JP2020140749A - ディスク装置用サスペンション - Google Patents

Abstract

【課題】フレキシャの揺れを効果的に抑制できるサスペンションを提供する。【解決手段】ロードビーム２１の第１の面２１ａに沿ってフレキシャ２２が配置されている。フレキシャ２２は、スライダ１１が搭載されるタング４５と、第１のアウトリガーアーム５１と、第２のアウトリガーアーム５２とを含んでいる。第１のアウトリガーアーム５１の根元部５１ｃに第１のダンパー材８２が設けられている。第１のダンパー材８２は、ロードビーム２１に形成された第１の開口８１を含む第１の開口部において、ロードビーム２１と第１のアウトリガー根元部５１ｃとの双方に接着している。第２のアウトリガーアーム５２の根元部５２ｃに第２のダンパー材９２が設けられている。第２のダンパー材９２は、第２の開口９１を含む第２の開口部において、ロードビーム２１と第２のアウトリガー根元部５２ｃとの双方に接着している。【選択図】図５

Description

この発明はハードディスク装置等に使われるディスク装置用サスペンションに係り、特にフレキシャの揺れを抑制する制振手段を備えたサスペンションに関する。

パーソナルコンピュータ等の情報処理装置に、ハードディスク装置（ＨＤＤ）が使用されている。ハードディスク装置は、スピンドルを中心に回転する磁気ディスクと、ピボット軸を中心に旋回するキャリッジなどを含んでいる。キャリッジはアクチュエータアームを有し、ボイスコイルモータ等のポジショニング用モータによって、ピボット軸を中心にディスクのトラック幅方向に旋回する。

前記アクチュエータアームにディスク装置用サスペンション（これ以降、単にサスペンションと称す）が取付けられている。サスペンションは、ロードビーム(load beam)と、ロードビームに重ねて配置されたフレキシャ(flexure)などを含んでいる。フレキシャの先端付近に形成されたジンバル部に、磁気ヘッドを構成するスライダが設けられている。スライダには、データの読取りあるいは書込み等のアクセスを行なうための素子（トランスジューサ）が設けられている。これらロードビームやフレキシャおよびスライダ等によって、ヘッドジンバルアセンブリが構成されている。

前記ジンバル部は、スライダを搭載するタングと、タングの近傍の両側に形成された第１のアウトリガーおよび第２のアウトリガーを含んでいる。これらアウトリガーは、それぞれフレキシャの両側部の外側に張り出す形状である。第１のアウトリガーと第２のアウトリガーの長さ方向の両端部付近は、それぞれ、例えばレーザ溶接等による固定部によってロードビームに固定されている。第１のアウトリガーと第２のアウトリガーは、それぞれ厚さ方向にばねのように撓むことができ、タングのジンバル運動を確保する上で重要な役割を担っている。

ディスクの高記録密度化に対応するためには、ヘッドジンバルアセンブリをさらに小形化し、かつディスクの記録面に対してスライダをさらに高精度に位置決めできるようにすることが必要である。そのためには、ヘッドジンバルアセンブリに要求されるジンバル運動を確保した上で、フレキシャの揺れを極力小さくする必要がある。例えば特許文献１や特許文献２に記載されているように、フレキシャの揺れを抑制するために、サスペンションの一部にダンパー材を設けることも知られている。

米国特許第６,９６７,８２１号明細書 特開２０１０−８６６３０号公報

振動が入力したときのフレキシャの揺れを小さくするには、アウトリガーの揺れを抑制することが効果的な場合がある。このためアウトリガーそのものにダンパー材を設けることも考えられた。つまりアウトリガーにダンパー材を貼り付けることにより、アウトリガーとダンパー材とが一体に動くようにする。しかしながらアウトリガーにダンパー材を貼り付けると、フレキシャの揺れを抑制できる反面、フレキシャの剛性が大きくなってしまうという問題がある。たとえばアウトリガーの長さ方向に延びるダンパー材をアウトリガーに貼り付けたフレキシャは、ダンパー材を有しないフレキシャと比較して、ピッチ方向の剛性とロール方向の剛性が増加するため、ジンバル運動にとって好ましくない。

従ってこの発明の目的は、フレキシャの揺れを効果的に抑制できるとともに、フレキシャの剛性が大きくなることも抑制できるディスク装置用サスペンションを提供することにある。

ディスク装置用サスペンションの１つの実施形態は、第１の面と前記第１の面とは反対側の第２の面とを有するロードビームと、前記ロードビームの前記第１の面に沿って配置されスライダが搭載されるタングと、前記タングの幅方向の両外側に配置されそれぞれ前記ロードビームの長さ方向に延びる第１のアウトリガーアームおよび第２のアウトリガーアームとを有したフレキシャと、前記第１のアウトリガーアームの基部と第２のアウトリガーアームの基部とを前記ロードビームに固定する固定部と、第１のアウトリガー制振部と、第２のアウトリガー制振部とを具備している。

前記第１のアウトリガー制振部は、前記第１のアウトリガーアームの前記基部を含む第１のアウトリガー根元部に配置された第１のダンパー材を有し、前記第１のダンパー材の一部が前記ロードビームに接着し、かつ、前記第１のダンパー材の他の一部が前記第１のアウトリガーアームに接着している。

