JP2021146418A - 廃液処理装置、及び加工粉回収装置 - Google Patents
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Abstract
Description
また、シリコン屑等の加工屑を回収して乾燥させ加工粉(例えば、シリコン粉)とする加工粉回収装置においては、消費電力やエア消費量を少なくしつつ、加工屑を効率よく乾燥させるという課題がある。
なお、廃液処理装置1は、回転する切削ブレードでシリコンウェーハ等を切削加工する切削装置が生み出す加工屑を含む廃液から加工屑を除去する装置であってもよい。
本実施形態において固体の被加工物80はシリコンウェーハであるが、円柱状のシリコンインゴット等であってもよい。
そして、研削手段40は、Z軸方向に上下動可能となっている。
また、水槽2の上部には、廃液90が溢れることを防止する図示しないオーバーフロー管が設けられている。オーバーフロー管は、タンク12に連通しており、水槽2から溢れようとした廃液90を再びタンク12に導く。
なお、陰極板30の形状等は本実施形態に限定されるものではない。
なお、図2においては加工粉回収装置6を簡略化して示している。
Y軸方向において対向する2本のエアノズル160の隙間は、付着板31がエアノズル160に接触せずに上下動可能な大きさとなっている。
例えば、本実施形態のように、図3に示す投入口650の上方には、投入口650を開閉可能でY軸方向にスライド移動可能なスライド扉6503が配設されていてもよい。また、例えば、投入口650の下方には、剥ぎ取られ落下した水分を含む加工屑809を搬送ベルト61上にガイドするように搬送ベルト61に対して傾けられてガイド板6505が配設されている。
本実施形態において、投入口650は、乾燥室65の一方の端側(−Y方向側)にエアを吸気する吸気口としての役割も果す。
乾燥室65内の通気路659を搬送方向に流れるエアは、天板654の下面の凸部6542に衝突することで乱気流となる。即ち、不規則なエアの渦が搬送ベルト61上で発生すると共に、搬送方向にエアが流れていく。その結果、搬送ベルト61上の水分を含む加工屑809に乱気流が噴き付けられることで、加工屑809の水分がより蒸発しやすくなる。なお、凸部6542は天板654の下面に形成されていなくてもよい。
排気口651には、排気管671を介してブロアファン672の吸い込み口が連通している。ブロアファン672の吐出口には、配管673の一端が接続されている。本実施形態においては、例えば、配管673の他端にはブロアファン672による排気の流量を2つに分割し流量調整が可能である分割部674が接続されている。分割部674は、例えば、分流三方調節弁であるが、三方管を用いて、かつ、工場設備側配管675と導入管676との配管径で排気が所定の流量にそれぞれ分割されるようにしてもよい。
なお、加工粉回収装置6は、乾燥室65から排気したエアを戻し入れない構成となっていてもよい。
付着板31に加工屑809が吸着されたことにより加工屑809がおおまかに除去された浄水92は、排出部331よって取水されて図示しない浄水貯水タンクへ送給される。
なお、1枚の付着板31に付着した加工屑809のエアの風圧による剥ぎ落しは、上記制御手段166による上下移動機構32及びバルブ168の制御によって、繰り返し行われてもよい。
そして、ベルトモータ612、主動ローラ613、及び従動ローラ614により搬送ベルト61を回動させて水分を含んだ加工屑809を−Y方向側から+Y方向側に搬送する。図3に示すように、搬送ベルト61の上方には厚み調整手段66が配設されているため、搬送ベルト61上の水分を含んだ加工屑809は、厚み調整手段66の下方を通過することで、搬送ベルト61上で所定の厚み(例えば、1mm〜2mm)に引き延ばされる。
4:研削装置 49:基台 40:研削手段 41:保持テーブル 42:テーブル支持台 48:ウォーターケース
12:タンク 121:送出ポンプ
1:廃液処理装置 2:水槽
3:取り出し手段 30:陰極板 330:筐体 331:排出部
31:付着板(陽極板) 310:被係合部 3102:被係合孔
32:上下移動機構 321:鉛直ボールネジ 323:モータ
34:Y軸方向移動手段 340:水平ボールネジ 342:可動部材
35:保持部 352:一対のチャックシリンダ 3523:係合ピン
16:剥ぎ取り機構 160:エアノズル 1600:噴射口 162:ケーシング
168:バルブ 166:制御手段 169:エア源 167:配管
162:ケーシング 1622:進入口
6:加工粉回収装置 60:乾燥機構 61:搬送ベルト 612:ベルトモータ 66:厚み調整手段
63:回収ボックス
65:乾燥室 654:天板 6542:凸部 6548:戻し入口 650:投入口 6503:スライド扉 651:排気口 653:底板 658:粉排出口 659:通気路
672:ブロアファン 674:分割部
Claims (2)
- 加工液と砥粒とを用いて被加工物を削った際に排出される加工屑を含んだ廃液を水槽に溜め、該水槽に溜めた該廃液内に付着板を水没させ、該加工屑を付着させた該付着板を該水槽から取り出す事によって該廃液から該加工屑を取り除く廃液処理装置であって、
該付着板を保持する保持部と、該保持部を上下移動させる上下移動機構と、該保持部に保持された該付着板から水分を含んだ該加工屑を剥ぎ取る剥ぎ取り機構とを備え、
該剥ぎ取り機構は、水平方向に平行に隙間を開けて2本延在し互いが向かい合うように形成された噴射口を備える2本のエアノズルと、2本の該エアノズルとエア源とを連通する配管に配設されるバルブと、該バルブの開閉の制御と2本の該エアノズルの間の該隙間において該付着板を上下方向に移動させるための該上下移動機構の制御とを少なくとも行う制御手段と、を備え、
平行な2本の該エアノズルの間の該隙間に、該保持部によって保持された該付着板を進入させた後、該付着板を上昇させる際に該バルブを開き、該付着板の一方の面、及び他方の面に対し該噴射口から噴射したエアの風圧によって、非接触で該付着板に付着した該加工屑を剥ぎ取ることを特徴とする廃液処理装置。 - 請求項1記載の廃液処理装置の、前記剥ぎ取り機構によって前記付着板から剥ぎ取った水分を含んだ前記加工屑を乾燥させた加工粉を回収する加工粉回収装置であって、
該剥ぎ取り機構によって該付着板から剥ぎ取った該加工屑を乾燥させる乾燥機構を備え、
該乾燥機構は、該剥ぎ取り機構によって剥ぎ取られた該加工屑を載置し、水平方向に該加工屑を移動させる搬送ベルトと、該搬送ベルトによって搬送された該加工粉を回収する回収ボックスと、該搬送ベルトの上部を覆い該搬送ベルトの延在方向に延在する乾燥室と、を備え、
該乾燥室は、該搬送ベルトの一方の端側に配設され該加工屑を投入するための投入口と、該剥ぎ取り機構の前記エアノズルから噴射され該投入口から該加工屑とともに該乾燥室内に投入されたエアを排気するために該搬送ベルトの他方の端側に配設される排気口と、を備え、
該エアノズルが噴射したエアが該乾燥室内を該投入口から該排気口に向かう方向に流れることによって該搬送ベルトに載置した水分を含んだ該加工屑を乾燥させた該加工粉を回収する加工粉回収装置。
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