JP2021170018A - 受光装置およびこれを備えた光電式エンコーダ - Google Patents

受光装置およびこれを備えた光電式エンコーダ Download PDF

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Abstract

【課題】受光素子から保護部材が剥離することを抑制して信頼性を保つとともに高精度化を図ることができる受光装置の提供。【解決手段】受光装置4は、基礎となる基部5と、一方側の板面61が基部5と接触するとともに光を受光する板状の受光素子6と、受光素子6の他方側の板面62と接触する板面71を有し、受光素子6を保護する板状の保護部材7と、受光素子6に保護部材7を固定する固定部材8と、受光素子6の側面60および保護部材7の側面70の合計面積よりも固定部材8との接触面積を拡張する面積拡張部9と、を備える。固定部材8は、基部5と、受光素子6の側面60と、保護部材7の側面70と、面積拡張部9と、に亘って固定する。【選択図】図1

Description

本発明は、受光装置およびこれを備えた光電式エンコーダに関する。
従来、目盛を有するスケールと、スケールに沿って相対移動するヘッドと、を備え、スケールとヘッドとの相対移動量を検出する光電式エンコーダが知られている。ヘッドは、スケールに光を照射する光源と、光源から照射された光をスケールを介して受光する受光素子を有する受光装置と、を備える。スケールおよび受光装置は、外部からの汚れ等から目盛や受光素子を保護する保護部材を備える。
例えば、特許文献1に記載の光学式変位検出装置(光電式エンコーダ)は、照明手段(光源)と、メインスケール(スケール)と、メインスケールを挟んで照明手段とは反対側に配置される受光器(受光装置)と、を備える。受光器は、受光器の基礎となる基板(基部)と、メインスケールと対向する基板の板面に配置される受光素子と、受光素子の受光面を保護するカバープレート(保護部材)と、基板、受光素子およびカバープレートを固定する耐熱性樹脂(固定部材)と、を備える。
受光素子の受光面には、透光性の接着剤を介してカバープレートが直接貼り付けられている。耐熱性樹脂は、カバープレートが貼り付けられた受光素子の受光面およびメインスケールと対向するカバープレートの板面を除いた、基板、受光素子およびカバープレートの外表面と接触して、これらを一体に固定している。
特開平9−189514号公報
しかしながら、このような光電式エンコーダでは、保護部材と固定部材との間に隙間ができることがある。この隙間は、受光装置の内部に湿気や空気等が侵入する通路となる。この通路を通ることにより、受光素子と保護部材との間に湿気や空気等が侵入することがある。この侵入した湿気や空気等は、受光素子から保護部材を浮かせて剥離させるという問題がある。
また、保護部材と受光素子との間に侵入した湿気や空気等は、受光素子が受光する光を屈折等させることがある。このため、光電式エンコーダは、測定精度を保つことができないという問題がある。
本発明の目的は、受光素子から保護部材が剥離することを抑制して信頼性を保つとともに高精度化を図ることができる受光装置を提供することである。
本発明の受光装置は、基礎となる基部と、一方側の板面が基部と接触するとともに光を受光する板状の受光素子と、受光素子の他方側の板面と接触する板面を有し、受光素子を保護する板状の保護部材と、受光素子に保護部材を固定する固定部材と、を備えた受光装置であって、受光素子の側面および保護部材の側面の合計面積よりも固定部材との接触面積を拡張する面積拡張部を備え、固定部材は、基部と、受光素子の側面と、保護部材の側面と、面積拡張部と、に亘って固定することを特徴とする。
ここで、受光素子の側面および保護部材の側面の合計面積とは、加工等がされていない状態の受光素子の側面および保護部材の側面の合計面積である。また、固定部材とは、例えば、透光素材の樹脂や、接着剤等である。また、面積拡張部とは、例えば、スケールと対向する保護部材の板面である。または、面積拡張部は、例えば、保護部材に加工等をすることによって設けられた粗面等である。
このような本発明によれば、面積拡張部は、受光素子の側面および保護部材の側面の合計面積よりも固定部材との接触面積を拡張させることができるため、受光素子までの通路の距離を長くすることができる。したがって、受光装置は、面積拡張部を備えていない場合と比べて、受光素子から保護部材が剥離することを抑制して湿気や空気等の侵入を防ぎ、信頼性を保つとともに高精度化を図ることができる。
