JP2021072318A - 磁気メモリ素子及び磁気メモリ装置 - Google Patents

磁気メモリ素子及び磁気メモリ装置 Download PDF

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Abstract

【課題】駆動電流パルスを印加するための電源を併用でき、従来の磁気メモリ装置より効率よく,磁性体のほぼ全域にデータを書き込み、また,磁性体のデータを移動させて読みだすことができる磁気メモリ素子及び磁気メモリ装置を提供すること。【解決手段】磁気メモリ素子10は,磁気異方性を有する第1磁性体11と,第1磁性体11の一端に設けられ,第1磁性体11の磁気モーメントを検出して電気信号に変換する読み出し電極12と,磁気異方性を有し,第1磁性体11から離間した第2磁性体13と,第2磁性体13の一端に設けられ,電気信号を第2磁性体13に磁気モーメントとして書き込む書き込み電極14と,を備える。【選択図】図1

Description

本発明は磁気メモリ素子及び磁気メモリ装置に関する。
超高速記録を実現できる磁性体メモリ技術としてハードディスクドライブ(HDD:Hard Disk Drive)がある。この磁性体メモリは,磁石のN極・S極の向きを利用して2値情報を記録するデバイスである。磁性体メモリは本質的に数十ピコ秒以内の短時間での記録が実現可能である。純粋な記録時間に限れば,半導体メモリに比べて10〜20倍高速でることが報告されている(例えば非特許文献1)。
磁性体メモリでは磁石の向きをN極あるいはS極に変える,すなわち磁石を構成している電子のスピンの向き(イメージでは自転方向)をその場で変えるため,ごく僅かな時間だけで済む。しかし,HDDなどの磁性体を用いた記録デバイスでは,モーターを使用して記録媒体を回転・移動させる必要がある。また,磁気ヘッドを位置制御して情報(データ)を記録再生することが必要であるため,機械的可動部の動作速度によって記録再生速度が制限され,転送速度をさらに上げることが困難である。
そこで,機械的可動部の無い磁性体メモリができれば,磁性体が持つ本来の高速の記録性能を有する映像記録用のメモリが実現できる可能性がある。磁性体メモリの高速記録性能を生かすためには,機構部に代わる新しい原理で磁化情報にアクセスすることが必要となる。
近年,磁性材料を数百ナノメートルの直線状に加工した,磁性細線と呼ばれる1次元的な構造において,電流を印加することによる磁壁の駆動現象(磁壁電流駆動現象)が見いだされ,これを用いて電気的に磁化情報へアクセスすることが試みられるようになった。
また,レーストラックメモリと呼ばれる磁性細線を基盤に対して垂直方向に延伸させたU字型の3次元構造をもつ磁壁の駆動現象を利用したメモリがある(例えば非特許文献2)。このレーストラックメモリでは書き込みヘッドで磁性細線中に磁区を生成させ,パルス電流を左右の方向に印可する。このレーストラックメモリは,読みたい情報が端部にある場合は多少時間がかかるがランダムアクセスの機能も有する。なお,データの読み出しはMTJ素子で行う。
L. Le Guyader,et al.,"Nanoscale Sub-100 Picosecond All-optical Magnetization Switching in GdFeCo Microstructures," Nature Communications,6,pp.5839-1 - 5839-6 (2015)) S.S.P Parkin, M. Hayashi, and L. Thomas, Science, 320 190 (2008).
しかしながら,レーストラックメモリは両端部の記録されたデータを読み出すためには、磁壁を移動させるための余分なスペースが必要になり記録容量が減少するので,端部の記録,読み出し効率が悪くなる問題があった。
一実施形態の磁気メモリ素子は,磁気異方性を有する第1磁性体と,前記第1磁性体の一端に設けられ,前記第1磁性体の磁気モーメントを検出して電気信号に変換する読み出し電極と,磁気異方性を有し,前記第1磁性体から離間した第2磁性体と,前記第2磁性体の一端に設けられ,前記電気信号を前記第2磁性体に磁気モーメントとして書き込む書き込み電極と,を備えるようにした。
一実施形態の磁気メモリ素子によれば,駆動電流パルスを印加するための電源を併用でき、従来の磁気メモリ装置より効率よく,磁性体のほぼ全域にデータを書き込み、また,磁性体のデータを移動させて読みだすことができる。
一実施形態の磁気メモリ素子は,好ましくは,前記読み出し電極は,前記第1磁性体上に配置された第1非磁性層と,前記第1非磁性層上に配置された第1固定層とを備え,前記第1磁性体の磁気モーメントを前記第1磁性体と前記第1固定層との間に流れる電流に変換するようにした。
一実施形態の磁気メモリ素子によれば,前記第1固定層直下の前記第1磁性体にあるデータの情報が0の場合には,前記電流の大きさが小さな電流に,情報が1の場合には大きな電流に変化する。データの情報は前記第1磁性体の磁気モーメントの向きで決定される。また,情報が0と1との場合で,電流の大きさの大小関係は逆でもよい。また電流が小さい場合とは電流値がゼロでもよい。
一実施形態の磁気メモリ素子は,好ましくは,前記書き込み電極は,前記第2磁性体上に配置された第2非磁性層と,前記第2非磁性層上に配置された第2固定層とを備え,前記第2磁性体と前記第2固定層との間に流れる電流により前記第2磁性体の磁気モーメントを決定するようにした。
一実施形態の磁気メモリ素子によれば,読み出し電極で磁気モーメントから変換された電流値が大きい場合には,書き込み電極に,前記第2固定層→前記第2非磁性層→前記第2非磁性層直下の第2磁性体の向きに電流を流し,前記第2非磁性層直下の第2磁性体部分にデータ1を書き込みできる。変換された電流値が小さいもしくはゼロの場合には,前記第2非磁性層直下の前記第2磁性体→前記第2非磁性層→前記第2固定層の向きに電流を流し,前記第2非磁性層直下の前記第2磁性体部分にデータ0を書き込みできる。ただし,流れる電流の向きは,磁気モーメントとデータ“0”“1”との対応付けや,前記第2磁性体を流れる電流のスピン偏極率の符号によっては逆向きに変化する。
一実施形態の磁気メモリ素子は,好ましくは,前記書き込み電極は,異なる磁化方向を有する2つの固定層を備え,2つの固定層の間に前記第2磁性体が配置され,2つの固定層の一方と前記第2磁性体との間に電流を流すことにより磁気モーメントを決定するようにした。
