JP2020170142A - 光学素子 - Google Patents

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Abstract

【課題】 カラーフィルタの上に形成された異なる寸法または位置の集光素子を有する光学素子を提供する。【解決手段】 複数の中心画素を有する中心領域、複数の第1の画素を有する第2の領域、前記中心領域、前記第1の領域、および複数の第2の画素を有する第2の領域が、配置方向に沿って互いに離間し、且つ前記第1の領域が前記第2の領域より中心領域に近い第2の領域、前記中心領域、前記第1の領域、および前記第2の領域に形成された有機層、前記第1の領域および前記第2の領域に形成された前記有機層で囲まれた集光層、前記第1の画素に形成された前記集光層の第1の集光素子、および前記第2の画素に形成された前記集光層の第2の集光素子を含み、前記第1の集光素子は前記第2の集光素子と異なる光学素子。【選択図】 図2

Description

本発明は、光学素子に関するものであり、特に、カラーフィルタの上に形成された異なる寸法または位置の集光素子を有する光学素子に関するものである。
複合金属グリッド(composite metal grid; CMG)型構造を有する光学素子では、カラーフィルタの上にマイクロレンズが必要とされる。導波路カラーフィルタ(wave guide color filter; WGCF)型構造を有する光学素子では、導波路構造を形成するために、マイクロレンズの代わりにカラーフィルタを囲む低屈折率材料が用いられる。
しかしながら、導波路カラーフィルタ(WGCF)型構造を有する光学素子では、金属グリッドによる斜光の吸収のために、特に基板の周辺領域内に位置する画素については、現在の画素の量子効果(QE)は低下する。
従って、量子効果(QE)を向上させることができる導波路カラーフィルタ(WGCF)型構造の光学素子の開発が望まれている。
カラーフィルタの上に形成された異なる寸法または位置の集光素子を有する光学素子を提供する。
本発明の一実施形態による、光学素子が提供される。光学素子は、複数の中心画素を有する中心領域と、複数の第1の画素を有する第2の領域と、複数の第2の画素を有する第2の領域と、中心領域、第1の領域、および第2の領域に形成された有機層と、第1の領域および第2の領域に形成された有機層で囲まれた集光層と、第1の画素に形成された集光層の第1の集光素子と、第2の画素に形成された集光層の第2の集光素子と、を含む。中心領域、第1の領域、および第2の領域は、配置方向に沿って互いに離間している。第1の領域は、第2の領域より中心領域に近い。第1の集光素子は第2の集光素子と異なる。
いくつかの実施形態では、第1の画素の中心と第1の集光素子の中心との間に第1の距離がある。第2の画素の中心と第2の集光素子の中心との間に第2の距離がある。いくつかの実施形態では、第2の距離は第1の距離より大きい。第1の集光素子の中心は、中心領域、第1の領域、および第2の領域の配置方向と反対の方向に沿って第1の画素の中心から離れる。第2の集光素子の中心は、中心領域、第1の領域、および第2の領域の配置方向と反対の方向に沿って第2の画素の中心から離れる。
いくつかの実施形態では、第1の距離は第2の距離と同じである。いくつかの実施形態では、第2の集光素子は、第1の集光要素の幅より大きい幅を有する。いくつかの実施形態では、第1の集光素子の幅はゼロより大きい。第2の集光素子の幅は、第2の画素の幅より小さい。いくつかの実施形態では、第2の集光素子は、第1の集光素子の上部表面積より大きい上部表面積を有する。いくつかの実施形態では、第2の集光素子は、第1の集光素子の厚さより大きい厚さを有する。いくつかの実施形態では、第2の集光素子の厚さは有機層の厚さより大きい。いくつかの実施形態では、第1の集光素子および第2の集光素子は有機層によって更に覆われる。いくつかの実施形態では、第2の集光素子の一部は、第2の集光素子の下方のカラーフィルタ内に更に延伸する。いくつかの実施形態では、カラーフィルタ内に延伸する第2の集光素子の部分は、カラーフィルタの厚さの3分の1未満の厚さを有する。
いくつかの実施形態では、第2の集光素子は、第1の集光要素の幅より大きい幅を有する。第2の集光素子は、第1の集光素子の厚さより大きい厚さを有する。いくつかの実施形態では、第2の集光素子は、第2の集光素子の下方のカラーフィルタを囲むパターン化された有機層の上に更に延伸する。いくつかの実施形態では、パターン化された有機層は、約1.2から約1.45の範囲の屈折率を有する。
いくつかの実施形態では、第1の集光素子および第2の集光素子は、第1の集光素子および第2の集光素子の下方にそれぞれあるカラーフィルタの屈折率より大きい屈折率を有する。いくつかの実施形態では、第1の集光素子および第2の集光素子は、約1.6から約1.9の範囲にある屈折率を有する。いくつかの実施形態では、光学素子は、有機層、第1の集光素子、および第2の集光素子の上に形成された反射防止層を更に含む。いくつかの実施形態では、第1の集光素子および第2の集光素子は、反射防止層の屈折率より大きい屈折率を有する。
本発明では、特定の寸法または位置を有する高屈折率(n = 1.6〜1.9)の集光素子がカラーフィルタの上方に配置される。寸法要件については、中心画素から遠い画素に配置された集光素子の幅(または厚さ)は、中心画素に隣接した画素に配置された集光素子の幅(または厚さ)より大きい。位置要件については、中心画素から遠い画素内の画素の中心点と集光素子の中心点との間の距離(即ち、画素の中心点から集光素子の中心点の離れる距離(departure distance))は、中心画素隣接した画素内の画素の中心点と集光素子の中心点との間の距離より大きい。具体的には、集光素子36の離れる方向は、画素配置方向22aとは反対方向である。また、画素内の集光素子の離れる方向は、さまざまな画素配置方向に従って、それに対応して変えられる。また、集光素子の屈折率は隣接する材料の屈折率より高い。特定の集光素子を配置することにより、カラーフィルタのQEピーク、特に基板の周辺領域に位置する画素のQEピークが大幅に向上される。
本発明は、量子効果(QE)を向上できる。
本発明は、添付の図面を参照しながら以下の詳細な説明及び例を読むことで、より完全に理解することができる。