例えば、面積拡張部は、スケールと対向する保護部材の板面である場合、固定部材は、基部と、受光素子と、保護部材と、スケールと対向する保護部材の板面と、に亘って固定することで、スケールと対向する保護部材の板面を覆う状態となるため、密封して保護部材を固定することができる。したがって、受光装置は、湿気や空気等が侵入する通路が保護部材と固定部材との間に発生することを抑制し、受光素子から保護部材が剥離することを抑制することができる。
また、例えば、面積拡張部は、保護部材を加工することにより設けられた粗面である場合、面積拡張部は、容易に加工することができる。
この際、面積拡張部は、保護部材の側面に設けられることが好ましい。
ここで、例えば、面積拡張部がスケールと対向する保護部材の板面である場合、スケールを介した光源からの光が入射する受光装置の入射面に固定部材等による凹凸が形成されると、光は、凹凸により屈折した状態で受光素子に入射される。また、例えば、面積拡張部がスケールと対向する保護部材の板面に加工された粗面である場合、粗面により入射面に凹凸が生じ、光は、この凹凸により屈折した状態で受光素子に入射される。これらの場合、光電式エンコーダは、精度を保つことができないという問題がある。
しかしながら、本発明によれば、面積拡張部は、保護部材の側面に設けられるため、スケールを介した光源からの光が入射する受光装置の入射面に固定部材による凹凸や粗面等は形成されない。したがって、光電式エンコーダは、高精度化を図ることができる。
また、面積拡張部は、保護部材の側面に設けられることにより、受光素子の側面および保護部材の側面の合計面積よりも固定部材と接触する面積を拡張することができる。また、面積拡張部は、湿気や空気等が侵入する通路が保護部材と固定部材との間に発生してしまったとしても、固定部材との接触面積を拡張するため、受光素子までの通路の距離を長くすることができる。したがって、受光装置は、湿気や空気等が侵入する通路が保護部材と固定部材との間に発生することを抑制し、受光素子から保護部材が剥離することを抑制することができる。
この際、面積拡張部は、保護部材の側面の全面に設けられることを特徴とする。
このような構成によれば、面積拡張部は、保護部材の側面の全面に設けられることにより、受光素子の側面および保護部材の側面の合計面積よりも固定部材と接触する面積を拡張することができる。また、面積拡張部は、湿気や空気等が侵入する通路が保護部材と固定部材との間に発生してしまったとしても、固定部材との接触面積を拡張するため、受光素子までの通路の距離を長くすることができる。したがって、受光装置は、湿気や空気等が侵入する通路が保護部材と固定部材との間に発生することを抑制し、受光素子から保護部材が剥離することをさらに抑制することができる。
この際、面積拡張部は、受光素子の他方側の板面と接触する保護部材の一方側の板面よりも保護部材の一方側の板面とは反対側の保護部材の他方側の板面の面積が小さくなるように設けられることが好ましい。
このような構成によれば、面積拡張部は、受光素子の他方側の板面と接触する保護部材の一方側の板面よりも保護部材の一方側の板面とは反対側の保護部材の他方側の板面の面積が小さくなるように設けられるため、固定部材および基部で保護部材および受光素子を挟むような構造となり、外力に強くすることができる。したがって、受光装置は、湿気や空気等が侵入する通路が保護部材と固定部材との間に発生することを抑制し、受光素子から保護部材が剥離することをさらに抑制することができる。
本発明の光電式エンコーダは、光を照射する光源と、光源から光が照射されるスケールと、スケールを介して光源からの光を受光する前述の受光装置と、を備えることを特徴とする。
このような本発明によれば、光電式エンコーダは、本発明における受光装置を備えることで、測定における信頼性を保つとともに測定精度の向上を図ることができる。
本発明の第1実施形態に係る受光装置を備えたエンコーダを示す断面図 本発明の第1実施形態に係る受光装置の製造工程を示す図 本発明の第2実施形態に係る受光装置を備えたエンコーダを示す断面図 本発明の第3実施形態に係る受光装置を備えたエンコーダを示す断面図 本発明の第4実施形態に係る受光装置を備えたエンコーダを示す断面図 本発明の変形例に係る受光装置を示す断面図