一実施形態の磁気メモリ素子によれば,読み出し電極で磁気モーメントから変換された電流値が大きい場合には,書き込み電極に,片方の前記第2固定層→前記第2磁性体の向きに電流を流し,前記第2磁性体部分にデータ1を書き込みできる。変換された電流値が小さいもしくはゼロの場合には,もう一方の前記第2固定層→前記第2磁性体の向きに電流を流し,前記第2磁性体部分にデータ0を書き込みできる。ただし,流れる電流の向きは,磁気モーメントとデータ“0”“1”との対応付けや,前記第2磁性体を流れる電流のスピン偏極率の符号によっては逆向きに変化する。
一実施形態の磁気メモリ装置は,好ましくは,上記のいずれかに記載の磁気メモリ素子と,前記第1磁性体の両端に電流を流す第1パルス電源と,前記第2磁性体の両端に電流を流す第2パルス電源と,を備えるようにした。
一実施形態の磁気メモリ装置によれば,前記第1パルス電源から前記第1磁性体へ電流を流すことで,前記第1磁性体へ書き込まれた情報が前記第1磁性体内を移動することができる。前記第2パルス電源から前記第2磁性体へ電流を流すことで,前記第2磁性体へ書き込まれた情報が前記第2磁性体内を移動することができる。
一実施形態の磁気メモリ素子は,磁気異方性を有する磁性体と,磁性体の一端に設けられ,前記磁性体の磁気モーメントを検出して電気信号に変換する読み出し電極と,前記磁性体の他端に設けられ,前記電気信号を前記磁性体に磁気モーメントとして書き込む書き込み電極と,を備えるようにした。
一実施形態の磁気メモリ素子によれば,駆動電流パルスを印加するための電源を併用でき、従来の磁気メモリ装置より効率よく,磁性体のほぼ全域にデータを書き込み、また,磁性体のデータを移動させて読みだすことができる。
一実施形態の磁気メモリ素子は,好ましくは,前記読み出し電極は,前記磁性体上に配置された第1非磁性層と,前記第1非磁性層上に配置された第1固定層とを備え,前記磁性体の磁気モーメントを前記磁性体と前記第1固定層との間に流れる電流に変換するようにした。
一実施形態の磁気メモリ素子によれば,前記第1固定層直下の前記磁性体にあるデータの情報が0の場合には,前記電流の大きさが小さな電流に,情報が1の場合には大きな電流に変化する。データの情報は前記磁性体の磁気モーメントの向きで決定される。また,情報が0と1との場合で,電流の大きさの大小関係は逆でもよい。また電流が小さい場合とは電流値がゼロでもよい。
一実施形態の磁気メモリ素子は,好ましくは,前記書き込み電極は,前記磁性体上に配置された第2非磁性層と,前記第2非磁性層上に配置された第2固定層とを備え,前記磁性体と前記第2固定層との間に流れる電流により前記磁性体の磁気モーメントを決定するようにした。
一実施形態の磁気メモリ素子によれば,読み出し電極で磁気モーメントから変換された電流値が大きい場合には,書き込み電極に,前記第2固定層→前記第2非磁性層→前記第2非磁性層直下の磁性体の向きに電流を流し,前記第2非磁性層直下の第2磁性体部分にデータ1を書き込みできる。変換された電流値が小さいもしくはゼロの場合には,前記第2非磁性層直下の前記第2磁性体→前記第2非磁性層→前記第2固定層の向きに電流を流し,前記第2非磁性層直下の前記磁性体部分にデータ0を書き込みできる。ただし,流れる電流の向きは,磁気モーメントとデータ“0”“1”との対応付けや,前記磁性体を流れる電流のスピン偏極率の符号によっては逆向きに変化する。
一実施形態の磁気メモリ素子は,好ましくは,前記書き込み電極は,異なる磁化方向を有する2つの固定層を備え,2つの固定層の間に前記磁性体が配置され,2つの固定層の一方と前記磁性体との間に電流を流すことにより磁気モーメントを決定するようにした。
一実施形態の磁気メモリ素子によれば,読み出し電極で磁気モーメントから変換された電流値が大きい場合には,書き込み電極に,片方の前記固定層→前記磁性体の向きに電流を流し,前記磁性体部分にデータ1を書き込みできる。変換された電流値が小さいもしくはゼロの場合には,もう一方の前記固定層→前記磁性体の向きに電流を流し,前記磁性体部分にデータ0を書き込みできる。ただし,流れる電流の向きは,磁気モーメントとデータ“0”“1”との対応付けや,前記磁性体を流れる電流のスピン偏極率の符号によっては逆向きに変化する。
一実施形態の磁気メモリ装置は,好ましくは,上記のいずれかに記載の磁気メモリ素子と,前記磁性体の両端に電流を流すパルス電源と,を備えるようにした。
一実施形態の磁気メモリ装置によれば,前記パルス電源から前記磁性体へ電流を流すことで,前記磁性体へ書き込まれた情報が前記磁性体内を移動することができる。
一実施形態の磁気メモリ装置は,好ましくは,前記読み出し電極から読み出したデータをバッファし,磁区が移動した後にデータを前記書き込み電極に出力する制御回路を備えるようにした。
一実施形態の磁気メモリ装置によれば,前記読み出し電極直下の前記磁性体部分に記憶されたデータ(情報)を,適したタイミングで前記書き込み電極直下の前記磁性体部分に記憶できる。前記書き込み電極直下に必要なデータが残っていた場合に,そのデータを前記磁性体部分内で移動させたのちに書き込みを行うことでデータの消失を防ぐことができる。また前記磁性体に記憶された情報を前記磁性体内で移動させながら,前記読み出し電極直下の情報を前記読み出し電極直下から書き込み電極直下の磁性体部分へ書き込むことでデータの転送時の時間ロスを抑えることができる。
一実施形態の磁気メモリ装置は,好ましくは,前記読み出し電極から読み出したデータを前記書き込み電極に出力すると共に,データを外部に出力する制御回路を備えるようにした。
一実施形態の磁気メモリ装置によれば,読み出された情報をCPUやUSBメモリなどの外部記憶装置へと転送し活用することができる。読み出された情報を別の磁性体メモリ装置書き込み部分へと転送すれば,磁性体メモリ装置間でのデータのコピーが可能である。
本発明の磁気メモリ装置によれば,磁性体の2つの端の間でデータを移動させることができる。1つの磁性体の両端をデータの読み書き装置で繋ぐことで,データをループ構造させることができる磁気メモリ装置になる。
