JP2020121509A - 液体吐出ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】第１方向の大型化を抑制しつつ２つの共通流路間での液体循環を実現する。【解決手段】ヘッド１は、第１方向に配列された複数の圧力室２０からそれぞれ構成される２つの圧力室群２０Ａ，２０Ｂと、２つの圧力室群２０Ａ，２０Ｂのそれぞれに対して設けられた２つの共通流路（供給流路３１及び帰還流路３２）とを備えている。供給流路３１及び帰還流路３２は、圧力室群２０Ａ，２０Ｂに対して第１方向の一方に配置されたダミー圧力室５０ａ，５０ｂを介して、互いに連通している。【選択図】図２

Description

本発明は、２つの圧力室群と、２つの圧力室群のそれぞれに対して設けられた２つの共通流路とを備えた液体吐出ヘッドに関する。

第１方向に配列された複数の圧力室からそれぞれ構成される２つの圧力室群と、２つの圧力室群のそれぞれに対して設けられた２つの共通液室（共通流路）とを備えた液体吐出ヘッドが知られている（特許文献１の図３参照）。特許文献１（図３）において、２つの共通液室（共通流路）は、各共通液室の第１方向の一端に接続する接続流路を介して、互いに連通している。

特開２０１６−１９０４３１号公報

特許文献１（図３）の構成では、接続流路を介して２つの共通液室（共通流路）間で液体を循環させることができるが、接続流路が各共通液室の第１方向の一端よりも外側に位置するため、接続流路がある分液体吐出ヘッドが第１方向に大型化してしまう。

本発明の目的は、第１方向の大型化を抑制しつつ２つの共通流路間での液体循環を実現可能な液体吐出ヘッドを提供することにある。

本発明に係る液体吐出ヘッドは、第１方向に配列された複数の圧力室から構成される第１圧力室群と、前記第１方向に配列された複数の圧力室から構成され、前記第１方向と交差する第２方向に前記第１圧力室群と並ぶ第２圧力室群と、前記第１方向に延び、前記第１圧力室群に属する前記複数の圧力室に連通する第１共通流路と、前記第１方向に延び、前記第２圧力室群に属する前記複数の圧力室に連通し、前記第２方向に前記第１共通流路と並ぶ第２共通流路と、前記第１圧力室群に対して前記第１方向の一方に配置された第１ダミー圧力室と、前記第２圧力室群に対して前記第１方向の一方に配置された第２ダミー圧力室と、を備え、前記第１共通流路及び前記第２共通流路は、前記第１ダミー圧力室及び前記第２ダミー圧力室を介して、互いに連通していることを特徴とする。

本発明の第１実施形態に係るヘッド１を備えたプリンタ１００の平面図である。 ヘッド１の平面図である。 図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿ったヘッド１の断面図である。 図２のＩＶ−ＩＶ線に沿ったヘッド１の断面図である。 プリンタ１００の電気的構成を示すブロック図である。 本発明の第２実施形態に係るヘッド２０１の平面図である。 図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿ったヘッド２０１の断面図である。 本発明の第３実施形態に係るヘッド３０１の平面図である。 本発明の第４実施形態に係るヘッド４０１の平面図である。 図９のＸ−Ｘ線に沿ったヘッド４０１の断面図である。

＜第１実施形態＞
先ず、図１を参照し、本発明の第１実施形態に係るヘッド１を備えたプリンタ１００の全体構成について説明する。

プリンタ１００は、４つのヘッド１を含むヘッドユニット１ｘ、プラテン３、搬送機構４及び制御部５を備えている。

プラテン３の上面に、用紙９が載置される。

搬送機構４は、搬送方向にプラテン３を挟んで配置された２つのローラ対４ａ，４ｂを有する。制御部５の制御により搬送モータ４ｍ（図５参照）が駆動されると、ローラ対４ａ，４ｂが用紙９を挟持した状態で回転し、用紙９が搬送方向に搬送される。

ヘッドユニット１ｘは、紙幅方向（搬送方向及び鉛直方向の双方に対して直交する方向）に長尺であり、位置が固定された状態でノズル２１（図２及び図３参照）から用紙９に対してインクを吐出するライン式である。４つのヘッド１は、紙幅方向に千鳥状に配置されている。

制御部５は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）を有する。ＡＳＩＣは、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、記録処理等を実行する。記録処理において、制御部５は、ＰＣ等の外部装置から入力された記録指令（画像データを含む。）に基づき、各ヘッド１のドライバＩＣ１ｄ及び搬送モータ４ｍ（共に図５参照）を制御し、用紙９上に画像を記録する。

次いで、図２〜図４を参照し、ヘッド１の構成について説明する。

ヘッド１は、図３に示すように、流路基板１１と、流路基板１１の上面に固定されたアクチュエータ基板１２と、アクチュエータ基板１２に固定された配線基板９０とを有する。

流路基板１１には、図２に示すように、複数の個別流路３０、２つのダミー個別流路３０ｘ、２つのダミー圧力室５０ａ，５０ｂ、接続路５２、供給流路３１及び帰還流路３２が形成されている。

ここで、ダミー圧力室５０ａが「第１ダミー圧力室」に該当し、ダミー圧力室５０ｂが「第２ダミー圧力室」に該当し、ダミー圧力室２０ｘが「別のダミー圧力室」に該当する。また、供給流路３１が「第１共通流路」に該当し、帰還流路３２が「第２共通流路」に該当する。

複数の個別流路３０は、紙幅方向（第１方向）に１列に配列されている。各個別流路３０は、２つの圧力室２０、１つのノズル２１、１つの連通路２２、２つの接続流路２３及び２つの連結流路２５を含む。

各個別流路３０に含まれる２つの圧力室２０は、搬送方向と平行な第２方向に互いに離隔し、かつ、第１方向にずれて配置されている。２つの圧力室２０のうち、一方（図２の左方に配置された圧力室）は第１圧力室群２０Ａを構成し、他方（図２の右方に配置された圧力室）は第２圧力室群２０Ｂを構成している。第１圧力室群２０Ａ及び第２圧力室群２０Ｂは、第２方向に並び、それぞれ第１方向に１列に等間隔で配置された複数の圧力室２０で構成されている。

ダミー個別流路３０ｘは、複数の個別流路３０に対して第１方向の一方（図２の上方）及び他方（図２の下方）のそれぞれに、１つずつ配置されている。ダミー個別流路３０ｘは、ノズル２１を含まない点を除き、個別流路３０と同じ構成である。以下、ダミー個別流路３０ｘにおいて圧力室２０に対応する部分をダミー圧力室２０ｘという。ダミー圧力室２０ｘは、圧力室２０と同じサイズであり、第１方向において各圧力室群２０Ａ，２０Ｂに属する複数の圧力室２０と同じピッチで並んでいる。

ダミー圧力室５０ａ，５０ｂは、複数の個別流路３０に対して第１方向の一方（図２の上方）に、１つのダミー個別流路３０ｘを挟んで配置されている。

ダミー圧力室５０ａは、第１圧力室群２０Ａに属する複数の圧力室２０に対して第１方向の一方（図２の上方）に配置されている。第１方向においてダミー圧力室５０ａと第１圧力室群２０Ａに属する複数の圧力室２０との間に、１つのダミー圧力室２０ｘが配置されている。ダミー圧力室５０ａは、第１圧力室群２０Ａに属する複数の圧力室２０、及び、第１圧力室群２０Ａに対応するダミー圧力室２０ｘと共に、第１方向に１列に配列されている。

ダミー圧力室５０ｂは、第２圧力室群２０Ｂに属する複数の圧力室２０に対して第１方向の一方（図２の上方）に配置されている。第１方向においてダミー圧力室５０ｂと第２圧力室群２０Ｂに属する複数の圧力室２０との間に、１つのダミー圧力室２０ｘが配置されている。ダミー圧力室５０ｂは、第２圧力室群２０Ｂに属する複数の圧力室２０、及び、第２圧力室群２０Ｂに対応するダミー圧力室２０ｘと共に、第１方向に１列に配列されている。

