる。
各導電層241A,241Bは、たとえばグラファイトから構成される。グラファイトは、六方晶系の結晶構造であって層状になっており、層に平行な方向と層に直交する方向とでは熱伝導率に異方性がある。層に平行な方向の熱伝導率は約1500W/mKであり、層に直交する方向の熱伝導率は約5W/mKである。各導電層241A,241Bは、層に平行な方向がz方向に沿って配置されている。また、グラファイトは、上述のとおり、線膨張係数に異方性がある。たとえば、層に平行な方向の線膨張係数は約0ppm/Kであり、層に直交する方向の線膨張係数は約25ppm/Kである。各導電層241 A,241Bは、層に直交する方向がy方向に沿って配置されている。よって、各導電層241A,241Bは、y方向の線膨張係数が約25ppm/Kとなり、x方向の線膨張係数が約0ppm/Kとなる向きに配置されている。つまり、各導電層241A,241Bは、相対的に線膨張係数の大きい方向がy方向に沿って配置されている。各導電層241A,241Bの厚さは、たとえば2.0mm程度である。なお、このような配置は、導電層241A,241Bの一配置例であり、導電層241A,241Bの配置は、何ら限定されない。
各金属層242A,242Bは、図11〜図15に示すように、各導電層241A,241Bの上面(z2方向を向く面)に配置されている。各金属層242A,242Bの構成材料は、たとえばCuあるいはCu合金である。各金属層242A,242Bは、各導電部材24A,24Bと各半導体素子10A,10Bとの接合を良好にするために設けられている。各金属層242A,242Bの厚さは、たとえば0.1mm〜0.5mm程度である。
各金属層243A,243Bは、図11〜図15に示すように、各導電層241A,241Bの下面(z1方向を向く面)に配置されている。各金属層243A,243Bの構成材料は、たとえばCuあるいはCu合金である。各金属層243A,243Bは、各導電部材24A,24Bと各主面金属層22A,22Bとの接合を良好にするために設けられている。各金属層243A,243Bの厚さは、たとえば0.1mm〜0.5mm程度である。
図11〜図14に示すように、導電部材24A(金属層243A)と主面金属層22Aとの間には、導電性接合層29Aが介在している。導電部材24Aは、導電性接合層29Aによって主面金属層22Aに接合されている。図11、図12および図15に示すように、導電部材24B(金属層243B)と主面金属層22Bとの間には、導電性接合層29Bが介在している。導電部材24Bは、導電性接合層29Bによって主面金属層22Bに接合されている。各導電性接合層29A,29Bは、たとえばはんだあるいは金属ペースト、焼結金属などのいずれかである。なお、導電部材24A(金属層243A)と主面金属層22Aとは、固相拡散接合の手法によって接合されていてもよい。この場合、導電性接合層29Aは、存在しない。同様に導電部材24B(金属層243B)と主面金属層22Bとは、固相拡散接合の手法によって接合されていてもよい。この場合、導電性接合層29Bは、存在しない。
一対の絶縁層25A,25Bは、電気絶縁性を有しており、その構成材料は、たとえばガラスエポキシ樹脂である。一対の絶縁層25A,25Bは、図4に示すように、各々がy方向に延びる帯状である。絶縁層25Aは、図4、図5および図12に示すように、導電部材24Aに接合されている。絶縁層25Aは、複数の半導体素子10Aよりもx2方向に位置する。絶縁層25Bは、図4、図5および図11に示すように、導電部材24Bに接合されている。絶縁層25Bは、複数の半導体素子10Bよりもx1方向に位置する。
一対のゲート層26A,26Bは、導電性を有しており、その構成材料は、たとえばCuあるいはCu合金である。一対のゲート層26A,26Bは、図4に示すように、各々がy方向に延びる帯状である。ゲート層26Aは、図4、図5および図12に示すように、絶縁層25A上に配置されている。ゲート層26Aは、線状接続部材51(後述するゲートワイヤ511)を介して、各半導体素子10Aの第2電極112(ゲート電極)に導通する。ゲート層26Bは、図4、図5および図11に示すように、絶縁層25B上に配置されている。ゲート層26Bは、線状接続部材51(後述するゲートワイヤ511)を介して、各半導体素子10Bの第2電極112(ゲート電極)に導通する。
一対の検出層27A、27Bは、導電性を有しており、その構成材料は、たとえばCuあるいはCu合金である。一対の検出層27A,27Bは、図4に示すように、各々がy方向に延びる帯状である。検出層27Aは、図4、図5および図12に示すように、ゲート層26Aとともに絶縁層25A上に配置されている。検出層27Aは、平面視において、絶縁層25A上において、ゲート層26Aの隣に位置し、ゲート層26Aから離間している。図4、図5および図12に示す例では、検出層27Aは、ゲート層26Aよりもx1方向に位置しており、ゲート層26Aよりも複数の半導体素子10Aの近くに配置されている。ゲート層26Aと検出層27Aとのx方向における配置は、反対であってもよい。検出層27Aは、線状接続部材51(後述する検出ワイヤ512)を介して、各半導体素子10Aの第1電極111(ソース電極)に導通する。検出層27Bは、図4、図5および図11に示すように、ゲート層26Bとともに絶縁層25B上に配置されている。検出層27Bは、平面視において、絶縁層25B上において、ゲート層26Bの隣に位置し、ゲート層26Bから離間している。図4、図5および図11に示す例では、検出層27Bは、ゲート層26Bよりもx2方向に位置しており、ゲート層26Bよりも複数の半導体素子10Bの近くに配置されている。ゲート層26Bと検出層27Bとのx方向における配置は、反対であってもよい。検出層27Bは、線状接続部材51(後述する検出ワイヤ512)を介して、各半導体素子10Bの第1電極111(ソース電極)に導通する。
2つの入力端子31,32はそれぞれ、金属板である。当該金属板の構成材料は、CuまたはCu合金である。2つの入力端子31,32はともに、z方向の寸法がたとえば0.8mm程度であるが、これに限定されない。2つの入力端子31,32はともに、図1、図4、図11および図12に示すように、半導体装置A1においてx2方向寄りに位置する。2つの入力端子31,32の間には、たとえば電源電圧が印加される。入力端子31,32には、図示しない電源(図示略)から直接電源電圧が印加されてもよいし、入力端子31,32を挟み込むようにバスバー(図示略)を接続し、当該バスバーを介して、印加されてもよい。また、スナバ回路などを並列に接続してもよい。入力端子31は、正極(P端子)であり、入力端子32は、負極(N端子)である。入力端子32は、z方向において、入力端子31および支持基板20(導電部材24A)の双方に対して離間して配置されている。入力端子31が特許請求の範囲に記載の「第1入力端子」に相当し、入力端子32が特許請求の範囲に記載の「第2入力端子」に相当する。
入力端子31は、図4および図11に示すように、パッド部311および端子部312を有する。
パッド部311は、入力端子31のうち、封止部材60に覆われた部分である。図4に示す例では、パッド部311のx1方向側の端部は、平面視櫛歯状であるが、櫛歯状ではなく、たとえば平面視矩形状であってもよい。パッド部311は、この櫛歯状の部分が導電部材24A(金属層242A)に導通接合されている。パッド部311と導電部材24Aとの接合は、レーザ接合、超音波接合、あるいは、導電性接合材を用いた接合のいずれであってもよい。
