TW202136160A - 廢液處理裝置以及加工粉回收裝置 - Google Patents

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Abstract

[課題]提供一種廢液處理裝置，其在從附著板去除加工屑時，不使附著板破損。[解決手段]一種廢液處理裝置，其將使用加工液與磨粒研削被加工物時所排出之包含加工屑的廢液積存在水槽，且使附著板浸沒於積存在水槽的廢液內，並藉由從水槽取出已附著加工屑的附著板而從廢液去除加工屑，所述廢液處理裝置包含：保持部，其保持附著板；上下移動機構，其使保持部上下移動；以及剝除機構，其從保持於保持部之附著板剝除包含水分的加工屑，並且，剝除機構具備：兩個空氣噴嘴，其等具備以在水平方向平行地隔開間隙而延伸且互相面對之方式所形成的噴射口；閥，其配設於連通兩個空氣噴嘴與空氣源的配管；以及控制單元，其進行閥之開關的控制與上下移動機構的控制，所述上下移動機構用於使附著板在兩個空氣噴嘴之間的間隙中於上下方向移動，並且，使藉由保持部所保持之附著板進入平行的兩個空氣噴嘴之間的間隙後，在使附著板上升時打開閥，而對於附著板之一側的面及另一側的面，藉由從噴射口噴射之空氣的風壓以非接觸的方式將附著於附著板的加工屑剝除。

Description

廢液處理裝置以及加工粉回收裝置
本發明是關於一種從廢液去除加工屑的廢液處理裝置、以及一種回收加工粉的加工粉回收裝置，所述加工粉係使所去除的加工屑進行乾燥而成。
在一邊對加工點等供給研削水一邊以研削磨石研削被加工物的研削加工中，將在研削水中包含因研削而產生之研削屑的研削廢液儲存於如專利文獻1所揭示般之廢液處理裝置的水槽，且在水槽內使研削廢液的研削屑附著於附著板，並將附著板從水槽內的研削廢液取出，藉此從研削廢液去除研削屑。將已去除研削屑之研削廢液例如以如專利文獻2所揭示般之加工液再生裝置進行再生後，在研削裝置中再利用。
如專利文獻1所揭示般之廢液處理裝置是在水槽交互配置陰極板與陽極板，例如，被加工物為矽時，使研削廢液內的矽屑附著於作為附著板的陽極板。將已使矽屑附著之陽極板從水槽中拉起，例如，如專利文獻3所揭示般，在以橡膠刮刀剝除附著於陽極板的矽屑後，再次使陽極板浸沒於水槽。 [習知技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2014-124576號公報 [專利文獻2]日本特開2012-218134號公報 [專利文獻3]日本特開2016-049506號公報
[發明所欲解決的課題] 如上述，在從陽極板剝除矽屑時，矽屑會附著於推抵至陽極板的橡膠刮刀並乾燥。然後，附著於橡膠刮刀的矽屑會乾燥而固化，導致橡膠刮刀的彈力消失而成為硬質板。因此變成以硬質板剝除附著於陽極板的矽屑，而有使陽極板損傷的情形。
並且，從陽極板剝除的矽屑係藉由在乾燥後進行回收，而例如可使用作為負極等的材料。因此，將從陽極板剝除之包含水分的矽屑投入矽回收裝置，並在矽回收裝置的乾燥室內，例如使用加熱器等進行加熱而使其乾燥、或利用已投入乾燥室內的空氣進行乾燥，而成為矽粉。然而，會有矽回收裝置的電力消耗多、空氣消耗量大等的問題。
因此，本發明之目的是提供一種廢液處理裝置，其在從陽極板（附著板）去除矽屑等加工屑時，不使陽極板破損。 並且，提供一種加工粉回收裝置，其將矽屑等加工屑進行回收並使其乾燥而作為加工粉（例如，矽粉），可減少電力消耗、空氣消耗量，並且可有效率地乾燥加工屑。
[解決課題的技術手段] 根據本發明之一態樣，提供一種廢液處理裝置，其將使用加工液與磨粒研削被加工物時所排出之包含加工屑的廢液積存在水槽，且使附著板浸沒於積存在該水槽的該廢液內，並藉由從該水槽取出已附著該加工屑的該附著板而從該廢液中去除該加工屑，所述廢液處理裝置包含：保持部，其保持該附著板；上下移動機構，其使該保持部上下移動；以及剝除機構，其從保持於該保持部之該附著板剝除包含水分的該加工屑，並且，該剝除機構具備：兩個空氣噴嘴，其等具備以在水平方向平行地隔開間隙而延伸且互相面對之方式所形成的噴射口；閥，其配設於連通兩個該空氣噴嘴與空氣源的配管；以及控制單元，其進行該閥之開關的控制與該上下移動機構的控制，該上下移動機構用於使該附著板在兩個該空氣噴嘴之間的該間隙中於上下方向移動，並且，使藉由該保持部所保持之該附著板進入平行的兩個該空氣噴嘴之間的該間隙後，在使該附著板上升時打開該閥，而對於該附著板之一側的面及另一側的面，藉由從該噴射口噴射之空氣的風壓以非接觸的方式將附著於該附著板的該加工屑剝除。
