JP7280769B2 - 保持装置の製造方法および保持装置 - Google Patents

Description

本明細書に開示される技術は、対象物を保持する保持装置の製造方法および保持装置に関する。

例えば半導体を製造する際にウェハを保持する保持装置として、静電チャックが用いられる。静電チャックは、例えばセラミックスにより構成され、所定の方向（以下、「第１の方向」という。）に略直交する略平面状の表面（以下、「吸着面」という。）を有する板状部材と、板状部材の内部に配置されたチャック電極とを備えている。静電チャックは、チャック電極に電圧が印加されることにより発生する静電引力を利用して、板状部材の吸着面にウェハを吸着して保持する。

静電チャックの吸着面に保持されたウェハの温度が所望の温度にならないと、ウェハに対する各処理（成膜、エッチング等）の精度が低下するおそれがあるため、静電チャックにはウェハの温度分布を制御する性能が求められる。そのため、静電チャックの使用時には、板状部材に配置された複数のヒータ電極による加熱や、ベース部材に形成された冷媒流路に冷媒を供給することによる冷却によって、板状部材の吸着面の温度分布の制御（ひいては、吸着面に保持されたウェハの温度分布の制御）が行われる。

静電チャックには、各ヒータ電極への給電のための構成が設けられる（例えば、特許文献１参照）。具体的には、板状部材に、各ヒータ電極に電気的に接続された複数の給電電極（給電パッド）と、各給電電極に接続された複数の給電端子が配置される。このような構成では、電源から、給電端子、給電電極等を介して、各ヒータ電極に電力が供給される。

板状部材は、また、吸着面とは反対側の表面（以下、「下面」という。）を有し、板状部材の下面の一部によって位置決め用凹部が形成される。位置決め用凹部は、静電チャックの製造において各給電電極に対する各給電端子の第１の方向および第１の方向に垂直な方向（以下、「面方向」という。）の位置決めをするための凹部である。第１の方向視で位置決め用凹部の外周線は円形である。複数の給電電極は、板状部材の下面側において第１の方向視で板状部材の位置決め用凹部に重なるように面方向に並んで配置される。

静電チャックは、また、板状部材の位置決め用凹部にはめ込まれたコネクタを備える。コネクタは、各給電端子を挿通する複数の貫通孔を有する。コネクタの各貫通孔に各給電端子を挿通することにより、板状部材に対する（すなわち、給電電極や給電端子に対する）コネクタの面方向の位置決めがなされる。

このような構成の静電チャックの製造方法は、例えば以下の通りである。まず、セラミックスグリーンシートを複数枚作製し、所定のセラミックスグリーンシートに所定の加工を行う。所定の加工としては、例えば、ヒータ電極および給電電極等の形成のためのメタライズペーストの印刷、各種ビアの形成のための孔空けおよびメタライズペーストの充填等が挙げられる。これらのセラミックスグリーンシートを積層して熱圧着し、切断等の加工を行うことにより、セラミックスグリーンシートの積層体を作製する。作製されたセラミックスグリーンシートの積層体を焼成することにより、板状部材を作製する。次に、板状部材に、第１の方向視で外周線が円形である位置決め用凹部を、例えばマシニング加工により形成する。以上の工程により、第１の方向視で外周線が円形である位置決め用凹部が形成された板状部材と、板状部材の下面において第１の方向視で板状部材の位置決め用凹部に重なるように第１の方向に略直交する方向に並んで配置された複数の給電電極とを備える複合体を用意する（以下、この工程を「第１工程」という。）。次に、複数の給電端子を保持した位置決め用治具を板状部材の位置決め用凹部にはめ込む（以下、この工程を「第２工程」という。）。位置決め用治具は、第１の方向視で外周線が板状部材の位置決め用凹部の外周線に略一致する治具である。第２工程により、位置決め用治具を板状部材の位置決め用凹部にはめ込むことにより、各給電端子の第１の方向および第１の方向に垂直な面方向の位置決めがなされる。次に、給電電極に給電端子を、例えばろう材を用いたろう付けにより接合する。次に、位置決め用凹部から位置決め用治具を取り外した上で、コネクタを位置決め用凹部にはめ込む。これにより、板状部材に対する（すなわち、給電電極や給電端子に対する）コネクタの面方向の位置決めがなされる。主として以上の工程により、上述の静電チャックが製造される。

特開２０１０－１２３８６２号公報

上述した静電チャックの製造方法においては、上記第２工程（位置決め用治具を板状部材の位置決め用凹部にはめ込む工程）において、第１の方向視で各給電電極に重なるように各給電電極に対する各給電端子の位置決めをする必要がある。しかしながら、特許文献１の静電チャックの製造方法では、位置決め用凹部の外周線が円形であるため、単に位置決め用治具を板状部材の位置決め用凹部にはめ込むだけでは、第１の方向視における位置決め用治具の回転方向（周方向）の位置（以下、単に「位置決め用治具の回転方向の位置」という。）が適切な位置からずれることがある。そのため、各給電電極に対する各給電端子の位置決めを容易かつ適切に行うことが困難である。また、位置決め用治具の回転方向の位置が適切な位置からずれたままの静電チャックが製造された際には、各給電電極に対する各給電端子の相対的位置がずれることにより、各給電電極と各給電端子との電気的接続の不良等が生じるおそれがある。

なお、このような課題は、給電端子および給電パッドと電気的に接続されるヒータ電極を備える静電チャックに限らず、給電端子および給電パッドと電気的に接続される別の部材を備える静電チャックであれば共通の課題である。また、このような課題は、静電引力を利用してウェハを保持する静電チャックに限らず、板状部材と、複数の給電電極と、複数の給電端子とを備え、板状部材の上方に対象物を保持する保持装置一般に共通の課題である。

本明細書では、上述した課題を解決することが可能な技術を開示する。

本明細書に開示される技術は、例えば、以下の形態として実現することが可能である。

（１）本明細書に開示される保持装置の製造方法は、第１の方向に略直交する第１の表面と、前記第１の表面とは反対側の第２の表面と、を有し、前記第２の表面の一部によって、前記第１の方向視で外周線が多角形または楕円形である凹部が形成された板状部材と、前記板状部材の前記第２の表面側において前記第１の方向視で前記板状部材の前記凹部に重なるように前記第１の方向に略直交する方向に並んで配置された複数の給電電極と、各前記給電電極に接続された複数の給電端子と、を備える保持装置の製造方法であって、前記凹部が形成された前記板状部材と、前記板状部材の前記第２の表面側において前記第１の方向視で前記板状部材の前記凹部に重なるように前記第１の方向に略直交する方向に並んで配置された前記複数の給電電極と、を備える複合体を用意する、第１工程と、前記第１の方向視で少なくとも一部の外周線が前記板状部材の前記凹部の外周線に略一致する治具であって、前記複数の給電端子を保持した治具の少なくとも一部を前記板状部材の前記凹部にはめ込むことにより、各前記給電電極に対する各前記給電端子の位置決めをする、第２工程と、を備える。

前記凹部の外周線が円形である構成においては、単に前記治具を前記板状部材の前記凹部にはめ込むだけでは、前記第１の方向視における前記治具の回転方向（周方向）の位置（以下、単に「前記治具の回転方向の位置」という。）が適切な位置からずれることがあるため、各前記給電電極に対する各前記給電端子の位置決めを容易かつ適切に行うことは困難である。また、前記治具の回転方向の位置が適切な位置からずれたままの静電チャックが製造された際には、各前記給電電極に対する各前記給電端子の相対的位置がずれることにより、各前記給電電極と各前記給電端子との電気的接続の不良等が生じるおそれがある。

これに対し、本保持装置の製造方法では、前記第１工程において、外周線が多角形または楕円形である前記凹部が形成された前記板状部材を用意する。前記第２工程において、前記第１の方向視で外周線が前記板状部材の前記凹部の外周線に略一致する前記治具を前記凹部にはめ込むことにより、各前記給電電極に対する各前記給電端子の位置決めをする。前記板状部材の前記凹部および前記治具が上述した形状であるため、前記板状部材の前記凹部の存在によって、前記治具の回転が抑止される。そのため、前記治具を前記板状部材の前記凹部にはめ込むだけで、各前記給電端子を適切な位置（各前記給電端子が各前記給電電極に接するような位置）に配置することが可能である。従って、本保持装置の製造方法によれば、容易かつ適切に、各前記給電電極に対する各前記給電端子の位置決めをすることができる。

（２）上記保持装置の製造方法において、前記第１工程において、前記第１の方向視で外周線が多角形である前記凹部が形成された前記板状部材を備える前記複合体を用意する構成としてもよい。本保持装置の製造方法によれば、より容易に、各前記給電電極に対する各前記給電端子の位置決めをすることができる。

（３）上記保持装置の製造方法において、前記保持装置は、前記給電電極に電気的に接続される発熱抵抗体により構成されたヒータを有する構成としてもよい。

本保持装置の製造方法によれば、容易かつ適切に、各前記給電電極に対する各前記給電端子の位置決めをすることができる。そのため、各前記給電電極に対する各前記給電端子の相対的位置がずれることを、より確実に防止することができる。従って、本保持装置の製造方法によれば、各前記給電電極に対する各前記給電端子の相対的位置がずれることに起因する前記ヒータの加熱性能の低下を抑制することができ、ひいては前記ヒータの加熱による前記第１の表面における温度分布（ひいては、前記第１の表面の上方に保持される対象物の温度分布）の制御性の低下を抑制することができる。

（４）上記保持装置の製造方法において、前記保持装置は、第３の表面と、前記第３の表面とは反対側の第４の表面と、を有し、前記第３の表面が前記板状部材の前記第２の表面に対向するように配置されたベース部材であって、内部に前記複数の給電端子が配置される孔である端子用孔が形成され、冷媒流路が形成されたベース部材を備え、前記凹部は、前記第１の方向視で前記端子用孔の外周線の内側に収まっている構成としてもよい。

