JP2021077841A - ウエハー拡張装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハー拡張リングは外枠及びフィルムを含み、フィルムが外枠に接続され、かつウエハーを貼附つける。搭載台はウエハー拡張リングを搭載する。ウエハー拡張アセンブリはフィルムを押え付けて拡張させるものであり、かつウエハー拡張アセンブリは異なるサイズの押え付けロール、またはウエハーの中心までの距離が異なる押え付けロールを含む。固定機構は搭載台と共にウエハー拡張リングの外枠を固定し、かつ、ウエハー拡張アセンブリがフィルムを上へ押え付けた時に、フィルムを拡張してウエハーを拡張する。本発明はさらに加力アセンブリを提供し、フィルムに加力して、フィルムの局部張力を変える。
【選択図】図3
Description
100、200 ウエハー拡張装置
110 ウエハー拡張リング
112 フィルム
114 外枠
120 搭載台
130、230、330 ウエハー拡張アセンブリ
132 押え付けロール
134、234、334 台座
140 固定機構
232a 第一押え付けロール
232b 第二押え付けロール
332a 第一組の押え付けロール
332b 第二組の押え付けロール
450 加力アセンブリ
452 押下ロール
F、F1、F2、F3 張力
Claims (13)
- ウエハー拡張装置であって、
外枠及び前記外枠に接続されたフィルムを含み、ウエハーが前記フィルムに貼り付けられるウエハー拡張リングと、
前記ウエハー拡張リングを搭載する搭載台と、
異なるサイズの押え付けロールを含み、前記フィルムを押え付けて拡張するウエハー拡張アセンブリと、
前記搭載台と共に前記ウエハー拡張リングの前記外枠を固定し、かつ、前記ウエハー拡張アセンブリが上へ前記フィルムを押え付けた時に、前記フィルムを拡張して、前記ウエハーを拡張する固定機構とを含む、ウエハー拡張装置。 - 前記押え付けロールが複数の第一押え付けロール及び複数の第二押え付けロールを含み、かつ、前記第一押え付けロールの直径が前記第二押え付けロールの直径より大きい、請求項1に記載のウエハー拡張装置。
- 前記第一押え付けロールと前記第二押え付けロールが交差して設置される請求項2に記載のウエハー拡張装置。
- 前記第一押え付けロール間の距離が等距離である、請求項3に記載のウエハー拡張装置。
- 前記押え付けロールが前記ウエハーを囲んで設置される、請求項1に記載のウエハー拡張装置。
- 前記押え付けロールが円形に分布する、請求項5に記載のウエハー拡張装置。
- ウエハー拡張装置であって、
外枠及び前記外枠に接続されるフィルムを含み、前記フィルムにウエハーが貼り付けられるウエハー拡張リングと、
前記ウエハー拡張リングを搭載する搭載台と、
前記ウエハーの中心からの距離が異なる押え付けロールを含み、前記フィルムを押え付けて拡張するウエハー拡張アセンブリと、
前記搭載台とともに前記ウエハー拡張リングの前記外枠を固定し、かつ、前記ウエハー拡張アセンブリが前記フィルムを上へ押え付けた時に、前記フィルムを拡張して前記ウエハーを拡張する固定機構とを含む、ウエハー拡張装置。 - 前記押え付けロールが複数の第一組の押え付けロール及び複数の第二組の押え付けロールを含み、かつ、前記第一組の押え付けロールから前記ウエハーの中心までの距離が前記第二組の押え付けロールから前記ウエハーの中心までの距離より大きい、請求項7に記載のウエハー拡張装置。
- 前記第一組の押え付けロール間の距離が等距離である、請求項8に記載のウエハー拡張装置。
- 前記押え付けロールが前記ウエハーを囲んで円形に分布する、請求項7に記載のウエハー拡張装置。
- ウエハー拡張装置であって、
外枠及び前記外枠に接続されるフィルムを含み、前記フィルムにウエハーが貼り付けられるウエハー拡張リングと、
前記ウエハー拡張リングを搭載する搭載台と、
前記フィルムを押え付けて拡張するウエハー拡張アセンブリと、
前記フィルムに対し加力して、前記フィルムの局部張力を変える加力アセンブリと、
前記搭載台とともに前記ウエハー拡張リングの前記外枠を固定し、かつ、前記ウエハー拡張アセンブリが前記フィルムを上へ押え付けた時に、前記フィルムを拡張して前記ウエハーを拡張する固定機構とを含む、ウエハー拡張装置。 - 前記加力アセンブリが複数の押下ロールを含み、前記フィルムを部分的に押下する、請求項11に記載のウエハー拡張装置。
- 前記押下ロールがそれぞれ前記ウエハーの対向する両側に位置する、請求項12に記載のウエハー拡張装置。
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