TWI740037B - 編碼器用受光模組及編碼器 - Google Patents

編碼器用受光模組及編碼器 Download PDF

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辻勇治
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Abstract

本發明之受光模組6具備:支持體11,其具有底壁部16及側壁部17;受光元件12,其以受光面21a朝向一側S之方式配置於底壁部16上,且於自一側S觀察之情形時由側壁部17包圍;及光學纖維板13,其具有由複數條光纖之一端面構成之輸入面13a、及由複數條光纖之另一端面構成之輸出面13b,且以輸出面13b與受光面21a相向之方式配置於受光元件12上。側壁部17之一側S之端面17b位於較受光面21a更靠一側S,且輸入面13a位於較端面17b更靠一側S。

Description

編碼器用受光模組及編碼器
本發明之一態樣係關於一種編碼器用受光模組及編碼器。
已知一種編碼器,其具備:旋轉板,其具有光通過圖案;光源,其相對於旋轉板配置於一側;及受光元件,其相對於旋轉板配置於另一側(例如,參照專利文獻1)。 [先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1:日本專利特開2005-37333號公報
[發明所欲解決之問題]
於如上所述之編碼器中,為了例如保護受光元件免於物理接觸,考慮將受光元件配置於具有底壁部及側壁部之支持體。更具體而言,考慮以自一側觀察之情形時藉由側壁部包圍之方式,將受光元件配置於底壁部上。然而,即使以受光面朝向一側之方式將受光元件配置於底壁部,仍僅可於側壁部與旋轉板接觸之前使受光面接近光通過圖案。於具有光通過圖案之固定板與旋轉板一起設置之情形時,仍僅可於側壁部與旋轉板或固定板接觸之前使受光面接近光透過圖案。若無法使受光面接近光通過圖案,則有因光之擴散等使編碼器之檢測精度降低之虞。
因此,本發明之一態樣之目的在於提供一種可一面謀求受光元件之保護,一面於應用於編碼器之情形時獲得良好之檢測精度之編碼器用受光模組、及具備此種受光模組之編碼器。 [解決問題之技術手段]
本發明之一態樣之編碼器用受光模組具備:支持體,其具有底壁部、及於底壁部之一側配置於底壁部上之側壁部;受光元件,其具有受光面,且以受光面朝向一側之方式配置於底壁部上,並於自一側觀察之情形時由側壁部包圍;及光學纖維板,其具有由複數條光纖之一端面構成之輸入面、及由複數條光纖之另一端面構成之輸出面,且以輸出面與受光面相向之方式配置於受光元件上;且側壁部之一側之端面位於較受光面更靠一側,輸入面位於較端面更靠一側。
於該編碼器用受光模組中,側壁部之一側之端面位於較受光元件之受光面更靠一側。藉此,可例如確實地保護受光元件免於物理接觸。又,光學纖維板以輸出面與受光面相向之方式配置於受光元件上。藉此,可將入射至輸入面之光確實地導光至受光面。再者,光學纖維板之輸入面位於較側壁部之一側之端面更靠一側。藉此,可使輸入面接近編碼器之光通過圖案。其結果,可抑制通過光通過圖案之光擴散而入射至受光面。因而,根據該編碼器用受光模組,可一面謀求受光元件之保護,一面於應用於編碼器之情形時獲得良好之檢測精度。
本發明之一態樣之編碼器用受光模組亦可進而具備:導線,其於側壁部之內側,連接於設置於底壁部之配線及設置於受光元件之端子;及樹脂構件,其於側壁部之內側配置於底壁部上,且覆蓋配線、端子及導線;且端面位於較導線更靠一側,輸入面位於較樹脂構件更靠一側。藉此,由於配線、端子及導線由樹脂構件覆蓋,故可保護配線、端子及導線免受編碼器之使用時飛散之油等影響。又,由於側壁部之端面位於較導線更靠一側,故可抑制外力作用於導線。再者,可不被樹脂構件妨礙,而使輸入面接近編碼器之光通過圖案。
於本發明之一態樣之編碼器用受光模組中,光學纖維板亦可藉由樹脂構件而對受光元件固定。藉此,可省略用以將光學纖維板對受光元件固定之構成,而可簡化構成。
