JP2020164920A - 成膜装置及び成膜方法 - Google Patents
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Abstract
Description
近年では、高性能材料(すなわち、高コスト)の蒸着材料が使用されるようになり、材料収率が重要視されている。すなわち、基板の真下に蒸発源を配置する(鉛直方向に投影したときに蒸発源が基板に重なる(含まれる)位置に配置される)構成が採用される傾向にある。しかしながら、成膜レートがピークとなる坩堝の噴射口の真上近傍は、成膜レートの変化の勾配が急峻となる(ピーク中心からの距離に対する単位時間当たりの付着量の変化が大きい)ため、均一な膜厚分布の形成が難しい領域となる。すなわち、膜厚分布が悪化しやすく、生産品質を低下させる懸念が常に付きまとう配置構成となる。
チャンバと、
前記チャンバ内において、成膜対象物を、その被成膜面を下方に向けた状態で前記被成膜面に垂直な回転軸周りに回転可能に支持する回転支持部と、
前記チャンバ内において、成膜材料を収容し、前記成膜対象物の下方に配置され、上方に開口する噴射口を有する蒸発源容器と、
前記蒸発源容器から蒸発した前記成膜材料が付着する水晶振動子を有し、前記蒸発源容器から蒸発した前記成膜材料の前記成膜対象物に対する成膜レートを取得する成膜モニタと、
前記蒸発源容器を加熱する加熱源を有し、前記成膜モニタが取得する前記成膜レートに基づいて、前記加熱源へ供給する電力を制御する加熱制御部と、
を備える成膜装置において、
前記蒸発源容器は、前記回転軸と直交する方向において、前記回転軸から離れた離間位置から前記回転軸に近接する近接位置へ移動し、再び前記離間位置へ戻る往復移動を行い、
前記水晶振動子は、前記往復移動を行う前記蒸発源容器との対向状態が維持されるように移動することを特徴とする。
上記目的を達成するため、本発明の成膜方法は、
チャンバ内において成膜対象物の下方に配置され、上方に開口する噴射口を有する蒸発源容器を加熱し、前記蒸発源容器に収容された成膜材料を蒸発させることによって、前記チャンバ内においてその被成膜面を下方に向けた状態で前記被成膜面に垂直な回転軸周りに回転される前記成膜対象物に、前記成膜材料による膜を形成する成膜方法であって、
前記蒸発源容器を、前記回転軸の方向に見たときに、前記蒸発源容器が前記成膜対象物と重ならない離間位置に位置させる第1のステップと、
前記蒸発源容器を、前記離間位置から、前記回転軸と直交する方向に、前記回転軸に近接する近接位置へ移動させる第2のステップと、
前記蒸発源容器を、前記近接位置から前記離間位置へ移動させる第3のステップと、
を有し、
前記蒸発源容器から蒸発した前記成膜材料の前記成膜対象物に対する成膜レートを取得するための成膜モニタに備えられた水晶振動子と前記蒸発源容器との対向状態を、前記第1のステップから前記第3のステップの間、維持するように、前記水晶振動子を移動させることを特徴とする。
図1〜図4を参照して、本発明の実施例に係る成膜装置について説明する。本実施例に係る成膜装置は、真空蒸着により基板に薄膜を成膜する成膜装置である。
Luminescence)素子などの有機発光素子や、有機薄膜太陽電池などの有機光電変換素子の製造において特に好ましく適用可能である。なお、本発明における電子デバイスは、発光素子を備えた表示装置(例えば有機EL表示装置)や照明装置(例えば有機EL照明装置)、光電変換素子を備えたセンサ(例えば有機CMOSイメージセンサ)も含むものである。本実施例に係る成膜装置は、スパッタ装置等を含む成膜システムの一部として用いることができる。
図1は、本発明の実施例に係る成膜装置1の構成を示す模式図である。成膜装置1は、排気装置24、ガス供給装置25により、内部が真空雰囲気か窒素ガスなどの不活性ガス雰囲気に維持される真空チャンバ(成膜室、蒸着室)200を有する。なお、本明細書において「真空」とは、大気圧より低い圧力の気体で満たされた空間内の状態をいう。
