JP2020167202A - 積層セラミックコンデンサ - Google Patents

積層セラミックコンデンサ Download PDF

Info

Publication number
JP2020167202A
JP2020167202A JP2019064076A JP2019064076A JP2020167202A JP 2020167202 A JP2020167202 A JP 2020167202A JP 2019064076 A JP2019064076 A JP 2019064076A JP 2019064076 A JP2019064076 A JP 2019064076A JP 2020167202 A JP2020167202 A JP 2020167202A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
internal electrode
ceramic material
inner layer
ceramic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2019064076A
Other languages
English (en)
Inventor
仁明 木村
Yoshiaki Kimura
仁明 木村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2019064076A priority Critical patent/JP2020167202A/ja
Priority to US16/822,064 priority patent/US11309130B2/en
Publication of JP2020167202A publication Critical patent/JP2020167202A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/005Electrodes
    • H01G4/012Form of non-self-supporting electrodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/018Dielectrics
    • H01G4/06Solid dielectrics
    • H01G4/08Inorganic dielectrics
    • H01G4/12Ceramic dielectrics
    • H01G4/1209Ceramic dielectrics characterised by the ceramic dielectric material
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/228Terminals
    • H01G4/232Terminals electrically connecting two or more layers of a stacked or rolled capacitor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/30Stacked capacitors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
  • Ceramic Capacitors (AREA)

Abstract

【課題】 サイドマージン部の剥がれが抑制される積層セラミックコンデンサを提供する。【解決手段】 積層体と外部電極とを備え、上記積層体は、第1の内部電極層及び第2の内部電極層が誘電体セラミック層を介して交互に積層される内層部と、上記内層部を積層方向に挟むように配置され、かつ、セラミック材料で構成される外層部と、上記内層部及び上記外層部を幅方向に挟むように配置され、かつ、セラミック材料で構成されるサイドマージン部と、を有し、上記サイドマージン部は、上記幅方向の最も内側のインナー層と、上記幅方向の最も外側のアウター層と、を含み、上記外層部に含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、上記インナー層に含有されるセラミック材料の添加剤の元素とは、互いに同じである、積層セラミックコンデンサ。【選択図】 図4

