JP2021123796A - 蒸着マスク中間体、蒸着マスク、マスク装置、および、蒸着マスクの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】帯状部11と、帯状部11を囲む枠状部12と、帯状部11と枠状部12との間に位置し、帯状部11を枠状部12に連結する連結部13とを備える。帯状部11は、一対の長辺11e1と一対の短辺11e2とを有した縁11eと、複数のマスク孔11hを有したマスク部11aと、マスク部11aを囲む周辺部11bとを備える。周辺部11bのうちで、帯状部11の長手方向DLにおけるマスク部11aと短辺11e2との間には、一方の長辺11e1から他方の長辺11e1に向けて延びる形状を有した第1脆弱部11cが位置する。
【選択図】図1
Description
図1から図13を参照して、蒸着マスク中間体、蒸着マスク、および、蒸着マスクの製造方法における第1実施形態を説明する。以下では、蒸着マスク中間体の構造、および、マスク装置の構造を順に説明する。
図1から図9を参照して、蒸着マスク中間体の構造を説明する。
図1が示すように、蒸着マスク中間体10は、帯状部11、枠状部12、および、連結部13を備えている。枠状部12は、帯状部11を囲んでいる。連結部13は、帯状部11と枠状部12との間に位置し、帯状部11を枠状部12に連結している。図1では、蒸着マスク中間体10のうちで、連結部13が位置する部分にドットが付されている。帯状部11が延びる方向が、帯状部11の長手方向DLであり、長手方向DLと直交する方向が、帯状部11の幅方向DWである。図1が示す例では、蒸着マスク中間体10において、2つの帯状部11が幅方向DWに沿って並んでいる。なお、蒸着マスク中間体10において、各帯状部11は、幅方向DWにおいて他の帯状部11と並んでいなくてもよい。あるいは、蒸着マスク中間体10において、3つ以上の帯状部11が幅方向DWにおいて並んでいてもよい。
図2が示すように、マスク部11aは、複数のマスク孔11hを有している。各マスク孔11hは、大孔11hLと小孔11hSとを備えている。大孔11hLは、蒸着マスク中間体10の表面10Fに開口し、蒸着マスク中間体10の表面10Fから裏面10Rに向けて先細る形状を有している。小孔11hSは、蒸着マスク中間体10の裏面10Rに開口し、蒸着マスク中間体10の裏面10Rから表面10Fに向けて先細る形状を有している。
第1脆弱部11cは、ハーフエッチング線を有してもよいし、間隔を空けて並ぶ複数のハーフエッチング部を有してもよい。ハーフエッチング線およびハーフエッチング部は、第2板厚を有している。第2板厚は、第1板厚よりも薄い。または、第1脆弱部11cは、間隔を空けて並ぶ複数の貫通孔を有してもよい。第1脆弱部11cが複数のハーフエッチング部を有する場合には、複数のハーフエッチング部は、幅方向DWに沿って直線状に並んでもよいし、幅方向DWに沿って千鳥状に並んでもよい。
図3が示すように、第1脆弱部11cは、帯状部11の幅方向DWに沿って延びるハーフエッチング線11c1を有している。本実施形態において、ハーフエッチング線11c1は、蒸着マスク中間体10の表面10Fに形成された線状を有した窪みである。なお、ハーフエッチング線11c1は、蒸着マスク中間体10の裏面10Rに形成されてもよい。ハーフエッチング線11c1は第2板厚T2を有し、帯状部11が有する周辺部11bのうちでハーフエッチング線11c1以外の部分は、第1板厚T1を有している。
図8が示すように、各第2脆弱部12aの上流端部は、枠状部12を貫通する上流側貫通部12h1に接続されている。2つの上流側貫通部12h1は、幅方向DWにおいて、所定の間隔を開けて並んでいる。帯状部11から蒸着マスクを形成する際には、例えば、枠状部12を切断可能な器具によって、枠状部12のなかで、幅方向DWにおいて2つの上流側貫通部12h1によって挟まれる部分を切断し、これによって、切断片を形成する。次いで、蒸着マスク中間体10が広がる平面とは交差する方向に向けて切断片を引き上げることによって、2つの第2脆弱部12aを切断する力を、2つの第2脆弱部12aに対して同時に作用させることが可能である。