本發明之一態樣之編碼器用受光模組亦可進而具備:遮光層,其具有光通過圖案,且配置於受光面與輸出面之間。藉此,可使通過編碼器之旋轉板具有之光通過圖案之光適當地入射至受光面。又,由於遮光層之光通過圖案與受光面較近,故可使遮光層之光通過圖案與受光面間之位置精度提高。又,由於遮光層之光通過圖案與受光面經由輸出面傳像至輸入面,故可使遮光層之光通過圖案與受光面光學接近旋轉板之光通過圖案。其結果,應用於編碼器之情形之檢測精度更良好。
本發明之一態樣之編碼器具備:旋轉板,其具有光通過圖案;光源,其相對於旋轉板配置於一側;及上述編碼器用受光模組,其相對於旋轉板配置於另一側。根據該編碼器,如上所述,可一面謀求受光元件之保護,一面獲得良好之檢測精度。 [發明之效果]
根據本發明之一態樣,可提供一種能夠一面謀求受光元件之保護,一面於應用於編碼器之情形時獲得良好之檢測精度之編碼器用受光模組、及具備此種受光模組之編碼器。
以下,對本發明之一態樣之實施形態,參照圖式進行詳細說明。另,於以下之說明中,對相同或相當要素標註相同符號,並省略重複之說明。
如圖1所示,編碼器1具備旋轉軸2、旋轉板3、固定板4、光源5、受光模組6、及處理部7。旋轉軸2以軸線A為中心線而旋轉。編碼器1係所謂絕對型之旋轉編碼器,且係用以檢測連結於旋轉軸2之測定對象物之絕對角度之裝置。
旋轉板3固定於旋轉軸2,且與旋轉軸2一起旋轉。旋轉板3例如形成為圓板狀,且以與軸線A正交之方式於中心部安裝於旋轉軸2。旋轉板3具有表示格雷碼等之特定圖案之光通過圖案3a。光通過圖案3a藉由貫通旋轉板3之複數個狹縫而構成。該等狹縫內可為空隙,亦可於狹縫內配置透明之玻璃部。
固定板4係於與旋轉板3相向之位置固定。固定板4例如形成為矩形板狀,且與旋轉板3平行地配置。固定板4具有以位於連結光源5與旋轉板3之光通過圖案3a之直線上之方式形成之光通過圖案4a。光通過圖案4a藉由貫通固定板4之複數個狹縫而構成。於本實施形態中,5個狹縫沿著旋轉板3之半徑方向並設。該等狹縫內可為空隙,亦可於狹縫內配置透明之玻璃部。
光源5係例如LED(Light Emitting Diode:發光二極體)等之發光元件。光源5係固定在相對於固定板4與旋轉板3相反側之位置,向旋轉板3出射光。受光模組6係固定在相對於旋轉板3及固定板4與光源5相反側之位置。受光模組6具有複數個受光面21a(圖2及圖3),檢測入射至各受光面21a之光。
於編碼器1中,若於連結光源5與受光模組6之受光面21a之直線上旋轉板3之光通過圖案3a與固定板4之光通過圖案4a重疊,則來自光源5之光通過旋轉板3及固定板4入射至受光面21a。另一方面,於光通過圖案3a與光通過圖案4a不重疊之情形時,來自光源5之光由旋轉板3遮蔽而不入射至受光面21a。處理部7係例如信號處理電路,將各受光面21a之光檢測結果編碼,且輸出表示旋轉軸2之旋轉角之絕對值之格雷碼G0、G1、G2、G3及G4。
接著,對受光模組6之構成進行進一步說明。如圖2及圖3所示,受光模組6具備支持體11、受光元件12、光學纖維板(以下,亦稱為「FOP(Fiber Optic Plate)」)13、導線14、及樹脂構件15。
支持體11係其一面開口之大致長方體狀之箱體,且具有矩形板狀之底壁部16、及於底壁部16之一側S配置於底壁部16上之側壁部17。側壁部17沿著底壁部16之外緣設置,於自一側S觀察之情形時呈矩形環狀。支持體11例如藉由積層均包含環氧玻璃樹脂之底壁部16與側壁部17而形成。
於底壁部16設置有用以將信號自受光模組6輸出至外部之複數條配線18。配線18於底壁部16之一側S之主面16a、與主面16a相反側之主面16b、及與主面16a、16b相連之側面16c露出。
受光元件12係矩形板狀之受光晶片,且具有複數個受光部21。受光部21係例如光電二極體或光電二極體陣列等,且於受光元件12之一面12a側具有受光面21a。受光元件12係以受光面21a朝向一側S之方式配置(固定)於底壁部16上。受光元件12於自一側S觀察之情形時,藉由側壁部17包圍。於受光元件12之一面12a,設置有用以輸出來自受光部21之信號之複數個端子19。於一面12a中,於中央側之區域配置有各受光面21a,並於較該區域更外側配置有各端子19。
