JP2023091234A - ディスク装置用サスペンション - Google Patents

Abstract

【課題】フレキシャの振動を効果的に抑制できるとともに、良好なフレキシャの剛性を実現することが可能なディスク装置用サスペンションを提供する。【解決手段】ディスク装置用サスペンション１０は、ロードビーム２１と、スライダ１１が搭載されるタング４５と、タング４５に接続されたアウトリガー５１とを有し、ロードビームに重ねられたフレキシャ２２と、ロードビーム２１及びアウトリガー５１に貼り付けられた第１ダンパー材８０とを備えている。第１ダンパー材８０は、粘弾性体の単層構造を有している。【選択図】図４

Description

本発明は、ハードディスク装置等に使われるディスク装置用サスペンションに関する。

パーソナルコンピュータ等の情報処理装置に、ハードディスク装置（ＨＤＤ）が使用されている。ハードディスク装置は、スピンドルを中心に回転する磁気ディスクや、ピボット軸を中心に旋回するキャリッジを含んでいる。キャリッジはアクチュエータアームを有し、ボイスコイルモータ等のポジショニング用モータによってピボット軸を中心にディスクのトラック幅方向に旋回する。

上記アクチュエータアームにディスク装置用サスペンション（これ以降、単にサスペンションと称す）が取り付けられている。サスペンションは、ロードビームや、ロードビームに重ねて配置されたフレキシャを含んでいる。フレキシャの先端付近に形成されたジンバル部に、磁気ヘッドを構成するスライダが設けられている。スライダには、データの読取りあるいは書込み等のアクセスを行うための素子（トランスジューサ）が設けられている。これらロードビーム、フレキシャおよびスライダ等によって、ヘッドジンバルアセンブリが構成されている。

上記ジンバル部は、スライダを搭載するタングと、タングの両側に形成された一対のアウトリガーとを含んでいる。これらアウトリガーは、それぞれフレキシャの両側部の外側に張り出す形状を有している。各アウトリガーの長さ方向の両端部付近は、それぞれ、例えばレーザ溶接等によりロードビームに固定されている。各アウトリガーは、それぞれ厚さ方向にばねのように撓むことができ、タングのジンバル運動を確保する上で重要な役割を担っている。

ディスクの高記録密度化に対応するためには、ヘッドジンバルアセンブリをさらに小形化し、かつディスクの記録面に対してスライダをさらに高精度に位置決めできるようにすることが必要である。そのためには、ヘッドジンバルアセンブリに要求されるジンバル運動を確保した上で、フレキシャの揺れを極力小さくする必要がある。例えば特許文献１乃至３に記載されているように、フレキシャの揺れを抑制するために、サスペンションの一部にダンパー材を設けることも提案されている。

米国特許第６，９６７，８２１号明細書 特開２００６－２２１７２６号公報 特開２０１０－８６６３０号公報

アウトリガーにおいてダンパー材を貼り付ける面積を増やすことで、振動を抑制する効果の向上が期待できる。一方で、当該面積を増やした場合には、ジンバル運動にとって重要なフレキシャの剛性も大きく変化する。この点に鑑みれば、振動抑制に効果的なアウトリガーの領域に対し、局所的にダンパー材を貼り付けることが望ましい。しかしながら、一般的なダンパー材は柔らかい粘弾性層と硬い拘束板（拘束層）の積層構造を有しており、拘束板が変形しにくいために貼り付け可能な部位が限られてしまう。そのため、フレキシャの振動の抑制と良好な剛性の実現を両立することが困難となり得る。

そこで、本発明は、フレキシャの振動を効果的に抑制できるとともに、良好なフレキシャの剛性を実現することが可能なディスク装置用サスペンションを提供することを目的の一つとする。

一実施形態に係るディスク装置用サスペンションは、ロードビームと、スライダが搭載されるタングと、前記タングに接続されたアウトリガーとを有し、前記ロードビームに重ねられたフレキシャと、前記ロードビームおよび前記アウトリガーに貼り付けられたダンパー材とを備えている。さらに、前記ダンパー材は、粘弾性体の単層構造を有している。

前記ロードビームは、第１面と、前記第１面の反対側の第２面とを有している。前記アウトリガーは、少なくとも一部が前記第２面に対向する第３面と、前記第３面の反対側の第４面と、前記第３面および前記第４面を繋ぐ側面とを有している。例えば、前記ダンパー材は、前記第２面、前記第４面および前記側面にそれぞれ貼り付けられている。

前記第２面は、前記ロードビームの縁部に形成された曲面を含んでもよい。この場合において、前記ダンパー材は、前記曲面に貼り付けられてもよい。

前記ダンパー材は、平面視において前記アウトリガーと前記縁部とが交差する位置に設けられてもよい。

前記フレキシャは、前記ロードビームに固定された先端部を有してもよい。この場合において、前記ダンパー材は、前記アウトリガーおよび前記先端部に貼り付けられるとともに、前記ロードビームのうち平面視において前記アウトリガーと前記先端部の間に位置する領域に貼り付けられてもよい。