なお、基板保持ユニット210による具体的な基板100の保持構成としては、基板100の端部を把持することで保持する構成や、基板100の裏面を吸着することで保持する構成など、従来既知の構成を適宜採用することができる。また、基板100の被成膜面100aを、被成膜面100aに形成する薄膜パターンに対応した開口パターンを有するマスクで覆う(マスクの上面に基板100を載置する)態様で、基板100を保持する構成が採用される場合もある。
なお、容器301の構成としては、ノズル303は必須の構成ではなく、ノズル303
が無く噴射口のみが開口した構成であってもよい。
蒸発源装置300は、その他、図示は省略しているが、ヒータ302による加熱効率を高めるためのリフレクタや伝熱部材、それらを含む蒸発源装置300の各構成全体を収容する枠体、シャッタなどが備えられる場合がある。
図2は、本実施例に係る成膜レートモニタ装置4の概略構成を示す模式図である。図2に示すように、本実施例に係る成膜レートモニタ装置4は、モニタヘッド41や遮蔽部材(チョッパ)42などを備えるモニタユニット40と、モニタ制御部21と、を備える。モニタユニット40は、モニタヘッド41と、遮蔽部材42と、モニタヘッド41に組み込まれた水晶ホルダ(回転支持体)44の回転駆動源としてのサーボモータ46と、遮蔽部材42の回転駆動源としてのサーボモータ45と、を備える。モニタ制御部21は、遮蔽部材42の回転駆動を制御する遮蔽部材制御部(回転制御部)212と、水晶振動子43の共振周波数(の変化量)の取得を行う成膜レート取得部213と、水晶ホルダ44の回転駆動を制御するホルダ制御部214と、を有する。
ニタ開口41aを介して外部に暴露される水晶振動子43を順次切り替えることができるように構成されている。すなわち、水晶ホルダ44に支持された複数の水晶振動子43のうち、1つの水晶振動子43aがモニタ開口41aと位相が重なる位置にあり、他の水晶振動子43bは、使用済み又は交換用の水晶振動子として、モニタヘッド41の内部に隠れた位置にある。モニタ開口41aを介して外部に暴露されている水晶振動子43が、成膜材料304の付着量が所定量を超えて寿命に到達すると、水晶ホルダ44が回転して、新しい水晶振動子43を、モニタ開口41aと重なる暴露位置に移動させる。
ホルダ制御部214によるサーボモータ46の回転制御は、検出部48aと被検出部48bとからなる位相位置検出手段48が検出する水晶ホルダ44の回転位置(回転位相)に基づいて行われる。なお、位置(位相)検知手段としては、ロータリーエンコーダ等の既知の位置センサを用いてもよい。
遮蔽部材制御部212によるサーボモータ45の回転制御は、検出部47aと被検出部47bとからなる位相位置検出手段47が検出する遮蔽部材42の回転位置(回転位相)に基づいて行われる。なお、位置(位相)検知手段としては、ロータリーエンコーダ等の既知の位置センサを用いてもよい。
なお、ここで示した成膜レートモニタ装置の構成はあくまで一例であり、これに限定されるものではなく、既知の種々の構成を適宜採用してよい。
ヒータ302の発熱量は、ヒータ302に供給される電力量(電流値)が電源回路を含む加熱制御部22により制御されることで制御される。電力供給量は、例えば、不図示の温度検出手段により検出される温度が、所望の成膜レートを得るのに適した所定の制御目
標温度に維持されるようにPID制御にて調整される。所定の成膜レートを維持できるヒータ302の発熱量(ヒータ302への供給電力)を、所定の時間維持することで、基板100の被成膜面100aに所望の膜厚の薄膜を成膜することができる(膜厚=成膜レート[Å/S]×時間[t])。
