JP2020001893A - 真空処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】環状の搬送経路を有する真空処理装置において、基板搬入搬出機構と基板保持器搬送機構との間で基板保持器の受け渡しを行う際の搬送経路に対し直交する方向に関する位置ずれを簡素で且つ廉価な構成で防止することができる技術を提供する。【解決手段】真空槽２内に鉛直面に対する投影形状が一連の環状となるように形成され基板保持器を搬送する搬送経路を有する。一対の被駆動軸１２とそれぞれ接触して駆動することにより基板保持器１１を搬送経路に沿う方向に搬送し、基板搬入搬出機構６と基板保持器搬送機構３との間で基板保持器１１の受け渡しを行う基板保持器受け渡し機構７を設ける。基板保持器受け渡し機構７は、基板搬入搬出機構６と基板保持器搬送機構３との間で基板保持器１１の受け渡しを行う際に搬送経路に対してそれぞれ直交する方向に関して位置決めを行う一対の位置決め部を有する。【選択図】 図２

Description

本発明は、真空中で基板上に成膜等の真空処理を行う真空処理装置の技術に関し、特に複数の基板を保持した基板保持器を移動させながら処理を行う通過型の真空処理装置の技術に関する。

従来、複数の被処理基板をトレイ等の基板保持器に載置して通過しながら成膜等の処理を行う真空処理装置が知られており、近年では、環状の搬送経路を有する真空処理装置も提案されている。

図２３は、従来技術に係る真空処理装置の全体を示す概略構成図である。
図２３に示すように、この真空処理装置１０１は、真空排気装置１０１ａに接続された単一の真空雰囲気が形成される真空槽１０２を有している。
真空槽１０２の内部には、基板（図示せず）を保持する基板保持器１１１を搬送経路に沿って複数連続して搬送する基板保持器搬送機構１０３が設けられている。

ここで、基板保持器搬送機構１０３は、回転軸線を平行にした状態で所定距離をおいて配置された一対の駆動輪１３１、１３２に一連の搬送駆動部材１３３が架け渡された構造体が所定の距離をおいて平行に配置され、これにより鉛直面に対して一連の環状となる搬送経路が形成されている。

基板保持器搬送機構１０３には、基板保持器１１１を導入する基板保持器導入部１３０Ａと、基板保持器１１１を折り返して搬送する搬送折り返し部１３０Ｂと、基板保持器１１１を排出する基板保持器排出部１３０Ｃが設けられている。

真空槽１０２内には、基板保持器搬送機構１０３の上部に第１の処理領域１０４が設けられるとともに基板保持器搬送機構１０３の下部に第２の処理領域１０５が設けられ、搬送駆動部材１３３の上側の往路側搬送部１３３ａが、第１の処理領域１０４を直線的に第１の搬送方向Ｐ１に沿って通過するように構成され、下側の復路側搬送部１３３ｃが、第２の処理領域１０５を直線的に第２の搬送方向Ｐ２に沿って通過するように構成されている。

そして、基板保持器搬送機構１０３の搬送折り返し部１３０Ｂの近傍には、基板保持器１１１を上下関係を維持した状態で第１の搬送方向Ｐ１から第２の搬送方向Ｐ２へ方向転換する方向転換機構１４０が設けられている。

一方、真空槽１０２内の基板保持器搬送機構１０３の駆動輪１３１に隣接する位置には、基板搬入搬出機構１０６が設けられている。

この基板搬入搬出機構１０６は、昇降機構１６０によって鉛直上下方向に駆動される駆動ロッド１６１の先（上）端部に設けられた支持部１６２を有し、この支持部１６２上に設けられた搬送ロボット１６４上に上述した基板保持器１１１を支持して基板保持器１１１を鉛直上下方向に移動させる。

そして、この搬送ロボット１６４を用い、基板搬入搬出機構１０６から基板保持器搬送機構１０３の基板保持器導入部１３０Ａに対して基板保持器１１１を受け渡し、かつ、基板保持器搬送機構１０３の基板保持器排出部１３０Ｃから排出される基板保持器１１１を基板搬入搬出機構１０６で受け取るように構成されている。

ところで、このような従来技術では、構成の簡素化とコストダウンを達成したいという要望がある。

このような要望に応えるためには、例えば基板保持器搬送機構１０３と基板搬入搬出機構１０６との間で基板保持器１１１の受け渡しを行うための複雑・高価な搬送ロボット１６４の代わりに構成が簡素で廉価な直線駆動機構を用いるという考えもある。

しかし、基板保持器搬送機構１０３と基板搬入搬出機構１０６との間で基板保持器１１１の受け渡しを行う際に直線駆動機構を用いると、基板保持器搬送機構１０３の搬送経路に対して直交する方向に関して位置ずれが発生するという問題がある。

ＷＯ２０１７−１０４８２６

本発明は、このような従来の技術の課題を考慮してなされたもので、その目的とするところは、環状の搬送経路を有する真空処理装置において、基板搬入搬出機構と基板保持器搬送機構との間で基板保持器の受け渡しを行う際の搬送経路に対し直交する方向に関する位置ずれを簡素で且つ廉価な構成で防止することができる技術を提供することにある。

上記目的を達成するためになされた本発明は、単一の真空雰囲気が形成される真空槽と、前記真空槽内に設けられ、基板保持器に保持された基板上に所定の真空処理を行う第１及び第２の処理領域と、前記真空槽内に設けられ、鉛直面に対する投影形状が一連の環状となるように形成され、前記基板保持器を搬送する搬送経路と、前記搬送経路に対してそれぞれ直交する方向に延びる一対の被駆動部が両側部に設けられた複数の前記基板保持器を、当該一対の被駆動部とそれぞれ接触して当該基板保持器を前記搬送経路に沿って搬送する複数の駆動部を有する基板保持器搬送機構と、基板を保持した前記基板保持器を支持する支持部を有し、前記基板保持器を前記支持部に支持して前記真空槽内に搬入し且つ前記真空槽外に搬出するように構成された基板搬入搬出機構と、前記一対の被駆動部とそれぞれ接触して駆動することにより前記基板保持器を前記搬送経路に沿う方向に搬送し、前記基板搬入搬出機構と前記基板保持器搬送機構との間で当該基板保持器の受け渡しを行う基板保持器受け渡し機構とを有し、前記基板保持器受け渡し機構は、前記基板搬入搬出機構と前記基板保持器搬送機構との間で前記基板保持器の受け渡しを行う際に前記搬送経路に対してそれぞれ直交する方向に関して位置決めを行う一対の位置決め部を有する真空処理装置である。
本発明は、前記基板保持器受け渡し機構は、前記基板保持器搬送機構から排出される基板保持器を前記基板搬入搬出機構の支持部に受け渡す基板保持器排出機構を有する真空処理装置である。
本発明は、前記基板保持器受け渡し機構は、前記基板搬入搬出機構の支持部に支持された基板保持器を前記基板保持器搬送機構の基板保持器導入部に導入する基板保持器導入機構を更に有する真空処理装置である。
本発明は、前記基板保持器受け渡し機構は、同一構成の一対の駆動機構部を有し、当該一対の駆動機構部が前記基板保持器の一対の被駆動部とそれぞれ接触して駆動することにより当該基板保持器を搬送するように構成されている真空処理装置である。
本発明は、前記基板保持器受け渡し機構の一対の位置決め部は、前記基板保持器の一対の被駆動部の端部間の距離より若干大きい間隔で設けられた位置決め規制部をそれぞれ有する真空処理装置である。
本発明は、前記基板保持器受け渡し機構の一対の位置決め部の少なくとも一方に、当該搬送方向に対して前記位置決め規制部側に傾斜させたテーパ状の案内部が設けられている真空処理装置である。
本発明は、前記基板保持器受け渡し機構の一対の位置決め部は、鉛直方向に延びる回転軸を中心として水平面内において回転可能なローラ状の位置決め部材を有し、当該ローラ状の位置決め部材の側面を前記位置決め規制部として位置決めを行うように構成されている真空処理装置である。
本発明は、前記基板保持器は、前記搬送経路に対して直交する方向に複数の処理対象基板を並べて保持するように構成されている真空処理装置である。

本発明においては、一対の被駆動部とそれぞれ接触して駆動することにより基板保持器を搬送経路に沿う方向に搬送し、基板搬入搬出機構と基板保持器搬送機構との間で基板保持器の受け渡しを行う基板保持器受け渡し機構を有し、基板搬入搬出機構と基板保持器搬送機構との間で基板保持器の受け渡しを行う際に位置決め部によって搬送経路に対してそれぞれ直交する方向に関して位置決めを行うようにしたことから、基板搬入搬出機構と基板保持器搬送機構との間で基板保持器の受け渡しを行う際の搬送経路に対し直交する方向に関する位置ずれを補正してその値を抑えることができる。

また、本発明によれば、基板保持器の一対の被駆動部とそれぞれ接触して駆動することにより基板保持器の搬送を行う構成のものであるから、従来技術のように複雑で高価な搬送ロボットを用いる場合と比較して構成の簡素化及びコストダウンを図ることができる。

一方、本発明において、基板保持器搬送機構から排出される基板保持器を基板搬入搬出機構の支持部に受け渡す基板保持器排出機構に上記位置決め部を設けることにより、基板搬入搬出機構による基板保持器の排出動作にリンクして位置ずれの補正を比較的ゆっくりと行うことができるので、位置ずれの補正を高精度で行うことができる。

この場合、基板搬入搬出機構の支持部に支持された基板保持器を基板保持器搬送機構の基板保持器導入部に導入する基板保持器導入機構にも上記位置決め部を設けるようにすれば、基板保持器の排出及び導入の際の両方の動作において搬送経路に対し直交する方向に関する位置ずれを補正してその値を最小限に抑えることができる。