Description

本発明は、積層セラミックコンデンサに関する。
積層セラミックコンデンサは、例えば、誘電体セラミック層と内部電極層とが交互に積層され、更に、その上面及び下面に誘電体セラミック層が積層される積層体と、積層体の両端面に配置される外部電極と、を有している。このような積層セラミックコンデンサにおいては、積層体の側面で内部電極層が外部電極に接続されてしまうことを防止するため、側面上にサイドマージン部と呼ばれるセラミック層が配置されることがある。
例えば、特許文献1には、誘電体層及び内部電極層が交互に積層された素子本体の一対の側面に各々絶縁層が備えられている、積層電子部品が開示されている。
特開2017−59633号公報
近年、積層セラミックコンデンサにおいては、小型化及び大容量化が求められている。このような積層セラミックコンデンサを実現するためには、特許文献1に記載のように、サイドマージン部に相当する絶縁層を薄くすることによって、内部電極層が互いに対向する有効領域を広げることが考えられる。その一方で、機械的強度を向上させる観点から、サイドマージン部には、積層体を構成する誘電体セラミック層とは異なる成分を含有させることがある。しかしながら、このような場合には、誘電体セラミック層へのサイドマージン部の接着力が不充分となり、剥がれてしまうことがある。
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、サイドマージン部の剥がれが抑制される積層セラミックコンデンサを提供することを目的とするものである。
本発明の積層セラミックコンデンサは、第1の態様において、積層方向に積層される、誘電体セラミック層及び内部電極層を含む積層体と、上記内部電極層に接続される外部電極と、を備える積層セラミックコンデンサであって、上記積層体は、上記積層方向において相対する第1の主面及び第2の主面と、上記積層方向に直交する幅方向において相対する第1の側面及び第2の側面と、上記積層方向及び上記幅方向に直交する長さ方向において相対する第1の端面及び第2の端面と、を有し、上記内部電極層は、上記第1の端面に引き出される第1の内部電極層と、上記誘電体セラミック層を介して上記第1の内部電極層と対向するように上記第2の端面に引き出される第2の内部電極層と、を含み、上記外部電極は、上記第1の端面上に配置され、かつ、上記第1の内部電極層に接続される第1の外部電極と、上記第2の端面上に配置され、かつ、上記第2の内部電極層に接続される第2の外部電極と、を含み、上記積層体は、上記第1の内部電極層及び上記第2の内部電極層が上記誘電体セラミック層を介して交互に積層される内層部と、上記内層部を上記積層方向に挟むように配置され、かつ、セラミック材料で構成される外層部と、上記内層部及び上記外層部を上記幅方向に挟むように配置され、かつ、セラミック材料で構成されるサイドマージン部と、を有し、上記サイドマージン部は、上記幅方向の最も内側のインナー層と、上記幅方向の最も外側のアウター層と、を含み、上記外層部に含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、上記インナー層に含有されるセラミック材料の添加剤の元素とは、互いに同じである、ことを特徴とする。
本発明の積層セラミックコンデンサは、第2の態様において、積層方向に積層される、誘電体セラミック層及び内部電極層を含む積層体と、上記内部電極層に接続される外部電極と、を備える積層セラミックコンデンサであって、上記積層体は、上記積層方向において相対する第1の主面及び第2の主面と、上記積層方向に直交する幅方向において相対する第1の側面及び第2の側面と、上記積層方向及び上記幅方向に直交する長さ方向において相対する第1の端面及び第2の端面と、を有し、上記内部電極層は、上記第1の端面に引き出される第1の内部電極層と、上記誘電体セラミック層を介して上記第1の内部電極層と対向するように上記第2の端面に引き出される第2の内部電極層と、を含み、上記外部電極は、上記第1の端面上に配置され、かつ、上記第1の内部電極層に接続される第1の外部電極と、上記第2の端面上に配置され、かつ、上記第2の内部電極層に接続される第2の外部電極と、を含み、上記積層体は、上記第1の内部電極層及び上記第2の内部電極層が上記誘電体セラミック層を介して交互に積層される内層部と、上記内層部を上記積層方向に挟むように配置され、かつ、セラミック材料で構成される外層部と、上記内層部及び上記外層部を上記幅方向に挟むように配置され、かつ、セラミック材料で構成されるサイドマージン部と、を有し、上記サイドマージン部は、上記幅方向の最も内側のインナー層と、上記幅方向の最も外側のアウター層と、を含み、上記外層部中のSiの含有量と、上記インナー層中のSiの含有量とは、同等である、ことを特徴とする。
本発明によれば、サイドマージン部の剥がれが抑制される積層セラミックコンデンサを提供できる。
本発明の積層セラミックコンデンサの一例を示す斜視模式図である。 図1中の積層セラミックコンデンサを構成する積層体の一例を示す斜視模式図である。 図1中の線分A−Aに対応する部分を示す断面模式図である。 図1中の線分C−Cに対応する部分を示す断面模式図である。 誘電体セラミック層及び内部電極層の厚みを定める方法を説明するための模式図である。 セラミックグリーンシートの一例を示す平面模式図である。 マザーブロックの一例を示す分解斜視模式図である。 グリーンチップの一例を示す斜視模式図である。
以下、本発明の積層セラミックコンデンサについて説明する。なお、本発明は、以下の構成に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更されてもよい。また、以下において記載する個々の好ましい構成を複数組み合わせたものもまた本発明である。
以下に示す各実施形態は例示であり、異なる実施形態で示す構成の部分的な置換又は組み合わせが可能であることは言うまでもない。実施形態2では、実施形態1と共通の事項についての記載は省略し、異なる点を主に説明する。特に、同様の構成による同様の作用効果については、実施形態毎に逐次言及しない。以下の説明において、各実施形態を特に区別しない場合、単に「本発明の積層セラミックコンデンサ」と言う。
[実施形態1]
本発明の積層セラミックコンデンサの第1の態様を、本発明の実施形態1の積層セラミックコンデンサとして説明する。
<積層セラミックコンデンサ>
図1は、本発明の積層セラミックコンデンサの一例を示す斜視模式図である。図2は、図1中の積層セラミックコンデンサを構成する積層体の一例を示す斜視模式図である。図3は、図1中の線分A−Aに対応する部分を示す断面模式図である。図4は、図1中の線分C−Cに対応する部分を示す断面模式図である。
本明細書中、積層セラミックコンデンサ及び積層体の「積層方向」、「幅方向」、及び、「長さ方向」を、図1中の積層セラミックコンデンサ1及び図2中の積層体10において示すように、各々、矢印T、W、及び、Lで定められる方向とする。ここで、積層(T)方向と幅(W)方向と長さ(L)方向とは、互いに直交している。
図1に示すように、積層セラミックコンデンサ1は、積層体10と、積層体10の両端面上に各々配置される第1の外部電極51及び第2の外部電極52と、を有している。
図2に示すように、積層体10は、直方体状又は略直方体状をなしており、積層(T)方向において相対する第1の主面11及び第2の主面12と、積層(T)方向に直交する幅(W)方向において相対する第1の側面13及び第2の側面14と、積層(T)方向及び幅(W)方向に直交する長さ(L)方向において相対する第1の端面15及び第2の端面16と、を有している。
本明細書中、第1の端面15及び第2の端面16と直交し、かつ、積層(T)方向と平行な積層セラミックコンデンサ1又は積層体10の断面を、長さ(L)方向及び積層(T)方向の断面であるLT断面と言う。また、第1の側面13及び第2の側面14と直交し、かつ、積層(T)方向と平行な積層セラミックコンデンサ1又は積層体10の断面を、幅(W)方向及び積層(T)方向の断面であるWT断面と言う。また、第1の側面13、第2の側面14、第1の端面15、及び、第2の端面16と直交し、かつ、積層(T)方向に直交する積層セラミックコンデンサ1又は積層体10の断面を、長さ(L)方向及び幅(W)方向の断面であるLW断面と言う。したがって、図3は積層セラミックコンデンサ1のLT断面であり、図4は積層セラミックコンデンサ1のWT断面である。
積層体10は、角部及び稜線部に丸みが付けられていることが好ましい。積層体10の角部は、積層体10の3面が交わる部分である。積層体10の稜線部は、積層体10の2面が交わる部分である。
図2、図3、及び、図4に示すように、積層体10は、積層(T)方向に積層される、複数の誘電体セラミック層20と、複数の第1の内部電極層21と、複数の第2の内部電極層22と、を含んでいる。
誘電体セラミック層20は、幅(W)方向及び長さ(L)方向に沿って延びている。
第1の内部電極層21及び第2の内部電極層22は、各々、誘電体セラミック層20間の界面に沿って配置されている。第1の内部電極層21及び第2の内部電極層22は、各々、誘電体セラミック層20に沿って平板状に延びている、とも言える。
第1の内部電極層21は、積層体10の第1の端面15に引き出されている。第2の内部電極層22は、誘電体セラミック層20を介して第1の内部電極層21と対向するように積層体10の第2の端面16に引き出されている。より具体的には、第1の内部電極層21及び第2の内部電極層22は、積層(T)方向において、誘電体セラミック層20を介して対向している。第1の内部電極層21及び第2の内部電極層22が誘電体セラミック層20を介して対向している部分により、静電容量が発生する。
第1の内部電極層21及び第2の内部電極層22は、各々、Ni、Cu、Ag、Pd、Au、Ag−Pd合金、等の金属を含有することが好ましい。第1の内部電極層21及び第2の内部電極層22は、各々、上述した金属に加えて、誘電体セラミック層20と同じ誘電体セラミック材料を含有していてもよい。
第1の外部電極51は、積層体10の第1の端面15上に配置されており、図1では、第1の主面11、第2の主面12、第1の側面13、及び、第2の側面14の各一部上にまで回り込んだ部分を含んでいる。第1の外部電極51は、第1の端面15において、第1の内部電極層21に接続されている。
第2の外部電極52は、積層体10の第2の端面16上に配置されており、図1では、第1の主面11、第2の主面12、第1の側面13、及び、第2の側面14の各一部上にまで回り込んだ部分を含んでいる。第2の外部電極52は、第2の端面16において、第2の内部電極層22に接続されている。
第1の外部電極51及び第2の外部電極52は、各々、Ni及びセラミック材料を含有するNi層を含むことが好ましい。Ni層は、下地電極層である。このようなNi層は、積層体10(第1の内部電極層21及び第2の内部電極層22)と同時に焼成される、いわゆるコファイア法によって形成できる。Ni層は、積層体10と直に接していることが好ましい。
第1の外部電極51及び第2の外部電極52に含有される元素の種類については、透過型電子顕微鏡−エネルギー分散型X線分析(TEM−EDX)で元素分析を行うことによって確認できる。
Ni層中のセラミック材料の含有量は、25面積%以上、40面積%以下であることが好ましい。Ni層中のセラミック材料の含有量が25面積%以上であると、コファイア法によってNi層を容易に形成できる。また、Ni層中のセラミック材料の含有量は、35面積%以下であることが好ましい。
Ni層中のセラミック材料の含有量は、下記のように測定される。まず、積層セラミックコンデンサ1の幅(W)方向中央部におけるLT断面を研磨等によって露出させる。その後、走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて、積層(T)方向中央部に位置するNi層の長さ(L)方向中央部を10000倍に拡大する。拡大した領域の視野は、6μm×8μmとする。そして、拡大した領域を波長分散型X線分析(WDX)により元素マッピングし、元素マッピングによって得られた画像からセラミック材料の面積比率を測定する。
第1の外部電極51は、積層体10の第1の端面15側から順に、Ni層と、第1のめっき層と、第2のめっき層と、を含むことが好ましい。第2の外部電極52は、積層体10の第2の端面16側から順に、Ni層と、第1のめっき層と、第2のめっき層と、を含むことが好ましい。第1のめっき層は、Niめっきにより形成されることが好ましい。第2のめっき層は、Snめっきにより形成されることが好ましい。第1の外部電極51及び第2の外部電極52は、各々、Ni層と第1のめっき層との間に、導電性粒子及び樹脂を含有する導電性樹脂層を含んでいてもよい。導電性樹脂層中の導電性粒子としては、例えば、Cu、Ag、Ni、等の金属粒子が挙げられる。
なお、Ni層は、積層体10(第1の内部電極層21及び第2の内部電極層22)の焼成後に導電性ペーストを塗布して焼き付ける、いわゆるポストファイア法によって形成されてもよい。この場合、Ni層は、セラミック材料を含有していなくてもよい。
Ni層に含有されるセラミック材料の元素と、後述するアウター層に含有されるセラミック材料の元素とは、互いに同じであることが好ましい。これにより、外部電極用導電性ペーストを未焼成の積層体に塗布してともに焼成する際に、アウター層及びNi層の焼結挙動が近くなり、結果的に、アウター層とNi層との間の接着力が高まる。
第1の外部電極51及び第2の外部電極52は、各々、Cu等の金属を含有する下地電極層を含んでいてもよい。下地電極層は、コファイア法によって形成されてもよいし、ポストファイア法によって形成されてもよい。また、下地電極層は、複層構造であってもよい。