前記ベース部材において、前記端子用孔が形成された部分および前記凹部が形成された部分には、前記冷媒流路を配置することができない。そのため、前記板状部材の内、前記第１の方向視で前記端子用孔と前記凹部との少なくとも一方と重なる部分は、他の部分と比較して、前記ベース部材に形成された前記冷媒流路への冷媒供給による冷却作用が及びにくく、高温の温度特異点となりやすい。これにより、前記第１の表面の温度分布の制御性（ひいては、前記第１の表面に保持された対象物の温度分布の制御性）が低下するおそれがある。ここで、前記第１の方向視で前記凹部が前記端子用孔の外周線に収まっていない構成では、収まっている構成と比べて、前記第１の方向視で前記端子用孔と前記凹部との少なくとも一方に重なる部分の面積が広くなる。従って、この構成では、温度特異点となる範囲が広くなり、ひいては前記第１の表面の温度分布の制御性（ひいては、前記第１の表面の上方に保持された対象物の温度分布の制御性）が更に低下するおそれがある。

本保持装置は、前記凹部が前記第１の方向視で前記端子用孔の外周線の内側に収まっている。そのため、前記第１の方向視で前記凹部が前記端子用孔の外周線に収まっていない構成と比べて、前記第１の方向視における温度特異点の範囲が狭くなる。そのため、本保持装置によれば、前記第１の表面の温度分布の制御性（ひいては、前記第１の表面の上方に保持された対象物の温度分布の制御性）の低下を抑制することができる。本保持装置の製造方法によれば、前記第１工程および前記第２工程を備えることにより、このような構成である上記保持装置における各前記給電電極に対する各前記給電端子の相対的位置がずれることを抑制することができる。

（５）本明細書に開示される保持装置は、第１の方向に略直交する第１の表面と、前記第１の表面とは反対側の第２の表面と、を有し、前記第２の表面の一部によって、前記第１の方向視で外周線が多角形または楕円形である凹部が形成された板状部材と、前記板状部材の前記第２の表面側において前記第１の方向視で前記板状部材の前記凹部に重なるように前記第１の方向に略直交する方向に並んで配置された複数の給電電極と、各前記給電電極に接続された複数の給電端子と、各前記給電端子が挿通される複数の端子挿通用孔を有するコネクタであって、前記板状部材の前記凹部にはめ込まれたコネクタと、を備える保持装置であって、前記第１の方向視で前記板状部材の前記凹部の外周線および前記凹部にはめ込まれている前記コネクタの少なくとも一部の外周線は、互いに略一致する多角形または楕円形である。

このような構成である本保持装置においては、上述した製造方法における効果が得られるのに加え、下記の効果も得られる。

本保持装置では、前記第１の方向視で前記板状部材の前記凹部の外周線および前記コネクタの外周線は、互いに略一致する六角形である。そのため、前記板状部材の前記凹部の存在によって、前記コネクタの回転が抑止される。そのため、本保持装置によれば、前記コネクタの回転方向の位置ずれに起因して各前記給電電極と前記給電端子との電気的接続の不良等が生じることを抑制することができる。

なお、本明細書に開示される技術は、種々の形態で実現することが可能であり、例えば、保持装置、静電チャック、真空チャック、それらの製造方法等の形態で実現することが可能である。

第１実施形態における静電チャック１００の外観構成を概略的に示す斜視図である。 第１実施形態における静電チャック１００のＸＺ断面構成を概略的に示す説明図である。 第１実施形態における静電チャック１００のＸＹ平面（上面）構成を概略的に示す説明図である。 ヒータ電極層５０およびヒータ電極層５０への給電のための構成を模式的に示す説明図である。 各セグメントＳＥに配置されたヒータ電極５００のＸＹ断面構成を模式的に示す説明図である。 静電チャック１００における端子用孔Ｈｔ付近の部分のＹＺ断面構成を拡大して示す説明図である。 静電チャック１００における板状部材１０の位置決め用凹部１３付近の部分（図６のＸ２の部分）のＸＹ断面構成を拡大して示す説明図である。 静電チャック１００における上側コネクタ２００の第１のハウジング２１０付近の部分（図６のＸ２の部分）のＸＹ断面構成を拡大して示す説明図である。 第１実施形態における静電チャック１００の製造方法を示すフローチャートである。 第１実施形態における静電チャック１００の製造方法の概要を示す説明図である。 第１実施形態の静電チャック１００の製造方法で用いられる位置決め用治具ＪのＸＹ平面（上面）構成を概略的に示す説明図である。 第２実施形態における静電チャック１００ａにおける板状部材１０ａの位置決め用凹部１３ａ付近の部分（図６のＸ２の部分に対応）のＸＹ断面構成を拡大して示す説明図である。 第２実施形態における静電チャック１００ａにおける上側コネクタ２００ａの第１のハウジング２１０ａ付近の部分（図６のＸ２の部分に対応）のＸＹ断面構成を拡大して示す説明図である。 第２実施形態における静電チャック１００ａの製造方法で用いられる位置決め用治具ＪａのＸＹ平面（上面）構成を概略的に示す説明図である。 変形例における静電チャック１００ｂにおける板状部材１０ｂの位置決め用凹部１３ｂ付近の部分（図６のＸ２の部分に対応）のＸＹ断面構成を拡大して示す説明図である。 変形例における静電チャック１００ｂにおける上側コネクタ２００ｂの第１のハウジング２１０ｂ付近の部分（図６のＸ２の部分に対応）のＸＹ断面構成を拡大して示す説明図である。 変形例における静電チャック１００ｂの製造方法で用いられる位置決め用治具ＪｂのＸＹ平面（上面）構成を概略的に示す説明図である。

Ａ．第１実施形態：
Ａ－１．装置構成：
図１は、本実施形態における静電チャック１００の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図２は、本実施形態における静電チャック１００のＸＺ断面構成を概略的に示す説明図であり、図３は、本実施形態における静電チャック１００のＸＹ平面（上面）構成を概略的に示す説明図である。各図には、方向を特定するための互いに直交するＸＹＺ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Ｚ軸正方向を上方向といい、Ｚ軸負方向を下方向というものとするが、静電チャック１００は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。

静電チャック１００は、対象物（例えばウェハＷ）を静電引力により吸着して保持する装置であり、例えば半導体製造装置の真空チャンバー内でウェハＷを保持するために使用される。静電チャック１００は、所定の配列方向（本実施形態では上下方向（Ｚ軸方向））に並べて配置された板状部材１０およびベース部材２０を備える。板状部材１０とベース部材２０とは、板状部材１０の下面Ｓ２（図２参照）とベース部材２０の上面Ｓ３とが上記配列方向に対向するように配置される。静電チャック１００は、特許請求の範囲における保持装置に相当する。

板状部材１０は、上述した配列方向（Ｚ軸方向）に略直交する略円形平面状の上面（以下、「吸着面」という。）Ｓ１を有する板状の部材であり、例えばセラミックス（例えば、アルミナや窒化アルミニウム等）により形成されている。板状部材１０の直径は例えば５０ｍｍ～５００ｍｍ程度（通常は２００ｍｍ～３５０ｍｍ程度）であり、板状部材１０の厚さは例えば１ｍｍ～１０ｍｍ程度である。板状部材１０の吸着面Ｓ１は、特許請求の範囲における第１の表面に相当し、板状部材１０の下面Ｓ２は、特許請求の範囲における第２の表面に相当し、Ｚ軸方向は、特許請求の範囲における第１の方向に相当する。また、本明細書では、Ｚ軸方向に直交する方向を「面方向」といい、図３に示すように、面方向の内、吸着面Ｓ１の中心点ＣＰを中心とする円周方向を「円周方向ＣＤ」といい、面方向の内、円周方向ＣＤに直交する方向を「径方向ＲＤ」という。

図２に示すように、板状部材１０の内部には、導電性材料（例えば、タングステン、モリブデン、白金等）により形成されたチャック電極４０が配置されている。Ｚ軸方向視でのチャック電極４０の形状は、例えば略円形である。チャック電極４０に電源（図示しない）から電圧が印加されると、静電引力が発生し、この静電引力によってウェハＷが板状部材１０の吸着面Ｓ１に吸着保持される。

板状部材１０の内部には、また、それぞれ導電性材料（例えば、タングステン、モリブデン、白金等）により形成された、ヒータ電極層５０と、ヒータ電極層５０への給電のためのドライバ電極層５１および各種ビア５３，５４とが配置されている。本実施形態では、ヒータ電極層５０はチャック電極４０より下側に配置され、ドライバ電極層５１はヒータ電極層５０より下側に配置されている。

ベース部材２０は、例えば板状部材１０と同径の、または、板状部材１０より径が大きい円形平面の板状部材であり、例えば金属（アルミニウムやアルミニウム合金等）により形成されている。ベース部材２０の直径は例えば２２０ｍｍ～５５０ｍｍ程度（通常は２２０ｍｍ～３５０ｍｍ）であり、ベース部材２０の厚さは例えば２０ｍｍ～４０ｍｍ程度である。ベース部材２０の上面Ｓ３は、特許請求の範囲における第３の表面に相当し、ベース部材２０の下面Ｓ４は、特許請求の範囲における第４の表面に相当する。

ベース部材２０は、板状部材１０の下面Ｓ２とベース部材２０の上面Ｓ３との間に配置された接着部３０によって、板状部材１０に接合されている。接着部３０は、例えばシリコーン系樹脂やアクリル系樹脂、エポキシ系樹脂等の接着材により構成されている。接着部３０の厚さは、例えば０．１ｍｍ～１ｍｍ程度である。

ベース部材２０の内部には冷媒流路２１が形成されている。冷媒流路２１に冷媒（例えば、フッ素系不活性液体や水等）が流されると、ベース部材２０が冷却され、接着部３０を介したベース部材２０と板状部材１０との間の伝熱（熱引き）により板状部材１０が冷却され、板状部材１０の吸着面Ｓ１に保持されたウェハＷが冷却される。これにより、ウェハＷの温度分布の制御が実現される。

