JP5657527B2 - 基板をコーティングするためのコーティングシステム及び方法 - Google Patents
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Description
a)ロックインチャンバを通ってコーティングシステム内に基板を閉じ込め、
b)第1搬送チャンバ内へ基板を輸送し、
c)第1プロセスを用いて基板を処理するために、第1又は第2プロセスチャンバのどちらか一方の中へ基板を輸送し、
d)第2搬送チャンバ内へ基板を輸送し、
e)第2プロセスを用いて基板を処理するために、第3又は第4プロセスチャンバのどちらか一方の中へ基板を輸送する。
f)第3プロセスチャンバ又は第4プロセスチャンバから第2搬送チャンバ内へ基板を輸送し、
g)第3プロセスを用いて基板を処理するために、第1プロセスチャンバ又は第2プロセスチャンバの中へ基板を輸送する。第3プロセスは、第1プロセスと同じ又は異なっていてもよい。
Claims (15)
- 基板を処理するためのコーティングシステム(1)であって、
第1プロセスチャンバ(8)及び第2プロセスチャンバ(9)を含むチャンバアレンジメントを含み、
前記第1プロセスチャンバ(8)は、前記コーティングシステム(1)のインライン部のフォワードパス(F)上に配置され、前記第2プロセスチャンバ(9)は、前記コーティングシステム(1)のインライン部のリターンパス(R)上に配置され、
前記第1プロセスチャンバ(8)及び前記第2プロセスチャンバ(9)は共に、前記第1プロセスチャンバ(8)が配置されるインライン部の前記フォワードパス(F)から前記第2プロセスチャンバ(9)が配置されるインライン部の前記リターンパス(R)まで及びその逆に基板を輸送するために構成される1つの第1搬送チャンバ(5)と1つの第2搬送チャンバ(10)の間に配置されることを特徴とするコーティングシステム(1)。 - 前記チャンバアレンジメントは、前記コーティングシステム(1)内に基板を閉じ込めるための、及び/又は、前記コーティングシステム(1)から基板を締め出すためのロックイン/ロックアウトステーション(2)をそれぞれ含み、
前記第1プロセスチャンバ(8)及び前記第2プロセスチャンバ(9)は、前記ロックイン/ロックアウトステーション(2)と、前記第1搬送チャンバ(5)と、前記第2搬送チャンバ(10)とインラインに配置されていることを特徴とする請求項1記載のコーティングシステム(1)。 - 前記第1プロセスチャンバ(8)及び前記第2プロセスチャンバ(9)は、第1コーティングプロセスによって基板上に層を堆積させるためのコーティングツールを含むことを特徴とする請求項1又は2記載のコーティングシステム(1)。
- 前記チャンバアレンジメントは、少なくとも基板を処理するための第3プロセスチャンバ(13)を含み、前記第3プロセスチャンバ(13)は前記第2搬送チャンバ(10)に連結していることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項記載のコーティングシステム(1)。
- 前記チャンバアレンジメントは、前記第2搬送チャンバ(10)に連結する前記第3プロセスチャンバ(13)と並列に配置された第4プロセスチャンバ(14)を含むことを特徴とする請求項4記載のコーティングシステム(1)。
- 前記第3プロセスチャンバ(13)及び前記第4プロセスチャンバ(14)は、第2コーティングプロセス内で基板上に層を堆積させるためのコーティングツールを含むことを特徴とする請求項4又は5記載のコーティングシステム(1)。
- 前記ロックイン/ロックアウトステーション(2)は、ロックインチャンバ(3)及びロックアウトチャンバ(4)を含むことを特徴とする請求項2記載のコーティングシステム(1)。
- 前記第1搬送チャンバ(5)は前記第1プロセスチャンバ(8)及び前記第2プロセスチャンバ(9)と接続され、前記第1プロセスチャンバ(8)及び前記第2プロセスチャンバ(9)は前記第2搬送チャンバ(10)と接続され、前記第3プロセスチャンバ(13)及び前記第4プロセスチャンバ(14)は前記第2搬送チャンバ(10)と接続されることを特徴とする請求項4〜6のいずれか1項記載のコーティングシステム(1)。
- 前記第1搬送チャンバ(5)は、基板を保持するための少なくとも1つの基板ホルダー(7a、7b)を有する第1可回転モジュール(6)を含むことを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項記載のコーティングシステム(1)。
- 前記第2搬送チャンバ(10)は、基板を保持するための少なくとも1つの基板ホルダー(12a、12b)を有する第2可回転モジュール(11)を含むことを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項記載のコーティングシステム(1)。
- a)ロックインチャンバを通って前記コーティングシステム内に基板を閉じ込め、
b)第1搬送チャンバ内へ前記基板を輸送し、
c)第1プロセスを用いて前記基板を処理するために、第1又は第2プロセスチャンバのどちらか一方の中へ前記基板を輸送し、
d)第2搬送チャンバ内へ前記基板を輸送し、
e)第2プロセスを用いて前記基板を処理するために、第3又は第4プロセスチャンバのどちらか一方の中へ前記基板を輸送するステップを含む請求項1〜10のいずれか1項記載のコーティングシステム内で基板をコーティングするための方法。 - f)前記第3プロセスチャンバ又は前記第4プロセスチャンバから前記第2搬送チャンバ内へ前記基板を輸送し、
g)第3プロセスを用いて前記基板を処理するために、前記第1プロセスチャンバ又は前記第2プロセスチャンバ内へ前記基板を輸送するステップを更に含むことを特徴とする請求項11記載の方法。 - ステップg)は、第3プロセスを用いて前記基板を処理するためのステップc)内と同じプロセスチャンバ内へ前記基板を輸送することを含むことを特徴とする請求項11又は12に記載の方法。
- 前記方法は、h)前記第1搬送チャンバ内へ前記基板を輸送し、及びi)ロックアウトチャンバ内へ前記基板を輸送するステップを更に含むことを特徴とする請求項11、12又は13に記載の方法。
- TFT薄膜トランジスタを生産するために提供されることを特徴とする請求項11〜14のいずれか1項記載の方法。
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