JP2021061442A - 半導体製造チャンバ内の消耗部品の余寿命の推定 - Google Patents
半導体製造チャンバ内の消耗部品の余寿命の推定 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2021061442A JP2021061442A JP2021001266A JP2021001266A JP2021061442A JP 2021061442 A JP2021061442 A JP 2021061442A JP 2021001266 A JP2021001266 A JP 2021001266A JP 2021001266 A JP2021001266 A JP 2021001266A JP 2021061442 A JP2021061442 A JP 2021061442A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- consumable
- trigger
- consumable part
- void
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 37
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 117
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 68
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 47
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 17
- 239000011800 void material Substances 0.000 claims description 41
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 24
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 13
- 238000004590 computer program Methods 0.000 claims description 11
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 7
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 claims description 3
- 238000001429 visible spectrum Methods 0.000 claims description 3
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 22
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 22
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 10
- 230000009471 action Effects 0.000 description 7
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 6
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 4
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 3
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011796 hollow space material Substances 0.000 description 2
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
- 241000270295 Serpentes Species 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004581 coalescence Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000009193 crawling Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000004660 morphological change Effects 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 oxides Substances 0.000 description 1
- 230000002085 persistent effect Effects 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000011112 process operation Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 241000894007 species Species 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N3/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
- G01N3/56—Investigating resistance to wear or abrasion
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/50—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/52—Controlling or regulating the coating process
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/3244—Gas supply means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32917—Plasma diagnostics