例えば、第1の外部電極51は、積層体10の第1の端面15側から順に、下地電極層であるCu層と、導電性粒子及び樹脂を含有する導電性樹脂層と、第1のめっき層と、第2のめっき層と、を含んでいてもよい。第2の外部電極52は、積層体10の第2の端面16側から順に、下地電極層であるCu層と、導電性粒子及び樹脂を含有する導電性樹脂層と、第1のめっき層と、第2のめっき層と、を含んでいてもよい。導電性樹脂層中の導電性粒子としては、例えば、Cu、Ag、Ni、等の金属粒子が挙げられる。
図3及び図4に示すように、積層体10は、内層部30と、外層部31と、外層部32と、サイドマージン部41と、サイドマージン部42と、を有している。
内層部30においては、第1の内部電極層21及び第2の内部電極層22が誘電体セラミック層20を介して交互に積層されている。図3及び図4では、内層部30は、積層(T)方向に沿って、第1の主面11に最も近い第1の内部電極層21と、第2の主面12に最も近い第1の内部電極層21に挟まれる領域を含んでいる。
内層部30を構成する誘電体セラミック層20は、例えば、Ba及びTiを含有するペロブスカイト型化合物を主成分とする誘電体セラミック材料を含有している。このようなペロブスカイト型化合物としては、例えば、BaTiO等が挙げられる。内層部30を構成する誘電体セラミック層20に含有される誘電体セラミック材料は、例えば、Si、Mg、Mn、Al、Zr、Ho、及び、Znからなる群より選択される少なくとも1種の添加剤を含有していてもよい。
外層部31及び外層部32は、内層部30を積層(T)方向に挟むように配置されている。外層部31は、積層体10の第1の主面11側に配置されている。外層部32は、積層体10の第2の主面12側に配置されている。
外層部31及び外層部32は、各々、セラミック材料で構成されている。外層部31及び外層部32に含有されるセラミック材料は、主成分に加えて、添加剤を含有している。
外層部31及び外層部32に含有されるセラミック材料としては、例えば、誘電体セラミック材料が挙げられる。外層部31及び外層部32に含有される誘電体セラミック材料は、例えば、Ba及びTiを含有するペロブスカイト型化合物(例えば、BaTiO)を主成分として、Si、Mg、Mn、Al、Zr、Ho、及び、Znからなる群より選択される少なくとも1種を添加剤として含有する。
本明細書中、「セラミック材料の主成分」は、セラミック材料中の含有量が最も多い成分を意味する。また、「セラミック材料の添加剤」は、セラミック材料中の含有量が、主成分のTi100モルに対して5モル以下である成分を意味する。セラミック材料中の主成分の含有量とセラミック材料中の添加剤の含有量とについては、誘導結合プラズマ(ICP)発光分光法で定量分析を行うことによって確認できる。
外層部31及び外層部32は、各々、積層(T)方向に積層される複数の誘電体セラミック層20で構成される複層構造であってもよいし、1つの誘電体セラミック層20で構成される単層構造であってもよい。
外層部31及び外層部32が誘電体セラミック層20で構成される場合、外層部31及び外層部32を構成する誘電体セラミック層20は、内層部30を構成する誘電体セラミック層20と同じ誘電体セラミック材料を含有していてもよいし、内層部30を構成する誘電体セラミック層20と異なる誘電体セラミック材料を含有していてもよい。
サイドマージン部41及びサイドマージン部42は、内層部30、外層部31、及び、外層部32を幅(W)方向に挟むように配置されている。サイドマージン部41は、積層体10の第1の側面13側に配置されている。サイドマージン部42は、積層体10の第2の側面14側に配置されている。
サイドマージン部41及びサイドマージン部42は、各々、セラミック材料で構成されている。サイドマージン部41及びサイドマージン部42に含有されるセラミック材料は、主成分に加えて、添加剤を含有している。
サイドマージン部41は、幅(W)方向に積層される複数のセラミック層で構成されている。図4では、サイドマージン部41は、幅(W)方向の最も内側のインナー層41aと、幅(W)方向の最も外側のアウター層41bと、を有する2層構造である。インナー層41a及びアウター層41bは、各々、セラミック材料で構成されるセラミック層である。サイドマージン部41は、上述した2層構造ではなく、3層以上の構造であってもよい。サイドマージン部41が3層以上のセラミック層を有する場合、幅(W)方向の最も内側に配置されるセラミック層をインナー層とし、幅(W)方向の最も外側に配置されるセラミック層を含む他のセラミック層をアウター層とする。
サイドマージン部41が上述した2層構造である場合、光学顕微鏡を用いて暗視野で観察することによって、インナー層41a及びアウター層41bにおける焼結性の違いから2層構造であることを確認できる。サイドマージン部41が3層以上の構造である場合も同様である。
サイドマージン部42は、幅(W)方向に積層される複数のセラミック層で構成されている。図4では、サイドマージン部42は、幅(W)方向の最も内側のインナー層42aと、幅(W)方向の最も外側のアウター層42bと、を有する2層構造である。インナー層42a及びアウター層42bは、各々、セラミック材料で構成されるセラミック層である。サイドマージン部42は、上述した2層構造ではなく、3層以上の構造であってもよい。サイドマージン部42が3層以上のセラミック層を有する場合、幅(W)方向の最も内側に配置されるセラミック層をインナー層とし、幅(W)方向の最も外側に配置されるセラミック層を含む他のセラミック層をアウター層とする。
サイドマージン部42が上述した2層構造である場合、光学顕微鏡を用いて暗視野で観察することによって、インナー層42a及びアウター層42bにおける焼結性の違いから2層構造であることを確認できる。サイドマージン部42が3層以上の構造である場合も同様である。
サイドマージン部41及びサイドマージン部42を構成するセラミック層の層数は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよい。
インナー層41a及びインナー層42aに含有されるセラミック材料としては、例えば、誘電体セラミック材料が挙げられる。インナー層41a及びインナー層42aに含有される誘電体セラミック材料は、例えば、Ba及びTiを含有するペロブスカイト型化合物(例えば、BaTiO)を主成分として、Si、Mg、Mn、Al、Zr、Ho、及び、Znからなる群より選択される少なくとも1種を添加剤として含有する。インナー層41aは、アウター層41bと、内層部30、外層部31、及び、外層部32とを接合する層として機能する。インナー層42aは、アウター層42bと、内層部30、外層部31、及び、外層部32とを接合する層として機能する。
アウター層41b及びアウター層42bに含有されるセラミック材料としては、例えば、誘電体セラミック材料が挙げられる。アウター層41b及びアウター層42bに含有される誘電体セラミック材料は、例えば、Ba及びTiを含有するペロブスカイト型化合物(例えば、BaTiO)を主成分として、Si、Mg、Mn、Al、Zr、Ho、及び、Znからなる群より選択される少なくとも1種を添加剤として含有する。アウター層41bは、サイドマージン部41に機械的強度を付与する層として機能する。アウター層42bは、サイドマージン部42に機械的強度を付与する層として機能する。
積層セラミックコンデンサ1において、外層部31及び外層部32の少なくとも一方に含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、インナー層41a及びインナー層42aの少なくとも一方に含有されるセラミック材料の添加剤の元素とは、互いに同じである。これにより、添加剤の元素が互いに同じである外層部及びインナー層の間の接着力が高まり、結果的に、そのインナー層を含むサイドマージン部の剥がれが抑制される。
本明細書中、「セラミック材料の添加剤の元素が互いに同じである」とは、セラミック材料の添加剤の元素の種類が互いに同じであることを意味し、それらの含有量は問わない。例えば、2層を比較するとき、一方の層に含有されるセラミック材料の添加剤の元素がS1及びS2である一方で、他方の層に含有されるセラミック材料の添加剤の元素がS1及びS2である場合を、両層に含有されるセラミック材料の添加剤の元素が互いに同じである、と言う。3層以上を比較するときも同様である。
「外層部31及び外層部32の少なくとも一方に含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、インナー層41a及びインナー層42aの少なくとも一方に含有されるセラミック材料の添加剤の元素とは、互いに同じである」とは、例えば、以下の(例1A)、(例2A)、及び、(例3A)を含み、中でも(例3A)が好ましい。
(例1A)
外層部31及び外層部32の少なくとも一方に含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、インナー層41aに含有されるセラミック材料の添加剤の元素とは、互いに同じである。これにより、サイドマージン部41の剥がれが抑制される。
(例2A)
外層部31及び外層部32の少なくとも一方に含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、インナー層42aに含有されるセラミック材料の添加剤の元素とは、互いに同じである。これにより、サイドマージン部42の剥がれが抑制される。
(例3A)
外層部31及び外層部32に含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、インナー層41a及びインナー層42aに含有されるセラミック材料の添加剤の元素とは、互いに同じである。これにより、サイドマージン部41及びサイドマージン部42の剥がれがともに抑制される。
インナー層41a及びインナー層42aに含有されるセラミック材料の添加剤と、アウター層41b及びアウター層42bに含有されるセラミック材料の添加剤とに着目すると、好ましい関係の例は、以下の通りである。
外層部31及び外層部32の少なくとも一方に含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、インナー層41aに含有されるセラミック材料の添加剤の元素とが互いに同じである場合、インナー層41aに含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、アウター層41bに含有されるセラミック材料の添加剤の元素とは、互いに異なることが好ましい。これにより、サイドマージン部41の剥がれを抑制しつつ、アウター層41bによるサイドマージン部41の機械的強度の向上(信頼性の向上)を図れる。
外層部31及び外層部32の少なくとも一方に含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、インナー層42aに含有されるセラミック材料の添加剤の元素とが互いに同じである場合、インナー層42aに含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、アウター層42bに含有されるセラミック材料の添加剤の元素とは、互いに異なることが好ましい。これにより、サイドマージン部42の剥がれを抑制しつつ、アウター層42bによるサイドマージン部42の機械的強度の向上(信頼性の向上)を図れる。
外層部31及び外層部32に含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、インナー層41a及びインナー層42aに含有されるセラミック材料の添加剤の元素とが互いに同じである場合、インナー層41a及びインナー層42aに含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、アウター層41b及びアウター層42bに含有されるセラミック材料の添加剤の元素とは、互いに異なることが好ましい。これにより、サイドマージン部41及びサイドマージン部42の剥がれを抑制しつつ、アウター層41b及びアウター層42bによるサイドマージン部41及びサイドマージン部42の機械的強度の向上(信頼性の向上)を図れる。
本明細書中、「セラミック材料の添加剤の元素が互いに異なる」とは、セラミック材料の添加剤の元素の種類が互いに異なることを意味し、それらの含有量は問わない。例えば、2層を比較するとき、一方の層に含有されるセラミック材料の添加剤の元素がS1及びS2である一方で、他方の層に含有されるセラミック材料の添加剤の元素がS1のみであったり、S1及びS3であったり、S1、S2、及び、S3であったりする場合を、両層に含有されるセラミック材料の添加剤の元素が互いに異なる、と言う。3層以上を比較するときも同様である。
外層部31及び外層部32に含有されるセラミック材料の主成分と、インナー層41a及びインナー層42aに含有されるセラミック材料の主成分とに着目すると、好ましい関係の例は、以下の通りである。
外層部31及び外層部32の少なくとも一方に含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、インナー層41aに含有されるセラミック材料の添加剤の元素とが互いに同じである場合、主成分の元素も互いに同じであることが好ましい。これにより、サイドマージン部41の剥がれが更に抑制される。
外層部31及び外層部32の少なくとも一方に含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、インナー層42aに含有されるセラミック材料の添加剤の元素とが互いに同じである場合、主成分の元素も互いに同じであることが好ましい。これにより、サイドマージン部42の剥がれが更に抑制される。