FOP13係捆束複數(多數)條光纖而構成之光學器件。例如,於FOP13包含有數千萬條數nm~數十nm之直徑之光纖。FOP13例如呈長方體狀,具有彼此對向之輸入面13a及輸出面13b。輸入面13a藉由複數條光纖之一端面構成,且輸出面13b藉由該等複數條光纖之另一端面構成。FOP13係以輸出面13b與受光部21之受光面21a相向之方式配置於受光元件12上。更詳細而言,輸出面13b與一面12a之配置有受光面21a之中央側區域相向。
於FOP13中,入射至輸入面13a之光於光纖內傳播,並自輸出面13b輸出。更詳細而言,入射至輸入面13a之某位置之光自輸出面13b之對應於該位置之位置出射。因此,藉由將FOP13配置於受光元件12上,可不擴散入射至輸入面13a之光,而確實地導光至受光面21a。
導線14係於側壁部17之內側將配線18與端子19彼此電性連接之接合導線。導線14之一端與配線18之主面16a側之露出部分結合,且另一端與端子19結合。導線14之中間部係以朝一側S凸出之方式彎曲。
樹脂構件15於側壁部17之內側配置於底壁部16上。樹脂構件15覆蓋配線18之主面16a側之露出部分、端子19及導線14,並與底壁部16之主面16a、側壁部17之內面17a、受光元件12之一面12a及側面12b、以及FOP13之側面13c結合。樹脂構件15於自一側S觀察之情形時,呈包圍FOP13之矩形環狀。
又,樹脂構件15進入(介於)受光元件12之一面12a與FOP13之輸出面13b之間,將FOP13對受光元件12固定。樹脂構件15例如藉由灌封矽酮樹脂等之透明樹脂而形成。於該灌封時,注入至底壁部16之主面16a上之硬化前之樹脂材料由側壁部17之內面17a阻擋。
此處,參照圖3對自沿著底壁部16之主面16a之方向觀察之情形之各部之位置關係進行說明。側壁部17之一側S之端面17b位於較受光元件12之受光面21a(一面12a)更靠一側S,且輸入面13a位於較端面17b更靠一側S。又,端面17b位於較導線14更靠一側S,且輸入面13a位於較樹脂構件15更靠一側S。另,於本實施形態中,端面17b、受光面21a及輸入面13a相互平行。
如以上般構成之受光模組6係固定在FOP13之輸入面13a與旋轉板3之光通過圖案3a相向且接近之位置。如上所述,若於連結光源5與受光面21a之直線上旋轉板3之光通過圖案3a與固定板4之光通過圖案4a重疊,則來自光源5之光通過旋轉板3及固定板4。通過旋轉板3及固定板4之光入射至輸入面13a,並藉由FOP13導光而入射至受光面21a。藉此,於各受光面21a檢測出光。
如以上說明般,於受光模組6中,側壁部17之端面17b位於較受光元件12之受光面21a更靠一側S。藉此,可例如確實地保護受光元件12免於物理接觸。又,FOP13以輸出面13b與受光面21a相向之方式配置於受光元件12上。藉此,可將入射至輸入面13a之光確實地導光至受光面21a。再者,FOP13之輸入面13a位於較側壁部17之端面17b更靠一側S。藉此,可使輸入面13a接近編碼器1之光通過圖案3a。其結果,可抑制通過光通過圖案3a之光擴散而入射至受光面21a。因而,根據受光模組6,可一面謀求受光元件12之保護,一面於應用於編碼器1之情形時獲得良好之檢測精度。
如上述先前之編碼器般,於無法使受光元件12之受光面21a接近光通過圖案3a之情形時,作為用以抑制通過光通過圖案3a之光擴散而入射至受光面21a之方法,考慮使用出射平行度較高之光之光源5。與此相對,於受光模組6中,由於藉由使輸入面13a接近光通過圖案3a,可抑制通過光通過圖案3a之光擴散而入射至受光面21a,故無需使用出射平行度較高之光之光源5。因此,可提高光源5之選擇之自由度。
