JP3838032B2 - マルチレイヤサスペンション、ヘッドジンバルアセンブリ及び該アセンブリの製造方法 - Google Patents
マルチレイヤサスペンション、ヘッドジンバルアセンブリ及び該アセンブリの製造方法 Download PDFInfo
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄膜磁気ヘッド素子又は光ヘッド素子等を搭載する浮上型ヘッドスライダを支持するためのマルチレイヤサスペンション、このマルチレイヤサスペンションを用いたヘッドジンバルアセンブリ(HGA)及びこのHGAの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
磁気ディスクドライブ装置(HDD)では、HGAのサスペンションの先端部に取り付けられた磁気ヘッドスライダを、回転する磁気ディスクの表面から浮上させ、その状態で、この磁気ヘッドスライダに搭載された薄膜磁気ヘッド素子により磁気ディスクへの記録及び/又は磁気ディスクからの再生を行う。
【0003】
近年、HDDの高記録密度化及び大記録容量化を伴う小型化がますます進んでおり、これに伴って、磁気ヘッドスライダのさらなる小型化及び軽量化、並びに磁気ディスクのさらなる高速回転化が要求されている。
【0004】
このような小型かつ軽量の浮上型磁気ヘッドスライダを支持するサスペンションは、そのばね定数を適切に設定して磁気ヘッドスライダの荷重を正確に制御する必要があることはもちろんのこと、その風乱特性及び振動特性をより向上させる必要がある。
【0005】
風乱は、磁気ディスクの高速回転によって生じる横風の影響を受けてその挙動が大きく影響されてしまう問題であり、これを低減するには、サスペンションの厚みをできるだけ薄くする必要がある。逆に、厚みが薄すぎるとサスペンション自体の剛性が低下することからその振動特性が悪化するという問題が生じる。
【0006】
このような互いに矛盾する問題を解決するための従来技術として、2つの方式が提案されている。
【0007】
1つはパーシャルエッチングサスペンションである。このサスペンションは、例えば100μm厚という比較的厚いステンレススチール薄板を用いてロードビームを構成し、荷重調整部であるその曲げ部のみに対してハーフエッチングを行ってばね定数を低減させている。これにより、曲げ部をある程度の角度まで曲げても大きな荷重がその先端に生じないと共に、ハーフエッチングしないその他の部分の剛性は確保される。このように構成したロードビームに、リード導体が形成された別部品であるフレクシャをレーザウェルディングで固着することによってサスペンションが形成される。
【0008】
他の1つはマルチパーツサスペンションである。このサスペンションは、振動特性及び風乱特性を向上させるために、ロードビームを比較的厚いステンレススチール薄板で構成し、このロードビームとベースプレートとを比較的薄いステンレススチール薄板によるヒンジで連結することによって荷重調整部である曲げ部を構成し、このヒンジによってばね定数を調整している。ヒンジとロードビーム及びベースプレートとの連結は、レーザウェルディングによって行われる。さらに、ロードビームに、リード導体が形成されたフレクシャをレーザウェルディングで固着することによってサスペンションが形成される。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したパーシャルエッチングサスペンションによると、エッチングによってロードビームを所望の深さまで掘り下げ、残りの板厚でばね定数を調整するようにしているため、エッチング量がばらつくとそれに応じてばね定数もばらついてしまい、最適なばね定数を常に得ることが非常に困難であった。また、別部品であるフレクシャをレーザウェルディングで組み付ける必要があるため、そのレーザウェルディング工程の分だけ工程数が増えてしまい、さらに、フレクシャとロードビームとの位置合わせ精度を高めることが難しいので高精度のサスペンションを提供することができないという問題がある。
【0010】
一方、上述したマルチパーツサスペンションによると、ヒンジによってばね定数が決まるので最適なばね定数を常に得ることは可能であるが、ベースプレート及びヒンジの連結、ヒンジ及びロードビームの連結、さらにフレクシャの組み付けというレーザウェルディング工程の分だけ工程数が増えてしまい、加えて、これら別個の部品の位置合わせ精度を高めることが難しいので高精度のサスペンションを提供することができないという問題がある。
【0011】