図9が示すように、枠状部12は、2つの第2脆弱部12aの下流端部に連なる被把持片12bと、被把持片12bを囲む下流側貫通部12h2とを備えている。これにより、第2脆弱部12aの下流端部に連なる被把持片12bを器具によって把持したり、人の指によって把持したりすることが可能であるため、第2脆弱部12aを切断する力を第2脆弱部12aに作用させやすい。蒸着マスク中間体10が広がる平面とは交差する方向に向けて被把持片12bを引き上げることによって、2つの第2脆弱部12aを切断する力を、2つの第2脆弱部12aに対して同時に作用させることが可能である。
図10から図13を参照して、蒸着マスクの構造を説明する。
図10が示すように、蒸着マスク11Mは、帯状部11と同様、長手方向DLと幅方向DWとを有している。蒸着マスク11Mの長手方向DLが帯状部11の長手方向DLに対応し、蒸着マスク11Mの幅方向DWが帯状部11の幅方向DWに対応する。蒸着マスク11Mは、長手方向DLに沿って延びる帯状を有している。蒸着マスク中間体10が有する連結部13の切断によって枠状部12から帯状部11が取り外され、これによって、帯状部11から蒸着マスク11Mを形成することが可能である。
第1脆弱部11cの構造が互いに異なる試験例1から試験例4の蒸着マスク11Mを形成した。なお、以下に参照する図14から図17は、蒸着マスク11Mの表面11Fと対向する平面視における第1脆弱部11cの構造を示している。各第1脆弱部11cは、蒸着マスク11Mの表面11Fに位置している。
図14が示すように、試験例1では、幅方向DWに沿って延びるハーフエッチング線11c1によって第1脆弱部11cを形成した。
図15が示すように、試験例2では、試験例1のハーフエッチング線11c1を、幅方向DWおよび長手方向DLの両方において等間隔で分割することにより、第1脆弱部11cを複数のハーフエッチング部11c3によって形成した。この際に、幅方向DWにおいて、間隔GWを空けて複数のハーフエッチング部11c3を並べた。また、長手方向DLにおいて、間隔GLを空けて2つのハーフエッチング部11c3を並べた。なお、各ハーフエッチング部11c3の幅を試験例1の幅Wの1/3の長さに設定し、かつ、間隔GLを幅Wの1/3の長さに設定した。
図16が示すように、試験例3では、幅方向DWに沿って等間隔で並ぶ複数のハーフエッチング部11c3によって第1脆弱部11cを形成した。各ハーフエッチング部11c3の形状を長方形状に設定した。幅方向DWにおいて、ハーフエッチング部11c3間の間隔GWを試験例2の間隔GWよりも小さくした。
図17が示すように、試験例4では、試験例3と同様に、複数のハーフエッチング部11c3によって第1脆弱部11cを形成した。各ハーフエッチング部11c3の形状を試験例3のハーフエッチング部11c3と同一の形状に設定した。一方で、複数のハーフエッチング部11c3を千鳥状に配列した。この際に、幅方向DWにおいて互いに隣り合う2つのハーフエッチング部11c3について、長手方向DLにおいて、一方のハーフエッチング部11c3の位置に対する他方のハーフエッチング部11c3の位置をハーフエッチング部11c3の幅W分だけずらした。また、幅方向DWにおいて互いに隣り合う2つのハーフエッチング部11c3の間の間隔GWを試験例3と同一に設定した。
