DE102021202306A1

DE102021202306A1 - Abwasserflüssigkeitsbehandlungsvorrichtung und abriebstaub-wiedergewinnungsvorrichtung

Info

Publication number: DE102021202306A1
Application number: DE102021202306.1A
Authority: DE
Inventors: Satoshi Sugiyama
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2020-03-17
Filing date: 2021-03-10
Publication date: 2021-09-23
Also published as: KR20210116225A; JP2021146418A; JP7464416B2; CN113399120A; SG10202102350YA; US20210292197A1; US11634343B2; TW202136160A

Abstract

Eine Abwasserflüssigkeitsbehandlungsvorrichtung weist einen Halteabschnitt, der eine Adhäsionsplatte hält, einen Vertikalbewegungsmechanismus, der den Halteabschnitt vertikal bewegt, und einen Abziehmechanismus, der Wasser enthaltenden Abrieb von der durch den Halteabschnitt gehaltenen Adhäsionsplatte abzieht, auf. Der Abziehmechanismus weist zwei sich in einer horizontalen Richtung parallel zueinander mit einer Beabstandung dazwischen erstreckende Luftdüsen, die Ausstoßöffnungen aufweisen, die ausgebildet sind, um einander zugewandt zu sein, ein in einer Rohrleitung angeordnetes Ventil, das eine Verbindung zwischen den zwei Luftdüsen und einer Luftquelle bereitstellt, und eine Steuerungseinheit auf, die eine Steuerung eines Öffnens und eines Schließens des Ventils und einer Steuerung des Vertikalbewegungsmechanismus zum Bewegen der Adhäsionsplatte in der vertikalen Richtung in der Beabstandung zwischen den zwei Luftdüsen steuert.

Description

TECHNISCHER HINTERGRUND
Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Abwasserflüssigkeitsbehandlungsvorrichtung zum Entfernen von Abrieb aus einer Abwasserflüssigkeit und eine Abriebstaub-Wiedergewinnungsvorrichtung zum Wiedergewinnen von durch ein Trocknen des entfernten Abriebs erhaltenen Abriebstaubs.
Beschreibung der verwandten Technik
Bei einem Schleifen eines Schleifens eines Werkstücks durch einen Schleifstein während eines Zuführens von Schleifwasser zu einem Bearbeitungspunkt wird eine Schleifabwasserflüssigkeit, die durch ein Schleifen erzeugten Abrieb im Schleifwasser enthält, in einem Wassertank einer Abwasserflüssigkeitsbehandlungsvorrichtung vorgehalten, wie in der japanischen Offenlegungsschrift Nr. 2014-124576 offenbart, der Abrieb in der Schleifabwasserflüssigkeit wird im Wassertank an einer Adhäsionsplatte angehaftet und die Adhäsionsplatte wird aus der Schleifabwasserflüssigkeit im Wassertank herausgenommen, wodurch der Abrieb aus der Schleifabwasserflüssigkeit entfernt wird. Die Schleifabwasserflüssigkeit, aus welcher der Abrieb entfernt wurde, wird, beispielsweise durch eine Bearbeitungsflüssigkeits-Wiedergewinnungsvorrichtung, wie in der japanischen Offenlegungsschrift Nr. 2012-218134 offenbart, wiedergewinnt, und wird in der Schleifvorrichtung wiederverwendet.
Die in der japanischen Offenlegungsschrift Nr. 2014-124576 offenbarte Abwasserflüssigkeitsbehandlungsvorrichtung weist in einem Wassertank alternierend angeordnete Kathodenplatten und Anodenplatten auf und wenn das Werkstück beispielsweise Silizium ist, wird Siliziumabrieb in der Schleifwasserflüssigkeit an den Anodenplatten als Adhäsionsplatten angehaftet. Die Anodenplatten mit dem daran angehafteten Siliziumabrieb werden aus dem Wassertank herausgezogen, dann wird beispielsweise der an den Anodenplatten angehaftete Siliziumabrieb mit einem Gummispachtel wie in der japanischen Offenlegungsschrift Nr. 2016-049506 offenbart, abgezogen, und danach werden die Anodenplatten in den Wassertank eingetaucht.
DARSTELLUNG DER ERFINDUNG
Zum Zeitpunkt eines Abziehens des Siliziumabriebs von den Anodenplatten haftet der Siliziumabrieb am Gummispachtel, der gegen die Anodenplatten gedrückt wird, an und trocknet daran. Wenn der am Gummispachtel angehaftete Siliziumabrieb trocknet und sich verfestigt, verliert der Gummispachtel Elastizität und wird zu einer harten Platte. Deswegen wird der an den Anodenplatten anhaftende Siliziumabrieb mit einer harten Platte abgezogen, wodurch die Anodenplatten beschädigt werden könnten.
Zusätzlich wird der von den Anodenplatten abgezogene Siliziumabrieb wiedergewonnen, nachdem er getrocknet ist, wodurch der Siliziumabrieb beispielsweise als ein Material für eine Minus-Elektrode oder dergleichen verwendet werden kann. Deswegen wird der von den Anodenplatten abgezogene Wasser enthaltende Siliziumabrieb in eine Siliziumwiedergewinnungsvorrichtung geladen und wird beispielsweise in der Trockenkammer der Siliziumwiedergewinnungsvorrichtung durch ein Trocknen durch Erwärmen unter Verwendung einer Heizeinrichtung oder dergleichen getrocknet oder wird durch in die Trockenkammer geladene Luft getrocknet, um Siliziumstaub zu erhalten. Allerdings bestehen Probleme wie beispielsweise ein hoher Energieverbrauch oder ein Luftverbrauch der Siliziumwiedergewinnungsvorrichtung.
Demgemäß ist es ein Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Abwasserflüssigkeitsbehandlungsvorrichtung bereitzustellen, welche Anodenplatten nicht beschädigt, wenn Abrieb wie beispielsweise Siliziumabrieb von den Anodenplatten (Adhäsionsplatten) entfernt wird. Zusätzlich ist es ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Abriebstaub-Wiedergewinnungsvorrichtung zum Wiedergewinnen von Abrieb wie beispielsweise Siliziumabrieb und zum Trocknen des Abriebs, um Abriebstaub (beispielsweise Siliziumstaub) zu erhalten, bereitzustellen, die effizient den Abrieb trocknen kann, während ein Energieverbrauch und ein Luftverbrauch verringert werden.
Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Abwasserflüssigkeitsbehandlungsvorrichtung bereitgestellt, in der eine Abwasserflüssigkeit, die Abrieb enthält, wobei die Abwasserflüssigkeit abgegeben wird, wenn ein Werkstück unter Verwendung einer Bearbeitungsflüssigkeit und von abrasiven Körnern geschliffen wird, in einem Wassertank gespeichert wird, in der eine Adhäsionsplatte in die im Wassertank gespeicherte Abwasserflüssigkeit eingetaucht wird, und in der die Adhäsionsplatte mit dem daran angehafteten Abrieb aus dem Wassertank genommen wird, um dadurch den Abrieb aus der Abwasserflüssigkeit zu entfernen. Die Abwasserflüssigkeitsbehandlungsvorrichtung weist einen Halteabschnitt, der die Adhäsionsplatte hält, einen Vertikalbewegungsmechanismus, der den Halteabschnitt vertikal bewegt, und einen Abziehmechanismus, der den Wasser enthaltenden Abrieb von der durch den Halteabschnitt gehaltenen Adhäsionsplatte abzieht, auf. Der Abziehmechanismus weist zwei sich in einer horizontalen Richtung parallel zueinander mit einer Beabstandung dazwischen erstreckende Luftdüsen, die Ausstoßöffnungen aufweisen, die ausgebildet sind, um einander zugewandt zu sein, ein Ventil, das in einer Rohrleitung angeordnetes ist, die eine Verbindung zwischen den zwei Luftdüsen und einer Luftquelle bereitstellt, und eine Steuerungseinheit, die eine Steuerung eines Öffnens und eines Schließens des Ventils und eine Steuerung des Vertikalbewegungsmechanismus durchführt, der die Adhäsionsplatte in einer vertikalen Richtung in der Beabstandung zwischen den zwei Luftdüsen bewegt, auf. Das Ventil wird geöffnet, wenn die Adhäsionsplatte angehoben wird, nachdem die vom Halteabschnitt gehaltene Adhäsionsplatte dazu gebracht wurde, in die Beabstandung zwischen den parallelen zwei Luftdüsen einzutreten, und der an der Adhäsionsplatte angehaftete Abrieb wird auf einer kontaktlosen Basis durch einen Luftdruck von von den Ausstoßöffnungen zu einer Oberfläche und einer anderen Oberfläche der Adhäsionsplatte ausgestoßenen Luft abgezogen.
Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Abriebstaub-Wiedergewinnungsvorrichtung bereitgestellt, die Abriebstaub wiedergewinnt, der durch ein Trocknen des von der Adhäsionsplatte der Abwasserflüssigkeitsbehandlungsvorrichtung, in der eine Abwasserflüssigkeit, die Abrieb enthält, wobei die Abwasserflüssigkeit abgegeben wird, wenn ein Werkstück unter Verwendung einer Bearbeitungsflüssigkeit und von abrasiven Körnern geschliffen wird, in einem Wassertank gespeichert wird, abgezogenen Wasser enthaltenden Abriebs erhalten wird, wobei eine Adhäsionsplatte in die im Wassertank gespeicherte Abwasserflüssigkeit eingetaucht wird und die Adhäsionsplatte mit dem daran angehafteten Abrieb aus dem Wassertank herausgenommen wird, um dadurch den Abrieb aus der Abwasserflüssigkeit zu entfernen. Die Abwasserflüssigkeitsbehandlungsvorrichtung weist einen Halteabschnitt, der die Adhäsionsplatte hält, einen Vertikalbewegungsmechanismus, der den Halteabschnitt vertikal bewegt, und einen Abziehmechanismus auf, der den Wasser enthaltenden Abrieb von der durch den Halteabschnitt gehaltenen Adhäsionsplatte abzieht. Der Abziehmechanismus weist zwei sich in einer horizontalen Richtung parallel zueinander mit einer Beabstandung dazwischen erstreckende Luftdüsen, die Ausstoßöffnungen aufweisen, die ausgebildet sind, um einander zugewandt zu sein, ein Ventil, das in einer Rohrleitung angeordnet ist, die eine Verbindung zwischen den zwei Luftdüsen und einer Luftquelle bereitstellt, und eine Steuerungseinheit auf, die eine Steuerung eines Öffnens und eines Schließens des Ventils und eine Steuerung des Vertikalbewegungsmechanismus, der die Adhäsionsplatte in einer vertikalen Richtung in der Beabstandung zwischen den zwei Luftdüsen bewegt, durchführt. Das Ventil wird geöffnet, wenn die Adhäsionsplatte angehoben wird, nachdem die vom Halteabschnitt gehaltene Adhäsionsplatte dazu gebracht wird, in die Beabstandung zwischen den parallelen zwei Luftdüsen einzutreten, und der an der Adhäsionsplatte angehaftete Abrieb wird auf einer kontaktlosen Basis durch einen Luftdruck von aus den Ausstoßöffnungen zu einer Oberfläche und zu einer anderen Oberfläche der Adhäsionsplatte ausgestoßener Luft abgezogen. Die Abriebstaub-Wiedergewinnungsvorrichtung weist einen Trockenmechanismus auf, der den von der Adhäsionsplatte durch den Abziehmechanismus abgezogenen Abrieb trocknet. Der Trockenmechanismus weist ein Beförderungsband, an dem der vom Abziehmechanismus abgezogene Abrieb angebracht wird, und der den Abrieb in einer horizontalen Richtung bewegt, einen Wiedergewinnungskasten, der den vom Beförderungsband beförderten Abriebstaub wiedergewinnt, und eine Trockenkammer, die einen oberen Abschnitt des Beförderungsbands abdeckt und sich in einer Erstreckungsrichtung des Beförderungsbands erstreckt, auf. Die Trockenkammer weist eine Ladeöffnung, die an einer Endseite des Beförderungsbands angeordnet ist und durch die der Abrieb zu laden ist, und eine an einer anderen Endseite des Beförderungsbandes angeordnete Abgabeöffnung zum Abgeben von von den Luftdüsen des Abziehmechanismus ausgestoßener und zusammen mit dem Abrieb durch die Ladeöffnung in die Trockenkammer geladener Luft auf. Durch die Luftdüsen ausgestoßene Luft strömt in der Trockenkammer in einer Richtung von der Ladeöffnung zur Abgabeöffnung, um dadurch den am Beförderungsband angebrachten und Wasser enthaltenden Abrieb zu trocknen, wodurch der Abriebstaub wiedergewonnen wird.
In der Abwasserflüssigkeitsbehandlungsvorrichtung gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird das Ventil geöffnet, wenn die Adhäsionsplatte angehoben wird, nachdem die vom Halteabschnitt gehaltene Adhäsionsplatte dazu gebracht wurde, in die Beabstandung zwischen den parallelen zwei Luftdüsen einzutreten, und der an der Adhäsionsplatte angehaftete Abrieb kann auf einer kontaktfreien Basis durch den Luftdruck von aus der Ausstoßöffnung zu einer Oberfläche und einer anderen Oberfläche der Adhäsionsplatte ausgestoßener Luft abgezogen werden. Deswegen würde die Adhäsionsplatte nicht beschädigt werden.
Zusätzlich strömt in der Abriebstaub-Wiedergewinnungsvorrichtung gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung von den Luftdüsen der Abwasserflüssigkeitsbehandlungsvorrichtung ausgestoßene Luft in der Richtung von der Ladeöffnung zur Abgabeöffnung in der Trockenkammer, wodurch der am Beförderungsband angebrachte Wasser enthaltende Abrieb getrocknet werden kann und der getrocknete Abriebstaub wiedergewonnen werden kann. Daneben kann die beim Abziehen des Abriebs von der Adhäsionsplatte verwendete Luft so, wie sie ist, in die Trockenkammer geladen werden, um als Luft zum Trocknen des Abriebs verwendet zu werden, wodurch ein Trocknen des Abriebs beschleunigt wird, und es ist nicht notwendig, getrennte Luft zum Trocknen in die Trockenkammer zu laden. Deswegen kann ein Luftverbrauch verringert werden und ein Leistungsverbrauch der Abriebstaub-Wiedergewinnungsvorrichtung kann im Vergleich zu einem Trocknen durch eine Heizeinrichtung verringert werden.
Die obige und andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und ihre Umsetzungsweise werden am besten durch ein Studium der folgenden Beschreibung und beigefügten Ansprüche, unter Bezugnahme auf die angehängten Zeichnungen, die eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zeigen, deutlicher, und die Erfindung wird hierdurch am besten verstanden.
Figurenliste

1 ist eine Schnittansicht, die ein Beispiel der Strukturen einer Abrieb erzeugenden Vorrichtung (Schleifvorrichtung), einer Abwasserflüssigkeitsbehandlungsvorrichtung und einer Abriebstaub-Wiedergewinnungsvorrichtung darstellt;
2 ist eine Perspektivansicht, die ein Beispiel eines eine Anodenplatte, die eine Adhäsionsplatte ist, und eine Kathodenplatte unterbringenden Wassertanks, eines Halteabschnitts, der die Adhäsionsplatte hält, und eines Vertikalbewegungsmechanismus, der den Halteabschnitt vertikal bewegt, darstellt; und
3 ist eine Schnittansicht, welche die Weise darstellt, auf welche Wasser enthaltender Abrieb von der durch den Halteabschnitt aus dem Wassertank herausgenommenen Adhäsionsplatte abgezogen wird und durch ein Ausstoßen von Luft aus Luftdüsen in eine Trockenkammer der Abriebstaub-Wiedergewinnungsvorrichtung geladen wird, und die von den Luftdüsen ausgestoßene Luft strömt in der Trockenkammer in einer Richtung von einer Ladeöffnung zu einer Abgabeöffnung, wodurch an einem Beförderungsgurt angebrachter und Wasser enthaltender Abrieb getrocknet wird und der Abriebstaub wiedergewonnen wird.

AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
Eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird unten unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben werden. Eine in 1 dargestellte Abwasserflüssigkeitsbehandlungsvorrichtung 1 ist eine Vorrichtung, die Abrieb 809 mit einem hohen Wassergehalt aus einer Abwasserflüssigkeit 90 entfernt, welche den Abrieb 809 eines festen Werkstücks 80 enthält, der abgegeben wird, nachdem es von Schleifsteinen 4044 geschliffen wurde, während eine Bearbeitungsflüssigkeit (beispielsweise Reinwasser) in einer Schleifvorrichtung 4 zugeführt wird, die ein Beispiel für eine Abrieb erzeugende Vorrichtung ist. Die Abwasserflüssigkeitsbehandlungsvorrichtung 1 könnte in der Schleifvorrichtung 4 aufgenommen sein oder könnte ein von der Schleifvorrichtung 4 getrennter Körper sein.
Beachte, dass die Abwasserflüssigkeitsbehandlungsvorrichtung 1 eine Vorrichtung zum Entfernen von Abrieb aus einer Abwasserflüssigkeit sein könnte, die den Abrieb enthält, der durch eine Schneidvorrichtung erzeugt wird, die einen Siliziumwafer oder dergleichen durch eine sich drehende Schneidklinge schneidet.
Die in 1 dargestellte Schleifvorrichtung 4 weist zumindest einen Haltetisch 41, der das Werkstück 80 hält, und eine Schleifeinheit 40, die das Werkstück 80 durch die sich drehenden Schleifsteine 4044 schleift, auf.
In der vorliegenden Ausführungsform ist das feste Werkstück 80 ein Siliziumwafer, aber das Werkstück könnte ein zylindrischer Silizium-Ingot sein.
Der an einer Basis 49 der Schleifvorrichtung 4 angeordnete Haltetisch 41 weist eine Halteoberfläche (obere Oberfläche) auf, die beispielsweise ein poröses Element oder dergleichen aufweist und mit einer Ansaugquelle (nicht dargestellt) in Verbindung steht. Der Haltetisch 41 ist um einen Drehschaft drehbar, dessen Drehachse in einer Z-Achsenrichtung angeordnet ist, und wird durch eine Tischtragbasis 42 getragen. Die in einer in einer oberen Oberfläche der Basis 49 ausgebildeten Öffnung 490 angeordnete Tischtragbasis 42 ist in einer X-Achsenrichtung (in der Richtung senkrecht zur Bildebene von 1) durch einen (nicht dargestellten) X-Achsenbewegungsmechanismus wie beispielsweise einen elektrischen Aktor hin- und herbewegbar.
An beiden Seiten eines Bewegungsweges des Haltetischs 41 sind kastenförmige Wasserbehälter 48 angeordnet. Die Wasserbehälter 48 sind in dem Zustand dargestellt, in welchem sie an den zwei linken und rechten Positionen der Tischtragbasis 42 getrennt sind, aber sie sind ähnlich auch in der zur Bildebene von 1 senkrechten Richtung ausgebildet. Der Wasserbehälter 48 ist in einer in einer Draufsicht rechteckigen Kastenform ausgebildet und weist einen integralen Wannenabschnitt 484 auf. Mit anderen Worten ist der Wasserbehälter 48 zum Hin- und Herbewegen des Haltetischs 41 in der X-Achsenrichtung mit einer rechteckigen Öffnung 481 in einem zentralen Abschnitt einer Bodenplatte 480 des kastenförmigen Elements ausgebildet. Der Wasserbehälter 48 weist den die Bodenplatte 480 aufweisenden Wannenabschnitt 484, eine innere Wand 482 und eine äußere Wand 483 und eine Auslassöffnung 485 auf, die ausgebildet ist, um die Bodenplatte 480 zu durchdringen. Ein Ende eines sich außerhalb des Wasserbehälters 48 erstreckenden Flüssigkeitszuführrohrs 4855 ist mit der Auslassöffnung 485 verbunden. Der Wasserbehälter 48 empfängt die Abwasserflüssigkeit 90, welche den vom Werkstück 80 geschliffenen und abgegebenen Abrieb 809 enthält und vom Haltetisch 41 herunterströmt, und schickt die Abwasserflüssigkeit 90 zu einem Tank 12.