- H01J37/32935—Monitoring and controlling tubes by information coming from the object and/or discharge
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32917—Plasma diagnostics
- H01J37/3299—Feedback systems
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67063—Apparatus for fluid treatment for etching
- H01L21/67069—Apparatus for fluid treatment for etching for drying etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67253—Process monitoring, e.g. flow or thickness monitoring
Abstract
Description
本出願は、2015年1月28日に出願され発明の名称を「ESTIMATION OF LIFETIME REMAINING FOR A CONSUMABLE−PART IN A SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CHAMBER(半導体製造チャンバ内の消耗部品の余寿命の推定)」とする米国仮特許出願第62/109,016号の優先権を主張する。この仮出願は、参照によって本明細書に組み込まれる。
本発明は以下の適用例としても実現できる。
[適用例1]
半導体基板を処理するためにプラズマが使用されるチャンバの内部で使用するための消耗部品であって、
前記チャンバ内での処理時に前記プラズマに暴露されるように構成された表面を有する本体と、
前記本体に組み込まれたトリガ特徴であって、前記本体の前記表面の下に配された空所を含み、前記空所は、時間の経過とともに前記プラズマへの暴露によって前記表面が浸食されると見えてくるように構成され、前記見えてくる空所は、前記本体の前記表面上の、前記消耗部品の摩耗レベルを示す識別可能特徴であり、前記摩耗レベルは、前記消耗部品に残されている処理時間の長さに関係付けられる、トリガ特徴と、
を備える消耗部品。
[適用例2]
適用例1に記載の消耗部品であって、
前記残されている処理時間の長さは、前記空所が検査用スコープによって最初に見えてからの所定の期間と相関がある、消耗部品。
[適用例3]
適用例1に記載の消耗部品あって、
前記トリガ特徴は、更に、前記本体の表面と実質的に同一面上にあるキャップ要素であって、前記空所の上方に位置し、前記基板の処理時における前記チャンバ内でのプロセスシフトを回避するために前記消耗部品と同じ材料であるキャップ要素を備える消耗部品。
[適用例4]
適用例1に記載の消耗部品であって、
前記消耗部品は、更に、前記消耗部品の上方に分布された1つ以上の追加のトリガ特徴を含む、消耗部品。
[適用例5]
適用例4に記載の消耗部品であって、
前記1つ以上の追加のトリガ特徴は、深さが異なるキャップ要素を含む、消耗部品。
[適用例6]
適用例4に記載の消耗部品であって、
前記1つ以上の追加のトリガ特徴は、深さが異なるそれぞれの空所を含む、消耗部品。
[適用例7]
適用例1に記載の消耗部品であって、
前記空所の上方のキャップ要素は、前記本体と同じ材料である、消耗部品。
[適用例8]
システムであって、
半導体基板を処理するために使用されるプラズマを発生させるように構成されたチャンバと、
前記チャンバの内部で使用されるように構成され、本体と、トリガ特徴とを含む消耗部品であって、前記本体は、前記チャンバ内での処理時に前記プラズマに暴露されるように構成された表面を有し、前記トリガ特徴は、前記本体に組み込まれており、前記トリガ特徴は、前記本体の前記表面の下に配された空所を含み、前記空所は、時間の経過とともに前記プラズマへの暴露によって前記表面が浸食されると見えてくるように構成される、消耗部品と、
前記消耗部品が前記チャンバ内にある間に前記消耗部品を検査するための検査用スコープと、
前記検査用スコープによって得られた情報に基づいて、前記空所が見えているかどうかを決定するように構成されたコントローラであって、前記見えてくる空所は、前記本体の前記表面上の、前記消耗部品の摩耗レベルを示す識別可能特徴であり、前記摩耗レベルは、前記消耗部品に残されている処理時間の長さに関係付けられ、前記空所のサイズは、前記表面が浸食された後に前記空所が前記プラズマに暴露されたときの前記チャンバ内でのプロセスシフトを回避するように構成される、コントローラと、
を備えるシステム。
[適用例9]
適用例8に記載のシステムであって、
前記検査用スコープは、可視スペクトル、赤外線画像、音波、超音波、及び高周波の1枚以上の画像を用いて前記消耗部品を検査するように構成される、システム。
[適用例10]
適用例8に記載のシステムであって、
前記トリガ特徴の深さは、前記本体の幅の約半分である、システム。
[適用例11]
適用例8に記載のシステムであって、
前記トリガ特徴の深さは、前記本体の垂直幅の10%から99%の範囲内である、システム。
[適用例12]
適用例8に記載のシステムであって、
前記空所の形状は、円筒状である、システム。
[適用例13]
適用例8に記載のシステムであって、
前記空所の形状は、円錐台である、システム。
[適用例14]
適用例8に記載のシステムであって、
前記トリガ特徴は、更に、前記本体の表面と同一面上にあるキャップ要素を含み、前記キャップ要素は、前記空所の上方に位置し、前記キャップ要素は、前記本体上の対応する引っ込みにぴたりと嵌るように構成された突出環を含む、システム。
[適用例15]
消耗部品上の摩耗を検出するための方法であって、
半導体製造のためのチャンバ内に前記消耗部品を置くことであって、前記消耗部品は、本体と、トリガ特徴とを含み、前記本体は、前記チャンバ内での処理時にプラズマに暴露されるように構成された表面を有し、前記トリガ特徴は、前記本体に組み込まれており、前記トリガ特徴は、前記本体の前記表面下に配された空所を含み、前記空所は、時間の経過とともにプラズマへの暴露によって前記表面が浸食されると見えてくるように構成され、前記見えてくる空所は、前記本体の前記表面上の、前記消耗部品の摩耗レベルを示す識別可能特徴である、ことと、
前記チャンバに検査用スコープを挿入することと、