〔第1実施形態〕
以下、本発明の第1実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本発明の第1実施形態に係る受光装置を備えたエンコーダを示す断面図である。
エンコーダ1は、図1に示すように、光を照射する光源2と、光源2に対向して配置されるとともに光源2から光が照射されるスケール3と、スケール3を介して光源2からの光を受光するとともに受光した光を電気信号にする受光装置4と、を備える光電式エンコーダである。
スケール3は、ガラス等の透光素材で長尺状に形成されている。スケール3は、スケール3の長手方向(紙面左右方向)に沿って図示しない目盛を備えている。
光源2からの光は、スケール3の目盛を介して受光装置4に照射されると、受光装置4上に目盛と同じ周期の干渉縞を生成する。
光源2は、例えば発光ダイオード(Light Emitting Diode)である。
受光装置4は、基礎となる基部5と、一方側の板面61が基部5と接触するとともに光を受光する板状の受光素子6と、受光素子6の他方側の板面62と接触する板面71を有し、受光素子6を保護する板状の保護部材7と、受光素子6に保護部材7を固定する固定部材8と、固定部材8の形状を規定する枠体10と、を備える。
基部5は、受光装置4の基礎として略矩形板状に形成されている。
受光素子6は、基部5上に設けられたPDA(Photo Diode Array)である。PDAは、1度に複数の干渉縞を測定することができる性質を持つ検出器である。なお、受光素子6はPDAに限らず、PSD(Position Sensitive Detector)やCCD(Charge-Coupled Device)等の任意の検出器を用いてもよい。
保護部材7は、受光素子6の他方側の板面62と接触する一方側の板面71と、保護部材7の一方側の板面71とは反対側の保護部材7の他方側の板面72と、を有する。保護部材7は、透光素材であるガラスで略矩形板状に形成されている。保護部材7の側面の全面には、固定部材8との接触面積を受光素子6の側面60および保護部材7の側面70の合計面積よりも拡張する面積拡張部9が設けられている。
保護部材7の一方側の板面71および他方側の板面72は、スケール3の目盛を備える板面と平行な平滑面である。
面積拡張部9は、保護部材7の一方側の板面71よりも他方側の板面72の面積が小さくなるように設けられている。具体的には、面積拡張部9は、保護部材7の他方側の板面72の端部や角をヤスリ等で面取りすることで形成されている。
固定部材8は、基部5と、受光素子6の側面60と、保護部材7の側面70と、面積拡張部9と、に亘って一体に固定する接着剤である。なお、固定部材8は、透明素材の樹脂等であってもよく、基部5と、受光素子6の側面60と、保護部材7の側面70と、面積拡張部9等と、を固定することができればよい。
枠体10は、固定部材8が基部5上を流れないように、受光素子6の側面60および保護部材7の側面70を囲うように配置された板状部材である。
図2は、本発明の第1実施形態に係る受光装置の製造工程を示す図である。
以下、受光装置4の製造工程について、図2を参照して説明する。
図2(A)に示すように、先ず、基部5上に、受光素子6および枠体10を設置する。この際、基部5と受光素子6の一方側の板面61および枠体10を接着剤等で固定する。なお、基部5と受光素子6の一方側の板面61および枠体10は、接着剤等を用いずに固定してもよく、密着させて設置してもよい。
次に、図2(B)に示すように、基部5上に設置された受光素子6上に保護部材7を接触させて設置する。この際、受光素子6の他方側の板面62および保護部材7の一方側の板面71との間に湿気や空気等が混入しないように密着させて設置する。なお、受光素子6の他方側の板面62および保護部材7の一方側の板面71は、接着剤等で固定してもよい。
続いて、図2(C)に示すように、固定部材8を用いて、基部5と、受光素子6と、保護部材7と、面積拡張部9と、を固定する。なお、枠体10は、固定部材8が凝固した後、取り外してもよい。
このような本実施形態によれば、以下の作用・効果を奏することができる。