レート制御では、成膜レートモニタ装置4により取得される成膜レートのモニタ値(実測値)が所望の目標レート(理論値)と一致するように制御目標温度が適時変更され、設定される制御目標温度に応じてヒータ302への供給電力量が制御される。
本実施例では、成膜レートモニタ装置4により取得される成膜レートのモニタ値(実測値)に依らずにヒータ302への供給電力量を決定する電力制御として、平均パワー制御を用いている。平均パワー制御では、供給電力の過去数サンプリングの移動平均を目標電力量として、かかる目標電力量を維持するようにヒータ302への電力供給を制御する制御方法である。なお、予め設定された電力量(目標電力量)を維持するようにヒータ302に電力供給するパワー制御を用いてもよい。これらの電力制御では、成膜レートを、成膜材料の種類や基板と蒸発源との相対速度等の成膜条件に基づいて設定される理論値を用いて膜厚を制御する。
本実施例に係る成膜装置1は、回転する基板100に対して蒸発源装置300を相対移動させながら成膜処理を行うこと、その際、蒸発源装置300とモニタユニット40との相対位置を変化させないことを特徴とする。また、基板100に対する蒸発源装置300の相対移動のさせ方においても特徴がある。蒸発源装置300は、基板100の回転軸線から離間した離間位置と、回転軸線に近接した近接位置と、の間を往復移動するように構成されている。上記離間位置は、基板100の被成膜面100aに垂直な方向(基板1000の回転軸線Y1の方向)に見たときに、蒸発源装置300(ノズル303の開口)が基板100の真下から外れた位置である。上記近接位置は、同方向に見たときに、蒸発源装置300が基板100の真下に隠れた位置であって、かつ基板100の回転中心(回転軸線Y1)に近接する位置である。成膜工程の間、蒸発源装置300は、離間位置から近接位置、近接位置から再び離間位置への往復移動を、少なくとも1回行う。その間、蒸発源装置300とモニタユニット40との相対位置(蒸発源装置300と水晶振動子43との対向方向や対向距離などの対向状態)は維持される。
本実施例に係る成膜装置1は、蒸発源装置300とモニタユニット40を支持するアーム(アーム部)51と、アーム51を支持する回転軸52と、回転軸52を回転させる回転駆動部53と、を備える可動支持機構50を備える。
200の底部を略垂直に貫通するように設けられ、真空チャンバ200内部の上端部においてアーム51を支持し、真空チャンバ200外部の下端部が回転駆動部53に連結されている。回転軸52は、真空チャンバ200の底部軸孔に対してベアリング等により軸支され、軸孔との隙間が磁性流体シールで封止されている。真空チャンバ200の外部に配置された回転駆動部53は、制御部20の制御により、モータ等の動力源から得られる回転駆動力によって回転軸52を回転させる。回転軸52の回転により、アーム51に支持される蒸発源装置300とモニタユニット40は、真空チャンバ200内部において一体的に回転する。回転軸52の回転軸線(第2の回転軸)Y2は、基板100の回転軸線Y1と平行である。蒸発源装置300は、回転軸52の回転により、回転軸線Y2を中心とする円弧状の軌跡を描いて、基板100の回転軸線Y1に対し水平方向に進退する移動(回転軸線Y2を支点とした揺動)を行う。アーム51の揺動支点である回転軸線Y2は、蒸発源装置300が配置された一端と、モニタユニット40が配置された他端との間に位置している。
図4(b)の破線は、蒸発源装置300が基板100の回転軸線Y1から離間した離間位置にあるときの各部の配置構成を示している。回転軸線Y1の方向に見たときに、蒸発源装置300は、その全体が基板100の外にあり、回転軸線Y1から大きく離れた配置となっている。