従って本発明の目的は、レーザウェルディング工程数を大幅に削減できかつ位置合わせ精度を大幅に高めることができるマルチレイヤサスペンション、HGA及びこのHGAの製造方法を提供することにある。
【0012】
本発明の他の目的は、振動特性及び風乱特性を、ばね定数の増加なく向上させることができるマルチレイヤサスペンション、HGA及びこのHGAの製造方法を提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、第1の金属薄板層と、第1の金属薄板層上に積層された第1の樹脂層と、第1の樹脂層上に積層された第2の金属薄板層と、第2の金属薄板層上に積層された第2の樹脂層と、第2の樹脂層上に積層された導電層とを含む5層構造の少なくとも一部の層を部分的に除去して構成された、弾性を有する曲げ領域と、ヘッドスライダを搭載するための弾性を有するジンバル領域と、曲げ領域及びジンバル領域を結合する剛性領域とを備えており、ジンバル領域においては中央にジンバル貫通孔が設けられており、第1の金属薄板層が、ジンバル領域に搭載される浮上型ヘッドスライダの裏面を前記ジンバル貫通孔を通して直接的に押圧するためのディンプルを有しているマルチレイヤサスペンションが提供される。
【0014】
さらに本発明によれば、このマルチレイヤサスペンションと、マルチレイヤサスペンション上に搭載されており、少なくとも1つのヘッド素子を有するヘッドスライダとを備えたHGAが提供される。
【0015】
互いに独立した別個の部品を組み付けるのではなく、5層構造の少なくとも一部の層を部分的に除去してマルチレイヤサスペンション本体を構成しているため、部品の連結が最小限で済むからレーザウェルディング工程の数を大幅に削減でき、しかも位置合わせ精度を大幅に高めることができる。さらに、剛性を確保できるので振動特性を向上させることができ、また、厚みを薄くできるので風乱特性を向上させることができる。もちろん、ばね定数を最適に制御可能である。
【0016】
曲げ領域においては、少なくとも第1の金属薄板層が選択的に除去されていることが好ましい。第1の金属薄板層が全て除去されていることによって、この部分のばね定数を精度良く低下させることができる。
【0017】
曲げ領域においては、第1の金属薄板層及び第1の樹脂層が選択的に除去されていることも好ましい。第1の樹脂層も全て除去されていることによって、この部分のばね定数を精度良くさらに低下させることができる。
【0018】
この曲げ領域においては、少なくとも1つの貫通孔が設けられていることも好ましい。貫通孔を設けることにより、ばね定数を微妙に調整できると共に、サスペンションの重量低減を図ることができる。
【0019】
剛性領域においては、少なくとも第1の金属薄板層、第1の樹脂層及び第2の金属薄板層が残されていることが好ましい。2つの金属薄板層及びその間の樹脂層が残されていることから、充分な剛性が確保される。
【0020】
この剛性領域においては、少なくとも1つの貫通孔が設けられていることも好ましい。これによって、サスペンションの重量低減を図ることができる。
【0021】
ジンバル領域においては、第1の金属薄板層及び第1の樹脂層が選択的に除去されていることが好ましい。これにより、この部分のばね定数を精度良くかつ大きく低下させることができる。
【0024】
導電層が、パターニングされたリード導体及び接続パッドからなることが好ましい。リード導体及び接続パッドさらにその下の絶縁層(第2の樹脂層)も最初から一体化された層からパターン形成されるので、後付け等の工程が不要となり、位置合わせ精度も向上する。
【0025】
第1及び第2の金属薄板層の各々がステンレススチール薄板層からなること、第1及び第2の樹脂層の各々がポリイミド樹脂層からなること、及び/又は導電層が銅層からなることが好ましい。
【0026】
さらにまた、本発明によれば、第1の金属薄板層と、第1の金属薄板層上に積層された第1の樹脂層と、第1の樹脂層上に積層された第2の金属薄板層と、第2の金属薄板層上に積層された第2の樹脂層と、第2の樹脂層上に積層された導電層とを含む5層構造のシートを形成し、このシートの少なくとも一部の層を部分的に除去することにより、弾性を有する曲げ領域と、ヘッドスライダを搭載するための弾性を有するジンバル領域と、曲げ領域及びジンバル領域を結合する剛性領域とを備えたマルチレイヤサスペンションを形成し、形成したマルチレイヤサスペンションのジンバル領域上に、少なくとも1つのヘッド素子を有するヘッドスライダを固着するHGAの製造方法であって、ジンバル領域においてエッチングにより中央にジンバル貫通孔を形成すると共に、第1の金属薄板層のジンバル貫通孔部分への突出部にヘッドスライダの裏面を直接的に押圧するためのディンプルを形成するHGAの製造方法が提供される。