本発明に係る真空処理装置の実施の形態の全体を示す概略構成図 同真空処理装置の仕込み取出部を示す平面図 （ａ）（ｂ）：本実施の形態における基板保持器搬送機構及び方向転換機構の基本構成を示すもので、図３（ａ）は平面図、図３（ｂ）は正面図 （ａ）：本実施の形態に用いる基板保持器受け渡し機構の駆動機構部の構成例を示す平面図、（ｂ）：同基板保持器受け渡し機構の駆動機構部の構成例を示す正面図 （ａ）（ｂ）：本実施の形態における基板保持器の排出動作を示す説明図（その１） 本実施の形態における基板保持器の排出動作を示す説明図（その２） 本実施の形態における基板保持器の排出動作を示す説明図（その３） 本実施の形態における基板保持器の排出動作を示す説明図（その４） 本実施の形態における基板保持器の排出動作を示す説明図（その５） 本実施の形態における基板保持器の排出動作を示す説明図（その６） （ａ）〜（ｄ）：本実施の形態における基板保持器の排出動作を示す説明図（その７） 本実施の形態における基板保持器の排出動作を示す説明図（その８） （ａ）〜（ｃ）：本実施の形態における基板保持器の排出動作を示す説明図（その９） 本実施の形態における基板保持器の導入動作を示す説明図（その１） （ａ）〜（ｄ）：本実施の形態における基板保持器の導入動作を示す説明図（その２） 本実施の形態における基板保持器の導入動作を示す説明図（その３） 本実施の形態における基板保持器の導入動作を示す説明図（その４） 本実施の形態における基板保持器の導入動作を示す説明図（その５） 本実施の形態における基板保持器の導入動作を示す説明図（その６） 本実施の形態における基板保持器の導入動作を示す説明図（その７） （ａ）〜（ｃ）：本実施の形態における基板保持器の導入動作を示す説明図（その８） （ａ）（ｂ）：本実施の形態における基板保持器の導入動作を示す説明図（その９） 従来技術に係る真空処理装置の全体を示す概略構成図 （ａ）：本発明に用いる基板保持器受け渡し機構の駆動機構部の他の構成例を示す平面図であり、（ｂ）：同基板保持器受け渡し機構の駆動機構部の他の構成例を示す正面図 本構成例における基板保持器の排出動作を示す説明図（その１） 本構成例における基板保持器の排出動作を示す説明図（その２） 本構成例における基板保持器の排出動作を示す説明図（その３） 本構成例における基板保持器の排出動作を示す説明図（その４） （ａ）〜（ｄ）：本構成例における基板保持器の排出動作を示す説明図（その５） 本構成例における基板保持器の排出動作を示す説明図（その６） （ａ）〜（ｄ）：本構成例における基板保持器の導入動作を示す説明図（その１） 本構成例における基板保持器の導入動作を示す説明図（その２） 本構成例における基板保持器の導入動作を示す説明図（その３） 本構成例における基板保持器の導入動作を示す説明図（その４） 本構成例における基板保持器の導入動作を示す説明図（その５） （ａ）〜（ｃ）：本構成例における基板保持器の導入動作を示す説明図（その６）

以下、本発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。

図１は、本発明に係る真空処理装置の実施の形態の全体を示す概略構成図、図２は、同真空処理装置の仕込み取出部を示す平面図である。

また、図３（ａ）（ｂ）は、本実施の形態における基板保持器搬送機構及び方向転換機構の基本構成を示すもので、図３（ａ）は平面図、図３（ｂ）は正面図である。

図１に示すように、本実施の形態の真空処理装置１は、真空排気装置１ａに接続された単一の真空雰囲気が形成される真空槽２を有している。

真空槽２の内部には、後述する基板保持器１１を搬送経路に沿って搬送する基板保持器搬送機構３が設けられている。

この基板保持器搬送機構３は、基板１０を保持する複数の基板保持器１１を連続して搬送するように構成されている。

ここで、基板保持器搬送機構３は、例えばスプロケット等からなり駆動機構（図示せず）から回転駆動力が伝達されて動作する同一径の円形の第１及び第２の駆動輪３１、３２を有し、これら第１及び第２の駆動輪３１、３２が、それぞれの回転軸線を平行にした状態で所定距離をおいて配置されている。

そして、第１及び第２の駆動輪３１、３２には例えばチェーン等からなる一連の搬送駆動部材３３が架け渡されている。

さらに、第１及び第２の駆動輪３１、３２に搬送駆動部材３３が架け渡された構造体が所定の距離をおいて平行に配置され、これら一対の搬送駆動部材３３により鉛直面に対して一連の環状となる搬送経路が形成されている。

本実施の形態では、搬送経路を構成する搬送駆動部材３３のうち上側の部分に、第１の駆動輪３１から第２の駆動輪３２に向って移動して基板保持器１１を第１の搬送方向Ｐ１に搬送する往路側搬送部（第１の搬送部）３３ａが形成されるとともに、第２の駆動輪３２の周囲の部分の搬送駆動部材３３によって基板保持器１１の搬送方向を折り返して反対方向に転換する折り返し部３３ｂが形成され、さらに、搬送駆動部材３３のうち下側の部分に、第２の駆動輪３２から第１の駆動輪３１に向って移動して基板保持器１１を第２の搬送方向Ｐ２に搬送する復路側搬送部（第２の搬送部）３３ｃが形成されている。

本実施の形態の基板保持器搬送機構３は、各搬送駆動部材３３の上側に位置する往路側搬送部３３ａと、各搬送駆動部材３３の下側に位置する復路側搬送部３３ｃとがそれぞれ対向し、鉛直方向に関して重なるように構成されている。

また、基板保持器搬送機構３には、基板保持器１１を導入する基板保持器導入部３０Ａと、基板保持器１１を折り返して搬送する搬送折り返し部３０Ｂと、基板保持器１１を排出する基板保持器排出部３０Ｃが設けられている。

ここで、搬送折り返し部３０Ｂの近傍には、後述する方向転換機構４０が設けられている。

真空槽２内には、第１及び第２の処理領域４、５が設けられている。

本実施の形態では、真空槽２内において、基板保持器搬送機構３の上部に、例えばスパッタ源４Ｔを有する第１の処理領域４が設けられ、基板保持器搬送機構３の下部に、例えばスパッタ源５Ｔを有する第２の処理領域５が設けられている。

本実施の形態では、上述した搬送駆動部材３３の往路側搬送部３３ａが、上記第１の処理領域４を直線的に水平方向に通過するように構成され、復路側搬送部３３ｃが、上記第２の処理領域５を直線的に水平方向に通過するように構成されている。

そして、搬送経路を構成するこれら搬送駆動部材３３の往路側搬送部３３ａ及び復路側搬送部３３ｃを基板保持器１１が通過する場合に、基板保持器１１に保持された複数の基板１０（図３（ａ）参照）が水平状態で搬送されるようになっている。

真空槽２内の基板保持器搬送機構３の近傍の位置、例えば第１の駆動輪３１に隣接する位置には、基板１０を搬出及び搬入し、さらに基板保持器搬送機構３との間で基板保持器１１を受け渡すための基板搬入搬出機構６が設けられている。

本実施の形態の基板搬入搬出機構６は、昇降機構６０によって例えば鉛直上下方向に駆動される駆動ロッド６１の先（上）端部に設けられた支持部６２を有している。

本実施の形態では、基板搬入搬出機構６の近傍に、基板保持器導入機構７Ａ及び基板保持器排出機構７Ｂを有する基板保持器受け渡し機構７が設けられ、後述するように、基板搬入搬出機構６の支持部６２と基板保持器搬送機構３との間で基板保持器１１を受け渡すように構成されている。

この場合、基板搬入搬出機構６の支持部６２は、その上昇及び下降により、基板搬入搬出機構６から基板保持器搬送機構３の往路側搬送部３３ａの基板保持器導入部３０Ａに基板保持器１１を導入する位置に配置され（この位置を「基板保持器導入位置」という。）、かつ、基板保持器搬送機構３の復路側搬送部３３ｃの基板保持器排出部３０Ｃから基板保持器１１を排出する位置に配置される（この位置を「基板保持器排出位置」という。）ように構成されている。

真空槽２の例えば上部には、真空槽２内に基板１０を搬入し且つ真空槽２から基板１０を搬出するための基板搬入搬出室２Ａが設けられている。

この基板搬入搬出室２Ａは、例えば上述した基板搬入搬出機構６の支持部６２の上方の位置に連通口２Ｂを介して設けられており、例えば基板搬入搬出室２Ａの上部には、開閉可能な蓋部２ａが設けられている。

そして、例えば基板搬入搬出室２Ａ内に搬入された基板１０を基板搬入搬出機構６の支持部６２上に載置された基板保持器１１によって保持し、かつ、基板搬入搬出機構６の支持部６２上の基板１０を保持した基板保持器１１を基板搬入搬出室２Ａを介して真空槽２の外部の例えば大気中に搬出するように構成されている。

なお、基板搬入搬出機構６の支持部６２の上部の縁部には、基板１０を搬入及び搬出する際に基板搬入搬出室２Ａと真空槽２内の雰囲気を隔離するための例えばＯリング等のシール部材（図示せず）が設けられている。

この場合、基板搬入搬出機構６の支持部６２を基板搬入搬出室２Ａ側に向って上昇させ、支持部６２上のシール部材を真空槽２の内壁に密着させて連通口２Ｂを塞ぐことにより、真空槽２内の雰囲気に対して基板搬入搬出室２Ａ内の雰囲気を隔離するように構成されている。

図１及び図２に示すように、本実施の形態の基板保持器受け渡し機構７は、基板保持器導入機構７Ａが真空槽２内の上部に設けられ、基板保持器排出機構７Ｂが真空槽２内の下部に設けられている。

基板保持器導入機構７Ａは、真空槽２内の基板搬入搬出機構６の一方の側方側の壁部で基板保持器導入位置に水平に設けられたレールに沿ってスライダ７ｓを第１及び第２の搬送方向Ｐ１、Ｐ２に移動するように構成された一対の直線駆動機構７ａを有している。