、蒸発源装置300が基板100の回転軸線Y1に近接した位置にあるときの、図4(b)と同様の模式的平面図である。図5(c)は、蒸発源装置300が基板100の回転軸線Y1から離間した位置にあるときの配置関係を示す模式的斜視図である。図5(d)は、蒸発源装置300が基板100の回転軸線Y1に近接した位置にあるときの配置関係を示す模式的斜視図である。
以上のように成膜処理が終了した後も、次の成膜処理に備えるべく、坩堝301の加熱と、成膜レートモニタ装置4による成膜レートのモニタは継続される。
φ300mmのSiウェハ基板100を10〜30rpmで回転させ、ノズル303(噴射口)から基板100までの高さhを300mm、離間位置におけるノズル303と回転軸線Y1との水平方向の距離d1を300mm、近接位置におけるノズル303と回転軸線Y1との水平方向の距離d2を50mmとした。
全体的として中心(回転軸線Y1)から離れるにしたがって右肩下がりの分布を示しているが、離間位置から近接位置への往路(片道)の成膜で形成される中心と外周端との膜厚の差は、近接位置から離間位置への復路の成膜が加わることで低減されていることがわかる。具体的には、膜厚分布は、片道のときに±6.5%だったのが、往復によって±5.0%に低減された。また、往復の成膜による材料収率は2.5%という結果が得られた。
位置で固定して成膜を行った場合を比較例1とし、図5(b)、図5(d)に示す近接位置で固定して成膜を行った場合を比較例2とした。比較例1は、上述の材料収率を重視した先行技術文献と類似した装置構成となる。また、比較例2は、上述の膜厚分布の均一性を重視した従来技術と類似した装置構成となる。
比較例1では、蒸発源装置300の真上が基板100の外周端よりも外側になるため、中心から外周端にかけてなだらかにピークに到達する分布が形成され、膜厚分布は±3.7%と、本実施例よりも良好な結果が得られた。しかしながら、成膜材料304の噴出し量が相対的に多くなる蒸発源装置300の真上の領域が、基板100の被成膜面100aが外れているため、成膜に寄与せずに消費される成膜材料304の量が多くなり、材料収率は1.1%と、本実施例よりも低い結果となった。
比較例2では、蒸発源装置300が回転軸線Y1に近接した位置にあり、蒸発源300の真上を被成膜面100aが覆う配置となるため、基板100の回転中心がピークとなり、外周端に向かって急峻な勾配で膜厚が低下する分布が形成された。成膜に寄与しない成膜材料304が少なくなるため、材料収率は4.2%と、本実施例よりも良好な結果が得られたが、膜厚分布は±10.9%と、本実施例よりも低い結果となった。
本実施例によれば、比較例1、2との対比で説明したように、膜厚分布と材料収率の観点においてバランスの良い成膜が可能となる。すなわち、離間位置と近接位置との間の往復移動により、成膜処理中に蒸発源装置300が基板100の下方に位置する(垂直方向に見て両者が重なる)時間が長くなり、比較例1と比べて、成膜に寄与しない成膜材料304の量を減らすことができる。一方で、成膜処理中に蒸発源装置300が基板100の回転中心(回転軸線Y1近傍)に留まる時間が短くなるため、成膜材料304の局所的な付着量の偏りが低減され、比較例2と比べて、膜厚分布の変動が抑制される。したがって、本実施例によれば、膜厚分布の均一化と材料収率の向上の両立を図ることができる。
本実施例では、離間位置と近接位置との間の往復移動の回数を一往復としていたが、往復回数は限定させるものではない。例えば、一往復させる場合の移動速度よりも早い移動速度で蒸発源装置300を移動させ、二往復以上の往復移動としてもよい。
また、蒸発源装置300の往復移動における移動速度は、往路と復路それぞれで同じ速度でもよいし異ならせてもよい。また、往復の間中、一定の速度でもよいし、途中で変化させてもよい。すなわち、上述したレート制御、平均パワー制御などにおける成膜条件に適宜組み込み、制御内容に応じて適宜に設定してよい。
する相対位置を直線軌道で変化させるような構成でもよい。
