JP2020188408A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2020188408A5
JP2020188408A5 JP2019092973A JP2019092973A JP2020188408A5 JP 2020188408 A5 JP2020188408 A5 JP 2020188408A5 JP 2019092973 A JP2019092973 A JP 2019092973A JP 2019092973 A JP2019092973 A JP 2019092973A JP 2020188408 A5 JP2020188408 A5 JP 2020188408A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
characteristic diagram
shows
saw element
relationship
thickness
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2019092973A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2020188408A (ja
JP7292100B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2019092973A priority Critical patent/JP7292100B2/ja
Priority claimed from JP2019092973A external-priority patent/JP7292100B2/ja
Priority to US16/868,526 priority patent/US11088671B2/en
Priority to CN202010381485.9A priority patent/CN111953309B/zh
Publication of JP2020188408A publication Critical patent/JP2020188408A/ja
Publication of JP2020188408A5 publication Critical patent/JP2020188408A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7292100B2 publication Critical patent/JP7292100B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2019092973A 2019-05-16 2019-05-16 弾性表面波素子、フィルタ回路及び電子部品 Active JP7292100B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019092973A JP7292100B2 (ja) 2019-05-16 2019-05-16 弾性表面波素子、フィルタ回路及び電子部品
US16/868,526 US11088671B2 (en) 2019-05-16 2020-05-06 Surface acoustic wave device, filter circuit, and electronic component
CN202010381485.9A CN111953309B (zh) 2019-05-16 2020-05-08 表面声波元件、滤波电路以及电子零件

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019092973A JP7292100B2 (ja) 2019-05-16 2019-05-16 弾性表面波素子、フィルタ回路及び電子部品

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2020188408A JP2020188408A (ja) 2020-11-19
JP2020188408A5 true JP2020188408A5 (enExample) 2022-05-10
JP7292100B2 JP7292100B2 (ja) 2023-06-16

Family

ID=73222031

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019092973A Active JP7292100B2 (ja) 2019-05-16 2019-05-16 弾性表面波素子、フィルタ回路及び電子部品

Country Status (3)

Country Link
US (1) US11088671B2 (enExample)
JP (1) JP7292100B2 (enExample)
CN (1) CN111953309B (enExample)

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111602337B (zh) * 2018-01-12 2023-09-12 株式会社村田制作所 弹性波装置、多工器、高频前端电路及通信装置
US11750172B2 (en) 2019-08-21 2023-09-05 Skyworks Solutions, Inc. Multilayer piezoelectric substrate
US11722122B2 (en) * 2019-11-22 2023-08-08 Skyworks Solutions, Inc. Multilayer piezoelectric substrate with high density electrode
CN112653417A (zh) * 2020-12-18 2021-04-13 广东广纳芯科技有限公司 声表面波谐振器及该声表面波谐振器的制造方法
KR102825967B1 (ko) * 2020-12-18 2025-06-26 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 탄성파 장치 및 래더형 필터
CN116584040A (zh) * 2021-02-04 2023-08-11 株式会社村田制作所 弹性波装置
CN116584041A (zh) * 2021-02-04 2023-08-11 株式会社村田制作所 弹性波装置
WO2022264933A1 (ja) * 2021-06-16 2022-12-22 株式会社村田製作所 弾性波装置
CN118077145A (zh) * 2021-10-08 2024-05-24 株式会社村田制作所 弹性波装置
US12483226B2 (en) 2021-12-29 2025-11-25 Skyworks Solutions, Inc. Acoustic wave device with tilted multilayer interdigital transducer electrode
US20230223910A1 (en) 2022-01-13 2023-07-13 Skyworks Solutions, Inc. Method of making acoustic wave device with vertically mass loaded multi-layer interdigital transducer electrode for transverse mode suppression
WO2023204250A1 (ja) * 2022-04-20 2023-10-26 株式会社村田製作所 弾性波装置
CN117200743A (zh) * 2022-05-31 2023-12-08 华为技术有限公司 滤波器及电子设备
CN117375554A (zh) * 2022-06-30 2024-01-09 华为技术有限公司 声表面波滤波器、装置和电子设备
JP2024047202A (ja) * 2022-09-26 2024-04-05 株式会社村田製作所 弾性波装置
CN115395918B (zh) * 2022-10-27 2023-08-29 中国科学技术大学 声波谐振器及其设计方法、制造方法
WO2024119507A1 (zh) * 2022-12-09 2024-06-13 中国科学技术大学 体声波谐振器及其制备方法
CN116827298A (zh) * 2023-06-28 2023-09-29 中国科学技术大学 一种声波谐振器
CN117013984B (zh) * 2023-08-21 2024-05-28 天通瑞宏科技有限公司 一种键合晶圆及薄膜声表面波器件
CN117498826B (zh) * 2023-11-03 2025-10-21 上海馨欧集成微电有限公司 一种声波谐振器、滤波器及通信器件
CN119182379B (zh) * 2023-12-27 2025-10-21 上海馨欧集成微电有限公司 一种声波滤波器及其制备方法
CN119582799B (zh) * 2024-10-29 2025-12-02 锐石创芯(重庆)微电子有限公司 声表面波器件、射频前端模组和电子设备