端子部312は、入力端子31のうち、封止部材60から露出した部分である。端子部312は、図4、図7、図8、図10および図11に示すように、平面視において、封止部材60からx2方向に延びている。
入力端子32は、図4および図11に示すように、パッド部321および端子部322を有する。
パッド部321は、入力端子32のうち、封止部材60に覆われた部分である。パッド部321は、図4に示すように、連結部321aおよび複数の延出部321bを含んでい る。連結部321aは、y方向に延びる帯状である。連結部321aは、端子部322に繋がっている。複数の延出部321bは、連結部321aからx1方向に向けて延びる帯状である。複数の延出部321bは、互いに離間しており、かつ、平面視においてy方向に並んでいる。各延出部321bは、その先端部分が平面視において各土台部41に重なり、各土台部41に接合されている。当該接合は、レーザ光を用いたレーザ溶接であってもよいし、超音波接合であってもよい、接合材を用いた接合であってもよい。上記先端部分は、延出部321bのうち、x方向において連結部321aに繋がる側と反対側であって、x1方向側の端縁部分である。
端子部322は、入力端子32のうち、封止部材60から露出した部分である。端子部322は、図3、図4および図8に示すように、平面視において、封止部材60からx2方向に延びている。端子部322は、平面視矩形状である。端子部322は、図3、図4および図8に示すように、平面視において、入力端子31の端子部312に重なっている。端子部322は、端子部312に対して、z2方向に離間している。端子部322の形状は、たとえば端子部312の形状と同一である。
出力端子33は、金属板である。当該金属板の構成材料は、たとえばCuまたはCu合金である。出力端子33は、図1、図3、図4、図7、図8および図11に示すように、半導体装置A1においてx1方向寄りに位置する。複数の半導体素子10により電力変換された交流電力(電圧)は、この出力端子33から出力される。
出力端子33は、図4および図11に示すように、パッド部331および端子部332を含んでいる。
パッド部331は、出力端子33のうち、封止部材60に覆われた部分である。図4に示す例では、パッド部331のx2方向側の部分は、平面視櫛歯状であるが、櫛歯状ではなく、たとえば平面視矩形状であってもよい。パッド部331は、この櫛歯状の部分が導電部材24B(金属層242B)に導通接合されている。パッド部331と導電部材24Bとの接合は、レーザ接合、超音波接合、あるいは、導電性接合材を用いた接合のいずれであってもよい。
端子部332は、出力端子33のうち、封止部材60から露出した部分である。端子部332は、図3、図4、図7、図8、図11および図12に示すように、封止部材60からx1方向に延び出ている。
一対のゲート端子34A,34Bは、図2、図4および図5に示すように、y方向において、各導電部材24A,24Bの隣に位置する。ゲート端子34Aには、複数の半導体素子10Aを駆動させるためのゲート電圧が印加される。ゲート端子34Bには、複数の半導体素子10Bを駆動させるためのゲート電圧が印加される。
一対のゲート端子34A,34Bはともに、図5に示すように、パッド部341および端子部342を有する。各ゲート端子34A,34Bにおいて、パッド部341は、封止部材60に覆われている。これにより、各ゲート端子34A,34Bは、封止部材60に支持されている。パッド部341の表面には、たとえば銀めっきが施されていてもよい。端子部342は、パッド部341に繋がり、かつ、封止部材60から露出している。端子部342は、x方向に見て、L字状をなしている。
一対の検出端子35A,35Bは、図2、図4および図5に示すように、x方向において一対のゲート端子34A,34Bの隣に位置する。検出端子35Aから、複数の半導体素子10Aの各主面電極11(第1電極111)に印加される電圧(ソース電流に対応し た電圧)が検出される。検出端子35Bから、複数の半導体素子10Bの各主面電極11(第1電極111)に印加される電圧(ソース電流に対応した電圧)が検出される。
一対の検出端子35A,35Bはともに、図5に示すように、パッド部351および端子部352を有する。各検出端子35A,35Bにおいて、パッド部351は、封止部材60に覆われている。これにより、各検出端子35A,35Bは、封止部材60に支持されている。パッド部351の表面には、たとえば銀めっきが施されていてもよい。端子部352は、パッド部351に繋がり、かつ、封止部材60から露出している。端子部352は、x方向に見て、L字状をなしている。
複数のダミー端子36は、図2、図4および図5に示すように、x方向において一対の検出端子35A,35Bに対して一対のゲート端子34A,34Bとは反対側に位置する。半導体装置A1では、ダミー端子36の数は6つである。このうち3つのダミー端子36は、x方向の一方側(x2方向)に位置する。残り3つのダミー端子36は、x方向の他方側(x1方向)に位置する。複数のダミー端子36の数および配置は、上記した構成に限定されない。また、複数のダミー端子36を備えない構成としてもよい。
複数のダミー端子36の各々は、図5に示すように、パッド部361および端子部362を有する。各ダミー端子36において、パッド部361は、封止部材60に覆われている。これにより、複数のダミー端子36は、封止部材60に支持されている。パッド部361の表面には、たとえば銀めっきが施されていてもよい。端子部362は、パッド部361に繋がり、かつ、封止部材60から露出している。端子部362は、x方向に見て、L字状をなしている。なお、端子部362の形状は、一対のゲート端子34A,34Bの各端子部342の形状、および、一対の検出端子35A,35Bの各端子部352の形状と同一である。
一対の側方端子37A,37Bは、図2および図4に示すように、平面視において、封止部材60のy1方向側の端縁部分であり、かつ、封止部材60のx方向の各端縁部分に重なっている。側方端子37Aは、導電部材24Aに接合されており、x2方向を向く端面を除いて、封止部材60に覆われている。側方端子37Bは、導電部材24Bに接合されており、x1方向を向く端面を除いて封止部材60に覆われている。各側方端子37A,37Bは、平面視において、そのすべてが封止部材60に重なる。側方端子37A,37Bの接合方法は、接合材を用いた接合、レーザ接合、あるいは、超音波接合のいずれであってもよい。各側方端子37A,37Bは、一部が平面視において屈曲しており、また、他の一部がz方向に屈曲している。なお、各側方端子37A,37Bの構成は、これに限定されず、平面視において封止部材60からそれぞれ突き出るまで延びていてもよい。また、半導体装置A1は、各側方端子37A,37Bを備えていなくてもよい。
一対のゲート端子34A,34B、一対の検出端子35A,35Bおよび複数のダミー端子36は、図1〜5、図7および図8に示すように、平面視において、x方向に沿って配列されている。半導体装置A1において、一対のゲート端子34A,34B、一対の検出端子35A,35B、複数のダミー端子36および一対の側方端子37A,37Bは、いずれも同一のリードフレームから形成される。
絶縁板39は、電気絶縁性を有しており、その構成材料は、たとえば絶縁紙などである。絶縁板39の一部は、平板であって、図4、図7、図10、図11および図12に示すように、z方向において入力端子31の端子部312と、入力端子32の端子部322とに挟まれている。平面視において、入力端子31は、その全部が絶縁板39に重なっている。また、平面視において、入力端子32は、パッド部321の一部と端子部322の全部とが絶縁板39に重なっている。絶縁板39により、2つの入力端子31,32が互い に絶縁されている。絶縁板39の一部(x1方向側の部分)は、封止部材60に覆われている。