各試験例の蒸着マスク11Mが有する表面11Fの一部をフレーム21に貼り付けることによって、マスク装置20を形成した。次いで、第1脆弱部11cに沿って各蒸着マスク11Mを切断した。蒸着マスク11Mが第1脆弱部11cに沿って切断されるまでに必要な折り曲げの回数を計数したところ、試験例1,3,4では、蒸着マスク11Mを2回折り曲げることによって、蒸着マスク11Mが第1脆弱部11cに沿って切断されることが認められた。これに対して、試験例2では、蒸着マスク11Mを4回折り曲げることによって、蒸着マスク11Mが第1脆弱部11cに沿って切断されることが認められた。このように、試験例1,3,4の蒸着マスク11Mによれば、試験例2の蒸着マスク11Mに比べて、少ない回数の折り曲げによって蒸着マスク11Mを切断することが可能であることが認められた。
(1‐1)周辺部11bに第1脆弱部11cが位置するため、第1脆弱部11cを切断することによって、帯状部11のうち、切り欠きe21を含む両端部を、帯状部11のうちでマスク部11aを含む部分から切り離すことが可能である。
(1‐4)第2脆弱部12aに沿って枠状部12を切断することができるため、枠状部12から帯状部11を切り離す作業が行いやすくなる。
図18から図21を参照して、蒸着マスク中間体、蒸着マスク、および、蒸着マスクの製造方法における第2実施形態を説明する。第2実施形態では、連結部の構造が第1実施形態における連結部の構造と異なっている。そのため以下では、こうした相違点を詳しく説明する一方で、第2実施形態において第1実施形態と共通する部分には第1実施形態と同一の符号を付すことによって、当該部分の詳しい説明を省略する。以下では、蒸着マスク中間体の構造を説明する。
図18から図21を参照して、蒸着マスク中間体の構造を説明する。
図18が示すように、蒸着マスク中間体30は、第1実施形態の蒸着マスク中間体10と同様、帯状部11および枠状部12を備えている。蒸着マスク中間体30は、複数の連結部33を備えている。帯状部11は、連結部33によって枠状部12に連結されている。
(2‐2)連結部33を切断することによって帯状部11を枠状部12から切り離す際に、連結部33を切断するために連結部33に作用させた力に起因してマスク部11aにしわなどの変形が生じることが抑えられる。
(2‐4)第2脆弱部32aが突出部S12に接続されるため、第2脆弱部32aがスリット30Sのうちで帯状部11に沿う部分に接続される場合に比べて、第2脆弱部32aの端部と帯状部11との間の距離を長くすることが可能である。これにより、第2脆弱部32aを切断するための力に起因して帯状部11にしわなどの変形が生じることが抑えられる。
なお、各実施形態は、以下のように変更して実施することができる。
[スリット]
・突出部10S2,S12は、帯状部11の幅方向DWにおいて第1脆弱部11cと並んでもよいし、帯状部11の幅方向DWにおいて第1脆弱部11cよりもマスク部11a寄りに位置してもよい。上述したように、第2脆弱部12a,32aの切断時に第1脆弱部11cが切断されることを抑える観点では、突出部10S2,S12は、帯状部11の幅方向DWにおいて、第1脆弱部11cとは並ばないことが好ましい。また、第2脆弱部12a,32aとマスク部11aとの間の距離を大きくし、これによって、マスク部11aにおけるしわなどの変形を抑える観点では、突出部10S2,S12は、第1脆弱部11cよりも短辺11e2寄りに位置することが好ましい。
・蒸着マスク中間体10,30が有する被把持片12bおよび下流側貫通部12h2に代えて、上流側貫通部12h1が適用されてもよい。すなわち、下流側に位置する第2脆弱部12a,32aの下流端部には、上流側貫通部12h1と同等の構造を有した貫通部が適用されてもよい。また、蒸着マスク中間体10,30が有する上流側貫通部12h1に代えて、被把持片12bおよび下流側貫通部12h2が適用されてもよい。すなわち、上流側に位置する第2脆弱部12a,32aの上流端部には、被把持片12bと同等の構造を有した被把持片、および、下流側貫通部12h2と同等の構造を有した貫通部が適用されてもよい。いずれの場合であっても、蒸着マスク中間体10,30が第2脆弱部12a,32aを有することによって、上述した(1‐4)、(2‐3)に準じた効果を得ることは可能である。