【0027】
互いに独立した別個の部品を組み付けるのではなく、5層構造の少なくとも一部の層を部分的に除去してマルチレイヤサスペンション本体を構成し、HGAを作成しているため、部品の連結が最小限で済むからレーザウェルディング工程の数を大幅に削減でき、しかも位置合わせ精度を大幅に高めることができる。さらに、剛性を確保できるので振動特性を向上させることができ、また、厚みを薄くできるので風乱特性を向上させることができる。もちろん、ばね定数を最適に制御可能である。
【0028】
曲げ領域において、少なくとも第1の金属薄板層を選択的にエッチング除去することが好ましい。第1の金属薄板層が全て選択的にエッチング除去されるので、この部分のばね定数を精度良く低下させることができる。
【0029】
曲げ領域において、第1の金属薄板層及び第1の樹脂層をそれぞれ選択的にエッチング除去することも好ましい。第1の樹脂層も全て選択的にエッチング除去されるので、この部分のばね定数を精度良くさらに低下させることができる。
【0030】
この曲げ領域において、エッチングにより少なくとも1つの貫通孔を形成することも好ましい。貫通孔を設けることにより、ばね定数を微妙に調整できると共に、サスペンションの重量低減を図ることができる。
【0031】
剛性領域において、少なくとも第1の金属薄板層、第1の樹脂層及び第2の金属薄板層を残すようにしたことが好ましい。2つの金属薄板層及びその間の樹脂層が残されていることから、充分な剛性が確保される。
【0032】
この剛性領域において、エッチングにより少なくとも1つの貫通孔を形成することがより好ましい。これによって、サスペンションの重量低減を図ることができる。
【0033】
ジンバル領域において、第1の金属薄板層及び第1の樹脂層をそれぞれ選択的にエッチング除去することが好ましい。これにより、この部分のばね定数を精度良くかつ大きく低下させることができる。
【0036】
導電層をパターニングしてリード導体及び接続パッドを形成することが好ましい。リード導体及び接続パッドさらにその下の絶縁層(第2の樹脂層)も最初から一体化された層からパターン形成されるので、後付け等の工程が不要となり、位置合わせ精度も向上する。
【0037】
第1及び第2の金属薄板層の各々をステンレススチール薄板で形成すること、第1及び第2の樹脂層の各々をポリイミド樹脂で形成すること、及び/又は導電層を銅で形成することが好ましい。
【0038】
以上述べたエッチングが選択性エッチング処理であることが好ましい。
【0039】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の一実施形態としてHGA全体を概略的に示す中心線断面図であり、図2は図1の実施形態におけるHGAの先端部の拡大斜視図である。
【0040】
これらの図に示すように、本実施形態におけるHGAは、比較的厚い第1のステンレススチール薄板10a、第1の樹脂層10b、比較的薄い第2のステンレススチール薄板10c、第2の樹脂層10d、並びにリード導体及び接続パッドとしてパターニングされた銅層10eを順次積層して一体化されてなる5層構造のサスペンション本体10の基部にベースプレート11を固着すると共に、そのサスペンション本体10の先端部に薄膜磁気ヘッド素子12を有する浮上型磁気ヘッドスライダ13を接着し、さらに、サスペンション本体10のヘッド素子用接続パッド14に薄膜磁気ヘッド素子12の端子電極を例えば金ボール又ははんだボール等によるボールボンディングによって電気及び機械的に接続することによって構成される。
【0041】
本実施形態においては、第1のステンレススチール薄板10aは約60μm程度の厚さの例えばSUS304TAで構成されており、第1の樹脂層10bは約10μm程度の厚さのポリイミド樹脂で構成されており、第2のステンレススチール薄板10cは第1のステンレススチール薄板10aより薄い約20〜25μm程度の厚さの例えばSUS304TAで構成されており、第2の樹脂層10dは約10μm程度の厚さのポリイミド樹脂で構成されており、銅層10eは約10μm程度の厚さの銅で構成されている。
【0042】
サスペンション本体10は、ベースプレート11に固着される基部領域Aと、この基部領域Aに連続しており、弾性を有する曲げ領域Bと、浮上型磁気ヘッドスライダ13が搭載される弾性を有するジンバル領域Cと、曲げ領域B及びジンバル領域Cに連続しておりこれらを結合する剛性領域Dとから構成されている。これら各領域A〜Dは、5層構造の少なくとも一部の層を部分的にかつ選択的にエッチング除去する等して構成されている。
【0043】