実施の形態1にかかる磁気メモリ素子の概略構成を示す斜視図である。 実施の形態1にかかる磁気メモリ装置の読み出し及び書き込み動作の例を示す略図である。 実施の形態1にかかる磁気メモリ装置の読み出し及び書き込み動作の例を示す略図である。 実施の形態1にかかる磁気メモリ装置の読み出し及び書き込み動作の例を示す略図である。 磁気メモリ装置の制御回路の概略構成の一例を示す回路図である。 磁気メモリ装置の制御回路の概略構成の一例を示す回路図である。 実施の形態1にかかる磁気メモリ装置の書き込み電極の一例を示す概略図である。 実施の形態2にかかる磁気メモリ素子の概略構成を示す斜視図である。 他の実施の形態の磁気メモリ素子の概略構成を示す斜視図である。
(実施の形態1)
以下,図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1は,実施の形態1にかかる磁気メモリ装置の概略構成を示す斜視図である。磁気メモリ装置10は,第1磁性体11と,読み出し電極12と,第2磁性体13と,書き込み電極14と,制御回路15と,第1パルス電源16と,第2パルス電源17を備える。そして少なくとも第1磁性体11,読み出し電極12,第2磁性体13及び書き込み電極14で磁気メモリ素子を構成する。
第1磁性体11は,磁気異方性を有する磁性体である。第1磁性体11は,強磁性金属であることが望ましい。第1磁性体11は,細長い形状の磁性体として形成された磁性細線である。そして第1磁性体11内を電流が流れ,磁壁(一定の磁化方向を向いた区間の境界)が移動する磁壁移動型メモリとして機能する。例えば,第1磁性体11は,Co/Ni多層膜,CoNi合金,Co/Pd多層膜,CoPd合金,Co/Pt多層膜,CoPt合金,Tb/FeCo多層膜,TbFeCo合金,Fe/Ni多層膜,FeNi合金、CoFe合金、またはCoFeB合金で構成されることが好適である。
読み出し電極12は,第1磁性体11の磁気モーメントを検出して電気信号に変換する電極である。例えば,読み出し電極12は,第1磁性体11の端部に設けることが好適である。また,例えば,読み出し電極12は,第1磁性体11上に配置された第1非磁性層121と,第1非磁性層121上に配置された第1固定層122とを備えてもよい。
第1非磁性層121は,MgO等の絶縁膜から構成されている。なお,第1非磁性層121を構成する材料としては,NaCl構造を有する酸化物が好ましく,前述したMgOの他,CaO,SrO,TiO,VO,NbO等が挙げられるが,第1非磁性層121としての機能に支障をきたさない限り,特に限定されるものではない。たとえば,スピネル型MgAlなども用いることが可能である。
第1固定層122は,磁化方向が固定された固定層(ピン層とも呼ばれる)である。例えば,第1固定層122は,強磁性材料からなる。具体的には,第1固定層122は,CoFeB,CoFe合金,もしくは,Co/Pt多層膜で構成することが好適である。そして,読み出し電極12は,第1磁性体11の磁気モーメントを第1磁性体11と第1固定層122との間に流れる電流に変換することにより,第1磁性体11の磁壁のデータを読み出すようにしてもよい。
第2磁性体13は,磁気異方性を有する磁性体である。また,第2磁性体13は,第1磁性体11と離間して配置されている。第2磁性体13は,強磁性金属であることが望ましい。第2磁性体13は,細長い形状の磁性体として形成された磁性細線である。そして第2磁性体13内を電流が流れ,磁壁(一定の磁化方向を向いた区間の境界)が移動する磁壁移動型メモリとして機能する。例えば,第2磁性体13は,第1磁性体11と同様に,Co/Ni多層膜,CoNi合金,Co/Pd多層膜,CoPd合金,Co/Pt多層膜,CoPt合金,Tb/FeCo多層膜,TbFeCo合金,Fe/Ni多層膜,FeNi合金、CoFe合金、またはCoFeB合金で構成されることが好適である。
書き込み電極14は,データを第2磁性体の磁気モーメントとして書き込む電極である。例えば,書き込み電極14は,第2磁性体13の端部に設けることが好適である。また,例えば,書き込み電極14は,第2磁性体13上に配置された第2非磁性層141と,第2非磁性層141上に配置された第2固定層142とを備えてもよい。
第2非磁性層141は,MgO等の絶縁膜から構成されている。なお,第2非磁性層141を構成する材料としては,NaCl構造を有する酸化物が好ましく,前述したMgOの他,CaO,SrO,TiO,VO,NbO等が挙げられるが,第2非磁性層141としての機能に支障をきたさない限り,特に限定されるものではない。たとえば,スピネル型MgAlなども用いることが可能である。
第2固定層142は,磁化方向が固定された固定層(ピン層とも呼ばれる)である。例えば,第2固定層142は,強磁性材料からなる。具体的には,第2固定層142は,CoFeB,CoFe合金,もしくは,Co/Pt多層膜で構成することが好適である。そして,書き込み電極14は,第2磁性体13と第2固定層142との間に電流を流すことによりデータを第2磁性体の磁気モーメントとして書き込むようにしてもよい。
制御回路15は,第1磁性体11からデータの読み出しと,第2磁性体13へのデータの書き込みを制御する電子回路である。例えば,制御回路15は,第1パルス電源16により第1磁性体11の磁区が移動する度に,読み出し電極12を用いて第1磁性体11からデータを読み出す。また,制御回路15は,第2パルス電源17により第2磁性体13磁区が移動する度に,書き込み電極14を用いて第2磁性体13にデータを書き込む。
例えば,制御回路15は,読み出し電極12から出力された電流の有無または電流の向きにより読み出したデータを区別する。また,例えば,制御回路15は,書き込み電極14に流す電流の有無または電流の向きにより,データを区別して書き込む。
第1磁性体11の磁区移動速度と,第2磁性体13の磁区移動速度が同じ場合,制御回路15は,第1磁性体11から読み出したデータをそのまま第2磁性体13に書き込む。
また,書き込み速度が読み出し速度より遅い等の理由により,第2磁性体13の磁区移動速度を第1磁性体11の磁区移動速度より遅くせざるを得ない場合,制御回路15は,第1磁性体11から読み出したデータをバッファし,第2磁性体13の磁区が移動した後にデータを第2磁性体13に書き込む。この場合,制御回路15は第1磁性体11から読み出したデータをバッファした後,データを順に書き込み電極14に出力する一時記憶回路を備えることが好適である。
また,制御回路15は,読み出し電極12から読み出したデータを書き込み電極14に出力すると共に,データを外部に出力するように構成してもよい。