(1)面積拡張部9は、受光素子6の側面60および保護部材7の側面70の合計面積よりも固定部材8との接触面積を拡張させることができる。そして、面積拡張部9は、固定部材8との接触面積を拡張するため、受光素子6までの通路の距離を長くすることができる。したがって、受光装置4は、面積拡張部9を備えていない場合と比べて、受光素子6から保護部材7が剥離することを抑制して湿気や空気等の侵入を防ぎ、信頼性を保つとともに高精度化を図ることができる。
(2)面積拡張部9は、保護部材7の側面70に設けられるため、スケール3を介した光源2からの光が入射する受光装置4の入射面に固定部材8による凹凸や粗面等は形成されない。したがって、エンコーダ1は、高精度化を図ることができる。
(3)面積拡張部9は、保護部材7の側面70の全面に設けられることにより、受光素子6の側面60および保護部材7の側面70の合計面積よりも固定部材8と接触する面積を拡張することができる。また、面積拡張部9は、湿気や空気等が侵入する通路が保護部材7と固定部材8との間に発生してしまったとしても、固定部材8との接触面積を拡張するため、受光素子6までの通路の距離を長くすることができる。したがって、受光装置4は、湿気や空気等が侵入する通路が保護部材7と固定部材8との間に発生することを抑制し、受光素子6から保護部材7が剥離することをさらに抑制することができる。
(4)面積拡張部9は、受光素子6の他方側の板面62と接触する保護部材7の一方側の板面71よりも保護部材7の他方側の板面72の面積が小さくなるように設けられるため、固定部材8および基部5で保護部材7および受光素子6を挟むような構造となり、外力に強くすることができる。したがって、受光装置4は、湿気や空気等が侵入する通路が保護部材7と固定部材8との間に発生することを抑制し、受光素子6から保護部材7が剥離することをさらに抑制することができる。
(5)エンコーダ1は、本発明における受光装置4を備えることで、測定における信頼性を保つとともに測定精度の向上を図ることができる。
〔第2実施形態〕
以下、本発明の第2実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、以下の説明では、既に説明した部分については、同一符号を付してその説明を省略する。
図3は、本発明の第2実施形態に係る受光装置を備えたエンコーダを示す断面図である。
前記第1実施形態では、エンコーダ1の受光装置4における保護部材7は、ガラスで形成されていた。
本実施形態のエンコーダ1Aの受光装置4Aにおける保護部材7Aは、透光素材であるプラスチックで形成されている点で前記第1実施形態の保護部材7と異なる。
保護部材7Aは、プラスチックで形成されることにより、ガラスで形成される場合と比較して、容易に加工することができる。
前記第1実施形態では、保護部材7の面積拡張部9は、保護部材7の他方側の板面72の端部や角をヤスリ等で面取りすることで形成されていた。
本実施形態の保護部材7Aの面積拡張部9Aは、図3に示すように、保護部材7Aの一方側の板面71Aよりも保護部材7Aの他方側の板面72Aの面積が小さくなるように、断面略台形状に形成されている点で、前記第1実施形態の面積拡張部9と異なる。
面積拡張部9Aは、保護部材7Aの側面70Aの全面に断面略台形状に形成されることで、保護部材7Aと固定部材8との接触面積を拡張させることができる。また、面積拡張部9Aは、湿気や空気等が侵入する通路が保護部材7Aと固定部材8との間に発生してしまったとしても、固定部材8との接触面積を拡張し、受光素子6までの通路の距離を長くすることができるため、湿気や空気等の侵入を抑制することができる。
このような本実施形態においても、前記第1実施形態における(1)〜(5)と同様の作用、効果を奏することができる他、以下の作用、効果を奏することができる。
(6)保護部材7Aの面積拡張部9Aは、断面略台形状に形成されることで、固定部材8と保護部材7Aとの接触面積を拡張し、受光素子6から保護部材7Aが剥離することを抑制することができる。
〔第3実施形態〕
以下、本発明の第3実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、以下の説明では、既に説明した部分については、同一符号を付してその説明を省略する。
図4は、本発明の第3実施形態に係る受光装置を備えたエンコーダを示す断面図である。