一方、基板保持器排出機構７Ｂは、真空槽２内の基板搬入搬出機構６の他方の側方側の壁部で基板保持器排出位置に水平に設けられたレールに沿ってスライダ７ｓを第１及び第２の搬送方向Ｐ１、Ｐ２に移動するように構成された一対の直線駆動機構７ｂを有している。

なお、本実施の形態の場合、対となる直線駆動機構７ａ及び７ｂ、スライダ７ｓ、基板保持器導入機構７Ａ及び基板保持器排出機構７Ｂは、それぞれ同一の基本構成を有している。

図３（ａ）（ｂ）に示すように、本実施の形態の基板保持器搬送機構３の一対の搬送駆動部材３３には、それぞれ所定の間隔をおいて複数の第１の駆動部３６が搬送駆動部材３３の外方側に突出するように設けられている。

第１の駆動部３６は、例えばＪフック形状（搬送方向下流側の突部の高さが搬送方向上流側の突部の高さより低くなるような溝部が形成された形状）に形成され、以下に説明する基板保持器支持機構１８によって支持された基板保持器１１の後述する第１の被駆動軸１２と接触して当該基板保持器１１を第１又は第２の搬送方向Ｐ１、Ｐ２に駆動するように構成されている。

一対の搬送駆動部材３３の内側には、搬送する基板保持器１１を支持する一対の基板保持器支持機構１８が設けられている。

基板保持器支持機構１８は、例えば複数のローラ等の回転可能な部材からなるもので、それぞれ搬送駆動部材３３の近傍に設けられている。

本実施の形態では、搬送駆動部材３３の往路側搬送部３３ａの上方近傍に往路側基板保持器支持機構１８ａが設けられるとともに、搬送駆動部材３３の復路側搬送部３３ｃの下方近傍に復路側基板保持器支持機構１８ｃが設けられ、搬送される基板保持器１１の下面の両縁部を支持するように配置構成されている。

なお、基板保持器支持機構１８のうち、往路側基板保持器支持機構１８ａは、基板搬入搬出機構６の近傍から後述する方向転換機構４０の第１の方向転換経路５１に向って設けられ、復路側基板保持器支持機構１８ｃは、後述する方向転換機構４０の第２の方向転換経路５２の排出口から基板搬入搬出機構６に向って設けられている（図２及び図３（ａ）（ｂ）参照）。

本実施の形態に用いる基板保持器１１は、基板１０の両面上に真空処理を行うためのもので、開口部を有するトレイ状のものからなる。

図２及び図３（ａ）に示すように、本実施の形態の基板保持器１１は、例えば長尺矩形の平板状に形成され、その長手方向即ち第１及び第２の搬送方向Ｐ１、Ｐ２に対して直交する方向に例えば矩形状の複数の基板１０を一列に並べてそれぞれ保持する複数の保持部１４が設けられている。

ここで、各保持部１４には、各基板１０と同等の大きさ及び形状で各基板１０の両面が全面的に露出する例えば矩形状の開口部が設けられ、図示しない保持部材によって各基板１０を保持するように構成されている。

一方、基板保持器１１の搬送方向の両側部、すなわち、基板保持器１１の長手方向の両端部で第２の搬送方向Ｐ２側の端部に第１の被駆動軸（第１の被駆動部）１２がそれぞれ設けられ、また、第１の搬送方向Ｐ１側の端部に第２の被駆動軸（第２の被駆動部）１３がそれぞれ設けられている。

これら第１及び第２の被駆動軸１２、１３は、それぞれ基板保持器１１の長手方向に延びる回転軸線を中心として断面円形状に形成されている。

なお、本実施の形態では、第２の被駆動軸１３の長さが第１の被駆動軸１２の長さより長くなるようにその寸法が定められている。

具体的には、図３（ａ）に示すように、基板保持器１１を基板保持器搬送機構３に配置した場合に基板保持器１１の両側部の第１の被駆動軸１２が基板保持器搬送機構３の第１の駆動部３６と接触し、かつ、基板保持器１１を方向転換機構４０に配置した場合に第２の被駆動軸１３が後述する第２の駆動部４６と接触するように第１及び第２の被駆動軸１２、１３の寸法が定められている。

図３（ａ）（ｂ）に示すように、一対の搬送駆動部材３３の第１の搬送方向Ｐ１側には、同一構成の一対の方向転換機構４０が設けられている。

本実施の形態の場合、一対の方向転換機構４０は、それぞれ第１及び第２の搬送方向Ｐ１、Ｐ２に関して一対の搬送駆動部材３３の外側の位置に配置されている。

また、これら一対の方向転換機構４０は、それぞれ第２の搬送方向Ｐ２側の部分が各搬送駆動部材３３の第１の搬送方向Ｐ１側の部分と若干重なるように設けられている。

本実施の形態の方向転換機構４０は、第１のガイド部材４１、第２のガイド部材４２、第３のガイド部材４３を有し、これら第１〜第３のガイド部材４１〜４３は、第１の搬送方向Ｐ１側にこの順で配置されている。

本実施の形態では、第１〜第３のガイド部材４１〜４３は、一対の搬送駆動部材３３の外側近傍の位置にそれぞれ配置され、さらに、第１〜第３のガイド部材４１〜４３の外側近傍の位置に、後述する搬送駆動部材４５がそれぞれ配置されている。

なお、図３（ｂ）では、方向転換機構４０の一部を省略するとともに、部材の重なり関係を無視して搬送方向についての部材間の位置関係が明確になるように示されている。

図３（ａ）に示すように、第１〜第３のガイド部材４１〜４３は、例えば板状の部材からなり、それぞれ鉛直方向に向けて設けられている。

ここで、第１のガイド部材４１の第１の搬送方向Ｐ１側の部分は、第１の搬送方向Ｐ１側に向って凸となる曲面形状に形成され、また、第２のガイド部材４２の第２の搬送方向Ｐ２側の部分は、第１の搬送方向Ｐ１側に向って凹となる曲面形状に形成されている。

第１及び第２のガイド部材４１、４２は、第１のガイド部材４１の第１の搬送方向Ｐ１側の部分と第２のガイド部材４２の第２の搬送方向Ｐ２側の部分が同等の曲面形状に形成され、これらの部分が基板保持器１１の第１の被駆動軸１２の直径より若干大きな隙間を設けて対向するように近接配置されている。そして、この隙間によって基板保持器１１の第１の被駆動軸１２を案内する第１の方向転換経路５１が設けられている。

また、第２のガイド部材４２の第１の搬送方向Ｐ１側の部分は、第１の搬送方向Ｐ１側に向って凸となる曲面形状に形成され、また、第３のガイド部材４３の第２の搬送方向Ｐ２側の部分は、第２の搬送方向Ｐ２側に向って凹となる曲面形状に形成されている。

第２及び第３のガイド部材４２、４３は、第２のガイド部材４２の第１の搬送方向Ｐ１側の部分と第３のガイド部材４３の第２の搬送方向Ｐ２側の部分が同等の曲面形状に形成され、これらの部分が基板保持器１１の第２の被駆動軸１３の直径より若干大きな隙間を設けて対向するように近接配置されている。そして、この隙間によって基板保持器１１の第２の被駆動軸１３を案内する第２の方向転換経路５２が設けられている。

本実施の形態では、第２のガイド部材４２の第１の搬送方向Ｐ１側の部分が、第１のガイド部材４１の第１の搬送方向Ｐ１側の部分と同等の曲面形状に形成され、さらに、第３のガイド部材４３の第２の搬送方向Ｐ２側の部分が、第２のガイド部材４２の第２の搬送方向Ｐ２側の部分と同等の曲面形状に形成されている。

そして、このような構成により、第１の方向転換経路５１と第２の方向転換経路５２とが同等の曲面形状に形成されている。

さらに、本実施の形態では、第１及び第２の方向転換経路５１、５２の各部分の水平方向についての距離が、基板保持器１１の第１及び第２の被駆動軸１２、１３の間の距離と同等となるようにその寸法が定められている。

また、本実施の形態では、第１の方向転換経路５１の上側の開口部が基板保持器１１の第１の被駆動軸１２の進入口となっており、その高さ位置が、往路側基板保持器支持機構１８ａに支持された基板保持器１１の第２の被駆動軸１３の高さ位置より低い位置となるように構成されている（図３（ｂ）参照）。

さらに、第１の方向転換経路５１の下側の開口部が基板保持器１１の第１の被駆動軸１２の排出口となっており、その高さ位置が、復路側基板保持器支持機構１８ｃに支持された基板保持器１１の第２の被駆動軸１３の高さ位置より高い位置となるように構成されている（図３（ｂ）参照）。

また、第２の方向転換経路５２については、その上側の開口部が基板保持器１１の第２の被駆動軸１３の進入口となっており、その高さ位置が、往路側基板保持器支持機構１８ａに支持された基板保持器１１の第２の被駆動軸１３の高さ位置と同等の位置となるように構成されている（図３（ｂ）参照）。

一方、第２の方向転換経路５２の下側の開口部が基板保持器１１の第２の被駆動軸１３の排出口となっており、その高さ位置が、復路側基板保持器支持機構１８ｃに支持された基板保持器１１の第２の被駆動軸１３の高さ位置と同等の位置となるように構成されている（図３（ｂ）参照）。

本実施の形態の方向転換機構４０は、例えば一対のスプロケットと、これら一対のスプロケットに架け渡されたチェーンからなる搬送駆動部材４５を有し、この搬送駆動部材４５は鉛直面に対して一連の環状となるように構成されている。