即ち、曲げ領域Bでは、本実施形態においては、第1のステンレススチール薄板10aが全てエッチング除去されており、これにより、この領域のばね定数を所望の値まで低減させることができる。ただし、第1の樹脂層10b及び第2のステンレススチール薄板10cをそのまま残されており、その上に第2の樹脂層10d及び銅層10eはパターニングされて残されている。なお、図示されていないが、この曲げ領域Bに1つ又は複数の貫通孔を設けても良い。貫通孔を設けることにより、ばね定数のさらなる調整が行えると共にサスペンション全体の重量を低下させることができる。
【0044】
基部領域A及び剛性領域Dは、本実施形態においては、第1のステンレススチール薄板10a、第1の樹脂層10b及び第2のステンレススチール薄板10cをそのまま残すことによって構成されている。これによって、所望の剛性を確保することができるので撓みを防ぐことができる。しかも、この部分の側端は、曲げることなく平坦となっており、横風に対する抵抗が小さくなるように構成されている。なお、第2の樹脂層10d及び銅層10eはこれら領域の上にパターニングされて残されている。図示されていないが、剛性領域Dに1つ又は複数の貫通孔を設けても良い。貫通孔を設けることにより、サスペンション全体の重量を低下させることができる。
【0045】
ジンバル領域Cは、主に第2のステンレススチール薄板10cによって構成されている。これによってばね定数が低下し、磁気ヘッドスライダ13の搭載に適した所望の弾性を得ることができる。磁気ヘッドスライダ13は、このようにして形成された軟らかい舌部15、即ち磁気ヘッドスライダ13を柔軟に支えて自由姿勢を得やすくするような弾性を持っている舌部15上に接着され、さらにヘッド素子用接続パッド14に薄膜磁気ヘッド素子12の端子電極がボンディングされることによって、サスペンションに固着される。
【0046】
このジンバル領域Cには、磁気ヘッドスライダ13の自由端がその中を通れるような貫通孔16が中央に開口している。ディンプル17を有する第1のステンレススチール薄板10aがこの貫通孔16の部分まで伸長してきており、ディンプル17が磁気ヘッドスライダ13の裏面を貫通孔16を通して直接的に押圧するように構成されている。なお、第2の樹脂層10d及び銅層10eはその上にパターニングされて残されている。
【0047】
全ての領域A〜Dに渡って、銅層10eはリード導体18、ヘッド素子用接続パッド14及び外部回路用接続パッド(図示なし)としてパターニングされており、第2の樹脂層10dはその下の絶縁層19としてパターニングされている。
【0048】
ベースプレート11は、約300μm程度の厚さのステンレス鋼板又は鉄板で構成されており、サスペンション本体10の基部領域Aにレーザウェルディングによって固着されている。このベースプレート11を取り付け部11aで固定することによって、HGAの支持アームへの取り付けが行われる。
【0049】
なお、磁気ヘッドスライダ13のサスペンション本体10への固着は、接着剤を使用することなく電極ボンディングのみで行っても良い。
【0050】
図3は、本実施形態におけるサスペンションの各製造過程における構造を示す中心線断面図であり、以下同図を用いてこのサスペンションの製造方法について説明する。なお、説明を簡単にするため、図3では1つのサスペンションについてのみ表されているが、実際には多数のサスペンションが同一の多層シート上で形成され、適当な時点で単体に切り離される。
【0051】
まず、同図(A)に示すような第1のステンレススチール薄板30a、第1のポリイミド樹脂層30b、第2のステンレススチール薄板30c、第2のポリイミド樹脂層30d、及び銅層30eを順次積層して一体化されてなる5層シート30を用意する。このような5層シートは、第1及び第2のステンレススチール薄板間並びに第2のステンレススチール薄板及び銅層用の銅薄板(銅箔)間に、接着性を有するポリイミドシートをそれぞれ挟み込み、加熱圧着して一体化する方法や、第1及び第2のステンレススチール薄板の一方の面、並びに第2のステンレススチール薄板の他方の面及び銅薄板の一方の面に液状のポリイミドを塗布し、半硬化した状態でそれらを重ね合わせて圧着して一体化する方法等により形成される。しかしながら、本発明の製造方法は、これら方法に限定されるものではない。例えば、銅層30eは、銅薄板を用いる代わりにスパッタリング又はめっきによって形成してもよい。
【0052】
本実施形態では、各層の厚さが、第1のステンレススチール薄板30aが約60μm、第1のポリイミド樹脂層30bが約10μm、第2のステンレススチール薄板30cが約20〜25μm、第2のポリイミド樹脂層30dが約10μm、及び銅層30eが約10μmとなるように形成している。