外層部31及び外層部32に含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、インナー層41a及びインナー層42aに含有されるセラミック材料の添加剤の元素とが互いに同じである場合、主成分の元素も互いに同じであることが好ましい。これにより、サイドマージン部41及びサイドマージン部42の剥がれがともに更に抑制される。
本明細書中、「セラミック材料の主成分の元素が互いに同じである」とは、セラミック材料の主成分の元素の種類が互いに同じであることを意味し、それらの含有量は問わない。例えば、2層を比較するとき、一方の層に含有されるセラミック材料の主成分の元素がM1、M2、及び、M3である一方で、他方の層に含有されるセラミック材料の主成分の元素がM1、M2、及び、M3である場合を、両層に含有されるセラミック材料の主成分の元素が互いに同じである、と言う。3層以上を比較するときも同様である。
内層部30に含有されるセラミック材料の主成分と、インナー層41a及びインナー層42aに含有されるセラミック材料の主成分とに着目すると、好ましい関係の例は、以下の通りである。
外層部31及び外層部32の少なくとも一方に含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、インナー層41aに含有されるセラミック材料の添加剤の元素とが互いに同じである場合、内層部30に含有されるセラミック材料(すなわち、誘電体セラミック層20に含有される誘電体セラミック材料)の主成分の元素と、インナー層41aに含有されるセラミック材料の主成分の元素とは、互いに同じであることが好ましい。これにより、内層部30とインナー層41aとの間の接着力が高まり、結果的に、サイドマージン部41の剥がれが更に抑制される。
外層部31及び外層部32の少なくとも一方に含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、インナー層42aに含有されるセラミック材料の添加剤の元素とが互いに同じである場合、内層部30に含有されるセラミック材料(すなわち、誘電体セラミック層20に含有される誘電体セラミック材料)の主成分の元素と、インナー層42aに含有されるセラミック材料の主成分の元素とは、互いに同じであることが好ましい。これにより、内層部30とインナー層42aとの間の接着力が高まり、結果的に、サイドマージン部42の剥がれが更に抑制される。
外層部31及び外層部32に含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、インナー層41a及びインナー層42aに含有されるセラミック材料の添加剤の元素とが互いに同じである場合、内層部30に含有されるセラミック材料(すなわち、誘電体セラミック層20に含有される誘電体セラミック材料)の主成分の元素と、インナー層41a及びインナー層42aに含有されるセラミック材料の主成分の元素とは、互いに同じであることが好ましい。これにより、内層部30とインナー層41a及びインナー層42aとの間の接着力が高まり、結果的に、サイドマージン部41及びサイドマージン部42の剥がれが更に抑制される。
各層及び各部における、セラミック材料の主成分の元素の種類とセラミック材料の添加剤の元素の種類とについては、積層セラミックコンデンサ1の長さ(L)方向中央部におけるWT断面を研磨等によって露出させた後、透過型電子顕微鏡−エネルギー分散型X線分析(TEM−EDX)で元素分析を行うことによって確認できる。
積層セラミックコンデンサ1における各層及び各部の好ましい厚みについて、以下に説明する。
誘電体セラミック層20の厚み(積層(T)方向の厚み)は、好ましくは0.55μm以下である。また、誘電体セラミック層20の厚みは、好ましくは0.4μm以上である。ここで、誘電体セラミック層20の厚みとは、具体的には、内層部30を構成する誘電体セラミック層20の厚みを意味する。
第1の内部電極層21及び第2の内部電極層22の厚み(積層(T)方向の厚み)は、各々、好ましくは0.4μm以下であり、より好ましくは0.38μm以下である。また、第1の内部電極層21及び第2の内部電極層22の厚みは、各々、好ましくは0.25μm以上である。
誘電体セラミック層20、第1の内部電極層21、及び、第2の内部電極層22の厚みは、以下のようにして定められる。
図5は、誘電体セラミック層及び内部電極層の厚みを定める方法を説明するための模式図である。図5は、積層セラミックコンデンサ1の長さ(L)方向中央部におけるWT断面の一部、特に、積層体10の内層部30の断面を示し、図3中の線分C−Cに対応する部分を示す断面の一部に相当する。
まず、積層セラミックコンデンサ1の長さ(L)方向中央部におけるWT断面を研磨によって露出させる。必要に応じて、研磨で引き伸ばされた第1の内部電極層21及び第2の内部電極層22の断面形状を整えるために、研磨面に対してエッチング処理を行う。そして、露出させたWT断面を走査型電子顕微鏡(SEM)で観察する。
次に、観察された拡大像において、積層体10の積層(T)方向に延び、かつ、積層体10の中央を通る直線Lcを引く。そして、直線Lcと平行な複数の直線を、ピッチSで等間隔に引く。ピッチSについては、測定対象の誘電体セラミック層20、又は、第1の内部電極層21若しくは第2の内部電極層22の厚みの5倍以上、10倍以下程度で決めればよく、例えば、厚みが約1μmの誘電体セラミック層20を測定対象とする場合、ピッチSを5μmとする。ここで、直線Lcと平行な複数の直線を引く際には、直線Lcの両側に同じ本数の直線を引く。すなわち、直線Lcを合わせて奇数本の直線を引く。図5では、直線La、Lb、Lc、Ld、及び、Leの5本の直線が示されている。
そして、直線La、Lb、Lc、Ld、及び、Leの各直線上において、誘電体セラミック層20、第1の内部電極層21、及び、第2の内部電極層22の厚みを測定する。ただし、直線La、Lb、Lc、Ld、及び、Leの各直線上において、第1の内部電極層21又は第2の内部電極層22が欠損し、欠損した内部電極層を挟む誘電体セラミック層20同士がつながっている場合、又は、測定位置の拡大像が不明瞭である場合は、直線Lcから更に離れた位置に引いた別の直線上において、誘電体セラミック層20、第1の内部電極層21、及び、第2の内部電極層22の厚みを測定する。
例えば、誘電体セラミック層20の厚みを定める際には、図5に示すように、直線La上の厚みDaと、直線Lb上の厚みDbと、直線Lc上の厚みDcと、直線Ld上の厚みDdと、直線Le上の厚みDeと、を測定し、これらの平均値を誘電体セラミック層20の厚みと定める。
また、第1の内部電極層21の厚みを定める際には、図5に示すように、直線La上の厚みEaと、直線Lb上の厚みEbと、直線Lc上の厚みEcと、直線Ld上の厚みEdと、直線Le上の厚みEeと、を測定し、これらの平均値を第1の内部電極層21の厚みと定める。第2の内部電極層22の厚みを定める際も同様である。
複数の誘電体セラミック層20の平均厚みを算出する際には、積層(T)方向の略中央に位置する誘電体セラミック層20と、その両側に各々位置する2層ずつの誘電体セラミック層20と、を合わせた5層の誘電体セラミック層20の各々について上述した方法で厚みを定め、これらの平均値を複数の誘電体セラミック層20の平均厚みとする。なお、誘電体セラミック層20の積層数が5層未満である場合、すべての誘電体セラミック層20について上述した方法で厚みを定め、これらの平均値を複数の誘電体セラミック層20の平均厚みとする。複数の第1の内部電極層21の平均厚みを算出する際、及び、複数の第2の内部電極層22の平均厚みを算出する際も同様である。
外層部31及び外層部32の厚み(積層(T)方向の厚み)は、各々、好ましくは15μm以上、40μm以下である。
積層セラミックコンデンサ1の形状及び性能を維持する観点から、インナー層41aは、アウター層41bよりも薄いことが好ましい。同様の観点から、インナー層42aは、アウター層42bよりも薄いことが好ましい。
インナー層41a及びインナー層42aの厚み(幅(W)方向の厚み)は、各々、好ましくは0.1μm以上、20μm以下である。インナー層41a及びインナー層42aの厚みは、互いに同じであることが好ましい。
アウター層41b及びアウター層42bの厚み(幅(W)方向の厚み)は、各々、好ましくは5μm以上、20μm以下である。アウター層41b及びアウター層42bの厚みは、互いに同じであることが好ましい。
ただし、インナー層41a及びアウター層41bの厚みが上述した範囲を満たしながら、アウター層41bがインナー層41aよりも厚いことが好ましい。また、インナー層42a及びアウター層42bの厚みが上述した範囲を満たしながら、アウター層42bがインナー層42aよりも厚いことが好ましい。
サイドマージン部41及びサイドマージン部42の厚み(幅(W)方向の厚み)は、各々、好ましくは5μm以上、40μm以下であり、より好ましくは5μm以上、20μm以下である。サイドマージン部41及びサイドマージン部42の厚みは、互いに同じであることが好ましい。
サイドマージン部41及びサイドマージン部42を構成する各セラミック層(例えば、インナー層41a、インナー層42a、アウター層41b、及び、アウター層42b)の厚みは、以下のようにして定められる。
まず、積層セラミックコンデンサ1の長さ(L)方向中央部におけるWT断面を研磨によって露出させる。そして、露出させたWT断面における第1の内部電極層21及び第2の内部電極層22の幅(W)方向の端部と、これらの端部に近い方のサイドマージン部41及びサイドマージン部42の一方とが同一視野に収まるように、光学顕微鏡又は電子顕微鏡を用いて撮像する。撮像箇所としては、積層(T)方向における、上部、中央部、及び、下部の3箇所を選択する。そして、撮像された上部、中央部、及び、下部において、第1の内部電極層21及び第2の内部電極層22の幅(W)方向の端部から積層体10の側面(サイドマージン部41及びサイドマージン部42のうちで撮像された方の幅(W)方向の外側の端部)に向かって、幅(W)方向に平行な複数の線分を引き、各セラミック層に対応する各々の線分の長さを測定する。その後、測定された線分の長さについて、上部、中央部、及び、下部の各々における平均値を算出する。更に、各々の平均値を平均化することによって、サイドマージン部41及びサイドマージン部42のうちで撮像された方を構成する各セラミック層の厚みが定められる。
積層セラミックコンデンサ1の好ましい寸法としては、例えば、下記のものが挙げられる。
(品種1)
長さ(L)方向の寸法:0.32mm以上、0.36mm以下
幅(W)方向の寸法:0.25mm以上、0.30mm以下
積層(T)方向の寸法:0.25mm以上、0.30mm以下
誘電体セラミック層20の厚み:4.7μm以上、5.7μm以下
第1の内部電極層21及び第2の内部電極層22の厚み:0.9μm以上、1.1μm以下
(品種2)
長さ(L)方向の寸法:0.1mm以上、0.12mm以下
幅(W)方向の寸法:0.63mm以上、0.68mm以下
積層(T)方向の寸法:0.62mm以上、0.68mm以下
誘電体セラミック層20の厚み:1.1μm以上、1.5μm以下
第1の内部電極層21及び第2の内部電極層22の厚み:0.63μm以上、0.75μm以下
上述したいずれの品種においても、誘電体セラミック層20の厚みを大きくすることによって耐電圧性が向上する。一方、サイドマージン部41及びサイドマージン部42を極小化することによって、静電容量を発生させる有効領域を極大化できる。また、Lギャップでは、通常、誘電体セラミック層20と第1の内部電極層21及び第2の内部電極層22との間の厚みの差によって段差が生じ、各層を積層させる際に第1の内部電極層21及び第2の内部電極層22が積層(T)方向に湾曲し、湾曲部に電界が集中することで信頼性が低下する。これに対して、本実施形態では、第1の内部電極層21及び第2の内部電極層22との間の厚みの差を補完するように誘電体セラミック層20を形成することによって、第1の内部電極層21及び第2の内部電極層22の湾曲を抑制できるため、信頼性が向上する。
<積層セラミックコンデンサの製造方法>
本発明の実施形態1の積層セラミックコンデンサの製造方法は、好ましくは、未焼成の状態にある複数の誘電体セラミック層と複数対の第1の内部電極層及び第2の内部電極層とをもって構成された積層構造を有し、積層方向に直交する幅方向において相対する第1の側面及び第2の側面に上記第1の内部電極層及び上記第2の内部電極層が露出した、グリーンチップを準備する工程と、上記グリーンチップの上記第1の側面及び上記第2の側面に、未焼成のサイドマージン部を形成することにより、未焼成の積層体を作製する工程と、上記未焼成の積層体を焼成する工程と、を備え、上記未焼成の積層体を作製する工程では、上記第1の側面及び上記第2の側面に未焼成のインナー層を形成し、最も外側に未焼成のアウター層を形成することにより、上記未焼成のサイドマージン部が形成される。
本発明の実施形態1の積層セラミックコンデンサの製造方法の一例について、以下に説明する。
まず、誘電体セラミック層20となるべきセラミックグリーンシートを準備する。セラミックグリーンシートは、上述した誘電体セラミック材料を含むセラミック原料に加えて、バインダ、溶剤、等を含有していてもよい。セラミックグリーンシートは、例えば、キャリアフィルム上で、ダイコータ、グラビアコータ、マイクログラビアコータ、等を用いて成形される。
図6は、セラミックグリーンシートの一例を示す平面模式図である。図6中、図6Aでは、内層部30を形成するための第1のセラミックグリーンシート101が示されている。図6Bでは、内層部30を形成するための第2のセラミックグリーンシート102が示されている。図6Cでは、外層部31及び外層部32を形成するための第3のセラミックグリーンシート103が示されている。