ダミー圧力室５０ａ，５０ｂは、各個別流路３０に含まれる２つの圧力室２０と同様、第２方向に互いに離隔し、かつ、第１方向にずれて配置されている。

ダミー圧力室５０ａ，５０ｂは、それぞれ、圧力室２０よりも容積が大きい。具体的には、ダミー圧力室５０ａ，５０ｂは、それぞれ、図２に示すように、鉛直方向（第１方向及び第２方向の双方と直交する第３方向）と直交する平面のサイズが圧力室２０よりも大きく、さらに図３及び図４に示すように、深さ（第３方向の長さ）が圧力室２０よりも大きい。

圧力室２０がノズル２１に連通しているのに対し、ダミー圧力室２０ｘ，５０ａ，５０ｂはノズル２１に連通していない。

接続路５２は、図２に示すように、ダミー圧力室５０ａとダミー圧力室５０ｂとを接続し、斜め方向（第３方向と直交しかつ第１方向及び第２方向の双方と交差する方向）に延びている。接続路５２は、第１方向において、ダミー圧力室５０ａ，５０ｂと同じ長さを有する。また、接続路５２は、図４に示すように、深さ（第３方向の長さ）がダミー圧力室５０ａ，５０ｂと同じであり、第３方向においてダミー圧力室５０ａ，５０ｂと同じ位置にある。

供給流路３１及び帰還流路３２は、図２に示すように、それぞれ第１方向に延び、第２方向に並んでいる。第２方向において供給流路３１と帰還流路３２との間に、複数の個別流路３０、ダミー個別流路３０ｘ、ダミー圧力室５０ａ，５０ｂ及び接続路５２が配置されている。

供給流路３１は、第１圧力室群２０Ａに属する複数の圧力室２０に連通している。帰還流路３２は、第２圧力室群２０Ｂに属する複数の圧力室２０に連通している。供給流路３１及び帰還流路３２は、ダミー圧力室５０ａ，５０ｂを介して互いに連通している。

供給流路３１において、第１方向の一方（図２の上方）の端部は、ガイド面３１ｇで画定されている。帰還流路３２において、第１方向の一方（図２の上方）の端部は、ガイド面３２ｇで画定されている。

ガイド面３１ｇ，３２ｇは、それぞれ斜め方向（第３方向と直交しかつ第１方向及び第２方向の双方と交差する方向）に延び、かつ、第１方向に延びる直線に関して互いに対称な形状を有する。具体的には、ガイド面３１ｇは、第１方向の他方（図２の下方）から一方（図２の上方）に向かうにつれて、第２方向において供給流路３１から帰還流路３２に近づくように傾斜している。ガイド面３２ｇは、第１方向の他方（図２の下方）から一方（図２の上方）に向かうにつれて、第２方向において帰還流路３２から供給流路３１に近づくように傾斜している。

ガイド面３１ｇは、第２方向において、第１圧力室群２０Ａに属する複数の圧力室２０のいずれとも重ならず、ダミー圧力室５０ａと重なっている。ガイド面３２ｇは、第２方向において、第２圧力室群２０Ｂに属する複数の圧力室２０のいずれとも重ならず、ダミー圧力室５０ｂと重なっている。

帰還流路３２において、第１方向の他方（図２の下方）の端部は、帰還ガイド面３２ｈで画定されている。

帰還ガイド面３２ｈは、ガイド面３２ｇと同様、斜め方向（第３方向と直交しかつ第１方向及び第２方向の双方と交差する方向）に延びている。具体的には、帰還ガイド面３２ｈは、第１方向の一方（図２の上方）から他方（図２の下方）に向かうにつれて、第２方向において供給流路３１から帰還流路３２に近づくように傾斜している。帰還ガイド面３２ｈにおいて、第１方向の他方（図２の下方）の端部に、帰還口３２ｘが配置されている。

帰還ガイド面３２ｈは、第２方向において、第２圧力室群２０Ｂに属する複数の圧力室２０のいずれとも重ならない。

供給流路３１は、供給口３１ｘを介してサブタンク７の貯留室７ａに連通している。帰還流路３２は、帰還口３２ｘを介して貯留室７ａに連通している。供給口３１ｘは、供給流路３１における第１方向の他方（図２の下方）の端部に形成されている。帰還口３２ｘは、帰還流路３２における第１方向の他方（図２の下方）の端部に形成されている。

貯留室７ａは、インクを貯留するメインタンク（図示略）と連通し、メインタンクから供給されたインクを貯留している。

各個別流路３０において、２つの圧力室２０は、それぞれ、鉛直方向と直交する平面において、第２方向に長尺な略矩形状である。圧力室２０の第２方向の一端に連結流路２５が連結し、圧力室２０の第２方向の他端に接続流路２３が連結している。

連結流路２５は、供給流路３１又は帰還流路３２と、圧力室２０の第２方向の一端とを連結している。連結流路２５は、図３に示すように、供給流路３１又は帰還流路３２に連結しかつ水平方向に延びる水平部２５ａと、水平部２５ａの先端から上方に延びて圧力室２０の第２方向の一端に連結する鉛直部２５ｂとを含む。水平部２５ａは、第２方向に延びている。

接続流路２３は、圧力室２０の第２方向の他端から、下方に延びている。２つの接続流路２３の下端は、連通路２２によって接続されている。

ここで、２つの接続流路２３のうち、第１圧力室群２０Ａに属する圧力室２０に接続する接続流路２３が「第１接続流路」に該当し、第２圧力室群２０Ｂに属する圧力室２０に接続する接続流路２３が「第２接続流路」に該当する。

連通路２２は、接続路５２と同様、斜め方向（第３方向と直交しかつ第１方向及び第２方向の双方と交差する方向）に延びている。連通路２２は、ノズル２１の直上を通る流路であり、連通路２２における上記斜め方向の中央にノズル２１が配置されている。

圧力室２０は、１つの接続流路２３及び連通路２２を介して、ノズル２１に連通している。２つの圧力室２０は、２つの接続流路２３及び連通路２２を介して、互いに連通している。

流路基板１１は、図３及び図４に示すように、鉛直方向に積層された４枚のプレート１１ａ〜１１ｄを有する。

供給流路３１、帰還流路３２、ダミー圧力室５０ａ，５０ｂ及び接続路５２は、図４に示すように、プレート１１ａ〜１１ｃに形成された貫通孔で構成されている。即ち、供給流路３１、帰還流路３２、ダミー圧力室５０ａ，５０ｂ及び接続路５２は、深さ（鉛直方向の長さ）が互いに同じであり、上面の高さ及び下面の高さがそれぞれ互いに同じである。したがって、供給流路３１からダミー圧力室５０ａ，５０ｂ及び接続路５２を介して帰還流路３２に至るまで、流路の上面及び下面それぞれの高さが一定で変化がない。

圧力室２０は、図３に示すように、プレート１１ａに形成された貫通孔で構成されている。連結流路２５の水平部２５ａは、プレート１１ｃに形成された貫通孔で構成されている。連結流路２５の鉛直部２５ｂは、プレート１１ｂに形成された貫通孔で構成されている。接続流路２３は、プレート１１ｂに形成された貫通孔で構成されている。連通路２２は、プレート１１ｃに形成された貫通孔で構成されている。ノズル２１は、４枚のプレート１１ａ〜１１ｄのうちの最下層のプレート１１ｄに形成された貫通孔で構成され、流路基板１１の下面に開口している。

アクチュエータ基板１２は、下から順に、振動板１２ａ、共通電極１２ｂ、複数の圧電体１２ｃ及び複数の個別電極１２ｄを含む。

振動板１２ａ及び共通電極１２ｂは、流路基板１１の上面の略全体に配置されており、流路基板１１に形成された全ての圧力室２０、供給流路３１、帰還流路３２、ダミー圧力室５０ａ，５０ｂ及び接続路５２を覆っている。一方、圧電体１２ｃ及び個別電極１２ｄは、圧力室２０毎に設けられており、圧力室２０と鉛直方向に重なる位置において、互いに積層されている。