・連結部13,33は、長辺11e1のうちで、帯状部11の幅方向DWにおいてマスク部11aと隣り合う部分を枠状部12に連結してもよい。この場合であっても、蒸着マスク中間体10,30が第1脆弱部11cを有することによって、上述した(1‐1)に準じた効果を得ることはできる。なお、上述したように、連結部13,33の切断によって帯状部11にしわなどの変形が生じることを抑える観点では、長辺11e1のうちで、幅方向DWにおいてマスク部11aと隣り合う部分は、枠状部12に連結されていないことが好ましい。
・第1脆弱部11cは、一方の長辺11e1から他方の長辺11e1に向けて延びていれば、帯状部11の幅方向DWに交差する方向に沿って延びてもよい。この場合であっても、蒸着マスク中間体10,30が第1脆弱部11cを有するため、上述した(1‐1)に準じた効果を得ることは可能である。
・図21が示すように、マスク孔11hは、蒸着マスク中間体10の表面10Fと直交する断面において、表面10Fから裏面10Rに向けて窪む弧状を有し、かつ、表面10Fに開口する表面開口11hFと、裏面10Rに開口する裏面開口11hRとを有してもよい。
・マスク装置20において、蒸着マスク11Mの裏面11Rが、フレーム21に取り付けられてもよい。この場合であっても、蒸着マスク中間体10,30が第1脆弱部11cを有するため、上述した(1‐1)に準じた効果を得ることはできる。
10S,30S…スリット
10S1,S11…延在部
10S2,S12…突出部
11…帯状部
11a…マスク部
11b…周辺部
11c…第1脆弱部
11e…縁
11e1…長辺
11e2…短辺
11h…マスク孔
11M…蒸着マスク
12…枠状部
12a,32a…第2脆弱部
12e1…内側縁
12e2…外側縁
13,33…連結部
30S1…スリット部
Claims (15)
- 帯状部と、
前記帯状部を囲む枠状部と、
前記帯状部と前記枠状部との間に位置し、前記帯状部を前記枠状部に連結する連結部と、を備え、
前記帯状部は、一対の長辺と一対の短辺とを有した縁と、複数のマスク孔を有したマスク部と、前記マスク部を囲む周辺部とを備え、
前記周辺部のうちで、前記帯状部の長手方向における前記マスク部と前記短辺との間には、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部が位置する
蒸着マスク中間体。 - 前記脆弱部は、複数のハーフエッチング部を含み、
前記複数のハーフエッチング部は、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向かう方向に沿って千鳥状に並んでいる
請求項1に記載の蒸着マスク中間体。 - 前記周辺部および前記枠状部は、第1板厚を有し、
前記連結部は、前記帯状部の前記縁に沿うハーフエッチング線、および、前記帯状部の前記縁に沿って並ぶ複数のハーフエッチング部の少なくとも一方を含み、前記ハーフエッチング線および前記ハーフエッチング部は、前記第1板厚よりも薄い第2板厚を有する
請求項1または2に記載の蒸着マスク中間体。 - 前記長辺は、前記枠状部に連結されない非連結部を含み、前記非連結部は、前記帯状部の幅方向において前記マスク部と隣り合う部分を含み、
前記非連結部と前記枠状部との間には、スリットが位置する
請求項1から3のいずれか一項に記載の蒸着マスク中間体。 - 前記脆弱部は、第1脆弱部であり、
前記枠状部は、前記帯状部を囲む内側縁と、前記枠状部の外形を形成する外側縁とを含み、
前記枠状部において、前記スリットから前記スリットに対して前記帯状部とは反対側に向けて延びる線状を有した第2脆弱部をさらに備える