前記第２のアウトリガー制振部は、前記第２のアウトリガーアームの前記基部を含む第２のアウトリガー根元部に配置された第２のダンパー材を有し、前記第２のダンパー材の一部が前記ロードビームに接着し、かつ、前記第２のダンパー材の他の一部が前記第２のアウトリガーアームに接着している。

前記第１のアウトリガーアームと前記第２のアウトリガーアームとは、それぞれフレキシャのメタルベースの一部からなり、前記タングの両外側に張り出す形状である。第１のアウトリガーアームと第２のアウトリガーアームとは、それぞれフレキシャの厚さ方向にばねのように撓むことができる。

前記第１のアウトリガー制振部の一例は、前記ロードビームに形成された第１の開口を含む第１の開口部と、前記第１のダンパー材の一部で前記ロードビームの前記第２の面に接着した第１のロードビーム接着部と、前記第１のダンパー材の他の一部で前記第１の開口の内側にて前記第１のアウトリガー根元部に接着した第１のアウトリガー接着部とを有している。

前記第２のアウトリガー制振部の一例は、前記ロードビームに形成された第２の開口を含む第２の開口部と、前記第２のダンパー材の一部で前記ロードビームの前記第２の面に接着した第２のロードビーム接着部と、前記第２のダンパー材の他の一部で前記第２の開口の内側にて前記第２のアウトリガー根元部に接着した第２のアウトリガー接着部とを有している。

前記第１のアウトリガー制振部が、前記第１の開口の内側にて前記第１のダンパー材と前記第１のアウトリガー根元部との間に設けられた第１のスペーサを具備してもよい。また前記第２のアウトリガー制振部が、前記第２の開口の内側にて前記第２のダンパー材と前記第２のアウトリガー根元部との間に設けられた第２のスペーサを具備してもよい。

前記第１のアウトリガー制振部が、前記第１の開口を覆う形状の前記第１のダンパー材と、前記第１の開口の周りに存する前記第１のロードビーム接着部と、前記第１の開口の内側に存する前記第１のアウトリガー接着部とを具備してもよい。また前記第２のアウトリガー制振部が、前記第２の開口を覆う形状の前記第２のダンパー材と、前記第２の開口の周りに存する前記第２のロードビーム接着部と、前記第２の開口の内側に存する前記第２のアウトリガー接着部とを具備してもよい。

前記第１のアウトリガー制振部が、前記第１の開口の長さ方向に延びる長方形の前記第１のダンパー材と、前記第１のダンパー材の両端部に存する前記第１のロードビーム接着部と、前記第１の開口の内側に存する前記第１のアウトリガー接着部とを具備してもよい。また前記第２のアウトリガー制振部が、前記第２の開口の長さ方向に延びる長方形の前記第２のダンパー材と、前記第２のダンパー材の両端部に存する前記第２のロードビーム接着部と、前記第２の開口の内側に存する前記第２のアウトリガー接着部とを具備してもよい。

前記第１のアウトリガー制振部が、前記第１の開口の長さ方向に延びる縦部と前記第１の開口の幅方向に延びる横部とを含む十字形の前記第１のダンパー材を具備してもよい。また、前記第２のアウトリガー制振部が、前記第２の開口の長さ方向に延びる縦部と前記第２の開口の幅方向に延びる横部とを含む十字形の前記第２のダンパー材を具備してもよい。

前記第１のアウトリガー制振部が、前記第１のアウトリガーアームの長さ方向の一部で前記第１の開口に入る第１の折曲げ部と、前記第１の開口において前記第１の折曲げ部と前記第１のダンパー材とが接着した前記第１のアウトリガー接着部を具備してもよい。前記第２のアウトリガー制振部が、前記第２のアウトリガーアームの長さ方向の一部で前記第２の開口に入る第２の折曲げ部と、前記第２の開口において前記第２の折曲げ部と前記第２のダンパー材とが接着した前記第２のアウトリガー接着部を具備してもよい。

前記第１のアウトリガー制振部が、前記ロードビームの前記第１の面に配置された前記第１のダンパー材と、前記第１のダンパー材の一部で前記第１の面に接着した第１のロードビーム接着部と、前記第１のダンパー材の他の一部で前記第１のアウトリガー根元部に接着した第１のアウトリガー接着部とを具備してもよい。また前記第２のアウトリガー制振部が、前記ロードビームの前記第１の面に配置された前記第２のダンパー材と、前記第２のダンパー材の一部で前記第１の面に接着した第２のロードビーム接着部と、前記第２のダンパー材の他の一部で前記第２のアウトリガー根元部に接着した第２のアウトリガー接着部とを具備してもよい。

本発明によれば、タングと第１のアウトリガーアームおよび第２のアウトリガーアームを有するフレキシャの揺れを、第１のアウトリガー制振部および第２のアウトリガー制振部によって効果的に抑制することができる。しかもフレキシャの剛性が大きくなることを抑制でき、ジンバル運動に悪影響が生じることを回避できる。

