JP2021015933A - 保持装置の製造方法および保持装置 - Google Patents
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Abstract
Description
A−1.装置構成:
図1は、本実施形態における静電チャック100の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図2は、本実施形態における静電チャック100のXZ断面構成を概略的に示す説明図であり、図3は、本実施形態における静電チャック100のXY平面(上面)構成を概略的に示す説明図である。各図には、方向を特定するための互いに直交するXYZ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Z軸正方向を上方向といい、Z軸負方向を下方向というものとするが、静電チャック100は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。
次に、ヒータ電極層50の構成およびヒータ電極層50への給電のための構成について詳述する。上述したように、板状部材10には、ヒータ電極層50と、ヒータ電極層50への給電のためのドライバ電極層51および各種ビア53,54とが配置されている。また、静電チャック100には、ヒータ電極層50への給電のための他の構成(後述する端子用孔Htに収容されたパッド側給電端子72等)が設けられている。図4は、ヒータ電極層50およびヒータ電極層50への給電のための構成を模式的に示す説明図である。図4の上段には、板状部材10に配置されたヒータ電極層50の一部のYZ断面構成が模式的に示されており、図4の中段には、板状部材10に配置されたドライバ電極層51の一部のXY平面構成が模式的に示されており、図4の下段には、ヒータ電極層50への給電のための他の構成のYZ断面構成が模式的に示されている。
各給電パッド70は、ビア54を介して、ドライバ電極層51のドライバ電極510に電気的に接続されている。給電パッド70は、特許請求の範囲における給電電極に相当する。
次に、静電チャック100における板状部材10の位置決め用凹部13付近の部分について、さらに詳細に説明する。
図7は、静電チャック100における板状部材10の位置決め用凹部13付近の部分(図6のX2の部分)のXY断面構成を拡大して示す説明図である。図7に示すように、板状部材10の位置決め用凹部13のZ軸方向視における外周線OL1は、六角形である。言い換えると、位置決め用凹部13の凹み方向に直交する断面形状は、六角形である。ここでいう「六角形」は、辺の真直度が高い六角形や、2辺がつくる角にカーブがかかっていない六角形などの狭義の六角形に限らず、辺の真直度が低い六角形や、2辺がつくる角にカーブがかかっている六角形などをも含む広義の六角形を意味する(以下において、六角形または六角形以外の多角形をいうときも同様)。
図8は、静電チャック100における上側コネクタ200の第1のハウジング210付近の部分(図6のX2の部分)のXY断面構成を拡大して示す説明図である。図8に示すように、位置決め用凹部13にはめ込まれている上側コネクタ200の第1のハウジング210のZ軸方向視における外周線OL3は、6つの角部211を有する六角形である。言い換えると、上側コネクタ200における位置決め用凹部13の凹み方向に直交する断面形状は、六角形である。
条件(A1)
Z軸方向視において、上側コネクタ200の第1のハウジング210の外周線OL3の各角部211の少なくとも一部(以下、「特定部分」という。)における直径(例えば、仮想線分D1の長さ)は、板状部材10の位置決め用凹部13の外周線OL1の少なくとも一部における直径(例えば、仮想線分D2の長さ)の90%以上である。ここでいう「上側コネクタ200の第1のハウジング210の外周線OL3の直径」は、Z軸方向視において、上側コネクタ200の第1のハウジング210の外周線OL3によって形成される平面図形(六角形の図形)の重心C1(当該平面図形が自由な回転運動をするときの回転軸。以下、単に「上側コネクタ200の重心C1」ともいう。)を通る仮想直線上に位置する2点間を結ぶ仮想線分(例えば、点P1と点P2との間を結ぶ仮想線分D1)の長さである。また、ここでいう「板状部材10の位置決め用凹部13の外周線OL1の直径」は、Z軸方向視において、上側コネクタ200の重心C1を通る仮想直線上に位置する2点間を結び、仮想線分D1を包含する仮想線分(例えば、点P3と点P4との間を結ぶ仮想線分D2)の長さである。