前記ダンパー材は、前記ロードビームおよび前記アウトリガーに貼り付いた第５面と、前記第５面の反対側の第６面とを有している。前記第６面は、前記ダンパー材の周囲の雰囲気に露出してもよい。

前記ロードビーム、前記アウトリガーおよび前記ダンパー材が重なる領域の少なくとも一部において、前記アウトリガーと前記ロードビームの間に隙間が形成されてもよい。

前記ダンパー材は、前記第１面および前記第３面にそれぞれ貼り付けられてもよい。この場合において、前記ロードビームが前記第１面と前記第２面の間を貫通する開口を有し、前記ダンパー材が前記開口を通じて前記第３面に貼り付けられてもよい。

本発明によれば、フレキシャの振動を効果的に抑制できるとともに、良好なフレキシャの剛性を実現することが可能なディスク装置用サスペンションを提供することができる。

図１は、第１実施形態に係るディスク装置の一例を示す概略的な斜視図である。 図２は、第１実施形態に係るディスク装置の一部を示す概略的な断面図である。 図３は、第１実施形態に係るサスペンションの概略的な斜視図である。 図４は、第１実施形態に係るサスペンションの先端側の一部をスライダ側から見た概略的な斜視図である。 図５は、第１実施形態に係るサスペンションの先端部付近をスライダ側から見た概略的な平面図である。 図６は、図５中のＦ６－Ｆ６線に沿うサスペンションの概略的な断面図である。 図７は、図５中のＦ７－Ｆ７線に沿うサスペンションの概略的な断面図である。 図８は、比較例に係るサスペンションの概略的な断面図である。 図９は、ダンパー材の有無による振動特性の違いを評価した結果を示すグラフである。 図１０は、ダンパー材における拘束板の有無による振動特性の違いを評価した結果を示すグラフである。 図１１は、第２実施形態に係るサスペンションの一部を示す概略的な平面図である。 図１２は、図１１中のＦ１２－Ｆ１２線に沿うサスペンションの概略的な断面図である。 図１３は、第３実施形態に係るサスペンション１０の概略的な斜視図である。 図１４は、第３実施形態に係るサスペンションの概略的な断面図である。

いくつかの実施形態につき、図面を参照しながら説明する。
［第１実施形態］
図１は、ディスク装置（ＨＤＤ）１の一例を示す概略的な斜視図である。このディスク装置１は、ケース２と、スピンドル３を中心に回転する複数のディスク４と、ピボット軸５を中心に旋回可能なキャリッジ６と、キャリッジ６を駆動するためのポジショニング用モータ（ボイスコイルモータ）７とを有している。ケース２は、図示しない蓋によって密閉される。

図２は、ディスク装置１の一部を示す概略的な断面図である。図１および図２に示されるように、キャリッジ６に複数のアーム（キャリッジアーム）８が設けられている。各アーム８の先端部には、サスペンション１０が取り付けられている。各サスペンション１０の先端部には、磁気ヘッドを構成するスライダ１１が設けられている。ディスク４が高速で回転すると、ディスク４とスライダ１１との間に空気が流入することによって、エアベアリングが形成される。

ポジショニング用モータ７によってキャリッジ６が旋回すると、サスペンション１０がディスク４の径方向に移動することにより、スライダ１１がディスク４の所望トラックまで移動する。

図３は、本実施形態に係るサスペンション１０の概略的な斜視図である。サスペンション１０は、キャリッジ６のアーム８（図１および図２に示す）に固定されるベースプレート２０と、ロードビーム２１と、フレキシャ２２とを備えている。ベースプレート２０には、アーム８に形成された孔８ａ（図２に示す）に挿入されるボス部２０ａが形成されている。フレキシャ２２は、ロードビーム２１に沿って配置されている。

以下の説明においては、図３に示すようにサスペンション１０、ロードビーム２１およびフレキシャ２２の長さ方向Ｘ、幅方向Ｙおよび厚さ方向Ｚを定義する。また、ロードビーム２１の先端２１ａ近傍に円弧状の矢印で示すように、スウェイ方向Ｓを定義する。

図４は、サスペンション１０の先端側の一部をスライダ１１側から見た概略的な斜視図である。ロードビーム２１は、図３に示す下面ＢＦ１（第１面）と、図４に示す上面ＵＦ１（第２面）とを有している。上面ＵＦ１は、フレキシャ２２が配置される面である。図３に示すように、下面ＢＦ１にダンパー部材２５が設けられてもよい。

さらに、ロードビーム２１は、一対の縁部ＥＤ１，ＥＤ２を有している。縁部ＥＤ１，ＥＤ２は、長さ方向Ｘおよび幅方向Ｙに対して傾斜している。幅方向Ｙにおける縁部ＥＤ１，ＥＤ２の間の距離は、ロードビーム２１の先端２１ａに近づくに連れて減少する。図３に示すように、本実施形態においては縁部ＥＤ１，ＥＤ２においてロードビーム２１が下面ＢＦ１側に突出するように（下面ＢＦ１が内側となるように）曲げられている。