図1は、本発明の一実施形態による光学素子の画素配置の上面図である。 図2は、本発明の一実施形態による光学素子の画素構造の上面図である。 図3は、本発明の一実施形態による光学素子の画素構造の断面図である。 図4は、本発明の一実施形態による光学素子の画素構造の上面図である。 図5は、本発明の一実施形態による光学素子の画素構造の断面図である。 図6は、本発明の一実施形態による光学素子の画素構造の上面図である。 図7は、本発明の一実施形態による光学素子の画素構造の断面図である。 図8は、本発明の一実施形態による光学素子の画素構造の上面図である。 図9は、本発明の一実施形態による光学素子の画素構造の断面図である。 図10は、本発明の一実施形態による光学素子の画素構造の上面図である。 図11は、本発明の一実施形態による光学素子の画素構造の断面図である。 図12は、本発明の一実施形態による光学装置のQEピークを示している。
上述の説明では、本発明を実施するベストモードを開示している。この説明は、本発明の一般原理を例示する目的のものであり、本発明を限定するものではない。本発明の範囲は、添付の請求の範囲を参考にして決定される。
図1〜図3に示すように、本発明の実施形態による、光学素子10が提供される。図1は、光学素子10の画素配置の上面図である。図2は、光学素子10の画素構造の上面図である。図3は、光学素子10の画素構造の断面図である。
図1および図2では、光学素子10は、中心領域14、第1の領域16、第2の領域18および第3の領域20を含む基板12を含む。中心領域14、第1の領域16、第2の領域18、および第3の領域20は互いに離間している。第1の領域16は、第2の領域18より中心領域14に近い。第2の領域18は、第3の領域20より第1の領域16に近い。中心領域14は複数の中心画素、例えば14a、14b、14c、および14dを有する。第1の領域16は複数の第1の画素、例えば16a、16b、16c、および16dを有する。第2の領域18は複数の第2の画素、例えば18a、18b、18c、および18dを有する。第3の領域20は複数の第3の画素、例えば20a、20b、20c、および20dを有する。中心領域14の中心画素(例えば14a、14b、14c、および14d)、第1の領域16の第1の画素(例えば、16a、16b、16c、および16d)、第2の領域18の第2の画素(例えば18a、18b 、18c、および18d)、および第3の領域20の第3の画素(例えば、20a、20b、20c、および20d)は、画素配置の方向に沿って配置される。この画素配置方向は、図1に示すように、基板12の中心12aから端縁部(基板12の外縁)12bに向かう方向、例えば、さまざまな画素配置方向(22a、22b、22c、22d、22e、22f、22g、および22h)である。画素配置方向22aは、画素が基板12の中心から左下側に斜めに配置されている方向を表している。画素配置方向22bは、画素が基板12の中心から左側に水平(x軸に沿って)に配置されている方向を表している。画素配置方向22cは、画素が基板12の中心から左上側に斜めに配置されている方向を表している。画素配置方向22dは、画素が基板12の中心から上部に垂直(y軸に沿って)に配置されている方向を表している。画素配置方向22eは、画素が基板12の中心から右上側に斜めに配置されている方向を表している。画素配置方向22fは、画素が基板12の中心から右側に水平(x軸に沿って)に配置されている方向を表している。画素配置方向22gは、画素が基板12の中心から右下側に斜めに配置されている方向を表している。画素配置方向22hは、画素が基板12の中心から下側に垂直(y軸に沿って)に配置されている方向を表している。ここでは、画素配置方向22aに沿った中心画素(例えば14a、14b、14c、および14d)、第1の画素(例えば16a、16b、16c、および16d)、第2の画素(例えば18a、18b、18c、および18d)、および第3の画素(例えば20a、20b、20c、および20d)の配置を例に説明している。
図2では、中心画素14a、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aは、緑色(G)カラーフィルタ22を含む。中心画素14b、第1の画素16b、第2の画素18b、および第3の画素20bは、赤色(R)カラーフィルタ24を含む。中心画素14c、第1の画素16c、第2の画素18c、および第3の画素20cは、青色(B)カラーフィルタ26を含む。中心画素14d、第1の画素16d、第2の画素18d、および第3の画素20dは、緑色(G)カラーフィルタ22を含む。いくつかの実施形態では、画素内のR/G/Bカラーフィルタ(22、24、および26)の他の配置も本発明に適している。ここでは、中心画素14a、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aを例に、その中の様々な画素構造を説明している。
図2および図3に示すように、中心画素14aは、複数の金属グリッド28、パターン化された第1の有機層30、カラーフィルタ32、および第2の有機層34を含む。金属グリッド28は、基板12の上に形成される。パターン化された第1の有機層30は、金属グリッド28の上に形成される。カラーフィルタ32は、パターン化された第1の有機層30によって囲まれる。第2の有機層34は、パターン化された第1の有機層30とカラーフィルタ32の上に形成される。第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aのそれぞれは、複数の金属グリッド28、パターン化された第1の有機層30、カラーフィルタ32、第2の有機層34、および集光素子36を含む。金属グリッド28は、基板12の上に形成される。パターン化された第1の有機層30は、金属グリッド28の上に形成される。カラーフィルタ32は、パターン化された第1の有機層30によって囲まれる。第2の有機層34は、パターン化された第1の有機層30およびカラーフィルタ32の上に形成される。集光素子36は、第2の有機層34によって囲まれる。具体的には、集光素子36の屈折率は、第2の有機層34の屈折率より大きい。従って、中心画素14aには集光素子が配置されていない。また、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aにおいて、第1の画素16aの中心点「P」と集光素子36の中心点「P」との間の距離が第1の距離「D1」として定義され、第2の画素18aの中心点「P」と集光素子36の中心点「P」との間の距離が第2の距離「D2」として定義され、且つ第3の画素20aの中心点「P」と集光素子36の中心点「P」との間の距離が第3の距離「D3」として定義される。
