JP2021118356A - 循環式コンベヤ輸送ホイール、基板キャリア、及び方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 循環式コンベヤ輸送ホイール、基板キャリア、及び方法を提供する。【解決手段】 様々な実施形態によれば、循環式コンベヤ輸送ホイール（１００）は、循環式コンベヤ輸送ホイール（１００）を回転可能に取り付けることができるフレームワーク（１０２）と；フレームワーク（１０２）の外周に配置された複数の結合装置（１０４）と；を有することができ、その各結合装置が、基板キャリア（４００）の形態フィット結合のための少なくとも１つの形態フィット輪郭（１０４ｆ）を有しており、複数の結合装置（１０４）は結合装置（１０４）のペア（３０２）を有しており、結合装置（１０４）のペア（３０２）の形態フィット輪郭が、ペア（３０２）のすぐ隣に配置された複数の結合装置（１０４）の形態フィット輪郭よりも、周囲に沿って互いに小さい間隔を有する。【選択図】 図１

Description

様々な例示的な実施形態は、循環式コンベヤ輸送ホイール、基板キャリア、及び方法に関する。

一般に、基板、例えばガラス基板、金属基板及び／又はポリマー基板は、基板の化学的及び／又は物理的特性が変化し得るように、処理（プロセス処理）され、例えばコーティングされ得る。基板をコーティングするために、様々なコーティングプロセスを実行することができる。例えば、真空コーティング設備は、化学的及び／又は物理的蒸着によって、１つ又は複数の基板上に１つ又は複数の層を堆積するために利用され得る。

基板は、基本的に水平又は直立位置で処理することができる。

設備が特に省スペースの形態であることが意図される場合に、いわゆる垂直設置では、従来、例えばいわゆるドラムによって、直立した基板を循環方式で輸送する。ここで、このように輸送される基板は、垂直設置の同じ領域を循環的に通過し、そこで、例えば、コーティングプロセスを実行することができる。このような垂直設置は、輸送部品としてのドラムを非常に狭いスペースに配置することができ、ドラムを取り囲むように処理を行う部品を配置することができるため、特に省スペースである。しかしながら、垂直設置は、時間のかかる方法で基板のグループをドラムにロードする（load：積み込む）こと、及びその基板の処理後に、時間のかかる方法でドラムを再びアンロードする（unload：積み降ろす）ことが必要であり、その結果、操作が中断される。

対照的に、高スループットを達成することが求められる場合に、従来、いわゆるインライン設備が使用され、基板の流れがインライン設備全体を通して連続的に輸送され、それによって、ロード及びアンロードの工程は処理と同時に行われる。例えば、インライン設備による基板の輸送中に、コーティングプロセスは、インライン設備の１つ又は複数の領域で実行される。

様々な実施形態において、例示として、インライン設備の概念、つまり基板の流れの連続的な輸送は、垂直設置の概念、基板のグループの周期的な輸送と組み合わせることができることが認識されている。これにより、基板のスループットが大幅に向上する。

様々な実施形態において、省スペースの方法で高スループットを達成するのを可能にする循環式コンベヤ輸送ホイール、基板キャリア、及び方法が提供される。例示として、非常に狭いスペースでの処理と同時にロード及びアンロードの工程を実行するのを可能にする垂直設置の構成要素及び方法が提供される。

様々な実施形態によれば、循環式コンベヤ輸送ホイールは、循環式コンベヤ輸送ホイールを回転可能に取り付けることができるフレームワークと；フレームワークの外周に配置された複数の結合装置と；を有することができ、その各結合装置が、基板キャリアの形態フィット結合のための２つの形態フィット輪郭（form-fit contour）を有しており、複数の結合装置は、結合装置のペアを有しており、結合装置のペアの形態フィット輪郭は、ペアのすぐ隣に配置された複数の結合装置の形態フィット輪郭よりも、周囲に沿って互いに小さい間隔を有する。

様々な実施形態によれば、基板キャリアは、ヒンジによって（例えば、ペアワイズ（pairwise：対をなす）方式で）互いに接続される複数の部材と；基板キャリアの互いに反対側に配置され、且つ輸送経路に沿って基板キャリアを案内するのに役立つ２つのキャリッジと；を有することができ、２つのキャリッジの少なくとも１つには円筒ピン歯車（lantern-gear：円柱ピンギア）ラックがある。

様々な実施形態によれば、方法は、基板キャリアを、真空中に置かれた循環式コンベヤ輸送ホイール（循環式コンベヤの輸送ホイール）に結合（本明細書では結合（coupling-on）とも呼ばれる）するステップと；真空中に置かれた循環式コンベヤ輸送ホイールから基板キャリアを結合解除（本明細書では非結合（coupling-off）とも呼ばれる）するステップと；を含むことができ、結合するステップ及び結合解除するステップは、基板キャリアの同じ側で始まる。

様々な実施形態による循環式コンベヤ輸送ホイールを示す図である。 様々な実施形態による循環式コンベヤ輸送ホイールを示す図である。 様々な実施形態による循環式コンベヤ輸送ホイールを示す図である。 様々な実施形態による基板キャリアを示す図である。 様々な実施形態による基板キャリアを示す図である。 様々な実施形態による基板キャリアを示す図である。 様々な実施形態による基板キャリアを示す図である。 様々な実施形態による基板キャリアを示す図である。 様々な実施形態による循環式コンベヤ（例えば、循環式コンベヤ）を示す図である。 様々な実施形態による循環式コンベヤ（例えば、循環式コンベヤ）を示す図である。 様々な実施形態による循環式コンベヤ（例えば、循環式コンベヤ）を示す図である。 様々な実施形態による循環式コンベヤ（例えば、循環式コンベヤ）を示す図である。 様々な実施形態による循環式コンベヤ（例えば、循環式コンベヤ）を示す図である。 様々な実施形態による循環式コンベヤ（例えば、循環式コンベヤ）を示す図である。 様々な実施形態による循環式コンベヤ（例えば、循環式コンベヤ）を示す図である。 様々な実施形態による循環式コンベヤ（例えば、循環式コンベヤ）を示す図である。 様々な実施形態による搬送装置を示す概略平面図である。 様々な実施形態による搬送装置を示す概略平面図である。 様々な実施形態による搬送装置を示す概略平面図である。 様々な実施形態による搬送装置を示す概略平面図である。 様々な実施形態による搬送装置を示す概略平面図である。 様々な実施形態による搬送装置を示す概略平面図である。 様々な実施形態による搬送装置を示す概略平面図である。 様々な実施形態による搬送装置を示す概略平面図である。 様々な実施形態による真空装置を示す図である。 様々な実施形態による真空装置を示す図である。 様々な実施形態による真空装置を示す図である。 様々な実施形態による真空装置を示す図である。 様々な実施形態による真空装置を示す図である。 様々な実施形態による真空装置を示す図である。 様々な実施形態による真空装置を示す図である。 様々な実施形態による真空装置を示す図である。 様々な実施形態による基板キャリアを示す概略断面図である。 様々な実施形態による搬送装置を示す概略断面図である。 様々な実施形態による真空装置を示す図である。 様々な実施形態による真空装置を示す図である。 様々な実施形態による方法における循環式コンベヤ（例えば、循環式コンベヤ）を示す概略平面図である。 様々な実施形態による方法における搬送装置を示す概略平面図である。 様々な実施形態による方法を示す概略フロー図である。 様々な実施形態による方法を示す概略フロー図である。

以下の詳細な説明では、この詳細な説明の一部を形成し、例示の目的で、本発明を実施することができる特定の実施形態が示される添付の図面を参照する。この点に関して、「上向き」、「下向き」、「前方」、「後方」、「前」、「後」等の方向を示す用語は、説明する図の向きに関連して使用される。実施形態の構成要素が、いくつかの異なる向きに位置付けされ得るので、方向を示す用語は、例示の目的に役立ち、決して制限的ではない。本発明の保護範囲から逸脱することなく、他の実施形態が利用され得、構造的又は論理的修正がなされ得ることは自明である。本明細書に記載の様々な例示的な実施形態の特徴は、特に明記しない限り、互いに組み合わせることができることは自明である。従って、以下の詳細な説明は、限定的な意味で考慮すべきではなく、本発明の保護範囲は、添付の特許請求の範囲によって規定される。

この説明の文脈において、「接続される」、「取り付けられる」及び「リンクされる」という表現は、直接及び間接接続（例えば、オーム及び／又は導電性）の両方、直接又は間接取付け、及び直接又は間接リンクを説明するために使用される。図において、同一又は類似の要素は、都合のよい場合に、同一の参照符号によって示される。

様々な実施形態によれば、「リンクされる」又は「リンク」という表現は、（例えば、機械的、静水圧的、熱的及び／又は電気的な）例えば、直接又は間接的な接続及び／又は相互作用の意味で理解され得る。複数の要素は、例えば、相互作用（例えば、信号）が送信され得る相互作用チェーンに沿って、互いにリンクされ得る。例えば、一緒にリンクした２つの要素は、互いに相互作用、例えば、機械的、静水圧的、熱的及び／又は電気的相互作用を交換することができる。様々な実施形態によれば、「結合される」は、例えば直接的な物理的接触による、機械的（例えば、物理的）リンクの意味で理解され得る。結合は、機械的相互作用（例えば、力、トルク、振動等）を伝達するように構成され得る。結合は、本明細書では、結合が確立されることを意味すると理解され得る。結合解除は、本明細書では、結合が外されることを意味すると理解され得る。

２つの構成要素を互いに結合することは、例えば、それら構成要素が互いに物理的に接触するようにされる（つまり、互いに物理的に接触する）ことを含み得る。２つの構成要素の結合は、例えば、（例えば１つ又は複数の方向に沿った及び／又はこれとは反対の）ブロック（block：遮断）されている構成要素同士の間の相対的な動き（例えば、並進及び／又は回転）によって、それらの自由度の集合的な合計が減少することをさらに含み得る。相対運動のこのブロック（ブロックされた自由度とも呼ばれる）は、例えば、２つの構成要素が形態フィット（form-fitting）方式で互いに結合されることによって実行され得る。

２つの構成要素を互いに結合解除することは、例えば、それら構成要素が互いに分離及び／又取り外されることを含み得る。２つの構成要素の結合解除は、例えば、（例えば、１つ又は複数の方向に沿って及び／又はこれとは反対の）有効化されている構成要素同士の間の相対的な動き（例えば、並進及び／又は回転）によって、それらの自由度の集合的な合計が増大することをさらに含み得る。

形態フィット結合（形態フィット又は締り嵌めとも呼ばれる）は、２つの構成要素を互いに係合させることによって提供することができる。例えば、形態フィットは、力の伝達がない場合、又は中断した場合でも、２つの構成要素が互いに分離されないように構成され得る。例示として、形態フィットは、一方の構成要素が他方の構成要素の動きを制限し、それによってその相対的な動きがブロックされるという効果を有する。互いに係合できるようにするために、２つの構成要素は、互いに一致し、互いに係合するように構成された形態フィット輪郭（形態フィット輪郭のペアとも呼ばれる）を有する。例えば、形態フィット輪郭は、例えば、輪郭サイズ及び／又は輪郭プロファイルに関して、互いに対応し得る。

形態フィット輪郭のペアが互いに同軸である２つのシリンダ面を有する場合に、形態フィットはシリンダ軸線に垂直な面の全ての方向の相対的な動きをブロックし得る。一例は、孔内に挿入され、再び取り外し可能なピンである。孔が止まり孔である場合に、ピンが抜け落ちないように、軸線方向に一方向（unilateral）形態フィット（一方向形状嵌合いとも呼ばれる）がある。シリンダの外面が軸線方向に沿って（つまり、軸線方向が存在する面に沿って）２つの半体に分割され、半体の一方が取り外された場合に、形態フィットは、分割の表面にある方向（双方向（bilateral）形態フィットとも呼ばれる）軸線方向に沿った両側への相対的な動きをブロックする可能性があり、分割の表面に対して横方向にある方向に沿って一方的にブロックする可能性がある。

ピンのような形態フィット輪郭は、リベット、ボルト及び／又はねじによっても提供され得る。以下では、とりわけ、形態フィット輪郭を提供するボルトについて言及する。この説明は、形態フィット輪郭を提供する他の本体にも同様に適用できる。

様々な実施形態において、形態フィット結合は、少なくとも双方向形態フィット（双方向形状嵌合いとも呼ばれる）を提供し（すなわち、同じ第１の方向に沿った及びその方向とは反対の相対運動をブロックする）、オプションで少なくとも１つの追加の一方向形態フィットを提供する（すなわち、別の第２の方向に沿った相対的な動きをブロックする）ことができる。次に、結合解除によって、相対的な動きが可能になり得る。本明細書で複数の方向のブロック又は有効化に言及する場合に、これらの方向は互いに直交であり得る。

開ループ制御は、システムに意図的に影響を与えることを意味すると理解できる。ここで、システムの現在の状態（実際の状態とも呼ばれる）は、仕様（セットポイント状態とも呼ばれる）に従って変化し得る。閉ループ制御は、摂動に起因するシステムの状態変化の追加の反作用を伴う開ループ制御を意味すると理解され得る。開ループ制御システムは、フィードフォワード制御パスを含み、こうして、入力変数（例えば、仕様）を出力変数に変換する明確なシーケンス制御を実施し得ることが分かるであろう。しかしながら、制御パスは、閉ループ制御が実施されるように、閉制御ループの一部でもあり得る。純粋なフィードフォワード・シーケンス制御とは対照的に、閉ループ制御には、入力変数に対する出力変数の継続的な影響が含まれ、これは、閉制御ループ（フィードバック）によって実行される。換言すれば、閉ループ制御システムは、開ループ制御システムの代わりに又はそれに加えて使用され得るか、又は閉ループ制御は、開ループ制御の代わりに又はそれに加えて実行され得る。システムの状態（動作点とも呼ばれる）は、システムの１つ又は複数の制御変数で表すことができ、その実際の値はシステムの実際の状態を表し、その設定値は（ガイド値とも呼ばれる）は、システムの設定点の状態を表す。閉ループ制御の場合に、システムの実際の状態（例えば、測定に基づいて及び／又はセンサによって確認される）が、システムの設定点の状態と比較され、１つ又は複数の制御変数は、システムの設定点の状態からの実際の状態の偏差が最小になるように、（作動要素を使用する）対応する操作変数によって影響を受ける。

センサは、対応するインフラストラクチャ（例えば、プロセッサ、メモリ媒体、及び／又はバスシステム等を含む）を有する測定チェーン（chain）の一部であり得る。測定チェーンは、対応するセンサをアクティブにし、その検出した測定変数を入力変数として処理し、これに基づいて、入力変数の検出時点での入力変数の実際の状態を表す電気信号を出力変数として提供するように構成することができる。測定チェーンは、例えば、制御装置（例えば、プログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ））によって実施され得る。

「制御装置」という表現は、例えば、メモリ媒体、ファームウェア、又はこれらの組合せに格納されるソフトウェアを実行し、これに基づいてコマンドを出力することができる例えば回路及び／又はプロセッサを有し得る任意のタイプの論理実装型エンティティを意味すると理解され得る。制御装置は、例えば、コードセグメント（例えば、ソフトウェア）によって、例えば機械又は設備の、例えば少なくともその運動学的連鎖のシステムの動作（例えば、その動作点）を制御するように構成され得る。制御装置は、例えば、プログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）を有するか、又はそれから形成され得る。

「プロセッサ」という表現は、データ又は信号の処理を可能にする任意のタイプのエンティティを意味すると理解され得る。データ又は信号は、例えば、プロセッサによって実行される少なくとも１つの（つまり、１つ又は複数の）特定の機能に従って処理され得る。プロセッサは、アナログ回路、デジタル回路、混合信号回路、論理回路、マイクロプロセッサ、中央処理装置（ＣＰＵ）、グラフィックス処理装置（ＧＰＵ）、デジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ）、フィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）、集積回路、又はこれらの任意の組合せを有するか、又はこれらから形成され得る。以下でより詳細に説明するそれぞれの機能の任意の他の実装形態は、プロセッサ又は論理回路、例えば、仮想プロセッサ（又は、仮想マシン）又は複数の分散プロセッサとしても理解され得、これらは、例えば、ネットワークによって互いに接続され、任意の所望の方法で空間的に分散され、及び／又はそれぞれの機能（例えば、プロセス間の処理負荷分散）の任意の所望の割合の実装を実行する。同じことが、それぞれの機能を実現するために他の方法で実施されるロジックにも一般的に当てはまる。本明細書で詳細に説明する方法ステップのうちの１つ又は複数が、プロセッサによって実行される１つ又は複数の特定の機能によって、プロセッサによって実行（例えば、実現）され得ることは自明である。

「作動要素」（アクチュエータとも呼ばれる）という表現は、活性化に応答して機構又はプロセスに影響を与えるように構成される構成要素として理解され得る。アクチュエータは、制御装置によって出力されるコマンド（いわゆる起動）を、機械的な動き又は圧力や温度等の物理的変数の変化に変換することができる。アクチュエータ、例えば電気機械トランスデューサは、例えば、活性化に応答して、電気エネルギーを（例えば、動きによって）機械的エネルギーに変換するように構成され得る。

本明細書に記載の基板キャリアを使用して、１つ又は複数の基板を（例えば、部材毎に）保持及び輸送することが可能である。基板は、約５０ｃｍ（センチメートル）〜約５００ｃｍの範囲の幅、又は約５００ｃｍを超える幅を有し得る。様々な実施形態において、基板は、セラミック、ガラス、半導体（例えば、シリコン等のアモルファス、多結晶又は単結晶半導体）、金属、及び／又はポリマー（例えば、プラスチック）のうちの少なくとも１つを有し、又はそれらから形成され得る。例えば、基板は、プラスチックフィルム、ウェーハ（半導体基板）、金属フィルム、金属シート、又はガラス板であり得、オプションでコーティングされ得る。