前記空所が見えているかどうかを決定するために、前記検査用スコープによって得られた情報を解析することと、
前記空所が見えてきた時点で前記チャンバ内の前記消耗部品の交換までに残されている時間の長さを決定することと、
を備える方法。
[適用例16]
適用例15に記載の方法であって、
前記トリガ特徴は、更に、前記本体の表面と同一面上にあるキャップ要素を含み、前記キャップ要素は、前記空所の上方に位置し、前記キャップ要素は、円形である、方法。
[適用例17]
適用例15に記載の方法であって、
前記空所の上方のキャップ要素は、前記本体に沿って走る溝の形状を有する、方法。
[適用例18]
適用例15に記載の方法であって、
前記トリガ特徴は、更に、対応する追加の空所の上方に追加のキャップを含む、方法。
[適用例19]
適用例15に記載の方法であって、
前記空所は、逆さにされた円錐の形状を有する、方法。
[適用例20]
適用例15に記載の方法であって、
前記方法の動作は、1つ以上のプロセッサによって実行されるときにコンピュータプログラムによって実施され、前記コンピュータプログラムは、非一過性のコンピュータ読み取り可能ストレージメディアに組み込まれている、方法。
Claims (20)
- 半導体基板を処理するためにプラズマが使用されるチャンバの内部で使用するための消耗部品であって、
前記チャンバ内での処理時に前記プラズマに暴露されるように構成された表面を有する本体と、
前記本体に組み込まれたトリガ特徴であって、前記本体の前記表面の下に配された空所を含み、前記空所は、時間の経過とともに前記プラズマへの暴露によって前記表面が浸食されると見えてくるように構成され、前記見えてくる空所は、前記本体の前記表面上の、前記消耗部品の摩耗レベルを示す識別可能特徴であり、前記摩耗レベルは、前記消耗部品に残されている処理時間の長さに関係付けられる、トリガ特徴と、
を備える消耗部品。 - 請求項1に記載の消耗部品であって、
前記残されている処理時間の長さは、前記空所が検査用スコープによって最初に見えてからの所定の期間と相関がある、消耗部品。 - 請求項1に記載の消耗部品あって、
前記トリガ特徴は、更に、前記本体の表面と実質的に同一面上にあるキャップ要素であって、前記空所の上方に位置し、前記基板の処理時における前記チャンバ内でのプロセスシフトを回避するために前記消耗部品と同じ材料であるキャップ要素を備える消耗部品。 - 請求項1に記載の消耗部品であって、
前記消耗部品は、更に、前記消耗部品の上方に分布された1つ以上の追加のトリガ特徴を含む、消耗部品。 - 請求項4に記載の消耗部品であって、
前記1つ以上の追加のトリガ特徴は、深さが異なるキャップ要素を含む、消耗部品。 - 請求項4に記載の消耗部品であって、
前記1つ以上の追加のトリガ特徴は、深さが異なるそれぞれの空所を含む、消耗部品。 - 請求項1に記載の消耗部品であって、
前記空所の上方のキャップ要素は、前記本体と同じ材料である、消耗部品。 - システムであって、
半導体基板を処理するために使用されるプラズマを発生させるように構成されたチャンバと、
前記チャンバの内部で使用されるように構成され、本体と、トリガ特徴とを含む消耗部品であって、前記本体は、前記チャンバ内での処理時に前記プラズマに暴露されるように構成された表面を有し、前記トリガ特徴は、前記本体に組み込まれており、前記トリガ特徴は、前記本体の前記表面の下に配された空所を含み、前記空所は、時間の経過とともに前記プラズマへの暴露によって前記表面が浸食されると見えてくるように構成される、消耗部品と、
前記消耗部品が前記チャンバ内にある間に前記消耗部品を検査するための検査用スコープと、
前記検査用スコープによって得られた情報に基づいて、前記空所が見えているかどうかを決定するように構成されたコントローラであって、前記見えてくる空所は、前記本体の前記表面上の、前記消耗部品の摩耗レベルを示す識別可能特徴であり、前記摩耗レベルは、前記消耗部品に残されている処理時間の長さに関係付けられ、前記空所のサイズは、前記表面が浸食された後に前記空所が前記プラズマに暴露されたときの前記チャンバ内でのプロセスシフトを回避するように構成される、コントローラと、
を備えるシステム。 - 請求項8に記載のシステムであって、
前記検査用スコープは、可視スペクトル、赤外線画像、音波、超音波、及び高周波の1枚以上の画像を用いて前記消耗部品を検査するように構成される、システム。 - 請求項8に記載のシステムであって、
前記トリガ特徴の深さは、前記本体の幅の約半分である、システム。 - 請求項8に記載のシステムであって、
前記トリガ特徴の深さは、前記本体の垂直幅の10%から99%の範囲内である、システム。 - 請求項8に記載のシステムであって、
前記空所の形状は、円筒状である、システム。 - 請求項8に記載のシステムであって、
前記空所の形状は、円錐台である、システム。 - 請求項8に記載のシステムであって、
前記トリガ特徴は、更に、前記本体の表面と同一面上にあるキャップ要素を含み、前記キャップ要素は、前記空所の上方に位置し、前記キャップ要素は、前記本体上の対応する引っ込みにぴたりと嵌るように構成された突出環を含む、システム。 - 消耗部品上の摩耗を検出するための方法であって、
半導体製造のためのチャンバ内に前記消耗部品を置くことであって、前記消耗部品は、本体と、トリガ特徴とを含み、前記本体は、前記チャンバ内での処理時にプラズマに暴露されるように構成された表面を有し、前記トリガ特徴は、前記本体に組み込まれており、前記トリガ特徴は、前記本体の前記表面下に配された空所を含み、前記空所は、時間の経過とともにプラズマへの暴露によって前記表面が浸食されると見えてくるように構成され、前記見えてくる空所は、前記本体の前記表面上の、前記消耗部品の摩耗レベルを示す識別可能特徴である、ことと、
前記チャンバに検査用スコープを挿入することと、
前記空所が見えているかどうかを決定するために、前記検査用スコープによって得られた情報を解析することと、
前記空所が見えてきた時点で前記チャンバ内の前記消耗部品の交換までに残されている時間の長さを決定することと、
を備える方法。 - 請求項15に記載の方法であって、
前記トリガ特徴は、更に、前記本体の表面と同一面上にあるキャップ要素を含み、前記キャップ要素は、前記空所の上方に位置し、前記キャップ要素は、円形である、方法。 - 請求項15に記載の方法であって、
前記空所の上方のキャップ要素は、前記本体に沿って走る溝の形状を有する、方法。 - 請求項15に記載の方法であって、
