JP2021006813A5 - - Google Patents

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上記課題を解決するために、本発明の第1の態様においては、磁場計測装置を提供する。磁場計測装置は、気センサを複数有し、磁場を3軸方向で検出可能な磁気センサアレイを備えてよい。磁場計測装置は、磁気センサアレイによって計測された計測データを取得する磁場取得部を備えてよい。磁場計測装置は、複数の磁気センサの各々が検出した入力磁場を低減させるフィードバック磁場をそれぞれ発生させる磁場生成部と、磁場生成部がフィードバック磁場をそれぞれ発生するために流すフィードバック電流に応じた出力信号を出力する出力部と、を有してよい。磁気センサは、磁気抵抗素子を有してよい。
本発明の第2の態様においては、磁場計測装置が磁場を計測する磁場計測方法を提供する。磁場計測方法は、磁場計測装置が、気センサを複数有し、磁場を3軸方向で検出可能な磁気センサアレイによって計測された計測データを取得することを備えてよい。磁気センサアレイは、複数の磁気センサの各々が検出した入力磁場を低減させるフィードバック磁場をそれぞれ発生させ、フィードバック磁場をそれぞれ発生するために流すフィードバック電流に応じた出力信号を出力してよい。
本発明の第3の態様においては、磁場計測プログラムを提供する。磁場計測プログラムは、コンピュータにより実行されてよい。磁場計測プログラムは、コンピュータを、気センサを複数有し、磁場を3軸方向で検出可能な磁気センサアレイによって計測された計測データを取得する磁場取得部として機能させてよい。磁気センサアレイは、複数の磁気センサの各々が検出した入力磁場を低減させるフィードバック磁場をそれぞれ発生させ、フィードバック磁場をそれぞれ発生するために流すフィードバック電流に応じた出力信号を出力してよい。

Claims (16)

  1. 気センサを複数有し、磁場を3軸方向で検出可能な磁気センサアレイと、
    前記磁気センサアレイによって計測された計測データを取得する磁場取得部と、
    を備え、
    複数の前記磁気センサの各々が検出した入力磁場を低減させるフィードバック磁場をそれぞれ発生させる磁場生成部と、
    前記磁場生成部が前記フィードバック磁場をそれぞれ発生するために流すフィードバック電流に応じた出力信号を出力する出力部と、を有する、
    磁場計測装置。
  2. 各磁気センサの位置および磁気感度に基づき、前記計測データによって示される前記磁場の空間分布を信号分離する信号空間分離部を更に備える請求項1に記載の磁場計測装置。
  3. 前記信号空間分離部は、正規直交関数と前記位置および前記磁気感度から計算された基底ベクトルとに基づき、前記磁場の空間分布を信号分離する請求項2に記載の磁場計測装置。
  4. 前記信号空間分離部は、前記磁場の空間分布を、測定対象磁場と外乱磁場とに信号分離する請求項2または3に記載の磁場計測装置。
  5. 前記信号空間分離部は、前記外乱磁場を抑制して前記測定対象磁場を算出する請求項4に記載の磁場計測装置。
  6. 前記信号空間分離部は、前記基底ベクトルを級数展開して、前記磁場の空間分布を信号分離する、請求項3に記載の磁場計測装置。
  7. 前記信号空間分離部は、前記基底ベクトルの展開係数を最小2乗法により計算する請求項6に記載の磁場計測装置。
  8. 前記正規直交関数は球面調和関数で表現される請求項3、6、および、7のいずれか一項に記載の磁場計測装置。
  9. 前記磁気センサは、磁気抵抗素子を有する、請求項1から8のいずれか一項に記載の磁場計測装置。
  10. 前記磁気センサは、前記磁気抵抗素子の一端および他端の両方に配置される磁気収束板をさらに有する、請求項に記載の磁場計測装置。
  11. 前記磁場取得部が取得した前記計測データを較正する較正演算部を更に備える請求項1から10のいずれか一項に記載の磁場計測装置。
  12. 前記磁気センサアレイは、2段で形成されている、請求項1から11のいずれか一項に記載の磁場計測装置。
  13. 前記磁気センサアレイにおいて、前記複数の磁気センサは、一方向に湾曲させた2つの曲面の間の格子点に配置されるように三次元に配列される、請求項1から12のいずれか一項に記載の磁場計測装置。
  14. 前記曲面は、略放物線状に形成されている、請求項13に記載の磁場計測装置。
  15. 磁場計測装置が磁場を計測する磁場計測方法であって、
    前記磁場計測装置が、気センサを複数有し、磁場を3軸方向で検出可能な磁気センサアレイによって計測された計測データを取得すること
    を備え、
    前記磁気センサアレイは、複数の前記磁気センサの各々が検出した入力磁場を低減させるフィードバック磁場をそれぞれ発生させ、前記フィードバック磁場をそれぞれ発生するために流すフィードバック電流に応じた出力信号を出力する磁場計測方法。
  16. コンピュータにより実行されて、前記コンピュータを、
    気センサを複数有し、磁場を3軸方向で検出可能な磁気センサアレイによって計測された計測データを取得する磁場取得部と
    して機能させ、
    前記磁気センサアレイは、複数の前記磁気センサの各々が検出した入力磁場を低減させるフィードバック磁場をそれぞれ発生させ、前記フィードバック磁場をそれぞれ発生するために流すフィードバック電流に応じた出力信号を出力する磁場計測プログラム。
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