図6A、図6B、及び、図6Cに示すように、第1のセラミックグリーンシート101と、第2のセラミックグリーンシート102と、第3のセラミックグリーンシート103とは、積層セラミックコンデンサ1毎に切り分けられていない。図6A、図6B、及び、図6Cでは、積層セラミックコンデンサ1毎に切り分ける際の切断線X及び切断線Yが示されている。切断線Xは、長さ(L)方向に平行である。切断線Yは、幅(W)方向に平行である。
図6Aに示すように、第1のセラミックグリーンシート101には、第1の内部電極層21となる未焼成の第1の内部電極層121が形成されている。図6Bに示すように、第2のセラミックグリーンシート102には、第2の内部電極層22となる未焼成の第2の内部電極層122が形成されている。図6Cに示すように、第3のセラミックグリーンシート103には、未焼成の第1の内部電極層121及び未焼成の第2の内部電極層122が形成されていない。
未焼成の第1の内部電極層121及び未焼成の第2の内部電極層122は、各々、例えば、任意の内部電極層用導電性ペーストを用いて形成される。内部電極層用導電性ペーストを用いて未焼成の第1の内部電極層121及び未焼成の第2の内部電極層122を形成する際には、例えば、スクリーン印刷法、グラビア印刷法、等の印刷方法が用いられる。
未焼成の第1の内部電極層121及び未焼成の第2の内部電極層122は、長さ(L)方向では切断線Yで仕切られて隣接する2つの領域にわたって、かつ、幅(W)方向では帯状に延びるように形成されている。未焼成の第1の内部電極層121及び未焼成の第2の内部電極層122は、切断線Yで仕切られた各領域が1列ずつ長さ(L)方向にずれた位置関係にある。つまり、未焼成の第1の内部電極層121の中央を通る切断線Yは、未焼成の第2の内部電極層122の間の領域(未焼成の第2の内部電極層122が形成されていない領域)を通っている。また、未焼成の第2の内部電極層122の中央を通る切断線Yは、未焼成の第1の内部電極層121の間の領域(未焼成の第1の内部電極層121が形成されていない領域)を通っている。
次に、第1のセラミックグリーンシート101(未焼成の第1の内部電極層121付き)と、第2のセラミックグリーンシート102(未焼成の第2の内部電極層122付き)と、第3のセラミックグリーンシート103と、を積層させることによって、マザーブロックを作製する。
図7は、マザーブロックの一例を示す分解斜視模式図である。図7では、マザーブロック104において、第1のセラミックグリーンシート101と、第2のセラミックグリーンシート102と、第3のセラミックグリーンシート103とが、分解された状態で示されている。実際のマザーブロック104では、第1のセラミックグリーンシート101と、第2のセラミックグリーンシート102と、第3のセラミックグリーンシート103とが、静水圧プレス等の手段によって圧着され、一体化している。
マザーブロック104では、内層部30を形成するための第1のセラミックグリーンシート101及び第2のセラミックグリーンシート102が、積層(T)方向に交互に積層されている。更に、その積層(T)方向の上面及び下面に、各々、外層部31及び外層部32を形成するための第3のセラミックグリーンシート103が積層されている。なお、図7では、第3のセラミックグリーンシート103が、上面及び下面の各々に3枚ずつ積層されているが、その枚数は適宜変更されてもよい。
次に、マザーブロック104を切断線X及び切断線Y(図6A、図6B、及び、図6C参照)に沿って切断することによって、複数のグリーンチップを作製する。マザーブロック104を切断する際には、例えば、ダイシング、押切り、レーザカット、等の切断方法が用いられる。
図8は、グリーンチップの一例を示す斜視模式図である。図8に示すように、グリーンチップ110は、未焼成の誘電体セラミック層120と、未焼成の第1の内部電極層121と、未焼成の第2の内部電極層122と、を各々複数含む積層構造である。
グリーンチップ110の第1の側面113及び第2の側面114は、マザーブロック104を切断線Xに沿って切断することによって現れた面である。第1の側面113及び第2の側面114の各々には、未焼成の第1の内部電極層121及び未焼成の第2の内部電極層122の両方が露出している。
グリーンチップ110の第1の端面115及び第2の端面116は、マザーブロック104を切断線Yに沿って切断することによって現れた面である。未焼成の第1の内部電極層121及び未焼成の第2の内部電極層122のうち、第1の端面115には未焼成の第1の内部電極層121のみが露出し、第2の端面116には未焼成の第2の内部電極層122のみが露出している。
次に、グリーンチップ110の第1の側面113及び第2の側面114の各側面上に、未焼成のサイドマージン部を形成することによって、未焼成の積層体を作製する。未焼成のサイドマージン部は、例えば、グリーンチップ110の第1の側面113及び第2の側面114に、サイドマージン部用セラミックグリーンシートを貼り付けることによって形成される。
サイドマージン部を、インナー層及びアウター層を有する2層構造とする場合、例えば、以下のようにして未焼成のサイドマージン部を形成する。
まず、Ba及びTiを含有するペロブスカイト型化合物(例えば、BaTiO)を主成分として、Si、Mg、Mn、Al、Zr、Ho、及び、Znからなる群より選択される少なくとも1種を添加剤として含有する誘電体セラミック材料を準備する。そして、この誘電体セラミック材料を含むセラミック原料に加えて、バインダ、溶剤、等を含有するインナー層用セラミックスラリーを作製する。ここで、インナー層用セラミックスラリーに含有される誘電体セラミック材料の添加剤の元素を、外層部31及び外層部32を形成するための第3のセラミックグリーンシート103に含有される誘電体セラミック材料の添加剤の元素と同じにする。
次に、Ba及びTiを含有するペロブスカイト型化合物(例えば、BaTiO)を主成分として、Si、Mg、Mn、Al、Zr、Ho、及び、Znからなる群より選択される少なくとも1種を添加剤として含有する誘電体セラミック材料を準備する。そして、この誘電体セラミック材料を含むセラミック原料に加えて、バインダ、溶剤、等を含有するアウター層用セラミックスラリーを作製する。
次に、樹脂フィルムの表面上に、アウター層用セラミックスラリーを塗布し、乾燥させることによって、アウター層用セラミックグリーンシートを作製する。そして、アウター層用セラミックグリーンシートの樹脂フィルムとは反対側の表面上に、インナー層用セラミックスラリーを塗布し、乾燥させることによって、インナー層用セラミックグリーンシートを作製する。その後、インナー層用セラミックグリーンシート及びアウター層用セラミックグリーンシートの積層シートを、樹脂フィルムから剥離することによって、2層構造を有するサイドマージン部用セラミックグリーンシートが得られる。
なお、2層構造を有するサイドマージン部用セラミックグリーンシートは、例えば、インナー層用セラミックグリーンシートとアウター層用セラミックグリーンシートとを別々に予め作製しておき、各々を貼り合わせることによっても得られる。また、サイドマージン部用セラミックグリーンシートは、上述した2層構造ではなく、3層以上の構造であってもよい。
次に、グリーンチップ110の第1の側面113を、サイドマージン部用セラミックグリーンシートのインナー層用セラミックグリーンシート側に押し付けて打ち抜くことによって、グリーンチップ110の第1の側面113上に未焼成のサイドマージン部を形成する。更に、グリーンチップ110の第2の側面114を、サイドマージン部用セラミックグリーンシートのインナー層用セラミックグリーンシート側に押し付けて打ち抜くことによって、グリーンチップ110の第2の側面114上に未焼成のサイドマージン部を形成する。この際、グリーンチップ110の第1の側面113及び第2の側面114の各側面上に、接着剤として機能する有機溶剤を予め塗布しておくことが好ましい。以上により、未焼成の積層体が得られる。
なお、未焼成のサイドマージン部は、下記のような別の方法で形成されてもよい。サイドマージン部を、インナー層及びアウター層を有する2層構造とする場合、まず、グリーンチップ110の第1の側面113及び第2の側面114の各側面上に、インナー層用セラミックスラリーを塗布し、乾燥させることによって、未焼成のインナー層を形成する。そして、未焼成のインナー層のグリーンチップ110とは反対側の表面上に、アウター層用セラミックスラリーを塗布し、乾燥させることによって、未焼成のアウター層を形成する。これにより、未焼成のサイドマージン部が形成される。
また、未焼成のサイドマージン部は、下記のような更に別の方法で形成されてもよい。サイドマージン部を、インナー層及びアウター層を有する2層構造とする場合、まず、グリーンチップ110の第1の端面115及び第2の端面116の各端面を樹脂等で被覆(マスク)する。そして、各端面が樹脂等で被覆された状態のグリーンチップ110を、インナー層用セラミックスラリー中に丸ごと浸漬(ディッピング)し、乾燥させることによって、未焼成のインナー層を形成する。その後、未焼成のインナー層が形成された状態のグリーンチップ110を、アウター層用セラミックスラリー中に丸ごと浸漬(ディッピング)し、乾燥させることによって、未焼成のアウター層を形成する。この場合、未焼成の外層部上にも未焼成のインナー層及び未焼成のアウター層が形成されることになる。
上述した方法によって得られた未焼成の積層体に対して、バレル研磨等を施すことが好ましい。未焼成の積層体を研磨することによって、焼成後の積層体10の角部及び稜線部に丸みが付けられる。
次に、未焼成の積層体において、グリーンチップ110の第1の端面115及び第2の端面116の各端面上に、Ni及びセラミック材料を含有する外部電極用導電性ペーストを塗布する。
外部電極用導電性ペーストは、セラミック材料として、アウター層用セラミックグリーンシート又はアウター層用セラミックスラリーと同じ誘電体セラミック材料を含有することが好ましい。外部電極用導電性ペースト中のセラミック材料の含有量は、好ましくは15重量%以上である。また、外部電極用導電性ペースト中のセラミック材料の含有量は、好ましくは25重量%以下である。
次に、外部電極用導電性ペーストが塗布された未焼成の積層体に対して、例えば、窒素雰囲気中、所定の条件で脱脂処理を行った後、窒素−水素−水蒸気混合雰囲気中、所定の温度で焼成する。これにより、未焼成の積層体及び外部電極用導電性ペーストが同時に焼成され、いわゆるコファイア法によって、積層体10と、第1の内部電極層21に接続されるNi層と、第2の内部電極層22に接続されるNi層とが同時に形成される。各々のNi層は、外部電極用導電性ペーストの硬化物である。その後、各々のNi層の表面上に、Niめっきによる第1のめっき層と、Snめっきによる第2のめっき層とを順に積層させる。これにより、第1の外部電極51及び第2の外部電極52が形成される。
なお、積層体10と、第1の外部電極51及び第2の外部電極52とは、いわゆるポストファイア法によって別々のタイミングで形成されてもよい。具体的には、まず、未焼成の積層体に対して、例えば、窒素雰囲気中、所定の条件で脱脂処理を行った後、窒素−水素−水蒸気混合雰囲気中、所定の温度で焼成することによって、積層体10を形成する。そして、積層体10の第1の端面15及び第2の端面16の各端面上に、Cu粉を含有する導電性ペーストを塗布して焼き付ける。これにより、第1の内部電極層21に接続される下地電極層と、第2の内部電極層22に接続される下地電極層とが形成される。そして、各々の下地電極層の表面上に、導電性粒子(例えば、Cu、Ag、Ni、等の金属粒子)及び樹脂を含有する導電性樹脂層と、Niめっきによる第1のめっき層と、Snめっきによる第2のめっき層とを順に積層させる。これにより、第1の外部電極51及び第2の外部電極52が形成される。
以上により、積層セラミックコンデンサ1が製造される。
上述した積層セラミックコンデンサ1の製造方法では、マザーブロック104を切断線X及び切断線Yに沿って切断して複数のグリーンチップ110を作製した後、グリーンチップ110の第1の側面113及び第2の側面114の両側面上に未焼成のサイドマージン部を形成することによって、未焼成の積層体を作製していたが、以下のように変更することも可能である。
すなわち、まず、マザーブロック104を切断線Xに沿って切断することによって、切断面である両側面に未焼成の第1の内部電極層121及び未焼成の第2の内部電極層122が露出した、複数の棒状のグリーンブロックを作製する。そして、グリーンブロックの両側面上に未焼成のサイドマージン部を形成した後、切断線Yに沿って切断することによって、複数の未焼成の積層体を作製する。その後は、上述した方法と同様にすれば、積層セラミックコンデンサ1が製造される。
[実施形態2]
本発明の積層セラミックコンデンサの第2の態様を、本発明の実施形態2の積層セラミックコンデンサとして説明する。本発明の実施形態1の積層セラミックコンデンサでは、「外層部に含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、インナー層に含有されるセラミック材料の添加剤の元素とは、互いに同じである」ことを必須の要件としていたが、本発明の実施形態2の積層セラミックコンデンサでは、「外層部中のSiの含有量と、インナー層中のSiの含有量とは、同等である」ことを必須の要件としている。本発明の実施形態2の積層セラミックコンデンサは、この点以外、本発明の実施形態1の積層セラミックコンデンサと同様である。
<積層セラミックコンデンサ>