前記トリガ特徴は、更に、対応する追加の空所の上方に追加のキャップを含む、方法。 - 請求項15に記載の方法であって、
前記空所は、逆さにされた円錐の形状を有する、方法。 - 請求項15に記載の方法であって、
前記方法の動作は、1つ以上のプロセッサによって実行されるときにコンピュータプログラムによって実施され、前記コンピュータプログラムは、非一過性のコンピュータ読み取り可能ストレージメディアに組み込まれている、方法。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201562109016P | 2015-01-28 | 2015-01-28 | |
US62/109,016 | 2015-01-28 | ||
US14/961,756 | 2015-12-07 | ||
US14/961,756 US10041868B2 (en) | 2015-01-28 | 2015-12-07 | Estimation of lifetime remaining for a consumable-part in a semiconductor manufacturing chamber |
JP2016013176A JP6822767B2 (ja) | 2015-01-28 | 2016-01-27 | 半導体製造チャンバ内の消耗部品の余寿命の推定 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016013176A Division JP6822767B2 (ja) | 2015-01-28 | 2016-01-27 | 半導体製造チャンバ内の消耗部品の余寿命の推定 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021061442A true JP2021061442A (ja) | 2021-04-15 |
JP7326359B2 JP7326359B2 (ja) | 2023-08-15 |
Family
ID=55272240
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016013176A Active JP6822767B2 (ja) | 2015-01-28 | 2016-01-27 | 半導体製造チャンバ内の消耗部品の余寿命の推定 |
JP2021001266A Active JP7326359B2 (ja) | 2015-01-28 | 2021-01-07 | 半導体製造チャンバ内の消耗部品の余寿命の推定 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016013176A Active JP6822767B2 (ja) | 2015-01-28 | 2016-01-27 | 半導体製造チャンバ内の消耗部品の余寿命の推定 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10041868B2 (ja) |
EP (1) | EP3051572A1 (ja) |
JP (2) | JP6822767B2 (ja) |
KR (1) | KR102619257B1 (ja) |
CN (2) | CN110349827B (ja) |
SG (1) | SG10201600630PA (ja) |
TW (1) | TWI723004B (ja) |
Families Citing this family (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10041868B2 (en) * | 2015-01-28 | 2018-08-07 | Lam Research Corporation | Estimation of lifetime remaining for a consumable-part in a semiconductor manufacturing chamber |
US10755902B2 (en) * | 2015-05-27 | 2020-08-25 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus and focus ring |
US10177018B2 (en) | 2016-08-11 | 2019-01-08 | Applied Materials, Inc. | Process kit erosion and service life prediction |
US20180061696A1 (en) * | 2016-08-23 | 2018-03-01 | Applied Materials, Inc. | Edge ring or process kit for semiconductor process module |
US10655224B2 (en) * | 2016-12-20 | 2020-05-19 | Lam Research Corporation | Conical wafer centering and holding device for semiconductor processing |
JP2018107264A (ja) * | 2016-12-26 | 2018-07-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 消耗判定方法及びプラズマ処理装置 |
WO2018222430A2 (en) * | 2017-05-31 | 2018-12-06 | Lam Research Corporation | Detection system for tunable/replaceable edge coupling ring |
CN107578975B (zh) * | 2017-08-17 | 2020-06-19 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 反应腔室及半导体加工设备 |
US10937637B2 (en) * | 2017-08-31 | 2021-03-02 | Applied Materials, Inc. | Determining susceptor service life in a plasma processing chamber |