図４に示すように、磁気ヘッドをなすスライダ１１の先端部には、例えばＭＲ素子のように磁気信号と電気信号とを変換可能な素子２８が設けられている。これらの素子２８によって、ディスク４に対するデータの書込みあるいは読取り等のアクセスが行なわれる。スライダ１１、ロードビーム２１およびフレキシャ２２等によって、ヘッドジンバルアセンブリ（head gimbal assembly）が構成されている。

フレキシャ２２は、薄いステンレス鋼の板からなるメタルベース４０と、メタルベース４０に沿って配置された一対の配線部４１とを有している。一対の配線部４１は幅方向Ｙに並び、屈曲しながら長さ方向Ｘに延びている。メタルベース４０の厚さは、ロードビーム２１の厚さよりも小さい。メタルベース４０の厚さは、好ましくは１２～２５μｍであり、一例では２０μｍである。ロードビーム２１の厚さは、例えば３０μｍである。配線部４１の一部は、スライダ１１用の端子４２を介してスライダ１１の素子２８に電気的に接続されている。

図５は、サスペンション１０の先端部付近をスライダ１１側から見た概略的な平面図である。フレキシャ２２は、タング４５と、第１アウトリガー５１と、第２アウトリガー５２とを有している。タング４５には、スライダ１１が搭載されている。第１アウトリガー５１および第２アウトリガー５２は、幅方向Ｙにおいてタング４５の両外側にそれぞれ配置されている。

第１アウトリガー５１と第２アウトリガー５２は、タング４５の幅方向の両外側に張り出す形状を有している。タング４５、第１アウトリガー５１および第２アウトリガー５２は、いずれもメタルベース４０の一部であり、例えばエッチングによってそれぞれの輪郭が形成されている。

図６は、図５中のＦ６－Ｆ６線に沿うサスペンション１０の概略的な断面図である。ロードビーム２１は、タング４５に向かって突出するディンプル５５を有している。ディンプル５５の先端５５ａは、タング４５に接触している。タング４５は、ディンプル５５の先端５５ａを中心として揺動し、所望のジンバル運動をなすことができる。タング４５、第１アウトリガー５１、第２アウトリガー５２およびディンプル５５などによってジンバル部５６が構成されている。

図４および図５に示すように、第１アウトリガー５１はタング４５の一方の側部の外側に配置され、長さ方向Ｘに延びている。第２アウトリガー５２はタング４５の他方の側部の外側に配置され、長さ方向Ｘに延びている。

第１アウトリガー５１は、第１基端部５１ａと、第１基端アーム５１ｂと、第１先端アーム５１ｃと、第１接続部５１ｄとを有している。第１基端部５１ａは、固定部６１によってロードビーム２１に固定されている。第１基端アーム５１ｂは、第１基端部５１ａからタング４５の一方の側部に向けて延びている。第１先端アーム５１ｃの一端は第１基端アーム５１ｂに接続され、他端はフレキシャ２２の先端部２２ａに接続されている。第１接続部５１ｄは、第１基端アーム５１ｂの先端とタング４５の一方の側部とを接続している。先端部２２ａは、固定部６２によってロードビーム２１の先端付近に固定されている。固定部６１，６２は、例えばレーザスポット溶接等によって形成されている。

第１基端アーム５１ｂは、第１屈曲部５１ｅを有している。第１基端部５１ａと第１屈曲部５１ｅの間においては、第１基端アーム５１ｂがサスペンション１０の幅方向Ｙにおける中心Ｃに近づく方向に延びている。一方、第１屈曲部５１ｅと第１先端アーム５１ｃの間においては、第１基端アーム５１ｂが中心Ｃから遠ざかる方向に延びている。

第２アウトリガー５２は、第１アウトリガー５１と同様の形状を有している。すなわち、第２アウトリガー５２は、第２基端部５２ａ、第２基端アーム５２ｂ、第２先端アーム５２ｃ、第２接続部５２ｄおよび第２屈曲部５２ｅを有している。第２基端部５２ａは、例えばレーザスポット溶接等で形成された固定部６３によってロードビーム２１に固定されている。

上述の通り、第１アウトリガー５１の長さ方向Ｘの両端部が固定部６１，６２によって支持されている。さらに、第２アウトリガー５２の長さ方向Ｘの両端部が固定部６２，６３によって支持されている。これにより、第１アウトリガー５１の固定部６１，６２の間に位置する部分、および、第２アウトリガー５２の固定部６２，６３の間に位置する部分は、厚さ方向Ｚに撓むことができる。このように、タング４５は、第１アウトリガー５１および第２アウトリガー５２によって弾性的に支持され、ディンプル５５を支点として揺動することができる。

ジンバル部５６には、第１マイクロアクチュエータ素子６５および第２マイクロアクチュエータ素子６６が搭載されている。これらマイクロアクチュエータ素子６５，６６はそれぞれ圧電材料からなり、幅方向Ｙにおけるスライダ１１の両側に配置されている。第１マイクロアクチュエータ素子６５の両端部６５ａ，６５ｂは、それぞれタング４５のアクチュエータ支持部７０，７１に固定されている。第２マイクロアクチュエータ素子６６の両端部６６ａ，６６ｂは、それぞれタング４５のアクチュエータ支持部７２，７３に固定されている。