この搬送駆動部材４５は、その折り返し部分の曲率半径が、基板保持器搬送機構３の搬送駆動部材３３の折り返し部３３ｂの曲率半径と同等となるように構成されている。

また、搬送駆動部材４５の上側の部分が第１の搬送方向Ｐ１に移動し、下側の部分が第２の搬送方向Ｐ２に移動するように駆動される。

搬送駆動部材４５には、所定の間隔をおいて複数の第２の駆動部４６が搬送駆動部材４５の外方側に突出するように設けられている。

第２の駆動部４６は、搬送駆動部材４５の外方側の部分に凹部が形成され、この凹部の縁部が基板保持器１１の第２の被駆動軸１３と接触して当該基板保持器１１を第２の方向転換経路５２に沿って支持駆動するように構成されている。

本実施の形態では、第２の駆動部４６が基板保持器搬送機構３の第１の駆動部３６と同期して動作するように基板保持器搬送機構３の搬送駆動部材３３と方向転換機構４０の搬送駆動部材４５の動作を制御する。

そして、本実施の形態では、基板保持器搬送機構３の第１の駆動部３６によって基板保持器１１を第１の搬送方向Ｐ１に駆動して第１及び第２の被駆動軸１２、１３を第１及び第２の方向転換経路５１、５２内に進入させた場合に、基板保持器１１が水平状態を保持しつつ第１及び第２の駆動部３６、４６によって第１及び第２の被駆動軸１２、１３が支持されて移動し、円滑に第１及び第２の方向転換経路５１、５２から排出されるように、第１及び第２の駆動部３６、４６、並びに、第１及び第２の方向転換経路５１、５２の形状及び寸法がそれぞれ設定されている。

一方、第１のガイド部材４１と第２のガイド部材４２の下方で第１の方向転換経路５１の排出口の近傍には、基板保持器１１を方向転換機構４０から基板保持器支持機構１８の復路側基板保持器支持機構１８ｃへ円滑に受け渡すための受け渡し部材４７が設けられている。

この受け渡し部材４７は、例えば水平方向に延びる細長の部材からなり、その第２の搬送方向Ｐ２側の端部で復路側基板保持器支持機構１８ｃの下方の位置に設けられた回転軸４８を中心として上下方向に回転移動するように構成されている。そして、受け渡し部材４７は、第１の搬送方向Ｐ１側の部分が図示しない弾性部材によって上方に付勢されている。

受け渡し部材４７の上部には、第１の方向転換経路５１の排出口の第２の搬送方向Ｐ２側の近傍の部分に、第１の方向転換経路５１と連続し、かつ、基板保持器支持機構１８の復路側基板保持器支持機構１８ｃと連続するように曲面形状に形成された受け渡し部４７ａが設けられている（図３（ｂ）参照）。

また、受け渡し部材４７の上部には、第１の搬送方向Ｐ１側の部分に、第１の搬送方向Ｐ１に向って下側に傾斜する傾斜面４７ｂが設けられている。この傾斜面４７ｂは、第２の方向転換経路５２の排出口と対向する高さ位置に設けられている。

図４（ａ）は、本発明に用いる基板保持器受け渡し機構の駆動機構部の構成例を示す平面図であり、図４（ｂ）は、同基板保持器受け渡し機構の駆動機構部の構成例を示す正面図である。

上述したように、本実施の形態の基板保持器受け渡し機構７は、基板保持器導入機構７Ａと基板保持器排出機構７Ｂを有している。

これら基板保持器導入機構７Ａと基板保持器排出機構７Ｂは、同一の基本構成を有する駆動機構部を有し、これら駆動機構部が一対となって搬送方向に関して左右対称に配置されている（図２参照）。

以下、本実施の形態の基板保持器受け渡し機構７（基板保持器導入機構７Ａ、基板保持器排出機構７Ｂ）はそれぞれ基本構成が同一であるので、一つの基板保持器受け渡し機構７の駆動機構部を例にとってその構成を説明する。

基板保持器受け渡し機構７は、例えば矩形平板状の部材からなる基部７０を有し、この基部７０の上面が水平方向に向けられて上述したスライダ７ｓに連結されている。

本実施の形態では、この基部７０は、基板保持器１１の第１及び第２の搬送方向Ｐ１、Ｐ２に対して直交する方向（Ｙ軸方向）に延びるように形成されている。

基部７０の表面の搬送方向に対して内方側の端部の上面には、基部７０から第１の搬送方向Ｐ１に延びる例えば板状の第１の構成部材７１と、基部７０から第１の搬送方向Ｐ１に延びる例えばブロック状の第２の構成部材７２が、搬送方向内方側から外方側に向う方向（Ｙ＋方向）にこの順で所定の間隔をおいて隣接してそれぞれ固定されている。

本実施の形態では、第１及び第２の構成部材７１、７２は同等の長さを有し、第１及び第２の構成部材７１、７２の第１の搬送方向Ｐ１側の端部には、ストッパ７３が固定されている。

このストッパ７３の第１の搬送方向Ｐ１側でＹ軸方向についての中腹部分には、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２と当接する当接部７３ａが第１の搬送方向Ｐ１側に突出するように設けられている。この当接部７３ａは、その表面がＹ軸方向と平行になるように平面状に形成されている。

一方、ストッパ７３の第２の搬送方向Ｐ２側で内方側（Ｙ−方向側）の部分には、検出対象物（本実施の形態では基板保持器１１の第１の被駆動軸１２）に近接した場合にその存在を検出する近接センサ７５が設けられている。

本構成例では、ストッパ７３の第１の搬送方向Ｐ１側で外方側の部分に、位置決め部材（位置決め部）７４が取り付けられている。

この位置決め部材７４は、例えば水平断面に関してＬ字形状に形成され、その第１の搬送方向Ｐ１側で外方側の部分には、第１の搬送方向Ｐ１側に直線状に延びるガイド部７４ａが設けられている。

このガイド部７４ａの搬送方向内方側の部分には、例えば搬送方向に沿って平行に延びる平面状の位置決め規制部７４ｂが設けられている。

本構成例では、上記一対の駆動機構部を用いて基板保持器受け渡し機構７を配置構成した場合において、上述した位置決め部材７４の位置決め規制部７４ｂ同士の間隔が基板保持器１１の第１の被駆動軸１２の端部間の距離より若干大きくなるようにその形状・寸法が定められている。

そして、位置決め部材７４のガイド部７４ａの第１の搬送方向Ｐ１側で内方側の部分には、搬送方向に対して内方側（位置決め規制部７４ｂ側）に鋭角に傾斜するようにテーパ状に形成した案内部７４ｃが連続的に設けられている。

第１及び第２の構成部材７１、７２の間には、基板保持器１１を搬送経路に導入し、かつ、搬送経路から排出するように動作する駆動部材８０が設けられている。

この駆動部材８０は、搬送方向に延びる細長形状の板状の部材からなり、第１及び第２の構成部材７１、７２より若干長さが長くなるように形成されている。

そして、駆動部材８０の第１の搬送方向Ｐ１側の端部が、上述した位置決め部材７４の端部より第１の搬送方向Ｐ１側に突出するように構成されている。

駆動部材８０は、その中腹部分の例えば上部において、Ｙ軸方向と平行に延びる支軸８１（回転軸）を中心として時計回り方向又は反時計回り方向に回転できるように第１及び第２の構成部材７１、７２に取り付けられている。

また、駆動部材８０の第１の搬送方向Ｐ１側の端部には、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２を係止するための上方に凸となるように形成された突起状のフック８２が設けられている。

本実施の形態では、フック８２の第１の搬送方向Ｐ１側の部分に、第１の搬送方向Ｐ１側に向って高さが低くなるようにテーパ状に形成した導入部８２ａが形成されている。

さらに、フック８２の第２の搬送方向Ｐ２側の部分に、その頂部からほぼ鉛直下方に延びるように形成した支持部８２ｂが設けられ、さらにこの支持部８２ｂを介して基板保持器１１の第１の被駆動軸１２の外径と同等の深さに形成した凹部８２ｃが設けられている。

ここで、フック８２の支持部８２ｂは、ストッパ７３の当接部７３ａに対して第１搬送方向Ｐ１側に基板保持器１１の第１の被駆動軸１２の直径より若干大きな距離だけ離間させた位置に配置されている。

また、フック８２の支持部８２ｂは、ストッパ７３の当接部７３ａと搬送方向に関して部分的に重なるように設けられるとともに、ストッパ７３の当接部７３ａと位置決め部材７４の位置決め規制部７４ｂ及び案内部７４ｃとほぼ同じ高さ位置に設けられている。

駆動部材８０の上記支軸８１に対して第２の搬送方向Ｐ２側の下側部分には、ばねポスト８０ａが設けられ、このばねポスト８０ａと下方に位置する基部７０に設けたばねポスト７１ａとの間に、鉛直方向に向けて引張コイルばね８３が架け渡されている。

この引張コイルばね８３は、駆動部材８０に対して外力が作用しない状態において駆動部材８０の支軸８１に対して第２の搬送方向Ｐ２側の部分を下方に引っ張り、駆動部材８０の第１の搬送方向Ｐ１側端部に設けられたフック８２が最も上方の位置に配置されるように、引張コイルばね８３、並びに、各部分の形状・寸法が設定されている。

駆動部材８０の支軸８１に対して第１の搬送方向Ｐ１側の下方には、駆動部材８０のフック８２を支軸８１を中心として回転させて下降させるためのソレノイド８４が設けられている。

このソレノイド８４は、詳細は図示しないが、第２の構成部材７２に取り付けられ、その駆動軸８４ａを第２の搬送方向Ｐ２側に水平移動させるように構成されている。

この駆動軸８４ａの先端部は、駆動部材８０に固定された取付部材８５に取り付けた被駆動軸８５ａの先端部と当接可能に構成されている。

ここで、ソレノイド８４の駆動軸８４ａと被駆動軸８５ａとは、駆動部材８０の支軸８１のほぼ直下の位置で当接するように構成され、これによりソレノイド８４の動作によって駆動軸８４ａを第２の搬送方向Ｐ２側に水平移動させた場合に、その駆動軸８４ａから被駆動軸８５ａに対してソレノイド８４の駆動力が作用する。そして、取付部材８５を介して駆動部材８０が支軸８１を中心として図４（ｂ）中反時計回り方向に回転し、支軸８１に対して第１の搬送方向Ｐ１側に位置するフック８２が下降するように構成されている。