Die Schleifeinheit 40 treibt durch einen Motor 402 einen Drehschaft 400 drehbar an, dessen axiale Richtung sich in einer Z-Achsenrichtung (vertikale Richtung) orthogonal zur Halteoberfläche des Haltetischs 41 befindet, und schleift das Werkstück 80 durch eine durch eine Anbringung 403 abnehmbar mit einem unteren Ende des Drehschafts 400 verbundene Schleifscheibe 404. Die Schleifscheibe 404 weist eine ringförmige Scheibenbasis und mehrere Schleifsteine 40 mit einer im Wesentlichen rechteckigen parallelepipedartigen äußeren Form auf, die in einem ringförmigen Muster an einer unteren Oberfläche der Scheibenbasis angeordnet sind.
Die Schleifeinheit 40 ist in der Z-Achsenrichtung vertikal bewegbar.
Beispielsweise ist der Drehschaft 400 darin mit einem (nicht dargestellten) Strömungskanal versehen, der mit einer Bearbeitungsflüssigkeitszuführquelle in Verbindung steht und als ein Durchgang für die Bearbeitungsflüssigkeit dient, in der Form, dass er den Drehschaft 400 in der axialen Richtung (Z-Achsenrichtung) durchdringt, und der Strömungskanal öffnet sich in der Bodenoberfläche der Scheibenbasis so, dass er in der Lage ist, die Bearbeitungsflüssigkeit zu den Schleifsteinen 4044 auszustoßen. Beachte, dass eine Bearbeitungsflüssigkeitsdüse an einer Position neben der Schleifscheibe 404 der Schleifeinheit 40 in dem Zustand angeordnet werden kann, in welchem sie auf eine Position zum Schleifen des Werkstücks 80 abgesenkt ist, und dass die Bearbeitungsflüssigkeit von der Bearbeitungsflüssigkeitsdüse ausgestoßen und direkt zu einem Kontaktteil der Schleifsteine 4044 und des Werkstücks 80 zugeführt werden könnte.
Die in 1 dargestellte Abwasserflüssigkeitsbehandlungsvorrichtung 1 weist zumindest einen Wassertank 2 zum Speichern der Abwasserflüssigkeit 90, eine Herausnahmeeinheit 3 zum Herausnehmen des Abriebs 809 mit einem hohen Wassergehalt aus dem Wassertank 2 und einen Abziehmechanismus 16 zum Abziehen des Abriebs 809 mit einem hohen Wassergehalt von einer Adhäsionsplatte 31 (Anodenplatte 31), die von einem Halteabschnitt 35 der Herausnahmeeinheit 3 gehalten wird, auf.
Beispielsweise ist der Tank 12 zum Unterbringen der Abwasserflüssigkeit 90 an einer Position unter der Auslassöffnung 485 des Wasserbehälters 48 angeordnet und der Tank 12 weist eine Zuführöffnung 120 auf, mit welcher das andere Ende eines Flüssigkeitszuführrohres 4855 verbunden ist. Der Tank 12 weist eine Herausbeförderungspumpe 121 zum Befördern der den Abrieb 809 des Werkstücks 80 enthaltenden Abwasserflüssigkeit 90 aus dem Tank 12 und zum Abgeben der Abwasserflüssigkeit 90 zum Wassertank 2 auf und die Herausbeförderungspumpe 121 befördert die Abwasserflüssigkeit 90 durch ein Herausbeförderungsrohr 1211 heraus zu einer Einströmöffnung 20 des Wassertanks 2.
Der im Wesentlichen rechteckig parallelartig kastenförmige Wassertank 2 ist beispielsweise aus einem isolierenden Material wie beispielsweise einem synthetischen Kunststoff ausgebildet, weist eine in einer Draufsicht rechteckige Bodenplatte 21 und vier in der +Z-Richtung integral vom äußeren Umfang der Bodenplatte 21 ansteigende Seitenwände auf und kann die den Abrieb 809 des Werkstücks 80 enthaltende Abwasserflüssigkeit 90 in dem von der Bodenplatte 21 und den Seitenwänden umgebenen Raum vorhalten. In 1 und 2 werden die zwei einander in der X-Achsenrichtung zugewandten Seitenwände als Seitenwände 220 bezeichnet, wohingegen die zwei einander in der Y-Achsenrichtung zugewandten Seitenwände als Seitenwände 221 bezeichnet werden.
Zusätzlich ist an einem oberen Abschnitt des Wassertanks 2 ein Überlaufrohr (nicht dargestellt) vorgesehen, um zu verhindern, dass die Abwasserflüssigkeit 90 überläuft. Das Überlaufrohr steht mit dem Tank 12 in Verbindung und führt die Abwasserflüssigkeit 90, die vom Wassertank 2 überlaufen wird, wieder zum Tank 12.
Die in 1 und 2 dargestellte Herausnahmeeinheit 3 zum Herausnehmen des Wasser enthaltenden Abriebs 809 aus der Abwasserflüssigkeit 90 im Wassertank 2 weist beispielsweise eine Kathodenplatte 30 (in 2 nicht dargestellt), die mit dem Zweck, mit einer Minus-Polarisierung geladen zu werden, im Wassertank 2 angeordnet ist, die Adhäsionsplatte 31 als eine Anodenplatte, die zur Kathodenplatte 30 gerichtet ist, in den Wassertank 2 eingebracht werden und daraus entfernt werden kann, in der Plus-Polarisierung geladen werden kann und den Wasser enthaltenden Abrieb 809 absorbieren kann, den Halteabschnitt 35 zum Halten der Adhäsionsplatte 31 und einen Vertikalbewegungsmechanismus 32 zum vertikalen Bewegen des Halteabschnitts 35 auf.
Die Adhäsionsplatte 31 ist unter Verwendung eines Materials ausgestaltet, das elektrochemisch edel ist, und ist in einer Draufsicht so ausgebildet, dass sie rechteckig ist. Beispielsweise könnte die Adhäsionsplatte 31 durch ein Material wie beispielsweise Kupfer, Silber, Platin oder Gold ausgestaltet sein und in der vorliegenden Ausführungsform wird SUS aufgebracht. Der Abrieb 809 haftet hauptsächlich an einer Oberfläche an einer Seite, die eine Seitenoberfläche in der Y-Achsenrichtung der Adhäsionsplatte 31 ist, und einer Oberfläche an der anderen Seite, die eine der Oberfläche an der einen Seite gegenüber angeordnete Seitenoberfläche ist, an.
Beispielsweise sind einander in der X-Achsenrichtung des in 1 und 2 dargestellten Wassertanks 2 zugewandte innere Oberflächen der zwei Seitenwände 220 mit mehreren (nicht dargestellten) Tragnuten ausgebildet und die Adhäsionsplatten 31 sind im Wassertank 2 in dem Zustand angeordnet, in welchem sie in vorgegebenen Beabstandungen in der X-Achsenrichtung in die Tragnuten eingebracht sind. Mit anderen Worten sind die mehreren Adhäsionsplatten 31 mit Beabstandungen dazwischen in einem Zustand angeordnet, in welchem beide Seitenoberflächen davon orthogonal zur Längsrichtung (Y-Achsenrichtung) des Wassertanks 2 und parallel zur Breitenrichtung (X-Achsenrichtung) des Wassertanks 2 sind. An einer oberen Oberfläche der Adhäsionsplatte 31 sind zwei in Eingriff stehende Abschnitte 310, die mit einer Beabstandung dazwischen von einem zentralen Teil in der Breitenrichtung (X-Achsenrichtung) vorstehen, vorgesehen. Der in Eingriff stehende Abschnitt 310 ist in einer rechteckigen plattenartigen Form ausgebildet und ist in der Mitte mit einem in Eingriffsloch 3102, das in der X-Achsenrichtung durchdringt, versehen. In das in Eingriffsloch 3102 tritt ein Eingreifstift 3523 des Halteabschnitts 35, der in 1 und 2 dargestellt ist, ein und steht damit in Eingriff.
Die in 1 dargestellte Kathodenplatte 30 ist zwischen den einander benachbart angeordneten Adhäsionsplatten 31 vorgesehen. Mit anderen Worten sind mehrere Kathodenplatten 30 angeordnet und sie sind alternierend mit den Adhäsionsplatten 31 in einem beabstandeten Zustand angeordnet, wobei sie den Adhäsionsplatten 31 in der Y-Achsenrichtung zugewandt sind, und befinden sich in einem Zustand, in welchem sie parallel zu den Adhäsionsplatten 31 sind.
Die Kathodenplatte 30 ist beispielsweise, wie in 1 dargestellt, durch ein in einer Seitenansicht rechteckiges und ringförmiges Gehäuse 330 getragen und das Gehäuse 330 ist mit einem Abgabeabschnitt 331 ausgebildet. Der Abgabeabschnitt 331 ist beispielsweise eine Rohrleitung zum Zuführen von Reinwasser 92, dem der Abrieb 809 entzogen wurden und das in das Gehäuse 330 zu einem Reinwasservorhaltetank strömt. Die Kathodenplatten 30 sind parallel und mit einer Beabstandung dazwischen so angeordnet, dass sie beide Seitenöffnungen des Gehäuses 330 schließen.