ディスク装置の一例を示す斜視図。 図１に示されたディスク装置の一部の断面図。 第１の実施形態に係るディスク装置用サスペンションの斜視図。 図３に示されたサスペンションの一部をスライダ側から見た斜視図。 図４に示されたサスペンションの一部の平面図。 図５中のＦ６−Ｆ６線に沿うサスペンションの一部の断面図。 図４に示されたサスペンションのアウトリガー制振部を模式的に表わした平面図。 図７中のＦ８−Ｆ８線に沿うアウトリガー制振部の断面図。 同サスペンションにおいて、アウトリガー制振部を有する場合と、アウトリガー制振部を有しない場合とで、それぞれのフレキシャの振動強度を表した図。 同サスペンションにおいて、アウトリガー制振部を有する場合と、アウトリガー制振部を有しない場合とで、それぞれのフレキシャの剛性を示した図。 第２の実施形態に係るアウトリガー制振部を模式的に表わした平面図。 第３の実施形態に係るアウトリガー制振部を模式的に表わした平面図。 第４の実施形態に係るアウトリガー制振部の断面図。 第５の実施形態に係るアウトリガー制振部の断面図。 第６の実施形態に係るアウトリガー制振部の断面図。 比較例を示すサスペンションの一部の平面図。 図１６に示されたサスペンションにおいて、ダンパー材を有する場合と、ダンパー材を有しない場合とで、それぞれのフレキシャの剛性を示した図。

以下に第１の実施形態に係るディスク装置用サスペンションについて、図１から図１０を参照して説明する。
図１に示すディスク装置（ＨＤＤ）１は、ケース２と、スピンドル３を中心に回転するディスク４と、ピボット軸５を中心に旋回可能なキャリッジ６と、キャリッジ６を駆動するためのポジショニング用モータ（ボイスコイルモータ）７などを有している。ケース２は、図示しない蓋によって密閉される。

図２はディスク装置１の一部を模式的に示す断面図である。図１と図２に示されるように、キャリッジ６にアーム（キャリッジアーム）８が設けられている。アーム８の先端部にサスペンション１０が取付けられている。サスペンション１０の先端部に、磁気ヘッドを構成するスライダ１１が設けられている。ディスク４が高速で回転すると、ディスク４とスライダ１１との間に空気が流入することによって、エアベアリングが形成される。

ポジショニング用モータ７によってキャリッジ６が旋回すると、サスペンション１０がディスク４の径方向に移動することにより、スライダ１１がディスク４の所望トラックまで移動する。

図３に示されたサスペンション１０は、キャリッジ６のアーム８（図１と図２に示す）に固定されるベースプレート２０と、ロードビーム２１と、フレキシャ２２とを備えている。ベースプレート２０には、前記アーム８に形成された孔８ａ（図２に示す）に挿入されるボス部２０ａが形成されている。

図３に矢印Ｘで示す方向がロードビーム２１とフレキシャ２２の長さ方向、すなわちサスペンション１０の長さ方向である。フレキシャ２２はロードビーム２１に沿って配置され、ロードビーム２１の長さ方向に延びている。矢印Ｙがスウェイ方向（フレキシャ２２の幅方向）である。ロードビーム２１は、フレキシャ２２が配置される側である第１の面２１ａと、第１の面２１ａとは反対側の第２の面２１ｂとを有している。ロードビーム２１には必要に応じてダンパー部材２５が設けられている。

図４は、サスペンション１０の先端側の一部をスライダ１１側から見た斜視図である。磁気ヘッドをなすスライダ１１の先端部には、例えばＭＲ素子のように磁気信号と電気信号とを変換可能な素子２８が設けられている。これらの素子２８によって、ディスク４に対するデータの書込みあるいは読取り等のアクセスが行なわれる。スライダ１１と、ロードビーム２１と、フレキシャ２２などによって、ヘッドジンバルアセンブリ（head gimbal assembly）が構成されている。フレキシャ２２はロードビーム２１の第１の面２１ａに配置されている。

フレキシャ２２は、薄いステンレス鋼の板からなるメタルベース４０と、メタルベース４０に沿って配置された配線部４１とを有している。メタルベース４０の厚さ（例えば１２〜２５μｍ）は、ロードビーム２１の厚さ（例えば３０μｍ）よりも小さい。メタルベース４０の厚さの一例は２０μｍである。配線部４１の一部は、スライダ１１用の端子４１ａ（図４に示す）を介してスライダ１１の素子２８に電気的に接続されている。

図５はサスペンション１０の先端部付近をスライダ１１側から見た平面図である。メタルベース４０の一部に、スライダ１１が搭載されるタング４５が形成されている。タング４５の幅方向（図５に矢印Ｙ１で示す方向）の両外側に、それぞれ第１のアウトリガーアーム５１と、第２のアウトリガーアーム５２とが形成されている。第１のアウトリガーアーム５１と第２のアウトリガーアーム５２とは、タング４５の幅方向の両側部の外側に張り出す形状である。タング４５と一対のアウトリガーアーム５１，５２とは、いずれもメタルベース４０の一部であり、例えばエッチングによってそれぞれの輪郭が形成されている。

図６は、サスペンション１０の一部で図５中のＦ６−Ｆ６線に沿う断面図である。ロードビーム２１の先端付近に、タング４５に向かって突出するディンプル５５が形成されている。ディンプル５５の先端５５ａがタング４５に接している。タング４５は、ディンプル５５の先端５５ａを中心として揺動し、所望のジンバル運動をなすことができる。タング４５とアウトリガーアーム５１，５２とディンプル５５などによってジンバル部５６が構成されている。