前記第2実施形態では、エンコーダ1Aの受光装置4Aにおける保護部材7Aの面積拡張部9Aは、保護部材7Aの一方側の板面71Aよりも保護部材7Aの他方側の板面72Aの面積が小さくなるように、断面略台形状に形成されていた。
本実施形態のエンコーダ1Bの受光装置4Bにおける保護部材7Bの面積拡張部9Bは、図4に示すように、保護部材7Bの板面71Bよりも保護部材7Bの板面72Bの面積が小さくなるように、断面略階段状に形成されている点で、前記第2実施形態の面積拡張部9Aと異なる。
面積拡張部9Bは、保護部材7Bの側面70Bの全面に断面略階段状に形成されることで、保護部材7Bと固定部材8との接触面積を拡張させることができる。また、面積拡張部9Bは、湿気や空気等が侵入する通路が保護部材7Bと固定部材8との間に発生してしまったとしても、固定部材8との接触面積を拡張し、受光素子6までの通路の距離を長くすることができるため、湿気や空気等の侵入を抑制することができる。
このような本実施形態においても、前記第1実施形態における(1)〜(5)と同様の作用、効果を奏することができる他、以下の作用、効果を奏することができる。
(7)保護部材7Bの面積拡張部9Bは、断面略階段状に形成されることで、固定部材8と保護部材7Bとの接触面積を拡張し、受光素子6から保護部材7Bが剥離することを抑制することができる。
〔第4実施形態〕
以下、本発明の第4実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、以下の説明では、既に説明した部分については、同一符号を付してその説明を省略する。
図5は、本発明の第4実施形態に係る受光装置を備えたエンコーダを示す断面図である。
前記第3実施形態では、エンコーダ1Bの受光装置4Bにおける保護部材7Bの面積拡張部9Bは、保護部材7Bの一方側の板面71Bよりも保護部材7Bの他方側の板面72Bの面積が小さくなるように、断面略階段状に形成されていた。
本実施形態のエンコーダ1Cの受光装置4Cにおける保護部材7Cの面積拡張部9Cは、図5に示すように、保護部材7Cの一方側の板面71Cおよび保護部材7Cの他方側の板面72Cは、ほぼ同じ大きさの面積になるように断面略工字状に形成されるとともに、粗面に加工されている点で、前記第3実施形態の面積拡張部9Bと異なる。
面積拡張部9Cは、例えばサンドブラストやヤスリ等で荒らすことにより加工される。面積拡張部9Cは、保護部材7Cの側面70Cの全面を粗面にすることで、保護部材7Cと固定部材8との接触面積を拡張させることができる。また、面積拡張部9Cは、湿気や空気等が侵入する通路が保護部材7Cと固定部材8との間に発生してしまったとしても、固定部材8との接触面積を拡張し、受光素子6までの通路の距離を長くすることができるため、湿気や空気等の侵入を抑制することができる。
このような本実施形態においても、前記第1実施形態における(1)〜(5)と同様の作用、効果を奏することができる他、以下の作用、効果を奏することができる。
(8)保護部材7Cの面積拡張部9Cは、粗面に形成されることで、固定部材8と保護部材7Cとの接触面積を拡張し、受光素子6から保護部材7Cが剥離することを抑制することができる。
(9)面積拡張部9Cは、粗面であるため、容易に加工することができる。
〔実施形態の変形〕
なお、本発明は、前記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記各実施形態では、エンコーダ1に本発明である受光装置4,4A〜4Cを用いる場合を説明したが、その他の測定器等においても利用可能であり、受光装置4,4A〜4Cを何に実装するかについては、特に限定されるものではない。
前記第各実施形態では、面積拡張部9,9A〜9Cは、保護部材7,7A〜7Cの側面70,70A〜70Cの全面に形成されていたが、保護部材7,7A〜7Cの側面70,70A〜70Cの一部に形成されていてもよいし、保護部材7,7A〜7Cの板面72,72A〜72Cに亘って形成されていてもよい。また、前記第1実施形態〜第3実施形態では、面積拡張部9,9A,9Bは、粗面に加工されていなかったが、粗面に加工されていてもよい。