Die Kathodenplatten 30 sind unter Verwendung eines Materials ausgestaltet, das elektrochemisch edel ist, wie die Adhäsionsplatten 31, und sind in einer Draufsicht in einer rechteckigen ebenen Plattenform ausgebildet. Beispielsweise könnten die Kathodenplatten 30 unter Verwendung eines Materials wie beispielsweise Kupfer, Silber, Platin oder Gold ausgestaltet sein. In der vorliegenden Ausführungsform wird SUS aufgebracht. Die Kathodenplatte 30 ist beispielsweise in einer plattenartigen Form mit Netzen ausgebildet und um zu verhindern, dass der Abrieb 809 durch die Netze gefangen wird, wird die Kathodenplatte 330 in einer Minus-Polarisierung geladen, um eine abstoßende Kraft für den Abrieb 809 zu erzeugen. Mit anderen Worten lässt die Kathodenplatte 30 dadurch, dass sie in einer Minus-Polarisierung geladen wird, nur zu, dass das Reinwasser 92 als eine Flüssigkeit in der Abwasserflüssigkeit 90 dadurch hindurchtritt, wohingegen sie eine abstoßende Kraft zwischen sich und dem negativ geladenen Abrieb 809 erzeugt, wodurch sie den Durchtritt des Abriebs 809 dadurch hält. Folglich bilden das Gehäuse 330 und die Kathodenplatte 30 einen Bereich aus, in welchem das durch die Kathodenplatte 30 durchgetretene Reinwasser 92 im Inneren davon und, da die Kathodenplatte 30 die abstoßende Kraft zwischen sich und dem Abrieb 809 erzeugt, der Bereich, in welchem das Reinwasser 92 vorliegt, von der Abwasserflüssigkeit 90 im Wassertank 2 getrennt ist.
Beachte, dass die Form der Kathodenplatte 30 und dergleichen nicht auf diejenigen in der vorliegenden Ausführungsform beschränkt ist.
Lücken mit einer vorgegebenen Breite sind zwischen den unteren Enden jeder Kathodenplatte 30 und jeder Adhäsionsplatte 31 und der Bodenplatte 21 des Wassertanks 2 vorgesehen und die in dem Wassertank 2 strömende Abwasserflüssigkeit 90 steigt dadurch, dass sie durch die Lücken verläuft, zwischen der Kathodenplatte 30 und der Adhäsionsplatte 31 an.
In der vorliegenden Ausführungsform wird eine Gleichstrom (DC)-Spannung zwischen der Adhäsionsplatte 31 und der Kathodenplatte 30 aufgeprägt. Mit anderen Worten ist die Plus (+)-Seite einer (nicht dargestellten) Gleichstromleistungsquelle mit der Adhäsionsplatte 31 verbunden, um die Adhäsionsplatte 31 in der Abwasserflüssigkeit 90 mit einer Plus-Polarisierung unter elektrische Spannung zu setzen, wodurch der Abrieb 809 absorbiert wird, welcher der in der Abwasserflüssigkeit 90 mit einer Minus-Polarisierung unter elektrische Spannung gesetzte Siliziumabrieb ist. Auf der anderen Seite ist die Minus (-)-Seite der (nicht dargestellten) Gleichstromleistungsquelle mit der Kathodenplatte 30 verbunden, um die Kathodenplatte 30 in der Abwasserflüssigkeit 90 mit einer Minus-Polarisierung unter elektrische Spannung zu setzen. Folglich wird zwischen der Adhäsionsplatte 31 und der Kathodenplatte 30 ein elektrisches Feld ausgebildet. Dann wird der in die Abwasserflüssigkeit 90 gemischte und mit einer Minus (-)-Polarisierung unter elektrische Spannung gesetzte Abrieb 809 durch Elektrophorese von der in einer Minus (-)-Polarisierung unter elektrische Spannung gesetzten Kathodenplatte 30 abgestoßen und wird an der Adhäsionsplatte 31, die in einer Plus (+)-Polarisierung unter elektrische Spannung gesetzt ist, adsorbiert.
Der Vertikalbewegungsmechanismus 32, der obere Abschnitte der in 1 und 2 dargestellten Adhäsionsplatten 31 haltenden Halteabschnitte 35 vertikal bewegt, um die Adhäsionsplatten 31 aus dem Wassertank 2 herauszuziehen oder um die Adhäsionsplatten 31 in den Wassertank 2 einzubringen, ist an der oberen Seite des Wassertanks 2 durch einen Y-Achsenrichtungs-Bewegungsmechanismus 34 in der Y-Achsenrichtung hin- und herbewegbar. Der in 2 detailliert dargestellte Y-Achsenrichtungs-Bewegungsmechanismus 34 weist eine parallel zur Längsrichtung (Y-Achsenrichtung) des Wassertanks 2 vorgesehene horizontale Kugelgewindespindel 340, einen Motor 343, der die horizontale Kugelgewindespindel 340 drehbar antreibt, ein Paar Führungsschienen 341 zur horizontalen Bewegung, die sich in der Y-Achsenrichtung erstrecken, und ein bewegbares Element 342, von dem eine Mutter im Inneren davon einen Gewindeeingriff mit der horizontalen Kugelgewindespindel 340 eingeht und von der untere Oberflächen beider Enden einen Verschiebungskontakt mit den Führungsschienen 341 eingehen, auf. Wenn die horizontale Kugelgewindespindel 340 durch ein Antreiben des Motors 343 gedreht wird, wird der am bewegbaren Element 342 befestigte Vertikalbewegungsmechanismus 32 in der Y-Achsenrichtung bewegt, während er von den Führungsschienen 341 geführt wird. Die horizontale Kugelgewindespindel 340 und die Führungsschienen 341 weisen eine Länge auf, die von der oberen Seite des Wassertanks 2 zur oberen Seite der Abriebstaub-Wiedergewinnungsvorrichtung 6 reicht, und durch ein Bewegen des Vertikalbewegungsmechanismus 32 und des Halteabschnitts 35 in der Y-Achsenrichtung können die durch den Halteabschnitt 35 gehaltenen Adhäsionsplatten 31 vom Wassertank 2 zur oberen Seite der Abriebstaub-Wiedergewinnungsvorrichtung 6 bewegt werden.
Beachte, dass in 2 die Abriebstaub-Wiedergewinnungsvorrichtung 6 in einer vereinfachten Form dargestellt ist.
Der detailliert in 2 dargestellte Vertikalbewegungsmechanismus 32 weist eine vertikale Platte 329 mit einem am bewegbaren Element 342 befestigten oberen Ende, eine an einer Seitenoberfläche der vertikalen Platte 329 parallel zur Tiefenrichtung (Z-Achsenrichtung) des Wassertanks 2 vorgesehene vertikale Kugelgewindespindel 321, einen Motor 323, der die vertikale Kugelgewindespindel 321 drehbar antreibt, und ein Paar sich in der Z-Achsenrichtung erstreckende Führungsschienen 322 auf. Der Halteabschnitt 35 weist eine Mutter innerhalb davon in einem Schraubeingriff mit der vertikalen Kugelgewindespindel 321 auf und weist Seitenoberflächen in verschiebbarem Kontakt mit den Führungsschienen 322 auf. Wenn die vertikale Kugelgewindespindel 321 durch ein Antreiben des Motors 323 gedreht wird, wird der Halteabschnitt 35 in der Z-Achsenrichtung bewegt, während er von den Führungsschienen 322 geführt wird.
Der Halteabschnitt 35, der die Adhäsionsplatten 31 hält, weist beispielsweise ein plattenförmiges Element 350, das eine Mutter im Inneren davon in einem Schraubeingriff mit der vertikalen Kugelgewindespindel 321 aufweist und sich in der Breitenrichtung der Adhäsionsplatten 31 erstreckt, und ein Paar an einer unteren Oberfläche des plattenförmigen Elements 350 angeordnete Einspannzylinder 352 auf. Das Paar Einspannzylinder 352 ist mit einer Beabstandung dazwischen in der Breitenrichtung (X-Achsenrichtung) des Wassertanks 2 angeordnet. Das Paar Einspannzylinder 352 weist einen am plattenförmigen Element 350 angebrachten Zylinderhauptkörper 3522 und einen Eingreifstift 3523 auf, der so vorgesehen ist, dass er relativ zum Zylinderhauptkörper 3522 in der Breitenrichtung (X-Achsenrichtung) des Wassertanks 2 vorgeschoben und zurückgezogen werden kann. Beispielsweise stehen die Eingreifstifte 3523 des Paars Einspannzylinder 352 von den Zylinderhauptkörpern 3522 so vor, dass sie einander in der X-Achsenrichtung annähern. Wenn die Eingreifstifte 3523 von den Zylinderhauptkörpern 3522 so vorstehen, dass sie einander in einem Zustand annähern, in welchem der Haltabschnitt 35 abgesenkt wird, um an der oberen Seite der Adhäsionsplatten 31 angeordnet zu werden, werden die Eingreifstifte 3523 jeweils in die Eingreiflöcher 3102 der Eingreifabschnitte 310 der Adhäsionsplatten 31 eingebracht. Folglich wird ein Zustand, in welchem der Halteabschnitt 35 die Adhäsionsplatten 31 hält, realisiert.
Der detailliert in 3 dargestellte Abziehmechanismus 16, der den Wasser enthaltenden Abrieb 809 von den vom Halteabschnitt 35 gehaltenen Adhäsionsplatten 31 abzieht, weist zwei Luftdüsen 160 mit mehreren Ausstoßöffnungen 1600, die ausgebildet sind, um sich mit einer Beabstandung dazwischen parallel zu einer horizontalen Richtung (X-Achsenrichtung) zu erstrecken und einander zugewandt zu sein, ein in einer Rohrleitung 167 angeordnetes Ventil 168, das eine Verbindung zwischen den zwei Luftdüsen 160 und einer Luftquelle 169 bereitstellt, und eine Steuerungseinheit 166 auf, die eine Steuerung eines Öffnens und Schließens des Ventils 168 und eine Steuerung des Vertikalbewegungsmechanismus 32 zum Bewegen der vom Halteabschnitt 35 gehaltenen Adhäsionsplatten 31 in der vertikalen Richtung in der Beabstandung zwischen den zwei Luftdüsen 160 durchführt.