US10895539B2 (en) * | 2017-10-20 | 2021-01-19 | Lam Research Corporation | In-situ chamber clean end point detection systems and methods using computer vision systems |
US11067515B2 (en) * | 2017-11-28 | 2021-07-20 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Apparatus and method for inspecting a wafer process chamber |
KR20200086375A (ko) | 2017-12-05 | 2020-07-16 | 램 리써치 코포레이션 | 에지 링 마모 보상 (wear compensation) 을 위한 시스템 및 방법 |
TWI780093B (zh) * | 2017-12-15 | 2022-10-11 | 美商蘭姆研究公司 | 用於電漿腔室的環結構及系統 |
DE102018107135A1 (de) * | 2018-03-26 | 2019-09-26 | Aixtron Se | Mit einer individuellen Kennung versehenes Bauteil einer CVD-Vorrichtung sowie Verfahren zur Übermittlung von Informationen |
US20210384029A1 (en) * | 2018-04-09 | 2021-12-09 | Lam Research Corporation | Modifying hydrophobicity of a wafer surface using an organosilicon precursor |
US10651097B2 (en) | 2018-08-30 | 2020-05-12 | Lam Research Corporation | Using identifiers to map edge ring part numbers onto slot numbers |
US11279032B2 (en) | 2019-04-11 | 2022-03-22 | Applied Materials, Inc. | Apparatus, systems, and methods for improved joint coordinate teaching accuracy of robots |
US10964584B2 (en) | 2019-05-20 | 2021-03-30 | Applied Materials, Inc. | Process kit ring adaptor |
US11913777B2 (en) * | 2019-06-11 | 2024-02-27 | Applied Materials, Inc. | Detector for process kit ring wear |
US11626305B2 (en) | 2019-06-25 | 2023-04-11 | Applied Materials, Inc. | Sensor-based correction of robot-held object |
US11211269B2 (en) | 2019-07-19 | 2021-12-28 | Applied Materials, Inc. | Multi-object capable loadlock system |
US20220270901A1 (en) * | 2019-07-29 | 2022-08-25 | Lam Research Corporation | Integrated hardware-software computer vision system for autonomous control and inspection of substrate processing systems |
JP2021040076A (ja) * | 2019-09-04 | 2021-03-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 環状部材、基板処理装置及び基板処理装置の制御方法 |
US11370114B2 (en) | 2019-12-09 | 2022-06-28 | Applied Materials, Inc. | Autoteach enclosure system |
JP2023507093A (ja) * | 2019-12-19 | 2023-02-21 | ラム リサーチ コーポレーション | 消耗チャンバ部品におけるカプセル化rfid |
US11924972B2 (en) | 2020-06-02 | 2024-03-05 | Applied Materials, Inc. | Diagnostic disc with a high vacuum and temperature tolerant power source |
USD980176S1 (en) | 2020-06-02 | 2023-03-07 | Applied Materials, Inc. | Substrate processing system carrier |
US11589474B2 (en) | 2020-06-02 | 2023-02-21 | Applied Materials, Inc. | Diagnostic disc with a high vacuum and temperature tolerant power source |
USD954769S1 (en) | 2020-06-02 | 2022-06-14 | Applied Materials, Inc. | Enclosure system shelf |
JP2022042122A (ja) * | 2020-09-02 | 2022-03-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システム及び状態監視方法 |
US11284018B1 (en) | 2020-09-15 | 2022-03-22 | Applied Materials, Inc. | Smart camera substrate |