条件(A2)
Z軸方向視において、上側コネクタ200の第1のハウジング210の外周線OL3の上記特定部分における径(仮想線分。例えば、仮想線分D1)を、上側コネクタ200の重心C1を回転軸心としてθ1(0°≦θ1≦5°(より好ましくは、0°≦θ1≦1°))だけ回転させた仮想線分(例えば、仮想線分D3)は、板状部材10の位置決め用凹部13の外周線OL1と重なる。
なお、図8では、図の理解が容易となるように、便宜上、上側コネクタ200の第1のハウジング210の外周線OL3と、板状部材10の位置決め用凹部13の外周線OL1との形状(特に、大きさ)の違いが誇張して示されている(図13,図16も同様)。
図9は、本実施形態における静電チャック100の製造方法を示すフローチャートである。図10は、本実施形態における静電チャック100の製造方法の概要を示す説明図である。図11は、本実施形態の静電チャック100の製造方法で用いられる位置決め用治具JのXY平面(上面)構成を概略的に示す説明図である。
条件(B1)
Z軸方向視において、位置決め用治具Jの外周線OL4の各角部J2の少なくとも一部(以下、「特定部分」という。)における直径(例えば、仮想線分D4の長さ)は、板状部材10の位置決め用凹部13の外周線OL1の少なくとも一部における直径(例えば、仮想線分D5の長さ)の90%以上である。また、ここでいう「位置決め用治具Jの外周線OL4の直径」は、Z軸方向視において、位置決め用治具Jの外周線OL4によって形成される平面図形(六角形の図形)の重心C2(当該平面図形が自由な回転運動をするときの回転軸。以下、単に「位置決め用治具Jの重心C2」ともいう。)を通る仮想直線上に位置する2点間を結ぶ仮想線分(例えば、点P5と点P6との間を結ぶ仮想線分D4)の長さである。「板状部材10の位置決め用凹部13の外周線OL1の直径」は、Z軸方向視において、位置決め用治具Jの重心C2を通る仮想直線上に位置する2点間を結び、仮想線分D4を包含する仮想線分(例えば、点P7と点P8との間を結ぶ仮想線分D5)の長さである。
条件(B2)
Z軸方向視において、位置決め用治具Jの外周線OL4の上記特定部分における径(仮想線分。例えば、仮想線分D4)を、位置決め用治具Jの重心C2を回転軸心としてθ2(0°≦θ2≦5°(より好ましくは、0°≦θ2≦1°))だけ回転させた仮想線分(例えば、仮想線分D6)は、板状部材10の位置決め用凹部13の外周線OL1と重なる。
なお、図11では、図の理解が容易となるように、便宜上、位置決め用治具Jの外周線OL4と、板状部材10の位置決め用凹部13の外周線OL1との形状(特に、大きさ)の違いが誇張して示されている(図14,図17も同様)。
以上説明したように、本実施形態の静電チャック100は、板状部材10と、複数の給電パッド70と、複数のパッド側給電端子72とを備える。板状部材10は、上下方向(Z軸方向)に略直交する吸着面S1と、吸着面S1とは反対側の下面S2とを有し、下面S2の一部によって、Z軸方向視で外周線OL1が六角形である位置決め用凹部13が形成されている。複数の給電パッド70は、板状部材10の下面S2側においてZ軸方向視で板状部材10の位置決め用凹部13に重なるように上下方向に略直交する方向に並んで配置されている。パッド側給電端子72は、各給電パッド70に接続されている。
図12は、第2実施形態における静電チャック100aにおける板状部材10aの位置決め用凹部13a付近の部分(図6のX2の部分に対応)のXY断面構成を拡大して示す説明図である。図13は、第2実施形態における静電チャック100aにおける上側コネクタ200aの第1のハウジング210a付近の部分(図6のX2の部分に対応)のXY断面構成を拡大して示す説明図である。図14は、第2実施形態における静電チャック100aの製造方法で用いられる位置決め用治具JaのXY平面(上面)構成を概略的に示す説明図である。図12および図13に示すように、第2実施形態の静電チャック100aの構成は、上述した第1実施形態の静電チャック100の構成と比較して、板状部材10aの位置決め用凹部13aの構成が異なっており、上側コネクタ200aの構成が異なっている。また、図14に示すように、第2実施形態の静電チャック100の製造方法では、上述した第1実施形態の静電チャック100の製造方法と比較して、位置決め用治具Jaの構成が異なっている。以下では、第2実施形態の静電チャック100aの構成の内、上述した第1実施形態の静電チャック100の構成と同一の構成については、同一の符号を付すことによってその説明を適宜省略する。
