JP2008028036A - 半導体製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】2つの搬送チャンバ40とこれらの搬送チャンバ40の間に配設される処理チャンバ31とから構成されて、ウェハ26が一方の搬送チャンバ40から処理チャンバ31を経由して他方の搬送チャンバ40へ搬送される処理経路を有する2つの処理ユニット30を具備し、各処理ユニット30同士を接続してこれらの各処理経路同士を連結すると共に、この連結した処理経路上の任意の搬送チャンバ40を処理の起点とし、他の搬送チャンバ40を処理の終点となるよう構成する。
【選択図】図1
Description
外部との間で被搬送体を受け渡し可能に形成された搬送ロボットを内部に配設した少なくとも2つの搬送チャンバと、
前記各搬送チャンバの間に配設されると共に、一方の搬送チャンバの搬送ロボットにより前記被搬送体を受け取り他方の搬送チャンバの搬送ロボットにより前記被搬送体を引き渡し可能に形成された処理チャンバと
を具備することを特徴とする半導体製造装置にある。
前記搬送チャンバは、少なくとも2つの開口を有すると共に、これらのうちの1つの開口を介して被搬送体を受け取り、他の開口を介して被搬送体を引き渡す搬送ロボットを内部に配設したものとし、
前記処理チャンバは、少なくとも2つ以上の開口を有すると共に、この各開口のそれぞれを前記各搬送チャンバの開口に連結するよう前記搬送チャンバに接続され、前記搬送ロボットがこの開口を介して被搬送体の受け渡しが可能となるよう形成されたものとし、
処理の起点となる搬送チャンバと処理の終点となる搬送チャンバとの間に形成される処理経路上に複数の前記処理チャンバを配設すると共に、前記処理チャンバで処理された被搬送体を次の処理チャンバに搬送するよう前記搬送チャンバを配設したことを特徴とする半導体製造装置にある。
少なくとも2つの前記搬送チャンバとこれらの搬送チャンバの間に配設される前記処理チャンバとから構成されて、前記被搬送体が一方の搬送チャンバから前記処理チャンバを経由して他方の搬送チャンバへ搬送される処理経路を有する複数の処理ユニットを具備し、
前記各処理ユニット同士を接続してこれらの各処理経路同士を連結すると共に、この連結した処理経路上の任意の搬送チャンバを処理の起点とし、他の搬送チャンバを処理の終点となるよう構成した
ことを特徴とする半導体製造装置にある。
前記搬送チャンバと前記処理チャンバとを組み合わせてなる第1乃至第3の処理ユニットを有し、
前記処理ユニットは、処理チャンバが平行な2つの側面のそれぞれに開口を有するものとし、この平行な2つの側面の各々に2つの搬送チャンバがそれぞれ接続するよう構成されて、前記被搬送体が一方の搬送チャンバから前記処理チャンバを経由して他方の搬送チャンバへ直進するよう搬送される処理経路を有するものであり、
少なくとも2つの前記処理ユニットをこれらの処理経路が互いに平行となるよう配設し、前記各処理ユニット同士を前記搬送チャンバを介して接続してこれらの各処理経路同士を連結すると共に、一方の処理ユニットの搬送チャンバを処理の起点とし、他方の処理ユニットの搬送チャンバを処理の終点となるよう構成した
ことを特徴とする半導体製造装置にある。
前記搬送チャンバと前記処理チャンバとが隣接するように、前記搬送チャンバと前記処理チャンバとを平面上に配設すると共に、前記搬送チャンバが他の搬送チャンバ、又は前記処理チャンバとの間でウェハの受け渡しが可能となるように構成したことを特徴とする半導体製造装置にある。
前記搬送チャンバと前記処理チャンバとが交互に隣接するように、前記搬送チャンバと前記処理チャンバとを平面上に配設したことを特徴とする半導体製造装置にある。
前記処理チャンバには、ハロゲンを含有する作用ガスの作用により高蒸気圧ハロゲン化物を生成し得る元素を含む材料で形成した被エッチング部材をエッチングして前記元素とハロゲンとからなる前駆体を形成する一方、この前駆体を、前記被エッチング部材の温度よりも低温の前記被搬送体であるウェハに吸着させ、その後前記前駆体を前記ハロゲンラジカルで還元して前記元素成分を析出させることにより所定の薄膜を形成する手段が設けられたことを特徴とする半導体製造装置にある。
前記被エッチング部材を前記処理チャンバ内に搬入してこの処理チャンバ内に配設すると共に前記処理チャンバ内に配設された前記被エッチング部材を前記処理チャンバの外に搬出する搬送手段を更に具備し、
前記搬送ロボットは、前記被搬送体として前記被エッチング部材を搬入・搬出可能に構成されたことを特徴とする半導体製造装置にある。
図1は、実施形態1に係る半導体製造装置の概略平面図である。
