JP2021082808A - 液滴の拡がりを制御することによって硬化層を形成する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
以下の非限定的な実施例は、本明細書に記載される概念を例示する。
Claims (20)
- 基板上に硬化層を形成する方法であって、
基板の外面を覆う第1の膜として液状の第1の硬化性組成物を付与する工程と、
前記第1の膜のうち少なくとも1つの第1の領域を第1の化学線に曝す工程であって、前記第1の化学線は、前記少なくとも1つの第1の領域において液状の前記第1の硬化性組成物の少なくとも部分的な硬化を引き起こす、工程と、
前記第1の膜の上に液状の第2の硬化性組成物の液滴を配置する工程であって、前記第1の膜のうち前記第1の化学線に曝された前記少なくとも1つの第1の領域内での前記液滴の液滴拡がりは、前記第1の膜のうち前記第1の化学線に曝されなかった少なくとも1つの第2の領域と比べて異なる、工程と、
前記第1の膜の上に配置された前記液滴をテンプレートまたはスーパーストレートに接触させて更に拡げ、前記基板の前記外面上で前記液滴を第2の膜に併合させる工程と、
前記第2の膜に第2の化学線の照射を適用し、前記第2の膜を硬化させて前記硬化層を形成する工程と、
前記硬化層から前記テンプレートまたはスーパーストレートを除去する工程と、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記第2の硬化性組成物の前記液滴の少なくとも一部は、前記基板の前記外面を覆う前記第1の膜に沿って異方的に拡がる、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第1の膜は、液状の前記第2の硬化性組成物の前記液滴を前記第1の膜の上に配置するときに流体である、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第1の膜の前記第1の化学線は、照射パターンを含むマスクを通して適用され、前記照射パターンに従って前記第1の膜の複数の少なくとも部分的に重合された第1の領域を形成する、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 液状の前記第1の硬化性組成物の粘度は、1mPa・s〜200mPa・sの間である、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第1の化学線は、250nm〜450nmの範囲内の波長を有する光である、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第1の膜の上に前記第2の硬化性組成物の前記液滴を配置する前において、表面張力の比SE1:SE2は少なくとも1.1であり、SE1は、前記第1の膜のうち前記第1の化学線に曝された前記少なくとも1つの第1の領域の表面張力であり、SE2は、前記第1の膜のうち前記第1の化学線に曝されなかった前記少なくとも1つの第2の領域の表面張力である、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第1の膜の上に前記第2の硬化性組成物の前記液滴を配置する前において、粘度の比SV1:SV2は少なくとも1.2であり、SV1は、前記第1の膜のうち前記第1の化学線に曝された前記少なくとも1つの第1の領域の粘度であり、SV2は、前記第1の膜のうち前記第1の化学線に曝されなかった前記少なくとも1つの第2の領域の粘度である、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第2の硬化性組成物の表面張力は、前記第1の硬化性組成物の表面張力よりも低い、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 液状の前記第1の硬化性組成物は、アクリレートモノマーを含む、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 液滴拡がり径の比SD2:SD1は少なくとも1.3であり、SD2は、前記第1の化学線に曝されなかった前記少なくとも1つの第2の領域において前記第1の膜の上に配置された液滴の平均液滴拡がり径であり、SD1は、前記第1の膜のうち前記第1の化学線に曝された前記少なくとも1つの第1の領域の上に配置された液滴の平均液滴拡がり径である、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記基板の前記外面と前記第1の膜との間に接着層を適用する工程をさらに含む、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 液状の前記第2の硬化性組成物の粘度は、50mPa・s以下である、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記方法はナノインプリントリソグラフィに採用され、液状の前記第2の硬化性組成物はインプリントレジストである、ことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第1の膜の上に配置された液滴はテンプレートと接触され、前記テンプレートの除去後に、前記硬化層は、少なくとも1つのインプリント領域および少なくとも1つの境界領域を含み、前記基板上の前記少なくとも1つのインプリント領域の位置は、前記第1の膜のうち前記第1の化学線に曝された前記少なくとも1つの第1の領域に対応し、前記少なくとも1つの境界領域の位置は、前記第1の膜のうち前記第1の化学線に曝されなかった前記少なくとも1つの第2の領域に対応する、ことを特徴とする請求項14に記載の方法。
- 前記硬化層は、少なくとも2つのインプリント領域および少なくとも2つの境界領域を含む、ことを特徴とする請求項15に記載の方法。
- 前記少なくとも2つのインプリント領域および前記少なくとも2つの境界領域は、交互の順序で配置されている、ことを特徴とする請求項16に記載の方法。
- 前記少なくとも2つのインプリント領域は複数のラインを形成し、前記境界領域は前記インプリント領域のライン間に配置されている、ことを特徴とする請求項16に記載の方法。
- 物品を形成する方法であって、
基板の外面を覆う第1の膜として液状の第1の硬化性組成物を付与する工程と、
前記第1の膜のうち少なくとも1つの第1の領域を第1の化学線に曝す工程であって、前記第1の化学線は、前記少なくとも1つの第1の領域において液状の前記第1の硬化性組成物の少なくとも部分的な硬化を引き起こす、工程と、
前記第1の膜の上にインプリントレジストの液滴を配置する工程であって、前記第1の膜のうち前記第1の化学線に曝された前記少なくとも1つの第1の領域内での前記液滴の平均拡がり径は、前記第1の膜のうち前記第1の化学線に曝されなかった少なくとも1つの第2の領域と比べて異なる、工程と、
前記第1の膜の上に配置された前記液滴をテンプレートに接触させて更に拡げ、前記基板の前記外面上で前記液滴を第2の膜に併合させる工程と、
前記第2の膜を第2の化学線に曝し、前記第2の膜を硬化させて硬化層を形成する工程と、
前記硬化層から前記テンプレートを除去する工程であって、前記テンプレートの除去後に、前記硬化層は、少なくとも1つのインプリント領域および少なくとも1つの境界領域を含み、前記基板上の前記少なくとも1つのインプリント領域の位置は、前記第1の膜のうち前記第1の化学線に曝された前記少なくとも1つの第1の領域に対応し、前記少なくとも1つの境界領域の位置は、前記第1の膜のうち前記第1の化学線に曝されなかった前記少なくとも1つの第2の領域に対応する、工程と、
前記物品を作成するために、前記硬化層を有する前記基板を処理する工程と、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記方法はナノインプリントリソグラフィに採用される、ことを特徴とする請求項19に記載の方法。
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