積層セラミックコンデンサ1において、外層部31及び外層部32に含有されるセラミック材料は、Siを含有している。また、サイドマージン部41及びサイドマージン部42に含有されるセラミック材料は、Siを含有している。セラミック材料中のSiは、機械的強度の向上、水分浸入の抑制、等の信頼性の向上に寄与する。
積層セラミックコンデンサ1において、外層部31及び外層部32の少なくとも一方中のSiの含有量と、インナー層41a及びインナー層42aの少なくとも一方中のSiの含有量とは、同等である。これにより、Siの含有量が同等である外層部及びインナー層の間の接着力が高まり、結果的に、そのインナー層を含むサイドマージン部の剥がれが抑制される。
「外層部31及び外層部32の少なくとも一方中のSiの含有量と、インナー層41a及びインナー層42aの少なくとも一方中のSiの含有量とは、同等である」とは、例えば、以下の(例1B)、(例2B)、及び、(例3B)を含み、中でも(例3B)が好ましい。
(例1B)
外層部31及び外層部32の少なくとも一方中のSiの含有量と、インナー層41a中のSiの含有量とは、同等である。これにより、サイドマージン部41の剥がれが抑制される。
(例2B)
外層部31及び外層部32の少なくとも一方中のSiの含有量と、インナー層42a中のSiの含有量とは、同等である。これにより、サイドマージン部42の剥がれが抑制される。
(例3B)
外層部31及び外層部32中のSiの含有量と、インナー層41a及びインナー層42a中のSiの含有量とは、同等である。これにより、サイドマージン部41及びサイドマージン部42の剥がれがともに抑制される。
本明細書中、「Siの含有量が同等である」とは、Siの含有量の違いが±10%以内であることを意味する。例えば、2層を比較するとき、一方の層中のSiの含有量をP、他方の層中のSiの含有量をQとすると、0.90≦P/Q≦1.10を満たす場合を、両層中のSiの含有量が同等である、と言う。3層以上を比較するときには、これらの層中のSiの含有量の最大値及び最小値の違いが±10%以内であればよい。
内層部30に含有されるセラミック材料(すなわち、誘電体セラミック層20に含有される誘電体セラミック材料)がSiを含有している場合、内層部30中のSiの含有量と、インナー層41a及びインナー層42a中のSiの含有量とに着目すると、好ましい関係の例は、以下の通りである。
外層部31及び外層部32の少なくとも一方中のSiの含有量と、インナー層41a中のSiの含有量とが同等である場合、内層部30中のSiの含有量と、インナー層41a中のSiの含有量とは、同等であることが好ましい。これにより、内層部30とインナー層41aとの間の接着力が高まり、結果的に、サイドマージン部41の剥がれが更に抑制される。
外層部31及び外層部32の少なくとも一方中のSiの含有量と、インナー層42a中のSiの含有量とが同等である場合、内層部30中のSiの含有量と、インナー層42a中のSiの含有量とは、同等であることが好ましい。これにより、内層部30とインナー層42aとの間の接着力が高まり、結果的に、サイドマージン部42の剥がれが更に抑制される。
外層部31及び外層部32中のSiの含有量と、インナー層41a及びインナー層42a中のSiの含有量とが同等である場合、内層部30中のSiの含有量と、インナー層41a及びインナー層42a中のSiの含有量とは、同等であることが好ましい。これにより、内層部30とインナー層41a及びインナー層42aとの間の接着力が高まり、結果的に、サイドマージン部41及びサイドマージン部42の剥がれが更に抑制される。
インナー層41a及びインナー層42a中のSiの含有量と、アウター層41b及びアウター層42b中のSiの含有量とに着目すると、好ましい関係の例は、以下の通りである。
外層部31及び外層部32の少なくとも一方中のSiの含有量と、インナー層41a中のSiの含有量とが同等である場合、アウター層41b中のSiの含有量は、インナー層41a中のSiの含有量よりも多いことが好ましい。これにより、サイドマージン部41の剥がれを抑制しつつ、サイドマージン部41の幅(W)方向の寸法が小さくても、アウター層41bによるサイドマージン部41の機械的強度の向上(信頼性の向上)を図れる。
外層部31及び外層部32の少なくとも一方中のSiの含有量と、インナー層42a中のSiの含有量とが同等である場合、アウター層42b中のSiの含有量は、インナー層42a中のSiの含有量よりも多いことが好ましい。これにより、サイドマージン部42の剥がれを抑制しつつ、サイドマージン部42の幅(W)方向の寸法が小さくても、アウター層42bによるサイドマージン部42の機械的強度の向上(信頼性の向上)を図れる。
外層部31及び外層部32中のSiの含有量と、インナー層41a及びインナー層42a中のSiの含有量とが同等である場合、アウター層41b及びアウター層42b中のSiの含有量は、インナー層41a及びインナー層42a中のSiの含有量よりも多いことが好ましい。これにより、サイドマージン部41及びサイドマージン部42の剥がれを抑制しつつ、サイドマージン部41及びサイドマージン部42の幅(W)方向の寸法が小さくても、アウター層41b及びアウター層42bによるサイドマージン部41及びサイドマージン部42の機械的強度の向上(信頼性の向上)を図れる。
本明細書中、「Siの含有量が多い」とは、上述した「Siの含有量が同等である」が意味する範囲、すなわち、Siの含有量の違いが±10%以内である範囲を除いた状態で、Siの含有量がより多いことを意味する。
外層部31及び外層部32に含有されるセラミック材料の添加剤と、インナー層41a及びインナー層42aに含有されるセラミック材料の添加剤とに着目すると、好ましい関係の例は、以下の通りである。
外層部31及び外層部32の少なくとも一方中のSiの含有量と、インナー層41a中のSiの含有量とが同等である場合、外層部31及び外層部32の少なくとも一方に含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、インナー層41aに含有されるセラミック材料の添加剤の元素とは、互いに同じであることが好ましい。これにより、サイドマージン部41の剥がれが更に抑制される。
外層部31及び外層部32の少なくとも一方中のSiの含有量と、インナー層42a中のSiの含有量とが同等である場合、外層部31及び外層部32の少なくとも一方に含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、インナー層42aに含有されるセラミック材料の添加剤の元素とは、互いに同じであることが好ましい。これにより、サイドマージン部42の剥がれが更に抑制される。
外層部31及び外層部32中のSiの含有量と、インナー層41a及びインナー層42a中のSiの含有量とが同等である場合、外層部31及び外層部32に含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、インナー層41a及びインナー層42aに含有されるセラミック材料の添加剤の元素とは、互いに同じであることが好ましい。これにより、サイドマージン部41及びサイドマージン部42の剥がれがともに更に抑制される。
インナー層41a及びインナー層42aに含有されるセラミック材料の添加剤と、アウター層41b及びアウター層42bに含有されるセラミック材料の添加剤とに着目すると、好ましい関係の例は、以下の通りである。
外層部31及び外層部32の少なくとも一方中のSiの含有量と、インナー層41a中のSiの含有量とが同等である場合、インナー層41aに含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、アウター層41bに含有されるセラミック材料の添加剤の元素とは、互いに異なることが好ましい。これにより、サイドマージン部41の剥がれを抑制しつつ、アウター層41bによるサイドマージン部41の機械的強度の向上(信頼性の向上)を図れる。
外層部31及び外層部32の少なくとも一方中のSiの含有量と、インナー層42a中のSiの含有量とが同等である場合、インナー層42aに含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、アウター層42bに含有されるセラミック材料の添加剤の元素とは、互いに異なることが好ましい。これにより、サイドマージン部42の剥がれを抑制しつつ、アウター層42bによるサイドマージン部42の機械的強度の向上(信頼性の向上)を図れる。
外層部31及び外層部32中のSiの含有量と、インナー層41a及びインナー層42a中のSiの含有量とが同等である場合、インナー層41a及びインナー層42aに含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、アウター層41b及びアウター層42bに含有されるセラミック材料の添加剤の元素とは、互いに異なることが好ましい。これにより、サイドマージン部41及びサイドマージン部42の剥がれを抑制しつつ、アウター層41b及びアウター層42bによるサイドマージン部41及びサイドマージン部42の機械的強度の向上(信頼性の向上)を図れる。
外層部31及び外層部32に含有されるセラミック材料の主成分と、インナー層41a及びインナー層42aに含有されるセラミック材料の主成分とに着目すると、好ましい関係の例は、以下の通りである。
外層部31及び外層部32の少なくとも一方中のSiの含有量と、インナー層41a中のSiの含有量とが同等である場合、セラミック材料の主成分の元素も互いに同じであることが好ましい。これにより、サイドマージン部41の剥がれが更に抑制される。
外層部31及び外層部32の少なくとも一方中のSiの含有量と、インナー層42a中のSiの含有量とが同等である場合、セラミック材料の主成分の元素も互いに同じであることが好ましい。これにより、サイドマージン部42の剥がれが更に抑制される。
外層部31及び外層部32中のSiの含有量と、インナー層41a及びインナー層42a中のSiの含有量とが同等である場合、セラミック材料の主成分の元素も互いに同じであることが好ましい。これにより、サイドマージン部41及びサイドマージン部42の剥がれがともに更に抑制される。
内層部30に含有されるセラミック材料の主成分と、インナー層41a及びインナー層42aに含有されるセラミック材料の主成分とに着目すると、好ましい関係の例は、以下の通りである。
外層部31及び外層部32の少なくとも一方中のSiの含有量と、インナー層41a中のSiの含有量とが同等である場合、内層部30に含有されるセラミック材料(すなわち、誘電体セラミック層20に含有される誘電体セラミック材料)の主成分の元素と、インナー層41aに含有されるセラミック材料の主成分の元素とは、互いに同じであることが好ましい。これにより、内層部30とインナー層41aとの間の接着力が高まり、結果的に、サイドマージン部41の剥がれが更に抑制される。
外層部31及び外層部32の少なくとも一方中のSiの含有量と、インナー層42a中のSiの含有量とが同等である場合、内層部30に含有されるセラミック材料(すなわち、誘電体セラミック層20に含有される誘電体セラミック材料)の主成分の元素と、インナー層42aに含有されるセラミック材料の主成分の元素とは、互いに同じであることが好ましい。これにより、内層部30とインナー層42aとの間の接着力が高まり、結果的に、サイドマージン部42の剥がれが更に抑制される。
外層部31及び外層部32中のSiの含有量と、インナー層41a及びインナー層42a中のSiの含有量とが同等である場合、内層部30に含有されるセラミック材料(すなわち、誘電体セラミック層20に含有される誘電体セラミック材料)の主成分の元素と、インナー層41a及びインナー層42aに含有されるセラミック材料の主成分の元素とは、互いに同じであることが好ましい。これにより、内層部30とインナー層41a及びインナー層42aとの間の接着力が高まり、結果的に、サイドマージン部41及びサイドマージン部42の剥がれが更に抑制される。
各層及び各部中のSiの含有量については、誘導結合プラズマ(ICP)発光分光法で定量分析を行うことによって確認できる。
<積層セラミックコンデンサの製造方法>
本発明の実施形態2の積層セラミックコンデンサの製造方法の一例は、「外層部中のSiの含有量と、インナー層中のSiの含有量とは、同等である」こと以外、上述した本発明の実施形態1の積層セラミックコンデンサの製造方法の一例と同様である。例えば、外層部31、32を形成するための第3のセラミックグリーンシート103に含有される誘電体セラミック材料に、Siを含む添加剤を添加する一方で、インナー層用セラミックスラリーに含有される誘電体セラミック材料に、Siを含む添加剤を添加し、両者のSiの含有量を同等にする。
1 積層セラミックコンデンサ
10 積層体
11 積層体の第1の主面
12 積層体の第2の主面
13 積層体の第1の側面
14 積層体の第2の側面
15 積層体の第1の端面
16 積層体の第2の端面
20 誘電体セラミック層
21 第1の内部電極層
22 第2の内部電極層
30 内層部
31、32 外層部
41、42 サイドマージン部
41a、42a インナー層
41b、42b アウター層
51 第1の外部電極
52 第2の外部電極
101 第1のセラミックグリーンシート
102 第2のセラミックグリーンシート
103 第3のセラミックグリーンシート
104 マザーブロック
110 グリーンチップ
113 グリーンチップの第1の側面
114 グリーンチップの第2の側面
115 グリーンチップの第1の端面
116 グリーンチップの第2の端面
120 未焼成の誘電体セラミック層
121 未焼成の第1の内部電極層
122 未焼成の第2の内部電極層
T 積層方向
W 幅方向
L 長さ方向
La、Lb、Lc、Ld、Le 直線
Da、Db、Dc、Dd、De、Ea、Eb、Ec、Ed、Ee 厚み
X、Y 切断線