一方、駆動部材８０の基部７０の例えば上面の第２の構成部材７２の搬送方向外方側の部分には、駆動部材８０の支軸８１と同等の高さを有する取付ブロック７６が設けられ、この取付ブロック７６の頂部には、例えば第１の搬送方向Ｐ１側に延びる平板状のセンサ取付部材７７が設けられている。

このセンサ取付部材７７の下面には、例えば光学式の検出センサ７８が設けられている。

一方、駆動部材８０には、この検出センサ７８をオン・オフするためのトリガー部材７９が設けられており、上述したソレノイド８４の動作によって駆動部材８０の第２の搬送方向Ｐ２側の部分を上方に移動させた場合において、トリガー部材７９の遮光部７９ａが上昇し所定の位置に到達して検出センサ７８の光を遮った時点でソレノイド８４が正常に動作したことを確認するように構成されている。

以下、本実施の形態の動作を説明する。

図５（ａ）（ｂ）〜図１３（ａ）〜（ｃ）は、本実施の形態における基板保持器の排出動作を示すものである。

本実施の形態では、図５（ａ）に示すように、基板保持器搬送機構３の搬送駆動部材３３の復路側搬送部３３ｃを第２の搬送方向Ｐ２に移動させ、第１の駆動部３６によって第１の被駆動軸１２を同方向に駆動することにより、基板保持器１１を基板保持器排出部３０Ｃに向って搬送する。

そして、基板保持器１１が基板保持器排出部３０Ｃに到達した後、搬送駆動部材３３の復路側搬送部３３ｃを第２の搬送方向Ｐ２に移動させ、第１の駆動部３６によって第１の被駆動軸１２を同方向に駆動すると、復路側搬送部３３ｃの移動に伴って第１の駆動部３６が鉛直方向から傾斜した状態になるに従い、図５（ｂ）に示すように、第１の駆動部３６と、第１の被駆動軸１２との接触が外れ、これにより基板保持器１１は推進力を失う。

本実施の形態では、基板保持器１１が推進力を失う前に、直線駆動機構７ｂによって各スライダ７ｓを動作させて、図５（ｂ）及び図６に示すように、上述した基板保持器排出機構７Ｂのフック８２を基板保持器１１の第１の被駆動軸１２に近接させる。

これにより、上述した復路側搬送部３３ｃの移動に伴い、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２が第２の搬送方向Ｐ２に移動して、図７及び図１１（ａ）に示すように、基板保持器排出機構７Ｂの駆動部材８０のフック８２の導入部８２ａが基板保持器１１の第１の被駆動軸１２の下部に接触する。

さらに、基板保持器１１が第２の搬送方向Ｐ２に移動すると、図８及び図１１（ｂ）に示すように、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２の一方の（ここではＹ＋側の）端部が基板保持器排出機構７Ｂの駆動部材８０の位置決め部材７４の案内部７４ｃに当接する。

また、これと同時に、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２からフック８２の導入部８２ａへ外力が作用し、これにより図１１（ｂ）に示すように、駆動部材８０が引張コイルばね８３の弾性力に抗して支軸８１を中心として図中反時計回り方向に回転し、駆動部材８０のフック８２が下降する。

さらに基板保持器１１の第１の被駆動軸１２が第２の搬送方向Ｐ２に移動すると、駆動部材８０の位置決め部材７４の案内部７４ｃからの反力により、図９に示すように、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２が他方の基板保持器排出機構７Ｂ側（ここではＹ−方向側）に移動する。

その結果、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２が、基板保持器排出機構７Ｂの対となる位置決め部材７４のガイド部７４ａとの間に挟まれ、これにより基板保持器１１がＹ軸方向に関して所定の位置に位置決めされる。

また、これと同時に、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２からフック８２の導入部８２ａへの外力の作用により、図１１（ｃ）に示すように、駆動部材８０が引張コイルばね８３の弾性力に抗して支軸８１を中心として図中反時計回り方向に回転し、駆動部材８０のフック８２がさらに下降する。

そして、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２の第２の搬送方向Ｐ２への移動により、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２が各基板保持器排出機構７Ｂの駆動部材８０のフック８２の頂部を通過し、これにより、図１１（ｄ）に示すように、引張コイルばね８３の弾性（引張）力によって駆動部材８０が支軸８１を中心として図中時計回り方向に回転し、駆動部材８０のフック８２が上昇して、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２が駆動部材８０の凹部８２ｃ内に入り込む。

また、これと同時に、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２が各基板保持器排出機構７Ｂのストッパ７３の当接部７３ａに当接し、図１０に示すように、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２が基板保持器排出機構７Ｂのストッパ７３の当接部７３ａと各駆動部材８０のフック８２の支持部８２ｂとに挟まれて保持された状態になる。

この状態で、基板保持器排出機構７Ｂを第２の搬送方向Ｐ２に移動させ、図１２に示すように、基板搬入搬出機構６の支持部６２上に基板保持器１１を載置する。

その後、ソレノイド８４を動作させ、その駆動軸８４ａを第２の搬送方向Ｐ２側に水平移動させる。これにより、ソレノイド８４の駆動力が被駆動軸８５ａ及び取付部材８５を介して駆動部材８０に作用し、図１３（ａ）（ｂ）に示すように、駆動部材８０が支軸８１を中心として図中反時計回り方向に回転し、支軸８１に対して第１の搬送方向Ｐ１側に位置するフック８２が下降して基板保持器１１の第１の被駆動軸１２と基板保持器排出機構７Ｂとの係合が解除される。

また、トリガー部材７９の遮光部７９ａが上昇して、検出センサ７８の光が遮られてソレノイド８４が正常に動作していることを確認した後、基板保持器排出機構７Ｂを第２の搬送方向Ｐ２に移動させ、基板保持器排出機構７Ｂを基板保持器１１の第１の被駆動軸１２から離間させる。

そして、図１３（ｃ）に示すホームポジション（動作開始位置）まで基板保持器排出機構７Ｂを第２の搬送方向Ｐ２へ移動させ、このホームポジションにおいて、ソレノイド８４に対して電圧の印加を遮断する。これにより、引張コイルばね８３の弾性（引張）力によって駆動部材８０が支軸８１を中心として図中時計回り方向に回転し、駆動部材８０の第２の搬送方向Ｐ２の上流側の部分が上昇して、駆動部材８０のフック８２が最も上方の位置に配置される。

その後、以下に説明する基板保持器１１の導入動作を行う。

図１４〜図２２（ａ）（ｂ）は、本実施の形態における基板保持器の導入動作を示す説明図である。

まず、基板搬入搬出機構６の支持部６２を上昇させて基板保持器導入位置に配置する。

本実施の形態では、直線駆動機構７ａによって各スライダ７ｓを動作させて各基板保持器導入機構７Ａを第１の搬送方向Ｐ１に移動し、図１４に示すように、基板搬入搬出機構６の支持部６２上に載置された基板保持器１１の第１の被駆動軸１２に基板保持器導入機構７Ａのフック８２を近接させる。

そして、基板保持器導入機構７Ａを第１の搬送方向Ｐ１に移動し、図１５（ａ）及び図１６に示すように、駆動部材８０のフック８２の導入部８２ａを基板保持器１１の第１の被駆動軸１２の下部に接触させる。

さらに、基板保持器導入機構７Ａを第１の搬送方向Ｐ１に移動させる。

これにより、図１５（ｂ）及び図１７に示すように、一方の基板保持器導入機構７Ａの駆動部材８０の位置決め部材７４の案内部７４ｃが基板保持器１１の第１の被駆動軸１２の一方側の端部に当接する。

また、これと同時に、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２からフック８２の導入部８２ａへ外力が作用し、これにより図１５（ｂ）に示すように、駆動部材８０が引張コイルばね８３の弾性力に抗して支軸８１を中心として図中反時計回り方向に回転し、駆動部材８０のフック８２が下降する。

さらに基板保持器導入機構７Ａを第１の搬送方向Ｐ１に移動させると、駆動部材８０の位置決め部材７４の案内部７４ｃからの反力により、図１８に示すように、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２が他方の基板保持器導入機構７Ａ側（Ｙ−方向側）に移動する。

その結果、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２が、基板保持器導入機構７Ａの対となる位置決め部材７４のガイド部７４ａの間に挟まれ、これにより基板保持器１１がＹ軸方向に関して所定の位置に位置決めされる。

また、これと同時に、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２からフック８２の導入部８２ａへの外力の作用により、図１５（ｃ）に示すように、駆動部材８０が引張コイルばね８３の弾性力に抗して支軸８１を中心として図中反時計回り方向に回転し、駆動部材８０のフック８２がさらに下降する。

そして、基板保持器導入機構７Ａを第１の搬送方向Ｐ１に移動させると、各基板保持器導入機構７Ａの駆動部材８０のフック８２の頂部が基板保持器１１の第１の被駆動軸１２を通過し、これにより、図１５（ｄ）に示すように、引張コイルばね８３の弾性（引張）力によって駆動部材８０が支軸８１を中心として図中時計回り方向に回転し、駆動部材８０の第１の搬送方向Ｐ１側の部分が上昇して、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２が駆動部材８０の凹部８２ｃ内に入り込む。

また、これと同時に、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２が各基板保持器導入機構７Ａのストッパ７３の当接部７３ａに当接し、図１９に示すように、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２が基板保持器導入機構７Ａのストッパ７３の当接部７３ａと各駆動部材８０のフック８２の支持部８２ｂとに挟まれて保持された状態になる。