又,受光模組6進而具備:導線,其連接於配線18及端子19;及樹脂構件15,其覆蓋配線18、端子19及導線14。且,側壁部17之端面17b位於較導線14更靠一側S,且輸入面13a位於較樹脂構件15更靠一側S。藉此,由於配線18、端子19及導線14藉由樹脂構件15覆蓋,故可保護配線18、端子19及導線14免受編碼器1之使用時飛散之油等影響。又,由於側壁部17之端面17b位於較導線14更靠一側S,故可抑制外力作用於導線14。再者,可不被樹脂構件15妨礙,而使輸入面13a接近編碼器1之光通過圖案3a。
又,於受光模組6中,FOP13藉由樹脂構件15而對受光元件12固定。藉此,可省略用以將FOP13對受光元件12固定之構成,而可簡化構成。
以上,對本發明之一態樣之實施形態進行了說明,但本發明之一態樣並未限定於上述實施形態。例如,各構成之材料及形狀並未限定於上述之材料及形狀,而可採用各種材料及形狀。
於上述實施形態之編碼器1中,可省略固定板4。此時,受光模組6係以FOP13之輸入面13a與旋轉板3之光通過圖案3a相向之方式配置。於省略固定板4之情形時,受光模組6可如圖4所示之變化例般構成。於該變化例中,受光模組6進而具備配置於受光元件12之受光面21a與FOP13之輸出面13b間之遮光層23。遮光層23設置於受光面21a上。更詳細而言,遮光層23設置於受光元件12之一面12a上與輸出面13b相向之區域。遮光層23具有形成於與固定板4之光通過圖案4a對應之位置之光通過圖案,且於該光通過圖案以外之部分阻斷來自光源5之光。該光通過圖案例如藉由利用圖案化去除遮光層23之一部分而形成。
藉由此種變化例,亦與上述實施形態同樣,可一面謀求受光元件12之保護,一面獲得良好之檢測精度。又,可使通過旋轉板3具有之光通過圖案3a之光適當地入射至受光面21a。又,由於遮光層23之光通過圖案與受光面21a較近,故可使遮光層23之光通過圖案與受光面21a間之位置精度提高。又,由於遮光層23之光通過圖案與受光面21a經由輸出面13b傳像至輸入面13a,故可使遮光層23之光通過圖案與受光面21a光學接近旋轉板3之光通過圖案。其結果,應用於編碼器1之情形之檢測精度更良好。另,於上述變化例中,遮光層23亦可設置於FOP13之輸出面13b上。遮光層23亦可設置於FOP13之輸入面13a上。於FOP13中,入射至輸入面13a之某位置之光係於光纖內傳播,並自輸出面13b之對應於該位置之位置出射。因此,通過輸入面13a上之遮光層23之光係入射至輸入面13a之某位置並自輸出面13b之對應於該位置之位置出射,且入射至受光元件12之受光面21a,因而可獲得與於受光面21a上形成遮光層23之情形實質性相同之效果。
於上述實施形態之編碼器1中,依序配置光源5、固定板4、旋轉板3及受光模組6,但亦可按光源5、旋轉板3、固定板4、受光模組6之順序配置。此時,受光模組6以FOP13之輸入面13a與固定板4之光通過圖案4a相向之方式配置。藉由此種變化例,亦與上述實施形態同樣,可抑制通過光通過圖案4a之光擴散而入射至受光面21a,且可一面謀求受光元件12之保護,一面獲得良好之檢測精度。
於上述實施形態中亦可省略導線14。例如,可將配線18設置於底壁部16之主面16a上與受光元件12之背面對向之位置,且將端子19設置於受光元件12之背面側,於受光元件12之背面側連接配線18與端子19。此時,亦可省略樹脂構件15。FOP13亦可藉由接著劑等而非樹脂構件15對受光元件12固定。本發明之一態樣之編碼器亦可應用於增量型之編碼器。
1‧‧‧編碼器2‧‧‧旋轉軸3‧‧‧旋轉板3a‧‧‧光通過圖案4‧‧‧固定板4a‧‧‧光通過圖案5‧‧‧光源6‧‧‧受光模組7‧‧‧處理部11‧‧‧支持體12‧‧‧受光元件12a‧‧‧一面12b‧‧‧側面13‧‧‧光學纖維板13a‧‧‧輸入面13b‧‧‧輸出面13c‧‧‧側面14‧‧‧導線15‧‧‧樹脂構件16‧‧‧底壁部16a‧‧‧主面16b‧‧‧主面16c‧‧‧側面17‧‧‧側壁部17a‧‧‧內面17b‧‧‧端面18‧‧‧配線19‧‧‧端子21‧‧‧受光部21a‧‧‧受光面23‧‧‧遮光層A‧‧‧軸線G0‧‧‧格雷碼G1‧‧‧格雷碼G2‧‧‧格雷碼G3‧‧‧格雷碼G4‧‧‧格雷碼S‧‧‧一側III-III‧‧‧線