第1パルス電源16は,第1磁性体11の両端に電流を流す電源である。第1パルス電源16は,パルス波形の電圧を第1磁性体11の両端に印加することにより,第1磁性体11の磁区が移動する。具体的には,第1パルス電源16は,電極161と電極162の間に電圧を印加する。電極161は,第1磁性体11の読み出し電極12近傍の一端(第1端)に配置される。また,電極162は,第1磁性体11の他端(第2端)に配置される。電極161及び電極162は,非磁性金属で構成されていることが望ましい。
第2パルス電源17は,第2磁性体13の両端に電流を流す電源である。第2パルス電源17は,パルス波形の電圧を第2磁性体13の両端に印加することにより,第2磁性体13の磁区が移動する。具体的には,第2パルス電源17は,電極171と電極172の間に電圧を印加する。電極171は,第2磁性体13の書き込み電極14近傍の一端(第1端)に配置される。また,電極172は,第2磁性体13の他端(第2端)に配置される。電極171及び電極172は,非磁性金属で構成されていることが望ましい。図1に示すように,第2パルス電源17の電極171は,第1パルス電源16の電極161と離間して配置されている。
第1パルス電源16及び第2パルス電源17は,磁区の位置を細かく制御するためにはON-OFF時の電流の波形が角形に近い方が望ましい。具体的には,第1パルス電源16及び第2パルス電源17は,磁区を1ビット長さ分だけ動かすのに必要な電流印加時間をtとして直流電源の印加時間はnt(tの整数倍)とすることが望ましい。また,第1パルス電源16及び第2パルス電源17が印可する電圧は,磁区の電流駆動の電流値に見合った電圧値である。例えば,この電圧は第1磁性体11及び第2磁性体13における抵抗値、磁壁移動速度によって決定される。なお,図1において第1パルス電源16及び第2パルス電源17は形状ではなく機能としてのブロックとして表現している。
以上の構成により,磁気メモリ装置10は,第1磁性体11からデータを読み出し,第2磁性体13にデータを書き込む。次に,実際の読み出し及び書き込み動作について説明する。図2,図3及び図4は,実施の形態1にかかる磁気メモリ装置の読み出し及び書き込み動作の例を示す略図である。図2,図3及び図4では,バブル磁区を用い,2進数の0をバブル無しとし,1をバブル有りとして第1磁性体11から読み出し及び第2磁性体13に書き込みする例を説明する。図2,図3及び図4では,バブル磁区を用い,2進数の0をバブル無しとし,1をバブル有りとしてデータの読み出し及び書き込みを行う例について説明する。
図2の上段は,初期状態の磁気メモリ装置の一例である。図2の上段の例では,第1磁性体11の区間112,113,116及び118がバブル有り,第1磁性体11の区間111,114,115及び117がバブル無しの初期状態となっている。
図2の上段に示す初期状態において,第1磁性体11の磁区を左に移動すると,図2の中段の状態となる。図2の中段では,第1磁性体11の区間111,112,115及び117がバブル有り,第1磁性体11の区間113,114,116及び118がバブル無しの状態となっている。この状態で区間111のデータを読み出し電極12により読み出す。そして,図2の下段は,区間111のデータを第2磁性体13に書き込まれた状態を示す。図2の下段に示すように,第1磁性体11の区間111のデータが第2磁性体13の区間131に書き込まれる。図2の下段では,第1磁性体11の区間111,112,115及び117がバブル有り,第1磁性体11の区間113,114,116及び118がバブル無しの状態である。また,第2磁性体13の区間131がバブル有り,第2磁性体13の区間132〜138がバブルなしとなっている。
そして,図2の下段の状態において,第1磁性体11の磁区及び第2磁性体13の磁区を左に移動すると,図3の上段の状態となる。図3の上段では,第1磁性体11の区間111,114及び116がバブル有り,第1磁性体11の区間112,113,115,117及び118がバブル無しの状態となっている。また,第2磁性体13の区間132がバブル有り,第2磁性体13の区間131,133〜138がバブルなしとなっている。
そして,第1磁性体11の区間111には,次に読み出すデータがあり,第2磁性体13の区間131は次のデータを書き込む区間となる。この状態で区間111のデータを読み出し電極12により読み出す。そして,図3の中段は,区間111のデータを第2磁性体13に書き込まれた状態を示す。図3の中段では,第2磁性体13の区間131及び132がバブル有り,第2磁性体13の区間133〜138がバブルなしとなっている。
そして,図3の中段の状態において,第1磁性体11の磁区及び第2磁性体13の磁区を左に移動すると,図3の下段の状態となる。図3の下段では,第1磁性体11の区間113及び115がバブル有り,第1磁性体11の区間111,112,114,116〜118がバブル無しの状態となっている。また,第2磁性体13の区間132及び133がバブル有り,第2磁性体13の区間131,133〜138がバブルなしとなっている。
そして,第1磁性体11の区間111には,次に読み出すデータがあり,第2磁性体13の区間131は次のデータを書き込む区間となる。この状態で区間111のデータを読み出し電極12により読み出す。読み出した結果,磁区がバブル無しであるので,第2磁性体13に書き込まない。
そして,図3の下段の状態において,第1磁性体11の磁区及び第2磁性体13の磁区を左に移動すると,図4の上段の状態となる。図4の上段では,第1磁性体11の区間112及び114がバブル有り,第1磁性体11の区間111,113,115〜118がバブル無しの初期状態となっている。また,第2磁性体13の区間133及び134がバブル有り,第2磁性体13の区間131,132,135〜138がバブルなしとなっている。
この状態で区間111のデータを読み出し電極12により読み出す。読み出した結果,磁区がバブル無しであるので,第2磁性体13に書き込まない。
そして,図4の上段の状態において,第1磁性体11の磁区及び第2磁性体13の磁区を左に移動すると,図4の中段の状態となる。図4の中段では,第1磁性体11の区間111及び113がバブル有り,第1磁性体11の区間112,114〜118がバブル無しの初期状態となっている。また,第2磁性体13の区間134及び135がバブル有り,第2磁性体13の区間131〜133,136〜138がバブルなしとなっている。