アクチュエータ基板１２は、さらに、絶縁膜１２ｉ及び複数の個別配線１２ｅを含む。

絶縁膜１２ｉは、二酸化シリコン（ＳｉＯ₂）等からなり、共通電極１２ｂの上面において圧電体１２ｃが設けられていない部分、圧電体１２ｃの側面、及び、個別電極１２ｄの上面を覆っている。絶縁膜１２ｉにおいて、個別電極１２ｄと鉛直方向に重なる部分には、貫通孔が設けられている。

複数の個別配線１２ｅは、絶縁膜１２ｉ上に形成されている。具体的には、個別配線１２ｅは、絶縁膜１２ｉの上記貫通孔に先端が入り込むことで、個別電極１２ｄと電気的に接続されている。複数の個別配線１２ｅは、アクチュエータ基板１２における第２方向の一端まで、第２方向に延びている。

アクチュエータ基板１２における第２方向の一端の上面には、配線基板９０の一端が固定されている。配線基板９０の他端は、制御部５に接続されている。配線基板９０の一端と他端との間には、ドライバＩＣ１ｄが実装されている。

配線基板９０は、ＣＯＦ（Chip On Film）等からなり、複数の個別配線１２ｅのそれぞれと電気的に接続される複数の個別配線９０ｅと、共通配線（図示略）とを有する。共通配線は、絶縁膜１２ｉに設けられた貫通孔を介して、共通電極１２ｂと電気的に接続されている。

ドライバＩＣ１ｄは、複数の個別配線９０ｅを介して複数の個別電極１２ｄのそれぞれと電気的に接続され、かつ、共通配線を介して共通電極１２ｂと電気的に接続されている。ドライバＩＣ１ｄは、共通電極１２ｂの電位をグランド電位に維持する一方、個別電極１２ｄの電位を変化させる。具体的には、ドライバＩＣ１ｄは、制御部５からの制御信号に基づいて駆動信号を生成し、当該駆動信号を個別電極１２ｄに付与する。これにより、個別電極１２ｄの電位が所定の駆動電位とグランド電位との間で変化する。このとき、振動板１２ａ及び圧電体１２ｃにおいて個別電極１２ｄと圧力室２０とで挟まれた部分（アクチュエータ１２ｘ）が、圧力室２０に向かって凸となるように変形することにより、圧力室２０の容積が変化し、圧力室２０内のインクに圧力が付与され、ノズル２１からインクが吐出される。アクチュエータ基板１２は、複数の圧力室２０のそれぞれと鉛直方向に重なる位置に、複数のアクチュエータ１２ｘを有する。

なお、圧電体１２ｃ及び個別電極１２ｄは、圧力室２０だけでなく、ダミー圧力室２０ｘ，５０ａ，５０ｂ（図２参照）に対しても、設けられている。具体的には、ダミー圧力室２０ｘ，５０ａ，５０ｂのそれぞれと鉛直方向に重なる位置に、圧電体１２ｃ及び個別電極１２ｄが互いに積層されている（図４参照）。即ち、アクチュエータ基板１２は、ダミー圧力室２０ｘ，５０ａ，５０ｂのそれぞれと鉛直方向に重なる位置にも、アクチュエータ１２ｘを有する。さらに、ダミー圧力室２０ｘ，５０ａ，５０ｂに対して設けられた個別電極１２ｄにも個別配線１２ｅが接続されているが、当該個別配線１２ｅは配線基板９０と電気的に接続されていない。そのため、ダミー圧力室２０ｘ，５０ａ，５０ｂに対して設けられた個別電極１２ｄの電位は上記のように変化せず、ダミー圧力室２０ｘ，５０ａ，５０ｂの容積は上記のように変化しない。

ここで、ダミー圧力室５０ａ，５０ｂに対して設けられた圧電体１２ｃが「ダミー圧電体」に該当し、ダミー圧力室５０ａ，５０ｂに対して設けられた個別電極１２ｄ及び共通電極１２ｂが「ダミー電極」に該当する。

以上のような流路構成において、サブタンク７と流路基板１１との間でインクを循環させる際、インクは以下のように流路基板１１内を流れる。図２〜図４中の太矢印は、循環時におけるインクの流れを示す。

貯留室７ａ内のインクは、制御部５の制御により循環ポンプ７ｐが駆動されることで、供給口３１ｘから供給流路３１に供給される。供給流路３１に供給されたインクは、供給流路３１内を第１方向の他方（図２の下方）から一方（図２の上方）に向かって移動しつつ、個別流路３０及びダミー個別流路３０ｘに流入する。

個別流路３０に流入したインクは、図３に示すように、第１圧力室群２０Ａに対応する連結流路２５を通って、第１圧力室群２０Ａに属する圧力室２０に入り、さらに第１圧力室群２０Ａに対応する接続流路２３を通って下方に移動し、連通路２２の一端に流入する。当該インクは、連通路２２を水平方向に移動し、一部がノズル２１から吐出され、残りは連通路２２の他端から、第２圧力室群２０Ｂに対応する接続流路２３に入り、上方に移動する。当該インクは、第２圧力室群２０Ｂに属する圧力室２０に入り、第２圧力室群２０Ｂに対応する連結流路２５を通って、帰還流路３２に流入する。

ダミー個別流路３０ｘに流入したインクは、個別流路３０に流入したインクと同様に流れる。ただし、ダミー個別流路３０ｘはノズル２１を含まないため、ダミー個別流路３０ｘを通るインクは全て帰還流路３２に流入する。

供給流路３１内を移動し、供給流路３１における第１方向の一方（図２の上方）の端部に至ったインクは、ガイド面３１ｇに沿って、ダミー圧力室５０ａに流入する。ダミー圧力室５０ａに流入したインクは、図４に示すように、接続路５２及びダミー圧力室５０ｂを通り、ダミー圧力室５０ｂから流出する。ダミー圧力室５０ｂから流出したインクは、図２に示すように、ガイド面３２ｇに沿って、帰還流路３２における第１方向の一方（図２の上方）の端部に流入する。

帰還流路３２における第１方向の一方（図２の上方）の端部に流入したインクは、帰還流路３２内を第１方向の一方（図２の上方）から他方（図２の下方）に向かって移動し、帰還ガイド面３２ｈに沿って、帰還口３２ｘに流入する。帰還口３２ｘに流入したインクは、貯留室７ａに戻される。

このようにサブタンク７と流路基板１１との間でインクを循環させることで、流路基板１１に形成された流路における気泡の除去やインクの増粘防止が実現される。また、インクが沈降成分（沈降が生じ得る成分。顔料等）を含む場合、当該成分が攪拌されて沈降が防止される。

以上に述べたように、本実施形態のヘッド１は、第１方向に配列された複数の圧力室２０からそれぞれ構成される２つの圧力室群２０Ａ，２０Ｂと、２つの圧力室群２０Ａ，２０Ｂのそれぞれに対して設けられた２つの共通流路（供給流路３１及び帰還流路３２）とを備え、供給流路３１及び帰還流路３２は、圧力室群２０Ａ，２０Ｂに対して第１方向の一方に配置されたダミー圧力室５０ａ，５０ｂを介して、互いに連通している（図２参照）。換言すると、圧力室群２０Ａ，２０Ｂに対して第１方向の一方に、供給流路３１と帰還流路３２とを接続するための接続流路を別途設けるのではなく、クロストーク抑制や成形精度向上の目的で設けられているダミー圧力室５０ａ，５０ｂを利用して、２つの共通流路（供給流路３１及び帰還流路３２）を連通させている。これにより、接続流路を設けることによる第１方向の大型化を抑制しつつ、２つの共通流路間でのインク循環を実現できる。

ダミー圧力室５０ａ，５０ｂは、それぞれ、複数の圧力室２０のいずれの圧力室よりも容積が大きい（図２〜図４参照）。この場合、ダミー圧力室５０ａ，５０ｂの流路抵抗を低くし、ダミー圧力室５０ａ，５０ｂを介したインクの循環量を増大できる。