様々な実施形態において、基板の処理（プロセス処理とも呼ばれる）は、基板の洗浄、基板のコーティング、基板への照射／ブラスト（例えば、光、ＵＶ光、粒子、電子、イオン等による）、基板の表面の修正、基板の加温、基板のエッチング、及び基板のグロー放電への実施のうちの少なくとも１つを含み得る。

基板をコーティングすることができるコーティング材料は、金属；遷移金属；酸化物（例えば、金属酸化物又は遷移金属酸化物）；誘電体；ポリマー（例えば、炭素ベースのポリマー又はシリコンベースのポリマー）；酸窒化物；窒化物；炭化物；セラミック；半金属（例えば、炭素）；ペロブスカイト；ガラス又はガラス状材料（例えば、硫化物ガラス）；半導体；半導体酸化物；半有機材料、及び／又は有機材料のうちの少なくとも１つの材料を有するか、又はそれから形成され得る。

この説明の文脈において、金属（金属材料とも呼ばれる）は、少なくとも１つの金属元素（つまり、１つ又は複数の金属元素）、例えば、銅（Ｃｕ）、鉄（Ｆｅ）、チタン（Ｔｉ）、ニッケル（Ｎｉ）、銀（Ａｇ）、クロム（Ｃｒ）、白金（Ｐｔ）、金（Ａｕ）、マグネシウム（Ｍｇ）、アルミニウム（Ａｌ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、タンタル（Ｔａ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、バナジウム（Ｖ）、バリウム（Ｂａ）、インジウム（Ｉｎ）、カルシウム（Ｃａ）、ハフニウム（Ｈｆ）、サマリウム（Ｓｍ）、銀（Ａｇ）、及び／又はリチウム（Ｌｉ）の元素グループからの少なくとも１つの元素を有するか、又はそれから形成され得る。さらに、金属は、金属化合物（例えば、金属間化合物又は合金）、例えばブロンズ又は真鍮等の（例えば、元素グループからの）少なくとも２つの金属元素から構成される化合物、又は例えば鋼等の（例えば元素グループからの）少なくとも１つの金属元素及び少なくとも１つの非金属元素（例えば、炭素）、から構成される化合物を有するか、又はそれらから形成され得る。オプションで、金属は、例えばクロム、シリコン、モリブデン、ニッケル、バナジウム、炭素、マンガン、リン、硫黄、スズ、亜鉛等の合金元素（例えば、その質量分率が、例えば、個別に又は集合的に１０％未満である）を有し得る。

ここで、歯車は、本体の周囲に沿って配置された複数の駆動歯を有する実質的に円形の本体を意味すると理解され得る。歯車は、例えば、歯付きディスク、平歯車、円筒ピン歯車ピニオン、又は歯付きリングを有するか、又はそれらから形成され得る。歯車を使用して、例えば円筒ピン歯車の歯部等の歯部を設けることができる。円筒ピン歯車の歯部は、サイクロイド歯車の特殊な形態であり、その場合に、そのピッチ円及びローリング円は同じサイズである。歯部は、真っ直ぐに、すなわち、軸線方向に平行、又はらせん（helical）形状（らせん歯部）、又はらせん（spiral）歯部として実施することができる。歯部のサイズは、モジュラス（modulus）（直径ピッチとも呼ばれる）として決定される。相手側の歯車（本明細書ではカウンターギアとも呼ばれる）又は歯付きラックは、歯車と同じモジュラスの歯部（例えば、インターロック及び／又は伝動装置）を有し得る。

２つの構成要素が経路又は方向に沿って互いに対してオフセットして配置される場合に、これは、２つの構成要素が、経路又は方向に対して横方向である表面に投影されたときに、互いに又は部分的にのみオーバーラップするように（合同になるのではなく）隣接して配置されることを意味すると理解され得る。例えば、２つの構成要素は、経路又は方向に対して横方向で方向に沿って互いに間隔を空けることができる。

図１は、様々な実施形態による循環式コンベヤ輸送ホイール１００を概略斜視図で示している。

循環式コンベヤ輸送ホイール１００は、循環式コンベヤ輸送ホイールを回転可能に取り付けることができるフレームワーク１０２と、フレームワーク１０２の外周１０２ｕに配置された複数の結合装置１０４とを有する。対応する回転軸線１５１は、方向１０５に平行であり得る。循環式コンベヤ輸送ホイール１００の動作中に、方向１０５は、例えば、重力に反する方向、すなわち、垂直方向（垂直方向とも呼ばれる）に沿ってもよい。

複数の結合装置１０４は、例えば少なくとも４個の結合装置１０４、例えば少なくとも６個の結合装置１０４、例えば少なくとも８個の結合装置１０４、例えば少なくとも１０個の結合装置１０４、例えば少なくとも１６個の結合装置１０４、例えば少なくとも２０個の結合装置１０４、例えば少なくとも２６個の結合装置１０４を有し得る。

循環式コンベヤ輸送ホイール１００の高さ２０１ｈ（循環式コンベヤ輸送ホイール１００の回転軸線１５１に沿った範囲）は、約０．５ｍ〜約２ｍ（メートル）の範囲、例えば約１ｍ〜約１．５ｍ（メートル）の範囲であり得る。あるいは又はさらに、循環式コンベヤ輸送ホイール１００の直径２０１ｄ（循環式コンベヤ輸送ホイール１００の回転軸線１５１に対して横方向の範囲）は、約１ｍ〜約５ｍ（メートル）の範囲、例えば約２ｍ〜約３ｍの範囲であり得る。

図２は、様々な実施形態２００による循環式コンベヤ輸送ホイール１００を、結合装置１０４のうちの１つの結合装置の概略詳細図で示している。結合装置１０４のそれぞれは、基板キャリアの形態フィット結合のための１つ又は複数の形態フィット輪郭１０４ｆ（受容ポイントとも呼ばれる）を有し得る。図示の例では、結合装置１０４は、（例えば、円筒形の）切欠きを有するフォークを有し得、その切欠きの外側の区切りは、形態フィット輪郭１０４ｆを提供する。切欠きは、例えば、形態フィット輪郭１０４ｆとして凹状の曲率を提供し得る。切欠きは、循環式コンベヤ輸送ホイール１００の内部に向けて、例えばその回転軸線に向けてフォーク内に延びることができる。

１つのフォークを含む結合装置１０４が、例として以下で参照される。所与の説明は、他のいくつかの方法で構成された結合装置１０４と同様に自明に適用され得る。例えば、結合装置１０４は、フォークの代わりに又はそれに加えてボルトを有することができる。例えば、結合装置１０４は、凹状の曲率の代わりに又はそれに加えて、凸状の曲率を有し得る。しかしながら、形態フィット輪郭１０４ｆは、必ずしも湾曲している必要はない。例えば、形態フィット輪郭１０４ｆはまた、角度を付けられ得る。

ここに示される例示的な実施形態２００では、フォーク１０４は、フレームワーク１０２から、又はフレームワーク１０２の周囲１０２ｕから突出し得る。フレームワーク１０２の周囲１０２ｕは、フレームワーク１０２の直径を有する円の周囲であり得る。循環式コンベヤ輸送ホイール１００の周囲２０２ｕは、それに応じてより大きく、循環式コンベヤ輸送ホイール１００の直径２０１ｄを有する円の周囲であり得る。

形態フィット輪郭１０４ｆは、基板キャリア（基板キャリアの結合装置とも呼ばれる）の相手側の（counterpart）結合装置（本明細書ではカウンター結合装置とも呼ばれる）が循環式コンベヤ輸送ホイールの結合装置１０４と一緒に接合されたときに、その相手側の結合装置は、形態フィット輪郭１０４ｆに対して回転できるようにオプションで構成され得、それによって回転ジョイントが提供される。これは、以下でさらに詳細に説明するように、基板キャリアの結合及び結合解除を容易にする。

この目的のために、形態フィット輪郭１０４ｆは、例えば、円筒状に湾曲してもよい。例えば、切欠きは、形態フィット輪郭１０４ｆがその側面に沿って延びるように、シリンダ（又はその一部）の形状を有し得る。シリンダは、例えば、回転軸線１５１に沿ったシリンダ軸線を有し得る。シリンダは、例えば、円柱であり得るか、又は他の何らかの形状のベース領域を有し得る。

あるいは又はさらに、形態フィット輪郭１０４ｆは、例えば、回転（revolution）面又はそのセグメントによって提供され得る。回転面は、同じ平面にある直線の周りの平面曲線の回転によって形成される表面であり得る。直線は、回転軸線１５１に沿ってもよい。

図３は、様々な実施形態３００による循環式コンベヤ輸送ホイール１００を概略側面図又は断面図で示している。複数の結合装置１０４は、（例えば、その形態フィット輪郭が）互いに空間的に分離されている、すなわち、周囲（例えば、円周）に沿って、例えばその方向に沿って互いに間隔３０１ｄを有する複数の第１の結合装置を有し得る。周囲の方向（例えば、円周）は、領域１０１、１０３にある閉じた円形経路に沿っていてもよい。方向１０１、１０３は、循環式コンベヤ輸送ホイール１００の動作中に、重力を横切る方向、つまり水平領域に広がる方向であってもよい。

例示的な用語では、間隔は、周囲に沿って、すなわち周囲に沿って延びる（例えば円形の）経路、及び例えば周囲に対応する長さに沿って測定され得る。換言すれば、間隔は、周囲又は経路に投影された周囲であり得る。次に、周囲の方向は、例えば時計回り又は反時計回りに延び、経路に従う。円柱座標（ｒ、ｚ、φ）で表される場合に、周囲又は経路は、ｚ＝定数及びｒ＝定数である線上に延びる（例えば、延びる）。その場合に、間隔は、形態フィット輪郭同士の間に及ぶ円弧ｂの長さ（つまり、その端が形態フィット輪郭上にある）に対応し、ここで、ｂ＝π・ｒ・φ_ｉｊ／１８０°（単位は度）である。次に、角度φ_ｉｊは、ｉ番目とｊ番目の形態フィット輪郭の間に及ぶ角度を示す。形態フィット輪郭同士の間の間隔は、これら形態フィット輪郭が上下に直接配置される場合に、例えばゼロになることもある。

循環式コンベヤ輸送ホイール１００は、２つの平面１１４、１２４（平面ペアと呼ばれる）を有する１つ又は複数の平面ペアを有し得る。各平面ペア１１４、１２４の２つの平面１１４、１２４、及び／又は複数の平面ペア１１４、１２４は、回転軸線１５１に関して上下に配置され得る、すなわち、方向１０５において互いに前後に配置され得る。以下では、理解を容易にするために、平面ペアのうちの１つを参照する。所与の説明は、複数の平面ペアにも同様に適用できる。

複数の第１の結合装置１０４の形態フィット輪郭１０４ｆは、平面ペア１１４、１２４の第１の平面１１４に配置され得る。

複数の結合装置１０４は、結合装置のペア３０２（結合装置ペア３０２とも呼ばれる）の少なくとも１つ（つまり、１つ又は複数）を有し得、その結合装置は、複数の第１の結合装置のうちの第１の結合装置と、複数の結合装置のうちの第２の結合装置とを有する。例えば、複数の結合装置１０４は、少なくとも（つまり、１つ又は複数の）第２の結合装置を有し得、その形態フィット輪郭１０４ｆは、平面ペア１１４、１２４の第２の平面１２４に配置される。換言すれば、循環式コンベヤ輸送ホイール１００の回転軸線に関して、各第２の結合装置１０４の形態フィット輪郭１０４ｆは、平面ペア１１４、１２４の第２の平面１２４に配置され得る。

結合装置のペア３０２の形態フィット輪郭は、周囲の方向に関して互いに隣接して（例えば、上下に）配置され得るか、又は例えば、回転軸線１５１に沿った投影において互いに重なり得る。より一般的には、周囲に沿って測定される、結合装置のペア３０２の形態フィット輪郭１０４ｆの間隔は、平面ペア１１４、１２４の第１の平面１１４の形態フィット輪郭１０４ｆの間隔３０２ｄよりも小さくてもよい。

これは、結合装置のペア３０２の領域において、複数の形態フィット輪郭が異なる平面１１４、１２４に存在し、それによって、異なる基板キャリアの互いに面する側（いわゆるその端側（end side））が可能な限り一緒に近くで結合可能であるという効果を有する。これは、基板キャリアの繰返しパターンを可能な限り正確に維持する効果があり、それによって、これら基板キャリアは、可能な限り省スペースの方法で配置され得る。例示として、結合装置のペア３０２によって、これら基板キャリアが可能な限りシームレスな方法で互いに接するように、２つの異なる基板キャリアを結合することが可能である。

さらに、結合装置のペア３０２の第１の結合装置及び第２の結合装置は、第１の結合装置及び第２の結合装置による結合及び結合解除が互いに独立して起こり得るように構成され得る。これは、例えば、基板キャリアの第１の端側がそれぞれの場合に先導し、基板キャリアの第２の端側がそれぞれの場合に後続するように、基板キャリアが連続して巻き取られ、巻き戻され得るという効果を有する。基板キャリアの第１の端側は、基板キャリアの第２の端側の反対側に配置することができる。

図４は、様々な実施形態による基板キャリア４００を概略側面図（輸送方向に対して横方向の図）で示している。基板キャリア４００は、ヒンジ４０４によって（例えば、ペアワイズ方式で）互いに接続される複数の部材４０２（キャリア部材とも呼ばれる）を有し得る。ヒンジは、互いに直接隣接する２つの部材４０２を互いに結合させ、これら部材が互いに対して回転し得るようにする全ての構成要素の合計を意味すると理解され得る。例えば、ヒンジは、互いに空間的に分離される複数のヒンジセグメント４０４ａ、４０４ｂを有し得、各ヒンジセグメント４０４ａ、４０４ｂは互いに直接隣接する２つの部材４０２を互いに結合する。ヒンジセグメント４０４ａ、４０４ｂのそれぞれは、例えば、ヒンジボルトを有し得る。

部材４０２は、基板キャリア４００の輸送方向１１１に沿って前後に配置することができる。

基板キャリア４００はさらに、互いに反対の２つの端側４００ａ、４００ｂ（第１の端側及び第２の端側とも呼ばれる）を有し得る。第１の端側４００ａは、例えば、第１のキャリア部材４０２の端側（前部キャリア部材４０２とも呼ばれる）であり得、第２の端側４００ｂは、例えば、第２のキャリア部材４０２の端側（後部キャリア部材４０２とも呼ばれる）であり得る。

例えば、基板キャリア４００は、少なくとも２つの部材４０２、例えば少なくとも３つの部材４０２、例えば少なくとも４つの部材４０２を有し得る。あるいは又はさらに、基板キャリア４００は、最大７つ、例えば最大５つ、例えば最大４つ、例えば最大３つの部材４０２を有し得る。

より一般的には、基板キャリア４００は、数ｇ＝１＋ｎの部材４０２を有することができ、ここで、ｎは、ゼロより大きい自然数である。従って、一般的な３つの並進自由度及び３つの回転自由度に加えて、基板キャリア４００は、ヒンジによって提供されるｎ個の自由度をさらに有し得る。

各ヒンジ４０４によって、互いに直接隣接する２つの部材４０２は、互いに対して移動可能であるように構成され得、これは、基板キャリア４００の循環式コンベヤ輸送ホイール１００への巻き取り（winding-on）及び対応する巻き戻し（winding-off）を容易にする。ヒンジ又は各ヒンジの回転軸線４０４ｄ（ヒンジ回転軸線４０４ｄとも呼ばれる）は、例えば、基板キャリア４００が循環式コンベヤ輸送ホイール１００に結合される場合に、方向１０５に沿って延びることができる。

部材４０２のそれぞれは、１つ又は複数の基板を支持することができるフレーム４０８（支持フレーム４０８とも呼ばれる）を有し得る。例えば、３つ以上の基板は、３つの部材４０２によって支持され得る。この目的のために、部材４０２のそれぞれは、基板を保持する目的のために、支持フレーム４０８上に（例えば、保持される各基板に対して）１つの基板保持装置を有し得る。

さらに、基板キャリア４００は、複数の結合装置４１４（相手側の結合装置４１４とも呼ばれる）を有し得る。複数の結合装置は、各部材４０２について、少なくとも１つの第１の相手側の結合装置４１４と、少なくとも１つの第２の相手側の結合装置４１４とを有し得る。例えば、複数の結合装置は、数ｋ＝１＋ｇの相手側の結合装置４１４を有し得る。

相手側の結合装置４１４のそれぞれは、結合装置１０４の形態フィット輪郭１０４ｆに対応する１つ又は複数の形態フィット輪郭を有し得る。互いに対応する形態フィット輪郭は、形態フィット方式で互いに係合するように構成され得る。

図示の例では、相手側の結合装置４１４のそれぞれは、フォーク１０４の切欠き１０４ｆにフィットし得る１つ又は複数のボルトを有し得る。ボルトのそれぞれ（その外側の境界）は、相手側の結合装置４１４の形態フィット輪郭（相手側の形態フィット輪郭とも呼ばれる）を提供する。ボルトは、例えば、相手側の形態フィット輪郭（本明細書では、カウンター形態フィット輪郭とも呼ばれる）として凸状の曲率を提供し得る。曲率は、循環式コンベヤ輸送ホイール１００の内部に向けて、例えばその回転軸線に向けて湾曲させることができる。

以下では、例として、１つ又は複数のボルトを含む相手側の結合装置４１４を参照する。ボルトのそれぞれは、結合装置１０４のフォークとのフォーク／ボルト接続を可能にし得る。所与の説明は、他のいくつかの構成の相手側の結合装置４１４、例えば他のいくつかの構成の投影に同様に自明に適用され得、これは、相手側の形態フィット輪郭を提供する。例えば、相手側の結合装置４１４及び結合装置１０４はまた、他のいくつかの形態フィット接続、例えば舌部／溝の接続又はボール／ソケットの接続を可能にし得る。