Die in 3 dargestellten Luftdüsen 160 sind beispielsweise an Seitenoberflächen eines mit einem Dach versehenen kastenförmigen Gehäuses 162 befestigt, das integral mit einer Ladeöffnung 650 einer Trockenkammer 65 der Abriebstaub-Wiedergewinnungsvorrichtung 6 verbunden ist, die später beschrieben wird. Das Dach des Gehäuses 162 ist mit einer Eingangsöffnung 1622 versehen, die so durchtritt, dass sie es den Adhäsionsplatten 31 erlaubt, in das Gehäuse 162 einzutreten. Der innere Raum des Gehäuses 162 steht mit der Ladeöffnung 650 der Trockenkammer 65 in Verbindung.
Beispielsweise weisen die zwei in einem Bereich an der oberen Seite der inneren Oberflächen des Gehäuses 162 befestigten Luftdüsen 160 beispielsweise die mehreren in der Längsrichtung (X-Achsenrichtung) ausgerichteten Ausstoßöffnungen 1600 auf, die in der Lage sind, Luft 1609 zu einer schrägen unteren inneren Seite hin auszustoßen. Beachte, dass die Ausstoßöffnungen 1600 hinsichtlich ihrer Form, Größe und ihres Ausstoßwinkels und dergleichen so festgelegt sind, dass sie eine Optimierung eines Abziehens des Abriebs 809 von den Adhäsionsplatten 31 durch ausgestoßene Luft 1609 ermöglichen. Beispielsweise könnten die Ausstoßöffnungen 1600 in einer Einzelschlitzform ausgebildet sein, die hinsichtlich einer Breite schmal ist und sich kontinuierlich entlang einer Seitenoberfläche der Luftdüse 160 erstreckt. Mit anderen Worten bildet von den Ausstoßöffnungen 1600 der Luftdüsen 160 zu einer schrägen unteren inneren Seite hin ausgestoßene Luft, die als ein Luftmesser wirkt, einen sich in der X-Achsenrichtung erstreckenden Luftvorhang aus.
Die Beabstandung zwischen den zwei Luftdüsen 160, die einander in der Y-Achsenrichtung zugewandt sind, hat eine solche Größe, dass die Adhäsionsplatten 31 vertikal bewegt werden können, ohne die Luftdüsen 160 zu berühren.
Eine Endseite der Rohrleitung 167, die an der anderen Endseite mit den zwei Luftdüsen 160 durch eine Verbindung oder dergleichen in Verbindung steht, ist mit der Luftquelle 169 verbunden, die einen Kompressor oder dergleichen beinhaltet. Beispielsweise ist ein Ventil 168 wie beispielsweise ein Magnetventil, das den Zustand einer Verbindung zwischen der Rohrleitung 167 und der Luftquelle 169 durch ein Leiten eines Stromes steuert, in der Rohrleitung 167 angeordnet.
Die Steuerungseinheit 166 weist beispielsweise eine zentrale Verarbeitungseinheit (CPU), die eine arithmetische Verarbeitung gemäß einem Steuerungsprogramm durchführt, und ein Speicherelement wie beispielsweise einen Speicher auf, und ist elektrisch zumindest mit dem Vertikalbewegungsmechanismus 32 und dem Ventil 168 verbunden. Beispielsweise steuert die Steuerungseinheit 166 das Öffnen und Schließen des Ventils 168 durch ein Steuern des Durchtritts eines Stroms zum Ventil 168. Die Steuerungseinheit 166 wirkt beispielsweise als ein Servo-Verstärker, führt ein Bedienungssignal zum Motor 323 des Vertikalbewegungsmechanismus 32 zu und steuert einen Vertikalbewegungsbetrieb des Halteabschnitts 35 durch den Vertikalbewegungsmechanismus 32 und einen Positionierbetrieb zum Positionieren auf einer vorgegebenen Höhe.
Beispielsweise ist an einer Position neben dem Wassertank 2 in der Y-Achsenrichtung, wie in 1 und 2 dargestellt, die Abriebstaub-Wiedergewinnungsvorrichtung 6, die den Abriebstaub 8091 (siehe 3) wiedergewinnt, der durch ein Trocknen des Wasser enthaltenden Abriebs 809, der durch den Abziehmechanismus 16 der AbwasserflüssigkeitsBehandlungsvorrichtung 1 von den Adhäsionsplatten 31 abgezogen wird, erhalten wird, angeordnet.
Die Abriebstaub-Wiedergewinnungsvorrichtung 6 weist beispielsweise einen Trockenmechanismus 60 auf, der den von den Adhäsionsplatten 31 durch den Abziehmechanismus 16 abgezogenen Abrieb 809 trocknet. Der Trockenmechanismus 60 weist ein Beförderungsband 61, an dem der vom Abziehmechanismus 16 abgezogene Abrieb 809 anzubringen ist und der den Abrieb 809 in einer horizontalen Richtung (Y-Achsenrichtung) bewegt, einen Wiedergewinnungskasten 63 zum Wiedergewinnen von durch das Beförderungsband 61 befördertem Abriebstaub 8091 und eine Trockenkammer 65, die einen oberen Abschnitt des Beförderungsbandes 61 abdeckt und die sich in der Erstreckungsrichtung (Y-Achsenrichtung) des Beförderungsbandes 61 erstreckt, auf.
Die Trockenkammer 65 weist die an einer Endseite (-Y-Richtungsseite) des Beförderungsbandes 61 angeordnete Ladeöffnung 650 zum Laden des Abriebs 809 und eine an der anderen Endseite (+Y-Richtungsseite) des Beförderungsbandes 61 angeordnete Abgabeöffnung 651 zum Abgeben von Luft, die von den zwei Luftdüsen 160 des Abziehmechanismus 16 ausgestoßen wird und gemeinsam mit dem Abrieb 809 in die Trockenkammer 65 geladen wird, auf.
Die Trockenkammer 65 weist beispielsweise in einer Draufsicht eine im Wesentlichen rechteckig parallelepipedförmige äußere Form auf und weist eine rechteckige Bodenplatte 653, vier in der +Z-Richtung integral von dem äußeren Umfang der Bodenplatte 653 ansteigende Seitenwände und eine mit oberen Enden der Seitenwände verbundene obere Platte 654, die zur oberen Oberfläche des Transportbandes 61 gerichtet ist, auf.
In 3 werden die zwei Seitenwände (nur die eine Wand an der hinteren Seite der Zeichnungsebene von 1 ist dargestellt), die in der X-Achsenrichtung zueinander gerichtet sind, als Seitenwände 6551 bezeichnet und die zwei einander in der Y-Achsenrichtung zugewandten Seitenwände werden als eine Seitenwand 6552 und eine Seitenwand 6553 bezeichnet. Die obere Seite des Beförderungsbandes 61 in der Trockenkammer 65 ist eine Luftleitung 659 zum Durchströmen von Luft in der Beförderungsrichtung des Abriebs 809.
An einer Endseite (-Y-Richtungsseite) der oberen Platte 654 ist eine Ladeöffnung 650 zum Laden des Abriebs 809 auf das Beförderungsband 61 so ausgebildet, dass es in der Dickenrichtung durchdringt. Zusätzlich ist das Gehäuse 162 mit den daran angebrachten Luftdüsen 160 integral mit der Ladeöffnung 650 verbunden.
Beispielsweise könnte, wie in der vorliegenden Ausführungsform, eine Schiebetür 6503, die in der Lage ist, die Ladeöffnung 650 zu öffnen und zu schließen, und die in der Y-Achsenrichtung verschiebbar ist, an der oberen Seite der in 3 dargestellten Ladeöffnung 650 angeordnet sein. Zusätzlich ist an der unteren Seite der Ladeöffnung 650 eine Führungsplatte 6505 angeordnet, die relativ zum Beförderungsband 61 so geneigt ist, dass sie den Wasser enthaltenden Abrieb 809, der abgezogen wurde und herunter befördert ist, auf das Beförderungsband 61 führt.
In der vorliegenden Ausführungsform spielt die Ladeöffnung 650 die Rolle einer Aufnahmeöffnung zum Aufnehmen von Luft in eine Endseite (-Y-Richtungsseite) der Trockenkammer 65.
Beispielsweise könnte eine untere Oberfläche der oberen Platte 654 mit mehreren vorstehenden Abschnitten 6542 ausgebildet sein. Die vorstehenden Abschnitte 6542 weisen beispielsweise eine halbkugelförmige äußere Form auf, wie in 3 dargestellt ist, jedoch ist dies nicht beschränkend, und die vorstehenden Abschnitte 6542 könnten eine zylindrische oder eine prismatische äußere Form aufweisen. Beispielsweise sind die mehreren vorstehenden Abschnitte 6542 an vorgegebenen regelmäßigen Abständen in der X-Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung an der unteren Oberfläche der oberen Platte 654 angeordnet, aber die mehreren vorstehenden Abschnitte 6542 könnten willkürlich an der unteren Oberfläche der oberen Platte 654 angeordnet sein. Zusätzlich könnten sich die vorstehenden Abschnitte 6542 in einem Fall, in welchem die vorstehenden Abschnitte 6542 eine zylindrische oder prismatische äußere Form aufweisen, in der X-Achsenrichtung erstrecken und die vorstehenden Abschnitte 6542 könnten in vorgegebenen regelmäßigen Abständen in der Y-Achsenrichtung angeordnet sein.
In der Beförderungsrichtung in der Luftleitung 659 in der Trockenkammer 65 strömende Luft bildet durch ein Kollidieren mit den vorstehenden Abschnitten 6542 an der unteren Oberfläche der oberen Platte 654 Turbulenzen aus. Mit anderen Worten werden unregelmäßige Luftwirbel am Beförderungsband 61 erzeugt und Luft strömt in die Beförderungsrichtung. Folglich wird die Turbulenz gegen den Wasser enthaltenden Abrieb 809 am Beförderungsband 61 ausgestoßen, wodurch es wahrscheinlicher wird, dass im Abrieb 809 enthaltenes Wasser verdunstet wird. Beachte, dass es sein könnte, dass die vorstehenden Abschnitte 6542 nicht an der unteren Oberfläche der oberen Platte 654 ausgebildet sind.