ダミー圧力室５０ａ，５０ｂは、それぞれ、第３方向の長さが、いずれの圧力室２０よりも長い（図３及び図４参照）。この場合、第１方向や第２方向の大型化を抑制しつつ、ダミー圧力室５０ａ，５０ｂの流路抵抗を低くして循環量を増大できる。

第１方向においてダミー圧力室５０ａと第１圧力室群２０Ａとの間、及び、第１方向においてダミー圧力室５０ｂと第２圧力室群２０Ｂとの間のそれぞれに、複数の圧力室２０のそれぞれと同じサイズの別のダミー圧力室２０ｘが、第１方向に複数の圧力室２０と同じピッチで並んでいる（図２参照）。ダミー圧力室の構成（サイズやピッチ）が圧力室の構成に近いほど、ダミー圧力室によるクロストーク抑制や成形精度向上の効果が高くなる。本構成によれば、ダミー圧力室５０ａ，５０ｂの大きな容積による循環量の増大効果と、ダミー圧力室２０ｘによるクロストーク抑制や成形精度向上の効果とを、共に実現できる。

接続路５２は、第３方向においてダミー圧力室５０ａ，５０ｂと同じ位置にあり（図４参照）、第１方向においてダミー圧力室５０ａ，５０ｂと同じ長さを有する（図２参照）。第３方向において接続路５２がダミー圧力室５０ａ，５０ｂと異なる位置にある場合や、第１方向において接続路５２の長さがダミー圧力室５０ａ，５０ｂの長さよりも小さい場合、ダミー圧力室５０ａ，５０ｂを介したインクの流れがスムーズに行われず、循環量が低下し得る。これに対し、本構成によれば、ダミー圧力室５０ａ，５０ｂを介したインクの流れがスムーズに行われ、循環量を増大できる。

供給流路３１及び帰還流路３２における第１方向の他方（図２の下方）の端部（即ち、ダミー圧力室５０ａ，５０ｂを介して供給流路３１及び帰還流路３２が互いに連通する端部とは反対側の端部）に、それぞれ、供給口３１ｘ及び帰還口３２ｘが設けられている。供給流路３１及び帰還流路３２において、供給口３１ｘ及び帰還口３２ｘが設けられた端部とは反対側の端部（図２の上端）は、供給口３１ｘ及び帰還口３２ｘが設けられた端部（図２の下端）に比べ、インクの流速が低くなり、淀みが生じ易くなり得る。この点、本実施形態では、当該反対側の端部において、ダミー圧力室５０ａ，５０ｂを介してインクを循環させることで、淀みを抑制できる。

供給流路３１及び帰還流路３２のそれぞれにおいて、第１方向の一方（図２の上方）の端部は、ガイド面３１ｇ，３２ｇで画定されている。供給流路３１及び帰還流路３２のそれぞれにおいて、第１方向の一方（図２の上方）の端部は、上記のとおり、供給口３１ｘ及び帰還口３２ｘが設けられた端部とは反対側の端部であるため、インクの流速が低くなり、淀みが生じ易くなり得る。この点、本実施形態では、当該反対側の端部にガイド面３１ｇ，３２ｇを設けたことで、淀みを抑制できる。

ガイド面３１ｇは、第２方向において、第１圧力室群２０Ａに属する複数の圧力室２０のいずれとも重ならず、ガイド面３２ｇは、第２方向において、第２圧力室群２０Ｂに属する複数の圧力室２０のいずれとも重ならない（図２参照）。ガイド面３１ｇ，３２ｇが第２方向において圧力室２０と重なる場合、当該圧力室２０におけるインクの流速が高まり、当該圧力室２０に連通するノズル２１と、それ以外の圧力室２０に連通するノズル２１とにおいて、インクの吐出性能にばらつきが生じ得る。また、当該圧力室２０の流路抵抗が高まり、アンダーリフィル現象が生じ得る。これに対し、本構成によれば、ガイド面３１ｇ，３２ｇが第２方向において圧力室２０と重ならないため、上記問題を抑制できる。

帰還流路３２において、第１方向の他方（図２の下方）の端部は、帰還ガイド面３２ｈで画定されている。本構成によれば、帰還口３２ｘ近傍の淀みを抑制できる。

帰還ガイド面３２ｈは、第２方向において、第２圧力室群２０Ｂに属する複数の圧力室２０のいずれとも重ならない（図２参照）。帰還ガイド面３２ｈが第２方向において圧力室２０と重なる場合、当該圧力室２０におけるインクの流速が高まり、当該圧力室２０に連通するノズル２１と、それ以外の圧力室２０に連通するノズル２１とにおいて、インクの吐出性能にばらつきが生じ得る。また、当該圧力室２０の流路抵抗が高まり、アンダーリフィル現象が生じ得る。これに対し、本構成によれば、帰還ガイド面３２ｈが第２方向において圧力室２０と重ならないため、上記問題を抑制できる。

第１圧力室群２０Ａに属する圧力室２０と、第２圧力室群２０Ｂに属する圧力室２０とが、接続流路２３、及び、ノズル２１の直上を通る連通路２２を介して、互いに連通している（図３参照）。この場合、接続流路２３及び連通路２２を介したインクの循環により、ノズル２１の乾燥を防止し、メニスカスを維持できる。

ダミー圧力室５０ａ，５０ｂと第３方向に重なる位置に、ダミー圧電体１２ｃが設けられている（図４参照）。この場合、各圧力室群２０Ａ，２０Ｂにおいて、第１方向の中央にある圧力室２０と、第１方向の端部にある圧力室２０との間での、圧電体１２ｃの焼成による収縮量の差を抑制し、成形精度を向上できる。

ダミー圧電体１２ｃに対し、第３方向の一方及び他方に、ダミー電極（ダミー圧力室５０ａ，５０ｂに対して設けられた個別電極１２ｄ及び共通電極１２ｂ）が設けられている（図４参照）。この場合、各圧力室群２０Ａ，２０Ｂにおいて、第１方向の中央にある圧力室２０と、第１方向の端部にある圧力室２０との間での、圧電体１２ｃの焼成による収縮量の差だけでなく、電極形成による収縮量の差をも抑制し、成形精度をより一層向上できる。また、ダミー電極は配線基板９０と電気的に接続しないため、ダミー圧電体１２ｃの無駄な駆動を防止できる。

ダミー圧力室５０ａ，５０ｂは、ノズル２１に連通しない（図２及び図４参照）。ダミー圧力室５０ａ，５０ｂがノズル２１に連通する場合、ダミー圧力室５０ａ，５０ｂに隣接する圧力室２０の容積変動に伴い、ダミー圧力室５０ａ，５０ｂの容積が変動し、ノズル２１からインクが漏出し得る。これに対し、本構成によれば、当該問題を抑制できる。

＜第２実施形態＞
続いて、図６及び図７を参照し、本発明の第２実施形態に係るヘッド２０１について説明する。

第１実施形態では、圧力室２０よりも大きなサイズのダミー圧力室５０ａ，５０ｂを介して、供給流路３１及び帰還流路３２が互いに連通しているが（図２及び図４参照）、本実施形態では、圧力室２０と同じサイズのダミー圧力室２５０ａ，２５０ｂを介して、供給流路３１及び帰還流路３２が互いに連通している（図６及び図７参照）。

以下、本実施形態において第１実施形態と異なる点を説明し、本実施形態において第１実施形態と同じ構成については説明を省略する。

本実施形態では、複数の個別流路３０に対して第１方向の一方（図６の上方）に、２つのダミー個別流路３０ｘが配置されている。これらダミー個別流路３０ｘは、第１実施形態のダミー個別流路３０ｘと同様、ノズル２１を含まない点を除き、個別流路３０と同じ構成である。