Ａ－２．ヒータ電極層５０およびヒータ電極層５０への給電のための構成：
次に、ヒータ電極層５０の構成およびヒータ電極層５０への給電のための構成について詳述する。上述したように、板状部材１０には、ヒータ電極層５０と、ヒータ電極層５０への給電のためのドライバ電極層５１および各種ビア５３，５４とが配置されている。また、静電チャック１００には、ヒータ電極層５０への給電のための他の構成（後述する端子用孔Ｈｔに収容されたパッド側給電端子７２等）が設けられている。図４は、ヒータ電極層５０およびヒータ電極層５０への給電のための構成を模式的に示す説明図である。図４の上段には、板状部材１０に配置されたヒータ電極層５０の一部のＹＺ断面構成が模式的に示されており、図４の中段には、板状部材１０に配置されたドライバ電極層５１の一部のＸＹ平面構成が模式的に示されており、図４の下段には、ヒータ電極層５０への給電のための他の構成のＹＺ断面構成が模式的に示されている。

ここで、図３に示すように、本実施形態の静電チャック１００では、板状部材１０に、面方向（Ｚ軸方向に直交する方向）に並ぶ複数の仮想的な領域であるセグメントＳＥ（図３において破線で示す）が設定されている。より詳細には、Ｚ軸方向視で、板状部材１０が、吸着面Ｓ１の中心点ＣＰを中心とする同心円状の複数の第１の境界線ＢＬ１によって複数の仮想的な環状領域（ただし、中心点ＣＰを含む領域のみは円状領域）に分割され、さらに各環状領域が、径方向ＲＤに延びる複数の第２の境界線ＢＬ２によって円周方向ＣＤに並ぶ複数の仮想的な領域であるセグメントＳＥに分割されている。図４の上段には、一例として、板状部材１０に設定された６つのセグメントＳＥが示されている。

図４の上段に示すように、ヒータ電極層５０は、複数のヒータ電極５００を含んでいる。ヒータ電極層５０に含まれる複数のヒータ電極５００のそれぞれは、板状部材１０に設定された複数のセグメントＳＥの１つに配置されている。すなわち、本実施形態の静電チャック１００では、複数のセグメントＳＥのそれぞれに、１つのヒータ電極５００が配置されている。換言すれば、板状部材１０において、１つのヒータ電極５００が配置された部分（主として該ヒータ電極５００により加熱される部分）が、１つのセグメントＳＥとなる。

図５は、各セグメントＳＥに配置されたヒータ電極５００のＸＹ断面構成を模式的に示す説明図である。図５に示すように、ヒータ電極５００は、Ｚ軸方向視で線状の抵抗発熱体であるヒータライン部５０２と、ヒータライン部５０２の両端部に接続されたヒータパッド部５０４とを有する。本実施形態では、ヒータライン部５０２は、Ｚ軸方向視で、セグメントＳＥ内の各位置をできるだけ偏り無く通るような形状とされている。他のセグメントＳＥに配置されたヒータ電極５００の構成も同様である。ヒータ電極５００のヒータライン部５０２は、特許請求の範囲におけるヒータに相当する。

なお、上述したように、本実施形態の静電チャック１００では、複数のセグメントＳＥのそれぞれに１つのヒータ電極５００が配置されているが、ここで言う１つのヒータ電極５００とは、独立して制御可能なヒータ電極５００の単位を意味しており、必ずしも単一のヒータ電極５００に限定されるものではない。例えば、１つのセグメントＳＥに、互いに共通に制御される複数のヒータ電極５００が配置されているとしてもよい。また、１つのセグメントＳＥに配置されたヒータ電極５００のヒータライン部５０２の構成が、Ｚ軸方向における位置が互いに異なる複数層のヒータライン部５０２の部分が互いに直列に接続された構成であるとしてもよい。

また、図４の中段に示すように、板状部材１０に配置されたドライバ電極層５１は、複数のドライバ電極５１０を有している。本実施形態では、ドライバ電極５１０は、Ｚ軸方向視で、ある程度の幅を有する線状の導電部材である。複数のヒータ電極５００のそれぞれについて、ヒータ電極５００の一端は、ビア５３を介して、１つのドライバ電極５１０に電気的に接続されており、該ヒータ電極５００の他端は、ビア５３を介して、他の１つのドライバ電極５１０に電気的に接続されている。なお、図４に示す例のように、各ヒータ電極５００の一端については、互いに同一のドライバ電極５１０に電気的に接続されていてもよい。

また、図２および図４に示すように、静電チャック１００には、複数の端子用孔Ｈｔが形成されている。図６は、静電チャック１００における端子用孔Ｈｔ付近の部分（図４におけるＸ１部）のＹＺ断面構成を拡大して示す説明図である。図６に示すように、各端子用孔Ｈｔは、ベース部材２０を上面Ｓ３から下面Ｓ４まで貫通する第１の貫通孔２２と、接着部３０を上下方向に貫通する第２の貫通孔３２と、板状部材１０の下面Ｓ２によって形成され、上方に凹む位置決め用凹部１３と、位置決め用凹部１３の底面によって形成され、上方に凹む凹部１２とが、互いに連通することにより構成された一体の孔である。なお、本実施形態では、端子用孔Ｈｔを構成するベース部材２０の第１の貫通孔２２と接着部３０の第２の貫通孔３２とは、略同径であるが、板状部材１０に形成された位置決め用凹部１３の径は、第１の貫通孔２２および第２の貫通孔３２の径より小さく、位置決め用凹部１３の底面によって形成された凹部１２の径（凹部１２の凹み方向に直交する幅）は、位置決め用凹部１３の径より小さい。また、本実施形態では、端子用孔Ｈｔを構成するベース部材２０の第１の貫通孔２２は、その下端部（以下、「第１の貫通孔下端部２３」という。）において拡径している。位置決め用凹部１３の直径（位置決め用凹部１３の凹み方向に直交する幅）は例えば６ｍｍ～１２ｍｍ程度であり、位置決め用凹部１３の凹み方向の深さは例えば０．１ｍｍ～１．０ｍｍ程度である。第１の貫通孔２２の直径（第１の貫通孔２２の延伸方向に直交する幅）は例えば６ｍｍ～１５ｍｍ程度である。第２の貫通孔３２の直径（第２の貫通孔３２の延伸方向に直交する幅）は例えば６ｍｍ～１５ｍｍ程度である。なお、板状部材１０の位置決め用凹部１３は、特許請求の範囲における凹部に相当する。第１の貫通孔２２は、特許請求の範囲における端子用孔に相当する。

板状部材１０の下面Ｓ２における各端子用孔Ｈｔに対応する位置（Ｚ軸方向において端子用孔Ｈｔと重なる位置）には、導電性材料により構成された複数の給電パッド（給電電極）７０が形成されている。より詳細には、図６に示すように、複数の給電パッド７０は、板状部材１０の下面Ｓ２においてＺ軸方向視で板状部材１０の位置決め用凹部１３に重なるように上下方向に略直交する方向に並んで配置されている。
各給電パッド７０は、ビア５４を介して、ドライバ電極層５１のドライバ電極５１０に電気的に接続されている。給電パッド７０は、特許請求の範囲における給電電極に相当する。

図２、図４および図６に示すように、各端子用孔Ｈｔにおいて、各給電パッド７０上には、導電性材料により構成されたパッド側給電端子７２が設けられている。より詳細には、各パッド側給電端子７２は、第１の貫通孔２２の内部に配置されている。各パッド側給電端子７２は、基部７４と、基部７４から延びる棒状部７６とを有している。パッド側給電端子７２の基部７４は、例えばろう材７８を用いたろう付けにより給電パッド７０に接合されている。パッド側給電端子７２は、特許請求の範囲における給電端子に相当する。

また、図２、図４および図６に示すように、各端子用孔Ｈｔ内には、上側コネクタ２００が収容されている。上側コネクタ２００は、端子用孔Ｈｔ内における上側の端部付近に位置している。上側コネクタ２００は、第１のハウジング２１０と、第２のハウジング２２０と、ソケット２３０とを備える。上側コネクタ２００は、特許請求の範囲におけるコネクタに相当する。

上側コネクタ２００の第１のハウジング２１０は、柱状の部材であり、例えば樹脂等の絶縁材料により形成されている。Ｚ軸方向視での第１のハウジング２１０の直径は、端子用孔Ｈｔを構成するベース部材２０の第１の貫通孔２２および接着部３０の第２の貫通孔３２の直径より小さく、かつ、板状部材１０の位置決め用凹部１３の直径より小さい。なお、第１のハウジング２１０の下側部分２１４は、他の部分より縮径している。上側コネクタ２００の第１のハウジング２１０は、板状部材１０の位置決め用凹部１３にはめ込まれている。より詳細には、第１のハウジング２１０の上面における外周付近の領域は、板状部材１０の下面Ｓ２（より詳細には、板状部材１０の位置決め用凹部１３の底面）に当接している。これにより、板状部材１０に対する（すなわち、給電パッド７０やパッド側給電端子７２に対する）第１のハウジング２１０のＺ軸方向の位置決めがなされる。第１のハウジング２１０の下側部分２１４は、また、板状部材１０の位置決め用凹部１３の側面に当接している。これにより、板状部材１０に対する（すなわち、給電パッド７０やパッド側給電端子７２に対する）第１のハウジング２１０の面方向の位置決めがなされる。また、第１のハウジング２１０には、Ｚ軸方向に延びる複数の貫通孔２１２が形成されており、各貫通孔２１２にパッド側給電端子７２の棒状部７６が挿通されている。これにより、板状部材１０に対する（すなわち、給電パッド７０やパッド側給電端子７２に対する）第１のハウジング２１０の面方向の位置決めがなされる。上側コネクタ２００の第１のハウジング２１０の貫通孔２１２は、特許請求の範囲における端子挿通用孔に相当する。なお、第１のハウジング２１０の上面と、板状部材１０の凹部１２の底面および側面とにより囲まれた空間には、各給電パッド７０間や各パッド側給電端子７２間の絶縁のために、樹脂接着剤７９が充填されている。また、第１のハウジング２１０の側面は、端子用孔Ｈｔの側面（端子用孔Ｈｔを構成する第２の貫通孔３２および第１の貫通孔２２の側面）から離間しており、両者の間に空間が存在している。