この状態で、基板保持器導入機構７Ａを第１の搬送方向Ｐ１に移動させると、基板保持器１１が基板保持器搬送機構３に向って移動し、図２０に示すように、往路側基板保持器支持機構１８ａを介して基板保持器搬送機構３の基板保持器導入部３０Ａに配置される。

その後、図２１（ａ）（ｂ）に示すように、ソレノイド８４を動作させ、その駆動軸８４ａを第２の搬送方向Ｐ２側に水平移動させる。これにより、ソレノイド８４の駆動力が被駆動軸８５ａ及び取付部材８５を介して駆動部材８０に作用し、駆動部材８０が支軸８１を中心として図中反時計回り方向に回転し、支軸８１に対して第１の搬送方向Ｐ１側に位置するフック８２が下降して基板保持器１１の第１の被駆動軸１２と基板保持器導入機構７Ａとの係合が解除される。

また、トリガー部材７９の遮光部７９ａが上昇して、検出センサ７８の光が遮られてソレノイド８４が正常に動作していることを確認する一方で、図２２（ａ）（ｂ）に示すように、基板保持器搬送機構３の搬送駆動部材３３の往路側搬送部３３ａを第１の搬送方向Ｐ１に移動させることにより、基板保持器搬送機構３の基板保持器導入部３０Ａに配置された基板保持器１１の第１の被駆動軸１２は、搬送駆動部材３３の往路側搬送部３３ａ上の第１の駆動部３６によって第１の搬送方向Ｐ１に駆動され、搬送駆動部材３３の往路側搬送部３３ａ上を搬送折り返し部３０Ｂに向って搬送される。

このタイミングで、基板保持器導入機構７Ａを第２の搬送方向Ｐ２に移動させ、基板保持器導入機構７Ａを基板保持器１１の第１の被駆動軸１２から離間させる。

そして、図２１（ｃ）に示すホームポジション（動作開始位置）まで基板保持器導入機構７Ａを第２の搬送方向Ｐ２へ移動させ、このホームポジションにおいて、ソレノイド８４に対して電圧の印加を遮断する。これにより、引張コイルばね８３の弾性（引張）力によって駆動部材８０が支軸８１を中心として図中時計回り方向に回転し、駆動部材８０の第２の搬送方向Ｐ２の上流側の部分が上昇して、駆動部材８０のフック８２が最も上方の位置に配置される。

以上により、基板保持器１１の導入動作が終了する。

以上述べたように本実施の形態によれば、一対の被駆動軸１２とそれぞれ接触して駆動することにより基板保持器１１を搬送経路に沿う方向に搬送し、基板搬入搬出機構６と基板保持器搬送機構３との間で基板保持器１１の受け渡しを行う基板保持器受け渡し機構７を有し、基板搬入搬出機構６と基板保持器搬送機構３との間で基板保持器１１の受け渡しを行う際に位置決め部材７４によって搬送経路に対してそれぞれ直交する方向に関して位置決めを行うようにしたことから、基板搬入搬出機構６と基板保持器搬送機構３との間で基板保持器１１の受け渡しを行う際の搬送経路に対し直交する方向に関する位置ずれを補正してその値を抑えることができる。

また、本実施の形態は、基板保持器１１の一対の被駆動軸１２とそれぞれ接触して駆動することにより基板保持器１１の搬送を行う構成のものであるから、従来技術のように複雑で高価な搬送ロボットを用いる場合と比較して構成の簡素化及びコストダウンを図ることができる。

一方、本実施の形態においては、基板保持器搬送機構３から排出される基板保持器１１を基板搬入搬出機構６の支持部６２に受け渡す基板保持器排出機構７Ｂに上記位置決め部材７４を設けることにより、基板搬入搬出機構６による基板保持器１１の排出動作にリンクして位置ずれの補正を比較的ゆっくりと行うことができるので、位置ずれの補正を高精度で行うことができる。

この場合、基板搬入搬出機構６の支持部６２に支持された基板保持器１１を基板保持器搬送機構３の基板保持器導入部３０Ａに導入する基板保持器導入機構７Ａにも上記位置決め部材７４を設けることにより、基板保持器１１の排出及び導入の際の両方の動作において搬送経路に対し直交する方向に関する位置ずれを補正してその値を最小限に抑えることができる。

図２４（ａ）は、本発明に用いる基板保持器受け渡し機構の駆動機構部の他の構成例を示す平面図であり、図２４（ｂ）は、同基板保持器受け渡し機構の駆動機構部の他の構成例を示す正面図である。

本構成例の基板保持器受け渡し機構７Ｒ（基板保持器導入機構７ＲＡ、基板保持器排出機構７ＲＢ）は、上述した基板保持器受け渡し機構７と同等の基本構成の駆動機構部を有している。以下、上記構成例と共通する部分については同一の符号を付しその詳細な説明を省略する。

また、本構成例においても、基板保持器受け渡し機構７Ｒ（基板保持器導入機構７ＲＡ、基板保持器排出機構７ＲＢ）はそれぞれ基本構成が同一であるので、一つの基板保持器受け渡し機構７Ｒの駆動機構部を例にとってその構成を説明する。

本構成例の基板保持器受け渡し機構７Ｒの駆動機構部は、上記構成例と同様に、上述した基部７０の表面の搬送方向に対して内方側の端部の上面に、基部７０から第１の搬送方向Ｐ１に延びる例えば板状の第１の構成部材７１と、基部７０から第１の搬送方向Ｐ１に延びる例えばブロック状の第２の構成部材７２が、搬送方向内方側から外方側に向う方向（ここではＹ＋方向）にこの順で所定の間隔をおいて隣接してそれぞれ固定されている。

第１及び第２の構成部材７１、７２は同等の長さを有し、第１及び第２の構成部材７１、７２の第１の搬送方向Ｐ１側の端部に、上記構成例と同等の構成のストッパ７３Ｒが固定されている。

本構成例のストッパ７３Ｒは、第１の搬送方向Ｐ１側でＹ軸方向についての中腹部分であって、その上方側の部分に、上述した基板保持器１１の第１の被駆動軸１２と当接する当接部７３ａが第１の搬送方向Ｐ１側に突出するように設けられている。

一方、本構成例の駆動部材８０は、上記基板保持器受け渡し機構７の駆動機構部の駆動部材８０と同様の基本構成を有している。すなわち、駆動部材８０の第１の搬送方向Ｐ１側の端部に、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２を係止するための上方に凸となるように形成された突起状のフック８２が設けられている。

そして、フック８２の第１の搬送方向Ｐ１側の部分に、第１の搬送方向Ｐ１側に向って高さが低くなるようにテーパ状に形成した導入部８２ａが形成されている。

このフック８２の導入部８２ａは、その頂部の高さがストッパ７３Ｒの当接部７３ａの高さより低くなるように形成されている。

さらに、フック８２の第２の搬送方向Ｐ２側の部分が、その頂部からほぼ鉛直下方に延びるように形成した支持部８２ｂが形成され、さらにこの支持部８２ｂを介して基板保持器１１の第１の被駆動軸１２の外径と同等の深さに形成した凹部８２ｃが設けられている。

ここで、フック８２の支持部８２ｂは、ストッパ７３Ｒの当接部７３ａに対して第１の搬送方向Ｐ１側に基板保持器１１の第１の被駆動軸１２の直径より若干大きな距離だけ離間させた位置に配置されている。

本構成例の基板保持器受け渡し機構７Ｒの駆動機構部は、以下に説明する位置決め部（材）としての位置決めローラ９１を有する位置決め部が設けられている点が上記基板保持器受け渡し機構７の駆動機構部と異なるものである。

本構成例では、ストッパ７３Ｒの第１の搬送方向Ｐ１側で搬送方向内方側から外方側に向う方向（ここではＹ＋方向）側の部分に、ローラ保持部材９０が取り付けられている。

ローラ保持部材９０は、例えばストッパ７３Ｒから搬送方向外方側に延びる取付部９２を有し、この取付部９２がストッパ７３Ｒの第１の搬送方向Ｐ１側で外方側の部分に固定されている。そして、取付部９２の搬送方向外方側の端部で第１の搬送方向Ｐ１側の部分にローラ保持部９３が設けられている。

本構成例のローラ保持部９３は、例えば多角柱状に形成され、その上方側の底面即ち平面状の上面が水平方向と平行になるように配置されている。

ローラ保持部９３の上面は、駆動部材８０のフック８２の凹部の上部と同等の高さ位置となるように形成され、この上面上に以下に説明する位置決めローラ９１が設けられている。

本構成例の位置決めローラ９１は、円柱形状のころ軸受（例えばローラフォロア）からなり、このころ軸受は、ローラ保持部９３に鉛直方向に向けて取り付けられた固定ピン（例えばローラフォロアピン）９４によってローラ保持部９３の上面に取り付けられている。

そして、これにより、位置決めローラ９１は、鉛直方向に延びる回転軸Ｏを中心として水平面内において回転できるように構成されている。

本構成例の位置決めローラ９１は、その頂部の位置がストッパ７３Ｒの当接部７３ａより若干上方に位置するように配置構成されている。

そして、駆動部材８０のフック８２の支持部８２ｂが、位置決めローラ９１の回転軸Ｏより第１の搬送方向Ｐ１側に配置されている。さらに、ストッパ７３Ｒの当接部７３ａが、位置決めローラ９１の回転軸Ｏより第２の搬送方向Ｐ２側に配置されている。

さらに、本構成例では、上記一対の駆動機構部を用いて基板保持器受け渡し機構７Ｒを配置構成した場合において、上述した位置決めローラ９１の側面９５（位置決め規制部）の搬送方向内方側の部分同士の間隔が基板保持器１１の第１の被駆動軸１２の端部間の距離より若干大きくなるようにその配置構成及び寸法が定められている（例えば図２７参照）。