各ダミー個別流路３０ｘに含まれる２つのダミー圧力室のうち、第１圧力室群２０Ａに属する複数の圧力室２０に対して第１方向の一方（図６の上方）に配置されたダミー圧力室が、ダミー圧力室２５０ａである。各ダミー個別流路３０ｘに含まれる２つのダミー圧力室のうち、第２圧力室群２０Ｂに属する複数の圧力室２０に対して第１方向の一方（図６の上方）に配置されたダミー圧力室が、ダミー圧力室２５０ｂである。

即ち、第１圧力室群２０Ａに属する複数の圧力室２０に対して第１方向の一方（図６の上方）に、２つのダミー圧力室２５０ａが配置されている。第２圧力室群２０Ｂに属する複数の圧力室２０に対して第１方向の一方（図６の上方）に、２つのダミー圧力室２５０ｂが配置されている。

ここで、ダミー圧力室２５０ａが「第１ダミー圧力室」に該当し、ダミー圧力室２５０ｂが「第２ダミー圧力室」に該当する。

供給流路３１及び帰還流路３２は、２つのダミー圧力室２５０ａ及び２つのダミー圧力室２５０ｂを介して、互いに連通している。

ダミー圧力室２５０ａ，２５０ｂは、それぞれ圧力室２０と同じサイズであり、第１方向において各圧力室群２０Ａ，２０Ｂに属する複数の圧力室２０と同じピッチで並んでいる。また、ダミー圧力室２５０ａ，２５０ｂは、第３方向において圧力室２０と同じ位置にある（図７参照）。

ダミー圧力室２５０ａ，２５０ｂの第２方向の一端には、連結流路２５と同様の連結流路２５５が連結し、ダミー圧力室２５０ａ，２５０ｂの第２方向の他端には、接続流路２３と同様の接続流路２５３が連結している。２つの接続流路２５３の下端は、連通路２２と同様の連通路２５２によって接続されている。

ダミー圧力室２５０ａ，２５０ｂは、図７に示すように、アクチュエータ基板１２の振動板１２ａ及び共通電極１２ｂに覆われている。圧電体１２ｃ及び個別電極１２ｄは、圧力室２０だけでなく、ダミー圧力室２５０ａ，２５０ｂに対しても、設けられている。アクチュエータ基板１２は、ダミー圧力室２５０ａ，２５０ｂのそれぞれと鉛直方向に重なる位置にも、アクチュエータ１２ｘを有する。さらに、ダミー圧力室２５０ａ，２５０ｂに対して設けられた個別電極１２ｄにも個別配線１２ｅが接続されているが、当該個別配線１２ｅは配線基板９０（図３参照）と電気的に接続されていない。そのため、ダミー圧力室２５０ａ，２５０ｂに対して設けられた個別電極１２ｄの電位は上記のように変化せず、ダミー圧力室２５０ａ，２５０ｂの容積は上記のように変化しない。

ここで、ダミー圧力室２５０ａ，２５０ｂに対して設けられた圧電体１２ｃが「ダミー圧電体」に該当し、ダミー圧力室２５０ａ，２５０ｂに対して設けられた個別電極１２ｄ及び共通電極１２ｂが「ダミー電極」に該当する。

以上のような流路構成において、インクを循環させる際、インクは以下のように流れる。図６及び図７中の太矢印は、循環時におけるインクの流れを示す。

供給流路３１に供給されたインクは、供給流路３１内を第１方向の他方（図６の下方）から一方（図６の上方）に向かって移動しつつ、個別流路３０及びダミー個別流路３０ｘに流入する。

ダミー個別流路３０ｘに流入したインクは、個別流路３０に流入したインクと同様に流れる。ただし、ダミー個別流路３０ｘはノズル２１を含まないため、ダミー個別流路３０ｘを通るインクは全て帰還流路３２に流入する。

具体的には、ダミー個別流路３０ｘに流入したインクは、図７に示すように、第１圧力室群２０Ａに対応する連結流路２５５を通って、ダミー圧力室２５０ａに入り、さらに圧力室群２０Ａに対応する接続流路２５３を通って下方に移動し、連通路２５２の一端に流入する。当該インクは、連通路２５２を水平方向に移動し、連通路２５２の他端から、第２圧力室群２０Ｂに対応する接続流路２５３に入り、上方に移動する。当該インクは、ダミー圧力室２５０ｂに入り、第２圧力室群２０Ｂに対応する連結流路２５５を通って、帰還流路３２に流入する。

供給流路３１及び帰還流路３２の第１方向の一方（図６の上方）の端部において、上記のようなダミー個別流路３０ｘを介したインクの流れが生じる。

以上に述べたように、本実施形態によれば、第１実施形態と同様の構成に基づく効果に加え、以下の効果が得られる。

供給流路３１及び帰還流路３２を互いに連通させるダミー圧力室として、サイズ及びピッチが圧力室２０と同じである複数のダミー圧力室２５０ａ，２５０ｂを利用している（図６参照）。この場合、サイズ及びピッチが圧力室と異なるダミー圧力室を利用する場合に比べ、クロストーク抑制や成形精度向上の効果をより確実に得ることができる。

ダミー圧力室２５０ａ，２５０ｂは、第３方向において圧力室２０と同じ位置にある（図７参照）。この場合、クロストーク抑制や成形精度向上の効果をより一層確実に得ることができる。

＜第３実施形態＞
続いて、図８を参照し、本発明の第３実施形態に係るヘッド３０１について説明する。

第１実施形態では、複数の個別流路３０に対して第１方向の一方（図２の上方）のみにおいて、供給流路３１及び帰還流路３２がダミー圧力室５０ａ，５０ｂを介して互いに連通しているが、本実施形態では、複数の個別流路３０に対して第１方向の一方（図８の上方）及び他方（図８の下方）のそれぞれにおいて、供給流路３１及び帰還流路３２がダミー圧力室５０ａ，５０ｂ，３５０ａ，３５０ｂを介して互いに連通している。

以下、本実施形態において第１実施形態と異なる点を説明し、本実施形態において第１実施形態と同じ構成については説明を省略する。

本実施形態では、複数の個別流路３０に対して第１方向の一方（図８の上方）に、第１実施形態と同様のダミー圧力室５０ａ，５０ｂが配置され、さらに、複数の個別流路３０に対して第１方向の他方（図８の下方）に、ダミー圧力室５０ａ，５０ｂと同様のダミー圧力室３５０ａ，３５０ｂが配置されている。ダミー圧力室３５０ａ，３５０ｂは、接続路５２と同様の接続路３５２を介して、互いに接続されている。

ダミー圧力室３５０ａ，３５０ｂは、複数の個別流路３０に対して第１方向の他方（図８の下方）に、１つのダミー個別流路３０ｘを挟んで配置されている。

ダミー圧力室３５０ａは、第１圧力室群２０Ａに属する複数の圧力室２０に対して第１方向の他方（図８の下方）に配置されている。第１方向においてダミー圧力室３５０ａと第１圧力室群２０Ａに属する複数の圧力室２０との間に、１つのダミー圧力室２０ｘが配置されている。ダミー圧力室３５０ａは、第１圧力室群２０Ａに属する複数の圧力室２０、第１圧力室群２０Ａに対応するダミー圧力室２０ｘ、及び、ダミー圧力室５０ａと共に、第１方向に１列に配列されている。

ダミー圧力室３５０ｂは、第２圧力室群２０Ｂに属する複数の圧力室２０に対して第１方向の他方（図８の下方）に配置されている。第１方向においてダミー圧力室３５０ｂと第２圧力室群２０Ｂに属する複数の圧力室２０との間に、１つのダミー圧力室２０ｘが配置されている。ダミー圧力室３５０ｂは、第２圧力室群２０Ｂに属する複数の圧力室２０、及び、第２圧力室群２０Ｂに対応するダミー圧力室２０ｘ、及び、ダミー圧力室５０ｂと共に、第１方向に１列に配列されている。

ここで、ダミー圧力室５０ａが「第１ダミー圧力室」に該当し、ダミー圧力室５０ｂが「第２ダミー圧力室」に該当し、ダミー圧力室３５０ａが「第３ダミー圧力室」に該当し、ダミー圧力室３５０ｂが「第４ダミー圧力室」に該当する。