図2および図3では、第1の距離「D1」、第2の距離「D2」、および第3の距離「D3」は、それぞれ異なる。図2に示すように、第1の画素16a内の集光素子36の中心点「P」は、方向42に沿って第1の画素16aの中心点「P」から離れる。第2の画素18a内の集光素子36の中心点「P」は、方向42に沿って第2の画素18aの中心点「P」から離れる。第3の画素20a内の集光素子36の中心点「P」は、方向42に沿って第3の画素20aの中心点「P」から離れる。具体的には、離れる方向(departure direction)42は、集光素子36の中心点「P」が第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aの中心点「P」から右上側に向かって斜めに離れる方向をそれぞれ表している。 ここでは、中心画素14a、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aは、図1に示されたように、画素配置方向22a(即ち、画素が基板12の中心から左下側に斜めに配置されている方向)に沿って配置される。従って、集光素子36の離れる方向42は、画素配置方向22aとは反対方向である。
集光素子36の離れる方向42は、集光素子の離れる方向が画素配置方向と反対であることを確保するように、さまざまな画素配置方向に従って、それに対応して変わる。本実施形態の変形例では、中心画素14a、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aが画素配置方向22b(即ち、画素が基板12の中心から左側に水平に配置されている方向(x軸に沿って))に沿って配置されるとき、集光素子36の中心点「P」は、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aの中心点「P」から右側に向かって水平にそれぞれ離れる。本実施形態の変形例では、中心画素14a、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aが画素配置方向22c(即ち、画素が基板12の中心から左上側に斜めに配置されている方向)に沿って配置されるとき、集光素子36の中心点「P」は、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aの中心点「P」から右下側に向かって斜めにそれぞれ離れる。いくつかの実施形態では、中心画素14a、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aが画素配置方向22d(即ち、画素が基板12の中心から上側に垂直に配置されている方向(y軸に沿って))に沿って配置されるとき、集光素子36の中心点「P」は、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aの中心点「P」から下側に向かって垂直にそれぞれ離れる。本実施形態の変形例では、中心画素14a、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aが画素配置方向22e(即ち、画素が基板12の中心から右上側に斜めに配置されている方向)に沿って配置されるとき、集光素子36の中心点「P」は、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aの中心点「P」から左下側に向かって斜めにそれぞれ離れる。本実施形態の変形例では、中心画素14a、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aが画素配置方向22f(即ち、画素が基板12の中心から右側に水平に配置されている方向(x軸に沿って))に沿って配置されるとき、集光素子36の中心点「P」は、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aの中心点「P」から左側に向かって水平にそれぞれ離れる。本実施形態の変形例では、中心画素14a、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aが画素配置方向22h(即ち、画素が基板12の中心から下側に垂直に配置されている方向(y軸に沿って))に沿って配置されるとき、集光素子36の中心点「P」は、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aの中心点「P」から上側に向かって垂直にそれぞれ離れる。
図2および図3では、第3の画素20a内の第3の距離「D3」は、第2の画素18a内の第2の距離「D2」より長い。第2の画素18a内の第2の距離「D2」は、第1の画素16a内の第1の距離「D1」より長い。第1の画素16a内の第1の距離「D1」はゼロより大きい。
いくつかの実施形態では、パターン化された第1の有機層30は、約1.2から約1.45の範囲の屈折率を有する。いくつかの実施形態では、集光素子36の屈折率はカラーフィルタ32の屈折率より大きい。いくつかの実施形態では、集光素子36の屈折率は、約1.6から約1.9の範囲にある。いくつかの実施形態では、中心画素14a、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aのそれぞれは、金属グリッド28を覆う酸化物層38を更に含む。いくつかの実施形態では、中心画素14a、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aのそれぞれは、第2の有機層34の上に形成された反射防止層40を更に含む。いくつかの実施形態では、集光素子36の屈折率は、反射防止層40の屈折率より大きい。
図1、図4、および図5に示すように、本発明のもう一つの実施形態による、光学装置10が提供される。図4は、光学素子10の画素構造の上面図である。図5は、光学素子10の画素構造の断面図である。
図1では、同様に、画素配列方向22aに沿った中心画素(例えば14a、14b、14c、および14d)、第1の画素(例えば16a、16b、16c、および16d)、第2の画素(例えば18a、18b、18c、および18d)、および第3の画素(例えば20a、20b、20c、および20d)の配置を例に説明している。