絶縁板39は、図11に示すように、介在部391および延出部392を有する。介在部391は、z方向において、入力端子31の端子部312と、入力端子32の端子部322との間に介在する。介在部391は、その全部が端子部312と端子部322とに挟まれている。延出部392は、介在部391から端子部312および端子部322よりもさらに、x2方向に向けて延びている。
複数の土台部41の各々は、電気絶縁性を有しており、その構成材料は、たとえばセラミックである。各土台部41は、図11に示すように、導電部材24Aの表面に接合されている。各土台部41は、たとえば平面視矩形状である。複数の土台部41は、y方向に並んでおり、互いに離間している。各土台部41のz方向の寸法は、入力端子31のz方向の寸法と絶縁板39のz方向の寸法との合計と略同じである。各土台部41には、入力端子32のパッド部321の各延出部321bが接合されている。各土台部41は、入力端子32が支持基板20に略平行となるように、入力端子32を支持している。
複数の線状接続部材51は、いわゆるボンディングワイヤである。複数の線状接続部材51はそれぞれ、導電性を有しており、その構成材料は、たとえばAl、Cu、クラッド材、またはこれら1つ以上を有する合金のいずれかである。複数の線状接続部材51は、図4および図5に示すように、複数のゲートワイヤ511、複数の検出ワイヤ512、一対の第1接続ワイヤ513、および、一対の第2接続ワイヤ514を含んでいる。
複数のゲートワイヤ511はそれぞれ、図4および図5に示すように、各半導体素子10の第2電極112(ゲート電極)と、一対のゲート層26A,26Bのいずれかとに接合されている。複数のゲートワイヤ511には、各半導体素子10Aの第2電極112とゲート層26Aとを導通させるものと、各半導体素子10Bの第2電極112とゲート層26Bとを導通させるものとがある。
複数の検出ワイヤ512はそれぞれ、図4、図5、図11および図12に示すように、各半導体素子10の第1電極111(ソース電極)と、一対の検出層27A,27Bのいずれかとに接合されている。複数の検出ワイヤ512には、各半導体素子10Aの第1電極111と検出層27Aとを導通させるものと、各半導体素子10Bの第1電極111と検出層27Bとを導通させるものとがある。
一対の第1接続ワイヤ513は、図4および図5に示すように、その一方がゲート層26Aとゲート端子34Aとを導通させ、その他方がゲート層26Bとゲート端子34Bとを導通させる。一方の第1接続ワイヤ513は、ゲート層26Aと、ゲート端子34Aのパッド部341とに接合されている。他方の第1接続ワイヤ513は、ゲート層26Bと、ゲート端子34Bのパッド部341とに接続されている。
一対の第2接続ワイヤ514は、図4および図5に示すように、その一方が検出層27Aと検出端子35Aとを導通させ、その他方が検出層27Bと絶縁層25Bとを導通させる。一方の第2接続ワイヤ514は、検出層27Aと、検出端子35Aのパッド部351とに接合されている。他方の第2接続ワイヤ514は、検出層27Bと、検出端子35Bのパッド部351とに接合されている。
複数の板状接続部材52はそれぞれ、導電性を有しており、その構成材料は、たとえばCu、Cu合金、CuMo(銅モリブデン)の複合材、CIC(Copper-Inver-Copper)
の複合材などである。各板状接続部材52は、板状の金属板が折り曲げられて形成されうる。複数の板状接続部材52は、図4および図5に示すように、複数の第1リード521および複数の第2リード522を含んでいる。半導体装置A1において、複数の板状接続部材52の代わりに、線状接続部材51と同様のボンディングワイヤを用いてもよい。
の複合材などである。各板状接続部材52は、板状の金属板が折り曲げられて形成されうる。複数の板状接続部材52は、図4および図5に示すように、複数の第1リード521および複数の第2リード522を含んでいる。半導体装置A1において、複数の板状接続部材52の代わりに、線状接続部材51と同様のボンディングワイヤを用いてもよい。
複数の第1リード521はそれぞれ、図4、図5および図12に示すように、各半導体素子10Aと導電部材24Bとを導通させる。各第1リード521は、各半導体素子10Aの第1電極111(ソース電極)と、導電部材24Bの金属層242Bとに接合されている。各第1リード521は、たとえば、はんだおよび銀ペーストなどの導電性接合材による接合であるが、超音波接合やレーザ接合などであってもよい。各第1リード521は、部分的にz方向に屈曲している。
複数の第2リード522はそれぞれ、図4、図5および図11に示すように、各半導体素子10Bと入力端子32とを接続する。各第2リード522は、各半導体素子10Bの第1電極111(ソース電極)と、入力端子32のパッド部321の各延出部321bとに接合されている。各第2リード522は、たとえば、はんだおよび銀ペーストなどの導電性接合材による接合であるが、超音波接合やレーザ接合などであってもよい。各第2リード522は、部分的にz方向に屈曲している。
封止部材60は、図1、図3〜図5および図7〜図15に示すように、複数の半導体素子10、支持基板20の一部、2つの入力端子31,32の一部ずつ、出力端子33の一部、一対のゲート端子34A,34Bの一部ずつ、一対の検出端子35A,35Bの一部ずつ、複数のダミー端子36の一部ずつ、一対の側方端子37A,37Bの一部ずつ、複数の土台部41、複数の線状接続部材51および複数の板状接続部材52を覆っている。封止部材60の構成材料は、絶縁性の樹脂材であり、たとえばエポキシ樹脂である。封止部材60は、たとえばトランスファモールド成形によって形成されうる。封止部材60のz方向の寸法は、たとえば10mm程度である。封止部材60は、図1、図3〜図5、図7〜図12、図14および図15に示すように、樹脂主面61、樹脂裏面62および複数の樹脂側面631〜634を有している。
樹脂主面61および樹脂裏面62は、図7、図9〜図12、図14および図15に示すように、z方向において、離間している。樹脂主面61は、z1方向を向き、樹脂裏面62は、z2方向を向く。樹脂裏面62は、図8に示すように、平面視において、一対の裏面金属層23A,23Bを囲む枠状である。複数の樹脂側面631〜634はそれぞれ、樹脂主面61および樹脂裏面62の両方に繋がり、かつ、z方向においてこれらに挟まれている。図3、図4、図7、図8、図11および図12に示すように、2つの樹脂側面631,632は、x方向において離間している。樹脂側面631は、x1方向を向き、樹脂側面632は、x2方向を向く。図3、図4、図8〜図10、図14および図15に示すように、2つの樹脂側面633,634は、y方向において離間している。樹脂側面633は、y1方向を向き、樹脂側面634は、y2方向を向く。
第1実施形態にかかる半導体装置A1の作用効果は、次の通りである。
本実施形態においては、主面金属層22A,22Bの厚が絶縁基板21よりも厚い。通常、主面金属層22A,22Bが設けられる目的は、半導体素子10A,10Bからの熱を絶縁基板21を通じて外部へと放熱することや、導電部材24A,24Bをより容易に接合することである。これらの目的を達成するには、主面金属層22A,22Bは、可能な限り薄いことが好ましい。しかし、発明者は、主面金属層22A,22Bの厚さが支持基板20の反りに影響を及ぼすという知見を得た。すなわち、半導体装置A1の製造時に導電部材24A,24Bに生じる温度変化に伴って、導電部材24A,24Bと温度膨張率が異なる支持基板20に反りが生じる場合がある。この反りは、導電部材24A,24Bの線膨張係数に異方性がある場合に顕著である。また、半導体素子10A,10Bの実装時や使用時の温度変化に起因して、支持基板20に反りが生じるおそれがある。これらの反りを抑制する方策として、主面金属層22A,22Bの厚さを、敢えて絶縁基板21よりも明確に厚くすることが判明した。したがって、本実施形態の半導体装置A1によれば、支持基板20の反りを抑制することができる。また、主面金属層22A,22Bが導電部材24A,24Bよりも厚いことは、絶縁基板21の反りの抑制に好ましい。