Claims (13)

  1. 積層方向に積層される、誘電体セラミック層及び内部電極層を含む積層体と、
    前記内部電極層に接続される外部電極と、を備える積層セラミックコンデンサであって、
    前記積層体は、前記積層方向において相対する第1の主面及び第2の主面と、前記積層方向に直交する幅方向において相対する第1の側面及び第2の側面と、前記積層方向及び前記幅方向に直交する長さ方向において相対する第1の端面及び第2の端面と、を有し、
    前記内部電極層は、前記第1の端面に引き出される第1の内部電極層と、前記誘電体セラミック層を介して前記第1の内部電極層と対向するように前記第2の端面に引き出される第2の内部電極層と、を含み、
    前記外部電極は、前記第1の端面上に配置され、かつ、前記第1の内部電極層に接続される第1の外部電極と、前記第2の端面上に配置され、かつ、前記第2の内部電極層に接続される第2の外部電極と、を含み、
    前記積層体は、前記第1の内部電極層及び前記第2の内部電極層が前記誘電体セラミック層を介して交互に積層される内層部と、前記内層部を前記積層方向に挟むように配置され、かつ、セラミック材料で構成される外層部と、前記内層部及び前記外層部を前記幅方向に挟むように配置され、かつ、セラミック材料で構成されるサイドマージン部と、を有し、
    前記サイドマージン部は、前記幅方向の最も内側のインナー層と、前記幅方向の最も外側のアウター層と、を含み、
    前記外層部に含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、前記インナー層に含有されるセラミック材料の添加剤の元素とは、互いに同じである、ことを特徴とする積層セラミックコンデンサ。
  2. 前記インナー層に含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、前記アウター層に含有されるセラミック材料の添加剤の元素とは、互いに異なる、請求項1に記載の積層セラミックコンデンサ。
  3. 積層方向に積層される、誘電体セラミック層及び内部電極層を含む積層体と、
    前記内部電極層に接続される外部電極と、を備える積層セラミックコンデンサであって、
    前記積層体は、前記積層方向において相対する第1の主面及び第2の主面と、前記積層方向に直交する幅方向において相対する第1の側面及び第2の側面と、前記積層方向及び前記幅方向に直交する長さ方向において相対する第1の端面及び第2の端面と、を有し、
    前記内部電極層は、前記第1の端面に引き出される第1の内部電極層と、前記誘電体セラミック層を介して前記第1の内部電極層と対向するように前記第2の端面に引き出される第2の内部電極層と、を含み、
    前記外部電極は、前記第1の端面上に配置され、かつ、前記第1の内部電極層に接続される第1の外部電極と、前記第2の端面上に配置され、かつ、前記第2の内部電極層に接続される第2の外部電極と、を含み、
    前記積層体は、前記第1の内部電極層及び前記第2の内部電極層が前記誘電体セラミック層を介して交互に積層される内層部と、前記内層部を前記積層方向に挟むように配置され、かつ、セラミック材料で構成される外層部と、前記内層部及び前記外層部を前記幅方向に挟むように配置され、かつ、セラミック材料で構成されるサイドマージン部と、を有し、
    前記サイドマージン部は、前記幅方向の最も内側のインナー層と、前記幅方向の最も外側のアウター層と、を含み、
    前記外層部中のSiの含有量と、前記インナー層中のSiの含有量とは、同等である、ことを特徴とする積層セラミックコンデンサ。
  4. 前記内層部中のSiの含有量と、前記インナー層中のSiの含有量とは、同等である、請求項3に記載の積層セラミックコンデンサ。
  5. 前記アウター層中のSiの含有量は、前記インナー層中のSiの含有量よりも多い、請求項3又は4に記載の積層セラミックコンデンサ。
  6. 前記外層部に含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、前記インナー層に含有されるセラミック材料の添加剤の元素とは、互いに同じである、請求項3〜5のいずれかに記載の積層セラミックコンデンサ。
  7. 前記インナー層に含有されるセラミック材料の添加剤の元素と、前記アウター層に含有されるセラミック材料の添加剤の元素とは、互いに異なる、請求項6に記載の積層セラミックコンデンサ。
  8. 前記外層部に含有されるセラミック材料の主成分の元素と、前記インナー層に含有されるセラミック材料の主成分の元素とは、互いに同じである、請求項1〜7のいずれかに記載の積層セラミックコンデンサ。
  9. 前記内層部に含有されるセラミック材料の主成分の元素と、前記インナー層に含有されるセラミック材料の主成分の元素とは、互いに同じである、請求項8に記載の積層セラミックコンデンサ。
  10. 前記第1の内部電極層及び前記第2の内部電極層の厚みは、各々、0.4μm以下である、請求項1〜9のいずれかに記載の積層セラミックコンデンサ。
  11. 前記第1の内部電極層及び前記第2の内部電極層の厚みは、各々、0.38μm以下である、請求項10に記載の積層セラミックコンデンサ。
  12. 前記誘電体セラミック層の厚みは、0.55μm以下である、請求項1〜11のいずれかに記載の積層セラミックコンデンサ。
  13. 前記第1の外部電極及び前記第2の外部電極は、各々、Ni及びセラミック材料を含有するNi層を含み、
    前記Ni層中のセラミック材料の含有量は、25面積%以上、40面積%以下である、請求項1〜12のいずれかに記載の積層セラミックコンデンサ。
JP2019064076A 2019-03-28 2019-03-28 積層セラミックコンデンサ Pending JP2020167202A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019064076A JP2020167202A (ja) 2019-03-28 2019-03-28 積層セラミックコンデンサ
US16/822,064 US11309130B2 (en) 2019-03-28 2020-03-18 Multilayer ceramic capacitor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019064076A JP2020167202A (ja) 2019-03-28 2019-03-28 積層セラミックコンデンサ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2020167202A true JP2020167202A (ja) 2020-10-08