CN112525745B (zh) * | 2020-11-03 | 2022-07-12 | 北京科技大学 | 中间包内衬耐材冲刷侵蚀的物理模拟试验装置及使用方法 |
KR102632552B1 (ko) | 2021-07-23 | 2024-02-02 | 한국표준과학연구원 | 플라즈마 진단기능 및 유전체 두께 측정기능을 갖는 센서, 이를 구비하는 공정장치 및 공정시스템 |
WO2023224870A1 (en) * | 2022-05-19 | 2023-11-23 | Lam Research Corporation | Replacement signaling seal |
WO2024047835A1 (ja) * | 2022-09-01 | 2024-03-07 | 三菱電機株式会社 | データ収集分析システム、測定データ収集ユニット、および、データ収集分析方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006512770A (ja) * | 2002-12-31 | 2006-04-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 光放射による、システムコンポーネントの腐食のモニタリング |
JP2006196716A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 |
JP2006228966A (ja) * | 2005-02-17 | 2006-08-31 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置およびその部品と部品の寿命検出方法 |
JP2007511089A (ja) * | 2003-11-12 | 2007-04-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 改良されたフォーカスリングに対する方法および装置。 |
JP2007520077A (ja) * | 2004-01-30 | 2007-07-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 部品の消耗を監視するための方法とシステム |
JP2016154224A (ja) * | 2015-01-28 | 2016-08-25 | ラム リサーチ コーポレーションLam Research Corporation | 半導体製造チャンバ内の消耗部品の余寿命の推定 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4545882A (en) * | 1983-09-02 | 1985-10-08 | Shatterproof Glass Corporation | Method and apparatus for detecting sputtering target depletion |
CH669609A5 (ja) | 1986-12-23 | 1989-03-31 | Balzers Hochvakuum | |
JP4184638B2 (ja) * | 2001-08-31 | 2008-11-19 | 株式会社東芝 | 半導体製造装置の寿命診断方法 |
US7110110B2 (en) * | 2003-12-29 | 2006-09-19 | Tokyo Electron Limited | Sensing component used to monitor material buildup and material erosion of consumables by optical emission |
US7350476B2 (en) * | 2004-12-22 | 2008-04-01 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus to determine consumable part condition |
US7891536B2 (en) * | 2005-09-26 | 2011-02-22 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | PVD target with end of service life detection capability |
US8317160B2 (en) * | 2007-10-12 | 2012-11-27 | Safeworks, Llc | Restraint device for traction sheaves |
TWM346890U (en) * | 2008-08-19 | 2008-12-11 | Bor Ger Co Ltd | Mini portable memory device |
JP5595795B2 (ja) * | 2009-06-12 | 2014-09-24 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置用の消耗部品の再利用方法 |
US9744582B2 (en) * | 2014-04-30 | 2017-08-29 | Fca Us Llc | Wear tolerance indicator for stamping dies |
-
2015
- 2015-12-07 US US14/961,756 patent/US10041868B2/en active Active
-
2016
- 2016-01-26 EP EP16152692.6A patent/EP3051572A1/en not_active Withdrawn
- 2016-01-27 TW TW105102423A patent/TWI723004B/zh active
- 2016-01-27 KR KR1020160010051A patent/KR102619257B1/ko active IP Right Grant
- 2016-01-27 JP JP2016013176A patent/JP6822767B2/ja active Active
- 2016-01-27 SG SG10201600630PA patent/SG10201600630PA/en unknown
- 2016-01-28 CN CN201910445940.4A patent/CN110349827B/zh active Active