主面金属層22A,22Bは、単体の金属層からなる。これにより、主面金属層22A,22Bのz方向における熱伝達をより効率よく行うことができる。また、主面金属層22A、22Bの表面の平坦度(xy平面に対する傾き等の少なさ)をより高めることが可能である。これは、導電部材24A,24Bや半導体素子10A,10Bをより正確に搭載するのに好ましい。
半導体装置A1では、2つの導電層241A,241Bはそれぞれ、相対的に線膨張係数の大きい方向がy方向に沿って配置されている。また、y方向における裏面金属層23A,23Bの各寸法は、y方向における主面金属層22A,22Bの各寸法よりも小さい。この構成によると、半導体装置A1の製造時の熱サイクルや各半導体素子10A,10Bの動作時の熱サイクルによって、各構成部材が熱膨張および熱収縮した場合であっても、y方向における裏面金属層23A,23Bの各寸法とy方向における主面金属層22A,22Bの各寸法とが同じであるときよりも、裏面金属層23A,23Bによる絶縁基板21の拘束力が低減される。これにより、支持基板20(特に絶縁基板21)の反りを低減することができる。したがって、半導体装置A1の信頼性が向上する。なお、支持基板20における熱抵抗の増加の抑制と、支持基板20の反りの低減との2つの点を考慮すると、各裏面金属層23A,23Bのy方向の寸法は、各主面金属層22A,22Bのy方向の寸法の75%〜90%程度であることが好ましい。
半導体装置A1では、絶縁基板21の構成材料はセラミックである。セラミックの線膨張係数は小さいので、上記熱サイクルによる絶縁基板21の熱膨張および熱収縮は小さい。また、主面金属層22A,22Bおよび裏面金属層23A,23Bの各構成材料はCuあるいはCu合金である。Cuの線膨張係数は大きいので、主面金属層22A,22Bおよび裏面金属層23A,23Bはそれぞれ、上記熱サイクルによる熱膨張および熱収縮は大きい。つまり、上記熱サイクルによって絶縁基板21に加わる熱応力が大きい。仮にy方向における裏面金属層23A,23Bの各寸法がy方向における主面金属層22A,22Bの各寸法と同じである場合、支持基板20の反りが大きくなる。そのため、上述のように、y方向における裏面金属層23A,23Bの各寸法を、y方向における主面金属層22A,22Bの各寸法よりも小さくすることは、支持基板20の反りを低減させる上で有効である。
半導体装置A1では、各導電層241A,241B(各導電部材24A,24B)が1つの絶縁基板21上に配置されている。この構成では、上記熱サイクルにおいて絶縁基板21に加わる熱応力が高くなる。仮にy方向における裏面金属層23A,23Bの各寸法が、y方向における主面金属層22A,22Bの各寸法と同じである場合、支持基板20の反りが大きくなる。そのため、上述のように、y方向における裏面金属層23A,23Bの各寸法を、y方向における主面金属層22A,22Bの各寸法よりも小さくすることは、支持基板20の反りを低減させる上で有効である。
半導体装置A1では、各裏面金属層23A,23Bの一対の端縁233,234は、平面視において、各主面金属層22A,22Bにそれぞれ重なっている。また、各裏面金属層23A,23Bの一対の端縁231,232は、平面視において、各主面金属層22A,22Bの一対の端縁221,222にそれぞれ重なっている。本願発明者の研究では、各裏面金属層23A,23Bにおいて、各導電層241A,241Bの線膨張係数の大きい方向、すなわち、y方向の寸法を小さくすれば、支持基板20の反りを低減する効果が得られることが分かった。つまり、x方向の寸法を小さくすることなく、支持基板20の反りを低減する効果が得られることが分かった。各裏面金属層23A,23Bは、封止部材60から露出しており、たとえばヒートシンクなどが接続されうる。よって、各裏面金属層23A,23Bの平面視面積が大きいほど放熱性が大きくなるので、各裏面金属層23A,23Bの平面視面積が小さいと放熱性が低下する。よって、半導体装置A1においては、各裏面金属層23A,23Bのx方向の寸法を、各主面金属層22A,22Bのx方向の寸法と略同じにし、各裏面金属層23A,23Bのy方向の寸法を、各主面金属層22A,22Bのy方向の寸法よりも小さくすることで、不要に各裏面金属層23A,23Bの平面視面積を小さくなることを抑制している。したがって、半導体装置A1は、支持基板20の反りを低減するとともに、放熱性の低下を抑制することができる。
第1実施形態において、絶縁基板21がセラミックである場合を示したが、セラミック の代わりに、絶縁性樹脂材を用いてもよい。このような絶縁性樹脂材としては、エポキシ系樹脂材およびPDMS(ポリジメチルシロキサン)系樹脂材などがある。これらの樹脂材は、セラミックよりもヤング率が小さいので、支持基板20の反りがさらに低減される。たとえば、セラミックであるSiN(窒化ケイ素)のヤング率は約300GPaであり、エポキシ系樹脂材のヤング率は約14GPaである。また、PDMS系樹脂材のヤング率は、約5MPaである。ヤング率は、その値が大きいほど剛性が高い。つまり、上記絶縁性樹脂材はセラミックよりも剛性が低い(軟らかい)。そのため、上記熱サイクルによる熱膨張時に、膨張差があっても、絶縁基板21の柔らかさによって、支持基板20にかかる熱応力が緩和される。これにより、支持基板20の反りをさらに低減させることが可能となる。本願発明者の研究によれば、絶縁基板21に用いる絶縁性樹脂材は、ヤング率が約50GPa以下(好ましくは約10GPa以下)であると、支持基板20の反りを低減する効果がさらに得られることが分かった。
第1実施形態において、封止部材60の形状は、上記したものに限定されない。図16は、このように封止部材60の形状が異なる半導体装置を示す斜視図である。図16に示す封止部材60は、平面視において、y方向の各端縁部分が、x方向に延び出ている。封止部材60のうち、x2方向に延び出た部分によって、2つの入力端子31,32および絶縁板39の各々の一部が覆われている。また、封止部材60のうち、x1方向に延び出た部分によって、出力端子33の一部が覆われている。このような変形例によれば、たとえば、半導体装置A1において、封止部材60から突き出た、2つの入力端子31,32、出力端子33および絶縁板39の一部を保護することができる。
図16〜図27は、本開示の変形例および他の実施形態を示している。なお、これらの図において、上記実施形態と同一または類似の要素には、上記実施形態と同一の符号を付している。
<第1実施形態 第1変形例>
図16は、半導体装置A1の第1実施形態を示している。本変形例の半導体装置A11は、支持基板20が、上述した例の裏面金属層23A,23Bを有していない。絶縁基板21の裏面212は、封止部材60の樹脂裏面62から露出している。また、図示された例においては、裏面212は、樹脂裏面62と略面一である。
図16は、半導体装置A1の第1実施形態を示している。本変形例の半導体装置A11は、支持基板20が、上述した例の裏面金属層23A,23Bを有していない。絶縁基板21の裏面212は、封止部材60の樹脂裏面62から露出している。また、図示された例においては、裏面212は、樹脂裏面62と略面一である。