この状態で区間111のデータを読み出し電極12により読み出す。そして,図4の下段は,区間111のデータを第2磁性体13に書き込まれた状態を示す。図4の下段では,第1磁性体11の区間111及び113がバブル有り,第1磁性体11の区間112,114〜118がバブル無しの初期状態となっている。また,第2磁性体13の区間131,134及び135がバブル有り,第2磁性体13の区間132,133,136〜138がバブルなしとなっている。
このように,実施の形態1にかかる磁気メモリ装置によれば,駆動電流パルスを印加するための電源を併用でき、従来の磁気メモリ装置より効率よく,磁性体のほぼ全域にデータを書き込み、また,磁性体のデータを移動させて読みだすことができる。
なお,第1磁性体11から読み出されるデータ及び第2磁性体13に書き込まれるデータは,ストライプ磁区,バブル磁区,スキルミオンのいずれかが好適である。
例えば,ストライプ磁区を用いる場合,2進数の0を下向き磁区とし,1を上向き磁区として第1磁性体11から読み出し及び第2磁性体13に書き込みするようにしてもよい。
また,例えば,バブル磁区を用いる場合,2進数の0をバブル無しとし,1をバブル有りとして第1磁性体11から読み出し及び第2磁性体13に書き込みするようにしてもよい。
また,例えば,スキルミオンを用いる場合,2進数の0をスキルミオン無しとし,1をスキルミオン有りとして第1磁性体11から読み出し及び第2磁性体13に書き込みするようにしてもよい。
また,図1では,第1磁性体11と第2磁性体13が同一直線上に配置されているが,第1磁性体11と第2磁性体13は離間していればよく,第1磁性体11と第2磁性体13の向き及び配置は同一直線上に限定されるものではない。
次に,制御回路15の詳細について説明する。次に説明する構成は,以下の条件を満たす場合に適用可能である。
・条件1
第1磁性体11からのデータの読み出しと,第2磁性体13へのデータの書き込みが,タイミング及び速度が同じである。
・条件2
読み出し電流と書き込み電流の大きさが同じである。
・条件3
読み出しがゼロのとき,なにもしない(たとえばバブル磁区)
図5は,磁気メモリ装置の制御回路の概略構成の一例を示す回路図である。図5において,制御回路15は,直流電源151を備える。また,制御回路15は,第1磁性体11と,第2固定層142とを接続する。
直流電源151は,一端を第1固定層122と接続し,他端を第2磁性体13と接続する。
以上の構成において,第1磁性体11に2進数の0を示すバブル無しの状態となっていた場合,読み出し電極12の第1固定層122と第1磁性体11の間の磁気抵抗が高抵抗となる。したがって,制御回路15は,ほとんど電流が流れない状態となる。この結果,書き込み電極14の第2固定層142と第2磁性体13の間にもほとんど電流が流れないので,第2磁性体13にバブル磁区が書き込まれないこと(すなわちバブル無し)になる。
また,第1磁性体11に2進数の1を示すバブル有りの状態となっていた場合,読み出し電極12の第1固定層122と第1磁性体11の間の磁気抵抗が低抵抗となる。この結果,書き込み電極14の第2固定層142と第2磁性体13の間にも電流が流れるので,第2磁性体13にバブル磁区が書き込まれること(すなわちバブル有り)になる。
上記条件1〜3を満たす場合,制御回路15は,図5のシンプルな構成により,第1磁性体11からの読み出し及び第2磁性体13への書き込みを行うことができる。
次に制御回路15の別の例について説明する。次の例では,ストライプ磁区を用い,2進数の0を下向き磁区とし,1を上向き磁区とした例として説明する。図6は,磁気メモリ装置の制御回路の概略構成の一例を示す回路図である。図6において,制御回路15は,タイミング調整回路152と,AND論理回路154と,XOR論理回路153と,増幅回路155とを備える。
タイミング調整回路152は,読み出し電極12が読み出したデータを,タイミングを調整した後にAND論理回路154,XOR論理回路153及び増幅回路155に出力する。
XOR論理回路153は,タイミング調整後の読み出したデータをXOR論理演算し,演算結果を第2固定層142に出力する。
AND論理回路154は,タイミング調整後の読み出したデータをAND論理演算し,演算結果を第2磁性体13に出力する。
増幅回路155は,タイミング調整後の読み出したデータを増幅し,外部に出力する。増幅回路155は,外部に出力する必要がある場合に備える任意の構成である。
以上の構成により,第1磁性体11からの読み出し及び第2磁性体13への書き込みを行うことができる。
具体的には,まず。第1固定層122とタイミング調整回路152を接続するラインに読み出しパルス信号が入力される。読み出しパルス信号の電圧がLow(例えば0V)からHigh(例えば所定の正の電圧)に変わる。
読み出し電極12が読み出すデータが下向き磁区である場合,読み出し電極12の第1固定層122の電圧がHigh,第1磁性体11の電圧がLowとなる。これらの電圧がAND論理回路154及びXOR論理回路153に印可されると,XOR論理回路153から第2固定層142にHighの電圧が印加され,AND論理回路154から第2磁性体13にLowの電圧が印加される。この結果,第2磁性体13には,下向き磁区が書き込まれる。
読み出し電極12が読み出すデータが上向き磁区である場合,読み出し電極12の第1固定層122の電圧がHigh,第1磁性体11の電圧がHighとなる。これらの電圧がAND論理回路154及びXOR論理回路153に印可されると,XOR論理回路153から第2固定層142にLowの電圧が印加され,AND論理回路154から第2磁性体13にHighの電圧が印加される。この結果,第2磁性体13には,上向き磁区が書き込まれる。
以上の構成により,第1磁性体11からの読み出し及び第2磁性体13への書き込みを行うことができる。
次に書き込み電極14の別の形態について説明する。図7は,実施の形態1にかかる磁気メモリ装置の書き込み電極の一例を示す概略図である。図7において,書き込み電極12は,固定層123と,固定層124とを備える。