図4では、中心画素14a、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aは、緑色(G)カラーフィルタ22を含む。中心画素14b、第1の画素16b、第2の画素18b、および第3の画素20bは、赤色(R)カラーフィルタ24を含む。中心画素14c、第1の画素16c、第2の画素18c、および第3の画素20cは、青色(B)カラーフィルタ26を含む。中心画素14d、第1の画素16d、第2の画素18d、および第3の画素20dは、緑色(G)カラーフィルタ22を含む。いくつかの実施形態では、画素内のR/G/Bカラーフィルタ(22、24、および26)の他の配置も本発明に適する。ここでは、中心画素14a、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aを例に、その中の様々な画素構造を説明している。
図4および図5に示すように、中心画素14aは、複数の金属グリッド28、パターン化された第1の有機層30、カラーフィルタ32、および第2の有機層34を含む。金属グリッド28は、基板12の上に形成される。パターン化された第1の有機層30は、金属グリッド28の上に形成される。カラーフィルタ32は、パターン化された第1の有機層30によって囲まれる。第2の有機層34は、パターン化された第1の有機層30とカラーフィルタ32の上に形成される。第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aのそれぞれは、複数の金属グリッド28、パターン化された第1の有機層30、カラーフィルタ32、第2の有機層34、および集光素子36を含む。金属グリッド28は、基板12の上に形成される。パターン化された第1の有機層30は、金属グリッド28の上に形成される。カラーフィルタ32は、パターン化された第1の有機層30によって囲まれる。第2の有機層34は、パターン化された第1の有機層30およびカラーフィルタ32の上に形成される。集光素子36は、第2の有機層34によって囲まれる。具体的には、集光素子36の屈折率は、第2の有機層34の屈折率より大きい。従って、中心画素14aには集光素子が配置されていない。また、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aには、第1の画素16aの中心点「P」と集光素子36の中心点「P」との間の距離に第1の距離が定義され、第2の画素18aの中心点「P」と集光素子36の中心点「P」との間の距離に第2の距離が定義され、且つ第3の画素20aの中心点「P」と集光素子36の中心点「P」との間の距離に第3の距離が定義される。第1の距離、第2の距離、及び第3の距離は、第2の有機層34と反射防止層40との間の境界面に沿う方向の距離を示している。
図4および図5では、第1の距離、第2の距離、および第3の距離は、ゼロである。図4に示すように、第1の画素16a内の集光素子36の中心点「P」と第1の画素16aの中心点「P」は重なっている。第2の画素18a内の集光素子36の中心点「P」と第2の画素18aの中心点「P」は重なっている。第3の画素20a内の集光素子36の中心点「P」と第3の画素20aの中心点「P」は重なっている。即ち、集光素子36の中心点Pは、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aの中心点Pからそれぞれ離れていない。
図4および図5では、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aには、第1の画素16aの集光素子36の第1の幅「W1」、第2の画素18aの集光素子36の第2の幅「W2」、および第3の画素20aの集光素子36の第3の幅「W3」が定義されている。具体的には、第3の画素20aの集光素子36の第3の幅「W3」は、第2の画素18aの集光素子36の第2の幅「W2」より大きい。第2の画素18aの集光素子36の第2の幅「W2」は、第1の画素16aの集光素子36の第1の幅「W1」より大きい。いくつかの実施形態では、第1の画素16aの集光素子36の第1の幅「W1」はゼロより大きい。第3の画素20aの集光素子36の第3の幅「W3」は、第3の画素20aの幅「W」より小さい。また、第1の画素16aの集光素子36の第1の面積A1、第2の画素18aの集光素子36の第2の面積A2、および第3の画素20aの集光素子36の第3の面積A3が定義される。同様に、第3の画素20aの集光素子36の第3の面積「A3」は、第2の画素18aの集光素子36の第2の面積「A2」より大きい。第2の画素18aの集光素子36の第2の面積「A2」は、第1の画素16aの集光素子36の第1の面積「A1」より大きい。
いくつかの実施形態では、パターン化された第1の有機層30は、約1.2から約1.45の範囲の屈折率を有する。いくつかの実施形態では、集光素子36の屈折率はカラーフィルタ32の屈折率より大きい。いくつかの実施形態では、集光素子36の屈折率は、約1.6から約1.9の範囲にある。いくつかの実施形態では、中心画素14a、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aのそれぞれは、金属グリッド28を覆う酸化物層38を更に含む。いくつかの実施形態では、中心画素14a、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aのそれぞれは、第2の有機層34の上に形成された反射防止層40を更に含む。いくつかの実施形態では、集光素子36の屈折率は、反射防止層40の屈折率より大きい。
図1、図6、および図7に示すように、本発明のもう一つの実施形態による、光学装置10が提供される。図6は、光学素子10の画素構造の上面図である。図7は、光学素子10の画素構造の断面図である。
図1では、同様に、画素配列方向22aに沿った中心画素(例えば14a、14b、14c、および14d)、第1の画素(例えば16a、16b、16c、および16d)、第2の画素(例えば18a、18b、18c、および18d)、および第3の画素(例えば20a、20b、20c、および20d)の配置を例に説明している。
図6では、中心画素14a、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aは、緑色(G)カラーフィルタ22を含む。中心画素14b、第1の画素16b、第2の画素18b、および第3の画素20bは、赤色(R)カラーフィルタ24を含む。中心画素14c、第1の画素16c、第2の画素18c、および第3の画素20cは、青色(B)カラーフィルタ26を含む。中心画素14d、第1の画素16d、第2の画素18d、および第3の画素20dは、緑色(G)カラーフィルタ22を含む。いくつかの実施形態では、画素内のR/G/Bカラーフィルタ(22、24、および26)の他の配置も本発明に適する。ここでは、中心画素14a、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aを例に、その中の様々な画素構造を説明している。