根據本發明之另一態樣，提供一種加工粉回收裝置，其回收加工粉，所述加工粉係藉由使從該廢液處理裝置的該附著板剝除且包含水分的該加工屑進行乾燥而得，所述加工粉回收裝置包含：乾燥機構，其使藉由該剝除機構而從該附著板剝除的該加工屑乾燥，該乾燥機構具備：搬送皮帶，其載置藉由該剝除機構而被剝除的該加工屑，並使該加工屑在水平方向移動；回收箱，其將藉由該搬送皮帶所搬送的該加工粉進行回收；以及乾燥室，其覆蓋該搬送皮帶的上部並在該搬送皮帶的延伸方向延伸，該乾燥室具備：投入口，其配設於該搬送皮帶的一端側，且用於投入該加工屑；以及排氣口，其為了將從該剝除機構的該空氣噴嘴噴射且從該投入口與該加工屑一起投入該乾燥室內的空氣進行排氣，而配設於該搬送皮帶的另一端側，並且，藉由使該空氣噴嘴所噴射的空氣在該乾燥室內從該投入口往朝向該排氣口的方向流動，而使載置於該搬送皮帶且包含水分的該加工屑進行乾燥，並回收該加工粉。
[發明功效] 在本發明之一態樣的廢液處理裝置中，可使藉由保持部所保持之附著板進入平行的兩個空氣噴嘴之間的間隙後，在使附著板上升時打開閥，而對於附著板之一側的面及另一側的面，藉由從噴射口噴射出之空氣的風壓以非接觸的方式將附著於附著板的加工屑剝除。因此，不會使附著板破損。
並且，在本發明之另一態樣的加工粉回收裝置中，能藉由使廢液處理裝置之空氣噴嘴所噴射的空氣在乾燥室內從投入口往朝向排氣口的方向流動，而使載置於搬送皮帶且包含水分的該加工屑進行乾燥，並回收已乾燥的加工粉。並且，藉由將在從附著板剝除加工屑時所使用的空氣直接投入乾燥室內並利用作為加工屑乾燥用的空氣，而可加速加工屑的乾燥，且也不需要為了乾燥而在乾燥室內投入額外的空氣。因此，可抑制空氣的消耗量，或相較於加熱器乾燥而能抑制加工粉回收裝置的電力消耗。
以下，一邊參照隨附圖式，一邊說明本發明的實施方式。圖1所示之廢液處理裝置1係從包含被加工物80的加工屑809之廢液90去除包含大量水分的加工屑809的裝置，所述廢液90係在加工屑生成裝置的一例亦即研削裝置4中一邊供給加工液（例如，純水）一邊以研削磨石4404研削固體的被加工物80所排出。廢液處理裝置1可被併入研削裝置4內，也可與研削裝置4分開。 此外，廢液處理裝置1也可為從下述廢液去除加工屑的裝置：以旋轉的切割刀片切割加工矽晶圓等的切割裝置所產生之包含加工屑的廢液。
圖1所示之研削裝置4至少具備：保持台41，其保持被加工物80；以及研削單元40，其以旋轉的研削磨石4404研削被加工物80。 在本實施方式中，固體的被加工物80為矽晶圓，但也可為圓柱狀的矽晶棒等。
配設在研削基台4的基台49上之保持台41例如具備由多孔構件等所組成且連通未圖示之吸引源的保持面（上表面）。保持台41能以軸方向是Z軸方向的旋轉軸為軸而旋轉，且被工作台支撐台42支撐。配設在形成於基台49的上表面的開口490內之工作台支撐台42係藉由電動制動器等未圖示的X軸移動機構而能在X軸方向（進出紙面方向）往返移動。
在保持台41之移動路徑的兩側配設有箱狀的水箱48。水箱48雖以在工作台支撐台42的左右兩處之位置分離的狀態表示，但也可在圖1中進出紙面方向同樣地形成。水箱48被形成為在俯視下呈矩形的箱狀，且具有一體的桶部484。亦即，為了使保持台41在X軸方向往返移動，水箱48在箱狀構件的底板480的中央部設置有矩形狀的開口部481。水箱48係藉由桶部484、與貫通底板480而形成的排液口485所構成，所述桶部484係藉由底板480、內側壁482及外側壁483所構成且盛接加工液。於排液口485連接延伸至水箱48外部的給液管4855之一端。水箱48盛接包含研削被加工物80所排出的加工屑809且從保持台41流下之廢液90，並送往槽12。
研削單元40以馬達402旋轉驅動旋轉軸400，且以研削輪404研削被加工物80，所述旋轉軸400的軸方向為與保持台41的保持面正交之Z軸方向（垂直方向），所述研削輪404透過安裝件403而可裝卸地連接於旋轉軸400的下端。研削輪404具備圓環狀的輪基台與多個研削磨石4044，所述多個研削磨石4044具備大致長方體形狀的外型且環狀地配設在輪基台的下表面。 然後，研削單元40變得能在Z軸方向上下移動。
例如，與加工液供給源連通且成為加工液的通道之未圖示的流路係貫通旋轉軸400的軸方向（Z軸方向）而設置在旋轉軸400的內部，該流路在輪基台的底面中以能朝向研削磨石4404噴出加工液的方式開口。此外，可將加工液噴嘴配置在鄰接已下降至研削被加工物80之位置的狀態之研削單元40的研削輪404的位置，並從加工液噴嘴將加工液噴射並直接供給至研削磨石4404與被加工物80的接觸部位。