本変形例によっても、絶縁基板21の反りを抑制することができる。また、本変形例から理解されるように、本開示に係る半導体装置は、裏面金属層を有さない構成であってもよい。
<第1実施形態 第2変形例>
図17は、半導体装置A1の第2実施形態を示している。本変形例の半導体装置A12は、主面金属層22A,22Bの構成が、上述した例と異なっている。
図17は、半導体装置A1の第2実施形態を示している。本変形例の半導体装置A12は、主面金属層22A,22Bの構成が、上述した例と異なっている。
本例の主面金属層22Aは、第1層22Aa、第2層22Abおよび接合層22Acを有している。第1層22Aaは、絶縁基板21の主面211上に配置されており、主面211に直接接している。第1層22Aaの構成材料は、たとえばCu(銅)あるいはCu合金、Al(アルミニウム)である。このような第1層22Aaは、たとえばめっきによって形成される。
第2層22Abは、第1層22Aaに対してz方向において絶縁基板21とは反対側に配置されている。第2層22Abの構成材料は、たとえばCu(銅)あるいはCu合金、Al(アルミニウム)である。第2層22Abは、第1層22Aaとは別体の部材が第1層22Aaに接合されることによって設けられている。このため、第2層22Abは、たとえば金属板材料に切断加工やエッチング加工等を施すことによって形成された部材を用いて形成することができる。
接合層22Acは、第1層22Aaと第2層22Abとの間に介在しており、第1層22Aaと第2層22Abとを接合している。接合層22Acは、たとえばはんだあるいは金属ペースト、焼結金属などのいずれかである。なお、第1層22Aaと第2層22Abとは、固相拡散接合の手法によって接合されていてもよい。この場合、接合層22Acは、存在しない。
主面金属層22Aは、絶縁基板21よりも厚く、裏面金属層23Aよりも厚い。第1層22Aaと第2層22Abとの厚さの関係は何ら限定されず、図示された例においては、第2層22Abは、第1層22Aaよりも厚い。また、第2層22Abは、好ましくは絶縁基板21および裏面金属層23Aよりも厚い。
本例の主面金属層22Bは、第1層22Ba、第2層22Bbおよび接合層22Bcを有している。第1層22Baは、絶縁基板21の主面211上に配置されており、主面211に直接接している。第1層22Baの構成材料は、たとえばCu(銅)あるいはCu合金、Al(アルミニウム)である。このような第1層22Baは、たとえばめっきによって形成される。
第2層22Bbは、第1層22Baに対してz方向において絶縁基板21とは反対側に配置されている。第2層22Bbの構成材料は、たとえばCu(銅)あるいはCu合金、Al(アルミニウム)である。第2層22Bbは、第1層22Baとは別体の部材が第1層22Baに接合されることによって設けられている。このため、第2層22Bbは、たとえば金属板材料に切断加工やエッチング加工等を施すことによって形成された部材を用いて形成することができる。
接合層22Bcは、第1層22Baと第2層22Bbとの間に介在しており、第1層22Baと第2層22Bbとを接合している。接合層22Bcは、たとえばはんだあるいは金属ペースト、焼結金属などのいずれかである。なお、第1層22Baと第2層22Bbとは、固相拡散接合の手法によって接合されていてもよい。この場合、接合層22Bcは、存在しない。
主面金属層22Bは、絶縁基板21よりも厚く、裏面金属層23Bよりも厚い。第1層22Baと第2層22Bbとの厚さの関係は何ら限定されず、図示された例においては、第2層22Bbは、第1層22Baよりも厚い。また、第2層22Bbは、好ましくは絶縁基板21および裏面金属層23Bよりも厚い。
たとえば、半導体装置A1と同様に、絶縁基板21の厚さが0.32mm程度、裏面金属層23A,23Bの厚さが0.2mm〜0.4mm程度である場合、第1層22Aa,22Baの厚さは、0.2mm〜0.4mm程度であり、好ましくは、裏面金属層23A,23Bと同じである。また、第2層22Ab,22Bbの厚さは、絶縁基板21より厚く、好ましくは、裏面金属層23A,23Bおよび第1層22Aa,22BAよりも厚く、0.5mm〜2.0mmである。この場合、主面金属層22A,22Bの厚さは、たとえば0.7mm〜2.4mmに接合層22Ac,22Bcの厚さを加えた厚さとなる。
本変形例によっても、絶縁基板21の反りを抑制することができる。また、本例の主面金属層22A,22Bは、第2層22Ab,22Bbを有する。第2層22Ab,22Bbは、たとえば第1層22Aa,22Baに別体の金属部材が接合されることによって設けられている。このため、たとえば、主面金属層22A,22Bが単体の金属層からなる場合であって、めっきによって形成される場合と比べて、主面金属層22A,22Bの厚さをより容易且つ確実に厚くすることができる。これは、絶縁基板21の反りの抑制に好ましい。
以降の実施形態においては、特に言及する場合を除き、主面金属層22A,22Bが単体の金属層からなる構成であってもよいし、第1層22Aa,22Ba、第2層22Ab,22Bbおよび接合層22Ac,22Bcを有する構成であってもよい。
<第2実施形態>
図18〜図20は、第2実施形態にかかる半導体装置A2を示している。図18は、半導体装置A2を示す平面図であって、封止部材60を想像線(二点鎖線)で示している。図19は、図18のXIX−XIX線に沿う断面図である。図20は、図18のXX−XX線に沿う断面図である。
図18〜図20は、第2実施形態にかかる半導体装置A2を示している。図18は、半導体装置A2を示す平面図であって、封止部材60を想像線(二点鎖線)で示している。図19は、図18のXIX−XIX線に沿う断面図である。図20は、図18のXX−XX線に沿う断面図である。
半導体装置A2は、半導体装置A1と比較して、図18に示すように、複数の板状接続部材52において、各第1リード521の形状が異なり、かつ、複数の第2リード522を含んでいない。
半導体装置A2の各第1リード521は、半導体装置A1の各第1リード521と異なり、屈曲しておらず、図20に示すように、導電部材24Bに接合される部分の厚みが大きい。このようにして、各第1リード521を屈曲させることなく、各第1リード521を導電部材24Bに接合することを可能にしている。なお、半導体装置A2において、半導体装置A2の各第1リード521の代わりに、半導体装置A1の各第1リード521を用いてもよい。また、半導体装置A1において、半導体装置A1の各第1リード521の代わりに、半導体装置A2の各第1リード521を用いてもよい。
半導体装置A2の入力端子32は、図18に示すように、パッド部321の各延出部321bが、平面視において、各半導体素子10Bに重なるまで延びている。そして、各半導体素子10Bと各延出部321bとの間にはそれぞれ、図18および図19に示すよう に、導電性のブロック材42が介在している。各ブロック材42は、各延出部321bおよび各半導体素子10B(第1電極111)にそれぞれ接合されている。各延出部321bと各ブロック材42との接合、および、各ブロック材42と各半導体素子10B(第1電極111)との接合は、導電性接合材を用いた接合、レーザ接合あるいは超音波接合などのいずれであってもよい。各ブロック材42の構成材料は、特に限定されないが、たとえばCu、Cu合金、CuMoの複合材、CICの複合材などが用いられる。半導体装置A2においては、このようにして、各第2リード522を用いることなく、入力端子32と各半導体素子10Bとを導通させている。