なお、図7に示す構成例は、蒸発源装置300が3つ備えたものになっているが、蒸発源装置300を2つ備えた構成や、4つ以上備えた構成であってもよい。
Claims (8)
- チャンバと、
前記チャンバ内において、成膜対象物を、その被成膜面を下方に向けた状態で前記被成膜面に垂直な回転軸周りに回転可能に支持する回転支持部と、
前記チャンバ内において、成膜材料を収容し、前記成膜対象物の下方に配置され、上方に開口する噴射口を有する蒸発源容器と、
前記蒸発源容器から蒸発した前記成膜材料が付着する水晶振動子を有し、前記蒸発源容器から蒸発した前記成膜材料の前記成膜対象物に対する成膜レートを取得する成膜モニタと、
前記蒸発源容器を加熱する加熱源を有し、前記成膜モニタが取得する前記成膜レートに基づいて、前記加熱源へ供給する電力を制御する加熱制御部と、
を備える成膜装置において、
前記蒸発源容器は、前記回転軸と直交する方向において、前記回転軸から離れた離間位置から前記回転軸に近接する近接位置へ移動し、再び前記離間位置へ戻る往復移動を行い、
前記水晶振動子は、前記往復移動を行う前記蒸発源容器との対向状態が維持されるように移動することを特徴とする成膜装置。 - 前記離間位置は、前記回転軸の方向に見たときに、前記蒸発源容器が前記成膜対象物と重ならない位置であることを特徴とする請求項1に記載の成膜装置。
- 前記蒸発源容器と、前記水晶振動子が備えられたモニタユニットと、を一体的に支持し、かつ前記チャンバ内を移動させる可動支持機構をさらに備えることを特徴とする請求項1または2に記載の成膜装置。
- 前記可動支持機構は、前記チャンバ内において前記成膜対象物の回転軸と平行な第2の回転軸を支点に揺動することが可能な、前記第2の回転軸と直交する方向に延びるアーム部を有し、
前記アーム部の前記第2の回転軸に対して一方の側に、前記蒸発源容器が配置され、他方の側に、前記モニタユニットが配置されていることを特徴とする請求項3に記載の成膜装置。 - 前記蒸発源容器が前記離間位置にあるときに、前記噴射口を覆う閉位置と、覆わない開位置とに移動可能に構成されたシャッタをさらに備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の成膜装置。
- 前記シャッタは、前記閉位置にあるときに、前記蒸発源容器から蒸発した前記成膜材料の前記水晶振動子への付着を許容する切り欠き部を有することを特徴とする請求項5に記
載の成膜装置。 - 前記蒸発源容器及び前記成膜モニタをそれぞれ複数備えることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の成膜装置。
- チャンバ内において成膜対象物の下方に配置され、上方に開口する噴射口を有する蒸発源容器を加熱し、前記蒸発源容器に収容された成膜材料を蒸発させることによって、前記チャンバ内においてその被成膜面を下方に向けた状態で前記被成膜面に垂直な回転軸周りに回転される前記成膜対象物に、前記成膜材料による膜を形成する成膜方法であって、
前記蒸発源容器を、前記回転軸の方向に見たときに、前記蒸発源容器が前記成膜対象物と重ならない離間位置に位置させる第1のステップと、
前記蒸発源容器を、前記離間位置から、前記回転軸と直交する方向に、前記回転軸に近接する近接位置へ移動させる第2のステップと、
前記蒸発源容器を、前記近接位置から前記離間位置へ移動させる第3のステップと、
を有し、
前記蒸発源容器から蒸発した前記成膜材料の前記成膜対象物に対する成膜レートを取得するための成膜モニタに備えられた水晶振動子と前記蒸発源容器との対向状態を、前記第1のステップから前記第3のステップの間、維持するように、前記水晶振動子を移動させることを特徴とする成膜方法。
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