圖1係一實施形態之編碼器之立體圖。 圖2係圖1所示之受光模組之俯視圖。 圖3係沿著圖2之III-III線之剖視圖。 圖4係變化例之受光模組之剖視圖。
3‧‧‧旋轉板
4‧‧‧固定板
6‧‧‧受光模組
11‧‧‧支持體
12‧‧‧受光元件
12a‧‧‧一面
12b‧‧‧側面
13‧‧‧光學纖維板
13a‧‧‧輸入面
13b‧‧‧輸出面
13c‧‧‧側面
14‧‧‧導線
15‧‧‧樹脂構件
16‧‧‧底壁部
16a‧‧‧主面
16b‧‧‧主面
16c‧‧‧側面
17‧‧‧側壁部
17a‧‧‧內面
17b‧‧‧端面
18‧‧‧配線
19‧‧‧端子
21‧‧‧受光部
21a‧‧‧受光面
S‧‧‧一側

Claims (5)

  1. 一種編碼器用受光模組,其具備: 支持體,其具有底壁部、及於上述底壁部之一側配置於上述底壁部上之側壁部; 受光元件,其具有受光面,以上述受光面朝向上述一側之方式配置於上述底壁部上,且於自上述一側觀察之情形時由上述側壁部包圍;及 光學纖維板,其具有由複數條光纖之一端面構成之輸入面、及由上述複數條光纖之另一端面構成之輸出面,且以上述輸出面與上述受光面相向之方式配置於上述受光元件上;且 上述側壁部之上述一側之端面位於較上述受光面更靠上述一側,上述輸入面位於較上述端面更靠上述一側。
  2. 如請求項1之編碼器用受光模組,其進而具備:導線,其於上述側壁部之內側,連接於設置於上述底壁部之配線及設置於上述受光元件之端子;及 樹脂構件,其於上述側壁部之內側配置於上述底壁部上,且覆蓋上述配線、上述端子及上述導線;且 上述端面位於較上述導線更靠上述一側,上述輸入面位於較上述樹脂構件更靠上述一側。
  3. 如請求項2之編碼器用受光模組,其中上述光學纖維板係藉由上述樹脂構件而對上述受光元件固定。
  4. 如請求項1至3中任一項之編碼器用受光模組,其中進而具備:遮光層,其具有光通過圖案,且配置於上述受光面與上述輸出面之間。
  5. 一種編碼器,其具備: 旋轉板,其具有光通過圖案; 光源,其相對於上述旋轉板配置於一側;及 如請求項1至4中任一項之編碼器用受光模組,其相對於上述旋轉板配置於另一側。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022083979A (ja) 2020-11-25 2022-06-06 ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング 光学式位置測定装置
JP2023143023A (ja) * 2022-03-25 2023-10-06 浜松ホトニクス株式会社 エンコーダ用光モジュール、エンコーダ、及びエンコーダ用光モジュールの製造方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4953933A (en) * 1989-07-10 1990-09-04 The Boeing Company Optical encoder reading device
WO2003012477A1 (fr) * 2001-08-01 2003-02-13 Hamamatsu Photonics K.K. Imageur a rayons x
JP2007256692A (ja) * 2006-03-24 2007-10-04 Sendai Nikon:Kk 光走査モジュール及びエンコーダ
JP2008151529A (ja) * 2006-12-14 2008-07-03 Ojima Shisaku Kenkyusho:Kk エンコーダ用検出部およびエンコーダ
JP2015118046A (ja) * 2013-12-19 2015-06-25 ファナック株式会社 弾性構造部を備えた固定スリットを有する光学式エンコーダ