マイクロアクチュエータ素子６５，６６は、タング４５をスウェイ方向Ｓ（図３に示す）に回動させる機能を有している。図４および図５の例においては、タング４５の一方の側部と第１アウトリガー５１との間に、タング４５の過剰な揺れを抑制するリミッタ部材７５が設けられている。タング４５の他方の側部と第２アウトリガー５２との間にもリミッタ部材７６が設けられている。

図４および図５に示すように、サスペンション１０は、フレキシャ２２の振動を抑制する第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０を備えている。第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０は、ロードビーム２１およびフレキシャ２２に貼り付けられている。

具体的には、第１ダンパー材８０は、平面視において第１基端アーム５１ｂと縁部ＥＤ１とが交差する位置を含む範囲に貼り付けられている。また、第２ダンパー材９０は、平面視において第２基端アーム５２ｂと縁部ＥＤ２とが交差する位置を含む範囲に貼り付けられている。

第１ダンパー材８０は、長さ方向Ｘにおいて第１屈曲部５１ｅと第１先端アーム５１ｃの間に位置している。第２ダンパー材９０は、長さ方向Ｘにおいて第２屈曲部５２ｅと第２先端アーム５２ｃの間に位置している。

図５の例において、第１ダンパー材８０は、第１基端アーム５１ｂのうちロードビーム２１と対向する部分だけでなく、平面視において縁部ＥＤ１から突出した部分（ロードビーム２１と対向しない部分）も覆っている。同様に、第２ダンパー材９０は、第２基端アーム５２ｂのうちロードビーム２１と対向する部分だけでなく、平面視において縁部ＥＤ２から突出した部分も覆っている。

一対の配線部４１は、それぞれ第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０に向けて突出した凸部４１ａを有している。これら凸部４１ａとダンパー材８０，９０は、互いに離間して幅方向Ｙに並んでいる。

図７は、図５中のＦ７－Ｆ７線に沿うサスペンション１０の概略的な断面図である。第１アウトリガー５１（第１基端アーム５１ｂ）は、少なくとも一部がロードビーム２１の上面ＵＦ１に対向する下面ＢＦ２（第３面）と、下面ＢＦ２の反対側の上面ＵＦ２（第４面）と、下面ＢＦ２および上面ＵＦ２を繋ぐ一対の側面ＳＦ１，ＳＦ２とを有している。第１ダンパー材８０は、上面ＵＦ１，ＵＦ２に対向する下面ＢＦ３（第５面）と、下面ＢＦ３の反対側の上面ＵＦ３（第６面）とを有している。

上面ＵＦ１は、ロードビーム２１の大部分に及ぶ平坦面ＦＴと、縁部ＥＤ１を曲げることで形成された曲面ＣＶとを含む。図７の断面のように、ロードビーム２１、第１アウトリガー５１および第１ダンパー材８０が厚さ方向Ｚに重なる領域の少なくとも一部において、ロードビーム２１と第１基端アーム５１ｂの間に隙間Ｇが形成されている。当該領域において、隙間Ｇが形成されずにロードビーム２１と第１基端アーム５１ｂが全体的に接触していてもよい。

第１ダンパー材８０は、粘弾性体（viscoelastic material）の単層構造を有している。すなわち、本実施形態における第１ダンパー材８０は、いわゆる拘束板を有していない。粘弾性体としては、粘着性を有するとともに変形時に粘性抵抗を発揮することが可能な材料、例えばアクリル系樹脂等の高分子材料を用いることができる。

図７の例においては、第１ダンパー材８０の厚さがロードビーム２１の厚さや第１基端アーム５１ｂの厚さよりも小さい。これにより、第１ダンパー材８０を貼り付ける部位に対する第１ダンパー材８０の追随性が高まる。ただし、良好な振動抑制の効果を得る観点からは、第１ダンパー材８０の厚さが１０μｍ以上であることが好ましい。第１ダンパー材８０の厚さは、ロードビーム２１の厚さや第１基端アーム５１ｂの厚さ以上であってもよい。

第１ダンパー材８０の下面ＢＦ３は、その粘着性によりロードビーム２１の上面ＵＦ１および第１基端アーム５１ｂの上面ＵＦ２に貼り付いている。さらに、下面ＢＦ３は、第１基端アーム５１ｂの側面ＳＦ１，ＳＦ２の少なくとも一方、図７の例においては双方に貼り付いている。

より詳細には、第１ダンパー材８０は、平坦面ＦＴに貼り付く第１部分Ｐ１と、曲面ＣＶに貼り付く第２部分Ｐ２と、第１基端アーム５１ｂに貼り付く第３部分Ｐ３と、側面ＳＦ１に貼り付く第４部分Ｐ４と、側面ＳＦ２に貼り付く第５部分Ｐ５とを有している。