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5574660A (en) 1978-11-29 1980-06-05 Shinko Electric Co Ltd Handy type memo unit
JP3952666B2 (ja) 2000-06-23 2007-08-01 株式会社日立製作所 弾性表面波素子
JP2006025396A (ja) * 2004-06-09 2006-01-26 Seiko Epson Corp 弾性表面波装置、その製造方法、および電子機器
US7161448B2 (en) * 2004-06-14 2007-01-09 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Acoustic resonator performance enhancements using recessed region
EP2104228A4 (en) 2006-12-25 2014-10-08 Murata Manufacturing Co EQUIPMENT WITH ELASTIC RIMS
JP2011166259A (ja) * 2010-02-05 2011-08-25 Murata Mfg Co Ltd 弾性表面波装置
EP2658123B1 (en) 2010-12-24 2019-02-13 Murata Manufacturing Co., Ltd. Elastic wave device and method for manufacturing the same.
WO2013141168A1 (ja) * 2012-03-23 2013-09-26 株式会社村田製作所 弾性波装置及びその製造方法
US10574203B2 (en) 2015-07-28 2020-02-25 Qorvo Us, Inc. Bonded wafers and surface acoustic wave devices using same
JP6360847B2 (ja) * 2016-03-18 2018-07-18 太陽誘電株式会社 弾性波デバイス
KR102554129B1 (ko) 2016-11-25 2023-07-12 도호쿠 다이가쿠 탄성파 디바이스들

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2020188408A5 (enExample)
TWI762832B (zh) 聲表面波器件
KR102156247B1 (ko) 탄성파 장치
JP2018093487A5 (ja) 弾性表面波フィルタ、ラダー型弾性表面波フィルタ、及びアンテナデュプレクサ
CN107615653B (zh) 弹性波装置
CN110289827A (zh) 弹性波装置
JP2019216422A5 (ja) 電子デバイス
CN109004914A (zh) 一种声表面波器件及其制备方法
JP2018006919A5 (enExample)
TW202044757A (zh) 高次模式彈性表面波裝置
EP1722473A4 (en) RAND SOUND WAVE DEVICE
CN108173531B (zh) 一种体声波谐振器与表面声波谐振器的混合式声波谐振器
CN111149296B (zh) 复合基板以及使用其的弹性波元件
CN112054780B (zh) 弹性波装置
JPWO2021153734A5 (enExample)
JP2019198066A5 (enExample)
Zou et al. Transverse mode suppression in the AlN lamb wave resonators by “piston mode”
JP2004507960A5 (enExample)
JP2007037102A (ja) 薄膜バルク音響共振器および表面音響波共振器が集積された集積フィルタおよびその製造方法
WO2007141049A3 (de) Oszillatorkreis mit akustischen eintor-oberflächenwellenresonatoren
정귀상 Finite element modeling of surface acoustic waves in piezoelectric thin films
JPWO2014054580A1 (ja) 弾性表面波装置
JP2620085B2 (ja) 2ポートsaw共振子
JP2002171153A (ja) 弾性表面波装置及びその製造方法
JP2006074136A (ja) 弾性表面波素子片および弾性表面波装置