圖1所示之廢液處理裝置1至少具備：水槽2，其儲存廢液90；取出單元3，其從水槽2取出包含大量水分的加工屑809；以及剝除機構16，其從保持於取出單元3的保持部5之附著板31（陽極板31）剝除包含水分的加工屑809。
在比水箱48的排液口485更低的位置，例如配設有容納廢液90的槽12，槽12具備連接給液管4855之另一端的供給口120。槽12具備輸送泵121，輸送泵121從槽12內汲取包含被加工物80的加工屑809之廢液90並送往水槽2，輸送泵121透過輸送管1211而將廢液90朝向水槽2的流入口20輸送。
大致長方體之箱狀的水槽2例如可藉由合成樹脂等絕緣構件所形成，且由俯視呈矩形的底板21、從底板21的外周一體地往＋Z方向立起的四個側壁所組成，並可在由底板21與各側壁所包圍之空間中積存包含被加工物80的加工屑809之廢液90。在圖1、2中，將在X軸方向對向的兩個側壁作為側壁220，並將在Y軸方向對向的兩個側壁作為側壁221。 並且，在水槽2的上部設置有防止廢液90溢出之未圖示的溢流管。溢流管係與槽12連通，將要從水槽2溢出的廢液90再度引導至槽12。
從水槽2內的廢液取出包含水分的加工屑809之圖1、2所示的取出單元3，例如具備：陰極板30（圖2中未圖示），其配設於水槽2且使其帶負電；附著板31，其為陽極板，並與陰極板30面對，能從水槽2抽出，且使其帶正電而吸附包含水分的加工屑809；保持部35，其保持附著板31；以及上下移動機構32，其使保持部35上下移動。
附著板31是由電化學上成為高電位的材料所構成，且平面形狀被形成為矩形。例如，附著板31可由銅、銀、鉑或金等材料所構成，在本實施方式中係使用SUS。加工屑809主要附著在附著板31之Y軸方向的面亦即一側的面、及與一側的面相反的面亦即另一側的面。
例如，在圖1、2所示之水槽2的X軸方向對向之兩個側壁220的內側面，形成有未圖示之多個支撐槽，附著板31於在Ｙ軸方向隔開預定間隔且插入該支撐槽的狀態下，配設於水槽2內。亦即，多個附著板31在其兩側面與水槽2之長邊方向（Y軸方向）正交且與水槽2的寬度方向（X軸方向）平行的狀態下，互相隔開間隔而配置。在附著板31的上端面，例如從寬度方向（X軸方向）的中央部互相隔開間隔而設置突出至上方的兩個被卡合部310。被卡合部310被形成為矩形板狀，且中央設置有貫通X軸方向的被卡合孔3102。圖1、2所示之保持部35的卡合銷3523進入並卡合於被卡合孔3102。
圖1所示之陰極板30設置於彼此相鄰的附著板31之間。亦即，陰極板30在Y軸方向與附著板31對向，且與附著板31分開並交互地配設多個，並成為與附著板31平行的狀態。
陰極板30例如如圖1所示，被側視呈矩形環狀的殼體330支撐，並於殼體330形成有排出部331。排出部331例如是將已去除加工屑809且流入殼體330內的潔淨水92配送往未圖示的潔淨水儲水槽之配管。然後，陰極板30被配設成以塞住殼體330兩側之開口面的方式互相隔開間隔且成為平行。
與附著板31同樣地，陰極板30是由電化學上成為高電位的材料所構成，且平面形狀被形成為矩形的平板狀。例如，陰極板30可由銅、銀、鉑或金等材料所構成。在本實施方式中係使用SUS。陰極板30例如被形成為具備網眼的板狀，以網眼不會卡住加工屑809的方式使其帶負電，藉此使其對於加工屑809產生斥力。亦即，藉由使陰極板30帶負電，而僅容許廢液90中的液體亦即潔淨水92通過，且在與帶負電的加工屑809之間產生斥力，而限制加工屑809的通過。藉此，殼體330與陰極板30藉由在內側形成存在已通過陰極板30的潔淨水92之區域，且陰極板30與加工屑809之間產生斥力，而從水槽2內的廢液90劃分出存在潔淨水92的區域。 此外，陰極板30的形狀等不限定於本實施方式。
在各陰極板30及各附著板31的下端與水槽2的底板21之間設置有預定寬度的間隙，已流入水槽2的廢液90會通過該間隙而在陰極板30與附著板31之間逐漸上升。
在本實施方式中，在附著板31與陰極板31之間施加直流電。亦即，在附著板31連接未圖示之直流電源的正極（＋）側，使附著板31在廢液90中帶正電，而吸附在廢液90中帶負電的矽屑亦即加工屑809。另一方面，在陰極板30連接未圖示之直流電源的負極（－）側，使陰極板30在廢液90中帶負電。其結果，在附著板31與陰極板30之間形成電場。然後，藉由電泳，混入廢液90且帶負電（－）的加工屑809會與帶負電（－）的陰極板30互相排斥而彈開，並吸附在帶正電（＋）的附著板31。