また、前記第1実施形態〜前記第3実施形態では、保護部材7,7A、7Bの面積拡張部9,9A,9Bは、保護部材7,7A、7Bの一方側の板面71,71A,71Bよりも保護部材7,7A、7Bの他方側の板面72,72A,72Bの面積が小さくなるように形成されていたが、面積拡張部は、保護部材の一方側の板面よりも保護部材の他方側の板面の面積が小さくなるように形成されていなくてもよい。例えば、面積拡張部は、保護部材の一方側の板面よりも保護部材の他方側の板面の面積が大きくなるように形成されていてもよいし、保護部材の一方側の板面および保護部材の他方側の板面の面積がほぼ同じ大きさになるように形成されていてもよい。
図6は、本発明の変形例に係る受光装置を示す断面図である。
前記各実施形態では、固定部材8は、保護部材7,7A〜7Cの他方側の板面72,72A〜72Cとは接触せずに設けられていたが、図6(A)に示すように、受光装置4Dの保護部材7Dの他方側の板面72Dを面積拡張部9Dとした場合、固定部材8は、保護部材7Dの他方側の板面72Dの全面を覆うように設けられていてもよい。このような構成により、面積拡張部9Dは、受光素子6の側面60および保護部材7Dの側面70Dの合計面積よりも固定部材8との接触面積を拡張することができる。
また、固定部材8は、基部5と、受光素子6と、保護部材7Dの他方側の板面72Dと、に亘って固定することで、密封して保護部材7Dを固定することができる。
したがって、受光装置4Dは、湿気や空気等が侵入する通路が保護部材7Dと固定部材8との間に発生することを抑制し、受光素子6から保護部材7Dが剥離することを抑制することができる。
また、図6(B)に示すように、受光装置4Eの保護部材7Eの他方側の板面72Eを面積拡張部9Eとした場合、保護部材7Eの他方側の板面72Eの一部を覆うように、受光装置4Eの入射面への光の入射を阻害しない範囲に固定部材8が設けられていてもよい。
このような構成により、面積拡張部9Eは、受光素子6の側面60および保護部材7Eの側面70Eの合計面積よりも固定部材8との接触面積を拡張することができる。
すなわち、面積拡張部は、受光素子の側面および保護部材の側面の合計面積よりも固定部材との接触面積を拡張することができればよい。
前記第1実施形態では、保護部材7はガラスで形成され、前記第2実施形態〜前記第4実施形態では、保護部材7A〜7Cはプラスチックで形成されていたが、保護部材は、透光素材で形成されていればどのような素材を用いて形成してもよい。
以上のように、受光素子から保護部材が剥離することを抑制して信頼性を保つとともに高精度化を図ることができる受光装置に好適に利用できる。
1,1A〜1C エンコーダ
2 光源
3 スケール
4,4A〜4E 受光装置
5 基部
6 受光素子
7,7A〜7E 保護部材
8 固定部材
9,9A〜9E 面積拡張部
60 受光素子の側面
70 保護部材の側面

Claims (5)

  1. 基礎となる基部と、一方側の板面が前記基部と接触するとともに光を受光する板状の受光素子と、前記受光素子の他方側の板面と接触する板面を有し、前記受光素子を保護する板状の保護部材と、前記受光素子に前記保護部材を固定する固定部材と、を備えた受光装置であって、
    前記受光素子の側面および前記保護部材の側面の合計面積よりも前記固定部材との接触面積を拡張する面積拡張部を備え、
    前記固定部材は、
    前記基部と、前記受光素子の側面と、前記保護部材の側面と、前記面積拡張部と、に亘って固定することを特徴とする受光装置。
  2. 請求項1に記載された受光装置において、
    前記面積拡張部は、
    前記保護部材の側面に設けられることを特徴とする受光装置。
  3. 請求項2に記載された受光装置において、
    前記面積拡張部は、
    前記保護部材の側面の全面に設けられることを特徴とする受光装置。
  4. 請求項2または請求項3に記載された受光装置において、
    前記面積拡張部は、
    前記受光素子の他方側の板面と接触する前記保護部材の一方側の板面よりも前記保護部材の一方側の板面とは反対側の前記保護部材の他方側の板面の面積が小さくなるように設けられることを特徴とする受光装置。
  5. 光を照射する光源と、
    前記光源から光が照射されるスケールと、
    前記スケールを介して前記光源からの光を受光する請求項1から請求項4のいずれかに記載された受光装置と、を備えることを特徴とする光電式エンコーダ。
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