図12に示すように、板状部材10aの位置決め用凹部13aのZ軸方向視における外周線OL5は、楕円形である。言い換えると、位置決め用凹部13aの凹み方向に直交する断面形状は、楕円形である。
図13に示すように、位置決め用凹部13aにはめ込まれている上側コネクタ200aの第1のハウジング210aのZ軸方向視における外周線OL6は、楕円形である。言い換えると、上側コネクタ200aにおける位置決め用凹部13aの凹み方向に直交する断面形状は、楕円形である。
条件(C1)
Z軸方向視において、上側コネクタ200aの外周線OL6の少なくとも一部(以下、「特定部分」という。)における直径(例えば、仮想線分D7の長さ)は、板状部材10aの位置決め用凹部13aの外周線OL5の少なくとも一部における直径(例えば、仮想線分D8の長さ)の90%以上である。ここでいう「上側コネクタ200aの外周線OL6の直径」は、Z軸方向視において、上側コネクタ200aの外周線OL6によって形成される平面図形(楕円の図形)の重心C3(当該平面図形が自由な回転運動をするときの回転軸。以下、単に「上側コネクタ200aの重心C3」ともいう。)を通る仮想直線上に位置する2点間を結ぶ仮想線分(例えば、点P9と点P10との間を結ぶ仮想線分D7)の長さである。また、ここでいう「板状部材10aの位置決め用凹部13aの外周線OL5の直径」は、Z軸方向視において、上側コネクタ200aの重心C3を通る仮想直線上に位置する2点間を結び、仮想線分D7を包含する仮想線分(例えば、点P11と点P12との間を通る仮想線分D8)の長さである。
条件(C2)
Z軸方向視において、上側コネクタ200aの外周線OL6の上記特定部分における径(仮想線分。例えば、仮想線分D7)を、上側コネクタ200aの重心C3を回転軸心としてθ3(0°≦θ3≦5°(より好ましくは、0°≦θ3≦1°))だけ回転させた仮想線分(例えば、仮想線分D9)は、板状部材10aの位置決め用凹部13aの外周線OL5と重なる。
図14に示すように、位置決め用治具JaのZ軸方向視における外周線OL7は、楕円形である。言い換えると、位置決め用治具Jaにおける位置決め用凹部13aの凹み方向に直交する断面形状は、楕円形である。
条件(D1)
Z軸方向視において、位置決め用治具Jaの外周線OL7の少なくとも一部(以下、「特定部分」という。)における直径(例えば、仮想線分D10の長さ)は、板状部材10aの位置決め用凹部13aの外周線OL7の少なくとも一部における直径(例えば、仮想線分D11の長さ)の90%以上である。また、ここでいう「位置決め用治具Jaの外周線OL7の直径」は、Z軸方向視において、位置決め用治具Jaの外周線OL7によって形成される平面図形(楕円の図形)の重心C4(当該平面図形が自由な回転運動をするときの回転軸。以下、単に「位置決め用治具Jaの重心C4」ともいう。)を通る仮想直線上に位置する2点間を結ぶ仮想線分(例えば、点P13と点P14との間を結ぶ仮想線分D10)の長さである。「板状部材10aの位置決め用凹部13aの外周線OL7の直径」は、Z軸方向視において、位置決め用治具Jaの重心C4を通る仮想直線上に位置する2点間を結び、仮想線分D10を包含する仮想線分(例えば、点P15と点P16との間を結ぶ仮想線分D11)の長さである。
条件(D2)
Z軸方向視において、位置決め用治具Jaの外周線OL7の上記特定部分における直径を(線分。仮想線分D10)例えば、位置決め用治具Jaの重心C4を回転軸心としてθ4(0°≦θ4≦5°(より好ましくは、0°≦θ4≦1°))だけ回転させた仮想線分(例えば、仮想線分D12)は、板状部材10aの位置決め用凹部13aの外周線OL7と重なる。
B−4.第2実施形態の効果:
第2実施形態の静電チャック100aの製造方法では、第1工程(図9のS110,S120の一連の工程)において、外周線OL5が楕円形である位置決め用凹部13aが形成された板状部材10aを用意する。第2工程(図9の130の工程)において、Z軸方向視で外周線OL7が板状部材10aの位置決め用凹部13aの外周線OL5に略一致する位置決め用治具Jaを位置決め用凹部13aにはめ込むことにより、各給電パッド70に対する各パッド側給電端子72の位置決めをする。板状部材10aの位置決め用凹部13aおよび位置決め用治具Jaが上述した形状であるため、板状部材10aの位置決め用凹部13aの存在によって、位置決め用治具Jaの回転が抑止される。そのため、位置決め用治具Jaを板状部材10aの位置決め用凹部13aにはめ込むだけで、各パッド側給電端子72を適切な位置(各パッド側給電端子72が各給電パッド70に接するような位置)に配置することが可能である。従って、第2実施形態の静電チャック100aの製造方法によれば、容易かつ適切に、各給電パッド70に対する各パッド側給電端子72の位置決めをすることができる。
上記実施形態における静電チャック100の構成は、あくまで一例であり、種々変形可能である。
Claims (5)
- 第1の方向に略直交する第1の表面と、前記第1の表面とは反対側の第2の表面と、を有し、前記第2の表面の一部によって、前記第1の方向視で外周線が多角形または楕円形である凹部が形成された板状部材と、
前記板状部材の前記第2の表面側において前記第1の方向視で前記板状部材の前記凹部に重なるように前記第1の方向に略直交する方向に並んで配置された複数の給電電極と、
各前記給電電極に接続された複数の給電端子と、を備える保持装置の製造方法であって、
前記凹部が形成された前記板状部材と、前記板状部材の前記第2の表面側において前記第1の方向視で前記板状部材の前記凹部に重なるように前記第1の方向に略直交する方向に並んで配置された前記複数の給電電極と、を備える複合体を用意する、第1工程と、
前記第1の方向視で少なくとも一部の外周線が前記板状部材の前記凹部の外周線に略一致する治具であって、前記複数の給電端子を保持した治具の少なくとも一部を前記板状部材の前記凹部にはめ込むことにより、各前記給電電極に対する各前記給電端子の位置決めをする、第2工程と、
を備える、ことを特徴とする保持装置の製造方法。 - 請求項1に記載の保持装置の製造方法において、
前記第1工程において、前記第1の方向視で外周線が多角形である前記凹部が形成された前記板状部材を備える前記複合体を用意する、
ことを特徴とする保持装置の製造方法。 - 請求項1または請求項2に記載の保持装置の製造方法において、
前記保持装置は、前記給電電極に電気的に接続される発熱抵抗体により構成されたヒータを有する、
ことを特徴とする保持装置の製造方法。 - 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の保持装置の製造方法において、
前記保持装置は、
第3の表面と、前記第3の表面とは反対側の第4の表面と、を有し、前記第3の表面が前記板状部材の前記第2の表面に対向するように配置されたベース部材であって、内部に前記複数の給電端子が配置される孔である端子用孔が形成され、冷媒流路が形成されたベース部材を備え、
前記凹部は、前記第1の方向視で前記端子用孔の外周線の内側に収まっている、
ことを特徴とする保持装置の製造方法。 - 第1の方向に略直交する第1の表面と、前記第1の表面とは反対側の第2の表面と、を有し、前記第2の表面の一部によって、前記第1の方向視で外周線が多角形または楕円形である凹部が形成された板状部材と、
前記板状部材の前記第2の表面側において前記第1の方向視で前記板状部材の前記凹部に重なるように前記第1の方向に略直交する方向に並んで配置された複数の給電電極と、
各前記給電電極に接続された複数の給電端子と、
各前記給電端子が挿通される複数の端子挿通用孔を有するコネクタであって、前記板状部材の前記凹部にはめ込まれたコネクタと、を備える保持装置であって、
前記第1の方向視で前記板状部材の前記凹部の外周線および前記凹部にはめ込まれている前記コネクタの少なくとも一部の外周線は、互いに略一致する多角形または楕円形である、保持装置。
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