圖1、2所示之使已保持附著板31的上部之保持部35上下移動而從水槽2抽出附著板31或將附著板31插入水槽2之上下移動機構32，能藉由Y軸移動機構34而在水槽2的上方於Y軸方向水平地往返移動。圖2詳細表示之Y軸方向移動機構34具備：水平滾珠螺桿340，其與水槽2的長邊方向（Y軸方向）平行地設置；馬達343，其旋轉驅動水平滾珠螺桿340；一對水平移動用的導軌341，其在Y軸方向延伸；以及可動構件342，其內部的螺帽螺合於水平滾珠螺桿340且兩端的下表面滑動接觸於導軌341。然後，水平滾珠螺桿340藉由馬達343的驅動而轉動，藉此，固定於可動構件342之上下移動機構32被導軌341引導而在Y軸方向移動。水平滾珠螺桿340及導軌341具有從水槽2之上方橫跨至加工粉回收裝置6之上方的長度，且藉由使上下移動機構32及保持部35在Y軸方向移動，而可使保持部35保持之附著板31從水槽2移動至加工粉回收裝置6的上方。 此外，在圖2中簡化地表示加工粉回收裝置6。
圖2詳細表示之上下移動機構32具備：垂直板329，其上端被固定在可動構件342；垂直滾珠螺桿321，其與水槽2之深度方向（Z軸方向）平行地設置在垂直板329的側面；馬達323，其旋轉驅動垂直滾珠螺桿321；以及一對導軌322，其在Z軸方向延伸。然後，保持部35其內部的螺帽螺合於垂直滾珠螺桿321且側面滑動接觸於導軌322。垂直滾珠螺桿321藉由馬達323的驅動而轉動，藉此保持部35被導軌322引導而在Z軸方向移動。
保持附著板31的保持部35例如具備：板狀構件350，其內部的螺帽螺合於垂直滾珠螺桿321且在附著板31的寬度方向延伸；以及一對卡盤汽缸352，其配設在板狀構件350的下表面。一對卡盤汽缸352在水槽2的寬度方向（X軸方向）互相隔開間隔而配置。一對卡盤汽缸352具備：汽缸本體3522，其安裝於板狀構件350；以及卡合銷3523，其被設置成從汽缸本體3522在水槽2的寬度方向伸縮自如。例如，一對卡盤汽缸352之卡合銷3523以在X軸方向互相接近的方式從汽缸本體3522突出。各卡合銷3523若在保持部35下降且被定位在附著板31之上方的狀態下以互相接近的方式從汽缸本體3522突出，則會分別插入附著板31之各被卡合部310的被卡合孔3102。藉此，保持部35成為已保持附著板31的狀態。
從保持於保持部35之附著板31剝除包含水分的加工屑809之圖3詳細表示之剝除機構16具備：兩個空氣噴嘴160，其等具備以在水平方向（X軸方向）平行地隔開間隙而延伸且互相面對之方式所形成的噴射口1600；閥168，其配設於連通兩個空氣噴嘴160與空氣源169的配管167；以及控制單元166，其至少進行閥168之開關的控制與上下移動機構32的控制，所述上下移動機構32用於使保持於保持部35之附著板31在兩個空氣噴嘴160之間的間隙中於上下方向移動。
圖3所示之空氣噴嘴160例如被固定在有頂部之箱狀的外殼162的內側面，所述外殼162與後述之加工粉回收裝置6的乾燥室65的投入口650一體地連接。在外殼162的頂部貫通形成有用於使附著板31進入外殼162內的進入口1622。外殼162的內部空間與乾燥室65的投入口650連通。
例如，被固定於外殼162的內側面的上側區域之兩個空氣噴嘴160，例如具備：多個噴射口1600，其等能朝向斜下方內側噴射空氣1609且排列於長邊方向（X軸方向）。此外，噴射口1600係以可最佳地利用所噴射的空氣1609從附著板31剝除加工屑809之方式，設定形狀、尺寸及噴射角度等。例如，可在空氣噴嘴160的側面形成連續地延伸之細窄的一條縫隙狀的噴射口1600。亦即，從發揮作為氣刀功能之空氣噴嘴160的噴射口1600朝向斜下方內側噴射的空氣會形成在X軸方向延伸的空氣幕。 在Y軸方向對向之兩個空氣噴嘴160的間隙成為附著板31不會接觸空氣噴嘴160且可上下移動的大小。
一端側透過接頭等連通於兩個空氣噴嘴160之配管167，其另一端側連接於由壓縮機等所組成的空氣源169。於配管167內，例如配設有電磁閥等閥168，所述電磁閥藉由電流流動而控制配管167與空氣源169的連通狀態。
控制單元166例如係由遵循控制程式而進行運算處理的CPU及記憶體等記憶元件等所構成，且至少電氣連接於上下移動機構32及閥168。例如，控制單元166藉由控制對於閥168的通電，而控制閥168的開關。控制單元166例如發揮作為伺服放大器的功能，且對於圖2所示之上下移動機構32的馬達323供給動作訊號，而控制由上下移動機構32所導致之保持部35的上下移動動作及定位至預定高度的動作。