Das Beförderungsband 61 ist beispielsweise durch einen an der Seitenwand 6551 befestigten Bandmotor 612 drehbar. Eine Hauptantriebswalze 613 ist an einem Schaft des Bandmotors 612 angebracht und ein Endlos-Beförderungsband 61 ist um die Hauptantriebswalze 613 geführt. Eine Abtriebswalze 614 ist an einer inneren Oberfläche der Seitenwand 6551 an einer in der +Y-Richtung um eine vorgegebene Distanz vom Bandmotor 612 beabstandeten Position angebracht und das Beförderungsband 61 ist ebenfalls um die Abtriebswalze 614 geführt. Wenn der Bandmotor 612 die Hauptantriebsalze 613 drehbar antreibt, wird das Beförderungsband 61 entsprechend der Drehung der Hauptantriebswalze 613 und der Abtriebswalze 614 gedreht.
Beispielsweise ist ein Dickeneinstellmechanismus 66 zum Erstrecken des Wasser enthaltenden Abriebs 809, der am Beförderungsband 61 angebracht ist, in eine vorgegebene Dicke am Beförderungsband 61 in der Trockenkammer 65 angeordnet. Der Dickeneinstellmechanismus 66 in der vorliegenden Ausführungsform ist beispielsweise ein Paar Klemmwalzen, die so angeordnet sind, dass sie das Beförderungsband 61 von der unteren und oberen Seite in der Nähe einer Position, wo der Abrieb 809 auf das Beförderungsband 61 geladen wird, klemmen, und die durch eine vom Beförderungsband 61 empfangene Reibkraft gedreht werden. Jedes von beiden Enden in den X-Achsenrichtungen des Paars Klemmrollen ist beispielsweise an einer jeweiligen Seitenwand 6551, die einander in der X-Achsenrichtung zugewandt sind, befestigt. Das Paar Klemmwalzen erstreckt sich beispielsweise in der X-Achsenrichtung in eine Länge, die gleich oder größer als die Breite des Beförderungsbandes 61 ist. Beachte, dass der Dickeneinstellmechanismus 66 eine an der oberen Seite des Beförderungsbandes 61 angeordnete Quetscheinrichtung oder dergleichen sein könnte.
An der anderen Endseite (+Y-Richtungsseite) der oberen Platte 654 ist die Abgabeöffnung 651 zum Abgeben von Luft nach außerhalb der Trockenkammer 65 so ausgebildet, dass sie die obere Platte 654 durchdringt.
Eine Ansaugöffnung eines Gebläseventilators 672 steht mit der Abgabeöffnung 651 durch ein Abgaberohr 671 in Verbindung. Ein Ende einer Rohrleitung 673 ist mit einer Abgabeöffnung des Gebläseventilators 672 verbunden. In der vorliegenden Ausführungsform ist beispielsweise ein Teilungsabschnitt 674, der die Strömungsrate von Abgabeluft durch den Gebläseventilator 672 in zwei Teile teilt und der in der Lage ist, eine Strömungsrate zu regulieren, mit dem anderen Ende der Rohrleitung 673 verbunden. Der Teilungsabschnitt 674 ist beispielsweise ein abzweigendes Dreiwege-Einstellventil, aber durch ein Verwenden eines Dreiwege-Rohres könnte Abgabeluft durch Rohrleitungsdurchmesser einer anlagenausstattungsseitigen Rohrleitung 675 und eines Einbringrohres 676 in vorgegebene Strömungsraten geteilt werden.
Die anlagenausstattungsseitige Rohrleitung 675, die mit einer Abgabevorrichtung 69 einer Anlagenausstattung in Verbindung steht, die eine Ansaugeinheit aufweist, und ein Ende des Einbringrohres 676 zum Rückführen der Abgabeluft einer der durch den Teilungsabschnitt 674 geteilten Strömungsraten in die Trockenkammer 65 sind mit dem Teilungsabschnitt 674 verbunden. Beispielsweise ist ein Rückführeinlass 6548 an einer Position der oberen Platte 654 zwischen der Ladeöffnung 650 und der Abgabeöffnung 651 ausgebildet und das andere Ende des Einbringrohrs 676 ist mit dem Rückführeinlass 6548 verbunden.
Beachte, dass die Abriebstaub-Wiedergewinnungsvorrichtung 6 eine Ausgestaltung aufweisen könnte, in welcher die von der Trockenkammer 65 abgegebene Abgabeluft nicht rückgeführt wird.
Auf der anderen Endseite (+Y-Richtungsseite) der Bodenplatte 653 ist eine Staubabgabeöffnung 658 so ausgebildet, dass sie die Bodenplatte 653 in der Dickenrichtung durchdringt, und das Beförderungsband 61 wirft den Abriebstaub 8091 nach einem Trocknen zur Staubabgabeöffnung 658 ab. An der unteren Seite der Staubabgabeöffnung 658 ist eine Öffnungs-Schließ-Tür 6581 angeordnet, die durch ein Federgelenk oder dergleichen getragen ist und in der Lage ist, durch das Gewicht des Abriebstaubs 8091 geöffnet und geschlossen zu werden.
An der unteren Seite des anderen Endes (Ende an der +Y-Richtungsseite) der Trockenkammer 65 ist ein Wiedergewinnungskasten 63 angeordnet. Der Wiedergewinnungskasten 63 ist direkt unter der Staubabgabeöffnung 658 der Trockenkammer 65 offen. An einer Seite eines oberen Abschnitts des Wiedergewinnungskastens 63 ist beispielsweise ein Sensor (beispielsweise ein optischer Sensor vom Transmissionstyp) (nicht dargestellt) angeordnet. Wenn der getrocknete Schleifstaub 8091 von der Staubabgabeöffnung 658 in den Wiedergewinnungskasten 63 herunterfällt und sich der Abriebstaub mit einer vorgegebenen Höhe in dem Wiedergewinnungskasten 63 ansammelt, wird durch den Sensor eine Information, dass der Wiedergewinnungskasten 63 ersetzt werden sollte, ausgegeben. Beachte, dass der Wiedergewinnungskasten 63 einen Gewichtssensor aufweisen könnte oder einen solchen Sensor wie oben erwähnt nicht aufweisen könnte.
Unten werden Vorgänge der Abwasserflüssigkeitsbehandlungsvorrichtung 1 und der Abriebstaub-Wiedergewinnungsvorrichtung 6 im Fall eines Entfernens des Wasser enthaltenden Abriebs 809 aus der Abwasserflüssigkeit 90, die den Abrieb 809 des Werkstücks 80 enthält, der durch ein Schleifen des in 1 dargestellten Werkstücks 80 durch die Schleifsteine 4044 abgegeben wird, während eine Bearbeitungsflüssigkeit zugeführt wird und der entfernte Abrieb 809 getrocknet wird, um den Abriebstaub 8091 zu erhalten, beschrieben werden.
Zunächst wird das Werkstück 80 durch die Halteoberfläche des Haltetischs 41 unter Ansaugung gehalten und die Tischtragbasis 42 wird angetrieben, um das Werkstück 80 am Haltetisch 41 an einer den Schleifsteinen 4044 zugewandten Schleifposition zu positionieren. Dann wird die Schleifscheibe 404 gedreht, die Schleifeinheit 40 wird abgesenkt und die sich drehenden Schleifsteine 4044 nehmen Kontakt mit der oberen Oberfläche des Werkstücks 80 auf, wodurch ein Schleifen durchgeführt wird. Zusätzlich wird, da der Haltetisch 41 mit einer vorgegebenen Geschwindigkeit gedreht wird und dadurch das Werkstück 80 auch gedreht wird, ein Schleifen des gesamten Bereichs der oberen Oberfläche des Werkstücks 80 durch die Schleifsteine 4044 ausgeführt. Während des Schleifens wird eine Bearbeitungsflüssigkeit (beispielsweise Reinwasser) zum Kontaktteil zwischen den Schleifsteinen 4044 und dem Werkstück 80 zugeführt, wodurch der Kontaktteil gekühlt und gereinigt wird.
Das Werkstück 80 wird durch das Schleifen geschliffen, feiner Abrieb 809 des Werkstücks 80 wird ausgebildet und der Abrieb 809 mischt sich in die Bearbeitungsflüssigkeit, sodass die den Abrieb 809 enthaltende Abwasserflüssigkeit 90 erzeugt wird. Die Abwasserflüssigkeit 90 strömt durch die Öffnung 490 in das Wassergehäuse 48 und strömt danach durch das Flüssigkeitszuführrohr 4855, den Tank 12 und das Herausführrohr 1211 in den Wassertank 2, um im Wassertank 2 vorgehalten zu werden.
In einem Zustand, in welchem die Abwasserflüssigkeit 90 somit im Wassertank 2 vorgehalten wird, werden die Adhäsionsplatten 31 und die Kathodenplatten 30 in die Abwasserflüssigkeit 90 eingetaucht, Plus (+) der (nicht dargestellten) Gleichstromleistungsquelle wird auf die Adhäsionsplatten 31 aufgebracht, wohingegen Minus (-) der Gleichstromleistungsquelle auf die Kathodenplatten 30 aufgebracht wird. Folglich wird ein elektrisches Feld zwischen der Adhäsionsplatte 31 und der Kathodenplatte 30 erzeugt. Dann wird der Abrieb 809, der in die Abwasserflüssigkeit 90 gemischt ist und mit einer Minus (-)-Polarisierung polarisiert ist, durch die mit einer Minus (-)-Polarisierung polarisierten Kathodenplatten 30 abgestoßen und wird hauptsächlich an beiden Seiten der Adhäsionsplatten 31, die in einer Plus (+)-Polarisierung polarisiert sind, adsorbiert.