供給口３１ｘは、供給流路３１における第１方向の略中央に形成されている。帰還口３２ｘは、帰還流路３２における第１方向の略中央に形成されている。

第１実施形態と同様、供給流路３１において、第１方向の一方（図８の上方）の端部は、ガイド面３１ｇで画定されている。帰還流路３２において、第１方向の一方（図８の上方）の端部は、ガイド面３２ｇで画定されている。

さらに本実施形態では、供給流路３１において、第１方向の他方（図８の下方）の端部は、ガイド面３１ｉで画定されている。帰還流路３２において、第１方向の他方（図８の下方）の端部は、ガイド面３２ｉで画定されている。

ここで、ガイド面３１ｇが「第１ガイド面」に該当し、ガイド面３２ｇが「第２ガイド面」に該当し、ガイド面３１ｉが「第３ガイド面」に該当し、ガイド面３２ｉが「第４ガイド面」に該当する。

ガイド面３１ｉ，３２ｉは、それぞれ斜め方向（第３方向と直交しかつ第１方向及び第２方向の双方と交差する方向）に延び、かつ、第１方向に延びる直線に関して互いに対称な形状を有する。具体的には、ガイド面３１ｉは、第１方向の一方（図８の上方）から他方（図８の下方）に向かうにつれて、第２方向において供給流路３１から帰還流路３２に近づくように傾斜している。ガイド面３２ｉは、第１方向の一方（図８の上方）から他方（図８の下方）に向かうにつれて、第２方向において帰還流路３２から供給流路３１に近づくように傾斜している。

ガイド面３１ｉは、第２方向において、第１圧力室群２０Ａに属する複数の圧力室２０のいずれとも重ならず、ダミー圧力室３５０ａと重なっている。ガイド面３２ｉは、第２方向において、第２圧力室群２０Ｂに属する複数の圧力室２０のいずれとも重ならず、ダミー圧力室３５０ｂと重なっている。

以上のような流路構成において、インクを循環させる際、インクは以下のように流れる。図８中の太矢印は、循環時におけるインクの流れを示す。

供給流路３１に供給されたインクは、供給口３１ｘから供給流路３１内を第１方向の一方（図８の上方）及び他方（図８の下方）のそれぞれに向かって移動しつつ、個別流路３０及びダミー個別流路３０ｘに流入する。

供給流路３１内を移動し、供給流路３１における第１方向の一方（図８の上方）の端部に至ったインクは、ガイド面３１ｇに沿って、ダミー圧力室５０ａに流入する。ダミー圧力室５０ａに流入したインクは、接続路５２及びダミー圧力室５０ｂを通り、ダミー圧力室５０ｂから流出する。ダミー圧力室５０ｂから流出したインクは、ガイド面３２ｇに沿って、帰還流路３２における第１方向の一方（図８の上方）の端部に流入する。

供給流路３１内を移動し、供給流路３１における第１方向の他方（図８の下方）の端部に至ったインクは、ガイド面３１ｉに沿って、ダミー圧力室３５０ａに流入する。ダミー圧力室３５０ａに流入したインクは、接続路３５２及びダミー圧力室３５０ｂを通り、ダミー圧力室３５０ｂから流出する。ダミー圧力室３５０ｂから流出したインクは、ガイド面３２ｉに沿って、帰還流路３２における第１方向の他方（図８の下方）の端部に流入する。

帰還流路３２における第１方向の一方（図８の上方）の端部に流入したインクは、帰還流路３２内を第１方向の一方（図８の上方）から他方（図８の下方）に向かって移動し、帰還口３２ｘに流入する。

帰還流路３２における第１方向の他方（図８の下方）の端部に流入したインクは、帰還流路３２内を第１方向の他方（図８の下方）から一方（図８の上方）に向かって移動し、帰還口３２ｘに流入する。

以上に述べたように、本実施形態によれば、第１実施形態と同様の構成に基づく効果に加え、以下の効果が得られる。

各圧力室群２０Ａ，２０Ｂに対して第１方向の一方（図８の上方）に、ダミー圧力室５０ａ，５０ｂが設けられたことに加え、各圧力室群２０Ａ，２０Ｂに対して第１方向の他方（図８の下方）に、ダミー圧力室３５０ａ，３５０ｂが設けられている。これにより、第１方向の一方だけでなく、第１方向の他方においても、クロストーク抑制や成形精度向上の効果が得られる。

供給流路３１及び帰還流路３２が、各圧力室群２０Ａ，２０Ｂに対して第１方向の一方（図８の上方）において、ダミー圧力室５０ａ，５０ｂを介して互いに連通していることに加え、各圧力室群２０Ａ，２０Ｂに対して第１方向の他方（図８の下方）において、ダミー圧力室３５０ａ，３５０ｂを介して互いに連通している。この場合、第１方向の一方のみにおいてインクを循環させる場合に比べ、帰還流路３２の圧力損失を低減し、循環量を増大できる。

供給流路３１及び帰還流路３２における第１方向の一方（図８の上方）の端部と第１方向の他方（図８の下方）の端部との間に、供給口３１ｘ及び帰還口３２ｘがそれぞれ設けられている。この場合、第１方向の一方（図８の上方）におけるダミー圧力室５０ａ，５０ｂを通る流路の抵抗と、第１方向の他方（図８の下方）におけるダミー圧力室３５０ａ，３５０ｂを通る流路の抵抗とを揃えることができる。ひいては、ヘッド３０１全体において、インクを均等に循環させることができる。

供給流路３１及び帰還流路３２のそれぞれにおいて、第１方向の一方（図８の上方）の端部は、ガイド面３１ｇ，３２ｇで画定されており、さらに、第１方向の他方（図８の下方）の端部は、ガイド面３１ｉ，３２ｉで画定されている。供給口３１ｘ及び帰還口３２ｘから離隔した部分では、インクの流速が低くなり、淀みが生じ易くなり得る。この点、本実施形態では、当該部分にガイド面３１ｇ，３２ｇ，３１ｉ，３２ｉを設けたことで、淀みを抑制できる。

ガイド面３１ｇ，３１ｉは、それぞれ、第２方向において、第１圧力室群２０Ａに属する複数の圧力室２０のいずれとも重ならず、ガイド面３２ｇ，３２ｉは、それぞれ、第２方向において、第２圧力室群２０Ｂに属する複数の圧力室２０のいずれとも重ならない。ガイド面３１ｇ，３２ｇ，３１ｉ，３２ｉが第２方向において圧力室２０と重なる場合、当該圧力室２０におけるインクの流速が高まり、当該圧力室２０に連通するノズル２１と、それ以外の圧力室２０に連通するノズル２１とにおいて、インクの吐出性能にばらつきが生じ得る。また、当該圧力室２０の流路抵抗が高まり、アンダーリフィル現象が生じ得る。これに対し、本構成によれば、ガイド面３１ｇ，３２ｇ，３１ｉ，３２ｉが第２方向においていずれの圧力室２０とも重ならないため、上記問題を抑制できる。

＜第４実施形態＞
続いて、図９及び図１０を参照し、本発明の第４実施形態に係るヘッド４０１について説明する。

第１実施形態では、第１圧力室群２０Ａに属する圧力室２０と、第２圧力室群２０Ｂに属する圧力室２０とが、連通路２２を介して互いに連通しているが（図２及び図３参照）、本実施形態では、第１圧力室群２０Ａに属する圧力室２０と、第２圧力室群２０Ｂに属する圧力室２０とが、連通路２２を介して互いに連通せず、接続流路２３の直下にノズル２１が配置されている（図９及び図１０参照）。