例如，如圖1、2所示，在Y軸方向中與水槽2相鄰的位置配設有加工粉回收裝置6，所述加工粉回收裝置6回收加工粉8091（參照圖3），所述加工粉8091係使藉由廢液處理裝置1的剝除機構16而從附著板31剝除之包含水分的加工屑809進行乾燥而得。
加工粉回收裝置6例如具備：乾燥機構60，其使藉由剝除機構16而從附著板31剝除之加工屑809進行乾燥。而且，乾燥機構60具備：搬送皮帶61，其載置藉由剝除機構16而被剝除的加工屑809，並使加工屑809在水平方向（Y軸方向）移動；回收箱63，其將藉由搬送皮帶61所搬送的加工粉8091回收；以及乾燥室65，其覆蓋搬送皮帶61的上部並在搬送皮帶61的延伸方向（Y軸方向）延伸。
乾燥室65具備：投入口650，其配設於搬送皮帶61的一端側（－Y方向側），且用於投入加工屑809；以及排氣口651，其為了將從剝除機構16的兩個空氣噴嘴160噴射且從投入口650與加工屑809一起投入乾燥室65內的空氣進行排氣，而配設於搬送皮帶61的另一端側（＋Y方向側）。
乾燥室65例如具備俯視呈大致長方體狀的外型，且係由矩形的底板653、從底板653的外周一體地往＋Z方向立起的四個側壁、及連結於側壁的上端且面對搬送皮帶61之上表面的頂板654所構成。圖3中，將在X軸方向對向的兩個側壁（僅表示紙面裡側）作為側壁6551，並將在Y軸方向對向的兩個側壁作為側壁6552、側壁6553。乾燥室65內部的搬送皮帶61上方成為空氣在加工屑809之搬送方向流動的通氣路659。
在頂板654之一端側（－Y方向側），於厚度方向貫通形成有將加工屑809投下至搬送皮帶61的投入口650。並且，安裝有空氣噴嘴160之外殼162係與投入口650一體地連接。 例如，如本實施方式般，可在圖3所示之投入口650的上方配設有能開關投入口650且能在Y軸方向滑動的滑門6503。並且，例如在投入口650的下方配設有引導板6505，所述引導板6505以將被剝除而落下之包含水分的加工屑809引導至搬送皮帶61上之方式相對於搬送皮帶61傾斜。 在本實施方式中，投入口650也可發揮作為在乾燥室65的一端側（－Y方向側）吸引空氣之吸氣口的作用。
例如，在頂板654的下表面也可形成有多個凸部6542。凸部6542如圖3所示般例如具備半球體狀的外型，但並不限定於此，也可具備圓柱狀或角柱狀的外型。例如，雖在頂板654的下表面於X軸方向及Y軸方向隔開預定之等間隔而配設有多個凸部6542，但多個凸部6542也可隨機地配設在頂板654的下表面。並且，在凸部6542具備圓柱狀或角柱狀的外型之情形中，可使凸部6542在X軸方向延伸，且在Y軸方向隔開預定之等間隔而配設多個凸部6542。 於乾燥室65內的通氣路659中在搬送方向流動的空氣，藉由與頂板654之下表面的凸部6542碰撞而成為亂流。亦即，在搬送皮帶61上產生不規則的空氣旋渦，且空氣在搬送方向流動。其結果，亂流噴附在搬送皮帶61上之包含水分的加工屑809，藉此加工屑809的水分變得更容易蒸發。此外，凸部6542也可不形成於頂板654的下表面。
搬送皮帶61例如藉由固定於側壁6551之皮帶馬達612而變得能轉動。在皮帶馬達612的軸安裝有主動滾輪613，在主動滾輪613上捲繞環狀的搬送皮帶61。在側壁6551的內側面中，在從皮帶馬達612往＋Y方向遠離預定距離的位置安裝有從動滾輪614，搬送皮帶61也捲繞在此從動滾輪614。皮帶馬達612旋轉驅動主動滾輪613，藉此搬送皮帶61伴隨著主動滾輪613及從動滾輪614的旋轉而轉動。
在乾燥室65內，例如配設有厚度調整機構66，其將載置於搬送皮帶61上之包含水分的加工屑809在搬送皮帶61上拉伸成預定的厚度。在本實施方式中之厚度調整機構66例如是一對夾入滾輪，所述一對夾入滾輪係在搬送皮帶61之投下加工屑809的位置附近，以從上下方向夾入搬送皮帶61的方式被配設，且藉由接受來自搬送皮帶61的摩擦力而旋轉。該一對夾入滾輪之X軸方向的各兩端例如被固定在於X軸方向對向的各側壁6551。該一對夾入滾輪例如為搬送皮帶61的寬度以上的長度且在X軸方向延伸。此外，厚度調整機構66也可為配設在搬送皮帶61之上方的刮刀（squeegee）等。
在頂板654的另一端側（＋Y方向側）貫通形成有將空氣排氣至乾燥室65外的排氣口651。 鼓風機672的吸入口係透過排氣管671而與排氣口651連通。配管673的一端連接於鼓風機672的吐出口。在本實施方式中，例如，於配管673的另一端連接有將來自鼓風機672的排氣的流量分成兩部分且能調整流量之分割部674。分割部674例如是分流三向調節閥，但也可使用三向管，並且利用工廠設備側配管675與導入管676的配管徑而將排氣分別分割成預定之流量。