図4は、実施形態2に係る半導体製造装置の概略平面図である。本実施形態に係る半導体製造装置200は、実施形態1に係る半導体製造装置1が搬送チャンバ、及び処理チャンバを組み合わせて第1乃至第3の処理ユニットを形成したのに対し、各搬送チャンバ、及び各処理チャンバを平面上に自由に並べてより柔軟な処理経路を構築できるようにしたものである。
図5は、実施形態3に係る半導体製造装置の概略平面図である。本実施形態に係る半導体製造装置300は、実施形態2に係る半導体製造装置200が各搬送チャンバ、及び各処理チャンバを平面上に配設したのに対し、所定の条件の下、これらのチャンバを配設することで平面上により広がりを持たせたウェハ26の処理経路を形成するものである。
実施形態1乃至実施形態3に説明したように、搬送チャンバ40(図1、図4、図5参照。以下同じ。)の内部に配設された搬送ロボット90(図1、図3参照。以下同じ。)はウェハ26を搬送したが、これに限定されず、例えば被搬送体として被エッチング部材102を搬送してもよい。これにより処理チャンバ31内に配設された被エッチング部材102を交換することができる。
20 カセットステージ
21 ウェハカセット支持台
22 搬送台
23 ガイドレール
25 ウェハアライナ
26 ウェハ
27 ウェハカセット
30 処理ユニット
31,31a 処理チャンバ
40,41a 搬送チャンバ
80 ロボット
90 搬送ロボット
91 回転部
92 アーム
101 支持体
102 被エッチング部材
103 プラズマアンテナ
104 整合器
105 高周波電源
106 ノズル
107 流量制御器
108 排気口
109 真空排気装置
120 ゲートバルブ
Claims (8)
- 外部との間で被搬送体を受け渡し可能に形成された搬送ロボットを内部に配設した少なくとも2つの搬送チャンバと、
前記各搬送チャンバの間に配設されると共に、一方の搬送チャンバの搬送ロボットにより前記被搬送体を受け取り他方の搬送チャンバの搬送ロボットにより前記被搬送体を引き渡し可能に形成された処理チャンバと
を具備することを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項1に記載する半導体製造装置において、
前記搬送チャンバは、少なくとも2つの開口を有すると共に、これらのうちの1つの開口を介して被搬送体を受け取り、他の開口を介して被搬送体を引き渡す搬送ロボットを内部に配設したものとし、
前記処理チャンバは、少なくとも2つ以上の開口を有すると共に、この各開口のそれぞれを前記各搬送チャンバの開口に連結するよう前記搬送チャンバに接続され、前記搬送ロボットがこの開口を介して被搬送体の受け渡しが可能となるよう形成されたものとし、
処理の起点となる搬送チャンバと処理の終点となる搬送チャンバとの間に形成される処理経路上に複数の前記処理チャンバを配設すると共に、前記処理チャンバで処理された被搬送体を次の処理チャンバに搬送するよう前記搬送チャンバを配設したことを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項2に記載する半導体製造装置において、
少なくとも2つの前記搬送チャンバとこれらの搬送チャンバの間に配設される前記処理チャンバとから構成されて、前記被搬送体が一方の搬送チャンバから前記処理チャンバを経由して他方の搬送チャンバへ搬送される処理経路を有する複数の処理ユニットを具備し、
前記各処理ユニット同士を接続してこれらの各処理経路同士を連結すると共に、この連結した処理経路上の任意の搬送チャンバを処理の起点とし、他の搬送チャンバを処理の終点となるよう構成した
ことを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項3に記載する半導体製造装置において、
前記搬送チャンバと前記処理チャンバとを組み合わせてなる第1乃至第3の処理ユニットを有し、
前記処理ユニットは、処理チャンバが平行な2つの側面のそれぞれに開口を有するものとし、この平行な2つの側面の各々に2つの搬送チャンバがそれぞれ接続するよう構成されて、前記被搬送体が一方の搬送チャンバから前記処理チャンバを経由して他方の搬送チャンバへ直進するよう搬送される処理経路を有するものであり、
少なくとも2つの前記処理ユニットをこれらの処理経路が互いに平行となるよう配設し、前記各処理ユニット同士を前記搬送チャンバを介して接続してこれらの各処理経路同士を連結すると共に、一方の処理ユニットの搬送チャンバを処理の起点とし、他方の処理ユニットの搬送チャンバを処理の終点となるよう構成した
ことを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項1又は請求項2に記載する半導体製造装置において、