一般に、相手側の結合装置４１４は、凸状の曲率に加えて又はその代わりとして、相手側の形態フィット輪郭として凹状の曲率を有し得る。ただし、相手側の形態フィット輪郭は必ずしも湾曲している必要はない。例えば、相手側の形態フィット輪郭はまた、角度を付けられ得る。

相手側の結合装置４１４のそれぞれは、結合装置１０４に接合されたときに、回転ジョイントが提供されるように結合装置１０４に対して回転され得るように構成され得る。これは、基板キャリア４００の結合及び結合解除を容易にする。

この目的のために、相手側の形態フィット輪郭は、例えば、円筒状に湾曲してもよい。例えば、相手側の結合装置４１４の突起部（例えば、ボルト）は、相手側の形態フィット輪郭がその側面に沿って延びるように、円筒（又はその一部）の形状を有し得る。シリンダは、例えば、ヒンジ回転軸線に沿ったシリンダ軸線を有し得る。シリンダは、例えば、円柱であってもよく、又は他のいくつかの形状のベース領域を有してもよい。

循環式コンベヤ輸送ホイール１００の複数の平面と同様に、基板キャリア４００は、（例えば、ヒンジ回転軸線に関して）上下に配置された平面から構成される１つ又は複数の平面ペアを有し得、その各平面には、複数の相手側の形態フィット輪郭のうちの少なくとも１つがある。例えば、２つ以上の第１の相手側の形態フィット輪郭は、各平面ペアの第１の平面に配置され得るか、又は循環式コンベヤ輸送ホイール１００の第１の結合装置と係合するように構成され得る。例えば、少なくとも１つの第２の相手側の形態フィット輪郭は、各平面ペアの第２の平面に配置され得るか、又は循環式コンベヤ輸送ホイール１００の少なくとも１つの第２の結合装置と係合するように構成され得る。

以下に説明する実施形態では、相手側の結合装置４１４のボルトは、ヒンジ４０４によって、例えばヒンジ４０４のボルト（次に、ヒンジボルトとも呼ばれる）によって、例えばヒンジセグメント４０４ａ、４０４ｂのヒンジボルトによって提供され得る。これにより、構造が簡素化される。ヒンジボルトは、例えば、ヒンジピンとして提供され得る（すなわち、厚みのある端部セクションを有する）。

部材４０２の数及び形状は、輸送方向１１１に沿った基板キャリア４００の第１の範囲（長さとも呼ばれる）が、方向１０５に沿った（すなわち、輸送方向１１１に対して横方向に）第２の範囲に実質的に対応するように構成され得る。換言すれば、それら範囲は、互いに２０％未満しか異ならない可能性がある。例えば、長さ対高さの比（アスペクト比とも呼ばれる）は、実質的に１（すなわち、約０．８〜約１．２の範囲）であり得る。これは、基板キャリア４００の芯ずれのリスクを低減する（引き出し効果とも呼ばれる）。

例えば、長さは、約１ｍ（メートル）〜約１．５ｍの範囲、例えば約１．３ｍであり得る。

実施形態４００では、コーティングウィンドウを維持することができ、非常に多数の部材（キャリッジ部材とも呼ばれる）を一度にロード及びアンロードすることが可能であり（これにより時間を節約できる）、及び／又は必要な駆動装置が少なくて済む。

図５は、様々な実施形態５００による基板キャリア４００を概略側面図で示している。

基板キャリア４００、例えば部材４０２のそれぞれは、少なくとも１つ又は複数のキャリッジ４０６（レールキャリッジとも呼ばれる）を有し得る。例えば、基板キャリア４００（例えば、部材４０２のそれぞれ）は、基板キャリア４００の互いに反対側（上面及び下面とも呼ばれる）に配置された２つのキャリッジ４０６を有し得る。輸送経路に沿った基板キャリアの案内は、１つ又は複数のキャリッジ４０６によって実行され得る。

（例えば、各部材の）各キャリッジには、円筒ピン歯車ラックが付いている場合がある。円筒ピン歯車ラックは、以下でさらに詳細に説明するように、駆動技術の分野による機械要素である。例示として、円筒ピン歯車ラックは、歯付きラックの簡素化した形態である。円筒ピン歯車ラックの場合に、歯付きラックの駆動歯部はボルトによって提供される。円筒ピン歯車ラックについて以下で参照する。しかしながら、円筒ピン歯車ラックについての所与の説明は、他のいくつかの構成の歯付きラック、又は複数の駆動歯を含む他のいくつかの構成の機械要素にも同様に適用され得る。円筒ピン歯車ラックは、正確な送り動作を提供するのを可能にする。円筒ピン歯車ラックにより、基板キャリアの比較的正確な輸送が可能になり、これにより、基板キャリア４００の循環式コンベヤ輸送ホイール１００への巻き取り及びそこからの対応する巻き戻しが容易になる。

（例えば、各部材の）各キャリッジ４０６は、回転可能に取り付けられたローラのペア４１０（ローラペアとも呼ばれる）を有し得る。ローラペア４１０は、以下でさらに詳細に説明するように、基板キャリア４００の結合及び／又は結合解除を容易にすることができる。例えば、それぞれの場合において、１つのローラペア４１０は、２つの支持フレーム４０８の間に配置され得る。

ローラペア４１０の位置は、力が最大化されるので、基板キャリア４００の結合及び／又は結合解除をさらに容易にする。例えば、ローラペア４１０のローラの回転軸線は、ヒンジ４０４の回転軸線（ヒンジ回転軸線とも呼ばれる）と整列させることができる。あるいは又はさらに、ギャップは、ローラペア４１０のローラ同士の間に配置され得、そのギャップは、２つのローラの間のヒンジ回転軸線に沿って延びる。

基板キャリア４００が１より大きいアスペクト比に構成される場合に、関連するより長い長さは、プロセス条件下での巻き取りを妨げる可能性がある。循環式コンベヤ輸送ホイール１００の周りに延びる正確に１つのリンクチェーンを使用することは、さらに、非常に大きなロードロック（load lock）チャンバを必要とするであろう。アスペクト比が１未満の非常に多くの短い基板キャリアは、詰まる傾向があり、多数のロード／アンロードプロセスを必要とし、これには長い時間がかかる。アスペクト比が実質的に１の場合に、ロード時間とアンロード時間が最短になる。

ヒンジ４０４によって、基板キャリア４００は、曲げられ又は折り畳まれてもよい。オプションで、ヒンジ又は各ヒンジ４０４は、ヒンジの角度を制限するストッパー（stop）を有することができる（これにより、ヒンジを回転させることができる）。これにより、基板キャリアの望ましくない折り畳みが防止される。

ヒンジ４０４は、オプションで、循環式コンベヤ輸送ホイール１００への結合のために相手側の結合装置４１４のボルト（ヒンジボルト）を提供することができる。循環式コンベヤ輸送ホイール１００への結合中及び結合解除中の摩耗を最小限に抑えるために、各ヒンジ４０４のジャーナル７０２が、軸受けスリーブを有し得る。これは、ヒンジが循環式コンベヤ輸送ホイール１００の受容手段（簡単にするためにドラム１００とも呼ばれる）として利用され得るという効果を有する。同じ線に沿った回転、案内、固定の中心は、望ましくないトルクの発生を防ぎ、従って芯ずれを抑える。

図６は、様々な実施形態６００による基板キャリア４００を概略断面図（輸送方向の図を含む）で示している。

円筒ピン歯車ラック６５２は、例えば、一定の間隔でドリル加工され、ボアに挿入されたボルトによって接続される（例えば、溶接又はねじ止めされた）２つの横側壁５１６（例えば、パネル）を有する歯付きラックを有し得る。例として、円筒ピン歯車ラック６５２は、はしごの形態で構成され得る。歯車の歯部は、ボルト５０２同士の間に係合し、こうして、円筒ピン歯車ラック６５２との形態フィット接続を形成することができる。歯車が回転すると、並進運動が円筒ピン歯車ラック６５２に伝達され得る。

円筒ピン歯車ラック６５２は、複数のボルトを有することができ、その各ボルトは、オプションで回転軸受けを有する。回転軸受けは、例えば、スリーブ５０６（軸受けスリーブとも呼ばれる）が取り付けられるボルト軸（axle）５０４（例えば、金属で構成される）を有し得る。スリーブは、例えば、プラスチック、又は少なくともボルト軸５０４よりも弾性及び／又は柔らかい材料を有するか、又はそれらから形成され得る。

例えば、円筒ピン歯車ラック６５２のボルト軸５０４は、１つ又は複数のねじ山を有しており、側壁５１６の１つに又はその後ろに位置するナットにねじ込まれ得る。あるいは又はさらに、ボルト軸５０４は、ボルト車軸が側壁をすり抜けないように、側壁５１６の通路開口部よりも大きい肥厚部分（例えば、ヘッド）を有し得る。

円筒ピン歯車ラック６５２の回転軸受けは、例えば、すべり軸受であり得る。これにより、構造が簡素化される。

以下でさらに詳細に説明するように、各ローラペア４１０のローラ同士の間に、スイッチが係合し得るギャップ４１０が形成され得る。ローラペア４１０のローラは、ある方向に沿って互いに間隔を空けてもよく、その方向は、輸送方向１１１に対して横方向であり、及び／又はヒンジ回転軸線４０４ｄに対して横方向である。

相手側の各結合装置４１４は、１つ又は複数のボルトを有し得、その各ボルトは、オプションで回転軸受けを有する。回転軸受けは、例えば、スリーブ４１４ｈ（軸受けスリーブとも呼ばれる）が取り付けられるボルト軸７０２（例えば、金属で構成される）を有し得る。スリーブ４１４ｈは、例えば、プラスチック、又は少なくともボルト軸７０２よりも弾性及び／又は柔らかい材料を有するか、又はそれらから形成され得る。ボルト軸７０２は、ヒンジボルトによって提供され得る。これにより、構造が簡素化される。

相手側の各結合装置４１４の回転軸受けは、例えば、すべり軸受であり得る。これにより、構造が簡素化される。

図７は、様々な実施形態７００による基板キャリア４００の上面を概略斜視図で示しており、基板７５２がその基板キャリア上に保持された状態で示されている。ローラペア４１０のローラは、互いに直接隣接する２つのフレーム４０８の間に形成されるギャップの上に配置することができる。

基板キャリア４００の端側には、１つ又は複数の第２の相手側の結合装置４１４を配置することができ、その上部の第２の相手側の結合装置４１４が示されている。

例えば、各第２の相手側の結合装置４１４は、ピントル（pintle）の形態で提供され得る。ピントルには、突き出たボルトを有するＬ字型の接続要素があり得る。

あるいはまた、各第２の相手側の結合装置４１４は、例えば、ジャーナル７０２（ヒンジピンとも呼ばれる）を有するヒンジ（例えば、ヒンジボルトとして）の構成要素によって提供され得る。これにより、様々な構成要素の数が減る。

相手側の結合装置４１４のボルトにはテーパが付けられ得る。これは、以下でさらに詳細に説明するように、例えば、ロック装置（例えば、結合キャッチ）による結合を簡素化する。例えば、ボルトの側壁は、ある角度で互いに収束し得る。角度は、例えば、約１°〜約１０°の範囲、例えば３°以下であり得る。これにより、セルフロック動作が実現する。例えば、相手側の結合装置４１４のボルトは、発射体形状の形態（例えば、チップを有する）であり得る。

図８は、様々な実施形態８００による基板キャリア４００の底面を実施形態７００に類似した概略斜視図で示しており、基板７５２がその基板キャリア上に保持されて示されている。基板キャリア４００の端側には、１つ又は複数の第２の相手側の結合装置４１４を配置することができ、その下部の第２の相手側の結合装置４１４が示されている。下部の第２の相手側の結合装置４１４は、実施形態７００に関した所与の説明と同様に構成され得る。

以下では、基板キャリア４００及び／又は循環式コンベヤ輸送ホイール１００（例えば、循環式コンベヤ輸送ホイール）は、例えば、循環式コンベヤ（例えば、循環式コンベヤ）、搬送装置、又は真空装置等のより複雑なアセンブリと併せて参照される。基板キャリア４００又は循環式コンベヤ輸送ホイール１００も別個に提供され得る、すなわち、より複雑なアセンブリの一部である必要はなく、及び／又は真空チャンバ内に配置されて提供され得ることが理解され得る。同じことが循環式コンベヤ及び搬送装置にも同様に当てはまる。

図９は、様々な実施形態による循環式コンベヤ９００を概略斜視図で示している。循環式コンベヤ９００は、循環式コンベヤ輸送ホイール１００と、循環式コンベヤ輸送ホイール１００が回転可能に取り付けられる軸受け装置（ここでは隠されている）とを有し得る。さらに、循環式コンベヤ９００は、回転を循環式コンベヤ輸送ホイール１００に伝達するように構成された駆動装置（例えば、モータ）を有し得る。

フレームワーク１０２は、１つ又は複数のリング９０４と、リング９０４毎に複数のスポーク９０６とを有し得る。さらに、フレームワーク１０２は、スポーク９０６に接続されるハブ９０２を有し得る。この設計によって、重量が低減する。ハブ９０２は、軸受け装置によって取り付けられるか、又はこれを有し得る。例えば、軸受け装置は、１つ又は複数の回転軸受け（例えば、アキシャル軸受け）を有するか、又はそれから形成され得る。

循環式コンベヤ輸送ホイール１００及び基板キャリア４００は、複数の基板キャリア４００が、循環式コンベヤ輸送ホイール１００に直列に、例えば少なくとも２つの基板キャリア４００、例えば少なくとも３つの基板キャリア４００、例えば少なくとも４つの基板キャリア４００、例えば少なくとも５つの基板キャリア４００、例えば少なくとも６つの基板キャリア４００、例えば少なくとも７つの基板キャリア４００、例えば少なくとも８つの基板キャリア４００にフィットするように、互いに対して構成され得る。

例えば、それぞれが３つの部材を有する８つの基板キャリア４００を使用することができ、これは、設置サイズとロード／アンロード時間との間の適切な妥協案を実現する。

図１０は、様々な実施形態１０００による循環式コンベヤ９００を概略斜視図で示しており、循環式コンベヤ輸送ホイール１００の一部が実装されていない（unpopulated）。基板キャリア４００が開始又は終了する位置に、それぞれの場合に、１つの結合装置ペア３０２が配置され得る。換言すれば、周囲に沿って測定される、互いに隣接する結合装置ペア３０２間の間隔（本明細書では距離とも呼ばれる）は、基板キャリア４００の長さに対応し得る（例えば、その長さに実質的に一致し得る）。

例えば、循環式コンベヤ輸送ホイール１００は、基板キャリア４００毎に１つの結合装置ペア３０２を有し得る。あるいは又はさらに、循環式コンベヤ輸送ホイール１００は、基板キャリア４００の各部材について、互いに等距離に配置された第１の結合装置１０４のうちの１つを有し得る。

図１１は、様々な実施形態１１００による循環式コンベヤ９００を概略斜視図で示している。結合装置１０４のうち、結合装置のそれぞれは、ロック装置１１０２を有し得る。一般に、各ロック装置１１０２は、基板キャリア４００への結合をロック又は解除する（すなわち、ロックが確立され、外す）ために、少なくとも２つの状態（ロック状態とも呼ばれる）の間で変更され得る。結合装置と相手側の結合装置との間の結合がロックされる場合に、これは、例えば、ロックが外されない限り、もはや容易に外されない可能性がある。

ロック装置１１０２は、例えば、相手側の結合装置４１４のボルトの周りに係合するように構成されたブラケットを有し得る。以下、例として、ブラケットは、ロック装置１１０２と呼ばれる。ブラケットは、ブラケット／ボルトロック構成を可能にし得る。所与の説明は、他のいくつかの構成のロック装置１１０２と同様に自明に適用され得る。例えば、ロック装置１１０２は、同様に、磁気ロックのための電磁石を有するか、又は結合キャッチ（例えば、フック型キャッチ、ロックキャッチ、斜めキャッチ）、ラッチ、スプリント（splint）等を有し得る。例えば、ロック装置１１０２は、基板キャリアの一部でもあり得る。

結合キャッチは、例えば、（これに応答して）結合が確立されたとき（すなわち、結合が行われるとき）、又は結合キャッチがこのために規定された位置に配置されたときに、結合のロックが自動的に確立される、又はこのために規定された環境に少なくとも曝されるように構成され得る。ロックを確立又は外すために、以下でさらに詳細に説明するように、ロック機構を使用することができる。

ブラケット１１０２は、例えば、２つの位置の間で変位できるように、変位可能１１０２ｒとなるように取り付けることができる。第１の位置では、ブラケット１１０２は、相手側の結合装置４１４のボルトの周りに係合することができる。第２の位置では、ブラケット１１０２は、相手側の結合装置４１４のボルトに対して間隔を置いて配置する（例えば、ボルトの上に配置する）ことができ、それによってボルトが外される。

図１２は、様々な実施形態１２００による循環式コンベヤ９００を概略斜視図で示している。循環式コンベヤ９００は、１つ又は複数の平面ペア１１４、１２４を有することができ、実施形態１２００によれば、下部の平面ペアが示されている。

結合装置ペア３０２は、２つの結合装置１０４を有し得、その結合装置の形態フィット輪郭１０４ｆは、上下に、例えば方向１０５に沿って前後に、又は周囲方向に沿って互いに隣接して配置される。換言すれば、結合装置ペア３０２の形態フィット輪郭１０４ｆは、方向１０５に沿って、例えば合同であるように重なり合うことができる。

結合装置ペア３０２は、第１の結合装置１０４のうちの１つを有し得、第１の結合装置１０４は、平面ペア１１４、１２４毎に、平面ペア１１４、１２４の第１の平面１１４に１つの形態フィット輪郭１０４ｆを有する。結合装置ペア３０２は、平面ペア１１４、１２４毎に第２の結合装置１０４を有し得、この第２の結合装置は、平面ペア１１４、１２４の第２の平面１２４に形態フィット輪郭１０４ｆを有する。