於分割部674連接有：工廠設備側配管675，其連通具備吸引單元之工廠設備的排氣裝置69；以及導入管676的一端，其用於使被分割部674分割的其中之一的流量之排氣返回乾燥室65內。例如，在頂板654之投入口650與排氣口651之間的位置形成有返回入口6548，並與導入管676的另一端連接。 此外，加工粉回收裝置6也可成為不使從乾燥室65排氣之空氣返回的構成。
在底板653的另一端側（＋Y方向側）於厚度方向貫通形成有粉排出口658，搬送皮帶61使乾燥後的加工粉8091朝向該粉排出口658落下。在粉排出口658的下方配設有被彈簧絞鏈等支撐且能藉由加工粉8091的重量而開關的開關門6581。
在乾燥室65的另一端側（＋Y方向側）之下方配設有回收箱63。回收箱63在乾燥室65之粉排出口658的正下方開口。在回收箱63的上部側例如配設有未圖示的感測器（例如，穿透型光感測器）。若已乾燥的加工粉8091從粉排出口658落至回收箱63內，且回收箱63內的加工粉8091積存至預定高度，則藉由該感測器發出應交換回收箱63的通知。此外，回收箱63也可具備重量感測器，也可不具備如上述般的感測器。
以下說明在下述情形中的廢液處理裝置1及加工粉回收裝置6的動作：從包含被加工物80的加工屑809之廢液90去除包含水分的加工屑809，並使被去除之加工屑809進行乾燥而成為加工粉8091，其中，廢液90係藉由一邊供給加工液一邊以研削磨石4044研削圖1所示之固體的被加工物80而排出。
首先，在被加工物80被吸引保持在保持台41的保持面後，驅動工作台支撐台42而將保持台41上的被加工物80定位在與研削磨石4044對向的研削位置。然後，研削輪404旋轉且研削單元40下降，藉由旋轉之研削磨石4044抵接於被加工物80的上表面而進行研削。並且，藉由保持台41以預定速度進行旋轉而被加工物80也會旋轉，因此研削磨石4404進行被加工物80的上表面整面的研削加工。在研削中，對研削磨石4404與被加工物80的上表面之接觸部位供給加工液（例如純水），而冷卻、清洗接觸部位。
藉由此研削加工而研削被加工物80，會形成被加工物80之細微的加工屑809，且加工屑809會混入加工液而生成包含加工屑809的廢液90。該廢液90透過開口490流入水箱48後，經由給液管4855、槽12及輸送管1211而流入水槽2並積存。
如此，在廢液90已積存於水槽2的狀態下，使廢液90接觸附著板31及陰極板30，並於附著板31通電未圖示之直流電源的正極（＋），另一方面於陰極板30通電直流電源的負極（－）。其結果，在附著板3與陰極板30之間形成電場。然後，混入廢液90且帶負電（－）的加工屑809係與帶負電（－）的陰極板30互相排斥而彈開，並主要被吸附在帶正電（＋）的附著板31的兩側面。 藉由加工屑809被吸附在附著板31而大致去除加工屑809的潔淨水92係被排出部331取水而被送往潔淨水儲水槽。
在附著板31吸附一定量的加工屑809後，圖1所示之Y軸方向移動機構34將上下移動機構32及保持部35定位在作為目標的一個附著板31的上方。接著，保持部35下降且保持附著板31，並將附著板31從水槽2內的廢液90拉起。然後，Y軸方向移動機構34使已保持附著板31的保持部35移動至剝除機構16的外殼162的進入口1622的上方。
接著，在藉由圖3所示之控制單元166所進行的上下移動機構32的控制下，藉由上下移動機構32而使已保持附著板31的保持部35下降，附著板31從進入口1622進入外殼162內，例如，將附著板31之附著有加工屑809的部分之整體定位在比外殼162內的兩個空氣噴嘴160之噴射口1600更下方的位置，而停止附著板31的下降。亦即，附著板31被定位在平行的兩個空氣噴嘴160之間的間隙。
之後，在藉由控制單元166所進行的上下移動機構32的控制下，藉由上下移動機構32而使已保持附著板31的保持部35以預定的速度上升，且由控制單元166對閥168進行通電，而使閥168成為開啟的狀態。然後，從空氣源169送出的壓縮空氣係通過配管167而從兩個空氣噴嘴160的噴射口1600朝向斜下方內側噴出且形成空氣幕，並被噴附至附著板31的－Y方向側的一側面及＋Y方向側的另一側面。然後，藉由該空氣的風壓，附著於上升的附著板31的兩側面之加工屑809會以朝向下方且非接觸的方式被沖洗，而從附著板31被剝除且與空氣一起從投入口650被投入乾燥室65內。