第１のアウトリガーアーム５１はタング４５の一方の側部の外側に配置され、フレキシャ２２の長さ方向（図５に矢印Ｘで示す）に延びている。第１のアウトリガーアーム５１の基部５１ａは、固定部６１によってロードビーム２１に固定されている。第１のアウトリガーアーム５１の先端側アーム部５１ｂはフレキシャ２２の先端部２２ａに連なっている。フレキシャ２２の先端部２２ａは固定部６２によってロードビーム２１の先端付近に固定されている。固定部６１，６２は、例えばレーザスポット溶接等によって形成されている。第１のアウトリガーアーム５１は、長さ方向の両端部が固定部６１，６２によって支持され、固定部６１，６２の間の部分がメタルベース４０の厚さ方向に撓むことができる。

この明細書では、第１のアウトリガーアーム５１の長さ方向の一部で固定部６１を含む基部５１ａ寄りの部分（基部５１ａの近傍）を第１のアウトリガー根元部５１ｃと称す。図５に示すように第１のアウトリガー根元部５１ｃは、角度θ１をなして曲がった形状となっている。第１のアウトリガーアーム５１の先端部付近は、接続部５１ｄを介してタング４５の一方の側部に接続されている。

第２のアウトリガーアーム５２はタング４５の他方の側部の外側に配置され、フレキシャ２２の長さ方向（図５に矢印Ｘで示す）に延びている。第２のアウトリガーアーム５２の基部５２ａは、固定部６３によってロードビーム２１に固定されている。第２のアウトリガーアーム５２の先端側アーム部５２ｂはフレキシャ２２の先端部２２ａに連なっている。

この明細書では、第２のアウトリガーアーム５２の長さ方向の一部で固定部６３を含む基部５２ａ寄りの部分（基部５２ａの近傍）を第２のアウトリガー根元部５２ｃと称す。図５に示すように第２のアウトリガー根元部５２ｃは、角度θ２をなして曲がった形状となっている。第２のアウトリガーアーム５２の先端部付近は、接続部５２ｄを介してタング４５の他方の側部に接続されている。

第２のアウトリガーアーム５２は、長さ方向の両端部が固定部６２，６３によって支持されている。このため固定部６２，６３の間の部分がメタルベース４０の厚さ方向に撓むことができる。このようにタング４５は、第１のアウトリガーアーム５１と第２のアウトリガーアーム５２とによって弾性的に支持され、ディンプル５５を支点として揺動することができる。

ジンバル部５６に一対のマイクロアクチュエータ素子６５，６６が搭載されている。マイクロアクチュエータ素子６５，６６はそれぞれ圧電材料からなり、スライダ１１の両側に配置されている。第１のマイクロアクチュエータ素子６５の両端部６５ａ，６５ｂは、それぞれタング４５のアクチュエータ支持部７０，７１に固定されている。第２のマイクロアクチュエータ素子６６の両端部６６ａ，６６ｂは、それぞれタング４５のアクチュエータ支持部７２，７３に固定されている。

マイクロアクチュエータ素子６５，６６は、タング４５をスウェイ方向（図３に矢印Ｙで示す方向）に回動させる機能を有している。タング４５の一方の側部と第１のアウトリガーアーム５１との間に、タング４５の過剰な揺れを抑制するリミッタ部材７５が設けられている。タング４５の他方の側部と第２のアウトリガーアーム５２との間にもリミッタ部材７６が設けられている。

本実施形態のサスペンション１０は、第１のアウトリガーアーム５１に対応する第１のアウトリガー制振部８０と、第２のアウトリガーアーム５２に対応する第２のアウトリガー制振部９０とを備えている。第１のアウトリガー制振部８０と第２のアウトリガー制振部９０とは、それぞれフレキシャ２２の揺れを抑制する制振手段として機能する。

図７は、第１のアウトリガー制振部８０と第２のアウトリガー制振部９０とを模式的に表わした平面図である。第１のアウトリガー制振部８０と第２のアウトリガー制振部９０とは互いに左右対称形であるが、両者の構成は互いに実質的に共通である。図８は第１のアウトリガー制振部８０の断面図である。第１のアウトリガー制振部８０は、ロードビーム２１に形成された第１の開口８１と、第１のアウトリガー根元部５１ｃに設けられた第１のダンパー材８２とを含んでいる。第１の開口８１はロードビーム２１の厚さ方向に貫通している。第１のダンパー材８２はロードビーム２１の第２の面２１ｂに配置されている。この明細書では、第１の開口８１とその周縁部を含む部分を第１の開口部と称している。

第１の開口部に第１のダンパー材８２が設けられている。第１のダンパー材８２は第１の開口８１を覆うことができる大きさである。図８に示すように第１のダンパー材８２は粘弾性層（viscoelastic material layer）８３と拘束板（constrained plate）８４とを有している。粘弾性層８３は、変形したときに粘性抵抗を発揮することができる高分子材料（例えばアクリル系樹脂）からなり、粘着性を有している。粘弾性層８３の厚さは、例えば５１μｍである。拘束板８４はポリエステル等の合成樹脂からなり、粘弾性層８３の厚さ方向に積層されている。拘束板８４の厚さは、例えば５１μｍである。

