JP6818702B2 - 光学検査装置及び光学検査方法 - Google Patents
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Description
まず、本実施形態に係る光学検査装置1の構成について、図面を参照して詳細に説明する。
以下、本変形例に係る光学検査装置1について、図面を参照して詳細に説明する。ここでは、第1の実施形態との相違点について主に説明し、同一の部分については同一の符号を付してその説明を省略する。
以下、本変形例に係る光学検査装置1について、図面を参照して詳細に説明する。ここでは、第1の実施形態との相違点について主に説明し、同一の部分については同一の符号を付してその説明を省略する。
以下、本変形例に係る光学検査装置1について、図面を参照して詳細に説明する。ここでは、第1の実施形態との相違点について主に説明し、同一の部分については同一の符号を付してその説明を省略する。
以下、本変形例に係る光学検査装置1について、図面を参照して詳細に説明する。ここでは、第1の実施形態との相違点について主に説明し、同一の部分については同一の符号を付してその説明を省略する。
以下、本変形例に係る光学検査装置1について、図面を参照して詳細に説明する。ここでは、第1の実施形態との相違点について主に説明し、同一の部分については同一の符号を付してその説明を省略する。
以下、本実施形態に係る光学検査装置1について、図面を参照して詳細に説明する。ここでは、第1の実施形態との相違点について主に説明し、同一の部分については同一の符号を付してその説明を省略する。
以下、本実施形態に係る光学検査装置1について、図面を参照して詳細に説明する。ここでは、第2の実施形態との相違点について主に説明し、同一の部分については同一の符号を付してその説明を省略する。
以下、本実施形態に係る光学検査装置1について、図面を参照して詳細に説明する。ここでは、第3の実施形態との相違点について主に説明し、同一の部分については同一の符号を付してその説明を省略する。
と表現される。ここで、hは、被検面上の光線の射出点の光軸までの距離である。fは、受光側レンズ42から第1の受光側絞り41の開口面までの距離である。dは、第1の受光側絞り41の開口面から撮像面21までの距離である。aは、受光側レンズ42から被検面までの距離である。なお、fと、dとの各々の値は、光学検査装置1の構成によって決定される値である。これらの値は、予め記録回路等に記録されていてもよいし、ユーザ入力に基づいて都度取得されてもよい。処理回路50は、撮像素子20の出力に基づいて、δの値を算出する。処理回路50は、撮像面21上における赤色光の光線R1の到達点から、hの値を算出する。処理回路50は、取得したf及びdの値と、算出したδ及びhの値と、式(1)とを用いて、受光側レンズ42から被検面までの距離であるaの値を算出する。
Claims (15)
- 光を波長毎に選択する第1の波長選択領域を有する第1の絞りと、前記第1の絞りを通過した光を波長毎に選択し前記第1の波長選択領域とは異なる波長選択性を有する第2の波長選択領域を持つ第2の絞りとを備え、前記第2の絞りで遮蔽されていた光が被検物により偏角されると前記第2の絞りを通過するように、前記第1の波長選択領域と前記第2の波長選択領域とが配置される、一対の絞りと、
前記一対の絞りを通過して撮像面に到達した光を波長毎に撮像する撮像素子と、
を備える光学検査装置。 - 前記撮像素子により撮像された前記波長毎の光の強度を取得し、前記波長毎の光の前記強度に基づいて前記波長毎の光の偏角を算出する処理回路、を更に備える、請求項1記載の光学検査装置。
- 前記第1の絞りと前記第2の絞りとの間の光路に前記被検物が配置される、請求項1記載の光学検査装置。
- 前記第1の波長選択領域及び前記第2の波長選択領域は、それぞれ、中心領域と、前記中心領域とは波長選択性が異なる周辺領域とに分割されており、
前記第1の波長選択領域の前記周辺領域を通過した光は、前記第2の波長選択領域の前記中心領域を通過可能であり、
前記第1の波長選択領域の前記中心領域を通過した光は、前記第2の波長選択領域の前記周辺領域を通過可能である、
請求項1記載の光学検査装置。 - 前記一対の絞りを通過した光を前記撮像面へ入射させる第1のレンズ、を更に備える、請求項1記載の光学検査装置。
- 前記第1の波長選択領域は、前記第1のレンズの焦点面に配置されている、請求項5記載の光学検査装置。
- 光源と、
前記第1の波長選択領域及び前記第2の波長選択領域を通過する光を前記被検物に照射する第2のレンズと、を更に備え、
前記第1の波長選択領域は、前記第2のレンズの焦点面に配置されている、
請求項5記載の光学検査装置。 - ドットパターン状の波長選択領域を有し、前記光源の発光面に対向する位置に配置された第3の絞り、を更に備える、請求項7記載の光学検査装置。
- 前記第1の波長選択領域及び前記第2の波長選択領域は、それぞれ、中心領域と、前記中心領域とは波長選択性が異なる周辺領域とに分割されており、
前記第1の波長選択領域の前記周辺領域を通過した光は、前記第2の波長選択領域の前記中心領域を通過可能であり、
前記第1の波長選択領域の前記中心領域を通過した光は、前記第2の波長選択領域の前記周辺領域を通過可能であり、
前記撮像面における前記第1の波長選択領域の前記中心領域を通過した光と前記第1の波長選択領域の前記周辺領域を通過した光との間隔に基づいて、前記被検物の屈折率分布又は散乱強度を算出する処理回路を更に備える、
請求項8記載の光学検査装置。 - 光源と、
前記光源から射出されて前記第2の絞りを通過した光を前記被検物に照射する第2のレンズと、を更に備え、
前記第1の絞りと前記第2の絞りとは共役の関係にある、
請求項5記載の光学検査装置。 - 前記光源の発光面と前記撮像面とは共役の関係にある、請求項10記載の光学検査装置。
- 前記第1の絞りは、前記第1のレンズを介した前記第2のレンズの焦点面に配置されており、
前記第2の絞りは、前記第2のレンズの焦点面に配置されている、
請求項10記載の光学検査装置。 - 前記第1の波長選択領域及び前記第2の波長選択領域は、それぞれ、中心領域と、前記中心領域とは波長選択性が異なる周辺領域とに分割されており、
前記第1の波長選択領域の前記周辺領域を通過した光は、前記第2の波長選択領域の前記中心領域を通過可能であり、
前記第1の波長選択領域の前記中心領域を通過した光は、前記第2の波長選択領域の前記周辺領域を通過可能であり、
前記撮像面における前記第1の波長選択領域の前記中心領域を通過した光と前記第2の波長選択領域の前記中心領域を通過した光との間隔に基づいて、前記第1のレンズと前記被検物の被検面との間の距離を算出する処理回路を更に備える、
請求項5記載の光学検査装置。 - 第1の波長選択領域を有する第1の絞りと、
前記第1の波長選択領域とは異なる第2の波長選択領域を有する第2の絞りと、
前記第1の絞り及び前記第2の絞りを通過し撮像面に到達した光を撮像する撮像素子と、
前記撮像素子により撮像された波長毎の光の強度を取得し、前記波長毎の光の強度に基づいて前記波長毎の光の偏角を算出する処理回路と、
を具備する光学検査装置。 - 第1の波長選択領域を有する第1の絞りと、前記第1の波長選択領域とは異なる第2の波長選択領域を有する第2の絞りとを通過し撮像面に到達した光を撮像素子により撮像し、
前記撮像素子により撮像された波長毎の光の強度を取得し、
前記波長毎の光の強度に基づいて前記波長毎の光の偏角を算出する、
ことを具備する光学検査方法。
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