KR950010104A - 이미지 센서 - Google Patents

Abstract

본 발명은 이미지 센서에 관한 것이다. 높은 간섭서의 조사광이 사용될 때도 간섭 프린지를 검출하는 것을 방지한다. 상기 이미지 센서는 하나의 패키지에 집적되어 고정되는 수광소자와 보호부재(리드)를 갖는다. 조사광에 대한 반사방지 코팅이 수광소자의 표면에 형성되거나, 수광소자의 표면과 상기 리드의 수광소자 측표면 사이의 거리가 조사광의 간섭 길이의 반보다 짧지 않게 결정된다. 그 대신에, 보호부재는 수광소자의 표면에 대해 경사지게 된다. 상기 이미지 센서가 간섭 프린지를 검출하지 않으므로 관측 정밀도, 이미지 처리 및 측정과 같은 것을 개선하는 것이 가능하다.

선택도 : 제1도

Description

이미지 센서

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명의 제1실시예에 따른 이미지 센서장치를 도시한 도면,

제2도는 본 발명의 제2실시예에 따른 이미지 센서장치를 도시한 도면,

제3도는 본 발명의 제3실시예에 따른 이미지 센서장치를 도시한 도면.

Claims (13)

1. 이미지 센서에서, 상기 센서는 높은 간섭성의 대체로 단색성인 조사광이 이용하며, 수광소자를 가지며, 상기 소자가 집적되어 그 소자르 에워싸기 위한 보호부재를 가지며, 상기 보호부재는 상기 조사광에 거의 투명하게 되는 이미지 센서에 있어서, 광학 시스템을 구비하며, 상기 광학 시스템은 상기 소자상에서 간섭 프린지가 발생되는 것을 방지하며, 간섭 프린지가 상기 소자상에 발생될 때도 간섭의 효과를 감소시키는 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
2. 높은 간섭성의 대체로 단색성인 조사광이 이용하는 시스템에 사용되는 이미지 센서에 있어서, 수광소자와, 상기 소자로 집적되어 그 소자를 에워사며 상기 조사광에 거의 투명한 보호 부재와, 상기 소자의 표면에 형성되는 상기 조사광에 대한 반사방지 코팅을 구비하는 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
3. 높은 간섭성의 대체로 단색성인 조사광이 이용하는 시스템에 사용되는 이미지 센서에 있어서, 수광소자와, 상기 소자로 집적되어 그 소자를 에워싸며, 상기 조사광에 거의 투명한 보호부재와, 상기 소자의 표면과 상기 보호부재의 수광소자측 표면 사이의 거리가 상기 조사광의 간섭 길이의 반보다 짧지 않게 되도록 결정되는 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
4. 높은 간섭성의 대체로 단색성인 조사광이 이용하는 시스템에 사용되는 이미지 센서에 있어서, 수광소자와, 상기 소자로 집적되어 그 소자를 에워싸며, 상기 조사광에 거의 투명한 보호 부재와, 상기 소자의 표면 및 상기 보호부재의 표면이 서로 상대적으로 경사져 있는 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
5. 제4항에 있어서, 상기 보호부재는 상기 소자에 대해 경사지는 평행한 측면의 평평한 판 글라스인 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
6. 제4항에 있어서, 상기 소자와 상기 소자의 화소 어레이 방향에 대한 상기 보호부재 사이의 상대적인 경사각 θ가 다음조건

   θ≥λ2P

   을 만족시키도록 결정되며, 여기서 P는 신호처리에 유용한 상기 소자의 유효 화소의 피치이며 λ는 상기 조사광의 파장인 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
7. 제4항에 있어서, 상기 센서는 2차원 영역 이미지 센서이며, 상기 소자 및 상기 보호부지는 신호처리에 유용한 상기 소자의 유효 화소의그리드를 교차하는 방향에 대해서 서로 상대적으로 경사지는 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
8. 제7항에 있어서, 상기 소자 및 상기 보호부재는 상기 유효 화소의 대각서에 수직인 방향에 대해서 서로 상대적으로 경사지는 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
9. 제4항에 있어서, 상기 소자 및 상기 보호부재는 하나의 유니트로 함께 지지하기 위한 지지부재를 포함하며, 상기 지지부재는 상기 보호부재를 설치하기 위한 표면을 가지며, 상기 설치표면은 상기 소자의 수광표면에 대해 경사지는 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
10. 제5항에 있어서, 상기 소자 및 상기 보호부재는 하나의 유니트로서 함께 지지하기 위한 지지부재를 포함하며, 상기 지지부재는 상기 보호부재를 설치하기 위한 표면을 가지며, 상기 설치 표면은 상기 소자의 수광표면에 대해 경사지는 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
11. 제6항에 있어서, 상기 소자 및 상기 보호부재는 하나의 유니트로서 함께 지지하기 위한 지지부재를 포함하며, 상기 지지부재는 상기 보호부재를 설치하기 위한 표면을 가지며, 상기 설치 표면은 상기 소자의 수광표면에 대해 경사지는 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
12. 제7항에 있어서, 상기 소자 및 상기 보호부재는 하나의 유니트로서 함께 지지하기 위한 지지부재를 포함하며, 상기 지지부재는 상기 보호부재를 설치하기 위한 표면을 가지며, 상기 설치 표면은 상기 소자의 수광표면에 대해 경사지는 것을 특징으로 하는 이미지 센서.
13. 제5항에 있어서, 상기 소자 및 상기 보호부재는 하나의 유니트로서 함께 지지하기 위한 지지부재를 포함하며, 상기 지지부재는 상기 보호부재를 설치하기 위한 표면을 가지며, 상기 설치 표면은 상기 소자의 수광표면에 대해 경사지는 것을 특징으로 하는 이미지 센서.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.