結合装置ペア３０２との間隔を置いて、平面ペア１１４、１２４毎に１つの形態フィット輪郭１０４ｆを有する第１の結合装置１０４の追加の１つを配置することができ、その形態フィット輪郭は、平面ペア１１４、１２４の第１の平面１１４に配置される。

結合装置１０４のそれぞれは、２つのロック状態の間で変更（例えば、変位）し得るロック装置１１０２を有し得る。この図は、第１のロック状態（すなわち、ロック装置が閉じた状態）のロック装置１１０２を示しており、形態フィット方式で結合された基板キャリア４００のロックは、第２の相手側の結合装置４１４のボルトの上に配置されたロック装置１１０２のブラケットによって確立される。

一般に、結合装置１０４のそれぞれは、結合装置１０４のロック装置１１０２を第１のロック状態から第２のロック状態に移動する（開けるとも呼ばれる）か、又はロック装置を反対方向に移動する（例えば、変位させる）（閉じるとも呼ばれる）ように構成されたロック機構１２０２を有し得る。ロック機構１２０２は、例えば、並進運動をブラケット１１０２に伝達するように構成されたリンク機構を有し得る。

循環式コンベヤ９００は、以下でさらに詳細に説明するように、エレベーション（elevation：隆起）（例えば、傾斜路）をさらに有することができる。リンク機構１２０２は、例えば、循環式コンベヤ輸送ホイールの回転運動によってエレベーションと接触させることができ、それによって、リンク機構１２０２は、エレベーションによって押しのけられ、こうして、その重量（weight force）に逆らって変位する。動作中にリンク機構１２０２に作用する重量は、反対方向の並進運動に影響を及ぼし得る。リンク機構の動きは、ブラケットが垂直方向に上向き又は下向きに変位するように、ブラケットに伝達され得る。

リンク機構は、オプションで、下端セクションとしてローラを有し得る。ローラは、エレベーションでの摺動動作を容易にする。

以下、例として、リンク機構を含むロック機構１２０２について参照する。リンク機構は、ロック装置１１０２の純粋に機械的な作動を容易にすることができ、これにより、構造が簡素化され、不具合の影響を受け難くなる。所与の説明は、他のいくつかの構成のロック機構１２０２と同様に自明に適用され得る。例えば、ロック機構１２０２はまた、クラッチ装置１０４のロック装置１１０２を第１の状態から第２の状態に、又はその逆に移動させるように構成された１つ又は複数のアクチュエータを有し得る。あるいは又はさらに、ロック機構１２０２は、動きをロック装置１１０２に伝達する伝動装置を有し得る。

図１３は、様々な実施形態１３００による循環式コンベヤ９００を概略斜視図で示している。循環式コンベヤ９００は、１つ又は複数の平面ペア１１４、１２４を有することができ、その実施形態１３００によれば、その上部平面ペアが示されている。例えば、実施形態１２００による循環式コンベヤ９００は、２つの平面ペア１１４、１２４を有することができ、その各平面は、１つ又は複数の形態フィット輪郭を有することができる。

結合装置ペア３０２は、第１の結合装置１０４のうちの１つを有し得、この第１の結合装置１０４は、平面ペア１１４、１２４毎に、平面ペア１１４、１２４の第１の平面１１４に１つの形態フィット輪郭１０４ｆを有する。結合装置ペア３０２は、平面ペア１１４、１２４毎に第２の結合装置１０４を有し得、この第２の結合装置は、平面ペア１１４、１２４の第２の平面１２４に形態フィット輪郭１０４ｆを有する。

結合装置ペア３０２との間隔を置いて、平面ペア１１４、１２４毎に１つの形態フィット輪郭１０４ｆを有する第１の結合装置１０４の追加の１つを配置することができ、その形態フィット輪郭は、平面ペア１１４、１２４の第１の平面１１４に配置される。

結合装置１０４のそれぞれは、例えば２つの形態フィット輪郭１０４ｆを有することができ、例えば、そのうちの一方の形態フィット輪郭１０４ｆが第１の平面ペアに配置され、他方の形態フィット輪郭１０４ｆが第２の平面ペアに配置される（例えば、上下に配置される）。これにより、基板キャリアがより効果的に安定する。

結合装置１０４のそれぞれは、平面ペア毎に、上記のようにロック装置１１０２を有し得る。例えば、ロック装置１１０２は、結合装置１０４の２つの形態フィット輪郭１０４ｆのそれぞれに提供され得る。２つのロック装置１１０２は、例えば、それらロック装置が第１の状態と第２の状態との間で同時に変更され得るように、同じリンク機構によって結合され得る。

例えば、結合装置ペア３０２の第１の結合装置１０４は、下部平面ペアの第１の平面１１４（図１２を参照）に下部形態フィット輪郭１０４ｆを有し、且つ上部平面ペアの追加の第１の平面１１４（図１３を参照）に追加の第１の形態フィット輪郭１０４ｆを有し得る。

さらに、結合装置ペア３０２の第２の結合装置１０４は、下部平面ペアの第２の平面１２４（図１２を参照）に第２の形態フィット輪郭１０４ｆを有し、且つ上部平面ペアの第２の平面１２４（図１３を参照）に追加の第２の形態フィット輪郭１０４ｆを有し得る。

図１４は、様々な実施形態１４００による循環式コンベヤ９００を概略断面斜視図で示しており、ロック装置１１０２は、第１のロック状態（すなわち、閉じた状態）に移動され、それによって、形態フィット方式で結合される基板キャリアのロックが確立される。

図１５は、様々な実施形態１５００による循環式コンベヤ９００を概略斜視図で示しており、ロック装置１１０２は、第２のロック状態（すなわち、開いた状態）に移動され、それによって、形態フィット形式で結合した基板キャリアのロックが外される。

図１６は、様々な実施形態１６００による循環式コンベヤ９００を概略グリッドビューで示しており、ロック装置１１０２は、第１のロック状態に移動されている。実施形態１６００に示されるように、ロック装置１１０２のブラケットはまた、２つの正方晶プロファイル１６０６（例えば、プレート）と、その中に保持されるボルト１６０４（横ラッチとも呼ばれる）（この場合に、スライドとも呼ばれる）とを有し得る。横ラッチは、１つ又は複数の正方晶プロファイル（スライドとも呼ばれる）にのみ固定することもできる。

相手側の結合装置４１４のボルトは、テーパが付けられるように構成され得る。これは、例えば、ブラケットが相手側の結合装置４１４のボルトの上により容易に押され得るので、結合及び／又はロックを簡素化する。例えば、ボルト４１４の側壁は、角度１６０２で互いに収束し得る。角度１６０２は、例えば、約１°〜約１０°の範囲、例えば３°以下であり得る。約１０°以下の角度は、ロック装置１１０２のセルフロックを実現し、こうして安全な接続を実現する。例えば、相手側の結合装置４１４のボルトは、少なくとも特定のセクションにおいて、例えばオプションで丸みを帯びたチップを含む円錐形であり得る。

従来、ドラムコーティング設備（ドラムコーター又はボックスコーターとも呼ばれる）のドラム１００は、手作業で、又はロボットを用いて複雑な方法で基板を充填（populate）している。手作業による充填を増やすと、一次コストは低くなるが、二次コストは高くなる。手作業で投入するには、処理チャンバを曝気し、その後、カソードを再び自由にスパッタリングする必要がある（初期スパッタリングとも呼ばれる）。対照的に、ロボット技術は面倒で、高価で、遅い。

本明細書に記載の循環式コンベヤ輸送ホイール１００によって、基板キャリア４００は、連続プロセス（例えば、高真空下）において、回転循環式コンベヤ輸送ホイール１００に結合され得るが、再びそこから切り離してもよい。結合及び結合解除のプロセスの時間は、１秒のオーダーであり得る。さらに、個々の基板キャリアは、１つ又は複数の基板キャリアがドラム１００に結合されたままである間に、選択的に結合解除され得る。これは、例えば、基板ダミー（例えば、基板又は廃棄基板の形態のプレースホルダ（placeholder））を使用するのを可能にし、基板ダミーは、循環式コンベヤ搬送ホイール１００上に残り、アンロードする必要がない。換言すれば、循環式コンベヤ輸送ホイール１００の全周に（例えば、常に）良好な材料を充填する必要はないが、その周囲には、プレースホルダを部分的に充填することもできる。

本明細書で提供される閉鎖機構１１０２、１２０２（ロック装置１１０２及びロック機構１２０２を含む）は、各基板キャリア４００を確実に保持し、循環式コンベヤ輸送ホイールに対して静止状態にすることができる。これは、遠心力が高くなるとき、例えば、特に比較的高い回転速度で、装置を安定させる。

ブラケットを含むロック装置１１０２は、簡素化され、こうして信頼性が高く、安価な構造を提供する。

動作中に、基板キャリア４００（キャリアとも呼ばれる）は、基板キャリア４００に対して接線方向に循環式コンベヤ輸送ホイール１００に運ばれる。循環式コンベヤ輸送ホイール１００の周速は、この目的のために、基板キャリア４００の輸送速度に対応し得る。ヒンジボルト４１４は、循環式コンベヤ輸送ホイール１００（簡単にするためにドラムとも呼ばれる）のフォーク（キャリアレセプタクルとも呼ばれる）によって受け取られ得、それにより５つの自由度がブロックされる。半径方向の並進自由度のみが開いている。半径方向の並進自由度は、横方向ラッチ１６０４がヒンジボルト４１４の後ろに移動することによってブロックされる。

より一般的には、基板キャリアのより多くの（例えば、全ての）自由度が、第２のロック状態よりも第１のロック状態でブロックされ得る（例えば、基板キャリアの少なくとも１つの自由度は、自由な状態である）。

ロック装置（例えば、スライド）は、例えば、専ら重力によってのみ操作することができ、それによって、駆動系及びセンサ技術を省略してもよい。ロック装置（例えば、スライド）は、ドラム１００の構成要素であり得、その回転運動中に円形経路上を移動し得る。基板キャリアがそれぞれ結合又は結合解除される領域（それぞれロードポイント又はアンロードポイントとも呼ばれる）は、以下でさらに詳細に説明するように、真空チャンバ内で位置的に固定される。

これにより、（例えば、カムディスクを含む）エレベーションによって、開放プロセス中にスライドを上向きに押し上げることが可能になる。スライドを閉じるために、スライドは、重力によって下向きに押される。エレベーション（例えば、カムディスク）は、例えばそれぞれアンロードポイント又はロードポイントの後で再び下がり、スライドは、下向きに下がる。

結合装置１０４のそれぞれは、２つ以上のスライド（又は、横方向ラッチ）、例えば上部に１つのスライド及び下部に１つのスライド、及び／又は形態フィット輪郭毎に少なくとも１つのスライドを有し得る。これにより、閉じる、保持する、開く動作が均一になる。

ロック機構１２０２は、滑り摩擦が大幅に防止され得るように、ローラによって案内され得る。結合装置ペア３０２は、基板キャリアの分割点に配置され得る。これは、キャリアシェルが上に開かれ、キャリアをドラムから確実に取り外すことができるという効果を有する（つまり、これらは互いに別々に結合及び結合解除され得る）。

重力に基づくロック装置による保持及びロック（閉鎖とも呼ばれる）は、簡素化したメカニズムによって実現され、駆動系、センサ、ケーブル、リードスルー等を省くことができる。

ローラによるロック機構１２０２の取り付けは、摩耗及び滑り摩擦を低減する。

図１７Ａ〜図１７Ｈはそれぞれ、様々な実施形態１７００ａ〜１７００ｈによる搬送装置１７００を概略平面図で示しており、この搬送装置は、様々な実施形態による循環式コンベヤ９００と、１つ又は複数の線形コンベヤ１７０２とを有する（換言すると、必ずしも２つの線形コンベヤ１７０２が存在する必要はない）。図示のように、１つ又は複数の基板キャリアを、循環式コンベヤ輸送ホイール１００に及び／又は循環式コンベヤ輸送ホイール１００から離れる方向に輸送するための輸送経路７１１を提供するために、様々な構成が提供され得る。

例えば、輸送経路７１１は、交差する方法で延びることができる（図１７Ａ又は図１７Ｂを参照）。以下でより詳細に説明するように、回転の半分以上（例えば、約３／４）がコーティング装置に利用され得るので、これはコーティング装置のためにより多くのスペースを可能にする。

以下では、搬送装置１７００及び／又は循環式コンベヤ９００について、真空装置と併せて参照する。搬送装置１７００及び／又は循環式コンベヤ９００も別個に提供され得る、すなわち、必ずしも真空装置の一部である必要はないことが理解され得る。

図１８は、様々な実施形態による真空装置１８００を概略平面図で示しており、この真空装置は、実施形態１７００ｂによる搬送装置１７００を有する。真空装置１８００は、１つ又は複数の真空チャンバ１８０２、１８０４、１８０６をさらに有し得る。

様々な実施形態によれば、真空チャンバは、１つのチャンバ又は複数のチャンバが設けられ得るチャンバハウジングによって提供され得る。チャンバハウジングは、例えば負圧又は真空（真空チャンバハウジング）を提供するために、（例えば、ガス導通（gas-conducting）方式で）ポンプシステム８０４、例えば、真空ポンプ装置に結合され得、真空状態での空気圧の作用に耐えられるような安定性を有するように構成され得る。ポンプ装置（少なくとも１つの真空ポンプ、例えば高真空ポンプ、例えばターボ分子ポンプを含む）は、処理チャンバの内部、例えば処理空間が、ガスの割合（分圧）で排気されることを可能にし得る。従って、１つの真空チャンバ又は複数の真空チャンバを１つのチャンバハウジング内に提供することが可能である。

例えば、各真空チャンバハウジングは、ポンプシステム８０４（少なくとも１つの粗引き真空ポンプ及びオプションで少なくとも１つの高真空ポンプを含む）に結合され得る。ポンプシステム８０４は、真空チャンバハウジングから、例えばそのハウジングに提供される各チャンバから、ガス（例えば、プロセスガス）を抽出するように構成され得、それによって、真空チャンバハウジング内に、より低い真空（すなわち、０．３バール未満の圧力）、例えば約１ｍｂａｒ〜約１０^−３ｍｂａｒ以下の範囲の圧力（つまり、低真空）、例えば約１０^−３ｍｂａｒ〜約１０^−７ｍｂａｒ以下の範囲の圧力（つまり、高真空）、例えば高真空よりも低い圧力、例えば約１０^−７ｍｂａｒよりも低い圧力（つまり、超高真空）が提供され得る。プロセス圧力は、ガス供給装置によって供給され、ポンプシステム８０４によって抽出されるプロセスガスの平衡から形成され得る。

真空装置１８００は、例えば、循環式コンベヤ輸送ホイール１００、第１の線形コンベヤ１７０２、及び第２の線形コンベヤ１７０２が配置される第１の真空チャンバ１８０２（処理チャンバとも呼ばれる）を有し得る。第１の線形コンベヤ１７０２及び第２の線形コンベヤ１７０２（例えば、その案内レール）は、輸送経路７１１が交差方式で延びるように、互いに交差することができる。第１の線形コンベヤ１７０２は、循環式コンベヤ輸送ホイール１００に向かう輸送経路７１１の第１のセクション７１１ａ（第１の輸送セクションとも呼ばれる）を提供し得、第２の線形コンベヤ１７０２は、循環式コンベヤ輸送経路１００から離れる方向の（矢印で示される）輸送経路７１１の第２のセクション（第２の輸送セクションとも呼ばれる）を提供し得、又はその逆も提供され得る。

第１の輸送セクション７１１ａと第２の輸送セクション７１１ｂとの間で、輸送経路７１１は、（循環式コンベヤ輸送ホイール１００の周囲に沿って見た場合に）第３のセクション（第３の輸送セクション７１１ｃ又は処理セクション７１１ｃとも呼ばれる）を有し得る。第３の輸送セクション７１１ｃは、例えば、約２７０°の曲率を有し得る。基板の処理、例えばコーティングは、処理セクションに沿って行うことができる。この目的のために、１つ又は複数の処理装置１８１０を、処理チャンバ１８０２（処理領域とも呼ばれる）の処理セクション７１１ｃに隣接する内部空間に配置することができる。一般に、処理装置１８１０は、基板を処理する（例えば、加温、コーティング、及び／又は化学的な変化等を含む）ために構成され得る。例えば、処理装置１８１０は、処理装置１８１０によって提供されるコーティング材料で基板をコーティングするように構成され得る（次に、処理装置１８１０は、コーティング装置又はコーティング材料源とも呼ばれる）。

コーティング材料源は、様々な実施形態において、例えば処理領域を通って輸送される少なくとも１つの基板（すなわち、１つの基板又は複数の基板）をコーティングするように構成され得る。例えば、コーティング材料源は、ガス状コーティング材料（材料蒸気）及び／又は液体コーティング材料を提供するように構成され得、これらコーティング材料は、例えば層を形成するために少なくとも１つの基板上に堆積され得る。コーティング材料源は、スパッタリング装置、熱蒸発装置（例えば、レーザービーム蒸発器、アーク蒸発器、電子ビーム蒸発器、及び／又は熱蒸発器）、前駆体ガス源、液相アトマイザーのうちの少なくとも１つを有し得る。スパッタリング装置は、プラズマによってコーティング材料を噴霧するように構成され得る。熱蒸発装置は、熱エネルギーによってコーティング材料を蒸発させるように構成され得る。コーティング材料の性質に応じて、昇華、すなわち、固体状態（固相）から気体状態への熱変化が、熱蒸発、すなわち液体状態（液相）から気体状態（気相）への熱変化の代わりに又はそれに加えて、発生する可能性もある。換言すれば、熱蒸発装置は、コーティング材料を昇華させることもできる。液相アトマイザーは、液相からのコーティング材料、例えば塗料の塗布のために構成され得る。コーティング装置としてのスパッタリング装置について以下で参照する。しかしながら、所与の説明は、他のいくつかの構成のコーティング装置にも同様に適用され得る。