図6および図7に示すように、中心画素14aは、複数の金属グリッド28、パターン化された第1の有機層30、カラーフィルタ32、および第2の有機層34を含む。金属グリッド28は、基板12の上に形成される。パターン化された第1の有機層30は、金属グリッド28の上に形成される。カラーフィルタ32は、パターン化された第1の有機層30によって囲まれる。第2の有機層34は、パターン化された第1の有機層30とカラーフィルタ32の上に形成される。第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aのそれぞれは、複数の金属グリッド28、パターン化された第1の有機層30、カラーフィルタ32、第2の有機層34、および集光素子36を含む。金属グリッド28は、基板12の上に形成される。パターン化された第1の有機層30は、金属グリッド28の上に形成される。カラーフィルタ32は、パターン化された第1の有機層30によって囲まれる。第2の有機層34は、パターン化された第1の有機層30およびカラーフィルタ32の上に形成される。集光素子36は、第2の有機層34によって囲まれる。具体的には、集光素子36の屈折率は、第2の有機層34の屈折率より大きい。従って、中心画素14aには集光素子が配置されていない。また、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aには、第1の画素16aの中心点「P」と集光素子36の中心点「P」との間の距離に第1の距離が定義され、第2の画素18aの中心点「P」と集光素子36の中心点「P」との間の距離に第2の距離が定義され、且つ第3の画素20aの中心点「P」と集光素子36の中心点「P」との間の距離に第3の距離が定義される。第1の距離、第2の距離、及び第3の距離は、第2の有機層34と反射防止層40との間の境界面に沿う方向の距離を示している。
図6および図7では、第1の距離、第2の距離、および第3の距離は、ゼロである。図6に示すように、第1の画素16a内の集光素子36の中心点「P」と第1の画素16aの中心点「P」は重なっている。第2の画素18a内の集光素子36の中心点「P」と第2の画素18aの中心点「P」は重なっている。第3の画素20a内の集光素子36の中心点「P」と第3の画素20aの中心点「P」は重なっている。即ち、集光素子36の中心点Pは、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aの中心点Pからそれぞれ離れていない。
図7では、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aには、第1の画素16aの集光素子36の第1の厚さ「T1」、第2の画素18aの集光素子36の第2の厚さ「T2」、および第3の画素20aの集光素子36の第3の厚さ「T3」が定義されている。具体的には、第3の画素20aの集光素子36の第3の厚さ「T3」は、第2の画素18aの集光素子36の第2の厚さ「T2」より大きい。第2の画素18aの集光素子36の第2の厚さ「T2」は、第1の画素16aの集光素子36の第1の厚さ「T1」より大きい。図7では、第2の画素18aの集光素子36の第2の厚さ「T2」は、第2の有機層34の厚さ「T」より大きい。いくつかの実施形態では、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aのそれぞれにある集光素子36は、第2の有機層34(図示せず)によって更に覆われる。
いくつかの実施形態では、パターン化された第1の有機層30は、約1.2から約1.45の範囲の屈折率を有する。いくつかの実施形態では、集光素子36の屈折率はカラーフィルタ32の屈折率より大きい。いくつかの実施形態では、集光素子36の屈折率は、約1.6から約1.9の範囲にある。いくつかの実施形態では、中心画素14a、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aのそれぞれは、金属グリッド28を覆う酸化物層38を更に含む。いくつかの実施形態では、中心画素14a、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aのそれぞれは、第2の有機層34の上に形成された反射防止層40を更に含む。いくつかの実施形態では、集光素子36の屈折率は、反射防止層40の屈折率より大きい。
図1、図8、および図9に示すように、本発明のもう一つの実施形態による、光学装置10が提供される。図8は、光学素子10の画素構造の上面図である。図9は、光学素子10の画素構造の断面図である。
図1では、同様に、画素配列方向22aに沿った中心画素(例えば14a、14b、14c、および14d)、第1の画素(例えば16a、16b、16c、および16d)、第2の画素(例えば18a、18b、18c、および18d)、および第3の画素(例えば20a、20b、20c、および20d)の配置を例に説明している。
図8では、中心画素14a、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aは、緑色(G)カラーフィルタ22を含む。中心画素14b、第1の画素16b、第2の画素18b、および第3の画素20bは、赤色(R)カラーフィルタ24を含む。中心画素14c、第1の画素16c、第2の画素18c、および第3の画素20cは、青色(B)カラーフィルタ26を含む。中心画素14d、第1の画素16d、第2の画素18d、および第3の画素20dは、緑色(G)カラーフィルタ22を含む。いくつかの実施形態では、画素内のR/G/Bカラーフィルタ(22、24、および26)の他の配置も本発明に適する。ここでは、中心画素14a、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aを例に、その中の様々な画素構造を説明している。