図７の例においては、第３部分Ｐ３が第１部分Ｐ１と第２部分Ｐ２の間に位置している。さらに、第４部分Ｐ４が第１部分Ｐ１と第３部分Ｐ３の間に位置し、第５部分Ｐ５が第２部分Ｐ２と第３部分Ｐ３の間に位置している。第４部分Ｐ４および第５部分Ｐ５の一部においては、下面ＢＦ３が隙間Ｇに露出している。

第１ダンパー材８０の上面ＵＦ３は、他の部材と接触していない。すなわち、上面ＵＦ３は、全体的に第１ダンパー材８０の周囲の雰囲気に露出している。上面ＵＦ３は、全体的に空気層と接していると言うこともできる。

図７の例においては、第１基端アーム５１ｂの下面ＢＦ２が第１ダンパー材８０と接触していない。ただし、下面ＢＦ２の一部に第１ダンパー材８０が貼り付いていてもよい。例えば、図５に示したように第１ダンパー材８０が第１基端アーム５１ｂのうち縁部ＥＤ１の外側に突出した部分にも貼り付いている場合、当該部分における下面ＢＦ２に第１ダンパー材８０が貼り付き得る。

第２ダンパー材９０および第２アウトリガー５２（第２基端アーム５２ｂ）を含む断面構造は、図７に示した第１ダンパー材８０および第１アウトリガー５１を含む断面構造と同様である。すなわち、第２ダンパー材９０も粘弾性体の単層構造を有している。

以下に、本実施形態に係るサスペンション１０の作用について説明する。
本実施形態に係るサスペンション１０は、第１アウトリガー５１および第２アウトリガー５２がそれぞれ第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０によってロードビーム２１に貼り付けられている。フレキシャ２２を振動させるエネルギーが外部から入力されると、当該振動エネルギーがこれらダンパー材８０，９０に伝わる。このとき、粘弾性体であるダンパー材８０，９０が変形し、粘弾性体を構成する分子の摩擦による内部抵抗を生じる。このため振動エネルギーが熱エネルギーに変換され、フレキシャ２２の揺れを抑制することができる。

図８は、比較例に係るサスペンション１０Ｘの概略的な断面図である。当該断面図は、図７と同様にロードビーム２１、第１アウトリガー５１（第１基端アーム５１ｂ）およびダンパー材８０Ｘを含む。

サスペンション１０Ｘにおいて、ダンパー材８０Ｘは、粘弾性体８１と、拘束板８２とを有している。粘弾性体８１は、ロードビーム２１の上面ＵＦ１および第１アウトリガー５１の上面ＵＦ２に貼り付いている。拘束板８２は、粘弾性体８１よりも硬い材料で形成され、粘弾性体８１を全体的に覆っている。

このように拘束板８２を備えるダンパー材８０Ｘは、本実施形態に係る第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０に比べて変形しにくいし、細かな曲げ加工を施すことも難しい。そのため、ダンパー材８０Ｘによって側面ＳＦ１，ＳＦ２を覆うことが困難である。また、曲面ＣＶのような平坦でない部分にも貼り付きにくい。

これに対し、本実施形態における第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０は粘弾性体の単層構造であるため、高い変形性を発揮する。そのため、第１アウトリガー５１および第２アウトリガー５２の側面ＳＦ１，ＳＦ２や縁部ＥＤ１，ＥＤ２の曲面ＣＶへも第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０を良好に貼り付けることが可能である。側面ＳＦ１，ＳＦ２や曲面ＣＶの広い範囲に第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０が貼り付けば、フレキシャ２２の振動を抑制する効果が高まる。

このように、第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０は起伏の変化が大きい場所にも貼り付けることが可能であるため、貼り付け位置の選択肢が広がる。したがって、貼り付け位置の起伏によらず、フレキシャ２２の振動抑制に適した位置に第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０を貼り付けることができる。結果として、第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０の貼り付け面積を極力小さくし、フレキシャ２２の振動を効果的に抑制しつつも良好なフレキシャ２２の剛性を実現することができる。

本実施形態においては、ロードビーム２１のうち第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０が貼り付けられる部分が拘束板と実質的に同様の役割を果たす。そのため、比較例に係るサスペンション１０Ｘと比べても遜色ないフレキシャ２２の振動抑制の効果を得ることができる。

第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０の上面は、周囲の雰囲気に露出している。このような露出した上面は、ディスク装置１にサスペンション１０が実装された状態において、ケース２内のパーティクルを吸着し得る。これにより、パーティクルに起因したディスク装置１の不具合が抑制され、ディスク装置１の信頼性が向上する。

発明者は、第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０によるフレキシャ２２の振動抑制の効果を検証した。この検証の対象であるサスペンション１０の構造は、図３乃至図７に示したものと同様である。