このような構成により、後述するように、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２が、位置決めローラ９１の側面９５と駆動部材８０のフック８２とストッパ７３Ｒの当接部７３ａとにそれぞれ接触するようになっている。

以下、本構成例の動作を説明する。

図２５〜図３０（ａ）〜（ｃ）は、本構成例における基板保持器の排出動作を示すものである。

上述したように、本実施の形態では、図５（ａ）に示すように、基板保持器搬送機構３から基板保持器１１を排出する際に、基板保持器１１を基板保持器排出部３０Ｃに向って搬送し、基板保持器１１が基板保持器排出部３０Ｃに到達した後、搬送駆動部材３３の復路側搬送部３３ｃを第２の搬送方向Ｐ２に移動させるが、第１の駆動部３６によって第１の被駆動軸１２を同方向に駆動すると、復路側搬送部３３ｃの移動に伴って第１の駆動部３６が鉛直方向から傾斜した状態になるに従い、図５（ｂ）に示すように、第１の駆動部３６と、第１の被駆動軸１２との接触が外れ、これにより基板保持器１１は推進力を失う。

そこで、本構成例においても、上記構成例において図６に示した場合と同様に、基板保持器１１が推進力を失う前に、直線駆動機構７ｂによって各スライダ７ｓを動作させて、上述した基板保持器排出機構７ＲＢのフック８２を基板保持器１１の第１の被駆動軸１２に近接させる。

これにより、上述した復路側搬送部３３ｃの移動に伴い、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２が第２の搬送方向Ｐ２に移動して、図２５及び図２９（ａ）に示すように、基板保持器排出機構７ＲＢの駆動部材８０のフック８２の導入部８２ａが基板保持器１１の第１の被駆動軸１２の下側部分に接触する。

さらに、基板保持器１１が第２の搬送方向Ｐ２に移動すると、図２６及び図２９（ｂ）に示すように、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２の一方の端部（ここではＹ＋方向側の端部）が、一方の（ここではＹ＋方向側の）基板保持器排出機構７ＲＢの位置決めローラ９１の搬送方向内方側（ここではＹ−方向側）の側面９５で且つ回転軸Ｏに対して第１の搬送方向Ｐ１側の部分に当接する。

また、これと同時に、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２からフック８２の導入部８２ａへ外力が作用し、これにより図２９（ｂ）に示すように、駆動部材８０が引張コイルばね８３の弾性力に抗して支軸８１を中心として図中反時計回り方向に回転し、駆動部材８０のフック８２が下降する。

さらに基板保持器１１の第１の被駆動軸１２を第２の搬送方向Ｐ２に移動させると、図２７に示すように、一方の（ここではＹ＋方向側の）基板保持器排出機構７ＲＢの位置決めローラ９１は、その搬送方向内方側（ここではＹ−方向側）の部分が第２の搬送方向Ｐ２に向かう回転方向（ここでは反時計回り方向）に、回転軸Ｏを中心として回転する。また、この位置決めローラ９１の側面９５からの反力により、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２が他方の基板保持器排出機構７ＲＢ側（ここではＹ−方向側）に移動する。

また、これと同時に、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２からフック８２の導入部８２ａへの外力の作用により、図２９（ｃ）に示すように、駆動部材８０が引張コイルばね８３の弾性力に抗して支軸８１を中心として図中反時計回り方向に回転し、駆動部材８０のフック８２がさらに下降する。

そして、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２の第２の搬送方向Ｐ２への移動により、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２が各基板保持器排出機構７ＲＢの駆動部材８０のフック８２の頂部を通過し、これにより、図２９（ｄ）に示すように、引張コイルばね８３の弾性（引張）力によって駆動部材８０が支軸８１を中心として図中時計回り方向に回転し、駆動部材８０のフック８２が上昇して、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２が駆動部材８０の凹部８２ｃ内に入り込む。

その結果、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２が各基板保持器排出機構７ＲＢのストッパ７３Ｒの当接部７３ａに当接し、図２８に示すように、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２が、各基板保持器排出機構７ＲＢのストッパ７３Ｒの当接部７３ａと駆動部材８０のフック８２の支持部８２ｂとに挟まれて保持された状態になる。

さらに、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２は、基板保持器排出機構７ＲＢの対となる位置決めローラ９１の搬送方向内方側の側面９５の中央部の間に挟まれ、これにより基板保持器１１がＹ軸方向に関して所定の位置に位置決めされる。

この状態で、基板保持器排出機構７ＲＢを第２の搬送方向Ｐ２に移動させ、上記構成例において図１２に示した場合と同様に、基板搬入搬出機構６の支持部６２上に基板保持器１１を載置する。

その後、ソレノイド８４を動作させ、その駆動軸８４ａを第２の搬送方向Ｐ２側に水平移動させる。これにより、ソレノイド８４の駆動力が被駆動軸８５ａ及び取付部材８５を介して駆動部材８０に作用し、図３０（ａ）（ｂ）に示すように、駆動部材８０が支軸８１を中心として図中反時計回り方向に回転し、支軸８１に対して第１の搬送方向Ｐ１側に位置するフック８２が下降して基板保持器１１の第１の被駆動軸１２と基板保持器排出機構７ＲＢとの係合が解除される。

また、トリガー部材７９の遮光部７９ａが上昇して、検出センサ７８の光が遮られてソレノイド８４が正常に動作していることを確認した後、基板保持器排出機構７ＲＢを第２の搬送方向Ｐ２に移動させ、基板保持器排出機構７ＲＢを基板保持器１１の第１の被駆動軸１２から離間させる。

そして、図３０（ｃ）に示すホームポジション（動作開始位置）まで基板保持器排出機構７ＲＢを第２の搬送方向Ｐ２へ移動させ、このホームポジションにおいて、ソレノイド８４に対して電圧の印加を遮断する。これにより、引張コイルばね８３の弾性（引張）力によって駆動部材８０が支軸８１を中心として図中時計回り方向に回転し、駆動部材８０の第２の搬送方向Ｐ２の上流側の部分が上昇して、駆動部材８０のフック８２が最も上方の位置に配置される。

その後、以下に説明する基板保持器１１の導入動作を行う。

図３１（ａ）〜（ｄ）乃至図３６（ａ）〜（ｃ）は、本構成例における基板保持器の導入動作を示すものである。

本構成例においても、まず、基板保持器１１が載置された基板搬入搬出機構６の支持部６２を上昇させて基板保持器導入位置に配置する。

そして、上記構成例において図１４に示した場合と同様に、直線駆動機構７ａによって各スライダ７ｓを動作させて各基板保持器導入機構７ＲＡを第１の搬送方向Ｐ１に移動し、基板搬入搬出機構６の支持部６２上に載置された基板保持器１１の第１の被駆動軸１２に基板保持器導入機構７ＲＡのフック８２を近接させる。

この状態から基板保持器導入機構７ＲＡを第１の搬送方向Ｐ１に移動し、図３１（ａ）及び図３２に示すように、駆動部材８０のフック８２の導入部８２ａを基板保持器１１の第１の被駆動軸１２の下側部分に接触させる。

さらに、基板保持器導入機構７ＲＡを第１の搬送方向Ｐ１に移動させる。

これにより、図３１（ｂ）及び図３３に示すように、一方の（ここではＹ＋方向側の）基板保持器導入機構７ＲＡの位置決めローラ９１のＹ−方向側の側面９５で且つ回転軸Ｏに対して第１の搬送方向Ｐ１側の部分が、一方の（ここではＹ＋方向側の）基板保持器導入機構７ＲＡの位置決めローラ９１の搬送方向内方側（ここではＹ−方向側）の側面９５で且つ回転軸Ｏに対して第１の搬送方向Ｐ１側の部分に当接する。

また、これと同時に、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２からフック８２の導入部８２ａへ外力が作用し、これにより図３１（ｂ）に示すように、駆動部材８０が引張コイルばね８３の弾性力に抗して支軸８１を中心として図中反時計回り方向に回転し、駆動部材８０のフック８２が下降する。

さらに基板保持器１１の第１の被駆動軸１２を第１の搬送方向Ｐ１に移動させると、図３４に示すように、一方の（ここではＹ＋方向側の）基板保持器導入機構７ＲＡの位置決めローラ９１は、その搬送方向内方側の部分が第２の搬送方向Ｐ２に向かう回転方向（ここでは反時計回り方向）に、回転軸Ｏを中心として回転する。また、この位置決めローラ９１の側面９５からの反力により、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２が他方の基板保持器導入機構７ＲＡ側（ここではＹ−方向側）に移動する。

また、これと同時に、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２からフック８２の導入部８２ａへの外力の作用により、図３１（ｃ）に示すように、駆動部材８０が引張コイルばね８３の弾性力に抗して支軸８１を中心として図中反時計回り方向に回転し、駆動部材８０のフック８２がさらに下降する。

そして、各基板保持器導入機構７ＲＡの第１の搬送方向Ｐ１への移動により、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２が各駆動部材８０のフック８２の頂部を通過し、これにより、図３１（ｄ）及び図３５に示すように、引張コイルばね８３の弾性（引張）力によって駆動部材８０が支軸８１を中心として図中時計回り方向に回転し、駆動部材８０のフック８２が上昇して、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２が駆動部材８０の凹部８２ｃ内に入り込む。

その結果、各基板保持器導入機構７ＲＡのストッパ７３Ｒの当接部７３ａが基板保持器１１の第１の被駆動軸１２に当接し、図３５に示すように、基板保持器１１の第１の被駆動軸１２が、各基板保持器導入機構７ＲＡのストッパ７３Ｒの当接部７３ａと駆動部材８０のフック８２の支持部８２ｂとに挟まれた状態になる。

この状態で、基板保持器導入機構７ＲＡを第１の搬送方向Ｐ１に移動させると、基板保持器１１が基板保持器搬送機構３に向って移動し、上記構成例において図２０に示した場合と同様に、往路側基板保持器支持機構１８ａを介して基板保持器搬送機構３の基板保持器導入部３０Ａに配置される。