図３〜図５，図７に示すように、第１のアウトリガーアーム５１の長さ方向の一部である第１のアウトリガー根元部５１ｃは、第１の開口８１を臨む位置に配置されている。第１のダンパー材８２は、第１の開口８１を覆うようロードビーム２１の第２の面２１ｂに配置されている。第１のダンパー材８２は、第１の開口８１を覆った状態において、粘弾性層８３自身の接着力により、ロードビーム２１の第２の面２１ｂと、第１のアウトリガー根元部５１ｃとの双方に固定されている。

このように第１のダンパー材８２の粘弾性層８３の一部が、第１の開口部においてロードビーム２１の第２の面２１ｂに接着することにより、第１のロードビーム接着部８５が形成されている。さらに第１のダンパー材８２の粘弾性層８３の他の一部が、第１の開口８１の内側にて第１のアウトリガー根元部５１ｃに接着することにより、第１のアウトリガー接着部８６が形成されている。

図８に示すように、第１のアウトリガー制振部８０が第１のスペーサ８７を含んでいてもよい。第１のスペーサ８７は、第１のダンパー材８２の粘弾性層８３と第１のアウトリガー根元部５１ｃとの間に配置されている。第１のスペーサ８７の厚さは、ロードビーム２１の厚さと同等であるとよい。第１のスペーサ８７の一方の面（アウトリガー根元部５１ｃと対向する面）に接着層が設けられている。第１のダンパー材８２が第１のスペーサ８７を介して第１のアウトリガーアーム５１に接着することにより、第１のダンパー材８２と第１のアウトリガー根元部５１ｃとの間に第１のアウトリガー接着部８６が形成される。

第２のアウトリガー制振部９０は、第１のアウトリガー制振部８０と同様に、ロードビーム２１に形成された第２の開口９１と、第２のアウトリガー根元部５２ｃに設けられた第２のダンパー材９２とを含んでいる。第２の開口９１はロードビーム２１の厚さ方向に貫通している。第２のダンパー材９２はロードビーム２１の第２の面２１ｂに配置されている。この明細書では、第２の開口９１とその周縁部を含む部分を第２の開口部と称している。

第２の開口部に第２のダンパー材９２が設けられている。第２のダンパー材９２は、第２の開口９１を覆うことができる大きさである。第２のダンパー材９２は第１のダンパー材８２と同様に粘弾性層８３と拘束板８４（図８に示す）とを有している。

図３〜図５，図７に示すように、第２のアウトリガーアーム５２の長さ方向の一部である第２のアウトリガー根元部５２ｃは、第２の開口９１を臨む位置に配置されている。第２のダンパー材９２は、第２の開口９１を覆うようロードビーム２１の第２の面２１ｂに配置されている。第２のダンパー材９２は、第２の開口９１を覆った状態において、粘弾性層自身の接着力により、ロードビーム２１の第２の面２１ｂと、第２のアウトリガー根元部５２ｃとの双方に固定されている。

このように第２のダンパー材９２の粘弾性層の一部が、第２の開口部においてロードビーム２１の第２の面２１ｂに接着することにより、第２のロードビーム接着部９５が形成されている。さらに第２のダンパー材９２の粘弾性層の他の一部が、第２の開口９１の内側にて第２のアウトリガー根元部５２ｃに接着することにより、第２のアウトリガー接着部９６が形成されている。

第２のアウトリガー制振部９０は、第１のスペーサ８７（図８に示す）と同様の第２のスペーサ９７を含んでいる。第２のスペーサ９７は、第２のダンパー材９２の粘弾性層と第２のアウトリガー根元部５２ｃとの間に設けられている。第２のスペーサ９７を介して第２のダンパー材９２が第２のアウトリガーアーム５２に接着している。第２のスペーサ９７の厚さは、ロードビーム２１の厚さと同等であるとよい。

以下に本実施形態のサスペンション１０の動作について説明する。
ポジショニング用モータ７によってキャリッジ６（図１と図２に示す）が旋回すると、サスペンション１０がディスク４の径方向に移動することにより、磁気ヘッドのスライダ１１がディスク４の記録面の所望トラックまで移動する。マイクロアクチュエータ素子６５，６６に電圧が印加されると、電圧に応じてマイクロアクチュエータ素子６５，６６が歪むことにより、ロードビーム２１をスウェイ方向（図３に矢印Ｙで示す方向）に微小量移動させることができる。

本実施形態のサスペンション１０は、一対のアウトリガーアーム５１，５２の基部５１ａ，５２ａを含むアウトリガー根元部５１ｃ，５２ｃに、それぞれアウトリガー制振部８０，９０を備えている。フレキシャ２２を振動させるエネルギーが外部から入力すると、ダンパー材８２，９２のそれぞれの粘弾性層８３が変形し、粘弾性層８３を構成する分子の摩擦による内部抵抗を生じる。このため振動エネルギーが熱エネルギーに変換され、フレキシャ２２の揺れを抑制することができる。