前記搬送チャンバと前記処理チャンバとが隣接するように、前記搬送チャンバと前記処理チャンバとを平面上に配設すると共に、前記搬送チャンバが他の搬送チャンバ、又は前記処理チャンバとの間でウェハの受け渡しが可能となるように構成したことを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項5に記載する半導体製造装置において、
前記搬送チャンバと前記処理チャンバとが交互に隣接するように、前記搬送チャンバと前記処理チャンバとを平面上に配設したことを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項1乃至請求項6の何れかに記載する半導体製造装置において、
前記処理チャンバには、ハロゲンを含有する作用ガスの作用により高蒸気圧ハロゲン化物を生成し得る元素を含む材料で形成した被エッチング部材をエッチングして前記元素とハロゲンとからなる前駆体を形成する一方、この前駆体を、前記被エッチング部材の温度よりも低温の前記被搬送体であるウェハに吸着させ、その後前記前駆体を前記ハロゲンラジカルで還元して前記元素成分を析出させることにより所定の薄膜を形成する手段が設けられたことを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項7に記載する半導体製造装置において、
前記被エッチング部材を前記処理チャンバ内に搬入してこの処理チャンバ内に配設すると共に前記処理チャンバ内に配設された前記被エッチング部材を前記処理チャンバの外に搬出する搬送手段を更に具備し、
前記搬送ロボットは、前記被搬送体として前記被エッチング部材を搬入・搬出可能に構成されたことを特徴とする半導体製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006197226A JP2008028036A (ja) | 2006-07-19 | 2006-07-19 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006197226A JP2008028036A (ja) | 2006-07-19 | 2006-07-19 | 半導体製造装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008028036A true JP2008028036A (ja) | 2008-02-07 |
Family
ID=39118385
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2006197226A Pending JP2008028036A (ja) | 2006-07-19 | 2006-07-19 | 半導体製造装置 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2008028036A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011522968A (ja) * | 2008-06-09 | 2011-08-04 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 基板をコーティングするためのコーティングシステム及び方法 |
WO2011121665A1 (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-06 | キヤノンアネルバ株式会社 | 電子デバイスの製造装置及びこれを用いた電子デバイスの製造方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60238134A (ja) * | 1984-04-16 | 1985-11-27 | Tokuda Seisakusho Ltd | 真空処理装置 |
JP2005139476A (ja) * | 2003-11-04 | 2005-06-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 薄膜作製方法及び薄膜作製装置 |
JP2005240091A (ja) * | 2004-02-26 | 2005-09-08 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 薄膜作製方法及び薄膜作製装置 |
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2006
- 2006-07-19 JP JP2006197226A patent/JP2008028036A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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