若上升的附著板31完全通過上述藉由兩個空氣噴嘴160而形成的空氣幕，則成為已從附著板31的兩側面整面剝除加工屑809的狀態。如此，本實施方式的廢液處理裝置1因可藉由空氣的風壓而以非接觸的方式從附著板31剝除加工屑809，故不會使附著板31破損。 此外，藉由空氣的風壓而將附著於一個附著板31的加工屑809剝落之作業也可藉由由上述控制單元166所進行的上下移動機構32及閥168的控制而重複進行。
已剝除加工屑809的附著板31係藉由上下移動機構32而被從外殼162搬出，例如，藉由Y軸移動機構34而再次被運往水槽2，並返回水槽2內原本的地方。
加工屑809例如成為塊狀，與空氣一起從投入口650落下至乾燥室65內部的引導板6505，且進一步往搬送皮帶61上移動。 然後，藉由皮帶馬達612、主動滾輪613及從動滾輪614而使搬送皮帶612轉動，並將包含水分的加工屑809從－Y方向側搬送至＋Y方向側。如圖3所示，搬送皮帶61因配設有厚度調整機構66，故搬送皮帶61上之包含水分的加工屑809會通過厚度調整機構66，藉此在搬送皮帶61上被拉伸成預定的厚度（例如1mm～2mm）。
進行上述由搬送皮帶61所進行之包含大量水分的加工屑809的搬送，並且從兩個空氣噴嘴160噴射且通過外殼162而從投入口650到達乾燥室65內的空氣係進一步於通氣路659中在加工屑809的搬送方向（從－Y方向至＋Y方向）流動。其結果，搬送皮帶61上的加工屑809的水分會蒸發，加工屑809會乾燥。並且，驅動配設在乾燥室65外的鼓風機672，而從排氣口651吸引在乾燥室65內之通氣路659中從－Y方向往＋Y方向流動的空氣。
鼓風機672的風量例如設定為10m3 ／分鐘。然後，從乾燥室65內被吸氣且從鼓風機672的吐出口吐出至配管673的排氣，在分割部674被分割成以下兩者：往工廠設備的排氣裝置69側流動之另一側的流量（例如風量5m3 ／分鐘）之排氣；及返回乾燥室65內之一側的流量（例如風量5m3 ／分鐘）之排氣1608。此外，排氣因會吸收鼓風機672之未圖示的馬達所產生的熱，故其溫度在鼓風機672內會上升5度～6度。然後，溫度已上升之一側的排氣1608會透過導入管676及返回入口6548而返回乾燥室65內且往＋Y方向流動，而使加工屑809所含的水分有效率地蒸發。此外，一側的排氣1608的流量與往工廠設備的排氣裝置69側流動之排氣的流量之比，不限定於如上述般的1：1。
藉由如上述般從包含水分的加工屑809去除水分，而在搬送皮帶61上僅殘存已乾燥的加工粉8091。搬送皮帶61上之已乾燥的加工粉8091若被搬送超過從動滾輪614，則朝向回收箱63落下。藉由已乾燥的加工粉8091之重量而開關門6581開啟，並藉由回收箱63而回收已去除水分之加工粉8091。
如上述，使藉由廢液處理裝置1的剝除機構16而從附著板31剝除之包含水分的加工屑809進行乾燥而得到加工粉8091（在本實施方式中為矽粉），回收所述加工粉8091的加工粉回收裝置6具備：乾燥機構60，其使藉由剝除機構16而從附著板31剝除之加工屑809進行乾燥，乾燥機構60具備：搬送皮帶61，其載置藉由剝除機構16而被剝除的加工屑809，並使加工屑在水平方向（Y軸方向）移動；回收箱63，其將藉由搬送皮帶61所搬送的加工粉8091進行回收；以及乾燥室65，其覆蓋搬送皮帶61的上部並在搬送皮帶61的延伸方向延伸，乾燥室具備：投入口650，其配設於搬送皮帶61的一端側，且用於投入加工屑809；以及排氣口651，其為了將從剝除機構16的空氣噴嘴160噴射且從投入口650與加工屑809一起投入乾燥室65內的空氣進行排氣，而配設於搬送皮帶61的另一端側。因此，藉由使空氣噴嘴160所噴射的空氣在乾燥室65內從投入口650往朝向排氣口651的方向流動，而使載置在搬送皮帶61之包含水分的加工屑809乾燥，並能回收已乾燥的加工粉8091。並且，藉由將在從附著板31剝除加工屑809時所使用的空氣直接投入乾燥室65內並利用作為加工屑乾燥用的空氣，而可加速加工屑809的乾燥，並且不需要為了乾燥而在乾燥室65內投入額外的空氣。因此，可抑制空氣的消耗量，或相較於加熱器乾燥而能抑制加工粉回收裝置6的電力消耗。
本發明的廢液處理裝置及加工粉回收裝置不限定於上述的實施方式，在其技術思想的範圍內可利用各種不同的方式實施，此自不待言。並且，關於在隨附圖式所圖示之廢液處理裝置1及加工粉回收裝置6之各構成要素的形狀等也不限定於此，在可發揮本發明之效果的範圍內能適當變更。