上側コネクタ２００の第２のハウジング２２０は、柱状の部材であり、例えば樹脂等の絶縁材料により形成されている。Ｚ軸方向視での第２のハウジング２２０の直径は、第１のハウジング２１０の直径と略同一である。第２のハウジング２２０の上面側には、第１のハウジング２１０の下側部分２１４と嵌合する凹部２２４が形成されている。第２のハウジング２２０は、第２のハウジング２２０の凹部２２４に第１のハウジング２１０の下側部分２１４が嵌合した状態で、第１のハウジング２１０の下面に当接している。これにより、第１のハウジング２１０に対する（すなわち、板状部材１０や給電パッド７０、パッド側給電端子７２に対する）第２のハウジング２２０のＺ軸方向および面方向の位置決めがなされる。また、図示しないが、第２のハウジング２２０の凹部２２４の側面と、第１のハウジング２１０の下側部分２１４の側面と、の一方には凸部が形成され、他方には該凸部と嵌合する凹部が形成されている。これらの凸部と凹部とが嵌合することにより、第１のハウジング２１０に対する（すなわち、板状部材１０や給電パッド７０、パッド側給電端子７２に対する）第２のハウジング２２０の回転方向の位置決めがなされる。また、第２のハウジング２２０には、Ｚ軸方向に延びる複数の貫通孔２２２が形成されており、各貫通孔２２２にはソケット２３０が挿入（圧入）されている。また、第２のハウジング２２０の側面は、端子用孔Ｈｔの側面（端子用孔Ｈｔを構成する第２の貫通孔３２および第１の貫通孔２２の側面）から離間しており、両者の間に空間が存在している。

上側コネクタ２００のソケット２３０は、略円柱状の部材であり、例えば金属等の導電性材料により形成されている。ソケット２３０の上面側には、パッド側給電端子７２の棒状部７６が挿入される孔２３２が形成されている。ソケット２３０の孔２３２にパッド側給電端子７２の棒状部７６が挿入された状態では、ソケット２３０とパッド側給電端子７２とが電気的に接続される。なお、この状態では、各パッド側給電端子７２間は、樹脂接着剤７９や第１のハウジング２１０、第２のハウジング２２０が介在することによって互いに絶縁される。

また、図２、図４および図６に示すように、各端子用孔Ｈｔ内には、下側コネクタ３００が収容されている。下側コネクタ３００は、端子用孔Ｈｔ内における下側の端部付近に位置している。下側コネクタ３００は、ハウジング３１０と、ソケット３３０とを備える。

下側コネクタ３００のハウジング３１０は、略円柱状の部材であり、例えば樹脂等の絶縁材料により形成されている。Ｚ軸方向視でのハウジング３１０の直径は、端子用孔Ｈｔを構成するベース部材２０の第１の貫通孔２２の直径と略同一である。そのため、ハウジング３１０の側面は、端子用孔Ｈｔの側面（第１の貫通孔２２の側面）と接している。ハウジング３１０には、Ｚ軸方向に延びる複数の貫通孔３１２が形成されており、各貫通孔３１２にはソケット３３０が挿入（圧入）されている。

また、ハウジング３１０の側面には、面方向に延びるスリット３１４が形成されている。該スリット３１４には、例えば樹脂等の絶縁材料により形成されたＣリング３５２が挿入されている。Ｃリング３５２における外周側の一部分は、スリット３１４からはみ出しており、該はみ出した部分の上面は、ベース部材２０の第１の貫通孔下端部２３の上面に当接している。これにより、ベース部材２０に対するハウジング３１０のＺ軸方向の位置決めがなされる。また、この第１の貫通孔下端部２３内には、ハウジング３１０の下側部分を取り囲むような略円筒状の押さえプレート３５６が配置されており、該押さえプレート３５６は、止めネジ３５４によりベース部材２０に固定されている。これにより、ハウジング３１０（下側コネクタ３００）が、ベース部材２０に固定される。なお、押さえプレート３５６は、例えば樹脂等の絶縁材料により形成されている。

また、ハウジング３１０におけるＺ軸方向視での中心付近には、Ｚ軸方向に延びる貫通孔３１５が形成されており、該貫通孔３１５には、例えば樹脂等の絶縁材料により形成された押さえ部材３４０が挿通されている。押さえ部材３４０は、ハウジング３１０の貫通孔３１５の内周面に形成されたネジに螺号することにより、ハウジング３１０に固定されている。また、押さえ部材３４０の上端は、上側コネクタ２００の第２のハウジング２２０における下面２２６（すなわち、板状部材１０に対向する側とは反対側の表面）に当接している。押さえ部材３４０の存在により、上側コネクタ２００の第２のハウジング２２０の下方向への移動（すなわち、上側コネクタ２００の第２のハウジング２２０のパッド側給電端子７２からの抜け）が規制される。

下側コネクタ３００のソケット３３０は、略円柱状の部材であり、例えば金属等の導電性材料により形成されている。ソケット３３０の下面側には、電源側の端子が挿入される孔３３２が形成されている。また、ソケット３３０は、リード線８０を介して、上側コネクタ２００のソケット２３０と電気的に接続されている。

このような構成において、各ヒータ電極５００は、電源（図示しない）に対して互いに並列に接続されている。電源から、下側コネクタ３００のソケット３３０、リード線８０、上側コネクタ２００のソケット２３０、パッド側給電端子７２、給電パッド７０、ビア５４、ドライバ電極５１０およびビア５３を介して、ヒータ電極５００に電圧が印加されると、ヒータ電極５００が発熱する。これにより、ヒータ電極５００が配置されたセグメントＳＥが加熱され、板状部材１０の吸着面Ｓ１の温度分布の制御（ひいては、板状部材１０の吸着面Ｓ１に保持されたウェハＷの温度分布の制御）が実現される。本実施形態では、各ヒータ電極５００がヒータ用電源に対して互いに並列に接続されているため、各ヒータ電極５００単位で（すなわち、各セグメントＳＥ単位で）ヒータ電極５００の発熱量を制御することができ、セグメントＳＥ単位での板状部材１０の吸着面Ｓ１の温度分布の制御（すなわち、よりきめ細かい単位での温度分布制御）を実現することができる。

Ａ－３．板状部材１０の位置決め用凹部１３付近の詳細構成：
次に、静電チャック１００における板状部材１０の位置決め用凹部１３付近の部分について、さらに詳細に説明する。

Ａ－３－１．板状部材１０の位置決め用凹部１３の構成
図７は、静電チャック１００における板状部材１０の位置決め用凹部１３付近の部分（図６のＸ２の部分）のＸＹ断面構成を拡大して示す説明図である。図７に示すように、板状部材１０の位置決め用凹部１３のＺ軸方向視における外周線ＯＬ１は、六角形である。言い換えると、位置決め用凹部１３の凹み方向に直交する断面形状は、六角形である。ここでいう「六角形」は、辺の真直度が高い六角形や、２辺がつくる角にカーブがかかっていない六角形などの狭義の六角形に限らず、辺の真直度が低い六角形や、２辺がつくる角にカーブがかかっている六角形などをも含む広義の六角形を意味する（以下において、六角形または六角形以外の多角形をいうときも同様）。

図７に示すように、板状部材１０の位置決め用凹部１３は、Ｚ軸方向視で第１の貫通孔２２の外周線ＯＬ２の内側に収まっている。

Ａ－３－２．上側コネクタ２００の構成
図８は、静電チャック１００における上側コネクタ２００の第１のハウジング２１０付近の部分（図６のＸ２の部分）のＸＹ断面構成を拡大して示す説明図である。図８に示すように、位置決め用凹部１３にはめ込まれている上側コネクタ２００の第１のハウジング２１０のＺ軸方向視における外周線ＯＬ３は、６つの角部２１１を有する六角形である。言い換えると、上側コネクタ２００における位置決め用凹部１３の凹み方向に直交する断面形状は、六角形である。

図８に示すように、上側コネクタ２００の第１のハウジング２１０のＺ軸方向視における外周線ＯＬ３は、板状部材１０の位置決め用凹部１３の外周線ＯＬ１に略一致する。ここでいう「上側コネクタ２００の第１のハウジング２１０のＺ軸方向視における外周線ＯＬ３は、板状部材１０の位置決め用凹部１３の外周線ＯＬ１に略一致する」は、下記の条件（Ａ１）および条件（Ａ２）を満たすことを意味する。
条件（Ａ１）
Ｚ軸方向視において、上側コネクタ２００の第１のハウジング２１０の外周線ＯＬ３の各角部２１１の少なくとも一部（以下、「特定部分」という。）における直径（例えば、仮想線分Ｄ１の長さ）は、板状部材１０の位置決め用凹部１３の外周線ＯＬ１の少なくとも一部における直径（例えば、仮想線分Ｄ２の長さ）の９０％以上である。ここでいう「上側コネクタ２００の第１のハウジング２１０の外周線ＯＬ３の直径」は、Ｚ軸方向視において、上側コネクタ２００の第１のハウジング２１０の外周線ＯＬ３によって形成される平面図形（六角形の図形）の重心Ｃ１（当該平面図形が自由な回転運動をするときの回転軸。以下、単に「上側コネクタ２００の重心Ｃ１」ともいう。）を通る仮想直線上に位置する２点間を結ぶ仮想線分（例えば、点Ｐ１と点Ｐ２との間を結ぶ仮想線分Ｄ１）の長さである。また、ここでいう「板状部材１０の位置決め用凹部１３の外周線ＯＬ１の直径」は、Ｚ軸方向視において、上側コネクタ２００の重心Ｃ１を通る仮想直線上に位置する２点間を結び、仮想線分Ｄ１を包含する仮想線分（例えば、点Ｐ３と点Ｐ４との間を結ぶ仮想線分Ｄ２）の長さである。
条件（Ａ２）
Ｚ軸方向視において、上側コネクタ２００の第１のハウジング２１０の外周線ＯＬ３の上記特定部分における径（仮想線分。例えば、仮想線分Ｄ１）を、上側コネクタ２００の重心Ｃ１を回転軸心としてθ１（０°≦θ１≦５°（より好ましくは、０°≦θ１≦１°））だけ回転させた仮想線分（例えば、仮想線分Ｄ３）は、板状部材１０の位置決め用凹部１３の外周線ＯＬ１と重なる。
なお、図８では、図の理解が容易となるように、便宜上、上側コネクタ２００の第１のハウジング２１０の外周線ＯＬ３と、板状部材１０の位置決め用凹部１３の外周線ＯＬ１との形状（特に、大きさ）の違いが誇張して示されている（図１３，図１６も同様）。