請求項4に記載の蒸着マスク中間体。 - 前記スリットは、前記帯状部の前記縁に沿って延びる延在部と、前記延在部から前記延在部に対して前記帯状部とは反対側に向けて突出する突出部を含み、
前記第2脆弱部は、前記突出部に接続されている
請求項5に記載の蒸着マスク中間体。 - 前記非連結部は、前記帯状部の前記長手方向において、前記マスク部よりも前記短辺寄りの位置まで延び、
前記連結部は、前記長辺における前記非連結部以外の部分を前記枠状部に連結し、
前記突出部は、前記スリットの端部から前記延在部に対して前記帯状部とは反対側に向けて突出し、
前記第1脆弱部は、前記帯状部の前記長手方向において、前記突出部よりも前記マスク部寄りに位置する
請求項6に記載の蒸着マスク中間体。 - 前記周辺部および前記枠状部は、第1板厚を有し、
前記連結部は、複数の連結部のうちの1つであり、前記複数の連結部は、前記帯状部の前記縁に沿って間隔を空けて位置し、各連結部は前記第1板厚を有し、
前記帯状部の前記縁のうち前記連結部が接続した部分以外の部分に沿って、スリットが位置する
請求項1または2に記載の蒸着マスク中間体。 - 前記長辺は、前記枠状部に連結されない非連結部を含み、前記非連結部は、前記帯状部の幅方向において前記マスク部と隣り合う部分を含む
請求項8に記載の蒸着マスク中間体。 - 前記脆弱部は、第1脆弱部であり、
前記枠状部は、前記帯状部を囲む内側縁と、前記枠状部の外形を形成する外側縁とを含み、
前記スリットのうちで前記長辺に沿う部分がスリット部であり、
前記枠状部において、前記スリット部から前記スリット部に対して前記帯状部とは反対側に向けて延びる線状を有した第2脆弱部をさらに備える
請求項9に記載の蒸着マスク中間体。 - 前記スリット部は、前記帯状部の前記縁に沿って延びる延在部と、前記延在部から前記延在部に対して前記帯状部とは反対側に向けて突出する突出部を含み、
前記第2脆弱部は、前記突出部に接続されている
請求項10に記載の蒸着マスク中間体。 - 前記スリット部は、前記帯状部の前記長手方向において、前記マスク部よりも前記短辺寄りに位置する部分を含み、
前記突出部は、前記帯状部の前記長手方向において、前記マスク部よりも前記短辺寄りに位置し、
前記第1脆弱部は、前記帯状部の前記長手方向において、前記突出部よりも前記マスク部寄りに位置する
請求項11に記載の蒸着マスク中間体。 - 帯状を有した蒸着マスクであって、
一対の長辺と一対の短辺を有した縁と、
複数のマスク孔を有したマスク部と、
前記マスク部を囲む周辺部と、を備え、
前記周辺部のうちで、前記蒸着マスクの長手方向における前記マスク部と前記短辺との間には、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部が位置する
蒸着マスク。 - 請求項13に記載の蒸着マスクと、
前記蒸着マスクを支持するフレームと、を備え、
前記蒸着マスクは、表面と前記表面とは反対側の裏面とを含み、
前記脆弱部は、前記表面に開口するハーフエッチング部を含み、
前記表面の一部が、前記フレームに取り付けられている
マスク装置。 - 帯状部、前記帯状部を囲む枠状部、および、前記帯状部と前記枠状部との間に位置し、前記帯状部を前記枠状部に連結する連結部を形成すること、および、
前記連結部を切断して、前記枠状部から前記帯状部を切り離すことによって蒸着マスクを得ること、を含み、
前記帯状部は、一対の長辺と一対の短辺を有した縁を備え、
前記帯状部は、複数のマスク孔を有したマスク部と、前記マスク部を囲む周辺部とを備え、
前記周辺部のうちで、前記帯状部の長手方向における前記マスク部と前記短辺との間には、一方の前記長辺から他方の前記長辺に向けて延びる形状を有した脆弱部が位置する
蒸着マスクの製造方法。
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