図９は、第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０の有無による振動特性の違いを評価した結果を示すグラフである。当該グラフの横軸は周波数［ｋＨｚ］であり、縦軸はゲイン［ｄＢ］である。グラフ中の複数の細線は、第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０を備えないサスペンションのいくつかのサンプルについての測定結果を示す。グラフ中の複数の太線は、第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０を備えるサスペンション１０のいくつかのサンプルについての測定結果を示す。

図９のグラフにおいて、第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０を備えないサスペンションのゲインは１４ｋＨｚ付近等で大きく上下し、かつサンプルごとのばらつきも大きい。これに対し、第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０を備えるサスペンション１０のゲインは全体的に安定しており、サンプルごとのばらつきも小さい。このことから、第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０を設けることで、フレキシャ２２の振動を効果的に抑制できることが分かる。

図１０は、拘束板の有無による振動特性の違いを評価した結果を示すグラフである。当該グラフの横軸は周波数［ｋＨｚ］であり、縦軸はゲイン［ｄＢ］である。グラフ中の複数の細線は、図８に示したダンパー材８０Ｘのように拘束板を含む第１ダンパー材および第２ダンパー材を備えるサスペンションのいくつかのサンプルについての測定結果を示す。グラフ中の複数の太線は、拘束板を含まない第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０を備えるサスペンション１０のいくつかのサンプルについての測定結果を示す。

図１０のグラフに基づけば、ダンパー材が拘束板を含む場合と含まない場合のいずれにおいても、ゲインが全体的に安定することが分かる。ダンパー材が拘束板を含まない場合には、ダンパー材が拘束板を含む場合に比べて１０ｋＨｚ～１２ｋＨｚの振動がより効果的に抑制されることも見て取れる。

以上の検証から、本実施形態のような第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０を備えるサスペンション１０が良好なフレキシャ２２の振動抑制の効果を発揮することが確認された。

［第２実施形態］
第２実施形態について説明する。本実施形態においては、第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０を貼り付ける位置が第１実施形態と異なる。第１実施形態と同様の構成については説明を省略する。

図１１は、第２実施形態に係るサスペンション１０の一部を示す概略的な平面図である。図１１の例において、第１ダンパー材８０は、第１先端アーム５１ｃ、フレキシャ２２の先端部２２ａ、および、ロードビーム２１のうち平面視において第１先端アーム５１ｃと先端部２２ａの間に位置する領域Ａ１に貼り付けられている。また、第２ダンパー材９０は、第２先端アーム５２ｃ、先端部２２ａ、および、ロードビーム２１のうち平面視において第２先端アーム５２ｃと先端部２２ａの間に位置する領域Ａ２に貼り付けられている。

図１２は、図１１中のＦ１２－Ｆ１２線に沿うサスペンション１０の概略的な断面図である。第１アウトリガー５１（第１先端アーム５１ｃ）は、少なくとも一部がロードビーム２１の上面ＵＦ１に対向する下面ＢＦ２１と、下面ＢＦ２１の反対側の上面ＵＦ２１と、下面ＢＦ２１および上面ＵＦ２１を繋ぐ側面ＳＦ２１とを有している。先端部２２ａは、少なくとも一部がロードビーム２１の上面ＵＦ１に対向する下面ＢＦ２２と、下面ＢＦ２２の反対側の上面ＵＦ２２と、下面ＢＦ２２および上面ＵＦ２２を繋ぐ側面ＳＦ２２とを有している。側面ＳＦ２１，ＳＦ２２は、互いに対向している。

図１２の例においては、下面ＢＦ２１，ＢＦ２２がいずれも上面ＵＦ１に接触している。他の例として、下面ＢＦ２１，ＢＦ２２の少なくとも一方と上面ＵＦ１との間に隙間が形成されてもよい。

第１ダンパー材８０の下面ＢＦ３は、上面ＵＦ２１，ＵＦ２２に貼り付くとともに、領域Ａ１において上面ＵＦ１に貼り付いている。さらに、下面ＢＦ３は、側面ＳＦ２１，ＳＦ２２の少なくとも一方、図１２の例においては双方に貼り付いている。

より詳細には、第１ダンパー材８０は、上面ＵＦ１に貼り付く第１部分Ｐ２１と、上面ＵＦ２１に貼り付く第２部分Ｐ２２と、上面ＵＦ２２に貼り付く第３部分Ｐ２３と、側面ＳＦ２１に貼り付く第４部分Ｐ２４と、側面ＳＦ２２に貼り付く第５部分Ｐ２５とを有している。図１２の例においては、第１部分Ｐ２１が第２部分Ｐ２２と第３部分Ｐ２３の間に位置している。第１ダンパー材８０の上面ＵＦ３は、第１実施形態と同じく他の部材と接触していない。

第２ダンパー材９０および第２アウトリガー５２（第２先端アーム５２ｃ）を含む断面構造は、図１２に示した第１ダンパー材８０および第１アウトリガー５１を含む断面構造と同様である。図１１の例においては第１ダンパー材８０と第２ダンパー材９０が離間しているが、これらダンパー材８０，９０が連続した１つの粘弾性体により構成されてもよい。