その後、ソレノイド８４を動作させ、その駆動軸８４ａを第２の搬送方向Ｐ２側に水平移動させる。これにより、ソレノイド８４の駆動力が被駆動軸８５ａ及び取付部材８５を介して駆動部材８０に作用し、図３６（ａ）（ｂ）に示すように、駆動部材８０が支軸８１を中心として図中反時計回り方向に回転し、支軸８１に対して第１の搬送方向Ｐ１側に位置するフック８２が下降して基板保持器１１の第１の被駆動軸１２と基板保持器導入機構７ＲＡとの係合が解除される。

また、トリガー部材７９の遮光部７９ａが上昇して、検出センサ７８の光が遮られてソレノイド８４が正常に動作していることを確認する一方で、図２２（ａ）（ｂ）に示すように、基板保持器搬送機構３の搬送駆動部材３３の往路側搬送部３３ａを第１の搬送方向Ｐ１に移動させることにより、基板保持器搬送機構３の基板保持器導入部３０Ａに配置された基板保持器１１の第１の被駆動軸１２は、搬送駆動部材３３の往路側搬送部３３ａ上の第１の駆動部３６によって第１の搬送方向Ｐ１に駆動され、搬送駆動部材３３の往路側搬送部３３ａ上を搬送折り返し部３０Ｂに向って搬送される。

このタイミングで、基板保持器導入機構７ＲＡを第２の搬送方向Ｐ２に移動させ、基板保持器導入機構７ＲＡを基板保持器１１の第１の被駆動軸１２から離間させる。

そして、図３６（ｃ）に示すホームポジション（動作開始位置）まで基板保持器導入機構７ＲＡを第２の搬送方向Ｐ２へ移動させ、このホームポジションにおいて、ソレノイド８４に対して電圧の印加を遮断する。これにより、引張コイルばね８３の弾性（引張）力によって駆動部材８０が支軸８１を中心として図中時計回り方向に回転し、駆動部材８０の第２の搬送方向Ｐ２の上流側の部分が上昇して、駆動部材８０のフック８２が最も上方の位置に配置される。

以上により、基板保持器１１の導入動作が終了する。

以上述べた本構成例によれば、上記構成例と同様に、基板搬入搬出機構６と基板保持器搬送機構３との間で基板保持器１１の受け渡しを行う際の搬送経路に対し直交する方向に関する位置ずれを補正してその値を抑えることができることに加え、鉛直方向の回転軸Ｏを中心として回転可能なローラ状の位置決め部材（位置決めローラ９１）が設けられていることから、摺動動作ではなく転がり動作で基板保持器１１の第１の被駆動軸１２が案内され、これによりスティックスリップ等の振動が抑制されるため、より円滑且つ正確に位置決め動作を行うことができる。また、本構成例によれば、摺動摩耗によるダストの発生を抑制することができる。

なお、本発明は上述した実施の形態に限られず、種々の変更を行うことができる。

例えば上記実施の形態では、本発明における基板保持器導入機構と基板保持器排出機構において同一の形式（水平断面Ｌ字形状又はローラ状）の位置決め部材を用いた場合を例にとって説明したが、本発明はこれに限られず、基板保持器導入機構と基板保持器排出機構において異なる形式の位置決め部材を用いることもできる。

この場合、例えば基板保持器排出機構においてローラ状の位置決め部材（位置決めローラ９１）を用い、基板保持器導入機構において水平断面Ｌ字形状の位置決め部材（位置決め部材７４）を用いるように構成すれば、復路側搬送部３３ｃにより長い距離にわたって基板保持器排出部３０Ｃまで搬送された基板保持器１１の累積的な位置ずれをローラ状の位置決め部材によって円滑且つ正確に補正することができる一方で、基板保持器１１の搬送距離が比較的短く位置ずれの発生の少ない基板保持器導入部３０Ａにおいては、簡素で安価な構成の水平断面Ｌ字形状の位置決め部材によって適正な位置決め補正を行うことができるという効果がある。

また、上記実施の形態の水平断面Ｌ字形状の位置決め部材を用いた構成例においては、一対の位置決め部材の両方に案内部を設けるようにしたが、本発明はこれに限られず、一対の位置決め部材の一方にのみ案内部を設けることもできる。

さらに、上記実施の形態では、搬送駆動部材３３のうち上側の部分を往路側搬送部３３ａとするとともに、搬送駆動部材３３のうち下側の部分を復路側搬送部３３ｃとするようにしたが、本発明はこれに限られず、これらの上下関係を逆にすることもできる。

さらに、上記実施の形態では、基板保持器として、長尺枠状の本体部の長手方向に複数の基板を一列に並べて保持するものを例にとって説明したが、本発明はこれに限られず、例えば本体部の長手方向に複数の基板を複数列（二〜三列）に並べて保持するように構成することもできる。

また、上記実施の形態では、真空中における処理として、スパッタリングを行う装置を例にとって説明したが、本発明はこれに限られず、例えば、プラズマ処理、イオン注入処理、蒸着処理、化学気相成長処理、集束イオンビーム処理、エッチング処理等の種々の処理を行う真空処理装置に適用することができる。

この場合、第１及び第２の処理領域４、５には、異なる処理を行う処理源を設けることもできる。

１…真空処理装置
２…真空槽
２Ａ…基板搬入搬出室
３…基板保持器搬送機構
４…第１の処理領域（処理領域）
５…第２の処理領域（処理領域）
６…基板搬入搬出機構
７…基板保持器受け渡し機構
７Ａ…基板保持器導入機構
７Ｂ…基板保持器排出機構
７ａ、７ｂ…直線駆動機構
７ｓ…スライダ
１０…基板
１１…基板保持器
１２…第１の被駆動軸
１３…第２の被駆動軸
１８…基板保持器支持機構
１８ａ…往路側基板保持器支持機構
１８ｃ…復路側基板保持器支持機構
３０Ａ…基板保持器導入部
３０Ｂ…搬送折り返し部
３０Ｃ…基板保持器排出部
３３…搬送駆動部材
３３ａ…往路側搬送部
３３ｃ…復路側搬送部
４０…方向転換機構
６１…駆動ロッド
６２…支持部
７１…第１の構成部材
７２…第２の構成部材
７３…ストッパ
７３ａ…当接部
７４…位置決め部材（位置決め部）
７４ａ…ガイド部
７４ｂ…位置決め規制部
７４ｃ…案内部
８１…支軸
８２…フック
８２ａ…導入部
８２ｂ…支持部
８２ｃ…凹部
８３…引張コイルばね
８４…ソレノイド

Claims (8)

1. 単一の真空雰囲気が形成される真空槽と、
   前記真空槽内に設けられ、基板保持器に保持された基板上に所定の真空処理を行う第１及び第２の処理領域と、
   前記真空槽内に設けられ、鉛直面に対する投影形状が一連の環状となるように形成され、前記基板保持器を搬送する搬送経路と、
   前記搬送経路に対してそれぞれ直交する方向に延びる一対の被駆動部が両側部に設けられた複数の前記基板保持器を、当該一対の被駆動部とそれぞれ接触して当該基板保持器を前記搬送経路に沿って搬送する複数の駆動部を有する基板保持器搬送機構と、
   基板を保持した前記基板保持器を支持する支持部を有し、前記基板保持器を前記支持部に支持して前記真空槽内に搬入し且つ前記真空槽外に搬出するように構成された基板搬入搬出機構と、
   前記一対の被駆動部とそれぞれ接触して駆動することにより前記基板保持器を前記搬送経路に沿う方向に搬送し、前記基板搬入搬出機構と前記基板保持器搬送機構との間で当該基板保持器の受け渡しを行う基板保持器受け渡し機構とを有し、
   前記基板保持器受け渡し機構は、前記基板搬入搬出機構と前記基板保持器搬送機構との間で前記基板保持器の受け渡しを行う際に前記搬送経路に対してそれぞれ直交する方向に関して位置決めを行う一対の位置決め部を有する真空処理装置。
2. 前記基板保持器受け渡し機構は、前記基板保持器搬送機構から排出される基板保持器を前記基板搬入搬出機構の支持部に受け渡す基板保持器排出機構を有する請求項１記載の真空処理装置。
3. 前記基板保持器受け渡し機構は、前記基板搬入搬出機構の支持部に支持された基板保持器を前記基板保持器搬送機構の基板保持器導入部に導入する基板保持器導入機構を更に有する請求項２記載の真空処理装置。
4. 前記基板保持器受け渡し機構は、同一構成の一対の駆動機構部を有し、当該一対の駆動機構部が前記基板保持器の一対の被駆動部とそれぞれ接触して駆動することにより当該基板保持器を搬送するように構成されている請求項１乃至３のいずれか１項記載の真空処理装置。
5. 前記基板保持器受け渡し機構の一対の位置決め部は、前記基板保持器の一対の被駆動部の端部間の距離より若干大きい間隔で設けられた位置決め規制部をそれぞれ有する請求項１乃至４のいずれか１項記載の真空処理装置。
6. 前記基板保持器受け渡し機構の一対の位置決め部の少なくとも一方に、当該搬送方向に対して前記位置決め規制部側に傾斜させたテーパ状の案内部が設けられている請求項５記載の真空処理装置。
7. 前記基板保持器受け渡し機構の一対の位置決め部は、鉛直方向に延びる回転軸を中心として水平面内において回転可能なローラ状の位置決め部材を有し、当該ローラ状の位置決め部材の側面を前記位置決め規制部として位置決めを行うように構成されている請求項５記載の真空処理装置。
8. 前記基板保持器は、前記搬送経路に対して直交する方向に複数の処理対象基板を並べて保持するように構成されている請求項１乃至６のいずれか１項記載の真空処理装置。

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