固定層123及び固定層124は,また,固定層123及び固定層124は,互いに異なる磁化方向を有する。例えば,固定層123及び固定層124は強磁性材料からなる。具体的には,固定層123及び固定層124は,CoFeB,CoFe合金,もしくは,Co/Pt多層膜で構成することが好適である。そして,固定層123及び固定層124は制御回路15と電気的に接続する。
書き込むデータが上向き磁区である場合,制御回路15は,固定層123と第2磁性体13との間に電流を流す。また書き込むデータが下向き磁区である場合,制御回路15は,固定層124と第2磁性体13との間に電流を流す。
以上の構成により,第2磁性体13への書き込みを行うことができる。
このように実施形態1の磁気メモリ素子は,磁気異方性を有する第1磁性体と,前記第1磁性体の一端に設けられ,前記第1磁性体の磁気モーメントを検出して電気信号に変換する読み出し電極と,駆動電流パルスを印加するための電源を有し,前記第1磁性体から離間した第2磁性体と,前記第2磁性体の一端に設けられ,前記電気信号を前記第2磁性体に磁気モーメントとして書き込む書き込み電極と,駆動電流パルスを印加するための別の電源を備えることにより,従来の磁気メモリ装置より効率よく,磁性体のほぼ全域にデータを書き込み、また,磁性体のデータを移動させて読みだすことができる。
また,実施形態1の磁気メモリ素子は,好ましくは,前記読み出し電極は,前記第1磁性体上に配置された第1非磁性層と,前記第1非磁性層上に配置された第1固定層とを備え,前記第1磁性体の磁気モーメントを前記第1磁性体と前記第1固定層との間に流れる電流に変換することにより,前記第1固定層直下の前記第1磁性体にあるデータの情報が0の場合には,前記電流の大きさが小さな電流に,情報が1の場合には大きな電流に変化する。データの情報は前記第1磁性体の磁気モーメントの向きで決定される。また,情報が0と1との場合で,電流の大きさの大小関係は逆でもよい。また電流が小さい場合とは電流値がゼロでもよい。
また,実施形態1の磁気メモリ素子は,好ましくは,前記書き込み電極は,前記第2磁性体上に配置された第2非磁性層と,前記第2非磁性層上に配置された第2固定層とを備え,前記第2磁性体と前記第2固定層との間に流れる電流により前記第2磁性体の磁気モーメントを決定することにより,読み出し電極で磁気モーメントから変換された電流値が大きい場合には,書き込み電極に,前記第2固定層→前記第2非磁性層→前記第2非磁性層直下の第2磁性体の向きに電流を流し,前記第2非磁性層直下の第2磁性体部分にデータ1を書き込みできる。変換された電流値が小さいもしくはゼロの場合には,前記第2非磁性層直下の前記第2磁性体→前記第2非磁性層→前記第2固定層の向きに電流を流し,前記第2非磁性層直下の前記第2磁性体部分にデータ0を書き込みできる。ただし,流れる電流の向きは,磁気モーメントとデータ“0”“1”との対応付けや,前記第2磁性体を流れる電流のスピン偏極率の符号によっては逆向きに変化する。
また,実施形態1の磁気メモリ素子は,好ましくは,前記書き込み電極は,異なる磁化方向を有する2つの固定層を備え,2つの固定層の間に前記第2磁性体が配置され,2つの固定層の一方と前記第2磁性体との間に電流を流すことにより磁気モーメントを決定することにより,読み出し電極で磁気モーメントから変換された電流値が大きい場合には,書き込み電極に,片方の前記第2固定層→前記第2磁性体の向きに電流を流し,前記第2磁性体部分にデータ1を書き込みできる。変換された電流値が小さいもしくはゼロの場合には,もう一方の前記第2固定層→前記第2磁性体の向きに電流を流し,前記第2磁性体部分にデータ0を書き込みできる。ただし,流れる電流の向きは,磁気モーメントとデータ“0”“1”との対応付けや,前記第2磁性体を流れる電流のスピン偏極率の符号によっては逆向きに変化する。
また,実施形態1の磁気メモリ素子は,好ましくは,上記のいずれかに記載の磁気メモリ素子と,前記第1磁性体の両端に電流を流す第1パルス電源と,前記第2磁性体の両端に電流を流す第2パルス電源と,を備えることにより,前記第1パルス電源から前記第1磁性体へ電流を流すことで,前記第1磁性体へ書き込まれた情報が前記第1磁性体内を移動することができる。前記第2パルス電源から前記第2磁性体へ電流を流すことで,前記第2磁性体へ書き込まれた情報が前記第2磁性体内を移動することができる。
また,実施形態1の磁気メモリ素子は,磁気異方性を有する磁性体と,磁性体の一端に設けられ,前記磁性体の磁気モーメントを検出して電気信号に変換する読み出し電極と,前記磁性体の他端に設けられ,前記電気信号を前記磁性体に磁気モーメントとして書き込む書き込み電極と,を備えることにより,駆動電流パルスを印加するための電源を併用でき、従来の磁気メモリ装置より効率よく,磁性体のほぼ全域にデータを書き込み、また,磁性体のデータを移動させて読みだすことができる。
また,実施形態1の磁気メモリ素子は,好ましくは,前記読み出し電極は,前記磁性体上に配置された第1非磁性層と,前記第1非磁性層上に配置された第1固定層とを備え,前記磁性体の磁気モーメントを前記磁性体と前記第1固定層との間に流れる電流に変換することにより,前記第1固定層直下の前記磁性体にあるデータの情報が0の場合には,前記電流の大きさが小さな電流に,情報が1の場合には大きな電流に変化する。データの情報は前記磁性体の磁気モーメントの向きで決定される。また,情報が0と1との場合で,電流の大きさの大小関係は逆でもよい。また電流が小さい場合とは電流値がゼロでもよい。
また,実施形態1の磁気メモリ素子は,好ましくは,前記書き込み電極は,前記磁性体上に配置された第2非磁性層と,前記第2非磁性層上に配置された第2固定層とを備え,前記磁性体と前記第2固定層との間に流れる電流により前記磁性体の磁気モーメントを決定することにより,読み出し電極で磁気モーメントから変換された電流値が大きい場合には,書き込み電極に,前記第2固定層→前記第2非磁性層→前記第2非磁性層直下の磁性体の向きに電流を流し,前記第2非磁性層直下の第2磁性体部分にデータ1を書き込みできる。変換された電流値が小さいもしくはゼロの場合には,前記第2非磁性層直下の前記第2磁性体→前記第2非磁性層→前記第2固定層の向きに電流を流し,前記第2非磁性層直下の前記磁性体部分にデータ0を書き込みできる。ただし,流れる電流の向きは,磁気モーメントとデータ“0”“1”との対応付けや,前記磁性体を流れる電流のスピン偏極率の符号によっては逆向きに変化する。