図９は、アウトリガー制振部８０，９０を備えた本実施形態のサスペンション１０と、アウトリガー制振部８０，９０を有しないサスペンションをそれぞれ加振させたときの周波数応答特性を示している。図９中の実線Ｓ１は、アウトリガー制振部８０，９０を有するサスペンション１０の周波数応答特性である。図９中の破線Ｓ２は、アウトリガー制振部８０，９０を有しないサスペンションの周波数応答特性である。アウトリガー制振部８０，９０を有するサスペンション１０は、アウトリガー制振部８０，９０を有しないサスペンションと比較して、１０〜１１ＫＨｚ付近のトーションモードと、１５ＫＨｚ付近のゲインが低く抑えられている。

図１０中のＡ，Ｂは、それぞれアウトリガー制振部８０，９０を有するフレキシャ２２のピッチ方向の剛性とロール方向の剛性とを示している。図１０中のＣ，Ｄは、それぞれアウトリガー制振部８０，９０を有しないフレキシャのピッチ方向の剛性とロール方向の剛性とを示している。図１０のＡ，Ｃに示されるように、ピッチ方向の剛性に関して、アウトリガー制振部８０，９０を有するフレキシャ２２と、アウトリガー制振部８０，９０を有しないフレキシャの剛性とは、互いに同等であった。また図１０のＢ，Ｄに示されるように、ロール方向の剛性に関して、アウトリガー制振部８０，９０を有するフレキシャ２２と、アウトリガー制振部８０，９０を有しないフレキシャの剛性とは、互いに同等であった。よってアウトリガー制振部８０，９０を設けてもフレキシャのジンバル運動に悪影響を与えないことが確認された。

図１１は第２の実施形態に係る第１のアウトリガー制振部８０Ａと、第２のアウトリガー制振部９０Ａとを示している。第１のアウトリガー制振部８０Ａに設ける第１のダンパー材８２Ａは、第１の開口８１の長さ方向Ｘ１に延びる長方形である。第１のダンパー材８２Ａの両端部にそれぞれ第１のロードビーム接着部８５が形成されている。また第１の開口８１の内側に第１のアウトリガー接着部８６が形成されている。
第２のアウトリガー制振部９０Ａに設ける第２のダンパー材９２Ａは、第２の開口９１の長さ方向Ｘ２に延びる長方形である。第２のダンパー材９２Ａの両端部にそれぞれ第２のロードビーム接着部９５が形成されている。第２の開口９１の内側に第２のアウトリガー接着部９６が形成されている。それ以外の構成と効果は第１の実施形態のサスペンション１０と共通であるため、両者に共通の部位に共通の符号を付して説明を省略する。

図１２は第３の実施形態に係る第１のアウトリガー制振部８０Ｂと、第２のアウトリガー制振部９０Ｂとを示している。第１のダンパー材８２Ｂは、第１の開口８１の長さ方向Ｘ１に延びる縦部１００と、第１の開口８１の幅方向Ｗ１に延びる横部１０１とを含む十字形である。そして縦部１００の両端部と横部１０１の両端部とに、それぞれ第１のロードビーム接着部８５が形成されている。第１の開口８１の内側において第１のアウトリガー根元部５１ｃと第１のダンパー材８２Ｂとが接着することにより、第１のアウトリガー接着部８６が形成されている。

図１２に示された第２のダンパー材９２Ｂは、第２の開口９１の長さ方向Ｘ２に延びる縦部１１０と、第２の開口９１の幅方向Ｗ２に延びる横部１１１とを含む十字形である。そして縦部１１０の両端部と横部１１１の両端部とに、それぞれ第２のロードビーム接着部９５が形成されている。第２の開口９１の内側において第２のアウトリガー根元部５２ｃと第２のダンパー材９２Ｂとが接着することにより、第２のアウトリガー接着部９６が形成されている。それ以外の構成と効果は第１の実施形態のサスペンション１０と共通であるため、両者に共通の部位に共通の符号を付して説明を省略する。

図１３は、第４の実施形態に係るサスペンションの第１のアウトリガー制振部８０Ｃの断面図である。第２のアウトリガー制振部は図示していないが、第１のアウトリガー制振部８０Ｃと共通の構成であるため、ここでは第１のアウトリガー制振部８０Ｃを代表して説明する。この実施形態のアウトリガー制振部８０Ｃは、第１のダンパー材８２Ｃの一部１２０が第１の開口８１の内側に入り込むように変形している。そして第１のダンパー材８２Ｃと第１のアウトリガー根元部５１ｃとが互いに接着することにより、第１のアウトリガー接着部８６が形成されている。それ以外の構成と効果は第１の実施形態のサスペンション１０と共通であるため、両者に共通の部位に共通の符号を付して説明を省略する。

図１４は、第５の実施形態に係るサスペンションの第１のアウトリガー制振部８０Ｄの断面図である。第２のアウトリガー制振部は図示していないが、第１のアウトリガー制振部８０Ｄと共通の構成であるため、ここでは第１のアウトリガー制振部８０Ｄを代表して説明する。この実施形態のアウトリガー制振部８０Ｄは、第１の開口８１の内側に入る折曲げ部１３０を有している。折曲げ部１３０は、第１のアウトリガーアーム５１の長さ方向の一部を塑性加工によって厚さ方向に曲げることにより形成されている。この折曲げ部１３０に第１のダンパー材８２Ｄの粘弾性層８３が接着することにより、第１のアウトリガー接着部８６が形成されている。それ以外の構成と効果は第１の実施形態のサスペンション１０と共通であるため、両者に共通の部位に共通の符号を付して説明を省略する。