- 2016-01-28 CN CN201610060456.6A patent/CN105823781B/zh active Active
-
2018
- 2018-08-07 US US16/057,602 patent/US10697874B2/en active Active
-
2021
- 2021-01-07 JP JP2021001266A patent/JP7326359B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006512770A (ja) * | 2002-12-31 | 2006-04-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 光放射による、システムコンポーネントの腐食のモニタリング |
JP2007511089A (ja) * | 2003-11-12 | 2007-04-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 改良されたフォーカスリングに対する方法および装置。 |
JP2007520077A (ja) * | 2004-01-30 | 2007-07-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 部品の消耗を監視するための方法とシステム |
JP2006196716A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 |
JP2006228966A (ja) * | 2005-02-17 | 2006-08-31 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置およびその部品と部品の寿命検出方法 |
JP2016154224A (ja) * | 2015-01-28 | 2016-08-25 | ラム リサーチ コーポレーションLam Research Corporation | 半導体製造チャンバ内の消耗部品の余寿命の推定 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3051572A1 (en) | 2016-08-03 |
TWI723004B (zh) | 2021-04-01 |
TW201640556A (zh) | 2016-11-16 |
CN105823781B (zh) | 2019-06-21 |
SG10201600630PA (en) | 2016-08-30 |
JP6822767B2 (ja) | 2021-01-27 |
JP2016154224A (ja) | 2016-08-25 |
US20180372605A1 (en) | 2018-12-27 |
CN110349827B (zh) | 2023-08-15 |
US20160216185A1 (en) | 2016-07-28 |
US10697874B2 (en) | 2020-06-30 |
KR20160092940A (ko) | 2016-08-05 |
CN105823781A (zh) | 2016-08-03 |
KR102619257B1 (ko) | 2023-12-28 |
JP7326359B2 (ja) | 2023-08-15 |
US10041868B2 (en) | 2018-08-07 |
CN110349827A (zh) | 2019-10-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6822767B2 (ja) | 半導体製造チャンバ内の消耗部品の余寿命の推定 | |
JP7068784B2 (ja) | プラズマ処理システムを監視するための方法およびシステム、ならびに高度なプロセスおよびツール制御 | |
JP6598745B2 (ja) | 半導体製造機器内の消耗部品の摩耗検出 | |
JP6989191B2 (ja) | プラズマエッチング装置用の電極に設けられたガス導入孔の測定方法、電極の再生方法およびプラズマエッチング装置 | |
TW202037906A (zh) | 半導體設備的缺陷分類及來源分析 | |
US8295966B2 (en) | Methods and apparatus to predict etch rate uniformity for qualification of a plasma chamber | |
KR101708077B1 (ko) | 프로세싱 챔버의 예측 예방 보전을 위한 방법 및 장치 | |
KR20100025249A (ko) | 공정챔버의 리크 검출 방법 | |
JP2006105946A (ja) | 表面検査装置および表面検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210201 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210201 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220426 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20220721 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220825 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230110 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20230404 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230411 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230704 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230802 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7326359 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |