JP2021005827A - アンテナ装置及び温度検出方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- アンテナ装置であって、
第1金属層と、
前記第1金属層上に設けられた第1誘電体層と、
前記第1誘電体層上に設けられた第2金属層と、
前記第2金属層上に設けられた第2誘電体層と、
前記第2誘電体層上に設けられた第1金属端子及び第2金属端子と、
前記第2誘電体層上に設けられた温度検出器と、
を備え、
前記第1金属端子と前記第2金属端子とは、互いに離隔して配置され、
前記温度検出器の一対の入出力端子の各々は、前記第1金属端子及び前記第2金属端子の各々に電気的に接続され、
前記第2金属層は、前記第1誘電体層上に配置された第1部分と第2部分とを有し、
前記第1部分と前記第2部分とは、互いに離隔して配置され、
前記第1金属端子は、前記第1部分の上方に配置され、
前記第2金属端子は、前記第2部分の上方に配置され、
前記第1誘電体層は、FR-4樹脂よりも、高い熱伝導率と高い耐熱性とを有する、
アンテナ装置。 - 前記第1誘電体層の材料は、窒化アルミニウムを有する、
請求項1に記載のアンテナ装置。 - 前記第1誘電体層は、
前記第1金属層上に設けられた第1層と、
前記第1層上に設けられた第2層と、
前記第2層上に設けられた第3層と、
を有し、
前記第2金属層は、前記第3層上に設けられ、
前記第1層及び前記第3層の材料は、何れも、SiO2を含有するガラスであり、
前記第2層の材料は、シリコンである、
請求項1に記載のアンテナ装置。 - 前記第1層及び前記第3層の材料は、石英である、
請求項3に記載のアンテナ装置。 - 前記温度検出器は、弾性表面波を用いた無給電の温度センサである、
請求項1〜4の何れか一項に記載のアンテナ装置。 - 前記第1金属端子及び前記第2金属端子は、前記第2誘電体層の表面の中央又は縁端に配置される、
請求項1〜5の何れか一項に記載のアンテナ装置。 - 静電チャック上のウエハの温度を検出する温度検出方法であって、
当該温度検出方法は、
温度検出器を有するアンテナ装置が設けられたウエハを、前記静電チャック上に載置し、
外部アンテナから前記アンテナ装置に送られる第1信号を前記温度検出器が受け、
前記温度検出器が前記第1信号に応じて第2信号を出力し、
前記アンテナ装置が前記第2信号を前記外部アンテナに送り、
前記第1信号は、温度を検出するため前記温度検出器を励振する信号であり、
前記第2信号は、前記温度検出器によって検出された温度を示す信号であり、
前記アンテナ装置は、
第1金属層と、
前記第1金属層上に設けられた第1誘電体層と、
前記第1誘電体層上に設けられた第2金属層と、
前記第2金属層上に設けられた第2誘電体層と、
前記第2誘電体層上に設けられた第1金属端子及び第2金属端子と、
前記第2誘電体層上に設けられた前記温度検出器と、
を備え、
前記第1金属端子と前記第2金属端子とは、互いに離隔して配置され、
前記温度検出器の一対の入出力端子の各々は、前記第1金属端子及び前記第2金属端子の各々に電気的に接続され、
前記第2金属層は、前記第1誘電体層上に配置された第1部分と第2部分とを有し、
前記第1部分と前記第2部分とは、互いに離隔して配置され、
前記第1金属端子は、前記第1部分の上方に配置され、
前記第2金属端子は、前記第2部分の上方に配置され、
前記第1誘電体層は、FR-4樹脂よりも、高い熱伝導率と高い耐熱性とを有する、
温度検出方法。 - 前記温度検出器は、弾性表面波を用いた無給電の温度センサである、
請求項7に記載の温度検出方法。
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JP2016146558A (ja) * | 2015-02-06 | 2016-08-12 | 学校法人金沢工業大学 | アンテナ及びそれを用いた通信装置 |
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