図１５は、第６の実施形態に係るサスペンションの第１のアウトリガー制振部８０Ｅの断面図である。第２のアウトリガー制振部は図示していないが、第１のアウトリガー制振部８０Ｅと共通の構成であるため、ここでは第１のアウトリガー制振部８０Ｅを代表して説明する。この実施形態のアウトリガー制振部８０Ｅは、ロードビーム２１の第１の面２１ａに配置された第１のダンパー材８２と、第１のロードビーム接着部８５と、第１のアウトリガー接着部８６とを有している。第１のロードビーム接着部８５は、第１のダンパー材８２の一部でロードビーム２１の第１の面２１ａに接着している。第１のアウトリガー接着部８６は、第１のダンパー材８２の他の一部で第１のアウトリガーアーム５１に接着している。それ以外の構成と効果は第１の実施形態のサスペンション１０と共通であるため、両者に共通の部位に共通の符号を付して説明を省略する。

図１６は比較例としてのサスペンション２００を示している。このサスペンション２００は、フレキシャ２１０のアウトリガーアーム２１１，２１２に、それぞれダンパー材２１３，２１４を有している。ダンパー材２１３，２１４は、それぞれアウトリガーアーム２１１，２１２のみに接着し、それぞれアウトリガーアーム２１１，２１２の長さ方向に延びている。このサスペンション２００もジンバル部２２０の揺れを抑制することができたが、以下に説明するようにダンパー材２１３，２１４を有しないサスペンションと比較して、フレキシャの剛性が大きかった。

図１７中のＥ，Ｆは、それぞれ図１６に示された比較例のサスペンション２００（ダンパー材２１３，２１４有り）のピッチ方向の剛性とロール方向の剛性を示している。図１７中のＧ，Ｈは、それぞれダンパー材２１３，２１４を有しないサスペンションのピッチ方向の剛性とロール方向の剛性を示している。ダンパー材２１３，２１４を有するフレキシャの剛性Ｅ，Ｆは、ダンパー材２１３，２１４を有しないフレキシャと比較して剛性が約１３％増加し、ジンバル運動に悪い影響が生じた。

図１６に示した比較例のダンパー材２１３，２１４は、アウトリガーアーム２１１，２１２の長さ方向に大きく延びている。このためサスペンション２００をディスク装置に組付ける際に使用されるシッピングコウム（shipping comb）がダンパー材２１３，２１４と干渉し、ダンパー材２１３，２１４が破損するおそれがあった。これに対し本発明の実施形態に係るサスペンションは、アウトリガー根元部５１ｃ，５２ｃにそれぞれ比較的小形のダンパー材を設けたため、ダンパー材がシッピングコウムと干渉することを回避できた。

なお本発明を実施するに当たって、ロードビームやフレキシャの形状、第１および第２のアウトリガー制振部の配置などの具体的な態様をはじめとして、ディスク装置用サスペンションを構成する各要素の具体的な態様を種々に変更して実施できることは言うまでもない。例えば第１のダンパー材と第２のダンパー材とが互いに一体に連なった１枚のダンパー部材が使われてもよい。またマイクロアクチュエータ素子６５，６６を有しないサスペンションに、前記実施形態と同様の第１のアウトリガー制振部と第２のアウトリガー制振部を設けてもよい。

１…ディスク装置、１０…サスペンション、１１…スライダ、２１…ロードビーム、２１ａ…第１の面、２１ｂ…第２の面、２２…フレキシャ、４０…メタルベース、４１…配線部、４５…タング、５１…第１のアウトリガーアーム、５１ａ…基部、５１ｂ…先端側アーム部、５１ｃ…第１のアウトリガー根元部、５２…第２のアウトリガーアーム、５２ａ…基部、５２ｂ…先端側アーム部、５２ｃ…第２のアウトリガー根元部、５５…ディンプル、５６…ジンバル部、６１，６２，６３…固定部、６５，６６…マイクロアクチュエータ素子、８０，８０Ａ，８０Ｂ，８０Ｃ，８０Ｄ，８０Ｅ…第１のアウトリガー制振部、８１…第１の開口、８２，８２Ａ，８２Ｂ，８２Ｃ…第１のダンパー材、８３…粘弾性層、８４…拘束板、８５…第１のロードビーム接着部、８６…第１のアウトリガー接着部、８７…第１のスペーサ、９０，９０Ａ，９０Ｂ…第２のアウトリガー制振部、９１…第２の開口、９２，９２Ａ，９２Ｂ…第２のダンパー材、９５…第２のロードビーム接着部、９６…第２のアウトリガー接着部、９７…第２のスペーサ。

Claims (8)