以下、本実施形態において第１実施形態と異なる点を説明し、本実施形態において第１実施形態と同じ構成については説明を省略する。

本実施形態において、複数の個別流路４３０は、紙幅方向（第１方向）に千鳥状に２列に配列されており、第１圧力室群２０Ａを構成する圧力室２０を含む個別流路４３０と、第２圧力室群２０Ｂを構成する圧力室２０を含む個別流路４３０とに分類される。各個別流路４３０は、１つの圧力室２０、１つのノズル２１、１つの接続流路２３及び１つの連結流路２５を含む。各個別流路４３０において、圧力室２０内のインクに圧力が付与されると、接続流路２３を介してノズル２１からインクが吐出される。

第１圧力室群２０Ａを構成する圧力室２０を含む個別流路４３０に対して第１方向の一方（図９の上方）及び他方（図９の下方）のそれぞれに、ダミー個別流路４３０ｘが１つずつ配置されている。第２圧力室群２０Ｂを構成する圧力室２０を含む個別流路４３０に対して第１方向の一方（図９の上方）及び他方（図９の下方）のそれぞれに、ダミー個別流路４３０ｘが１つずつ配置されている。ダミー個別流路４３０ｘは、ノズル２１を含まない点を除き、個別流路４３０と同じ構成である。以下、ダミー個別流路４３０ｘにおいて圧力室２０に対応する部分をダミー圧力室２０ｘという。ダミー圧力室２０ｘは、圧力室２０と同じサイズであり、第１方向において各圧力室群２０Ａ，２０Ｂに属する複数の圧力室２０と同じピッチで並んでいる。

第１圧力室群２０Ａを構成する圧力室２０を含む個別流路４３０に対して第１方向の一方（図９の上方）に、１つのダミー個別流路４３０ｘを挟んで、ダミー圧力室５０ａが配置されている。第２圧力室群２０Ｂを構成する圧力室２０を含む個別流路４３０に対して第１方向の一方（図９の上方）に、１つのダミー個別流路４３０ｘを挟んで、ダミー圧力室５０ｂが配置されている。

以上のような流路構成において、インクを循環させる際、インクは以下のように流れる。図９中の太矢印は、循環時におけるインクの流れを示す。

供給流路３１に供給されたインクは、供給流路３１内を第１方向の他方（図９の下方）から一方（図９の上方）に向かって移動する。本実施形態では、このとき供給流路３１から個別流路４３０及びダミー個別流路４３０ｘを通って帰還流路３２に至るインクの流れは生じない。

供給流路３１における第１方向の一方（図９の上方）の端部に至ったインクは、ダミー圧力室５０ａ、接続路５２及びダミー圧力室５０ｂを通って、帰還流路３２における第１方向の一方（図９の上方）の端部に流入する。当該インクは、帰還流路３２内を第１方向の一方（図９の上方）から他方（図９の下方）に向かって移動し、帰還口３２ｘから流出して貯留室７ａ（図２参照）に戻される。

以上に述べたように、本実施形態によれば、個別流路の構成が第１実施形態と異なるものの、第１実施形態と同様の構成に基づく、第１実施形態と同様の効果が得られる。

＜変形例＞
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。

第２方向は、第１方向と交差すればよく、第１方向と直交することには限定されない。

ガイド面を省略してもよい。

第１圧力室群及び第２圧力室群のそれぞれは、上述の実施形態では１列に配列された複数の圧力室から構成されるが、複数列に配列された複数の圧力室から構成されてもよい。

ダミー圧力室に対して設けられた個別電極（ダミー電極）に、個別配線を設けなくてもよい。ダミー圧力室に対し、ダミー電極を設けなくてもよい。また、ダミー圧力室に対し、ダミー圧電体を設けなくてもよい。

ダミー圧力室は、ノズルに連通してもよい。

第１実施形態において、ダミー圧力室５０ａ，５０ｂは、第３方向と直交する平面のサイズ及び第３方向の長さが共に、圧力室２０よりも大きいが、これに限定されない。例えば、ダミー圧力室は、第３方向と直交する平面のサイズが圧力室と同じで、第３方向の長さが圧力室より大きくてもよい。或いは、ダミー圧力室は、第３方向と直交する平面のサイズが圧力室よりも大きく、第３方向の長さが圧力室と同じでもよい。

第１実施形態では、各ダミー圧力室５０ａ，５０ｂと各圧力室群２０Ａ，２０Ｂとの間に、１つの別のダミー圧力室２０ｘが設けられているが、複数の別のダミー圧力室２０ｘが設けられてもよい。例えば、クロストーク抑制や成形精度向上のためには、３個程度のダミー圧力室を設けてよい。

別のダミー圧力室を省略してもよい。

第２実施形態では、ダミー圧力室２５０ａ，２５０ｂを２つずつ設けているが、循環量を確保するため、第１ダミー圧力室及び第２ダミー圧力室を１０個程度ずつ設けてよい。

第１共通流路及び第２共通流路は、第１方向の一方及び他方のそれぞれにおいて、圧力室と同じサイズのダミー圧力室を介して、互いに連通してもよい。例えば、第２実施形態のダミー圧力室２５０ａ，２５０ｂを、圧力室群２０Ａ，２０Ｂに対して第１方向の他方（図６の下方）にも設けてよい。

ダミー圧力室以外の流路（例えば、ダミー圧電体やダミー電極が設けられていない、共通流路と深さが同等の流路）を追加し、第１共通流路及び第２共通流路をダミー圧力室と上記流路との両方を介して連通させてもよい。この場合でも、上記流路のみを介して循環させる場合に比べ、ダミー圧力室を介した循環がある分、上記流路を介した循環量を低減できる。したがって、この場合でも、上記流路の幅（第１方向の長さ）を抑え、ヘッドの第１方向の大型化を抑制できる。

第１〜第３実施形態では、２つの圧力室に対して１つのノズルが設けられているが、１つの圧力室に対して１つのノズルが設けられてもよい。例えば、第４実施形態のような個別流路の構成を、第２又は第３実施形態に適用してもよい。この場合、液体循環時において、第１共通流路から第１ダミー圧力室及び第２ダミー圧力室を介して第２共通流路に至る液体の流れは生じるが、第１共通流路から個別流路を通って第２共通流路に至る液体の流れは生じない。

つまり、本発明は、第１圧力室群に属する圧力室と第２圧力室群に属する圧力室とが互いに連通する場合、及び、第１圧力室群に属する圧力室と第２圧力室群に属する圧力室とが互いに連通しない場合の、いずれにも適用可能である。

アクチュエータは、圧電素子を用いたピエゾ方式のものに限定されず、その他の方式（例えば、発熱素子を用いたサーマル方式、静電力を用いた静電方式等）のものであってもよい。

ヘッドは、ライン式に限定されず、シリアル式（紙幅方向と平行な走査方向に移動しつつノズルから吐出対象に対して液体を吐出する方式）であってもよい。

吐出対象は、用紙に限定されず、例えば布、基板等であってもよい。

ノズルから吐出される液体は、インクに限定されず、任意の液体（例えば、インク中の成分を凝集又は析出させる処理液等）であってよい。

本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。また、本発明は、画像の記録以外の用途で使用される液体吐出装置（例えば、基板に導電性の液体を吐出して導電パターンを形成する液体吐出装置）にも適用可能である。

１；２０１；３０１；４０１ ヘッド（液体吐出ヘッド）
１２ｂ 共通電極
１２ｃ 圧電体
１２ｄ 個別電極
２０ 圧力室
２０ｘ ダミー圧力室（別のダミー圧力室）
２０Ａ 第１圧力室群
２０Ｂ 第２圧力室群
２１ ノズル
２２ 連通路
２３ 接続流路（第１接続流路，第２接続流路）
３１ 供給流路（第１共通流路）
３１ｇ，３１ｉ ガイド面
３１ｘ 供給口
３２ 帰還流路（第２共通流路）
３２ｇ，３２ｉ ガイド面
３２ｈ 帰還ガイド面
３２ｘ 帰還口
５０ａ ダミー圧力室（第１ダミー圧力室）
５０ｂ ダミー圧力室（第２ダミー圧力室）
５２ 接続路
９０ 配線基板
１００ プリンタ
２５０ａ ダミー圧力室（第１ダミー圧力室）
２５０ｂ ダミー圧力室（第２ダミー圧力室）
３５０ａ ダミー圧力室（第３ダミー圧力室）
３５０ｂ ダミー圧力室（第４ダミー圧力室）

