JP2021144166A - 検出装置、露光装置および物品製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
メント検出系70によって検出されうる。制御装置17は、各領域Rについて、光電変換素子50からの出力信号をオリフラ57の直線部分(エッジ)の接線方向に関して積算した信号を信号強度して計算し、該信号強度の極値63を基板3のエッジの位置として計算しうる。
Claims (19)
- 方位基準を含むエッジを有する被検物の前記方位基準を検出する検出装置であって、
前記方位基準が検出されるように前記エッジを検出する第1検出系と、
前記被検物の表面に直交する方向における前記表面の位置を検出する第2検出系と、を備え、
前記第2検出系によって検出された前記表面の位置に基づいて前記第1検出系のフォーカス動作を行った後に、前記第1検出系によって前記方位基準を検出することを特徴とする検出装置。 - 前記第2検出系による前記表面の位置の検出は、前記表面のうち前記エッジから離隔した領域を対象として行われる、
ことを特徴とする請求項1に記載の検出装置。 - 前記第2検出系による前記表面の位置の検出のための動作は、前記表面に直交する前記方向における前記表面と前記第2検出系との相対位置を変更する動作を含む、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の検出装置。 - 前記第2検出系は、パターンを前記表面に投影し、前記表面からの反射光によって形成される像を検出することによって前記表面の位置を検出する、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の検出装置。 - 前記第1検出系は、光電変換素子と、前記被検物を照明する照明光学系と、前記被検物の像を前記光電変換素子の入射面に形成する結像光学系と、を含む、
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の検出装置。 - 前記第1検出系および前記第2検出系は、光学系を共有する、
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の検出装置。 - 前記第1検出系は、光学系を介して前記表面に光を照射し、前記第2検出系は、前記光学系を介して前記表面に光を照射する、
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の検出装置。 - 前記被検物を駆動する駆動機構を更に備え、
前記駆動機構は、前記第2検出系によって前記表面の位置が検出された後に前記第1検出系によって前記方位基準が検出されるように前記被検物を移動させる、
ことを特徴とする請求項6又は7に記載の検出装置。 - 前記方位基準は、直線部分を有するオリエンテーションフラットである、
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の検出装置。 - 前記第1検出系によって検出される前記直線部分の方向に基づいて前記方位基準が示す方位を得るプロセッサを更に備える、
ことを特徴とする請求項9に記載の検出装置。 - 前記第1検出系は、前記エッジの他、前記被検物に設けられたアライメントマークを検出する、
ことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の検出装置。 - 方位基準を含むエッジを有する基板に原版のパターンを投影する投影光学系を有する露光装置であって、
前記基板の前記方位基準を検出する検出装置と、
前記基板を保持する基板ステージを駆動する基板ステージ駆動機構と、を備え、
前記検出装置は、
前記方位基準が検出されるように前記エッジを検出する第1検出系と、
前記基板の表面に直交する方向における前記表面の位置を検出する第2検出系と、を含み、
前記第2検出系によって検出された前記表面の位置に基づいて前記第1検出系のフォーカス動作を行った後に、前記第1検出系によって前記方位基準を検出し、
前記基板ステージは、前記検出装置によって検出された前記方位基準が示す方位が目標方向に一致するように駆動される、
ことを特徴とする露光装置。 - 前記第2検出系による前記表面の位置の検出は、前記表面のうち前記エッジから離隔した領域を対象として行われる、
ことを特徴とする請求項12に記載の露光装置。 - 前記第2検出系による前記表面の位置の検出のための動作は、前記表面に直交する前記方向における前記表面と前記第2検出系との相対位置を変更する動作を含む、
ことを特徴とする請求項12又は13に記載の露光装置。 - 前記第2検出系は、パターンを前記表面に投影し、前記表面からの反射光によって形成される像を検出することによって前記表面の位置を検出する、
ことを特徴とする請求項12乃至14のいずれか1項に記載の露光装置。 - 前記基板ステージは、前記第2検出系によって前記表面の位置が検出された後に前記第1検出系によって前記方位基準が検出されるように駆動される、
ことを特徴とする請求項12乃至15のいずれか1項に記載の露光装置。 - 前記第1検出系は、前記エッジの他、前記基板に設けられたアライメントマークを検出する、
ことを特徴とする請求項12乃至16のいずれか1項に記載の露光装置。 - 前記基板をプリアライメントするプリアライメント装置を更に備え、
前記プリアライメント装置によってプリアライメントされた前記基板が前記基板ステージに搬送される、
ことを特徴とする請求項12乃至17のいずれか1項に記載の露光装置。 - 請求項12乃至18のいずれか1項に記載の露光装置によって基板を露光する露光工程と、
前記露光工程で露光された前記基板を現像する現像工程と、
前記現像工程で現像された前記基板から物品が得られるように前記基板を処理する処理工程と、
を含むことを特徴とする物品製造方法。
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