Family

ID=72608005

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019064076A Pending JP2020167202A (ja) 2019-03-28 2019-03-28 積層セラミックコンデンサ

Country Status (2)

Country Link
US (1) US11309130B2 (ja)
JP (1) JP2020167202A (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020167202A (ja) * 2019-03-28 2020-10-08 株式会社村田製作所 積層セラミックコンデンサ

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6439551B2 (ja) * 2014-05-21 2018-12-19 株式会社村田製作所 積層セラミックコンデンサ
JP2016001723A (ja) * 2014-05-22 2016-01-07 株式会社村田製作所 積層セラミックコンデンサ
JP6665438B2 (ja) * 2015-07-17 2020-03-13 株式会社村田製作所 積層セラミックコンデンサ
JP6406191B2 (ja) 2015-09-15 2018-10-17 Tdk株式会社 積層電子部品
JP7262181B2 (ja) * 2018-05-17 2023-04-21 太陽誘電株式会社 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法
JP7241472B2 (ja) * 2018-06-01 2023-03-17 太陽誘電株式会社 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法
JP2020035788A (ja) * 2018-08-27 2020-03-05 株式会社村田製作所 電子部品
US11094462B2 (en) * 2018-10-22 2021-08-17 Murata Manufacturing Co., Ltd. Multilayer ceramic electronic component
JP2020167202A (ja) * 2019-03-28 2020-10-08 株式会社村田製作所 積層セラミックコンデンサ

Also Published As

Publication number Publication date
US20200312566A1 (en) 2020-10-01
US11309130B2 (en) 2022-04-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11610736B2 (en) Electronic component
US11239030B2 (en) Electronic component
JP2010092896A (ja) 積層セラミック電子部品およびその製造方法
JP2015026837A (ja) 積層セラミック電子部品の製造方法及び積層セラミック電子部品
US11289274B2 (en) Multilayer ceramic capacitor
US11011308B2 (en) Multilayer ceramic electronic component
JP7192741B2 (ja) 積層セラミック電子部品、及び、積層セラミック電子部品の製造方法
JP2020167201A (ja) 積層セラミックコンデンサ
JP2018113367A (ja) 積層セラミックコンデンサおよびその実装構造体
JP2020167198A (ja) 積層セラミックコンデンサ
JP2020155719A (ja) 積層セラミックコンデンサ
JP2020077815A (ja) 積層セラミックコンデンサ
JP2021061302A (ja) 積層セラミックコンデンサ
US11990282B2 (en) Multilayer ceramic capacitor
US20240177931A1 (en) Multilayer ceramic capacitor
JP2021086972A (ja) 積層セラミックコンデンサ
JP2020167202A (ja) 積層セラミックコンデンサ
JP2015043423A (ja) 積層セラミックコンデンサ
US11257625B2 (en) Multilayer ceramic capacitor
JP2022073617A (ja) 積層セラミックコンデンサ
KR102303314B1 (ko) 적층 세라믹 전자부품
WO2023127469A1 (ja) 積層セラミックコンデンサ
WO2023127470A1 (ja) 積層セラミックコンデンサの製造方法
JP2019204902A (ja) 積層セラミックコンデンサおよび積層セラミックコンデンサの製造方法