半導体装置A2のその他の構成については、半導体装置A1と同様である。
半導体装置A2においても、半導体装置A1と同様に、絶縁基板21の反りを低減することができる。
<第3実施形態>
図21〜図23は、第3実施形態にかかる半導体装置A3を示している。図21は、半導体装置A3を示す平面図であって、封止部材60を想像線(二点鎖線)で示している。図22は、図21の平面図において、一部を抜粋した図である。図23は、図21のXXIII−XXIII線に沿う断面図である。
図21〜図23は、第3実施形態にかかる半導体装置A3を示している。図21は、半導体装置A3を示す平面図であって、封止部材60を想像線(二点鎖線)で示している。図22は、図21の平面図において、一部を抜粋した図である。図23は、図21のXXIII−XXIII線に沿う断面図である。
半導体装置A3は、半導体装置A1と異なり、図21および図22に示すように、複数の半導体素子10Aと複数の半導体素子10Bとが、x方向に見て重なるように配置されている。このような半導体装置A3では、図22に示すように、半導体装置A1と同様に、裏面金属層23Aの端縁233が、平面視において、複数の半導体素子10Aのうち最もy1方向側に位置する半導体素子10Aに重なるとともに、裏面金属層23Aの端縁234が、平面視において、複数の半導体素子10Aのうち最もy2方向側に位置する半導体素子10Aに重なっている。また、図22に示すように、裏面金属層23Bの端縁233が、平面視において、複数の半導体素子10Bのうち最もy1方向側に位置する半導体素子10Bに重なるとともに、裏面金属層23Bの端縁234が、平面視において、複数の半導体素子10Bのうち最もy2方向側に位置する半導体素子10Bに重なっている。
また、半導体装置A3は、半導体装置A1と比較して、図21および図23に示すように、2つの入力端子31,32および出力端子33の構成が異なる。たとえば、半導体装置A3では、2つの入力端子31,32が、半導体装置A1のようにz方向に重なるのではなく、図21および図23に示すように、y方向に見て重なるように配置されている。
半導体装置A3の入力端子31において、パッド部311は、図21および図23に示すように、導電性のブロック材43を介して、導電部材24Aに導通接合されている。パッド部331は、ブロック材43に接合され、ブロック材43は、導電部材24Aに接合されている。パッド部331とブロック材43との接合、および、ブロック材43と導電部材24Aとの接合は、導電性接合材を用いた接合であってもよいし、レーザ接合や超音波接合などであってもよい。ブロック材43の構成材料は、特に限定されないが、たとえばCu、Cu合金、CuMoの複合材、CICの複合材などが用いられる。
半導体装置A3の入力端子32において、パッド部321は、図21および図23に示すように、半導体装置A2と同様に、各延出部321bが、平面視において各半導体素子10Bに重なるまで、x方向に延びている。そして、半導体装置A2と同様に、各延出部321bの先端部分(x1方向の端部)が、ブロック材42を介して、各半導体素子10B(第1電極111)に導通している。
半導体装置A3の出力端子33において、パッド部331は、図21および図23に示すように、その一部において、導電性のブロック材44を介して、導電部材24Bに導通接合されている。パッド部331は、ブロック材44に接合され、ブロック材44は、導電部材24Bに接合されている。パッド部331とブロック材44との接合、および、ブロック材44と導電部材24Bとの接合は、導電性接合材を用いた接合であってもよいし、レーザ接合や超音波接合などであってもよい。ブロック材44の構成材料は、特に限定されないが、たとえばCu、Cu合金、CuMoの複合材、CICの複合材などが用いられる。
半導体装置A3のその他の構成については、半導体装置A1と同様である。
半導体装置A3においても、半導体装置A1と同様に、絶縁基板21の反りを低減することができる。
<第4実施形態>
図24および図25は、第4実施形態にかかる半導体装置A4を示している。図24は、半導体装置A4を示す断面図であって、第1実施形態の図11に示す断面に相当する。図25は、半導体装置A4を示す底面図である。
図24および図25は、第4実施形態にかかる半導体装置A4を示している。図24は、半導体装置A4を示す断面図であって、第1実施形態の図11に示す断面に相当する。図25は、半導体装置A4を示す底面図である。
半導体装置A4は、半導体装置A1と比較して、主に支持基板20の構成が異なる。
半導体装置A4の支持基板20では、絶縁基板21の構成材料が、セラミックではなく、たとえば、BN(窒化ホウ素)樹脂である。BN樹脂は、BNをフィラーとした混ぜた樹脂材料であり、グラファイトと同様に、線膨張係数に異方性がある。絶縁基板21は、相対的に線膨張係数の大きい方向がy方向に沿って配置されている。このとき、絶縁基板21は、x方向の線膨張係数が約2ppm/Kであり、y方向の線膨張係数が約27ppm/Kであり、z方向の線膨張係数が約2ppm/Kである。
また、半導体装置A4の支持基板20では、一対の裏面金属層23A,23Bを含まず、1つの裏面金属層23を含んでいる。裏面金属層23は、図25に示すように、平面視矩形状である。各主面金属層22A,22Bは、平面視において、裏面金属層23に重なる。裏面金属層23のy方向の寸法は、各主面金属層22A,22Bのy方向の寸法、および、絶縁基板21のy方向の寸法とそれぞれ略同じである。また、絶縁基板21、各主面金属層22A,22Bおよび各裏面金属層23のz方向の寸法はそれぞれ、たとえば0.1mm程度である。
本実施形態によっても、絶縁基板21の反りを抑制することができる。
第4実施形態においては、裏面金属層23のy方向の寸法が、各主面金属層22A,22Bのy方向の寸法と略同じである場合を説明したが、裏面金属層23のy方向の寸法を、各主面金属層22A,22Bのy方向の寸法よりも小さくしてもよい。また、半導体装置A4においては、支持基板20が1つの裏面金属層23を含んでいる場合を示したが、半導体装置A1と同様に、2つの裏面金属層23A,23Bを含んでいてもよい。このとき、各裏面金属層23A,23Bのy方向の寸法は、各主面金属層22A,22Bのy方向の寸法と同じであってもよいし、各主面金属層22A,22Bのy方向の寸法よりも小さくてもよい。
<第5実施形態>
図26および図27は、第5実施形態にかかる半導体装置A5を示している。図26は、半導体装置A5を示す断面図であって、第1実施形態の図11に示す断面に対応する。図27は、半導体装置A5を示す底面図である。
図26および図27は、第5実施形態にかかる半導体装置A5を示している。図26は、半導体装置A5を示す断面図であって、第1実施形態の図11に示す断面に対応する。図27は、半導体装置A5を示す底面図である。
半導体装置A5は、半導体装置A1と異なり、図26および図27に示すように、1つの絶縁基板21の代わりに、互いに離間した一対の絶縁基板21A,21Bを備えている。つまり、半導体装置A5は、絶縁基板21を2つに分割した構成である。一対の絶縁基板21A,21Bは、x方向に離間しており、かつ、x方向に並んでいる。各絶縁基板21A,21Bは、平面視矩形状である。各絶縁基板21A,21Bの構成材料は、上記セラミックでもよいし、ヤング率が50GPa以下の上記絶縁性樹脂材であってもよい。また、各絶縁基板21A,21Bの構成材料は、上記BN樹脂であってもよい。この場合、各絶縁基板21A,21Bは、相対的に線膨張係数の大きい方向がy方向に沿って配置されている。