例えば、コーティング材料は、金属；遷移金属；酸化物（例えば、金属酸化物又は遷移金属酸化物）；誘電体；ポリマー（例えば、炭素ベースのポリマー又はシリコンベースのポリマー）；酸窒化物；窒化物；炭化物；セラミック；半金属（例えば、炭素）；ペロブスカイト；ガラス又はガラス状材料（例えば、硫化物ガラス）；半導体；半導体酸化物；半有機材料、及び／又は有機材料のうちの少なくとも１つの材料を有するか、又はそれから形成され得る。

真空装置１８００は、例えば、第１のロード（load）ロック弁１８１６ａと追加の第１のロードロック弁１８２６ｂとの間に配置され得る第２の真空チャンバ１８０４（第１のロードロックチャンバ又は第１のロードロックとも呼ばれる）を有し得る。第１のロードロック弁１８１６ａは、第１のロードロックチャンバを処理チャンバ１８０２に結合することができる。第１のロードロックチャンバ１８０４には、第１の輸送セクション７１１ａの続きを形成する線形コンベヤを配置することができる。

真空装置１８００は、例えば、第３の真空チャンバ１８０６（第２のロードロックチャンバ又は第２のロードロックとも呼ばれる）を有し得、これは、第２のロードロック弁１８１６ｂと追加の第２のロードロック弁１８２６ａとの間に配置され得る。第２のロードロック弁１８１６ｂは、第２のロードロックチャンバを処理チャンバ１８０２に結合することができる。第２のロックチャンバ１８０６には、第２の輸送セクション７１１ｂの続きを形成する線形コンベヤを配置することができる。

上記のように、互いの続きを形成する（すなわち、輸送経路７１１の共通セクションを提供する）少なくとも２つの線形コンベヤが存在し得、ここで、ロードロック弁が２つの線形コンベヤの間に配置される。例示として、２つの線形コンベヤの一方が、処理チャンバ１８０２内に配置され、２つの輸送セクション７１１ａ、７１１ｂのうちの１つを提供し、２つの線形コンベヤの他方が、ロードロックチャンバ内に配置される。２つの線形コンベヤへのこの機能的分離（スループット構成とも呼ばれる）により、これら２つの線形コンベヤ（例えば、その駆動装置）を互いに独立して制御することが容易になり、それによってロードロックチャンバ内の基板キャリアが固定位置に留まり、処理チャンバ１８０２内の基板キャリアが循環式コンベヤ輸送ホイール１００に向けて又はそれから離れる方向に輸送される。これにより、より多数の基板キャリアが周期的に輸送され、これら基板キャリアが循環式コンベヤ輸送ホイール１００の回転サイクルに順序付けられる（すなわち、輸送が同期される）ことが容易になる。

しかしながら、２つのセクション（線形コンベヤセクションとも呼ばれる）を有する線形コンベヤを使用することも可能であり、ロードロック弁は、２つの線形コンベヤセクションの間に配置される。例示として、２つの線形コンベヤセクションの一方が、処理チャンバ１８０２内に配置され、２つの輸送セクション７１１ａ、７１１ｂのうちの１つを提供し、２つの線形コンベヤセクションの他方が、ロードロックチャンバ内に配置される。２つの線形コンベヤセクションの機能ユニット（簡略化構成とも呼ばれる）は、制御が簡素化されるように、これら線形コンベヤセクション（例えば、その駆動装置）が一緒に結合した方式で制御されることを容易にする。しかしながら、この場合に、処理チャンバ１８０２内の基板キャリアが循環式コンベヤ輸送ホイール１００に向けて又はそれから離れる方向に輸送されるときに、基板キャリアをロードロックチャンバ内に配置する必要がない場合がある。

以下では、簡素化構成又はスループット構成を例として参照する。線形コンベヤセクションの所与の説明は、線形コンベヤセクションの代わりに使用される、対応して互いに独立して制御可能な線形コンベヤと同様に自明に適用することができ、逆もまた同様である。

図１９は、様々な実施形態１９００による真空装置１８００を概略平面図で示しており、この真空装置は、実施形態１７００ａによる搬送装置１７００を有しており、２つの線形コンベヤ１７０２が直列に配置される。例えば、第１の輸送セクション７１１ａ及び第２の輸送セクション７１１ｂは、例えば、これらセクションが循環式コンベヤ輸送ホイール１００及び第３の輸送セクション７１１ｃに隣接する場所で、互いに隣接し得る。

これは、第３の輸送セクション７１１ｃが、例えば約２７０°を超える、例えば約３６０°の曲率を有し得るという効果を有する。これは、同様に、処理が実行され得る距離の増大を実現する。

実施形態１７００ｂによる搬送装置１７００について以下で参照する。しかしながら、所与の説明は、他のいくつかの構成の搬送装置１７００にも同様に適用され得る。

図２０は、様々な実施形態２０００による真空装置１８００を概略平面図で示しており、真空装置１８００は、実施形態１７００ｂによる２つの搬送装置１７００を有する。これにより、連結を実現して、より多数の処理装置を有するより大きなアセンブリを形成し、こうして、より大きな層の複雑性及び／又はより大きなスループットを可能にする。

様々な実施形態によれば、ドラムコーティング設備のドラム１００（ドラムコートとも呼ばれる）は、ロボットを使用せずに壁（ドラムのシェル）に接合するキャリアで占められ得る。

キャリアは、処理チャンバを曝気する必要なしに、ドラム１００に個別に巻き取られ、ドラム１００から再び巻き戻してもよい。キャリアは、ロードロックチャンバ１８０４、１８０６を介してドラムに対して接線方向にロードすることができる。これは、一般に、交差又はインライン構成で行うことができる。

キャリアが交差する構成でロードされる場合に、アンロード及びロード時間を節約することがさらに可能であり、その結果、生産時間が増大する。チャンバ曝気の中間工程を省略した場合に、初期スパッタリングの中間工程も省略できる。

図２１は、様々な実施形態２１００による真空装置１８００を概略平面図で示しており、搬送装置は、線形コンベヤ１７０２と循環式コンベヤ輸送ホイール１００との間に配置されたスイッチ２１０２を有する。

スイッチ２１０２は、２つの状態の間で変更されるように構成され得、そのうち、スイッチ２１０２は、第１の状態（第１のスイッチ状態とも呼ばれる）で、循環式コンベヤ輸送ホイール１００に対して位置し、第２の状態（第２のスイッチ状態とも呼ばれる）で、第１のスイッチ状態よりも循環式コンベヤ輸送ホイール１００との間隔（本明細書では距離とも呼ばれる）が大きくなる。

スイッチ状態を（第１のスイッチ状態と第２のスイッチ状態との間で）変更するために、スイッチ２１０２の案内プロファイルは、例えば方向１０５に沿って、又は例えば方向１０５に対して横方向に変位２１０１され得る。スイッチ状態の変更は、例えば、スイッチ２１０２のアクチュエータによって実行され得る。方向１０５に沿った案内プロファイルの変位は、例えば、回転軸線の周りで回転される案内プロファイルによって実行され得る。この目的のために、スイッチ２１０２は、回転軸受けを有することができ、この回転軸受けによって、案内プロファイルが回転可能に取り付けられる。

案内プロファイルは、例えば、レール状キャリア（本明細書では、簡単にするためにレール又は案内レールとも呼ばれる）を有し得る。例えば、案内プロファイルは、以下でより詳細に説明するように、案内プロファイルがレール状片持ち梁として構成されるように、端部セクションに（例えば、回転可能に）取り付けられ得る。案内レールは、輸送経路の一部を提供する細長い本体を意味すると理解され得る。例えば、各案内レールは、プラスチックを有するか、又はそれから形成され得る。これにより摩耗が減少する。

図２２は、様々な実施形態２２００による真空装置１８００を概略斜視図で示しており、この真空装置は、第１の線形コンベヤと循環式コンベヤ輸送ホイール１００との間に第１のスイッチ２１０２と、第２の線形コンベヤと循環式コンベヤ輸送ホイール１００との間に第２のスイッチ２１０２とを有する。スイッチ２１０２は、第２のスイッチ状態（すなわち、開いた状態）で示されている。

スイッチの１つと線形コンベヤの１つを以下で参照し、行われる説明は、いずれの場合にもスイッチと線形コンベヤ（存在する場合に）との両方に適用され得る。

スイッチ２１０２は、２つのレール状片持ち梁２２０２を有し得、その各片持ち梁２２０２は、スイッチ２１０２の伝動装置２２０４（例えば、偏心器、クランクシャフト、又はニーレバーを含む）によって変位され得、且つジョイント２２０６（例えば、回転軸受けを含む）によって取り付けられ得る。スイッチ２１０２を第２のスイッチ状態（スイッチの開放とも呼ばれる）にさせる場合に、２つのレール状片持ち梁２２０２は、互いに離れるように回転され得る。スイッチ２１０２が第１のスイッチ状態に移動する場合に（スイッチの閉鎖とも呼ばれる）、２つのレール状片持ち梁２２０２は、互いに向けて回転することができる。

片持ち梁２２０２は、第１のスイッチ状態で、線形コンベヤ１７０２の上部及び下部案内レール２２１０の続きを形成し、及び／又はこれら案内レール２２１０を輸送経路に沿って循環式コンベヤ輸送ホイール１００に接続することができる。片持ち梁２２０２は、第２のスイッチ状態で、輸送経路を中断することができる。

線形コンベヤ１７０２は、線形コンベヤ１７０２によって保持された基板キャリア４００に並進運動を伝達するための、案内レール２２１０及び１つ又は複数の歯車２２１２（以下の説明も参照）を有し得る。各歯車２２１２は、歯車２２１２を駆動するための駆動装置（例えば、モータ）をさらに有する、線形コンベヤ１７０２の駆動列の一部であり得る。以下でさらに詳細に説明するように、各歯車２２１２は、基板キャリア４００の円筒ピン歯車ラック内にその歯と係合するように配置され得る。

伝動装置を含むスイッチ２１０２が、以下の例として参照される。所与の説明は、他のいくつかの構成のスイッチ２１０２と同様に自明に適用され得る。変速機２２０４は、スイッチのレールの変位を容易にするために、並進運動と回転運動との間の伝達及び／又は変換を可能にする。例えば、真空装置１８００は、動き（例えば、回転運動）を伝動装置２２０４に伝達するように構成された駆動装置（例えば、モータ）を有し得る。スイッチの駆動装置は、例えば、真空チャンバの外側（例えば、大気中）に配置され得、それによってその動きは、真空リードスルー（例えば、回転リードスルー）によって伝動装置に伝達され得る。しかしながら、例えば、駆動装置によって生成された力がスイッチに直接伝達される場合に、伝動装置は基本的に省略してもよい。

図２３は、様々な実施形態２３００による真空装置１８００を概略斜視図で示しており、実施形態２２００のスイッチ２１０２は、第１のスイッチ状態（すなわち、閉じた状態）で示されている。

図２４は、様々な実施形態２４００による真空装置１８００を概略平面図で示しており、実施形態２３００のスイッチ２１０２は、第１のスイッチ状態にある。第１のスイッチ状態では、スイッチ２１０２は、例えばそのレール２２０２を介して、循環式コンベヤ輸送ホイール１００が回転するときに、ローラペア４１０のローラ同士の間のギャップが移動する経路に隣接し得る。

より一般的には、スイッチ２１０２及び基板キャリア４００は、スイッチ２１０２が第１のスイッチ状態にあるときであって、キャリッジが循環式コンベヤ輸送ホイール１００によって輸送されるときに、基板キャリア４００のキャリッジ４０６に係合するように、互いに対して構成され得る。これは、巻き戻しが開始されるという効果を有する。

図２５は、実施形態２４００による真空装置１８００を概略平面図で示しており、循環式コンベヤ輸送ホイール１００は、実施形態２４００に関して後の時点で示され、それによって、循環式コンベヤ輸送ホイールは、ある程度回転している。

係合によって、キャリッジ４０６は、循環式コンベヤ輸送ホイール１００からスイッチ２１０２のレール２２０２に沿って案内されるか、又は第３の輸送セクション７１１ｃから第２の輸送セクション７１１ｂに案内され得る（巻き戻しとも呼ばれる）。こうして、基板キャリア４００は、循環式コンベヤ輸送ホイール１００から切り離される（すなわち、結合解除される）。

反対の輸送方向では、キャリッジ４０６は、スイッチ２１０２が第１のスイッチ状態にあるとき、スイッチ２１０２のレール２２０２から循環式コンベヤ輸送ホイール１００に、又は第２の輸送セクション７１１ｂから第３の輸送セクション７１１ｃに案内され得る（巻き取りとも呼ばれる）。こうして、基板キャリア４００は、循環式コンベヤ輸送ホイール１００に接合される（すなわち、結合される）。

これには、キャリア（基板キャリアとも呼ばれる）が並進運動から回転運動へとドラム上で自動的に案内されるという効果がある。これは、例えば、チャンバを曝気し、ドラムを回転運動から停止させる必要なしに行うことができる。従って、これは流れるようなシーケンスを実現する。

キャリアは、例えばレールシステムによってドラムに案内され、その後、スイッチによってドラムの受容ポイントに接合される。スイッチには、例えば案内レールとして関節ストリップがある。スイッチには、例えば、開閉するためのジョイント及びレセプタクルがある。接合プロセスの後に、コーティングプロセス中にキャリアと一緒にドラムを妨げないように、スイッチを再び開くことができる。

アンロードプロセスを実行するために、スイッチを閉じることができ、キャリアを回転運動から並進運動に強制的に案内して、こうして強制的にアンロードすることができる。

スイッチは、例えば、伝動装置としてクランクドライブ（クランク駆動装置）を有し得る。さらに、回転式リードスルーは安価である。さらに、スイッチを制御するためのセンサ装置（例えば、リミットスイッチを含む）は、真空チャンバの外側に配置することができる。これにより、構造が簡素化される。

円筒ピン歯車ラックと歯車２２１２（円筒ピン歯車とも呼ばれる）との係合が提供される駆動機構について、以下で説明する。

図２６は、様々な実施形態２６００による基板キャリア４００を、円筒ピン歯車ラックの構造を簡素化する概略断面図（輸送方向の図を含む）で示している。

円筒ピン歯車ラックの各ボルト軸５０４は、肩付きねじ（シリンダジャーナルねじとも呼ばれる）によって提供され得る。これにより、構造が簡素化される。肩付きねじは、一方の端部にねじ山があり、反対側の端部にはいわゆる肩部２６０４（ねじ頭）があり、その間に円柱形のセクションが配置される。ナット２６０２は、側壁５１６が肩部２６０４とナット２６０２との間に配置されるようにねじ山にねじ込むことができる。側壁の間に、肩付きねじの円柱形セクションが延びる溝を形成することができる。

例えば、溝及び側壁５１６を提供するＵ字形の梁を使用することができる。

図２７は、様々な実施形態２７００による搬送装置１７００を、簡素化した構造を可能にする概略断面図（輸送方向１１１に対して横方向の図を含む）で示している。

搬送装置１７００の各線形コンベヤ１７０２（例えば、その駆動列）は、歯車２２１２と基板キャリア４００の円筒ピン歯車ラック６５２との互いの係合によって、並進運動を基板キャリア４００に伝達するための１つ又は複数の歯車２２１２を有し得る。搬送装置１７００の各線形コンベヤ１７０２（例えば、その駆動列）は、各歯車２２１２を駆動するための駆動装置２７０６（例えば、モータを含む）をさらに有し得る。駆動装置２７０６は、各歯車２２１２にトルクを供給するように構成され得る。

各歯車２２１２は、その歯を介して、基板キャリア４００の円筒ピン歯車ラック（例えば、そのボルト同士の間）に係合するように配置され得る。

搬送装置１７００は、駆動装置２７０６、例えばそれによるトルク出力を制御するように構成された制御装置２７０４をさらに有し得る。さらに、線形コンベヤ１７０２は、基板キャリア４００の輸送プロセスを検出するように構成された１つ又は複数のセンサ２７０２（輸送センサ２７０２とも呼ばれる）を有し得る。

制御装置２７０４は、輸送センサ２７０２を制御し、その検出した測定変数を入力変数として処理し、これに基づいて、その検出時点での入力変数の状態を表す電気信号を出力変数として提供するように構成され得る。検出は、一般に、光学的、機械的、電気的、及び／又は磁気的に（例えば、誘導的に）行われ得る。

輸送センサ２７０２は、例えば、基板キャリア４００の位置及び／又は速度を表す物理変数を検出するように構成され得る。基板キャリア４００の検出は、一般に、光学的、機械的、電気的及び／又は磁気的に（例えば、誘導的に）行われ得る。例えば、輸送センサ２７０２はまた、機械的検出（例えば、リミットスイッチの方法で）又は電磁的検出のために構成され得る。

あるいは又はさらに、輸送センサ２７０２は、例えば、歯車２２１２の位置及び／又は速度を表す物理的変数を検出するように構成され得る。例えば、輸送センサ２７０２は、駆動装置２７０６の歯車２２１２を駆動するサーボモータの絶対値エンコーダによって提供され得る。駆動装置２７０６は、基板キャリア４００の位置及び／又は速度の代わりに又はそれに加えて、歯車の位置及び／又は速度を検出することを容易にする。しかしながら、代替的に又は追加的に、歯車を、例えば光バリアによって、直接的に、例えば光学的、機械的、電気的、及び／又は磁気的に（例えば、誘導的に）検出することも可能である。その光ビームは回転する歯によって周期的に遮断される。

サーボモータは、そのモータシャフトの角度位置、回転速度、及び／又は加速度を検出するように構成された駆動装置を意味すると理解され得る。サーボモータは、電気モータを有し得、且つ電気モータのモータシャフト（例えば、その角度位置、回転速度、及び／又は加速度）を検出するための輸送センサを有し得る。制御装置（いわゆるサーボコントローラを実装する）は、閉制御ループが実施されるように、電気モータのセンサによって検出した電気モータのモータシャフト（すなわち、その検出状態）に基づいて、及び１つ又は複数の設定値（例えば、モータシャフトの設定角度位置、モータシャフトの設定回転速度、及び／又はモータシャフトの設定加速度）に基づいて、電気モータを制御することができる。