Das Reinwasser 92, aus dem der Abrieb 809 aufgrund der Adsorption des Abriebs 809 an den Adhäsionsplatten 31 grob entfernt ist, wird durch den Abgabeabschnitt 331 aufgenommen und wird zum (nicht dargestellten) Reinwasservorhaltetank geschickt.
Nachdem eine vorgegebene Menge des Abriebs 809 an den Adhäsionsplatten 31 adsorbiert ist, positioniert der in 1 dargestellte Y-Achsen-Bewegungsmechanismus 34 den Vertikalbewegungsmechanismus 32 und den Halteabschnitt 35 an der oberen Seite einer einzelnen Zieladhäsionsplatte 31. Als nächstes wird der Halteabschnitt 35 abgesenkt, um die Adhäsionsplatte 31 zu halten, und die Adhäsionsplatte 31 wird aus der Abwasserflüssigkeit 90 im Wassertank 2 herausgezogen. Dann bewegt der Y-Achsenrichtungs-Bewegungsmechanismus 34 den Halteabschnitt 35, der die Adhäsionsplatte 31 hält, zur oberen Seite der Eingangsöffnung 1622 des Gehäuses 162 des Abziehmechanismus 16.
Als nächstes wird unter der Steuerung des Vertikalbewegungsmechanismus 32 durch die in 3 dargestellte Steuerungseinheit 166 der die Adhäsionsplatte 31 haltende Halteabschnitt 35 durch den Vertikalbewegungsmechanismus 32 abgesenkt, die Adhäsionsplatte 31 tritt durch die Eingangsöffnung 1622 in das Gehäuse 162 ein und beispielsweise die Gesamtheit des Teils der Adhäsionsplatte 31, wo der Abrieb 809 anhaftet, wird so positioniert, dass er sich unter den Ausstoßöffnungen 1600 der zwei Luftdüsen 160 im Gehäuse 162 befindet, wonach das Absenken der Adhäsionsplatte 31 gestoppt wird. Mit anderen Worten wird die Adhäsionsplatte 31 in der Beabstandung zwischen den zwei parallelen Luftdüsen 160 positioniert.
Danach wird unter der Steuerung das Vertikalbewegungsmechanismus 32 durch die Steuerungseinheit 166 der die Adhäsionsplatte 31 haltende Halteabschnitt 35 durch den Vertikalbewegungsmechanismus 32 mit einer vorgegebenen Geschwindigkeit angehoben und ein Strom wird von der Steuerungseinheit 166 zum Ventil 168 geleitet, wodurch das Ventil 168 in einen offenen Zustand versetzt wird. Dann wird aus der Luftquelle 169 herausgeführte komprimierte Luft durch die Rohrleitung 167 geleitet, wird von den Ausstoßöffnungen 1600 der zwei Luftdüsen 160 zu einer schrägen unteren inneren Seite ausgestoßen, um einen Luftvorhang auszubilden, und wird zu einer Seitenoberfläche an einer Seite an der -Y-Richtungsseite der Adhäsionsplatte 31 und an einer Seitenoberfläche an der anderen Seite in der +Y-Richtungsseite geblasen. Dann wird durch den Luftdruck der Luft der an beiden Seitenoberflächen der Adhäsionsplatte 31, die angehoben ist, anhaftende Abrieb 809 auf einer kontaktlosen Basis nach unten gespült und wird von der Adhäsionsplatte 31 abgezogen und zusammen mit der Luft durch die Ladeöffnung 650 in die Trockenkammer 65 geladen.
Wenn die Adhäsionsplatte 31, die angehoben wird, komplett durch den durch die zwei Luftdüsen 116 ausgebildeten Luftvorhang durchdritt, wird ein Zustand erhalten, in welchem der Abrieb 809 von dem gesamten Bereich beider Seitenoberflächen der Adhäsionsplatte 31 abgezogen wird. Auf diese Weise kann in der Abwasserflüssigkeitsbehandlungsvorrichtung 1 gemäß der vorliegenden Ausführungsform der Abrieb 809 von der Adhäsionsplatte 31 auf einer kontaktlosen Basis durch den Luftdruck von Luft abgezogen werden und deswegen würde die Adhäsionsplatte 31 nicht beschädigt werden.
Beachte, dass das Abziehen des an einer einzelnen Adhäsionsplatte 31 anhafteneden Abriebs 809 durch den Luftdruck von Luft wiederholt durchgeführt werden könnte, unter Steuerung des Vertikalbewegungsmechanismus 32 und des Ventils 168 durch die Steuerungseinheit 166.
Die Adhäsionsplatte 31, von welcher der Abrieb 809 abgezogen wurde, wird durch den Vertikalbewegungsmechanismus 32 aus dem Gehäuse 162 herausbefördert und wird beispielsweise durch den Y-Achsenrichtungs-Bewegungsmechanismus 34 wieder zum Wassertank 2 befördert, um so an einen ursprünglichen Ort im Wassertank 2 zurückgebracht zu werden.
Der Abrieb 809 wird beispielsweise zu einem Klumpen, der durch die Ladeöffnung 650 auf die Führungsplatte 6505 in dem Kasten zusammen mit der Luft herunterfällt, und wird weiter auf das Beförderungsband 61 bewegt.
Dann wird das Beförderungsband 61 durch den Bandmotor 612, die Hauptantriebswalze 613 und die Abtriebswalze 614 gedreht, um den Wasser enthaltenden Abrieb 809 von der -Y-Richtungsseite zur +Y-Richtungsseite zu befördern. Wie in 3 dargestellt ist, ist der Dickeneinstellmechanismus 66 für das Beförderungsband 61 angeordnet und durch ein Durchtreten durch den Dickeneinstellmechanismus 66 wird der Wasser enthaltende Abrieb 809 am Beförderungsband 61 auf dem Beförderungsband 61 auf eine vorgegebene Dicke (beispielsweise 1 bis 2 mm) erstreckt.
Ein Befördern des Abriebs 809 mit einem hohen Wassergehalt durch das Beförderungsband 61 wird ausgeführt, von den zwei Luftdüsen 160 ausgestoßene Luft, die durch das Gehäuse 162 durchgetreten ist und durch die Ladeöffnung 650 in die Trockenkammer 65 gelangt, strömt weiter durch die Luftleitung 659 in der Beförderungsrichtung (von der -Y-Richtung zur +Y-Richtung hin) des Abriebs 809. Folglich wird im Abrieb 809 am Beförderungsband 61 enthaltenes Wasser verdunstet und der Abrieb 809 wird getrocknet. Zusätzlich wird der im Äußeren der Trockenkammer 65 angeordnete Gebläseventilator 672 angetrieben, wodurch in der Luftleitung 659 in der Trockenkammer 65 von der -Y-Richtung zur +Y-Richtung strömende Luft durch die Abgabeöffnung 651 eingesaugt wird.
Die Luftkapazität des Gebläseventilators 672 ist beispielsweise auf 10 m³/min festgelegt. Dann wird die von innerhalb der Trockenkammer 65 eingesaugte und von der Abgabeöffnung des Gebläseventilators 672 in die Rohrleitung 673 abgegebene Abgabeluft am Teilungsabschnitt 674 in zwei Teile geteilt, das heißt, Abgabeluft mit der anderen der Strömungsraten (beispielsweise eine Luftkapazität von 5 m³/min), die zur Seite der Abgabevorrichtung 69 der Anlagenausstattung strömt, und Abgabeluft 1608 mit der einen der Strömungsraten (beispielsweise eine Luftkapazität von 5 m³/min), die in die Trockenkammer 65 zurückkehrt. Beachte, dass die Abgabeluft von einem (nicht dargestellten) Motor des Gebläseventilators 672 erzeugte Wärme absorbiert und deswegen die Temperatur der Abgasluft im Gebläseventilator 672 um 5 bis 6 Grad erhöht wird. Dann wird die Abgasluft 1608 an einer Seite, deren Temperatur erhöht ist, durch die Einbringrohrleitung 676 und den Rückführeinlass 6548 in die Trockenkammer 65 zurückgeführt und strömt zur +Y-Richtung hin, um dadurch das im Abrieb 809 enthaltende Wasser effizient zu verdunsten. Beachte, dass das Verhältnis zwischen der einen der Strömungsraten der Abgabeluft 1608 und der Strömungsrate der zur Seite der Abgabevorrichtung 69 der Anlagenausstattung hin strömenden Abgabeluft nicht auf den oben erwähnten Wert von 1:1 beschränkt ist.
Wenn das Wasser wie oben aus dem Wasser enthaltenden Abrieb 809 entfernt wird, verbleibt nur der getrocknete Abriebstaub 8091 am Beförderungsband 61. Wenn der getrocknete Abriebstaub 8091 am Beförderungsband 61 nach jenseits der Abtriebswalze 614 befördert wird, fällt der getrocknete Abriebstaub 8091 zum Wiedergewinnungskasten 63 hin herunter. Durch das Gewicht des getrockneten Abriebstaubs 8091 wird die Öffnungs-Schließ-Tür 6581 geöffnet und der Abriebstaub 8091, dem das Wasser entzogen wurde, wird im Wiedergewinnungskasten 63 wiedergewonnen.