80:被加工物 809:加工屑 8091:加工粉 4:研削裝置 49:基台 40:研削單元 41:保持台 42:工作台支撐台 48:水箱 12:槽 121:輸送泵 1:廢液處理裝置 2:水槽 3:取出單元 30:陰極板 330:殼體 331:排出部 31:附著板（陽極板） 310:被卡合部 3102:被卡合孔 32:上下移動機構 321:垂直滾珠螺桿 323:馬達 34:Y軸方向移動機構 340:水平滾珠螺桿 342:可動構件 35:保持部 352:一對卡盤汽缸 3523:卡合銷 16:剝除機構 160:空氣噴嘴 1600:噴射口 162:外殼 168:閥 166:控制單元 169:空氣源 167:配管 1622:進入口 6:加工粉回收裝置 60:乾燥機構 61:搬送皮帶 612:皮帶馬達 66:厚度調整機構 63:回收箱 65:乾燥室 654:頂板 6542:凸部 6548:返回入口 650:投入口 6503:滑門 651:排氣口 653:底板 658:粉排出口 659:通氣路 672:鼓風機 674:分割部
圖1為表示加工屑生成裝置（研削裝置）、廢液處理裝置及加工粉回收裝置的構造之一例的剖面圖。 圖2為表示容納附著板亦即陽極板及陰極板的水槽、保持附著板的保持部、以及使保持部上下移動的上下移動機構之一例的立體圖。 圖3為說明以下態樣的剖面圖：藉由保持部而從水槽取出附著板，在加工粉回收裝置的乾燥室內，藉由由空氣噴嘴所導致的空氣噴射，從所述附著板剝除包含水分的加工屑，進一步，空氣噴嘴所噴射的空氣在乾燥室內從投入口往朝向排氣口的方向流動，藉此使載置於搬送皮帶且包含水分的該加工屑進行乾燥，並回收加工粉。
6:加工粉回收裝置
16:剝除機構
31:附著板(陽極板)
32:上下移動機構
35:保持部
60:乾燥機構
61:搬送皮帶
63:回收箱
65:乾燥室
66:厚度調整機構
69:工廠設備的排氣裝置
160:空氣噴嘴
162:外殼
166:控制單元
167:配管
168:閥
169:空氣源
352:一對卡盤汽缸
612:皮帶馬達
613:主動滾輪
614:從動滾輪
650:投入口
651:排氣口
653:底板
654:頂板
658:粉排出口
659:通氣路
671:排氣管
672:鼓風機
673:配管
674:分割部
675:工廠設備側配管
676:導入管
809:加工屑
1600:噴射口
1608:排氣
1609:空氣
1622:進入口
6503:滑門
6505:引導板
6542:凸部
6548:導回入口
6551:側壁
6552:側壁
6553:側壁
6581:開關門
8091:加工粉

Claims (2)

  1. 一種廢液處理裝置，其將使用加工液與磨粒研削被加工物時所排出之包含加工屑的廢液積存在水槽，且使附著板浸沒於積存在該水槽的該廢液內，並藉由從該水槽取出已附著該加工屑的該附著板而從該廢液去除該加工屑，該廢液處理裝置包含： 保持部，其保持該附著板； 上下移動機構，其使該保持部上下移動；以及 剝除機構，其從保持於該保持部之該附著板剝除包含水分的該加工屑， 該剝除機構具備： 兩個空氣噴嘴，其等具備以在水平方向平行地隔開間隙而延伸且互相面對之方式所形成的噴射口； 閥，其配設於連通兩個該空氣噴嘴與空氣源的配管；以及 控制單元，其進行該閥之開關的控制與該上下移動機構的控制，該上下移動機構用於使該附著板在兩個該空氣噴嘴之間的該間隙中於上下方向移動， 使藉由該保持部所保持之該附著板進入平行的兩個該空氣噴嘴之間的該間隙後，在使該附著板上升時打開該閥，而對於該附著板之一側的面及另一側的面，藉由從該噴射口噴射之空氣的風壓以非接觸的方式將附著於該附著板的該加工屑剝除。
  2. 一種加工粉回收裝置，其回收加工粉，該加工粉係藉由使從如請求項1之廢液處理裝置的該附著板剝除且包含水分的該加工屑進行乾燥而得， 該加工粉回收裝置包含：乾燥機構，其使藉由該剝除機構而從該附著板剝除的該加工屑進行乾燥， 該乾燥機構具備： 搬送皮帶，其載置藉由該剝除機構而被剝除的該加工屑，並使該加工屑在水平方向移動； 回收箱，其將藉由該搬送皮帶所搬送的該加工粉回收；以及 乾燥室，其覆蓋該搬送皮帶的上部並在該搬送皮帶的延伸方向延伸， 該乾燥室具備： 投入口，其配設於該搬送皮帶的一端側，且用於投入該加工屑；以及 排氣口，其為了將從該剝除機構的該空氣噴嘴噴射且從該投入口與該加工屑一起被投入該乾燥室內的空氣進行排氣，而配設於該搬送皮帶的另一端側， 藉由使該空氣噴嘴所噴射的空氣在該乾燥室內從該投入口往朝向該排氣口的方向流動，而使載置於該搬送皮帶且包含水分的該加工屑進行乾燥，並回收該加工粉。
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