図8および図9に示すように、中心画素14aは、複数の金属グリッド28、パターン化された第1の有機層30、カラーフィルタ32、および第2の有機層34を含む。金属グリッド28は、基板12の上に形成される。パターン化された第1の有機層30は、金属グリッド28の上に形成される。カラーフィルタ32は、パターン化された第1の有機層30によって囲まれる。第2の有機層34は、パターン化された第1の有機層30とカラーフィルタ32の上に形成される。第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aのそれぞれは、複数の金属グリッド28、パターン化された第1の有機層30、カラーフィルタ32、第2の有機層34、および集光素子36を含む。金属グリッド28は、基板12の上に形成される。パターン化された第1の有機層30は、金属グリッド28の上に形成される。カラーフィルタ32は、パターン化された第1の有機層30によって囲まれる。第2の有機層34は、パターン化された第1の有機層30およびカラーフィルタ32の上に形成される。集光素子36は、第2の有機層34によって囲まれる。具体的には、集光素子36の屈折率は、第2の有機層34の屈折率より大きい。従って、中心画素14aには集光素子が配置されていない。また、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aには、第1の画素16aの中心点「P」と集光素子36の中心点「P」との間の距離に第1の距離が定義され、第2の画素18aの中心点「P」と集光素子36の中心点「P」との間の距離に第2の距離が定義され、且つ第3の画素20aの中心点「P」と集光素子36の中心点「P」との間の距離に第3の距離が定義される。第1の距離、第2の距離、及び第3の距離は、第2の有機層34と反射防止層40との間の境界面に沿う方向の距離を示している。
図8および図9では、第1の距離、第2の距離、および第3の距離は、ゼロである。図8に示すように、第1の画素16a内の集光素子36の中心点「P」と第1の画素16aの中心点「P」は重なっている。第2の画素18a内の集光素子36の中心点「P」と第2の画素18aの中心点「P」は重なっている。第3の画素20a内の集光素子36の中心点「P」と第3の画素20aの中心点「P」は重なっている。即ち、集光素子36の中心点Pは、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aの中心点Pからそれぞれ離れていない。
図9では、第2の画素18aの集光素子36の一部は、カラーフィルタ32内に更に延伸する。また、第3の画素20aの集光素子36の一部は、カラーフィルタ32内に更に延伸する。第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aには、第1の画素16aの集光素子36の第1の厚さ「T1」、第2の画素18aの集光素子36の第2の厚さ「T2」、および第3の画素20aの集光素子36の第3の厚さ「T3」が定義されている。具体的には、第3の画素20aの集光素子36の第3の厚さ「T3」は、第2の画素18aの集光素子36の第2の厚さ「T2」より大きい。第2の画素18aの集光素子36の第2の厚さ「T2」は、第1の画素16aの集光素子36の第1の厚さ「T1」より大きい。いくつかの実施形態では、カラーフィルタ32内に延伸する集光素子36の一部の厚さ「T3」は、カラーフィルタ32の厚さ「TCF」の3分の1未満である。
いくつかの実施形態では、パターン化された第1の有機層30は、約1.2から約1.45の範囲の屈折率を有する。いくつかの実施形態では、集光素子36の屈折率はカラーフィルタ32の屈折率より大きい。いくつかの実施形態では、集光素子36の屈折率は、約1.6から約1.9の範囲にある。いくつかの実施形態では、中心画素14a、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aのそれぞれは、金属グリッド28を覆う酸化物層38を更に含む。いくつかの実施形態では、中心画素14a、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aのそれぞれは、第2の有機層34の上に形成された反射防止層40を更に含む。いくつかの実施形態では、集光素子36の屈折率は、反射防止層40の屈折率より大きい。
図1、図10、および図11に示すように、本発明のもう一つの実施形態による、光学装置10が提供される。図10は、光学素子10の画素構造の上面図である。図11は、光学素子10の画素構造の断面図である。
図1では、同様に、画素配列方向22aに沿った中心画素(例えば14a、14b、14c、および14d)、第1の画素(例えば16a、16b、16c、および16d)、第2の画素(例えば18a、18b、18c、および18d)、および第3の画素(例えば20a、20b、20c、および20d)の配置を例に説明している。
図10では、中心画素14a、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aは、緑色(G)カラーフィルタ22を含む。中心画素14b、第1の画素16b、第2の画素18b、および第3の画素20bは、赤色(R)カラーフィルタ24を含む。中心画素14c、第1の画素16c、第2の画素18c、および第3の画素20cは、青色(B)カラーフィルタ26を含む。中心画素14d、第1の画素16d、第2の画素18d、および第3の画素20dは、緑色(G)カラーフィルタ22を含む。いくつかの実施形態では、画素内のR/G/Bカラーフィルタ(22、24、および26)の他の配置も本発明に適する。ここでは、中心画素14a、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aを例に、その中の様々な画素構造を説明している。