絶縁基板21Aは、図26に示すように、主面211Aおよび裏面212Aを有する。主面211Aおよび裏面212Aは、z方向において離間している。主面211Aは、z2方向を向き、裏面212Aは、z1方向を向く。
主面211Aには、主面金属層22Aが配置され、裏面212Aには、裏面金属層23Aが配置されている。絶縁基板21A、主面金属層22A、および、裏面金属層23Aは、平面視において重なっている。特に、主面金属層22Aおよび裏面金属層23Aのy方向の各寸法は略同じであり、主面金属層22Aと裏面金属層23Aとは、平面視において略一致している。つまり、平面視において、主面金属層22Aの各端縁221〜224はそれぞれ、裏面金属層23Aの各端縁231〜234に重なっている。
絶縁基板21Bは、図26に示すように、主面211Bおよび裏面212Bを有する。主面211Bおよび裏面212Bは、z方向において離間している。主面211Bは、z2方向を向き、裏面212Bは、z1方向を向く。
主面211Bには、主面金属層22Bが配置され、裏面212Bには、裏面金属層23Bが配置されている。絶縁基板21B、主面金属層22B、および、裏面金属層23Bは、平面視において重なっている。特に、主面金属層22Bおよび裏面金属層23Bのy方向の各寸法は略同じであり、各主面金属層22Bと裏面金属層23Bとは、平面視において略一致している。つまり、平面視において、主面金属層22Bの各端縁221〜224はそれぞれ、裏面金属層23Bの各端縁231〜234に重なっている。
本実施形態によっても、絶縁基板21の反りを抑制することができる。
半導体装置A5では、互いに離間した2つの絶縁基板21A,21Bを設け、導電層241Aが絶縁基板21Aの上に配置され、導電層241Bが絶縁基板21Bの上に配置されている。つまり、半導体装置A5は、半導体装置A1と異なり、1つの絶縁基板21上に、2つの導電層241A,241Bが配置されていない。この構成によると、上記熱サ
イクル時において、1つの絶縁基板21で構成した場合よりも各絶縁基板21A,21Bに加わる熱応力が低減される。これにより、各絶縁基板21A,21Bの反りが低減されるので、半導体装置A5は、支持基板20の反りを低減することができる。なお、各絶縁基板21A,21Bの構成材料が、ヤング率が50GPa以下の絶縁性樹脂材である場合、各絶縁基板21A,21Bの柔らかさによって各絶縁基板21A,21Bにかかる熱応力が緩和されるため、支持基板20の反りを低減する上で好ましい。
イクル時において、1つの絶縁基板21で構成した場合よりも各絶縁基板21A,21Bに加わる熱応力が低減される。これにより、各絶縁基板21A,21Bの反りが低減されるので、半導体装置A5は、支持基板20の反りを低減することができる。なお、各絶縁基板21A,21Bの構成材料が、ヤング率が50GPa以下の絶縁性樹脂材である場合、各絶縁基板21A,21Bの柔らかさによって各絶縁基板21A,21Bにかかる熱応力が緩和されるため、支持基板20の反りを低減する上で好ましい。
第5実施形態においては、各裏面金属層23A,23Bのy方向の寸法が、各主面金属層22A,22Bのy方向の寸法と略同じである場合を説明したが、各裏面金属層23A,23Bのy方向の寸法を、各主面金属層22A,22Bのy方向の寸法よりも小さくしてもよい。
本開示にかかる半導体装置は、上記した実施形態に限定されるものではない。本開示の半導体装置の各部の具体的な構成は、種々に設計変更自在である。たとえば、本開示にかかる半導体装置は、以下の付記に関する実施形態を含む。
〔付記1〕
第1方向において離間する主面および裏面を有する絶縁基板と、
前記主面に配置され、かつ、互いに離間した主面金属層と、
前記主面金属層に支持された半導体素子と、を備え、
前記主面金属層は、前記絶縁基板よりも厚い、半導体装置。
〔付記2〕
前記主面金属層と前記半導体素子との間に介在する導電部材をさらに備える、付記1に記載の半導体装置。
〔付記3〕
前記導電部材は、グラファイトからなる導電層を含む、付記2に記載の半導体装置。
〔付記4〕
前記導電部材は、前記導電層を挟む一対の金属層をさらに含む、付記3に記載の半導体装置。
〔付記5〕
前記裏面に配置された裏面金属層をさらに備え、
前記主面金属層は、前記裏面金属層よりも厚い、付記2ないし4のいずれかに記載の半導体装置。
〔付記6〕
前記主面金属層は、単体の金属層からなる、付記5に記載の半導体装置。
〔付記7〕
前記主面金属層は、第1層および当該第1層に対して前記絶縁基板とは反対側に配置された第2層とを含む、付記5に記載の半導体装置。
〔付記8〕
前記第2層は、前記第1層よりも厚い、付記7に記載の半導体装置。
〔付記9〕
前記第2層は、前記絶縁基板よりも厚い、付記8に記載の半導体装置。
〔付記10〕
前記第2層は、前記裏面金属層よりも厚い、付記9に記載の半導体装置。
〔付記11〕
前記第1層は、前記裏面金属層と同じ厚さである、付記10に記載の半導体装置。
〔付記12〕
前記主面金属層は、前記第2層を前記第1層に接合する接合層をさらに含む、付記7ないし11のいずれかに記載の半導体装置。
〔付記13〕
前記絶縁基板は、セラミックスからなる、付記5ないし12のいずれかに記載の半導体装置。
〔付記14〕
前記絶縁基板、前記主面金属層および前記半導体素子を覆う封止部材をさらに備える、付記5ないし13のいずれかに記載の半導体装置。
〔付記15〕
互いに離間した複数の前記主面金属層、
前記複数の主面金属層に個別に支持された複数の前記半導体素子、を備える、付記5ないし14のいずれかに記載の半導体装置。
〔付記16〕
前記複数の主面金属層に個別に支持された複数の前記導電部材、を備える、付記15に記載の半導体装置。
〔付記17〕
前記裏面金属層は、前記第1方向に沿って視て、前記主面金属層と重なる、付記5ないし16のいずれかに記載の半導体装置。
〔付記18〕
前記裏面金属層は、前記第1方向に沿って視た面積が、前記主面金属層の面積よりも小さい、付記17に記載の半導体装置。
第1方向において離間する主面および裏面を有する絶縁基板と、
前記主面に配置され、かつ、互いに離間した主面金属層と、
前記主面金属層に支持された半導体素子と、を備え、
前記主面金属層は、前記絶縁基板よりも厚い、半導体装置。
〔付記2〕
前記主面金属層と前記半導体素子との間に介在する導電部材をさらに備える、付記1に記載の半導体装置。
〔付記3〕
前記導電部材は、グラファイトからなる導電層を含む、付記2に記載の半導体装置。
〔付記4〕
前記導電部材は、前記導電層を挟む一対の金属層をさらに含む、付記3に記載の半導体装置。
〔付記5〕
前記裏面に配置された裏面金属層をさらに備え、
前記主面金属層は、前記裏面金属層よりも厚い、付記2ないし4のいずれかに記載の半導体装置。
〔付記6〕
前記主面金属層は、単体の金属層からなる、付記5に記載の半導体装置。
〔付記7〕
前記主面金属層は、第1層および当該第1層に対して前記絶縁基板とは反対側に配置された第2層とを含む、付記5に記載の半導体装置。
〔付記8〕
前記第2層は、前記第1層よりも厚い、付記7に記載の半導体装置。
〔付記9〕
前記第2層は、前記絶縁基板よりも厚い、付記8に記載の半導体装置。
〔付記10〕
前記第2層は、前記裏面金属層よりも厚い、付記9に記載の半導体装置。
〔付記11〕
前記第1層は、前記裏面金属層と同じ厚さである、付記10に記載の半導体装置。
〔付記12〕
前記主面金属層は、前記第2層を前記第1層に接合する接合層をさらに含む、付記7ないし11のいずれかに記載の半導体装置。
〔付記13〕
前記絶縁基板は、セラミックスからなる、付記5ないし12のいずれかに記載の半導体装置。