Claims (21)

1. 第１方向に配列された複数の圧力室から構成される第１圧力室群と、
   前記第１方向に配列された複数の圧力室から構成され、前記第１方向と交差する第２方向に前記第１圧力室群と並ぶ第２圧力室群と、
   前記第１方向に延び、前記第１圧力室群に属する前記複数の圧力室に連通する第１共通流路と、
   前記第１方向に延び、前記第２圧力室群に属する前記複数の圧力室に連通し、前記第２方向に前記第１共通流路と並ぶ第２共通流路と、
   前記第１圧力室群に対して前記第１方向の一方に配置された第１ダミー圧力室と、
   前記第２圧力室群に対して前記第１方向の一方に配置された第２ダミー圧力室と、を備え、
   前記第１共通流路及び前記第２共通流路は、前記第１ダミー圧力室及び前記第２ダミー圧力室を介して、互いに連通していることを特徴とする、液体吐出ヘッド。
2. 前記第１ダミー圧力室及び前記第２ダミー圧力室は、それぞれ、前記複数の圧力室のいずれの圧力室よりも容積が大きいことを特徴とする、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記第１ダミー圧力室及び前記第２ダミー圧力室は、それぞれ、前記第１方向及び前記第２方向の双方と直交する第３方向の長さが、前記いずれの圧力室よりも長いことを特徴とする、請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記第１方向において前記第１ダミー圧力室と前記第１圧力室群との間、及び、前記第１方向において前記第２ダミー圧力室と前記第２圧力室群との間のそれぞれに、前記複数の圧力室のそれぞれと同じサイズの別のダミー圧力室が、前記第１方向に前記複数の圧力室と同じピッチで並んでいることを特徴とする、請求項２又は３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記第１ダミー圧力室と前記第２ダミー圧力室とを接続する接続路を備え、
   前記接続路は、前記第１方向及び前記第２方向の双方と直交する第３方向において前記第１ダミー圧力室及び前記第２ダミー圧力室と同じ位置にあり、前記第１方向において前記第１ダミー圧力室及び前記第２ダミー圧力室と同じ長さを有することを特徴とする、請求項２〜４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記第１共通流路及び前記第２共通流路は、複数の前記第１ダミー圧力室及び複数の前記第２ダミー圧力室を介して、互いに連通し、
   前記複数の第１ダミー圧力室及び前記複数の第２ダミー圧力室は、それぞれ前記複数の圧力室のそれぞれと同じサイズであり、前記第１方向に前記複数の圧力室と同じピッチで並んでいることを特徴とする、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記複数の圧力室、前記第１ダミー圧力室及び前記第２ダミー圧力室は、それぞれ、前記第１方向及び前記第２方向の双方と直交する第３方向において互いに同じ位置にあることを特徴とする、請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記第１共通流路における前記第１方向の他方の端部に、供給口が設けられ、
   前記第２共通流路における前記第１方向の他方の端部に、帰還口が設けられたことを特徴とする、請求項１〜７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記第１圧力室群に対して前記第１方向の他方に配置された第３ダミー圧力室と、
   前記第２圧力室群に対して前記第１方向の他方に配置された第４ダミー圧力室と、をさらに備えたことを特徴とする、請求項１〜７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記第１共通流路及び前記第２共通流路は、さらに、前記第３ダミー圧力室及び前記第４ダミー圧力室を介して、互いに連通していることを特徴とする、請求項９に記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記第１共通流路における前記第１方向の一方の端部及び他方の端部との間に、供給口が設けられ、
    前記第２共通流路における前記第１方向の一方の端部及び他方の端部との間に、帰還口が設けられたことを特徴とする、請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。
12. 前記第１共通流路及び前記第２共通流路の少なくとも一方における前記第１方向の一方の端部は、ガイド面で画定されており、
    前記ガイド面は、前記第１方向の他方から一方に向かうにつれて、前記第２方向において前記第１共通流路及び前記第２共通流路の一方から前記第１共通流路及び前記第２共通流路の他方に近づくように傾斜していることを特徴とする、請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
13. 前記ガイド面は、前記第２方向において、前記第１圧力室群及び前記第２圧力室群のうち前記第１共通流路及び前記第２共通流路の一方に連通する圧力室群に属する前記複数の圧力室のいずれとも重ならないことを特徴とする、請求項１２に記載の液体吐出ヘッド。
14. 前記第２共通流路における前記第１方向の他方の端部は、帰還ガイド面で画定されており、
    前記帰還ガイド面は、前記第１方向の一方から他方に向かうにつれて、前記第２方向において前記第１共通流路から前記第２共通流路に近づくように傾斜し、かつ、前記第１方向の他方の端部に前記帰還口が配置されていることを特徴とする、請求項８、１２、１３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
15. 前記帰還ガイド面は、前記第２方向において、前記第２圧力室群に属する前記複数の圧力室のいずれとも重ならないことを特徴とする、請求項１４に記載の液体吐出ヘッド。
16. 前記第１共通流路における前記第１方向の一方の端部は、前記第１方向の他方から一方に向かうにつれて、前記第２方向において前記第１共通流路から前記第２共通流路に近づくように傾斜した、第１ガイド面で画定され、
    前記第２共通流路における前記第１方向の一方の端部は、前記第１方向の他方から一方に向かうにつれて、前記第２方向において前記第２共通流路から前記第１共通流路に近づくように傾斜した、第２ガイド面で画定され、
    前記第１共通流路における前記第１方向の他方の端部は、前記第１方向の一方から他方に向かうにつれて、前記第２方向において前記第１共通流路から前記第２共通流路に近づくように傾斜した、第３ガイド面で画定され、
    前記第２共通流路における前記第１方向の他方の端部は、前記第１方向の一方から他方に向かうにつれて、前記第２方向において前記第２共通流路から前記第１共通流路に近づくように傾斜した、第４ガイド面で画定されていることを特徴とする、請求項１１に記載の液体吐出ヘッド。
17. 前記第１ガイド面及び前記第３ガイド面は、それぞれ、前記第２方向において、前記第１圧力室群に属する前記複数の圧力室のいずれとも重ならず、
    前記第２ガイド面及び前記第４ガイド面は、それぞれ、前記第２方向において、前記第２圧力室群に属する前記複数の圧力室のいずれとも重ならないことを特徴とする、請求項１６に記載の液体吐出ヘッド。
18. 複数のノズルと、
    それぞれ前記複数のノズルのうちの少なくとも１つの直上を通る複数の連通路と、
    それぞれ前記第１圧力室群に属する前記複数の圧力室のうちの１つと前記複数の連通路のうちの１つとを接続する複数の第１接続流路と、
    それぞれ前記第２圧力室群に属する前記複数の圧力室のうちの１つと前記複数の連通路のうちの１つとを接続する複数の第２接続流路と、をさらに備えたことを特徴とする、請求項１〜１７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
19. 前記複数の圧力室のそれぞれと、前記第１方向及び前記第２方向の双方と直交する第３方向に重なる位置に、圧電体が設けられており、
    前記第１ダミー圧力室及び前記第２ダミー圧力室のそれぞれと、前記第３方向に重なる位置に、ダミー圧電体が設けられていることを特徴とする、請求項１〜１８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
20. 前記圧電体に対し、前記第３方向の一方及び他方に、電極が設けられており、
    前記ダミー圧電体に対し、前記第３方向の一方及び他方に、ダミー電極が設けられており、
    前記電極と電気的に接続しかつ前記ダミー電極と電気的に接続しない配線基板をさらに備えたことを特徴とする、請求項１９に記載の液体吐出ヘッド。
21. 前記複数の圧力室は、それぞれ、ノズルに連通し、
    前記第１ダミー圧力室及び前記第２ダミー圧力室は、それぞれ、ノズルに連通しないことを特徴とする、請求項１〜２０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

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