また,実施形態1の磁気メモリ素子は,好ましくは,前記書き込み電極は,異なる磁化方向を有する2つの固定層を備え,2つの固定層の間に前記磁性体が配置され,2つの固定層の一方と前記磁性体との間に電流を流すことにより磁気モーメントを決定することにより,読み出し電極で磁気モーメントから変換された電流値が大きい場合には,書き込み電極に,片方の前記固定層→前記磁性体の向きに電流を流し,前記磁性体部分にデータ1を書き込みできる。変換された電流値が小さいもしくはゼロの場合には,もう一方の前記固定層→前記磁性体の向きに電流を流し,前記磁性体部分にデータ0を書き込みできる。ただし,流れる電流の向きは,磁気モーメントとデータ“0”“1”との対応付けや,前記磁性体を流れる電流のスピン偏極率の符号によっては逆向きに変化する。
また,実施形態1の磁気メモリ装置は,好ましくは,上記のいずれかに記載の磁気メモリ素子と,前記磁性体の両端に電流を流すパルス電源と,を備えることにより,前記パルス電源から前記磁性体へ電流を流すことで,前記磁性体へ書き込まれた情報が前記磁性体内を移動することができる。
また,実施形態1の磁気メモリ装置は,好ましくは,前記読み出し電極から読み出したデータをバッファし,磁区が移動した後にデータを前記書き込み電極に出力する制御回路を備えることにより,前記読み出し電極直下の前記磁性体部分に記憶されたデータ(情報)を,適したタイミングで前記書き込み電極直下の前記磁性体部分に記憶できる。前記書き込み電極直下に必要なデータが残っていた場合に,そのデータを前記磁性体部分内で移動させたのちに書き込みを行うことでデータの消失を防ぐことができる。また前記磁性体に記憶された情報を前記磁性体内で移動させながら,前記読み出し電極直下の情報を前記読み出し電極直下から書き込み電極直下の磁性体部分へ書き込むことでデータの転送時の時間ロスを抑えることができる。
また,実施形態1の磁気メモリ装置は,好ましくは,前記読み出し電極から読み出したデータを前記書き込み電極に出力すると共に,データを外部に出力する制御回路を備えることにより,読み出された情報をCPUやUSBメモリなどの外部記憶装置へと転送し活用することができる。読み出された情報を別の磁性体メモリ装置書き込み部分へと転送すれば,磁性体メモリ装置間でのデータのコピーが可能である。
(実施の形態2)
実施の形態2では,磁性体が環状である例について説明する。図8は,実施の形態2にかかる磁気メモリ素子の概略構成を示す斜視図である。図8において,磁気メモリ装置80は,磁性体81と,読み出し電極12と,書き込み電極14と,制御回路15と,パルス電源82と,電極83と,電極84を備える。図8において,図1と同一の構成については同じ番号を付し,説明を省略する。
磁性体81は,磁気異方性を有する磁性体である。磁性体81は,強磁性金属であることが望ましい。磁性体81は,細長い形状の磁性体を一部区間が欠けた環状形状(開環形状)に形成した磁性細線である。そして磁性体81内を電流が流れ,磁壁(一定の磁化方向を向いた区間の境界)が移動する磁壁移動型メモリとして機能する。例えば,磁性体81は,Co/Ni多層膜,CoNi合金,Co/Pd多層膜,CoPd合金,Co/Pt多層膜,CoPt合金,Tb/FeCo多層膜,TbFeCo合金,Fe/Ni多層膜,FeNi合金、CoFeB合金,またはCoFe合金などで構成されることが好適である。
パルス電源82は,磁性体81の両端に電流を流す電源である。パルス電源82は,パルス波形の電圧を磁性体81の両端に印加することにより磁性体81の磁区が移動する。具体的には,パルス電源82は,電極83と電極84の間に電圧を印加する。
パルス電源82は,磁区の位置を細かく制御するためにはON-OFF時の電流の波形が角形に近い方が望ましい。具体的には,パルス電源82は,磁区を1ビット長さ分だけ動かすのに必要な電流印加時間をtとして直流電源の印加時間はnt(tの整数倍)とすることが望ましい。また,パルス電源82が印可する電圧は,磁区の電流駆動の電流値に見合った電圧値である。例えば,この電圧は磁性体81における抵抗値、磁壁移動速度によって決定される。なお,図8においてパルス電源82は形状ではなく機能としてのブロックとして表現している。
電極83は,磁性体81の読み出し電極12近傍の一端(第1端)に配置される。また,電極84は,磁性体81の読み出し電極12近傍の他端(第2端)に配置される。電極83及び電極84は,非磁性金属で構成されていることが望ましい。
実施形態2の磁気メモリ装置は,前記読み出し電極12から読み出した情報を前記書き込み電極14から書き込むことにより,開環形状の磁性体81において読み出し電極12と書き込み電極14が設置された位置の間で情報を移動できる。また,前記磁性体の両端に電流を流すパルス電源82と,を備えることにより,前記パルス電源から前記磁性体へ電流を流すことで,前記磁性体へ書き込まれた情報が前記磁性体内を移動することができる。これにより,従来の磁気メモリ装置より効率よく,磁性体のほぼ全域にデータを書き込み、また,磁性体のデータを移動させて読みだすことができる。
制御回路15にデータを外部に出力する機能を備えることにより,前記読み出し電極12から読み出された情報をCPUやUSBメモリなどの外部記憶装置へと転送し活用することができる。読み出された情報を別の磁性体メモリ装置書き込み部分へと転送すれば,磁性体メモリ装置間でのデータのコピーが可能である。
なお,本発明は上記実施の形態に限られたものではなく,趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。例えば,磁性体81は,環状形状は多角形の環状形状,円形の環状形状,直線と曲線を組み合わせた環状形状のいずれであってもよい。
また,第1磁性体11,第2磁性体13,磁性体81の断面形状は特に限定されない。例えば,第1磁性体11の断面形状は円,楕円,多角形またはこれらの形状の複合であってもよい。
また,実施の形態1に記載した変形例は,実施の形態2に適用してもよい。
なお,2つの磁性体を2つの制御回路で接続するようにしても良い。図9は,他の実施の形態の磁気メモリ素子の概略構成を示す斜視図である。図9において,図1と同一の構成については同じ番号を付し,説明を省略する。図9において,磁気メモリ装置90は,第1磁性体11と,読み出し電極12と,第2磁性体13と,書き込み電極14と,制御回路1と,第1パルス電源16と,第2パルス電源17と,第2読み出し電極92と,第2書き込み電極94と,第2制御回路95とを備える。