上記の条件（Ａ１）および条件（Ａ２）を満たす構成とされた場合には、板状部材１０の位置決め用凹部１３の存在によって、Ｚ軸方向視における上側コネクタ２００の回転（以下、単に「上側コネクタ２００の回転」という。）が抑止される。

Ａ－４．静電チャック１００の製造方法：
図９は、本実施形態における静電チャック１００の製造方法を示すフローチャートである。図１０は、本実施形態における静電チャック１００の製造方法の概要を示す説明図である。図１１は、本実施形態の静電チャック１００の製造方法で用いられる位置決め用治具ＪのＸＹ平面（上面）構成を概略的に示す説明図である。

はじめに、板状部材１０とベース部材２０とを準備する（Ｓ１１０）。板状部材１０およびベース部材２０は、公知の製造方法によって製造可能である。例えば、板状部材１０は以下の方法で製造される。すなわち、セラミックスグリーンシートを複数枚作製し、所定のセラミックスグリーンシートに所定の加工を行う。所定の加工としては、例えば、ヒータ電極層５０やドライバ電極層５１、給電パッド７０等の形成のためのメタライズペーストの印刷、各種ビア５３，５４の形成のための孔空けおよびメタライズペーストの充填等が挙げられる。このとき、複数の給電パッド７０が上下方向に略直交する方向に並んで配置されるようにする。これらのセラミックスグリーンシートを積層して熱圧着し、切断等の加工を行うことにより、セラミックスグリーンシートの積層体を作製する。作製されたセラミックスグリーンシートの積層体を焼成することにより、板状部材１０が製造される。

次に、板状部材１０の下面Ｓ２に、例えばマシニング加工により位置決め用凹部１３を形成する（Ｓ１２０、図１０のＡ欄参照）。このとき、Ｚ軸方向視で各給電パッド７０に重なるように位置決め用凹部１３を形成する。Ｓ１１０，Ｓ１２０の一連の工程を経て、位置決め用凹部１３が形成された板状部材１０と、板状部材１０の下面Ｓ２においてＺ軸方向視で板状部材１０の位置決め用凹部１３に重なるように上下方向に略直交する方向に並んで配置された複数の給電パッド７０と、を備える複合体６００が用意される（図１０のＡ欄参照）。

次に、Ｚ軸方向視で外周線ＯＬ４が板状部材１０の位置決め用凹部１３の外周線ＯＬ１に略一致する位置決め用治具Ｊを用意し、複数のパッド側給電端子７２を保持した位置決め用治具Ｊを板状部材１０の位置決め用凹部１３にはめ込む（Ｓ１３０、図１０のＢ欄参照）。図１１に示すように、位置決め用治具ＪのＺ軸方向視における外周線ＯＬ４は、６つの角部Ｊ２を有する六角形である。言い換えると、位置決め用治具Ｊにおける位置決め用凹部１３の凹み方向に直交する断面形状は、六角形である。また、位置決め用治具Ｊには、複数の貫通孔Ｊ１が形成されている。各パッド側給電端子７２は、位置決め用治具Ｊに形成された各貫通孔Ｊ１に挿入されており、例えばテープ等により位置決め用治具Ｊに保持されている。このとき、各パッド側給電端子７２は、位置決め用治具Ｊが板状部材１０の位置決め用凹部１３にはめ込まれた際に各給電パッド７０に接する位置に配置される。位置決め用治具Ｊを板状部材１０の位置決め用凹部１３にはめ込むことにより、各給電パッド７０に対する各パッド側給電端子７２の位置決めがなされ、その結果、各パッド側給電端子７２は、各給電パッド７０に接した状態となる。なお、位置決め用治具Ｊが軽いと、位置決め用治具Ｊを板状部材１０の位置決め用凹部１３にはめ込む作業が困難となるため、図１０に示すように、位置決め用治具Ｊに重りＷｔを固定した上で当該作業を行ってもよい。なお、位置決め用治具Ｊは、特許請求の範囲における治具に相当する。

ここでいう「Ｚ軸方向視で位置決め用治具Ｊの外周線ＯＬ４が板状部材１０の位置決め用凹部１３の外周線ＯＬ１に略一致する」は、下記の条件（Ｂ１）および条件（Ｂ２）を満たすことを意味する。
条件（Ｂ１）
Ｚ軸方向視において、位置決め用治具Ｊの外周線ＯＬ４の各角部Ｊ２の少なくとも一部（以下、「特定部分」という。）における直径（例えば、仮想線分Ｄ４の長さ）は、板状部材１０の位置決め用凹部１３の外周線ＯＬ１の少なくとも一部における直径（例えば、仮想線分Ｄ５の長さ）の９０％以上である。また、ここでいう「位置決め用治具Ｊの外周線ＯＬ４の直径」は、Ｚ軸方向視において、位置決め用治具Ｊの外周線ＯＬ４によって形成される平面図形（六角形の図形）の重心Ｃ２（当該平面図形が自由な回転運動をするときの回転軸。以下、単に「位置決め用治具Ｊの重心Ｃ２」ともいう。）を通る仮想直線上に位置する２点間を結ぶ仮想線分（例えば、点Ｐ５と点Ｐ６との間を結ぶ仮想線分Ｄ４）の長さである。「板状部材１０の位置決め用凹部１３の外周線ＯＬ１の直径」は、Ｚ軸方向視において、位置決め用治具Ｊの重心Ｃ２を通る仮想直線上に位置する２点間を結び、仮想線分Ｄ４を包含する仮想線分（例えば、点Ｐ７と点Ｐ８との間を結ぶ仮想線分Ｄ５）の長さである。
条件（Ｂ２）
Ｚ軸方向視において、位置決め用治具Ｊの外周線ＯＬ４の上記特定部分における径（仮想線分。例えば、仮想線分Ｄ４）を、位置決め用治具Ｊの重心Ｃ２を回転軸心としてθ２（０°≦θ２≦５°（より好ましくは、０°≦θ２≦１°））だけ回転させた仮想線分（例えば、仮想線分Ｄ６）は、板状部材１０の位置決め用凹部１３の外周線ＯＬ１と重なる。
なお、図１１では、図の理解が容易となるように、便宜上、位置決め用治具Ｊの外周線ＯＬ４と、板状部材１０の位置決め用凹部１３の外周線ＯＬ１との形状（特に、大きさ）の違いが誇張して示されている（図１４，図１７も同様）。

上記の条件（Ｂ１）および条件（Ｂ２）を満たす構成とされた場合には、板状部材１０の位置決め用凹部１３の存在によって、Ｚ軸方向視における位置決め用治具Ｊの回転（以下、単に「位置決め用治具Ｊの回転」という。）が抑止される。そのため、位置決め用治具Ｊを板状部材１０の位置決め用凹部１３にはめ込むだけで、各パッド側給電端子７２を適切な位置（各パッド側給電端子７２が各給電パッド７０に接するような位置）に配置することが可能である。

次に、板状部材１０に形成された給電パッド７０に、パッド側給電端子７２を、例えばろう付けにより接合する（Ｓ１４０）。

次に、上側コネクタ２００、ベース部材２０、下側コネクタ３００を組み付ける（Ｓ１５０）。具体的には、まず、板状部材１０の位置決め用凹部１３から位置決め用治具Ｊを取り外した上で、上側コネクタ２００を構成する第１のハウジング２１０を、板状部材１０の位置決め用凹部１３にはめ込み、樹脂接着剤７９により、板状部材１０に接合する。このとき、第１のハウジング２１０に形成された各貫通孔２１２に、パッド側給電端子７２の棒状部７６が挿通されるようにする。上側コネクタ２００を構成する第１のハウジング２１０を板状部材１０の位置決め用凹部１３にはめ込むことにより、上側コネクタ２００を構成する第１のハウジング２１０の面方向および回転方向の位置決めがなされる。次に、上側コネクタ２００を構成する第２のハウジング２２０を、第１のハウジング２１０に取り付ける。このとき、第２のハウジング２２０の各貫通孔２２２にはソケット２３０が圧入されており、また、ソケット２３０にはリード線８０を介して下側コネクタ３００（ソケット３３０が圧入されたハウジング３１０）が接続されている。第２のハウジング２２０の取り付けの際には、第１のハウジング２１０の下側部分２１４の側面、および、該側面に形成された凸部または凹部をガイドにして、第２のハウジング２２０の面方向の位置決めを行う。第２のハウジング２２０の取り付けが完了した状態では、各ソケット２３０の孔２３２にパッド側給電端子７２の棒状部７６の先端部が挿入され、各ソケット２３０と各パッド側給電端子７２とが電気的に接続される。次に、例えばシート状の接着部３０を用いて、板状部材１０とベース部材２０とを接合する。次に、下側コネクタ３００のハウジング３１０のスリット３１４にＣリング３５２を取り付け、Ｃリング３５２の上面がベース部材２０の第１の貫通孔下端部２３の下面に当接した状態で、押さえプレート３５６を止めネジ３５４によりベース部材２０に固定する。これにより、下側コネクタ３００がベース部材２０に固定される。次に、下側コネクタ３００のハウジング３１０の貫通孔３１５に押さえ部材３４０を挿入し、押さえ部材３４０の上端が上側コネクタ２００の第２のハウジング２２０の下面２２６に当接した状態でネジ止めすることにより、上側コネクタ２００の第２のハウジング２２０のＺ軸方向への移動（上側コネクタ２００の第１のハウジング２１０のパッド側給電端子７２からの抜け）を規制する。主として以上の工程により、本実施形態の静電チャック１００が製造される。

Ａ－５．本実施形態の効果：
以上説明したように、本実施形態の静電チャック１００は、板状部材１０と、複数の給電パッド７０と、複数のパッド側給電端子７２とを備える。板状部材１０は、上下方向（Ｚ軸方向）に略直交する吸着面Ｓ１と、吸着面Ｓ１とは反対側の下面Ｓ２とを有し、下面Ｓ２の一部によって、Ｚ軸方向視で外周線ＯＬ１が六角形である位置決め用凹部１３が形成されている。複数の給電パッド７０は、板状部材１０の下面Ｓ２側においてＺ軸方向視で板状部材１０の位置決め用凹部１３に重なるように上下方向に略直交する方向に並んで配置されている。パッド側給電端子７２は、各給電パッド７０に接続されている。

また、本実施形態の静電チャック１００の製造方法は、位置決め用凹部１３が形成された板状部材１０と、板状部材１０の下面Ｓ２においてＺ軸方向視で板状部材１０の位置決め用凹部１３に重なるように上下方向に略直交する方向に並んで配置された複数の給電パッド７０と、を備える複合体６００を用意する工程（Ｓ１１０，Ｓ１２０の一連の工程。以下、「第１工程」という。）と、Ｚ軸方向視で外周線ＯＬ４が板状部材１０の位置決め用凹部１３の外周線ＯＬ１に略一致する位置決め用治具Ｊであって、複数のパッド側給電端子７２を保持した位置決め用治具Ｊを板状部材１０の位置決め用凹部１３にはめ込むことにより、各給電パッド７０に対する各パッド側給電端子７２の位置決めをする工程（Ｓ１３０の工程。以下、「第２工程」という。）とを備える。

位置決め用凹部１３の外周線ＯＬ１が円形である構成においては、単に位置決め用治具Ｊを板状部材１０の位置決め用凹部１３にはめ込むだけでは、Ｚ軸方向視における位置決め用治具Ｊの回転方向（周方向）の位置（以下、単に「位置決め用治具Ｊの回転方向の位置」という。）が適切な位置からずれることがあるため、各給電パッド７０に対する各パッド側給電端子７２の位置決めを容易かつ適切に行うことは困難である。また、位置決め用治具Ｊの回転方向の位置が適切な位置からずれたままの静電チャックが製造された際には、各給電パッド７０に対する各パッド側給電端子７２の相対的位置がずれることにより、各給電パッド７０と各パッド側給電端子７２との電気的接続の不良等が生じるおそれがある。

これに対し、本実施形態の静電チャック１００の製造方法では、上述の通り、第１工程において、外周線ＯＬ１が六角形である位置決め用凹部１３が形成された板状部材１０を用意する。第２工程において、Ｚ軸方向視で外周線ＯＬ４が板状部材１０の位置決め用凹部１３の外周線ＯＬ１に略一致する位置決め用治具Ｊを位置決め用凹部１３にはめ込むことにより、各給電パッド７０に対する各パッド側給電端子７２の位置決めをする。板状部材１０の位置決め用凹部１３および位置決め用治具Ｊが上述した形状であるため、板状部材１０の位置決め用凹部１３の存在によって、位置決め用治具Ｊの回転が抑止される。そのため、位置決め用治具Ｊを板状部材１０の位置決め用凹部１３にはめ込むだけで、各パッド側給電端子７２を適切な位置（各パッド側給電端子７２が各給電パッド７０に接するような位置）に配置することが可能である。従って、本実施形態の静電チャック１００の製造方法によれば、容易かつ適切に、各給電パッド７０に対する各パッド側給電端子７２の位置決めをすることができる。

また、本実施形態の静電チャック１００は、給電パッド７０に電気的に接続される発熱抵抗体により構成されたヒータ電極５００のヒータライン部５０２を有する。本実施形態の静電チャック１００の製造方法によれば、上述の通り、容易かつ適切に、各給電パッド７０に対する各パッド側給電端子７２の位置決めをすることができる。そのため、各給電パッド７０に対する各パッド側給電端子７２の相対的位置がずれることを、より確実に防止することができる。従って、本実施形態の静電チャック１００の製造方法によれば、各給電パッド７０に対する各パッド側給電端子７２の相対的位置がずれることに起因するヒータ電極５００（より厳密には、ヒータ電極５００のヒータライン部５０２）の加熱性能の低下を抑制することができ、ひいてはヒータ電極５００の加熱による吸着面Ｓ１（対象物を保持する保持面）における温度分布（ひいては、吸着面Ｓ１に保持される対象物の温度分布）の制御性の低下を抑制することができる。

また、本実施形態の静電チャック１００は、上面Ｓ３と、上面Ｓ３とは反対側の下面Ｓ４と、を有し、上面Ｓ３が板状部材１０の下面Ｓ２に対向するように配置されたベース部材２０であって、内部に複数のパッド側給電端子７２が配置される孔である第１の貫通孔２２が形成され、冷媒流路２１が形成されたベース部材２０を備える。位置決め用凹部１３は、Ｚ軸方向視で第１の貫通孔２２の外周線ＯＬ２の内側に収まっている。

ベース部材２０において、第１の貫通孔２２が形成された部分および位置決め用凹部１３が形成された部分には、冷媒流路２１を配置することができない。そのため、板状部材１０の内、Ｚ軸方向視で第１の貫通孔２２と位置決め用凹部１３との少なくとも一方と重なる部分は、他の部分と比較して、ベース部材２０に形成された冷媒流路２１への冷媒供給による冷却作用が及びにくく、高温の温度特異点となりやすい。これにより、吸着面Ｓ１の温度分布の制御性（ひいては、吸着面Ｓ１に保持された対象物の温度分布の制御性）が低下するおそれがある。ここで、Ｚ軸方向視で位置決め用凹部１３が第１の貫通孔２２の外周線ＯＬ２に収まっていない構成では、収まっている構成と比べて、Ｚ軸方向視で第１の貫通孔２２と位置決め用凹部１３との少なくとも一方に重なる部分の面積が広くなる。従って、この構成では、温度特異点となる範囲が広くなり、ひいては吸着面Ｓ１の温度分布の制御性（ひいては、吸着面Ｓ１に保持された対象物の温度分布の制御性）が更に低下するおそれがある。

本実施形態の静電チャック１００は、上述の通り、位置決め用凹部１３がＺ軸方向視で第１の貫通孔２２の外周線ＯＬ２の内側に収まっている。そのため、Ｚ軸方向視で位置決め用凹部１３が第１の貫通孔２２の外周線ＯＬ２に収まっていない構成と比べて、Ｚ軸方向視における温度特異点の範囲が狭くなる。そのため、本実施形態の静電チャック１００によれば、吸着面Ｓ１の温度分布の制御性（ひいては、吸着面Ｓ１に保持された対象物の温度分布の制御性）の低下を抑制することができる。本実施形態の静電チャック１００の製造方法によれば、上述の第１工程および第２工程を備えることにより、このような構成である静電チャック１００における各給電パッド７０に対する各パッド側給電端子７２の相対的位置がずれることを抑制することができる。

また、本実施形態の静電チャック１００は、上述の通り、板状部材１０と、複数の給電パッド７０と、複数のパッド側給電端子７２と、上側コネクタ２００とを備える。板状部材１０は、上下方向に略直交する吸着面Ｓ１と、吸着面Ｓ１とは反対側の下面Ｓ２とを有し、下面Ｓ２の一部によって、Ｚ軸方向視で外周線ＯＬ１が六角形である位置決め用凹部１３が形成されている。複数の給電パッド７０は、板状部材１０の下面Ｓ２側においてＺ軸方向視で板状部材１０の位置決め用凹部１３に重なるように上下方向に略直交する方向に並んで配置されている。パッド側給電端子７２は、各給電パッド７０に接続されている。上側コネクタ２００（厳密には、上側コネクタ２００の第１のハウジング２１０）は、各パッド側給電端子７２が挿通する複数の貫通孔２１２を有する。上側コネクタ２００は、板状部材１０の位置決め用凹部１３にはめ込まれている。Ｚ軸方向視で板状部材１０の位置決め用凹部１３の外周線ＯＬ１および位置決め用凹部１３にはめ込まれている上側コネクタ２００の第１のハウジング２１０の外周線ＯＬ３は、互いに略一致する六角形である。

このような構成である本実施形態の静電チャック１００においては、上述した製造方法における効果が得られるのに加え、下記の効果も得られる。

本実施形態の静電チャック１００では、Ｚ軸方向視で板状部材１０の位置決め用凹部１３の外周線ＯＬ１および上側コネクタ２００の第１のハウジング２１０の外周線ＯＬ３は、互いに略一致する六角形である。そのため、板状部材１０の位置決め用凹部１３の存在によって、上側コネクタ２００（より厳密には、上側コネクタ２００の第１のハウジング２１０）の回転が抑止される。そのため、本実施形態の静電チャック１００によれば、上側コネクタ２００（より厳密には、上側コネクタ２００の第１のハウジング２１０）の回転方向の位置ずれに起因して各給電パッド７０と各パッド側給電端子７２との電気的接続の不良等が生じることを抑制することができる。

Ｂ．第２実施形態：
図１２は、第２実施形態における静電チャック１００ａにおける板状部材１０ａの位置決め用凹部１３ａ付近の部分（図６のＸ２の部分に対応）のＸＹ断面構成を拡大して示す説明図である。図１３は、第２実施形態における静電チャック１００ａにおける上側コネクタ２００ａの第１のハウジング２１０ａ付近の部分（図６のＸ２の部分に対応）のＸＹ断面構成を拡大して示す説明図である。図１４は、第２実施形態における静電チャック１００ａの製造方法で用いられる位置決め用治具ＪａのＸＹ平面（上面）構成を概略的に示す説明図である。図１２および図１３に示すように、第２実施形態の静電チャック１００ａの構成は、上述した第１実施形態の静電チャック１００の構成と比較して、板状部材１０ａの位置決め用凹部１３ａの構成が異なっており、上側コネクタ２００ａの構成が異なっている。また、図１４に示すように、第２実施形態の静電チャック１００の製造方法では、上述した第１実施形態の静電チャック１００の製造方法と比較して、位置決め用治具Ｊａの構成が異なっている。以下では、第２実施形態の静電チャック１００ａの構成の内、上述した第１実施形態の静電チャック１００の構成と同一の構成については、同一の符号を付すことによってその説明を適宜省略する。