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6080358A (ja) * 1983-10-08 1985-05-08 Brother Ind Ltd 光学読取装置の読取ヘツド
FR2580394B1 (fr) 1985-04-12 1987-10-09 Trt Telecom Radio Electr Dispositif de limitation et d'uniformisation du champ de vue de mosaiques de detecteurs ir
JP3064227B2 (ja) * 1995-12-25 2000-07-12 三菱重工業株式会社 位置検出装置
US5670781B1 (en) * 1996-02-08 2000-10-10 Renco Encoders Inc Photoelectrical encoder
JP2821421B2 (ja) 1996-05-21 1998-11-05 日本電気株式会社 固体撮像装置
JP2005037333A (ja) * 2003-07-18 2005-02-10 Hamamatsu Photonics Kk アブソリュートエンコーダ及び角度検出方法
JPWO2006046291A1 (ja) * 2004-10-28 2008-05-22 三菱電機株式会社 エンコーダ
NL2010477A (en) * 2012-05-22 2013-11-25 Asml Netherlands Bv Sensor, lithographic apparatus and device manufacturing method.
JP2015117946A (ja) * 2013-12-16 2015-06-25 ファナック株式会社 樹脂製の固定スリットを有する光学式エンコーダ
EP3086376B1 (en) 2013-12-16 2019-11-06 KYOCERA Corporation Light receiving/emitting element module and sensor device using same
JP6035467B2 (ja) * 2014-03-31 2016-11-30 並木精密宝石株式会社 反射型エンコーダ
JP6555995B2 (ja) * 2015-09-11 2019-08-07 キヤノン株式会社 回転検知手段
JP2019211360A (ja) * 2018-06-06 2019-12-12 ファナック株式会社 エンコーダ

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4953933A (en) * 1989-07-10 1990-09-04 The Boeing Company Optical encoder reading device
WO2003012477A1 (fr) * 2001-08-01 2003-02-13 Hamamatsu Photonics K.K. Imageur a rayons x
JP2007256692A (ja) * 2006-03-24 2007-10-04 Sendai Nikon:Kk 光走査モジュール及びエンコーダ
JP2008151529A (ja) * 2006-12-14 2008-07-03 Ojima Shisaku Kenkyusho:Kk エンコーダ用検出部およびエンコーダ
JP2015118046A (ja) * 2013-12-19 2015-06-25 ファナック株式会社 弾性構造部を備えた固定スリットを有する光学式エンコーダ

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Publication number Publication date
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