絶対値エンコーダが輸送センサ２７０２として十分である場合に、真空中で追加の輸送センサ２７０２を省くことが可能である。例えば、サーボモータは、真空リードスルーによって歯車に結合することができる。

サーボモータの代わりに又はそれに加えて、電気ステッピングモータを使用することもでき、これにより、センサ装置及び閉制御ループを省くことができる。換言すれば、例えば、駆動装置がステッピングモータを有する場合に、輸送センサ２７０２も省略され得る。

別の例では、輸送センサ２７０２は、基板キャリア４００を検出するように構成され得る。例えば、輸送センサ２７０２は、基板キャリア４００による光ビームの遮断を検出する光バリアを有し得る。輸送センサ２７０２としての光バリアについて、例として以下で参照する。所与の説明は、他のいくつかの構成の輸送センサ２７０２と同様に自明に適用され得る。

光バリアにより、構造が簡素化される。例えば、光バリアは、互いに直接隣接する２つの円筒ピン歯車ラック又は連続して直ぐに輸送される基板キャリア４００同士の間のギャップを検出するように構成され得る。

制御装置２７０４は、センサ２７０２によって検出した輸送プロセス、すなわち輸送プロセスの実際の状態に基づいて、線形コンベヤ１７０２の駆動装置２７０６を制御するように構成され得る。あるいは又はさらに、制御装置２７０４は、センサ２７０２によって検出した輸送プロセス、すなわち輸送プロセスの実際の状態に基づいて、循環式コンベヤ９００の駆動装置を制御するように構成され得る。制御は、例えば、循環式コンベヤ輸送ホイール１００の周速が、線形コンベヤ１７０２によって輸送される基板キャリア４００の輸送速度に対応するように実行され得る。これは、循環式コンベヤ９００によって及び線形コンベヤ１７０２によって輸送を同期させる。

円筒ピン歯車の歯部は、シンプルで信頼性が高く、最も形態フィットする駆動形式を提供する。例えば、円筒ピン歯車の歯部は、キャリアをドラムに接合するプロセス中の滑りエラーを制限する。さらに、円筒ピン歯車ラック（例えば、キャリア）の位置は、サーボモータの絶対値エンコーダによって検出することができる。これにより、真空中に追加のセンサが必ずしも必要とされない場合がある。

各キャリアは、例えば、特定の位置に滑ることなく輸送することができる。測定誤差は、輸送センサ２７０２によって最小化され得る。駆動列は、さらに最小化され得る。円筒ピン歯車の歯部（例えば、その回転軸受け）は、摩耗やすり減りをさらに減らし、粒子による汚染を減らす。

一例では、キャリアは、円筒ピン歯車ラックレールシステムによってドラムに案内され、その後、スイッチによってドラムの受容ポイントに接合される。次に、円筒ピン歯車ラックは、キャリアの一部になる。円筒ピン歯車ラックは、プラスチックで構成された緩い軸受けスリーブを有する。キャリアは、軸受けスリーブ上を転がることができる。ここでは、転がり摩擦と形態フィット駆動とが組み合わされている。あるいは又はさらに、各案内レールは、耐摩耗性プラスチックで構成される。円筒ピン歯車ラックの軸受けスリーブはその上で回転し、摩耗を減らす。

駆動列は、真空回転リードスルーを有することができ、このリードスルーによって、円筒ピン歯車ラックに供給される駆動エネルギーが真空チャンバのチャンバ壁を通って導かれる。さらに、センサ技術は、プロセスに関して確実に、真空チャンバの外側に配置され得る。

図２７に示されるように、線形コンベヤ１７０２は、２つの案内レール（上部レール及び下部レールとも呼ばれる）を有し得、その間で、基板キャリア４００が輸送される。上部レール及び下部レールによって、傾斜作用が抑制されるため、例えば加速等の非常に均一な輸送プロセスを提供することができる。

これは、滑り及び傾斜作用が抑制されるため、キャリアの激しい加速及び高速移動が可能になるという効果がある。さらに、輸送プロセスの開ループ及び／又は閉ループ制御を実施するために複雑なＰＬＣは必要ない。

図２８は、様々な実施形態２８００による真空装置１８００を概略斜視図で示している。真空装置１８００の各線形コンベヤ１７０２の案内レール２２１０は、複数の互いに空間的に分離されたセグメント２８０４（レールセグメントとも呼ばれる）を有し得る。換言すれば、案内レール２２１０は、１つ又は複数の凹部２８０２を有し得る（すなわち、中断され得る）。

例えば、ロードロックチャンバ１８０６、１８０４内の線形コンベヤセクションは、１つ又は複数のレールセグメントを有し得る。あるいは又はさらに、処理チャンバ１８０２内の線形コンベヤセクションは、１つ又は複数のレールセグメントを有し得る。

歯車２２１２は、例えば、各線形コンベヤセクションの互いに直接隣接する２つのセグメント２８０４の間に配置され得る。例えば、歯車２２１２は、凹部２８０２を通って延び得る。あるいは又はさらに、ロードロック弁１８１６ａ、１８１６ｂは、互いに直接隣接する２つの線形コンベヤセクションの間に配置され得る。

図２９は、様々な実施形態２９００による真空装置１８００を、簡素化した構造を示す概略断面図（輸送方向１１１に対して横方向の図を含む）で示している。

真空装置１８００を操作するための方法は、基板キャリア４００を線形コンベヤ１７０２によって循環式コンベヤ輸送ホイール１００に輸送するステップと、基板キャリア４００を循環式コンベヤ輸送ホイール１００に結合するステップとを含むことができる。

基板キャリア４００を循環式コンベヤ輸送ホイール１００に輸送することは、スイッチ２１０２が第１のスイッチ状態に移動され、基板キャリア４００がスイッチ２１０２によって線形コンベヤ１７０２から循環式コンベヤ輸送ホイール１００に移送されることを含み得る。

基板キャリア４００の結合は、循環式コンベヤ輸送ホイール１００のロック装置が第２のロック状態（すなわち、開いた状態）にあるときに、基板キャリア４００の相手側の結合装置が、循環式コンベヤ輸送ホイール１００の結合装置と一緒に接合され（これらが接触することを含む）、基板キャリア４００の相手側の結合装置が循環式コンベヤ輸送ホイール１００の結合装置と一緒に接合されるときに、ロック装置は第１のロック状態（閉じた状態とも呼ばれる）に移動することを含み得る。

基板キャリア４００の相手側の結合装置が循環式コンベヤ輸送ホイール１００の結合装置と一緒に接合されることにより、基板キャリア４００の（これまで自由であった）１つ又は複数の自由度をブロックすることができる。ロック装置が第１のロック状態に移動することにより、基板キャリア４００の（これまでは自由であった）少なくとも１つ又は複数の追加の自由度をブロックすることができる。

図３０は、方法３０００の様々な実施形態による循環式コンベヤ９００を概略平面図で示している。結合装置１０４（例えば、その形態フィット輪郭１０４ｆ及び／又はそのロック装置１１０２）は、基板キャリア４００と係合するときに、回転ジョイントを形成するように構成され得る。換言すれば、基板キャリア４００、例えばそのフレーム４０８には、結合装置１０４が基板キャリア４００の相手側の結合装置と一緒に接合されているとき、及び／又はロック装置１１０２が第１のロック状態にあるときに、少なくとも１つの回転自由度が提供され得る。

これは、支持フレームが結合装置１０４によって片側のみで結合されている場合に、各支持フレーム４０８（又は、各部材）を循環式コンベヤ輸送ホイール１００に対して回転させることができるという効果を有する。フレーム４０８（又は、部材）が互いに反対側で循環式コンベヤ輸送ホイール１００に結合されている場合に、フレーム４０８（又は、部材）のより多くの（例えば、全ての）自由度をブロックすることが可能である。

例えば、基板キャリア４００は、（案内又は結合なしで）一般に３つの並進自由度及び３つの回転自由度を有し得る。さらに、基板キャリア４００は、２つのキャリア部材の間の回転接続毎に１つの追加の自由度（部材の自由度とも呼ばれる）を有し得る（例示として、２つのキャリア部材の間の角度は、変更され得る）。こうして、３つの部材を有する基板キャリア４００は、８自由度を有し得る。

３０１１での基板キャリア４００の端側（最前部）の相手側の結合装置４１４と結合装置１０４との形態フィット接合は、基板キャリア４００の２つの並進自由度及び２つの回転自由度を両側でブロックすることができる。対応するロックが確立される場合に、（循環式コンベヤ輸送ホイール１００から離れる方向の）第３の並進自由度は、両側でブロックされ得る。より一般的には、基板キャリアのより多くの自由度が、ロック装置の第２の状態よりもロック装置の第１の状態でブロックされ得る（例えば、基板キャリアの少なくとも１つの部材の自由度又は１つの並進自由度は一方向で自由である）。

３０１３において、循環式コンベヤ輸送ホイール１００は、基板キャリア４００の次の相手側の結合装置４１４が循環式コンベヤ輸送ホイール１００の結合装置１０４と接触するまで回転され得る。基板キャリア４００の１つの部材の自由度は、３０１３において、基板キャリア４００の次の相手側の結合装置４１４のうちの１つと結合装置１０４との形態フィット接合、及びロックの確立のインスタンス毎にブロックされ得る。これは、基板キャリア４００の後端側の相手側の結合装置４１４が循環式コンベヤ輸送ホイール１００の後端側の結合装置１０４と接触するまで繰り返され得る。

３０１５において、基板キャリア４００の後方の相手側の結合装置４１４と結合装置１０４との形態フィット接合及びロックの確立は、基板キャリア４００の最終部材の自由度をブロックすることができる。

方法３０００のシーケンス３０１１、３０１３、３０１５によって、基板キャリア４００を巻き取ることができる（すなわち、基板キャリアの部材を連続して結合することができる）。シーケンス３０１１、３０１３、３０１５の反対方向では、基板キャリア４００を巻き戻すことができる（すなわち、基板キャリアの部材を連続して結合解除することができる）。

図３１は、方法３１００の様々な実施形態による搬送装置１７００を概略平面図で示している。搬送装置１７００は、調整可能な傾斜路３１０２を有し得る。

傾斜路３１０２は、２つの状態の間で変更できるように構成することができ、その傾斜路３１０２は、第１の状態（第１の傾斜路状態とも呼ばれる）で、循環式コンベヤ輸送ホイール１００の回転中にロック機構１２０２を作動させ３１１１、第２の状態（第２の傾斜路状態とも呼ばれる）で、第１の傾斜路状態よりもロック機構１２０２に対してより大きな間隔（本明細書では距離とも呼ばれる）を有する。例えば、傾斜路３１０２はまた、傾斜可能又は高さ調整可能であるように構成され得る。傾斜路３１０２の（例えば、機械的）調整は、例えば作動要素によって実行され得る。

第１の傾斜路状態（３１０３）では、ロック機構１２０２は、ロックが外されるように作動され得る。第２の傾斜路状態（３１０１）では、ロック機構１２０２は作動されないか、又はロック機構は、循環式コンベヤ輸送ホイール１００の回転中に接触せずに傾斜路を通過し、それによってロックが維持され得る。

傾斜路３１０２の調整及びスイッチ２１０２の調整は、例えば、一緒に行われるか、又は互いに結合されるか、又は同期され得る。

スイッチ２１０２が第２のスイッチ状態にされた場合に（３１０１）、傾斜路３１０２は、第２の傾斜路状態にされ得る。これは、スイッチがローラペア（図示せず）のギャップに係合しない場合に、又は第１の輸送セクション７１１ａ及び／又は第２の輸送セクション７１１ｂが中断された場合に、ロックが維持されるという効果を有する。

スイッチ２１０２が第１のスイッチ状態に移動された場合に（３１０３）、傾斜路３１０２は第１の傾斜路状態に移動され得る。これは、スイッチがローラペア（図示せず）のギャップに係合するか、又は第１の輸送セクション７１１ａ及び／又は第２の輸送セクション７１１ｂが確立される場合に、ロックが外されるという効果を有する。その結果、基板キャリアは巻き戻され得る。反対方向では、巻き取りが行われ得る。

図３２は、様々な実施形態による方法３２００を概略フロー図で示している。

基板キャリアは、輸送方向に、第１の側（第１の端側とも呼ばれる）を有し得、輸送方向の外に、第２の側（第２の端側とも呼ばれる）を有し得る。第１の端側及び第２の端側は、互いに向かい合って配置することができる。

方法３２００は、３２０１において、基板キャリアを、真空中に置かれた循環式コンベヤ輸送ホイールに結合するステップと；３２０５において、基板キャリアを、真空中に置かれた循環式コンベヤ輸送ホイールから結合解除するステップと；を含むことができ、基板キャリアの結合及び結合解除は、基板キャリアの第１の側で始まり、及び／又は基板キャリアの結合及び結合解除は、基板キャリアの第２の側で終了する。

方法３２００は、３２０３において、循環式コンベヤ輸送ホイールに結合された基板キャリアによって運ばれる１つ又は複数の基板を処理するステップを含み得、ここで、循環式コンベヤ輸送ホイールは、処理中に回転される。処理は、例えば、コーティング材料による各基板のコーティングを含み得る。

各基板の処理（例えば、コーティング）は、循環式コンベヤ輸送ホイールの回転あたり１回転の半分以上（例えば、４分の３）に沿って行われ得る。回転は３６０°の回転角に対応し得、ここで回転の半分は１８０°の回転角に対応する。処理は、第３の輸送セクション７１１ｃに沿って行うことができ、これは、１回転あたり１回転の半分以上（１８０°の回転角に対応する）、例えば１回転あたり１回転の３／４以上（２７０°の回転角に対応する）を有する。

一般に、処理は、加温、コーティング、ブラスト、研磨（例えば、洗浄）及び／又は化学的な変化のうちの１つ又は複数を含み得る。処理は、１つ又は複数の処理装置１８１０によって（例えば、１回転毎に）実行され得る。各基板の処理は、連続して、例えば１回転あたり複数回、又は複数回転によって実行され得る。例えば、各基板は、１つ又は複数のコーティング装置によって放出されるガス状コーティング材料を通って輸送され得る。コーティングは、例えば、物理蒸着によって実行され得る。

基板キャリアは、結合前に第１の輸送セクション７１１ａに沿って、及び結合後に第２の輸送セクション７１１ｂに沿って輸送され、又はその逆に輸送され得る。第１の輸送セクション７１１ａ及び第２の輸送セクション７１１ｂは、例えば、長さ、位置、プロファイル、始点及び／又は終点に関して互いに異なっていてもよい。

あるいは又はさらに、第１の輸送セクション７１１ａ及び第２の輸送セクション７１１ｂは、少なくとも１つのポイントで互いに隣接するか、又はそのポイントで互いに交差することができる。

基板キャリアの結合は、本明細書に記載されるように、基板キャリアの複数の部材の連続的な結合（巻き取りとも呼ばれる）を含み得る。基板キャリアの結合解除は、本明細書に記載されるように、基板キャリアの複数の部材の連続的な結合解除（巻き戻しとも呼ばれる）を含み得る。

基板キャリアの結合は、（例えば、ロック装置を閉じることによる）基板キャリアの循環式コンベヤ輸送ホイールへの結合をロックすることを含み得る。基板キャリアの結合解除は、（例えば、ロック装置を開くことによる）基板キャリアの循環式コンベヤ輸送ホイールへの結合のロックを外すことを含み得る。

基板キャリアの結合解除及び／又は基板キャリアの結合は、循環式コンベヤ輸送ホイールが回転している間及び／又は真空中に行われ得る。

基板キャリアの結合解除は、別の基板キャリアの結合の後又は前に、例えば循環式コンベヤ輸送ホイールが１回転する前に実行され得る。

図３３は、様々な実施形態による方法３３００を概略フロー図で示している。方法３３００は、３３０１において、輸送経路に沿った案内プロファイルによって基板キャリアを案内するステップと；３０３３において、歯部によって、基板キャリアの送り運動を生成する（換言すれば、輸送運動を行う）ステップと；を含み得る。

真空装置及び方法の例示的な値を以下に述べる：同時に結合することができる基板キャリアは、２４である（これは、数２４を分割可能な約数が多いという利点を有する。従って、８×３のキャリアを一緒に配置することが可能である）；基板キャリアの結合／結合解除の時間：１２個の基板キャリアの場合に約１２分；コーティングウィンドウ：約６５０ｍｍ（ミリメートル）×３６０ｍｍ（高さ×幅）；循環式コンベヤ輸送ホイールの設置面積：約４１００ｍｍ×６２００ｍｍ×２８００ｍｍ（長さ×直径×高さ）；循環式コンベヤ輸送ホイールの回転速度範囲：約１０〜１００回転／分（ｒｐｍ）；コーティング時間：約１００回転、これは１００ｒｐｍで０．０２５秒／基板キャリア又は１／４０秒に相当する；１００ｒｐｍでの循環式コンベヤ輸送ホイール上の基板キャリアの速度が約８８６ｍ／分である。

以下に、上記の説明及び図中の図に関連する様々な例を説明する。

実施例１は、循環式コンベヤ輸送ホイールであり、この循環式コンベヤ輸送ホイールは、循環式コンベヤ輸送ホイールを回転可能に取り付けることができるフレームワーク（例えば、置台、キャリア、及び／又はシャーシ）と；フレームワーク（例えば、置台、キャリア及び／又はシャーシ）の外周に（例えば、それに沿って及び／又はその上に）配置された複数の（例えば、３つ以上の）結合装置と；を有しており、その各結合装置のそれぞれが、（例えば、基板キャリアの形態フィット結合のために）基板キャリア（４００）を形態フィット方式で結合する少なくとも１つの形態フィット輪郭（本明細書では締り嵌め輪郭とも呼ばれる）を有しており、複数の結合装置は結合装置のペアを有しており、その形態フィット輪郭は、ペアのすぐ隣に配置された（本明細書では直接隣接とも呼ばれる）複数の結合装置の形態フィット輪郭よりも、周囲の（例えば方向）に沿って（例えば、周囲の経路上に投影される）互いにより小さな間隔（例えば、間隔なし）を有し、例えば、ペアの形態フィット輪郭は、例えば互いに隣接する（例えば、経路に沿って間隔がない）周囲の（例えば方向）に沿って互いに対してオフセットして（例えば、横方向に）配置され（つまり、周囲に沿ったパスの互いに反対側にある）、例えば、各ペアは、複数の結合装置の複数の（multiple）（例えば等距離の）第１の結合装置のうちの第１の結合装置と、複数の結合装置の複数の（例えば等距離の）第２の結合装置のうちの第２の結合装置とを有する。