〔付記14〕
前記絶縁基板、前記主面金属層および前記半導体素子を覆う封止部材をさらに備える、付記5ないし13のいずれかに記載の半導体装置。
〔付記15〕
互いに離間した複数の前記主面金属層、
前記複数の主面金属層に個別に支持された複数の前記半導体素子、を備える、付記5ないし14のいずれかに記載の半導体装置。
〔付記16〕
前記複数の主面金属層に個別に支持された複数の前記導電部材、を備える、付記15に記載の半導体装置。
〔付記17〕
前記裏面金属層は、前記第1方向に沿って視て、前記主面金属層と重なる、付記5ないし16のいずれかに記載の半導体装置。
〔付記18〕
前記裏面金属層は、前記第1方向に沿って視た面積が、前記主面金属層の面積よりも小さい、付記17に記載の半導体装置。
A1,A11,A12,A2,A3,A4,A5:半導体装置
2 :裏面金属層
10,10A,10B:半導体素子
11 :主面電極
12 :裏面電極
13 :絶縁膜
19A,19B:導電性接合材
20 :支持基板
21,21A,21B:絶縁基板
22A :主面金属層
22Aa :第1層
22Ab :第2層
22Ac :接合層
22B :主面金属層
22BA,22Ba:第1層
22Bb :第2層
22Bc :接合層
23,23A,23B:裏面金属層
24A,24B:導電部材
25A,25B:絶縁層
26A,26B:ゲート層
27A,27B:検出層
29A,29B:導電性接合層
31,32:入力端子
33 :出力端子
34A,34B:ゲート端子
35A,35B:検出端子
36 :ダミー端子
37A,37B:側方端子
39 :絶縁板
41 :土台部
42,43,44:ブロック材
51 :線状接続部材
52 :板状接続部材
60 :封止部材
61 :樹脂主面
62 :樹脂裏面
101 :素子主面
102 :素子裏面
111 :第1電極
112 :第2電極
211,211A,211B:主面
212,212A,212B:裏面
221,222,223,224,231,232,233,234:端縁
241,241A,241B:導電層
242A,242B,243A,243B:金属層
311,321,331,341,361,351:パッド部
312,322,332,342,352:端子部
362 :端子部
321a :連結部
321b :延出部
391 :介在部
392 :延出部
511 :ゲートワイヤ
512 :検出ワイヤ
513 :第1接続ワイヤ
514 :第2接続ワイヤ
521 :第1リード
522 :第2リード
631,632,633,634:樹脂側面
2 :裏面金属層
10,10A,10B:半導体素子
11 :主面電極
12 :裏面電極
13 :絶縁膜
19A,19B:導電性接合材
20 :支持基板
21,21A,21B:絶縁基板
22A :主面金属層
22Aa :第1層
22Ab :第2層
22Ac :接合層
22B :主面金属層
22BA,22Ba:第1層
22Bb :第2層
22Bc :接合層
23,23A,23B:裏面金属層
24A,24B:導電部材
25A,25B:絶縁層
26A,26B:ゲート層
27A,27B:検出層
29A,29B:導電性接合層
31,32:入力端子
33 :出力端子
34A,34B:ゲート端子
35A,35B:検出端子
36 :ダミー端子
37A,37B:側方端子
39 :絶縁板
41 :土台部
42,43,44:ブロック材
51 :線状接続部材
52 :板状接続部材
60 :封止部材
61 :樹脂主面
62 :樹脂裏面
101 :素子主面
102 :素子裏面
111 :第1電極
112 :第2電極
211,211A,211B:主面
212,212A,212B:裏面
221,222,223,224,231,232,233,234:端縁
241,241A,241B:導電層
242A,242B,243A,243B:金属層
311,321,331,341,361,351:パッド部
312,322,332,342,352:端子部
362 :端子部
321a :連結部
321b :延出部
391 :介在部
392 :延出部
511 :ゲートワイヤ
512 :検出ワイヤ
513 :第1接続ワイヤ
514 :第2接続ワイヤ
521 :第1リード
522 :第2リード
631,632,633,634:樹脂側面
Claims (18)
- 第1方向において離間する主面および裏面を有する絶縁基板と、
前記主面に配置され、かつ、互いに離間した主面金属層と、
前記主面金属層に支持された半導体素子と、を備え、
前記主面金属層は、前記絶縁基板よりも厚い、半導体装置。 - 前記主面金属層と前記半導体素子との間に介在する導電部材をさらに備える、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記導電部材は、グラファイトからなる導電層を含む、請求項2に記載の半導体装置。
- 前記導電部材は、前記導電層を挟む一対の金属層をさらに含む、請求項3に記載の半導体装置。
- 前記裏面に配置された裏面金属層をさらに備え、
前記主面金属層は、前記裏面金属層よりも厚い、請求項2ないし4のいずれかに記載の半導体装置。 - 前記主面金属層は、単体の金属層からなる、請求項5に記載の半導体装置。
- 前記主面金属層は、第1層および当該第1層に対して前記絶縁基板とは反対側に配置された第2層とを含む、請求項5に記載の半導体装置。
- 前記第2層は、前記第1層よりも厚い、請求項7に記載の半導体装置。
- 前記第2層は、前記絶縁基板よりも厚い、請求項8に記載の半導体装置。
- 前記第2層は、前記裏面金属層よりも厚い、請求項9に記載の半導体装置。
- 前記第1層は、前記裏面金属層と同じ厚さである、請求項10に記載の半導体装置。
- 前記主面金属層は、前記第2層を前記第1層に接合する接合層をさらに含む、請求項7ないし11のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記絶縁基板は、セラミックスからなる、請求項5ないし12のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記絶縁基板、前記主面金属層および前記半導体素子を覆う封止部材をさらに備える、請求項5ないし13のいずれかに記載の半導体装置。
- 互いに離間した複数の前記主面金属層、
前記複数の主面金属層に個別に支持された複数の前記半導体素子、を備える、請求項5ないし14のいずれかに記載の半導体装置。 - 前記複数の主面金属層に個別に支持された複数の前記導電部材、を備える、請求項15に記載の半導体装置。
- 前記裏面金属層は、前記第1方向に沿って視て、前記主面金属層と重なる、請求項5ないし16のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記裏面金属層は、前記第1方向に沿って視た面積が、前記主面金属層の面積よりも小さい、請求項17に記載の半導体装置。
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WO2024116924A1 (ja) * | 2022-12-02 | 2024-06-06 | ローム株式会社 | 半導体装置、および、半導体装置の製造方法 |
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2020
- 2020-05-27 JP JP2020092401A patent/JP2021190505A/ja active Pending
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