仮に粘弾性体と拘束板を含むダンパー材を先端部２２ａと第１先端アーム５１ｃの間や先端部２２ａと第２先端アーム５２ｃの間のような小さな隙間（フレキシャ２２のスリット）を覆うように設ける場合、ダンパー材が変形しにくいために、領域Ａ１，Ａ２においてロードビーム２１の上面ＵＦ１に粘弾性体が貼り付かない可能性がある。これに対し、本実施形態のように粘弾性体の単層構造を有する第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０は、領域Ａ１，Ａ２における上面ＵＦ１や側面ＳＦ２１，ＳＦ２２に対しても良好に貼り付けることが可能である。

［第３実施形態］
第３実施形態について説明する。本実施形態においては、第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０を貼り付ける態様が上述の各実施形態と異なる。上述の各実施形態と同様の構成については説明を省略する。

図１３は、第３実施形態に係るサスペンション１０の概略的な斜視図である。本実施形態において、ロードビーム２１は、第１開口ＡＰ１および第２開口ＡＰ２を有している。第１ダンパー材８０は、ロードビーム２１の下面ＢＦ１に貼り付けられ、第１開口ＡＰ１と重なっている。第２ダンパー材９０は、下面ＢＦ１に貼り付けられ、第２開口ＡＰ２と重なっている。

図１３の例においては、第１ダンパー材８０が第１開口ＡＰ１の全体を塞ぎ、第２ダンパー材９０が第２開口ＡＰ２の全体を塞いでいる。他の例として、第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０は、それぞれ第１開口ＡＰ１および第２開口ＡＰ２の一部のみを塞いでもよい。

図１４は、第１ダンパー材８０および第１開口ＡＰ１を含む領域におけるサスペンション１０の概略的な断面図である。第１開口ＡＰ１は、下面ＢＦ１と上面ＵＦ１の間を貫通している。ロードビーム２１は、第１開口ＡＰにおいて互いに対向する一対の側面ＳＦ３１，ＳＦ３２を有している。

図１４においては、第１アウトリガー５１の第１基端アーム５１ｂの一部（例えば第１屈曲部５１ｅ）が第１開口ＡＰ１と重なっている。第１基端アーム５１ｂは、例えば第１開口ＡＰ１を長さ方向Ｘに横切っている。

第１ダンパー材８０の上面ＵＦ３は、その粘着性によりロードビーム２１の下面ＢＦ１および第１基端アーム５１ｂの下面ＢＦ２に貼り付いている。さらに、上面ＵＦ３は、側面ＳＦ３１，ＳＦ３２の少なくとも一方、図１４の例においては双方に貼り付いている。

より詳細には、第１ダンパー材８０は、下面ＢＦ１に貼り付く第１部分Ｐ３１および第２部分Ｐ３２と、下面ＢＦ２に貼り付く第３部分Ｐ３３と、側面ＳＦ３１に貼り付く第４部分Ｐ３４と、側面ＳＦ３２に貼り付く第５部分Ｐ３５とを有している。さらに、第１ダンパー材８０は、下面ＢＦ３および上面ＵＦ３がいずれの部材にも貼り付いていない第６部分Ｐ３６および第７部分Ｐ３７を有している。

図１４の例においては、第３部分Ｐ３３が第１部分Ｐ３１と第２部分Ｐ３２の間に位置し、第４部分Ｐ３４が第１部分Ｐ３１と第３部分Ｐ３３の間に位置し、第５部分Ｐ３５が第２部分Ｐ３２と第３部分Ｐ３３の間に位置している。さらに、第６部分Ｐ３６が第３部分Ｐ３３と第４部分Ｐ３４の間に位置し、第７部分Ｐ３７が第３部分Ｐ３３と第５部分Ｐ３５の間に位置している。

第１ダンパー材８０の下面ＢＦ３は、他の部材と接触していない。すなわち、下面ＢＦ３は、全体的に第１ダンパー材８０の周囲の雰囲気に露出している。下面ＢＦ３は、全体的に空気層と接していると言うこともできる。

第２ダンパー材９０、第２開口ＡＰ２および第２アウトリガー５２（第２基端アーム５２ｂ）を含む断面構造は、図１４に示した第１ダンパー材８０、第１開口ＡＰ１および第１アウトリガー５１を含む断面構造と同様である。図１３の例においては第１ダンパー材８０と第２ダンパー材９０が離間しているが、これらダンパー材８０，９０が連続した１つの粘弾性体により構成されてもよい。

仮に粘弾性体と拘束板を含むダンパー材を、第１開口ＡＰ１および第２開口ＡＰ２を通じて第１基端アーム５１ｂおよび第２基端アーム５２ｂに貼り付けようとする場合、ダンパー材が変形しにくいために、これら基端アーム５１ｂ，５２ｂに粘弾性体が貼り付かない可能性がある。これに対し、本実施形態のように粘弾性体の単層構造を有する第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０は、高い変形性を発揮するため、第１開口ＡＰ１および第２開口ＡＰ２を通じて第１基端アーム５１ｂおよび第２基端アーム５２ｂに対し良好に貼り付けることが可能である。