実施例２は、（例えば、実施例１による）循環式コンベヤ輸送ホイールであり、この循環式コンベヤ輸送ホイールは、循環式コンベヤ輸送ホイールを回転可能に取り付けることができるフレームワーク（例えば、置台、キャリア、及び／又はシャーシ）と；フレームワーク（例えば、置台、キャリア、及び／又はシャーシ）の外周に（例えば、それに沿って及び／又はその上に）配置された複数の結合装置と；を有しており、その結合装置のそれぞれが、基板キャリアの形態フィット結合のために少なくとも１つ（例えば、２つ）の形態フィット輪郭を有しており、複数の結合装置は、例えば、それぞれの場合において周囲の（例えば方向）に沿って（例えば周囲上に投影される、例えば周囲の経路上に投影される）互いに間隔を有する複数の第１の結合装置を有しており、複数の結合装置は、少なくとも１つの第２の結合装置を有し、その形態フィット輪郭に対して、複数の第１の結合装置の（例えば、第２の結合装置とペアを形成する）形態フィット輪郭は、周囲に直接隣接する第１の結合装置（例えば、その形態フィット輪郭）よりも、周囲の（例えば方向）に沿って（例えば周囲上に投影される、例えば経路上に投影される）より小さな間隔（例えば、間隔なし）を有する。

例えば、複数の結合装置は、結合装置のペアを含み、結合装置のペアの各結合装置は、形態フィット輪郭を含み、結合装置のペアの形態フィット輪郭同士の間の距離は、結合装置のペアの形態フィット輪郭と、結合装置のペアのすぐ隣に配置された複数の結合の（例えば、それぞれの）形態フィット輪郭との間の（例えば、最小の）距離未満である。

実施例３は、実施例１又は２による循環式コンベヤ輸送ホイールであり、形態フィット輪郭のそれぞれは、突起部又は切欠きによって提供される。

実施例４は、実施例１乃至３のいずれかによる循環式コンベヤ輸送ホイールであり、複数の結合装置は、結合装置の複数のペアを有しており、各ペアの形態フィット輪郭は、複数のペアの間に配置された複数の結合装置の形態フィット輪郭よりも、周囲の（例えば方向）に沿って互いに小さい間隔を有しており、及び／又はその間に複数の等距離の結合装置が配置される。

実施例５は、実施例１乃至４のいずれかによる循環式コンベヤ輸送ホイールであり、少なくとも１つの第２の結合装置は、複数の第２の結合装置を有しており、例えば、その各第２の結合装置は、複数の第１の結合装置（例えば、その形態フィット輪郭）が互いに有するよりも、複数の第１の結合装置のうちの１つの形態フィット輪郭に対してより小さな間隔を有する形態フィット輪郭を有する。

実施例６は、実施例１乃至５のいずれかによる循環式コンベヤ輸送ホイールであり、複数の第２の結合装置の数は、複数の第１の結合装置の数よりも少ない。

実施例７は、実施例６による循環式コンベヤ輸送ホイールであり、周囲に沿った複数の第２の結合装置の互いの間隔は、複数の第１の結合装置の互いの間隔よりも大きい；及び／又はそれぞれの場合において、複数の第２の結合装置の互いに直接隣接する結合装置は、互いに実質的に同じ間隔を有する（すなわち、これらは等距離である）。

実施例８は、実施例１乃至７のいずれかによる循環式コンベヤ輸送ホイールであり、各第２の結合装置の形態フィット輪郭は、第１の結合装置の形態フィット輪郭よりも、周囲の（例えば方向）に沿った複数の第１の結合装置の第１の結合装置の形態フィット輪郭に対してより小さな間隔を有しており、及び第１の結合装置に直接隣接する複数の第１の結合装置のそれらの結合装置は、互いに有している。

実施例９は、実施例１乃至８のいずれかによる循環式コンベヤ輸送ホイールであり、少なくとも１つの第２の結合装置の形態フィット輪郭は、周囲の（例えば方向）に関して、複数の第１の結合装置のうちの１つの結合装置の形態フィット輪郭に隣接して配置される。

実施例１０は、実施例１乃至９のいずれかによる循環式コンベヤ輸送ホイールであり、少なくとも１つの第２の結合装置の形態フィット輪郭は、複数の第１の結合装置のうちの１つの結合装置の２つの形態フィット輪郭の間に配置される。

実施例１１は、実施例１乃至１０のいずれかによる循環式コンベヤ輸送ホイールであり、それぞれの場合において、複数の第１の結合装置の互いに直接隣接する結合装置は、互いに実質的に同じ間隔を有する（すなわち、これらは等距離である）。

実施例１２は、実施例１乃至１１のいずれかによる循環式コンベヤ輸送ホイールであり、複数の結合装置の形態フィット輪郭がシリンダに隣接しており、そのシリンダ軸線は、例えば、循環式コンベヤ輸送ホイールの回転軸線上に配置される。

実施例１３は、実施例１乃至１２のいずれかによる循環式コンベヤ輸送ホイールであり、複数の結合装置は複数のグループを有しており、その各グループは、正確に、１つの第２の結合装置及び複数の第１の結合装置を有する。

実施例１４は、実施例１乃至１３のいずれかによる循環式コンベヤ輸送ホイールであり、フレームワーク（例えば、置台、キャリア、及び／又はシャーシ）は、循環式コンベヤ輸送ホイールの回転軸線に対して前後に配置される第１の平面及び第２の平面を有しており、少なくとも１つ（例えば、２つ）の形態フィット輪郭は、第１の平面に第１の形態フィット輪郭と、第２の平面に第２の形態フィット輪郭とを有する。

実施例１５は、実施例１乃至１４のいずれかによる循環式コンベヤ輸送ホイールであり、複数の第１の結合装置の形態フィット輪郭は、互いに等距離に配置される；及び／又は複数の第２の結合装置の形態フィット輪郭は、互いに等距離に配置される。

実施例１６は、実施例１乃至１５のいずれかによる循環式コンベヤ輸送ホイールであり、フレームワーク（例えば、置台、キャリア、及び／又はシャーシ）は、回転軸線の周りに回転可能なように循環式コンベヤ輸送ホイールを取り付けることができるハブを有する。

実施例１７は、実施例１６による循環式コンベヤ輸送ホイールであり、ハブは、回転軸線を提供するアキシャル軸受けを有する。

実施例１８は、実施例１乃至１７のいずれかによる循環式コンベヤ輸送ホイールであり、複数の結合装置は、ハブ及び／又は循環式コンベヤ輸送ホイールの回転軸線の周りに配置される。

実施例１９は、実施例１乃至１８のいずれかによる循環式コンベヤ輸送ホイールであり、複数の結合装置のそれぞれの形態フィット輪郭は、シリンダ表面（例えば、円形シリンダ又は放物線シリンダ）のセグメントによって提供される。

実施例２０は、実施例１乃至１９のいずれかによる循環式コンベヤ輸送ホイールであり、複数の結合装置のそれぞれの形態フィット輪郭は、回転面のセグメントによって提供される。

実施例２１は、実施例１乃至２０のいずれかによる循環式コンベヤ輸送ホイールであり、循環式コンベヤ輸送ホイールの動作中の回転速度は、毎分約１０回転（ｒｐｍ）〜毎分約１００回転の範囲である。

実施例２２は、実施例１乃至２１のいずれかによる循環式コンベヤ輸送ホイールであり、循環式コンベヤ輸送ホイールの動作中の周速は、毎分約８０ｍ（メートル）〜毎分約９００ｍの範囲である。

実施例２３は、実施例１乃至２２のいずれかによる循環式コンベヤ輸送ホイールであり、少なくとも１つの形態フィット輪郭は、基板キャリアと係合して、回転ジョイントを提供するように構成される。

実施例２４は、実施例１乃至２３のいずれかによる循環式コンベヤ輸送ホイールであり、少なくとも１つの形態フィット輪郭は、循環式コンベヤ輸送ホイールの回転軸線に向けて、又は回転軸線から離れる方向に湾曲している。

実施例２５は、実施例１乃至２４のいずれかによる循環式コンベヤ輸送ホイールであり、複数の結合装置のそれぞれの少なくとも１つの形態フィット輪郭は、互いに向けて、又は互いに離れる方向に湾曲している。

実施例２６は、実施例１乃至２５のいずれかによる循環式コンベヤ輸送ホイールであり、複数の結合装置のそれぞれが、形態フィット輪郭を提供するフォーク又はボルトを有する。

実施例２７は、実施例１乃至２６のいずれかによる循環式コンベヤ輸送ホイールであり、複数の結合装置のそれぞれが、第１の状態及び第２の状態になり得る（例えば、切り替え及び／又は変更され得る）ロック装置を有しており、第１の状態では、基板キャリアへの形態フィット結合がロックされ、第２の状態では、ロックが外され、例えば、ロックが外される（例えば、取り外される及び／又は逆にされる）ときよりもロックが確立されるときに、結合のより多くの自由度がブロックされ、例えば、ロック装置は、結合をロックするためのブラケットを有する。

実施例２８は、実施例２７による循環式コンベヤ輸送ホイールであり、複数の結合装置のそれぞれは、ロック機構がその重力とは反対に作動されるときに、ロック装置を第２の状態に移動させ、及び／又は重力によってロック装置を第１の状態に移動させるように構成されたロック機構を有する。

実施例２９は、実施例２８による循環式コンベヤ輸送ホイールであり、ロック機構は、循環式コンベヤ輸送ホイールの回転運動によって作動されるように構成される。

実施例３０は、実施例２７乃至２９のいずれかによる循環式コンベヤ輸送ホイールであり、複数の結合装置（例えば、そのロック装置及び／又はそのロック機構）のそれぞれは、ロック装置が互いに独立して第１の状態又は第２の状態にあることができるように構成される。

実施例３１は、実施例１乃至３０のいずれかによる循環式コンベヤ輸送ホイールと；循環式コンベヤ輸送ホイールが回転可能に取り付けられる軸受け装置と；を有する循環式コンベヤ（例えば、循環式コンベヤ）である。

実施例３２は、実施例３１による循環式コンベヤであり、循環式コンベヤ輸送ホイールは、周囲に沿って湾曲して延びる輸送経路を提供する。

実施例３３は、実施例３１又は３２による循環式コンベヤであり、循環式コンベヤ輸送ホイールは、回転軸線の周りに回転可能であるように取り付けられており、回転軸線は重力方向に沿って延びる。

実施例３４は、実施例３１乃至３３のいずれかによる循環式コンベヤであり、１つ又は複数の基板を運ぶための少なくとも１つの基板キャリアをさらに有しており、少なくとも１つの基板キャリアは、例えば、実施例５０乃至７４のいずれかに従って構成される。

実施例３５は、搬送装置であり、この搬送装置は、実施例３１乃至３４のいずれかによる循環式コンベヤ；循環式コンベヤ輸送ホイールに向かう輸送経路を提供するための第１の線形コンベヤ；及び／又は循環式コンベヤ輸送ホイールから離れる方向に輸送経路を提供するための第２の線形コンベヤ；を有しており、第１の線形コンベヤ及び／又は第２の線形コンベヤは、実施例７６乃至８７のいずれかに従って構成される。

実施例３６は、実施例３５による搬送装置であり、輸送経路は、循環式コンベヤ輸送ホイールによって第１の線形コンベヤから第２の線形コンベヤに迂回される。

実施例３７は、実施例３５又は３６による搬送装置であり、循環式コンベヤ輸送ホイールの周囲は、第１の線形コンベヤ及び／又は第２の線形コンベヤよりも大きい長さを有する。

実施例３８は、実施例３５乃至３７のいずれかによる搬送装置であり、第１の線形コンベヤ及び／又は第２の線形コンベヤによって生成される並進運動と、循環式コンベヤ輸送ホイールの回転運動とを互いに同期させる同期機構をさらに有する。

実施例３９は、実施例３５乃至３８のいずれかによる搬送装置であり、輸送経路は、横方向に（例えば、交差するように）延びる（例えば、延びる）。

実施例４０は、実施例３５乃至３９のいずれかによる搬送装置であり、搬送装置は、輸送経路に沿った双方向輸送のために構成される。

実施例４１は、実施例３５乃至４０のいずれかによる搬送装置であり、２つの状態の間で変更され得る少なくとも１つのスイッチをさらに有しており、そのスイッチは、第１の状態において、循環式コンベヤ輸送ホイールに向かう又はそれから離れる方向の輸送経路のセクションを提供し、第２の状態において、輸送経路のセクションを遮断し、少なくとも１つのスイッチは、案内レールを有する。

実施例４２は、実施例４１による搬送装置であり、少なくとも１つのスイッチは、第１の線形コンベヤと循環式コンベヤ輸送ホイールとの間に配置される第１のスイッチを有し、及び／又は少なくとも１つのスイッチは、第２の線形コンベヤと循環式コンベヤ輸送ホイールとの間に配置される第２のスイッチを有する。

実施例４３は、実施例４１又は４２による搬送装置であり、少なくとも１つのスイッチは、作動機構を有しており、この作動機構は、少なくとも１つのスイッチの第１の状態で、循環式コンベヤ輸送ホイールのロック機構を作動させるように構成され、作動機構は、例えば、エレベーション（例えば、傾斜路）を有する。

実施例４４は、実施例４１乃至４３のいずれかによる搬送装置であり、少なくとも１つのスイッチの案内レールは、片持ち梁を有する。

実施例４５は、実施例４１乃至４４のいずれかによる搬送装置であり、ジョイントをさらに有しており、ジョイントによって、少なくとも１つのスイッチの案内レールが回転軸線の周りで回転可能であるように取り付けられ、スイッチの回転軸線は、循環式コンベヤ輸送ホイールの回転軸線に対して横方向である。

実施例４６は、実施例４１乃至４５のいずれかによる搬送装置であり、少なくとも１つのスイッチの案内レールに動きを伝達するように構成された伝動装置をさらに有しており、伝動装置は、例えば、真空リードスルーを有する。

実施例４７は、真空装置であり、この真空装置は、実施例３５乃至４６のいずれかによる搬送装置と；循環式コンベヤ搬送ホイール、基板キャリア、及び／又は線形コンベヤが配置される真空チャンバと；を有する。

実施例４８は、実施例４７による真空装置であり、循環式コンベヤ輸送ホイールの周りに配置された複数のコーティング装置をさらに有する。

実施例４９は、実施例４７又は４８による真空装置であり、真空チャンバは、（例えば、チャンバカバーとして構成される）チャンバ壁を有しており、真空チャンバは、例えば、チャンバカバー及び真空チャンバが一緒に接合されたときに密閉されるチャンバ開口部を有しており、チャンバカバーは、オプションで、コーティング装置のうちの１つが収容されるハウジングを有する。

実施例５０は、基板キャリアであり、この基板キャリアは、回転接続（例えば、ヒンジ）によって（例えば、ペアワイズ方式で）互いに接続される複数の部材と；基板キャリアの互いに反対側（例えば、上部及び下部）に配置され、且つ輸送経路に沿って基板キャリアを案内するのに役立つ２つのキャリッジと；を有する。

実施例５１は、基板キャリア（例えば、実施例５０による基板キャリア）であり、複数の結合装置（相手側の結合装置とも呼ばれる）をさらに有しており、例えば、その相手側の各結合装置は、循環式コンベヤ輸送ホイールの複数の結合装置のうちの結合装置に結合されるように構成される。

実施例５２は、実施例５０又は５１による基板キャリアであり、２つのキャリッジのうちの少なくとも１つ（つまり、１つ又は複数）が、複数の駆動歯を有しており、及び／又は、例えば、２つのキャリッジのうちの少なくとも１つ（つまり、１つ又は複数）は、例えば、複数の駆動歯を有する歯付きラック（例えば、円筒ピン歯車ラック）を有する。

実施例５３は、実施例５０乃至５２のいずれかによる基板キャリアであり、２つのキャリッジ（例えば、基板キャリアの各キャリッジ）のうちの少なくとも１つ（例えば、２つ又はそれぞれ）が、複数のボルト（例えば、駆動歯を提供する）を有しており、各ボルトには、例えば回転軸受けがある。

実施例５４は、実施例５０乃至５３のいずれかによる基板キャリアであり、複数の相手側の結合装置のそれぞれが、２つのキャリッジの間に配置された形態フィット輪郭を有する。

実施例５５は、実施例５０乃至５４のいずれかによる基板キャリアであり、複数の結合装置の２つの形態フィット輪郭が、基板キャリアの輸送経路に沿って互いに対して、例えば互いに隣接して、オフセット（例えば、千鳥及び／又は変位）して配置され、２つの形態フィット輪郭は、例えば、輸送経路の互いに反対側に配置される。

実施例５６は、実施例５０乃至５５のいずれかによる基板キャリアであり、複数の相手側の結合装置のそれぞれの少なくとも１つの形態フィット輪郭は、基板キャリアの片側に配置され、例えば、軸回転式接続の回転軸線が、その片側（側面）に配置される。

実施例５７は、実施例５０乃至５６のいずれかによる基板キャリアであり、それぞれの場合において、複数の相手側の結合装置は、基板キャリアの輸送経路に沿って（例えば、ペアワイズ方式で）互いに間隔を空ける。

