JP2021125592A5 - ダイシング装置、ブレード高さ補正方法及びワーク加工方法 - Google Patents

Claims (9)

1. ワークをＸＹ平面に平行な保持面に保持するワークテーブルと、
   前記ワークテーブルに保持された前記ワークを切削するためのブレードと、前記ブレードを前記ＸＹ平面に平行な回転軸周りに回転させるスピンドルとを含む切削部と、
   前記切削部と前記ワークテーブルとを前記ＸＹ平面に平行な方向に相対的に移動させるＸＹ方向駆動部と、
   前記切削部を前記ＸＹ平面に垂直なＺ方向に移動させるＺ方向駆動部と、
   前記切削部とともに移動可能に取り付けられ、前記ワークテーブルの前記保持面に保持された前記ワークの表面のＺ方向の位置を測定する第１測定器であって、前記切削部とともに移動可能に取り付けられた第１測定器と、
   前記ワークテーブルの前記保持面のＺ方向の変位を測定する第２測定器と、
   前記第２測定器により予め測定した前記ワークテーブルの前記保持面の位置ごとのＺ方向の変位を示すテーブル変位マップと、前記第１測定器により測定した、前記ワークテーブルの前記保持面に保持された前記ワークの表面のＺ方向の位置に基づいて、前記切削部のＺ方向の位置の補正量を予め算出する補正量算出部と、
   前記ブレードにより前記ワークテーブルの前記保持面に保持された前記ワークを切削するときに、前記補正量算出部により予め算出した前記補正量に基づいて前記Ｚ方向駆動部をリアルタイムに制御する制御部と、
   を備えるダイシング装置。
2. 前記切削部を２つ備え、
   前記第１測定器は、２つの切削部のうちのいずれか一方に取り付けられ、
   前記第２測定器は、前記２つの切削部の前記ブレードの下端と同じＺ方向の位置にそれぞれ配置される、
   請求項１記載のダイシング装置。
3. 前記補正量算出部は、前記第２測定器により予め測定した前記ワークテーブルの前記保持面の位置ごとのＺ方向の変位を示すテーブル変位マップと、前記第１測定器により測定した前記ワークの表面のＺ方向の位置に基づいて、前記ワークの位置ごとの厚みを示すワーク厚みマップを算出し、前記テーブル変位マップ及び前記ワーク厚みマップに基づいて前記切削部のＺ方向の位置の補正量を算出する、
   請求項１又は２記載のダイシング装置。
4. 前記第１測定器は、エアマイクロメータを含む、請求項１から３のいずれか１項記載のダイシング装置。
5. 前記第２測定器は、差動トランスを含む、請求項１から４のいずれか１項記載のダイシング装置。
6. 前記第２測定器は、前記第２測定器の測定子の先端のＸＹ方向位置が前記ブレードの下端のＸＹＺ位置と一致するように、前記切削部から前記ブレードを取り外した後に取り付けられる接触式の変位センサである、請求項１から５のいずれか１項に記載のダイシング装置。
7. ワークをＸＹ平面に平行な保持面に保持するワークテーブルと、前記ワークを切削するためのブレードを含み、前記ＸＹ平面に垂直なＺ方向に移動可能な切削部と、前記切削部とともに移動可能に取り付けられた第１測定器と、第２測定器とを備えるダイシング装置におけるブレード高さ補正方法であって、
   前記第２測定器により測定した前記ワークテーブルの前記保持面の位置ごとのＺ方向の変位を示すテーブル変位マップを取得するステップと、
   前記第１測定器により、前記ワークテーブルの前記保持面に保持された前記ワークの表面のＺ方向の位置を測定するステップと、
   前記テーブル変位マップと、前記第１測定器により測定した、前記ワークテーブルの前記保持面に保持された前記ワークの表面のＺ方向の位置に基づいて、前記切削部のＺ方向の位置の補正量を予め算出する補正量算出ステップと、
   を含むブレード高さ補正方法。
8. 前記補正量算出ステップでは、前記第２測定器により予め測定した前記ワークテーブルの前記保持面の位置ごとのＺ方向の変位を示すテーブル変位マップと、前記第１測定器により測定した前記ワークの表面のＺ方向の位置に基づいて、前記ワークの位置ごとの厚みを示すワーク厚みマップを算出し、前記テーブル変位マップ及び前記ワーク厚みマップに基づいて前記切削部のＺ方向の位置の補正量を算出する、
   請求項７記載のブレード高さ補正方法。
9. 前記ブレードにより前記ワークテーブルの前記保持面に保持された前記ワークを切削するときに、請求項７又は８記載の方法により予め算出した前記補正量に基づいて前記切削部のＺ方向の位置をリアルタイムに制御するステップを含む、ワーク加工方法。