なお、図１４においては第１ダンパー材８０が第１基端アーム５１ｂに直接貼り付けられる例を示したが、第１ダンパー材８０と第１基端アーム５１ｂの間にスペーサが配置されてもよい。同様に、第２ダンパー材９０と第２基端アーム５２ｂの間にスペーサが配置されてもよい。このような構造であれば、第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０の変形量が抑えられるため、ダンパー材８０，９０をそれぞれ第１基端アーム５１ｂおよび第２基端アーム５２ｂに対してより良好に貼り付けることが可能である。

また、第１開口ＡＰ１付近で第１基端アーム５１ｂが厚さ方向Ｚに曲げられ、第１基端アーム５１ｂの一部が第１開口ＡＰ１の内側に位置してもよい。同様に、第２開口ＡＰ２付近で第２基端アーム５２ｂが厚さ方向Ｚに曲げられ、第２基端アーム５２ｂの一部が第２開口ＡＰ２の内側に位置してもよい。このような構造であっても、第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０の変形量が抑えられるため、ダンパー材８０，９０をそれぞれ第１基端アーム５１ｂおよび第２基端アーム５２ｂに対してより良好に貼り付けることが可能である。

以上の各実施形態にて開示した発明を実施するに当たっては、ロードビームやフレキシャの形状、第１ダンパー材および第２ダンパー材の配置などの具体的な態様をはじめとして、ディスク装置用サスペンションを構成する各要素の具体的な態様を種々に変更できる。例えば、マイクロアクチュエータ素子６５，６６を有しないサスペンションに各実施形態と同様の第１ダンパー材８０および第２ダンパー材９０が設けられてもよい。

１…ディスク装置、１０…サスペンション、１１…スライダ、２１…ロードビーム、２２…フレキシャ、４０…メタルベース、４１…配線部、４５…タング、５１…第１アウトリガー、５１ａ…第１基端部、５１ｂ…第１基端アーム、５１ｃ…第１先端アーム、５２…第２アウトリガー、５２ａ…第２基端部、５２ｂ…第２基端アーム、５２ｃ…第２先端アーム、５５…ディンプル、５６…ジンバル部、６１，６２，６３…固定部、６５，６６…マイクロアクチュエータ素子、８０…第１ダンパー材、９０…第２ダンパー材。

Claims (9)

1. ロードビームと、
   スライダが搭載されるタングと、前記タングに接続されたアウトリガーとを有し、前記ロードビームに重ねられたフレキシャと、
   前記ロードビームおよび前記アウトリガーに貼り付けられたダンパー材と、を備え、
   前記ダンパー材は、粘弾性体の単層構造を有している、
   ディスク装置用サスペンション。
2. 前記ロードビームは、第１面と、前記第１面の反対側の第２面と、を有し、
   前記アウトリガーは、少なくとも一部が前記第２面に対向する第３面と、前記第３面の反対側の第４面と、前記第３面および前記第４面を繋ぐ側面と、を有し、
   前記ダンパー材は、前記第２面、前記第４面および前記側面にそれぞれ貼り付けられている、
   請求項１に記載のディスク装置用サスペンション。
3. 前記第２面は、前記ロードビームの縁部に形成された曲面を含み、
   前記ダンパー材は、前記曲面に貼り付けられている、
   請求項２に記載のディスク装置用サスペンション。
4. 前記ダンパー材は、平面視において前記アウトリガーと前記縁部とが交差する位置に設けられている、
   請求項３に記載のディスク装置用サスペンション。
5. 前記フレキシャは、前記ロードビームに固定された先端部を有し、
   前記ダンパー材は、前記アウトリガーおよび前記先端部に貼り付けられるとともに、前記ロードビームのうち平面視において前記アウトリガーと前記先端部の間に位置する領域に貼り付けられている、
   請求項１または２に記載のディスク装置用サスペンション。
6. 前記ダンパー材は、前記ロードビームおよび前記アウトリガーに貼り付いた第５面と、前記第５面の反対側の第６面と、を有し、
   前記第６面は、前記ダンパー材の周囲の雰囲気に露出している、
   請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載のディスク装置用サスペンション。
7. 前記ロードビーム、前記アウトリガーおよび前記ダンパー材が重なる領域の少なくとも一部において、前記アウトリガーと前記ロードビームの間に隙間が形成されている、
   請求項１乃至６のうちいずれか１項に記載のディスク装置用サスペンション。
8. 前記ロードビームは、第１面と、前記第１面の反対側の第２面と、を有し、
   前記アウトリガーは、少なくとも一部が前記第２面に対向する第３面と、前記第３面の反対側の第４面と、を有し、
   前記ダンパー材は、前記第１面および前記第３面にそれぞれ貼り付けられている、
   請求項１に記載のディスク装置用サスペンション。
9. 前記ロードビームは、前記第１面と前記第２面の間を貫通する開口を有し、
   前記ダンパー材は、前記開口を通じて前記第３面に貼り付けられている、
   請求項８に記載のディスク装置用サスペンション。

Images