Ｂ－１．板状部材１０ａの位置決め用凹部１３ａの構成
図１２に示すように、板状部材１０ａの位置決め用凹部１３ａのＺ軸方向視における外周線ＯＬ５は、楕円形である。言い換えると、位置決め用凹部１３ａの凹み方向に直交する断面形状は、楕円形である。

Ｂ－２．上側コネクタ２００ａの構成
図１３に示すように、位置決め用凹部１３ａにはめ込まれている上側コネクタ２００ａの第１のハウジング２１０ａのＺ軸方向視における外周線ＯＬ６は、楕円形である。言い換えると、上側コネクタ２００ａにおける位置決め用凹部１３ａの凹み方向に直交する断面形状は、楕円形である。

上側コネクタ２００ａのＺ軸方向視における外周線ＯＬ６は、板状部材１０ａの位置決め用凹部１３ａの外周線ＯＬ５に略一致する。ここでいう「上側コネクタ２００ａのＺ軸方向視における外周線ＯＬ６は、板状部材１０ａの位置決め用凹部１３ａの外周線ＯＬ５に略一致する」は、下記の条件（Ｃ１）および条件（Ｃ２）を満たすことを意味する。
条件（Ｃ１）
Ｚ軸方向視において、上側コネクタ２００ａの外周線ＯＬ６の少なくとも一部（以下、「特定部分」という。）における直径（例えば、仮想線分Ｄ７の長さ）は、板状部材１０ａの位置決め用凹部１３ａの外周線ＯＬ５の少なくとも一部における直径（例えば、仮想線分Ｄ８の長さ）の９０％以上である。ここでいう「上側コネクタ２００ａの外周線ＯＬ６の直径」は、Ｚ軸方向視において、上側コネクタ２００ａの外周線ＯＬ６によって形成される平面図形（楕円の図形）の重心Ｃ３（当該平面図形が自由な回転運動をするときの回転軸。以下、単に「上側コネクタ２００ａの重心Ｃ３」ともいう。）を通る仮想直線上に位置する２点間を結ぶ仮想線分（例えば、点Ｐ９と点Ｐ１０との間を結ぶ仮想線分Ｄ７）の長さである。また、ここでいう「板状部材１０ａの位置決め用凹部１３ａの外周線ＯＬ５の直径」は、Ｚ軸方向視において、上側コネクタ２００ａの重心Ｃ３を通る仮想直線上に位置する２点間を結び、仮想線分Ｄ７を包含する仮想線分（例えば、点Ｐ１１と点Ｐ１２との間を通る仮想線分Ｄ８）の長さである。
条件（Ｃ２）
Ｚ軸方向視において、上側コネクタ２００ａの外周線ＯＬ６の上記特定部分における径（仮想線分。例えば、仮想線分Ｄ７）を、上側コネクタ２００ａの重心Ｃ３を回転軸心としてθ３（０°≦θ３≦５°（より好ましくは、０°≦θ３≦１°））だけ回転させた仮想線分（例えば、仮想線分Ｄ９）は、板状部材１０ａの位置決め用凹部１３ａの外周線ＯＬ５と重なる。

上記の条件（Ｃ１）および条件（Ｃ２）を満たす構成とされた場合には、板状部材１０ａの位置決め用凹部１３ａの存在によって、Ｚ軸方向視における上側コネクタ２００ａの回転（以下、単に「上側コネクタ２００ａの回転」という。）が抑止される。

Ｂ－３．位置決め用治具Ｊａの構成
図１４に示すように、位置決め用治具ＪａのＺ軸方向視における外周線ＯＬ７は、楕円形である。言い換えると、位置決め用治具Ｊａにおける位置決め用凹部１３ａの凹み方向に直交する断面形状は、楕円形である。

位置決め用治具ＪａのＺ軸方向視における外周線ＯＬ７は、板状部材１０ａの位置決め用凹部１３ａのＺ軸方向視における外周線ＯＬ５に略一致している。

ここでいう「位置決め用治具ＪａのＺ軸方向視における外周線ＯＬ７は、板状部材１０ａの位置決め用凹部１３ａのＺ軸方向視における外周線ＯＬ５に略一致している」は、下記の条件（Ｄ１）および条件（Ｄ２）を満たすことを意味する。
条件（Ｄ１）
Ｚ軸方向視において、位置決め用治具Ｊａの外周線ＯＬ７の少なくとも一部（以下、「特定部分」という。）における直径（例えば、仮想線分Ｄ１０の長さ）は、板状部材１０ａの位置決め用凹部１３ａの外周線ＯＬ７の少なくとも一部における直径（例えば、仮想線分Ｄ１１の長さ）の９０％以上である。また、ここでいう「位置決め用治具Ｊａの外周線ＯＬ７の直径」は、Ｚ軸方向視において、位置決め用治具Ｊａの外周線ＯＬ７によって形成される平面図形（楕円の図形）の重心Ｃ４（当該平面図形が自由な回転運動をするときの回転軸。以下、単に「位置決め用治具Ｊａの重心Ｃ４」ともいう。）を通る仮想直線上に位置する２点間を結ぶ仮想線分（例えば、点Ｐ１３と点Ｐ１４との間を結ぶ仮想線分Ｄ１０）の長さである。「板状部材１０ａの位置決め用凹部１３ａの外周線ＯＬ７の直径」は、Ｚ軸方向視において、位置決め用治具Ｊａの重心Ｃ４を通る仮想直線上に位置する２点間を結び、仮想線分Ｄ１０を包含する仮想線分（例えば、点Ｐ１５と点Ｐ１６との間を結ぶ仮想線分Ｄ１１）の長さである。
条件（Ｄ２）
Ｚ軸方向視において、位置決め用治具Ｊａの外周線ＯＬ７の上記特定部分における直径を（線分。仮想線分Ｄ１０）例えば、位置決め用治具Ｊａの重心Ｃ４を回転軸心としてθ４（０°≦θ４≦５°（より好ましくは、０°≦θ４≦１°））だけ回転させた仮想線分（例えば、仮想線分Ｄ１２）は、板状部材１０ａの位置決め用凹部１３ａの外周線ＯＬ７と重なる。

上記の条件（Ｄ１）および条件（Ｄ２）を満たす構成とされた場合には、板状部材１０ａの位置決め用凹部１３ａの存在によって、Ｚ軸方向視における位置決め用治具Ｊａの回転（以下、単に「位置決め用治具Ｊａの回転」という。）が抑止される。そのため、位置決め用治具Ｊａを板状部材１０ａの位置決め用凹部１３ａにはめ込むだけで、各パッド側給電端子７２を適切な位置（各パッド側給電端子７２が各給電パッド７０に接するような位置）に配置することが可能である。
Ｂ－４．第２実施形態の効果：
第２実施形態の静電チャック１００ａの製造方法では、第１工程（図９のＳ１１０，Ｓ１２０の一連の工程）において、外周線ＯＬ５が楕円形である位置決め用凹部１３ａが形成された板状部材１０ａを用意する。第２工程（図９の１３０の工程）において、Ｚ軸方向視で外周線ＯＬ７が板状部材１０ａの位置決め用凹部１３ａの外周線ＯＬ５に略一致する位置決め用治具Ｊａを位置決め用凹部１３ａにはめ込むことにより、各給電パッド７０に対する各パッド側給電端子７２の位置決めをする。板状部材１０ａの位置決め用凹部１３ａおよび位置決め用治具Ｊａが上述した形状であるため、板状部材１０ａの位置決め用凹部１３ａの存在によって、位置決め用治具Ｊａの回転が抑止される。そのため、位置決め用治具Ｊａを板状部材１０ａの位置決め用凹部１３ａにはめ込むだけで、各パッド側給電端子７２を適切な位置（各パッド側給電端子７２が各給電パッド７０に接するような位置）に配置することが可能である。従って、第２実施形態の静電チャック１００ａの製造方法によれば、容易かつ適切に、各給電パッド７０に対する各パッド側給電端子７２の位置決めをすることができる。

また、第２実施形態の静電チャック１００ａは、Ｚ軸方向視で外周線ＯＬ５が楕円形である位置決め用凹部１３ａが形成された板状部材１０ａと、上側コネクタ２００ａとを備えている。Ｚ軸方向視で板状部材１０ａの位置決め用凹部１３ａの外周線ＯＬ５および位置決め用凹部１３ａにはめ込まれている上側コネクタ２００ａの外周線ＯＬ６は、互いに略一致する楕円形である。

このような構成である第２実施形態の静電チャック１００ａにおいては、上述した製造方法における効果が得られるのに加え、下記の効果も得られる。

第２実施形態の静電チャック１００ａでは、Ｚ軸方向視で板状部材１０ａの位置決め用凹部１３ａの外周線ＯＬ５および上側コネクタ２００ａの外周線ＯＬ６は、互いに略一致する楕円形である。そのため、板状部材１０ａの位置決め用凹部１３ａの存在によって、上側コネクタ２００ａの回転が抑止される。そのため、第２実施形態の静電チャック１００ａによれば、上側コネクタ２００ａの回転方向に位置ずれに起因して各給電パッド７０と各パッド側給電端子７２との電気的接続の不良等が生じることを抑制することができる。