第2読み出し電極92は,第2磁性体13の磁気モーメントを検出して電気信号に変換する電極である。例えば,読み出し電極92は,第2磁性体13の端部に設けることが好適である。また,例えば,読み出し電極92は,第2磁性体13上に配置された第3非磁性層921と,第3非磁性層921上に配置された第3固定層922とを備えてもよい。
第3非磁性層921は第1非磁性層121と同様の構成である。第3固定層922は第1固定層122と同様の構成である。
第2書き込みで電極94は,データを第1磁性体11の磁気モーメントとして書き込む電極である。例えば,書き込み電極94は,第1磁性体11の端部に設けることが好適である。また,例えば,書き込み電極94は,第1磁性体11上に配置された第4非磁性層941と,第4非磁性層941上に配置された第4固定層942とを備えてもよい。
第4非磁性層941は第2非磁性層141と同様の構成である。第4固定層942は第2固定層142と同様の構成である。
第2制御回路95は,第2磁性体13からデータの読み出しと,第1磁性体11へのデータの書き込みを制御する電子回路である。例えば,第2制御回路95は,第2パルス電源17により第2磁性体13磁区が移動する度に,第2読み出し電極92を用いて第2磁性体13からデータを読み出す。また,第2制御回路95は,第1パルス電源16により第1磁性体11の磁区が移動する度に,第2書き込み電極94を用いて第1磁性体11にデータを書き込む。第2制御回路95の具体的な構成は制御回路15と同様の構成が適用できる。
以上の構成により,従来の磁気メモリ装置より効率よく,磁性体のほぼ全域にデータを書き込み、また,磁性体のデータを移動させて読みだすことができる。
なお,上述の実施の形態では,2つの磁性体を接続する例について記載しているが,3つ以上の磁性体を制御回路で接続するようにしてもよい。この場合,各磁性体の両端にパルス電源を接続し,磁性体間を制御回路で接続するようにすればよい。また,磁性体と制御回路の接続は,ループ状に接続してもよいし,直列状に接続してもよい。
読み出し電極と書き込み電極は,それぞれの機能を同時に備えていても良い。それぞれの機能を同時に備えることで,双方向の移動が可能になり,データの読み出し,書き込み時間の短縮になる。
10,80 磁気メモリ装置
11 第1磁性体
12 第1電極
13 第2磁性体
14 第2電極
15 制御回路
16 第1パルス電源
17 第2パルス電源
81 磁性体
82 パルス電源
83,84,161,162,171,172 電極
92 第2読み出し電極
94 第2書き込み電極
95 第2制御回路
121 第1非磁性層
122 第1固定層
123,124 固定層
141 第2非磁性層
142 第2固定層
151 直流電源
152 タイミング調整回路
153 XOR論理回路
154 AND論理回路
155 増幅回路
921 第3非磁性層
922 第3固定層
941 第4非磁性層
942 第4固定層

Claims (12)

  1. 磁気異方性を有する第1磁性体と,
    前記第1磁性体の一端に設けられ,前記第1磁性体の磁気モーメントを検出して電気信号に変換する読み出し電極と,
    磁気異方性を有し,前記第1磁性体から離間した第2磁性体と,
    前記第2磁性体の一端に設けられ,前記電気信号を前記第2磁性体に磁気モーメントとして書き込む書き込み電極と,を備える磁気メモリ素子。
  2. 前記読み出し電極は,前記第1磁性体上に配置された第1非磁性層と,前記第1非磁性層上に配置された第1固定層とを備え,前記第1磁性体の磁気モーメントを前記第1磁性体と前記第1固定層との間に流れる電流に変換する請求項1に記載の磁気メモリ素子。
  3. 前記書き込み電極は,前記第2磁性体上に配置された第2非磁性層と,前記第2非磁性層上に配置された第2固定層とを備え,前記第2磁性体と前記第2固定層との間に流れる電流により前記第2磁性体の磁気モーメントを決定する請求項1または2に記載の磁気メモリ素子。
  4. 前記書き込み電極は,異なる磁化方向を有する2つの固定層を備え,2つの固定層の間に前記第2磁性体が配置され,2つの固定層の一方と前記第2磁性体との間に電流を流すことにより磁気モーメントを決定する請求項1から3のいずれかに記載の磁気メモリ素子。
  5. 請求項1から4のいずれかに記載の磁気メモリ素子と
    前記第1磁性体の両端に電流を流す第1パルス電源と,
    前記第2磁性体の両端に電流を流す第2パルス電源と,を備える磁気メモリ装置。
  6. 磁気異方性を有する磁性体と,
    磁性体の一端に設けられ,前記磁性体の磁気モーメントを検出して電気信号に変換する読み出し電極と,
    前記磁性体の他端に設けられ,前記電気信号を前記磁性体に磁気モーメントとして書き込む書き込み電極と,を備える磁気メモリ素子。
  7. 前記読み出し電極は,前記磁性体上に配置された第1非磁性層と,前記第1非磁性層上に配置された第1固定層とを備え,前記磁性体の磁気モーメントを前記磁性体と前記第1固定層との間に流れる電流に変換する請求項6に記載の磁気メモリ素子。
  8. 前記書き込み電極は,前記磁性体上に配置された第2非磁性層と,前記第2非磁性層上に配置された第2固定層とを備え,前記磁性体と前記第2固定層との間に流れる電流により前記磁性体の磁気モーメントを決定する請求項6または項7に記載の磁気メモリ素子。
  9. 前記書き込み電極は,異なる磁化方向を有する2つの固定層を備え,2つの固定層の間に前記磁性体が配置され,2つの固定層の一方と前記磁性体との間に電流を流すことにより磁気モーメントを決定する請求項6から8のいずれかに記載の磁気メモリ素子。
  10. 請求項6から9のいずれかに記載の磁気メモリ素子と
    前記磁性体の両端に電流を流すパルス電源と,を備える磁気メモリ装置。
  11. 前記読み出し電極から読み出したデータをバッファし,磁区が移動した後にデータを前記書き込み電極に出力する制御回路を備える請求項10に記載の磁気メモリ装置。
  12. 前記読み出し電極から読み出したデータを前記書き込み電極に出力すると共に,データを外部に出力する制御回路を備える請求項10に記載の磁気メモリ装置。
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