実施例５８は、実施例５０乃至５７のいずれかによる基板キャリアであり、複数の相手側の結合装置は、基板キャリアの輸送経路に沿って互いに等距離になるように構成される。

実施例５９は、実施例５０乃至５８のいずれかによる基板キャリアであり、複数の相手側の結合装置は、少なくとも１つの第１の相手側の結合装置及び少なくとも１つの第２の相手側の結合装置を有しており、その形態フィット輪郭は、基板キャリアの輸送経路に対して横方向に互いにオフセットして配置され（例えば、形態フィット輪郭は、輸送経路に対して横方向に配置され、形態フィット輪郭の間の領域への投影において、互いに隣接して配置される）、及び／又はその形態フィット輪郭は、基板キャリアの輸送経路に対して横方向に（ある方向に沿って）互いに間隔を空ける。

実施例６０は、実施例５９による基板キャリアであり、少なくとも１つの第２の相手側の結合装置は、基板キャリアの互いに反対側の端側に配置された２つの第２の相手側の結合装置を有する。

実施例６１は、実施例５０乃至６０のいずれかによる基板キャリアであり、２つのキャリッジ（例えば、基板キャリアの各キャリッジ）のうちの少なくとも１つ（例えば、２つ又はそれぞれ）が、回転可能に取り付けられるローラの１つ又は複数のペアを有しており、そのローラの回転軸線（例えば、互いに平行に向き合わせされる）は、互いに隣接して配置され、ギャップが、例えば、ローラ同士の間又はその回転軸線の間に形成され、例えば、ローラ又はその回転軸線は、回転軸線に対して横方向に沿った、互いの間隔を有する。

実施例６２は、実施例５０乃至６１のいずれかによる基板キャリアであり、輸送経路に沿った第１の範囲及び輸送経路に対して横方向の第２の範囲をさらに有しており、第１の範囲及び第２の範囲は実質的に等しい（例は、互いに２０％未満しかずれていない）。

実施例６３は、実施例５０乃至６２のいずれかによる基板キャリアであり、複数の部材のそれぞれは、フレームと、それに固定された基板保持装置とを有する。

実施例６４は、実施例５０乃至６３のいずれかによる基板キャリアであり、複数の部材の第１の部材は、第１の部材の互いに反対側（例えば、上部及び下部）に配置された２つのキャリッジを有する。

実施例６５は、実施例５０乃至６４のいずれかによる基板キャリアであり、複数の部材の第２の部材は、第２の部材の互いに反対側（例えば、上部及び下部）に配置された２つの追加のキャリッジを有する。

実施例６６は、実施例５０乃至６５のいずれかによる基板キャリアであり、複数の相手側の結合装置は、部材毎に、１つの相手側の結合装置を有し、且つ少なくとも１つの追加の相手側の結合装置を有する。

実施例６７は、実施例５０乃至６６のいずれかによる基板キャリアであり、２つの部材を互いに結合する各回転接続は、ヒンジを有するか、又はヒンジから形成される。

実施例６８は、実施例６７による基板キャリアであり、ヒンジは、互いに空間的に分離した複数のヒンジセグメントを有する。

実施例６９は、実施例５０乃至６８のいずれかによる基板キャリアであり、各回転接続（例えば、ヒンジセグメントのそれぞれ）が、複数の相手側の結合装置のうちの１つを支持するヒンジピンを有する。

実施例７０は、実施例５０乃至６９のいずれかによる基板キャリアであり、複数の相手側の結合装置のそれぞれは、形態フィット輪郭を提供するボルト又はフォークを有する。

実施例７１は、実施例７０による基板キャリアであり、ボルトは、例えば１０°以下（例えば、３°）の角度でテーパが付けられる。

実施例７２は、実施例５０乃至７１のいずれかによる基板キャリアであり、１つ又はそれぞれの回転接続は、突出し、且つ複数の相手側の結合装置のうちの１つを提供するボルトを有する。

実施例７３は、実施例５０乃至７２のいずれかによる基板キャリアであり、相手側の結合装置のそれぞれは、回転軸受けを有しており、その回転軸受けによって、形態フィット輪郭が回転可能に取り付けられる。

実施例７４は、実施例５０乃至７３のいずれかによる基板キャリアであり、基板キャリアの長さが、循環式コンベヤ輸送ホイールの周囲の１／１０未満であり、例えば循環式コンベヤ輸送ホイールの周囲の１／２０未満であり、例えば循環式コンベヤ輸送ホイールの周囲の１／２６未満である。

実施例７５は、真空装置であり、この真空装置は、実施例５０乃至７４のいずれかによる基板キャリアと、基板キャリアが配置される真空チャンバとを有する。

実施例７６は、線形コンベヤであり、この線形コンベヤは、（例えば、実施例５０乃至７４のいずれかによる）基板キャリアの輸送経路を提供する細長い案内プロファイルであって、その複数の本体は、案内プロファイル上に配置され且つ回転可能に取り付けられ、その各本体は、基板キャリアとの歯部（例えば、インターロック及び／又は伝動装置）を形成するための複数の駆動歯を有する、案内プロファイルと；複数の本体のそれぞれにトルクを伝達するための駆動装置であって、例えば、その駆動歯が、同じサイクルタイミングで（換言すれば、同じ周波数で）案内プロファイルを通過する、駆動装置と；を有する。

実施例７７は、実施例７６による線形コンベヤであり、本体は、複数の駆動歯の歯幅に関して対応している（同じ／一致である）。

実施例７８は、実施例７６又は７７による線形コンベヤであり、本体は、直径及び／又は周囲に関して対応している。

実施例７９は、実施例７６乃至７８のいずれかによる線形コンベヤであり、本体は、直径ピッチ（歯ピッチをｐｉで割ったものに対応する）又は歯ピッチ（２つの隣接する歯の間隔にも対応し、周囲ピッチと呼ばれ、例えば歯あたりの周囲の一部で測定される）に関して対応する。

実施例８０は、実施例７６又は７９による線形コンベヤであり、本体は、ピッチ円直径及び／又はローリング円直径に関して対応する。

実施例８１は、実施例７６乃至８０のいずれかによる線形コンベヤであり、本体は、複数の駆動歯の数に関して対応している。

実施例８２は、実施例７６乃至８１のいずれかによる線形コンベヤであり、複数の本体のそれぞれが歯車を有する。

実施例８３は、実施例７６乃至８２のいずれかによる線形コンベヤであり、複数の物体のそれぞれは、例えば、複数の歯の数に対応する対称性の順序で、回転対称である。

実施例８４は、実施例７６乃至８３のいずれかによる線形コンベヤであり、複数の本体のそれぞれが、案内プロファイル及び／又は輸送経路に沿って（例えば平行に）延びる直線に隣接している。

実施例８５は、実施例７６乃至８４のいずれかによる線形コンベヤであり、案内プロファイルは２つのセグメントを有し、その間に複数の本体のうちの１つが配置される。

実施例８６は、実施例７６乃至８５のいずれかによる線形コンベヤであり、複数の本体は、輸送経路に沿った投影において互いに重なり合う。

実施例８７は、実施例７６乃至８６のいずれかによる線形コンベヤであり、案内プロファイルを有するレールガイドをさらに有する。

実施例８８は、真空チャンバと、真空チャンバ内に配置された実施例７６乃至８７のいずれかによる線形コンベヤとを有する真空装置である。

実施例８９は、方法であり、この方法は、基板キャリア（例えば、実施例５０乃至７４のいずれかに従って構成される）を、真空中に置かれた循環式コンベヤ輸送ホイール（例えば、実施例１乃至３０のいずれかに従って構成される）に結合するステップ（例えば、輸送ホイール上で基板キャリアを巻き上げることを含む）と；及び／又は真空中に置かれた循環式コンベヤ輸送ホイールから基板キャリアを結合解除するステップ（例えば、輸送ホイールからの基板キャリアの展開を含む）と；を含み、結合及び結合解除（例えば、巻き上げ及び展開）は、例えば、基板キャリアの同じ側で始まり、基板キャリアは、例えば、回転接続によって互いに結合される部材を有する。

実施例９０は、（例えば、実施例８９による）方法であり、この方法は、輸送経路に沿った線形コンベヤの（例えば、細長い）案内プロファイルによって、基板キャリア（例えば、実施例５０乃至７４のいずれかに従って構成される）を案内するステップと；線形コンベヤと基板キャリアとの間の歯部（例えば、円筒ピン歯車の歯部）によって基板キャリアの送り運動を生成するステップと；を含み、歯部（例えば、インターロック及び／又は伝動装置）は、例えば、基板キャリアと案内プロファイルを有する線形コンベヤ（例えば、実施例７６乃至８７のいずれかに従って構成される）との間に提供され、例えば、送り運動の生成は、基板キャリアの循環式コンベヤ輸送ホイール上への結合又は循環式コンベヤ輸送ホイール（例えば、実施例１乃至３０のいずれかに従って構成される）からの基板キャリアの結合解除を含む。

実施例９１は、実施例８９又は９０による方法であり、基板キャリアは、結合前及び／又は結合解除後に輸送経路の異なるセクションに輸送され、例えば、輸送経路の異なるセクションは、互いに対して角度を有する及び／又は互いに交差する。

実施例９２は、実施例８９乃至９１のいずれかによる方法であり、結合前の輸送は、循環式コンベヤ輸送ホイールに向けて行われ、結合解除後の輸送は、循環式コンベヤ輸送ホイールから離れる方向に行われる。

実施例９３は、実施例８９乃至９２のいずれかによる方法であり、循環式コンベヤ輸送ホイールに結合された基板キャリアによって運ばれる１つ又は複数の基板の処理（例えば、コーティング材料によるコーティング）をさらに含み、循環式コンベヤ輸送ホイールは処理中に回転し、基板の処理（例えば、コーティング）は、循環式コンベヤ輸送ホイールの１回転あたりの回転の半分以上（例えば、３／４）に沿って行われる。

実施例９４は、実施例８９乃至９３のいずれかによる方法であり、基板キャリアの結合は、基板キャリアの複数の部材の連続した結合を含む。

実施例９５は、実施例８９乃至９４のいずれかによる方法であり、基板キャリアの結合は、基板キャリアの循環式コンベヤ輸送ホイールへの結合のロックを含む。

実施例９６は、実施例８９乃至９５のいずれかによる方法であり、循環式コンベヤ輸送ホイールは、基板キャリアの結合解除及び／又は基板キャリアの結合中に回転する。

実施例９７は、実施例８９乃至９６のいずれかによる方法であり、基板キャリアの結合解除は、基板キャリアの循環式コンベヤ輸送ホイールへの結合のロックの解除（例えば、取り外し及び／又は反転）を含む。

実施例９８は、実施例８９乃至９７のいずれかによる方法であり、例えば重力に沿って向き合わせされた回転軸線の周りに回転可能であるように循環式コンベヤ輸送ホイールが取り付けられる。

Claims (18)

1. 循環式コンベヤ輸送ホイール（１００）であって、当該循環式コンベヤ輸送ホイールは、
   当該循環式コンベヤ輸送ホイール（１００）を回転可能に取り付けることができるフレームワーク（１０２）と、
   該フレームワーク（１０２）の外周に沿って配置された複数の結合装置（１０４）と、を含み、
   その各結合装置が、基板キャリア（４００）を形態フィット方式で結合するための少なくとも１つの形態フィット輪郭（１０４ｆ）を含み、前記複数の結合装置（１０４）は、結合装置（１０４）のペア（３０２）を含み、前記結合装置のペアの前記形態フィット輪郭同士の間の周囲に沿った距離が、前記結合装置のペアの前記形態フィット輪郭と、該ペア（３０２）のすぐ隣に配置された、前記複数の結合装置（１０４）の前記形態フィット輪郭との間の前記周囲に沿った距離よりも小さい、
   循環式コンベヤ輸送ホイール（１００）。
2. 前記形態フィット輪郭（１０４ｆ）は、それぞれ、切欠きによって提供される、請求項１に記載の循環式コンベヤ輸送ホイール（１００）。
3. 前記複数の結合装置（１０４）は、結合装置（１０４）の複数のペア（３０２）を含み、各ペアの前記形態フィット輪郭は、前記複数のペア（３０２）の間に配置された、前記複数の結合装置（１０４）の前記形態フィット輪郭よりも、前記周囲上に投影された、互いの間により小さな距離を含む、請求項１又は２に記載の循環式コンベヤ輸送ホイール（１００）。
4. 前記ペア（３０２）の前記形態フィット輪郭（１０４ｆ）は、前記周囲に沿って互いに対してオフセットして配置される、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の循環式コンベヤ輸送ホイール（１００）。
5. 前記結合装置（１０４）のそれぞれが、第１の状態と第２の状態との間で切り替えることができるロック装置（１１０２）を有しており、
   前記第１の状態では、前記基板キャリア（４００）への形態フィット結合によってロックされ、前記第２の状態では、前記ロックは解除される、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の循環式コンベヤ輸送ホイール（１００）。
6. 循環式コンベヤ（９００）であって、当該循環式コンベヤは、
   請求項１乃至５のいずれか一項に記載の循環式コンベヤ輸送ホイール（１００）と、
   該循環式コンベヤ輸送ホイール（１００）を回転可能に取り付ける軸受け装置と、を含む、
   循環式コンベヤ（９００）。
7. １つ又は複数の基板を運ぶための少なくとも１つの基板キャリア（４００）をさらに含み、
   該少なくとも１つの基板キャリア（４００）は、複数の相手側の結合装置（４１４）を含み、該結合装置のそれぞれが、前記複数の結合装置（１０４）のうちの結合装置に結合されるように構成される、請求項６に記載の循環式コンベヤ（９００）。
8. 前記少なくとも１つの基板キャリア（４００）は、円筒ピン歯車（lantern-gear）ラック（６５２）を有する、請求項７に記載の循環式コンベヤ（９００）。
9. 搬送装置（１７００）であって、当該搬送装置は、
   請求項７又は８に記載される循環式コンベヤ（９００）と、
   前記循環式コンベヤ輸送ホイール（１００）に向かう輸送経路（１１１）を提供する第１の線形コンベヤ（１７０２）と、を含む、
   搬送装置（１７００）。
10. 前記循環式コンベヤ輸送ホイール（１００）から離れる方向の輸送経路を提供する第２の線形コンベヤ（１７０２）をさらに含み、
    前記循環式コンベヤ輸送ホイール（１００）によって、前記輸送経路（１００）は、前記第１の線形コンベヤ（１７０２）から前記第２の線形コンベヤ（１７０２）に迂回される、請求項９に記載の搬送装置（１７００）。
11. 前記第１の線形コンベヤ（１７０２）及び／又は第２の線形コンベヤ（１７０２）は、前記輸送経路に沿って輸送運動を行うための複数の歯車を含む、請求項９又は１０に記載の搬送装置（１７００）。
12. 前記輸送経路は横方向に延びる、請求項９乃至１１のいずれか一項に記載の搬送装置（１７００）。
13. 真空装置（１８００）であって、当該真空装置は、
    請求項９乃至１２のいずれかに記載される搬送装置（１７００）と、
    前記循環式コンベヤ輸送ホイール（１００）が配置される真空チャンバ（１８０２）と、を含む、
    真空装置（１８００）。
14. 基板キャリア（４００）であって、当該基板キャリアは、
    回転式接続部（４０４）によって互いに接続される複数の部材（４０２）と、
    当該基板キャリア（４００）を輸送経路（１１１）に沿って案内するために、当該基板キャリア（４００）の互いに反対側に配置された２つのキャリッジ（４０６）と、
    複数の結合装置（４１４）であって、各結合装置が、２つのキャリッジ（４０６）の間に配置された少なくとも１つの形態フィット輪郭を含む、前記複数の結合装置（４１４）と、を含み、
    前記複数の結合装置（１０４）の２つの形態フィット輪郭（１０４ｆ）が、基板キャリア（４００）の前記輸送経路に沿って互いに対してオフセットして配置される、
    基板キャリア（４００）。
15. 方法（３２００）であって、当該方法は、
    基板キャリア（４００）を、真空中に置かれた循環式コンベヤ輸送ホイール（１００）に結合するステップ（３２０１）と、
    前記真空中に置かれた前記循環式コンベヤ輸送ホイール（１００）から前記基板キャリア（４００）を結合解除するステップ（３２０５）と、を含み、
    前記結合するステップ及び前記結合解除するステップは、前記基板キャリア（４００）の同じ側で始まる、
    方法（３２００）。
16. 線形コンベヤ（１７０２）であって、当該線形コンベヤは、
    基板キャリア（４００）の輸送経路（１１１）を提供する細長い案内プロファイル（２２１０）と、
    該案内プロファイル（２２１０）上に配置され且つ回転可能に取り付けられた複数の本体（２２１２）であって、各本体（２２１２）が前記基板キャリア（４００）との歯部を形成するための複数の駆動歯を有する、前記複数の本体（２２１２）と、
    該複数の本体（２２１２）のそれぞれにトルクを伝達するための駆動装置（２７０６）と、を含む、
    線形コンベヤ（１７０２）。
17. 基板キャリア（４００）であって、当該基板キャリアは、
    回転式接続部（４０４）によって互いに接続される複数の部材（４０２）と、
    当該基板キャリア（４００）を輸送経路（１００）に沿って案内するために、当該基板キャリア（４００）の互いに反対側に配置された２つのキャリッジ（４０６）と、を含み、
    該２つのキャリッジ（４０６）の少なくとも１つは、複数の駆動歯を含む、
    基板キャリア（４００）。
18. 方法（３３００）であって、当該方法は、
    輸送経路に沿った線形コンベヤ（１７０２）の案内プロファイル（２２１０）によって基板キャリア（４００）を案内するステップ（３３０１）と、
    前記線形コンベヤ（１７０２）と基板キャリア（４００）との間の歯部によって、前記基板キャリア（４００）の輸送運動を行うステップ（３３０３）と、を含む、
    方法（３３００）。
    
    
    
    

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