【0053】
次いで、同図(B)に示すように、5層シート30の一方の面側(図にて下面側)から銅層30eのエッチングによるパターニングを行い、リード導体18、ヘッド素子用接続パッド14及び外部回路用接続パッドを形成する。
【0054】
銅のエッチングには、FeCl3(塩化第二鉄)や(NH4)2S(硫化アンモニウム)等の酸が用いられる。これら酸は、銅のみを選択的にエッチングし、ポリイミドには全く作用しない。従って、第2のポリイミド樹脂層30dがストップ層となり、その部分の銅層30eは全厚に渡って完全に除去される。このため、エッチング深さは常に一定に制御可能となる。
【0055】
さらに、同図(C)に示すように、この下面側から第2のポリイミド樹脂層30dのエッチングを行ってこの第2のポリイミド層30dの一部領域をその全ての厚みに渡って選択的に除去する。この場合の一部領域とは、具体的には、パターニングにより形成されたリード導体18、ヘッド素子用接続パッド14及び外部回路用接続パッドの絶縁層として機能する部分を少なくとも残した部分である。
【0056】
ポリイミドのこのエッチングは、KOH(水酸化カリウム)等のアルカリを用いたウェットエッチングによるか、又はO2プラズマ若しくはCF4プラズマ等によるドライエッチングによる。このようなエッチングによると、ポリイミドのみが選択的にエッチングされ、ステンレススチールは全く削られない。従って、第2のステンレススチール薄板30cがストップ層となり、その部分の第2のポリイミド樹脂層30dは全厚に渡って完全に除去される。このため、エッチング深さは常に一定に制御可能となる。
【0057】
次いで、同図(D)に示すように、5層シート30を両方の面側(図にて上面側及び下面側)からエッチングし、比較的厚い第1のステンレススチール薄板30aの一部領域及び比較的薄い第2のステンレススチール薄板30cの一部領域をそれらの全ての厚みに渡って選択的に同時に除去する。第1のステンレススチール薄板30aの一部領域とは、具体的には、基部領域Aのベースプレートの取付け孔に対応する部分、曲げ領域B、及びジンバル領域Cにおける先端部分である。第2のステンレススチール薄板30cの一部領域とは、具体的には、基部領域Aのベースプレートの取付け孔に対応する部分及びジンバル領域Cにおける貫通孔部分である。
【0058】
ステンレススチールのこのエッチングには、FeCl3(塩化第二鉄)等の酸が用いられる。これら酸は、ステンレススチール薄板のみを選択的にエッチングし、ポリイミドには全く作用しない。従って、ポリイミド樹脂層30bがストップ層となり、その部分の第1のステンレススチール薄板30a及び第2のステンレススチール薄板30cは厚みが異なっていても全厚に渡って完全に除去される。このため、エッチング深さは常に一定に制御可能となる。
【0059】
次いで、同図(E)に示すように、5層シート30を上面側又は下面側からエッチングし、第1のポリイミド層30bの一部領域をその全ての厚みに渡って選択的に除去する。この場合の一部領域とは、具体的には、基部領域Aのベースプレートの取付け孔に対応する部分、及びジンバル領域Cにおける先端部分である。
【0060】
ポリイミドの選択性エッチングについては先に述べた通りである。この場合、第1のステンレススチール薄板30a及び第2のステンレススチール薄板30cがストップ層となる。
【0061】
次いで、同図(F)に示すように、5層シート30を上面側からプレス加工を行って、ジンバル領域Cにおける第1のステンレススチール薄板30aにディンプル17を形成する。
【0062】
その後、ベースプレート11のレーザウェルディングによる固着、磁気ヘッドスライダ13の固着及び電極ボンディング、さらには曲げ加工、個々のHGAへの切り離し等を行って、図1に示すようなHGAを得る。
【0063】
以上述べたように、本実施形態によれば、互いに独立した別個の部品を組み付けるのではなく、5層シートの一部の層を部分的にエッチング除去してサスペンション本体を構成しているため、部品の連結が最小限で済むからレーザウェルディング工程の数を大幅に削減でき、しかも位置合わせ精度を大幅に高めることができる。もちろん、剛性を確保できるので振動特性を向上させることができ、また、厚みを薄くできるので風乱特性を向上させることができる。
【0064】
また、選択性エッチングにより、各層の所望の領域をその全ての厚みに渡って完全に除去できるので、ばね定数を精度良く制御することが可能である。
【0065】