図10および図11に示すように、中心画素14aは、複数の金属グリッド28、パターン化された第1の有機層30、カラーフィルタ32、および第2の有機層34を含む。金属グリッド28は、基板12の上に形成される。パターン化された第1の有機層30は、金属グリッド28の上に形成される。カラーフィルタ32は、パターン化された第1の有機層30によって囲まれる。第2の有機層34は、パターン化された第1の有機層30とカラーフィルタ32の上に形成される。第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aのそれぞれは、複数の金属グリッド28、パターン化された第1の有機層30、カラーフィルタ32、第2の有機層34、および集光素子36を含む。金属グリッド28は、基板12の上に形成される。パターン化された第1の有機層30は、金属グリッド28の上に形成される。カラーフィルタ32は、パターン化された第1の有機層30によって囲まれる。第2の有機層34は、パターン化された第1の有機層30およびカラーフィルタ32の上に形成される。集光素子36は、第2の有機層34によって囲まれる。具体的には、集光素子36の屈折率は、第2の有機層34の屈折率より大きい。従って、中心画素14aには集光素子が配置されていない。また、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aには、第1の画素16aの中心点「P」と集光素子36の中心点「P」との間の距離に第1の距離「D1」が定義され、第2の画素18aの中心点「P」と集光素子36の中心点「P」との間の距離に第2の距離「D2」が定義され、且つ第3の画素20aの中心点「P」と集光素子36の中心点「P」との間の距離に第3の距離が定義される。第1の距離、第2の距離、及び第3の距離は、第2の有機層34と反射防止層40との間の境界面に沿う方向の距離を示している。
図10および図11では、第1の距離「D1」、第2の距離「D2」、および第3の距離「D3」は、それぞれ異なる。図10に示すように、第1の画素16a内の集光素子36の中心点「P」は、方向42に沿って第1の画素16aの中心点「P」から離れる。第2の画素18a内の集光素子36の中心点「P」は、方向42に沿って第2の画素18aの中心点「P」から離れる。第3の画素20a内の集光素子36の中心点「P」は、方向42に沿って第3の画素20aの中心点「P」から離れる。具体的には、離れる方向(departure direction)42は、集光素子36の中心点「P」が第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aの中心点「P」から右上側に向かって斜めに離れる方向をそれぞれ表している。 ここでは、中心画素14a、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aは、図1に示されたように、画素配置方向22a(即ち、画素が基板12の中心から左下側に斜めに配置されている方向)に沿って配置される。従って、方向42は、画素配置方向22aとは反対方向である。図10および図11では、第3の画素20a内の第3の距離「D3」は、第2の画素18a内の第2の距離「D2」より大きい。第2の画素18a内の第2の距離「D2」は、第1の画素16a内の第1の距離「D1」より大きい。第1の画素16a内の第1の距離「D1」はゼロより大きい。
図10および図11では、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aには、第1の画素16aの集光素子36の第1の幅「W1」、第2の画素18aの集光素子36の第2の幅「W2」、および第3の画素20aの集光素子36の第3の幅「W3」が定義されている。具体的には、第3の画素20aの集光素子36の第3の幅「W3」は、第2の画素18aの集光素子36の第2の幅「W2」より大きい。第2の画素18aの集光素子36の第2の幅「W2」は、第1の画素16aの集光素子36の第1の幅「W1」より大きい。いくつかの実施形態では、第1の画素16aの集光素子36の第1の幅「W1」はゼロより大きい。第3の画素20aの集光素子36の第3の幅「W3」は、第3の画素20aの幅「W」より小さい。図11に示されるように、第3の画素20aの集光素子36は、パターン化された第1の有機層30の上に更に延伸する。また、第1の画素16aの集光素子36の第1の面積A1、第2の画素18aの集光素子36の第2の面積A2、および第3の画素20aの集光素子36の第3の面積A3が定義される。同様に、第3の画素20aの集光素子36の第3の面積「A3」は、第2の画素18aの集光素子36の第2の面積「A2」より大きい。第2の画素18aの集光素子36の第2の面積「A2」は、第1の画素16aの集光素子36の第1の面積「A1」より大きい。
図11では、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aには、第1の画素16aの集光素子36の第1の厚さ「T1」、第2の画素18aの集光素子36の第2の厚さ「T2」、および第3の画素20aの集光素子36の第3の厚さ「T3」が定義されている。具体的には、第3の画素20aの集光素子36の第3の厚さ「T3」は、第2の画素18aの集光素子36の第2の厚さ「T2」より大きい。第2の画素18aの集光素子36の第2の厚さ「T2」は、第1の画素16aの集光素子36の第1の厚さ「T1」より大きい。図11では、第2の画素18aの集光素子36の第2の厚さ「T2」は、第2の有機層34の厚さ「T」より大きい。いくつかの実施形態では、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aのそれぞれにある集光素子36は、第2の有機層34(図示せず)によって更に覆われる。
いくつかの実施形態では、パターン化された第1の有機層30は、約1.2から約1.45の範囲の屈折率を有する。いくつかの実施形態では、集光素子36の屈折率はカラーフィルタ32の屈折率より大きい。いくつかの実施形態では、集光素子36の屈折率は、約1.6から約1.9の範囲にある。いくつかの実施形態では、中心画素14a、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aのそれぞれは、金属グリッド28を覆う酸化物層38を更に含む。いくつかの実施形態では、中心画素14a、第1の画素16a、第2の画素18a、および第3の画素20aのそれぞれは、第2の有機層34の上に形成された反射防止層40を更に含む。いくつかの実施形態では、集光素子36の屈折率は、反射防止層40の屈折率より大きい。
本発明では、特定の寸法または位置を有する高屈折率(n = 1.6〜1.9)の集光素子がカラーフィルタの上方に配置される。寸法要件については、中心画素から遠い画素に配置された集光素子の幅(または厚さ)は、中心画素に隣接した画素に配置された集光素子の幅(または厚さ)より大きい。位置要件については、中心画素から遠い画素内の画素の中心点と集光素子の中心点との間の距離(即ち、画素の中心点から集光素子の中心点の離れる距離(departure distance))は、中心画素隣接した画素内の画素の中心点と集光素子の中心点との間の距離より大きい。具体的には、集光素子36の離れる方向は、画素配置方向22aとは反対方向である。また、画素内の集光素子の離れる方向は、さまざまな画素配置方向に従って、それに対応して変えられる。また、集光素子の屈折率は隣接する材料の屈折率より高い。特定の集光素子を配置することにより、カラーフィルタのQEピーク、特に基板の周辺領域に位置する画素のQEピークが大幅に向上される。