Ｃ．変形例：
上記実施形態における静電チャック１００の構成は、あくまで一例であり、種々変形可能である。

例えば、上記第１実施形態において、板状部材１０の位置決め用凹部１３のＺ軸方向視における外周線ＯＬ１、上側コネクタ２００の第１のハウジング２１０のＺ軸方向視における外周線ＯＬ３、および位置決め用治具ＪのＺ軸方向視における外周線ＯＬ４は、六角形以外の多角形であってもよい。例えば、図１５、図１６および図１７に示すように、板状部材１０ｂの位置決め用凹部１３ｂのＺ軸方向視における外周線ＯＬ８、上側コネクタ２００ｂの第１のハウジング２１０ｂのＺ軸方向視における外周線ＯＬ９、位置決め用治具ＪｂのＺ軸方向視における外周線ＯＬ１０は五角形であってもよい。この構成においても「上側コネクタ２００ｂの第１のハウジング２１０ｂのＺ軸方向視における外周線ＯＬ９は、板状部材１０ｂの位置決め用凹部１３ｂの外周線ＯＬ８に略一致する」の意味、および「Ｚ軸方向視で位置決め用治具Ｊｂの外周線ＯＬ１０が板状部材１０ｂの位置決め用凹部１３ｂの外周線ＯＬ８に略一致する」の意味は、上記第１実施形態と同様である。すなわち、上述した第１実施形態における「六角形」を「五角形」と読み替えればよい。六角形と五角形以外の多角形である構成においても同様である。これらの構成においても、上記第１実施形態等と同様の理由から、位置決め用治具を板状部材の位置決め用凹部にはめ込むだけで、各パッド側給電端子７２を適切な位置（各パッド側給電端子７２が各給電パッド７０に接するような位置）に配置することが可能である。従って、これらの構成においても、容易かつ適切に、各給電パッド７０に対する各パッド側給電端子７２の位置決めをすることができる。また、これらの構成においても、上記第１実施形態等と同様に、板状部材の位置決め用凹部の存在により、上側コネクタの回転方向の位置ずれが抑止される。従って、この構成においても、上側コネクタの回転方向の位置ずれに起因して各給電パッド７０と各パッド側給電端子７２との電気的接続の不良等が生じることを抑制することができる。なお、位置決め用凹部の外周線の多角形の角部の個数が多いほど、個数が多いという観点からは上側コネクタおよび位置決め用治具の回転を抑止する効果（以下、単に「回転抑止効果」という。）が高くなるが、一方で、個々の角部による回転抑止効果は小さくなる。この点を考慮すると、多角形の角部の個数は、４～８個であることが好ましく、４～６個であることが特に好ましい。また、多角形は、回転抑止効果等の観点から、正多角形に近い形状であるほど、より好ましい。

また、上記実施形態では、給電パッド７０は、板状部材１０の下面Ｓ２に配置されているが、少なくとも一部が外部に露出していれば、その他の部分が板状部材１０の内部に埋まっていてもよい。

また、上記実施形態において、Ｚ軸方向視で位置決め用治具Ｊの一部のみの外周線が板状部材１０の位置決め用凹部１３の外周線ＯＬ１に略一致する構成である位置決め用治具Ｊを採用し、上記第２工程において位置決め用治具Ｊの当該一部を位置決め用凹部にはめ込むようにしてもよい。この構成においても「Ｚ軸方向視で位置決め用治具Ｊの一部のみの外周線が板状部材１０の位置決め用凹部１３の外周線ＯＬ１に略一致する」の意味は、上記第１実施形態と同様である。すなわち、上述した第１実施形態における「位置決め用治具Ｊの外周線ＯＬ４」を「位置決め用治具Ｊの一部のみの外周線」と読み替えればよい。この構成においても、板状部材１０の位置決め用凹部１３の存在によって、上側コネクタ２００の回転が抑止される。そのため、この構成においても、位置決め用治具Ｊの上記一部を板状部材１０の位置決め用凹部１３にはめ込むだけで、各パッド側給電端子７２を適切な位置（各パッド側給電端子７２が各給電パッド７０に接するような位置）に配置することが可能である。

また、上記実施形態において、Ｚ軸方向視で上側コネクタ２００の一部のみの外周線が板状部材１０の位置決め用凹部１３の外周線ＯＬ１に略一致する構成である上側コネクタ２００を採用してもよい。この構成においても「Ｚ軸方向視で上側コネクタ２００の第１のハウジング２１０の一部のみの外周線ＯＬ３は、板状部材１０の位置決め用凹部１３の外周線ＯＬ１に略一致する」の意味は、上記第１実施形態と同様である。すなわち、上述した第１実施形態における「上側コネクタ２００の第１のハウジング２１０の外周線ＯＬ３」を「上側コネクタ２００の一部のみの外周線」と読み替えればよい。この構成においても、板状部材１０の位置決め用凹部１３の存在によって、上側コネクタ２００の回転方向の位置ずれが抑止される。そのため、この構成においても、上側コネクタ２００の回転方向の位置ずれに起因して各給電パッド７０と各パッド側給電端子７２との電気的接続の不良等が生じることを抑制することができる。

また、上記実施形態の静電チャック１００の各部材（板状部材１０、ベース部材２０、接着部３０等）の形成材料は、あくまで一例であり、種々変更可能である。例えば、上記実施形態では、板状部材１０がセラミックスにより形成されているが、板状部材１０がセラミックス以外の材料（例えば、樹脂材料）により形成されるとしてもよい。

また、本発明は、板状部材と、複数の給電パッド７０と、複数のパッド側給電端子７２とを備え、静電引力を利用してウェハＷを保持する静電チャックに限らず、板状部材と、複数の給電パッドと、パッド側給電端子とを備え、板状部材の表面上に対象物を保持する他の保持装置（例えば、ＣＶＤヒータ等のヒータ装置や真空チャック等）にも適用可能である。

１０：板状部材 １０ａ：板状部材 １０ｂ：板状部材 １３：位置決め用凹部 １３ａ：位置決め用凹部 １３ｂ：位置決め用凹部 ２０：ベース部材 ２１：冷媒流路 ２２：第１の貫通孔 ３０：接着部 ３２：第２の貫通孔 ４０：チャック電極 ５０：ヒータ電極層 ５１：ドライバ電極層 ５３：ビア ５４：ビア ７０：給電パッド ７２：パッド側給電端子 ７８：ろう材 ７９：樹脂接着剤 ８０：リード線 １００：静電チャック １００ａ：静電チャック １００ｂ：静電チャック ２００：上側コネクタ ２００ａ：上側コネクタ ２００ｂ：上側コネクタ ２１０：第１のハウジング ２１０ａ：第１のハウジング ２１０ｂ：第１のハウジング ２１４：下側部分 ２２０：第２のハウジング ２３０：ソケット ３００：下側コネクタ ３１０：ハウジング ３１４：スリット ３３０：ソケット ３３２：孔 ３４０：押さえ部材 ３５２：Ｃリング ３５４：止めネジ ３５６：押さえプレート ５００：ヒータ電極 ５０２：ヒータライン部 ５０４：ヒータパッド部 ５１０：ドライバ電極 ５５０：ヒータ部 ６００：複合体 Ｈｔ：端子用孔 Ｊ：位置決め用治具 Ｊａ：位置決め用治具 Ｊｂ：位置決め用治具 Ｓ１：吸着面 ＳＥ：セグメント Ｗ：ウェハ Ｗｔ：重り

Claims (5)

1. 第１の方向に略直交する第１の表面と、前記第１の表面とは反対側の第２の表面と、を有し、前記第２の表面の一部によって、前記第１の方向視で外周線が多角形または楕円形である凹部が形成された板状部材と、
   前記板状部材の前記第２の表面側において前記第１の方向視で前記板状部材の前記凹部に重なるように前記第１の方向に略直交する方向に並んで配置された複数の給電電極と、
   各前記給電電極に接続された複数の給電端子と、を備える保持装置の製造方法であって、
   前記凹部が形成された前記板状部材と、前記板状部材の前記第２の表面側において前記第１の方向視で前記板状部材の前記凹部に重なるように前記第１の方向に略直交する方向に並んで配置された前記複数の給電電極と、を備える複合体を用意する、第１工程と、
   前記第１の方向視で少なくとも一部の外周線が前記板状部材の前記凹部の外周線に略一致する治具であって、前記複数の給電端子を保持した治具の少なくとも一部を前記板状部材の前記凹部にはめ込むことにより、各前記給電電極に対する各前記給電端子の位置決めをする、第２工程と、
   を備える、ことを特徴とする保持装置の製造方法。
2. 請求項１に記載の保持装置の製造方法において、
   前記第１工程において、前記第１の方向視で外周線が多角形である前記凹部が形成された前記板状部材を備える前記複合体を用意する、
   ことを特徴とする保持装置の製造方法。
3. 請求項１または請求項２に記載の保持装置の製造方法において、
   前記保持装置は、前記給電電極に電気的に接続される発熱抵抗体により構成されたヒータを有する、
   ことを特徴とする保持装置の製造方法。
4. 請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の保持装置の製造方法において、
   前記保持装置は、
   第３の表面と、前記第３の表面とは反対側の第４の表面と、を有し、前記第３の表面が前記板状部材の前記第２の表面に対向するように配置されたベース部材であって、内部に前記複数の給電端子が配置される孔である端子用孔が形成され、冷媒流路が形成されたベース部材を備え、
   前記凹部は、前記第１の方向視で前記端子用孔の外周線の内側に収まっている、
   ことを特徴とする保持装置の製造方法。
5. 第１の方向に略直交する第１の表面と、前記第１の表面とは反対側の第２の表面と、を有し、前記第２の表面の一部によって、前記第１の方向視で外周線が多角形または楕円形である凹部が形成された板状部材と、
   前記板状部材の前記第２の表面側において前記第１の方向視で前記板状部材の前記凹部に重なるように前記第１の方向に略直交する方向に並んで配置された複数の給電電極と、
   各前記給電電極に接続された複数の給電端子と、
   各前記給電端子が挿通される複数の端子挿通用孔を有するコネクタであって、前記板状部材の前記凹部にはめ込まれたコネクタと、を備える保持装置であって、
   前記第１の方向視で前記板状部材の前記凹部の外周線および前記凹部にはめ込まれている前記コネクタの少なくとも一部の外周線は、互いに略一致する多角形または楕円形である、保持装置。

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