さらに、リード導体及び接続パッド並びにその下の絶縁層(第2のポリイミド樹脂層)も最初から一体化された層からパターン形成されるので、後付け等の工程が不要となり、位置合わせ精度も向上する。
【0066】
図4は本発明の他の実施形態としてHGA全体を概略的に示す中心線断面図である。
【0067】
本実施形態は、曲げ部Bにおいて、比較的厚い第1のステンレススチール薄板10a及び第1の樹脂層10bが共に除去されており、その結果、この曲げ領域におけるばね定数をさらに低下できることを除いて、図1の実施形態とほぼ同じ構成及び作用効果を有している。従って、図4における参照符号も基本的に図1の場合と同じものを用いている。
【0068】
以上述べた実施形態は全て本発明を例示的に示すものであって限定的に示すものではなく、本発明は他の種々の変形態様及び変更態様で実施することができる。従って本発明の範囲は特許請求の範囲及びその均等範囲によってのみ規定されるものである。
【0069】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように本発明によれば、互いに独立した別個の部品を組み付けるのではなく、5層構造の少なくとも一部の層を部分的に除去してマルチレイヤサスペンション本体を構成しているため、部品の連結が最小限で済むからレーザウェルディング工程の数を大幅に削減でき、しかも位置合わせ精度を大幅に高めることができる。さらに、剛性を確保できるので振動特性を向上させることができ、また、厚みを薄くできるので風乱特性を向上させることができる。もちろん、ばね定数を最適に制御可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態としてHGA全体を概略的に示す中心線断面図である。
【図2】図1の実施形態におけるHGAの先端部の拡大斜視図である。
【図3】図1の実施形態におけるサスペンションの各製造過程における構造を示す中心線断面図である。
【図4】本発明の他の実施形態としてHGA全体を概略的に示す中心線断面図である。
【符号の説明】
10 サスペンション本体
10a、30a 第1のステンレススチール薄板
10b 第1の樹脂層
10c、30c 第2のステンレススチール薄板
10d 第2の樹脂層
10e、30e 銅層
11 ベースプレート
11a 取り付け部
12 薄膜磁気ヘッド素子
13 磁気ヘッドスライダ
14 ヘッド素子用接続パッド
15 舌部
16 貫通孔
17 ディンプル
18 リード導体
19 絶縁層
30b 第1のポリイミド樹脂層
30d 第2のポリイミド樹脂層
A 基部領域
B 曲げ領域
C ジンバル領域
D 剛性領域
Claims (24)
- 第1の金属薄板層と、該第1の金属薄板層上に積層された第1の樹脂層と、該第1の樹脂層上に積層された第2の金属薄板層と、該第2の金属薄板層上に積層された第2の樹脂層と、該第2の樹脂層上に積層された導電層とを含む5層構造の少なくとも一部の層を部分的に除去して構成された、弾性を有する曲げ領域と、ヘッドスライダを搭載するための弾性を有するジンバル領域と、前記曲げ領域及び前記ジンバル領域を結合する剛性領域とを備えており、前記ジンバル領域においては中央にジンバル貫通孔が設けられており、前記第1の金属薄板層が、前記ジンバル領域に搭載される浮上型ヘッドスライダの裏面を前記ジンバル貫通孔を通して直接的に押圧するためのディンプルを有していることを特徴とするマルチレイヤサスペンション。
- 前記曲げ領域においては、少なくとも前記第1の金属薄板層が選択的に除去されていることを特徴とする請求項1に記載のマルチレイヤサスペンション。
- 前記曲げ領域においては、前記第1の金属薄板層及び前記第1の樹脂層が選択的に除去されていることを特徴とする請求項1に記載のマルチレイヤサスペンション。
- 前記曲げ領域においては、少なくとも1つの貫通孔が設けられていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載のマルチレイヤサスペンション。
- 前記剛性領域においては、少なくとも前記第1の金属薄板層、前記第1の樹脂層及び前記第2の金属薄板層が残されていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載のマルチレイヤサスペンション。
- 前記剛性領域においては、少なくとも1つの貫通孔が設けられていることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載のマルチレイヤサスペンション。
- 前記ジンバル領域においては、前記第1の金属薄板層及び前記第1の樹脂層が選択的に除去されていることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載のマルチレイヤサスペンション。