Wie oben beschrieben, weist die Abriebstaub-Wiedergewinnungsvorrichtung 6 zum Wiedergewinnen des Abriebstaubs 8091 (in der ersten Ausführungsform Siliziumstaub), der durch ein Trocknen des von den Adhäsionsplatten 31 durch den Abziehmechanismus 16 der Abwasserflüssigkeitsbehandlungsvorrichtung 1 abgezogenen Wasser enthaltenden Abriebs 809 erhalten wird, den Trockenmechanismus 60 auf, der den von den Adhäsionsplatten 31 durch den Abziehmechanismus 16 abgezogenen Abrieb 809 trocknet. Der Trockenmechanismus 60 weist das Beförderungsband 61, an welchem der vom Abziehmechanismus 16 abgezogene Abrieb 809 anzubringen ist und der den Abrieb 809 in einer horizontalen Richtung (Y-Achsenrichtung) bewegt, den Wiedergewinnungskasten 63, der den vom Beförderungsband 61 beförderten Abriebstaub 8091 wiedergewinnt, und die Trockenkammer 65 auf, die einen oberen Abschnitt des Beförderungsbands 61 abdeckt und sich in der Erstreckungsrichtung des Beförderungsbands 61 erstreckt. Die Trockenkammer 65 weist die an einer Endseite des Beförderungsbands 61 angeordnete Ladeöffnung 650 zum Laden des Abriebs 809 und die an der anderen Endseite des Beförderungsbands 61 angeordnete Abgabeöffnung 651 zum Abgeben der Luft, die von den Luftdüsen 160 des Abziehmechanismus 16 ausgestoßen wird und durch die Ladeöffnung 650 gemeinsam mit dem Abrieb 809 in die Trockenkammer 65 geladen wird, auf. Deswegen ist es möglich, durch ein Strömen von Luft, die durch die Luftdüsen 160 ausgestoßen wird, in der Trockenkammer 65 in der Richtung von der Ladeöffnung 650 zur Abgabeöffnung 651, den am Beförderungsband 61 angebrachten Wasser enthaltenden Abrieb 809 zu trocknen und den getrockneten Abriebstaub 8091 wieder zu gewinnen. Zusätzlich ist es, wenn die Luft, die beim Abziehen des Abriebs 809 von den Adhäsionsplatten 31 verwendete Luft so, wie sie ist, in die Trockenkammer 65 geladen wird, um als Luft zum Trocknen des Abriebs verwendet zu werden, dadurch möglich, das Trocknen des Abriebs 809 zu beschleunigen und den Bedarf, getrennte Luft zum Trocknen in die Trockenkammer 65 zu laden, zu eliminieren. Deswegen ist es möglich, eine Luftverbrauchsmenge zu reduzieren und einen Leistungsverbrauch der Abriebstaub-Wiedergewinnungsvorrichtung 6 im Vergleich zum Fall eines Trocknens mit einer Heizeinrichtung zu verringern.
Es ist natürlich, dass die Abwasserflüssigkeitsbehandlungsvorrichtung und die Abriebstaub-Wiedergewinnungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Ausführungsform nicht auf diejenigen in der oben erwähnten Ausführungsform beschränkt sind und auf verschiedene unterschiedliche Arten innerhalb des Umfangs des technischen Gedankens der Erfindung ausgeführt werden können. Zusätzlich sind die Formen und dergleichen der Komponenten der Abwasserflüssigkeitsbehandlungsvorrichtung 1 und der in den beiliegenden Zeichnungen dargestellten Abriebstaub-Wiedergewinnungsvorrichtung 6 nicht auf diejenigen beschränkt, die dargestellt sind, und können wie erforderlich innerhalb eines solchen Umfangs modifiziert werden, dass der Effekt der vorliegenden Erfindung hervorgerufen werden kann.
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Details der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsform beschränkt. Der Schutzbereich der Erfindung wird durch die beigefügten Ansprüche definiert und sämtliche Änderungen und Abwandlungen, die in den äquivalenten Schutzbereich der Ansprüche fallen, sind folglich durch die Erfindung einbezogen.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

JP 2014124576 [0002, 0003]
JP 2012218134 [0002]
JP 2016049506 [0003]

Claims

Abwasserflüssigkeitsbehandlungsvorrichtung, in der eine Abwasserflüssigkeit, die Abrieb enthält, wobei die Abwasserflüssigkeit abgegeben wird, wenn ein Werkstück unter Verwendung einer Bearbeitungsflüssigkeit und von abrasiven Körnern geschliffen wird, in einem Wassertank gespeichert wird, in der eine Adhäsionsplatte in die im Wassertank gespeicherten Abwasserflüssigkeit eingetaucht wird, und in der die Adhäsionsplatte mit dem daran angehafteten Abrieb aus dem Wassertank herausgenommen wird, um dadurch den Abrieb aus der Abwasserflüssigkeit zu entfernen, wobei die Abwasserflüssigkeitsbehandlungsvorrichtung aufweist: einen Halteabschnitt, der die Adhäsionsplatte hält; einen Vertikalbewegungsmechanismus, der den Halteabschnitt vertikal bewegt; und einen Abziehmechanismus, der den Wasser enthaltenden Abrieb von der vom Halteabschnitt gehaltenen Adhäsionsplatte abzieht, wobei der Abziehmechanismus aufweist: zwei sich in einer horizontalen Richtung parallel zueinander mit einer Beabstandung dazwischen erstreckende Luftdüsen, die Ausstoßöffnungen aufweisen, die ausgebildet sind, um einander zugewandt zu sein, ein Ventil, das in einer Rohrleitung angeordnet ist, die eine Verbindung zwischen den zwei Luftdüsen und einer Luftquelle bereitstellt, und eine Steuerungseinheit, die eine Steuerung eines Öffnens und eines Schließens des Ventils und eine Steuerung des Vertikalbewegungsmechanismus durchführt, der die Adhäsionsplatte in einer vertikalen Richtung in der Beabstandung zwischen den zwei Luftdüsen bewegt, und wobei das Ventil geöffnet wird, wenn die Adhäsionsplatte angehoben wird, nachdem die vom Halteabschnitt gehaltene Adhäsionsplatte dazu gebracht wird, in die Beabstandung zwischen den parallelen zwei Luftdüsen einzutreten, und wobei der an der Adhäsionsplatte angehaftete Abrieb auf einer kontaktlosen Basis durch einen Luftdruck von von den Ausstoßöffnungen zu einer Oberfläche und einer anderen Oberfläche der Adhäsionsplatte ausgestoßener Luft abgezogen wird.
Abriebstaub-Wiedergewinnungsvorrichtung, die Abriebstaub wiedergewinnt, der durch ein Trocknen des von der Adhäsionsplatte der Abwasserflüssigkeitsbehandlungsvorrichtung, in der eine Abwasserflüssigkeit, die Abrieb enthält, wobei die Abwasserflüssigkeit abgegeben wird, wenn ein Werkstück unter Verwendung einer Bearbeitungsflüssigkeit und von abrasiven Körnern geschliffen wird, in einem Wassertank gespeichert wird, abgezogenen Wasser enthaltenden Abriebs erhalten wird, wobei eine Adhäsionsplatte in die im Wassertank gespeicherte Abwasserflüssigkeit eingetaucht wird und die Adhäsionsplatte mit dem daran angehafteten Abrieb aus dem Wassertank herausgenommen wird, um dadurch den Abrieb aus der Abwasserflüssigkeit zu entfernen, wobei die Abwasserflüssigkeitsbehandlungsvorrichtung aufweist: einen Halteabschnitt, der die Adhäsionsplatte hält, einen Vertikalbewegungsmechanismus, der den Halteabschnitt vertikal bewegt; und einen Abziehmechanismus, der den Wasser enthaltenden Abrieb von der vom Halteabschnitt gehaltenen Adhäsionsplatte abzieht, wobei der Abziehmechanismus aufweist: zwei sich in einer horizontalen Richtung parallel zueinander mit einer Beabstandung dazwischen erstreckende Luftdüsen, die Ausstoßöffnungen aufweisen, die ausgebildet sind, um einander zugewandt zu sein, ein Ventil, das in einer Rohrleitung angeordnet ist, die eine Verbindung zwischen den zwei Luftdüsen und einer Luftquelle bereitstellt, und eine Steuerungseinheit, die eine Steuerung eines Öffnens und eines Schließens des Ventils und eine Steuerung des Vertikalbewegungsmechanismus, der die Adhäsionsplatte in einer vertikalen Richtung in der Beabstandung zwischen den zwei Luftdüsen bewegt, durchführt, und wobei das Ventil geöffnet wird, wenn die Adhäsionsplatte angehoben wird, nachdem die vom Halteabschnitt gehaltene Adhäsionsplatte dazu gebracht wird, in die Beabstandung zwischen den parallelen zwei Luftdüsen einzutreten, und der an der Adhäsionsplatte angehaftete Abrieb auf einer kontaktlosen Basis durch einen Luftdruck von von den Ausstoßöffnungen zu einer Oberfläche und einer anderen Oberfläche der Adhäsionsplatte ausgestoßener Luft abgezogen wird, wobei die Abriebstaub-Wiedergewinnungsvorrichtung aufweist: einen Trockenmechanismus, der den durch den Abziehmechanismus von der Adhäsionsplatte abgezogenen Abrieb trocknet, wobei der Trockenmechanismus aufweist: ein Beförderungsband, an welchem der vom Abziehmechanismus abgezogene Abrieb angebracht wird und welches den Abrieb in einer horizontalen Richtung bewegt, einen Wiedergewinnungskasten, der den durch das Beförderungsband beförderten Abriebstaub wiedergewinnt, und eine Trockenkammer, die einen oberen Abschnitt des Beförderungsbands abdeckt und sich in einer Erstreckungsrichtung des Beförderungsbands erstreckt, wobei die Trockenkammer aufweist: eine Ladeöffnung, die an einer Endseite des Beförderungsbands angeordnet ist und durch welche der Abrieb geladen wird, und eine an einer anderen Endseite des Beförderungsbandes angeordnete Abgabeöffnung zum Abgeben von von den Luftdüsen des Abziehmechanismus ausgestoßener und zusammen mit dem Abrieb durch die Ladeöffnung in die Trockenkammer geladener Luft, und wobei durch die Luftdüsen ausgestoßene Luft in der Trockenkammer in einer Richtung von der Ladeöffnung zur Abgabeöffnung strömt, um dadurch den am Beförderungsband angebrachten Abrieb, der Wasser enthält, zu trocknen, wodurch der Abriebstaub wiedergewonnen wird.