JP2021148531A - 光学装置、情報処理方法、および、プログラム - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 110
- 230000010365 information processing Effects 0.000 title claims description 26
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims description 3
- 238000009795 derivation Methods 0.000 claims abstract description 67
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 5
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 25
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 22
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 8
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 7
- 230000009471 action Effects 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 241001025261 Neoraja caerulea Species 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000005357 flat glass Substances 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
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- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
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- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
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- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
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- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/30—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
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- G02—OPTICS
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- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/10—Beam splitting or combining systems
- G02B27/1006—Beam splitting or combining systems for splitting or combining different wavelengths
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- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/10—Beam splitting or combining systems
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Abstract
Description
図1は、本実施形態の光学装置1Aの一例を示す模式図である。
SE2=S0×D1/D0 ・・・式(2)
SE3=S2×D1/D0 ・・・式(3)
本実施形態では、上記第1の実施形態の光学装置1Aの構成に加えて、光学素子を更に備えた構成を説明する。
本実施形態では、上記第2の実施形態の光学装置1Bの光選択部30として、回折格子を用いる場合を説明する。
本実施形態では、上記第1の実施形態の光学装置1Aに加えて、特有の光学素子を更に備えた構成を説明する。
本実施形態では、シリンドリカルレンズを更に備えた構成を説明する。
10 光源
30 光選択部
32 開口部材
34 回折格子
40 撮像素子
52B 導出部
60 レンズ
62 レンズ
64 光学素子
68 シリンドリカルレンズ
Claims (17)
- 照射された光線を互いに異なる波長領域の複数の分光光線に分光する光選択部と、
複数の前記分光光線を照射された被検体を撮像し、分光画像を取得する撮像素子と、
前記分光画像に含まれる複数の前記分光光線の各々の受光強度に基づいて、前記被検体における複数の前記分光光線の各々の照射領域を特定した特定結果から、前記被検体の表面性状または形状情報を導出する導出部と、
を備える光学装置。 - 前記光選択部は、
照射された光線を第1波長領域の第1分光光線および第2波長領域の第2分光光線である前記分光光線に分光し、
前記撮像素子は、
少なくとも前記第1波長領域および前記第2波長領域に分光した前記分光画像を撮像し、
前記導出部は、
前記分光画像に含まれる前記第1波長領域の第1受光強度および前記第2波長領域の第2受光強度に基づいて、前記被検体における、前記第1分光光線および前記第2分光光線の各々の照射領域を特定した前記特定結果から、前記表面性状または前記形状情報を導出する、
請求項1に記載の光学装置。 - 前記導出部は、
前記被検体における、前記第1波長領域の第1分光光線のみの第1照射領域、前記第1分光光線および前記第2分光光線の第2照射領域、および、前記第2分光光線のみの第3照射領域、を特定した前記特定結果から、前記表面性状または前記形状情報を導出する、
請求項2に記載の光学装置。 - 前記導出部は、
暗電流成分を除去した後の、前記第1受光強度および前記第2受光強度に基づいて、前記表面性状または前記形状情報を導出する、
請求項2または請求項3に記載の光学装置。 - 前記光選択部は、
前記第1分光光線を通過させる第1波長選択領域と、前記第2分光光線を通過させる第2波長選択領域と、を有し、
前記第1波長選択領域および前記第2波長選択領域は、互いに異なる位置に配置されてなる、
請求項2〜請求項4の何れか1項に記載の光学装置。 - 光源と、
前記光源から出射された前記光線の発散角を縮小させる光学素子と、
を有する照射部を備える、
請求項1〜請求項5の何れか1項に記載の光学装置。 - 前記光源は、
有限サイズの発光面を有する、請求項6に記載の光学装置。 - 前記光学素子は、レンズであり、
前記光源は、前記レンズの焦点領域に配置され、
前記レンズは、前記光源から出射された前記光線を準平行光とする、
請求項6または請求項7に記載の光学装置。 - 前記光学素子は、凹面鏡であり、
前記光源は、前記凹面鏡の焦点領域に配置され、
前記凹面鏡は、前記光源から出射された前記光線を準平行光とする、
請求項8に記載の光学装置。 - 前記光選択部は、回折格子である、
請求項8または請求項9に記載の光学装置。 - 前記光学素子は、
透明媒質で構成され、
前記透明媒質の外面に放物面状または準放物面状の反射面を備え、
前記光源は、前記反射面の焦点領域に配置されてなる、
請求項6に記載の光学装置。 - 前記光学素子は、
前記反射面に対向する平面状の入射面を備え、
前記入射面は、前記光源の発光面に対向配置されてなる、
請求項11に記載の光学装置。 - 前記光学素子はレンズであり、
前記光選択部は、前記光源と前記レンズとの間に配置され、
前記レンズは、前記光選択部を通過した光線を前記被検体に結像する、
請求項6に記載の光学装置。 - 前記光線を照射する光源の発光面のサイズと前記第1分光光線を通過させる第1波長選択領域のサイズとが実質的に等しい、
請求項2に記載の光学装置。 - 前記光線を照射する光源の発光面のサイズが前記第1分光光線を通過させる第1波長選択領域のサイズよりも大きい、
請求項2に記載の光学装置。 - 照射された光線を互いに異なる波長領域の複数の分光光線に分光するステップと、
複数の前記分光光線を照射された被検体を撮像し、分光画像を取得するステップと、
前記分光画像に含まれる複数の前記分光光線の各々の受光強度に基づいて、前記被検体における複数の前記分光光線の各々の照射領域を特定した特定結果から、前記被検体の表面性状または形状情報を導出する導出ステップと、
を含む情報処理方法。 - 照射された光線を互いに異なる波長領域の複数の分光光線に分光する光選択部により分光された複数の前記分光光線を照射された被検体を撮像し、分光画像を取得する撮像素子と接続されるコンピュータに、
前記分光画像に含まれる複数の前記分光光線の各々の受光強度に基づいて、前記被検体における複数の前記分光光線の各々の照射領域を特定した特定結果から、前記被検体の表面性状または形状情報を導出する導出ステップ、
を実行させるためのプログラム。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020047218A JP2021148531A (ja) | 2020-03-18 | 2020-03-18 | 光学装置、情報処理方法、および、プログラム |
US17/005,526 US11333492B2 (en) | 2020-03-18 | 2020-08-28 | Optical device, information processing method, and computer program product |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020047218A JP2021148531A (ja) | 2020-03-18 | 2020-03-18 | 光学装置、情報処理方法、および、プログラム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021148531A true JP2021148531A (ja) | 2021-09-27 |
Family
ID=77747794
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020047218A Pending JP2021148531A (ja) | 2020-03-18 | 2020-03-18 | 光学装置、情報処理方法、および、プログラム |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11333492B2 (ja) |
JP (1) | JP2021148531A (ja) |
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2020
- 2020-03-18 JP JP2020047218A patent/JP2021148531A/ja active Pending
- 2020-08-28 US US17/005,526 patent/US11333492B2/en active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
US11333492B2 (en) | 2022-05-17 |
US20210293537A1 (en) | 2021-09-23 |
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