- 前記導電層が、パターニングされたリード導体及び接続パッドからなることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載のマルチレイヤサスペンション。
- 前記第1及び第2の金属薄板層の各々が、ステンレススチール薄板層からなることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載のマルチレイヤサスペンション。
- 前記第1及び第2の樹脂層の各々が、ポリイミド樹脂層からなることを特徴とする請求項1から9のいずれか1項に記載のマルチレイヤサスペンション。
- 前記導電層が、銅層からなることを特徴とする請求項1から10のいずれか1項に記載のマルチレイヤサスペンション。
- 請求項1から11のいずれか1項に記載のマルチレイヤサスペンションと、該マルチレイヤサスペンション上に搭載されており、少なくとも1つのヘッド素子を有するヘッドスライダとを備えたことを特徴とするヘッドジンバルアセンブリ。
- 第1の金属薄板層と、該第1の金属薄板層上に積層された第1の樹脂層と、該第1の樹脂層上に積層された第2の金属薄板層と、該第2の金属薄板層上に積層された第2の樹脂層と、該第2の樹脂層上に積層された導電層とを含む5層構造のシートを形成し、該シートの少なくとも一部の層を部分的に除去することにより、弾性を有する曲げ領域と、ヘッドスライダを搭載するための弾性を有するジンバル領域と、前記曲げ領域及び前記ジンバル領域を結合する剛性領域とを備えたマルチレイヤサスペンションを形成し、該形成したマルチレイヤサスペンションの前記ジンバル領域上に、少なくとも1つのヘッド素子を有するヘッドスライダを固着するヘッドジンバルアセンブリの製造方法であって、前記ジンバル領域においてエッチングにより中央にジンバル貫通孔を形成すると共に、前記第1の金属薄板層の前記ジンバル貫通孔部分への突出部に前記ヘッドスライダの裏面を直接的に押圧するためのディンプルを形成することを特徴とするヘッドジンバルアセンブリの製造方法。
- 前記曲げ領域において、少なくとも前記第1の金属薄板層を選択的にエッチング除去することを特徴とする請求項13に記載の製造方法。
- 前記曲げ領域において、前記第1の金属薄板層及び前記第1の樹脂層をそれぞれ選択的にエッチング除去することを特徴とする請求項13又は14に記載の製造方法。
- 前記曲げ領域において、エッチングにより少なくとも1つの貫通孔を形成することを特徴とする請求項13から15のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記剛性領域において、少なくとも前記第1の金属薄板層、前記第1の樹脂層及び前記第2の金属薄板層を残すようにしたことを特徴とする請求項13から16のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記剛性領域において、エッチングにより少なくとも1つの貫通孔を形成することを特徴とする請求項13から17のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記ジンバル領域において、前記第1の金属薄板層及び前記第1の樹脂層をそれぞれ選択的にエッチング除去することを特徴とする請求項13から18のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記導電層をパターニングしてリード導体及び接続パッドを形成することを特徴とする請求項13から19のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記第1及び第2の金属薄板層の各々を、ステンレススチール薄板で形成することを特徴とする請求項13から20のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記第1及び第2の樹脂層の各々を、ポリイミド樹脂で形成することを特徴とする請求項13から21のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記導電層を、銅で形成することを特徴とする請求項13から22のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記部分的除去が選択性エッチングであることを特徴とする請求項13から23のいずれか1項に記載の製造方法。
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