1. 第１の面と前記第１の面とは反対側の第２の面とを有するロードビームと、
   前記ロードビームの前記第１の面に沿って配置され、スライダが搭載されるタングと、前記タングの幅方向の両外側に配置されそれぞれ前記ロードビームの長さ方向に延びる第１のアウトリガーアームおよび第２のアウトリガーアームとを有したフレキシャと、
   前記第１のアウトリガーアームの基部と第２のアウトリガーアームの基部とを前記ロードビームに固定する固定部と、
   前記第１のアウトリガーアームの前記基部を含む第１のアウトリガー根元部に配置された第１のダンパー材を有し、前記第１のダンパー材の一部が前記ロードビームに接着し、前記第１のダンパー材の他の一部が前記第１のアウトリガーアームに接着した第１のアウトリガー制振部と、
   前記第２のアウトリガーアームの前記基部を含む第２のアウトリガー根元部に配置された第２のダンパー材を有し、前記第２のダンパー材の一部が前記ロードビームに接着し、前記第２のダンパー材の他の一部が前記第２のアウトリガーアームに接着した第２のアウトリガー制振部と、
   を具備したことを特徴とするディスク装置用サスペンション。
2. 前記第１のアウトリガー制振部が、前記ロードビームに形成された第１の開口を含む第１の開口部と、前記第１のダンパー材の一部で前記ロードビームの前記第２の面に接着した第１のロードビーム接着部と、前記第１のダンパー材の他の一部で前記第１の開口の内側にて前記第１のアウトリガー根元部に接着した第１のアウトリガー接着部とを有し、
   前記第２のアウトリガー制振部が、前記ロードビームに形成された第２の開口を含む第２の開口部と、前記第２のダンパー材の一部で前記ロードビームの前記第２の面に接着した第２のロードビーム接着部と、前記第２のダンパー材の他の一部で前記第２の開口の内側にて前記第２のアウトリガー根元部に接着した第２のアウトリガー接着部とを有したことを特徴とする請求項１に記載のディスク装置用サスペンション。
3. 前記第１のアウトリガー制振部が、前記第１の開口の内側にて前記第１のダンパー材と前記第１のアウトリガー根元部との間に設けられた第１のスペーサを具備し、
   前記第２のアウトリガー制振部が、前記第２の開口の内側にて前記第２のダンパー材と前記第２のアウトリガー根元部との間に設けられた第２のスペーサを具備したことを特徴とする請求項２に記載のディスク装置用サスペンション。
4. 前記第１のアウトリガー制振部が、前記第１の開口を覆う形状の前記第１のダンパー材と、前記第１の開口の周りに存する前記第１のロードビーム接着部と、前記第１の開口の内側に存する前記第１のアウトリガー接着部とを具備し、
   前記第２のアウトリガー制振部が、前記第２の開口を覆う形状の前記第２のダンパー材と、前記第２の開口の周りに存する前記第２のロードビーム接着部と、前記第２の開口の内側に存する前記第２のアウトリガー接着部とを具備したことを特徴とする請求項２に記載のディスク装置用サスペンション。
5. 前記第１のアウトリガー制振部が、前記第１の開口の長さ方向に延びる長方形の前記第１のダンパー材と、前記第１のダンパー材の両端部に存する前記第１のロードビーム接着部と、前記第１の開口の内側に存する前記第１のアウトリガー接着部とを具備し、
   前記第２のアウトリガー制振部が、前記第２の開口の長さ方向に延びる長方形の前記第２のダンパー材と、前記第２のダンパー材の両端部に存する前記第２のロードビーム接着部と、前記第２の開口の内側に存する前記第２のアウトリガー接着部とを具備したことを特徴とする請求項２に記載のディスク装置用サスペンション。
6. 前記第１のアウトリガー制振部が、前記第１の開口の長さ方向に延びる縦部と前記第１の開口の幅方向に延びる横部とを含む十字形の前記第１のダンパー材と、
   前記第２のアウトリガー制振部が、前記第２の開口の長さ方向に延びる縦部と前記第２の開口の幅方向に延びる横部とを含む十字形の前記第２のダンパー材と、
   を具備したことを特徴とする請求項２に記載のディスク装置用サスペンション。
7. 前記第１のアウトリガー制振部が、前記第１のアウトリガーアームの長さ方向の一部で前記第１の開口に入る第１の折曲げ部と、前記第１の開口の内側にて前記第１の折曲げ部が前記第１のダンパー材に接着した前記第１のアウトリガー接着部とを具備し、
   前記第２のアウトリガー制振部が、前記第２のアウトリガーアームの長さ方向の一部で前記第２の開口に入る第２の折曲げ部と、前記第２の開口の内側にて前記第２の折曲げ部が前記第２のダンパー材に接着した前記第２のアウトリガー接着部とを具備したことを特徴とする請求項２に記載のディスク装置用サスペンション。
8. 前記第１のアウトリガー制振部が、前記ロードビームの前記第１の面に配置された前記第１のダンパー材と、前記第１のダンパー材の一部で前記第１の面に接着した第１のロードビーム接着部と、前記第１のダンパー材の他の一部で前記第１のアウトリガー根元部に接着した第１のアウトリガー接着部とを具備し、
   前記第２のアウトリガー制振部が、前記ロードビームの前記第１の面に配置された前記第２のダンパー材と、前記第２のダンパー材の一部で前記第１の面に接着した第２のロードビーム接着部と、前記第２のダンパー材の他の一部で前記第２のアウトリガー根元部に接着した第２のアウトリガー接着部とを具備したことを特徴とする請求項１に記載のディスク装置用サスペンション。

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