<実施例1>
光学素子のQEピークの向上
この実施例では、QEピークの向上、特に基板の周辺領域に位置する画素のQEピークの向上は、光学素子内に特定の寸法を有する集光素子(即ち、高屈折率層)を配置することによって、認められている。図12に示すように、柱状図形「A」は、その中に集光素子を配置しないWGCF型光学素子のQEピーク(R/G/B)を示している。柱状図形「B」は、0.3μmの幅を有する集光素子を有するWGCF型光学素子のQEピーク(R/G/B)を示している。柱状図形「C」は、0.7μmの幅を有する集光素子を有するWGCF型光学素子のQEピーク(R/G/B)を示している。より広い集光層を有するWGCF型光学素子によって構築されたQEピーク(柱状図形「C」)は、光学素子のQEピークが柱状図形「B」に比べて約1.3%、および柱状図形「C」に比べて約2.0%と、大幅に向上していることを示している。
本発明は、例として及び望ましい実施の形態によって記述されているが、本発明は開示された実施形態に限定されるものではない。逆に、当業者には自明の種々の変更及び同様の配置をカバーするものである。よって、添付の特許請求の範囲は、最も広義な解釈が与えられ、全てのこのような変更及び同様の配置を含むべきである。
10…光学素子
12…基板
12a…基板の中心
12b…基板の端縁部
14…基板の中心領域
14a、14b、14c、14d…中心画素
16…基板の第1の領域
16a、16b、16c、16d…第1の画素
18…基板の第2の領域
18a、18b、18c、18d…第2の画素
20…基板の第3の領域
20a、20b、20c、20d…第3の画素
22…緑色フィルタ
22a、22b、22c、22d、22e、22f、22g、22h…画素配置方向
28…金属グリッド
30…パターン化された第1の有機層
32…カラーフィルタ
34…第2の有機層
36…集光素子
38…酸化物層
40…反射防止層
42…(離れる)方向
A1…集光素子の第1の面積
A2…集光素子の第2の面積
A3…集光素子の第3の面積
D1…第1の距離
D2…第2の距離
D3…第3の距離
…集光素子の中心点
…第1/第2/第3の画素の中心点
T1…集光素子の第1の厚さ
T2…集光素子の第2の厚さ
T3…集光素子の第3の厚さ
T3…カラーフィルタ内に延伸する集光素子の厚さ
CF…カラーフィルタの厚さ
…第2の有機層の厚さ
W…第3の画素の幅
W1…集光素子の第1の幅
W2…集光素子の第2の幅
W3…集光素子の第3の幅

Claims (11)

  1. 複数の中心画素を有する中心領域、
    複数の第1の画素を有する第1の領域、
    前記中心領域、前記第1の領域、および複数の第2の画素を有する第2の領域が、配置方向に沿って互いに離間し、且つ前記第1の領域が前記第2の領域より中心領域に近い第2の領域、
    前記中心領域、前記第1の領域、および前記第2の領域に形成された有機層、
    前記第1の領域および前記第2の領域に形成された前記有機層で囲まれた集光層、
    前記第1の画素に形成された前記集光層の第1の集光素子、および
    前記第2の画素に形成された前記集光層の第2の集光素子を含み、
    前記第1の集光素子は前記第2の集光素子と異なる光学素子。
  2. 前記第1の画素の中心と前記第1の集光素子の中心との間に第1の距離があり、
    前記第2の画素の中心と前記第2の集光素子の中心との間に第2の距離があり、
    前記第2の距離は前記第1の距離より大きく、
    前記第1の集光素子の中心は、前記中心領域、前記第1の領域、および前記第2の領域の配置方向と反対の方向に沿って前記第1の画素の中心から離れ、
    前記第2の集光素子の中心は、前記中心領域、前記第1の領域、および前記第2の領域の前記配置方向と反対の方向に沿って前記第2の画素の中心から離れる請求項1に記載の光学素子。
  3. 前記第1の画素の中心と前記第1の集光素子の中心との間に第1の距離があり、
    前記第2の画素の中心と前記第2の集光素子の中心との間に第2の距離があり、
    前記第1の距離は前記第2の距離と同じである請求項1に記載の光学素子。
  4. 前記第2の集光素子は前記第1の集光素子の幅より大きい幅を有し、
    前記第1の集光素子の幅はゼロより大きく、
    前記第2の集光素子の幅は前記第2の画素の幅より小さい請求項3に記載の光学素子。
  5. 前記第2の集光素子は前記第1の集光素子の上部表面積より大きい上部表面積を有する請求項3に記載の光学素子。
  6. 前記第2の集光素子は前記第1の集光素子の厚さより大きい厚さを有し、
    前記第2の集光素子の厚さは前記有機層の厚さより大きく、
    前記第1の集光素子および前記第2の集光素子は前記有機層によって更に覆われる請求項3に記載の光学素子。
  7. 前記第2の集光素子の一部は、前記第2の集光素子の下方のカラーフィルタ内に更に延伸し、
    前記カラーフィルタ内に延伸する前記第2の集光素子の部分は、前記カラーフィルタの厚さの3分の1未満の厚さを有する請求項3に記載の光学素子。
  8. 前記第2の集光素子は前記第1の集光素子の幅より大きい幅を有し、
    前記第2の集光素子は前記第1の集光素子の厚さより大きい厚さを有する請求項2に記載の光学素子。
  9. 前記第2の集光素子は、前記第2の集光素子の下方のカラーフィルタを囲むパターン化された有機層の上に更に延伸し、
    前記パターン化された有機層は、約1.2から約1.45の範囲の屈折率を有する請求項8に記載の光学素子。
  10. 前記第1の集光素子および前記第2の集光素子は、前記第1の集光素子および前記第2の集光素子の下方にそれぞれあるカラーフィルタの屈折率より大きい屈折率を有し、
    前記第1の集光素子および前記第2の集光素子は、約1.6から約1.9の範囲にある屈折率を有する請求項1に記載の光学素子。
  11. 前記有機層、前記第1の集光素子、および前記第2の集光素子の上に形成された反射防止層を更に含み、
    前記第1の集光素子および前記第2の集光素子は、前記反射防止層の屈折率より大きい屈折率を有する請求項1に記載の光学素子。
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