JP2020116670A - 基板搬送方法、該基板搬送方法を備える基板搬送装置、及び該基板搬送装置と基板加工装置とからなる基板搬送装置付き基板加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】基板搬送装置を、安価にしかも大幅なレイアウト等の変更なしに提供し、しかも既存の基板加工装置への追加設置をも簡易かつ確実に行うものである。【解決手段】基板加工装置１１に加工前基板９を搬入して投入し、また加工後基板１０を排出して搬出するために加工前後の収納装置３、４を両端に配置する基板搬送装置２を、複数並設する加工テーブル１２の加工部１３ａ〜１３ｆに対して平行に展開するので、加工前後の基板の搬入・搬出作業は収納装置の上部を開放して行えて、構造を単純化して安価に、且つ故障を防止でき、しかも加工前後の基板の搬入・搬出作業も各々一箇所に集中して装置全体の作業工程数を削減しつつ、各基板収納装置での基板の供給・回収も側面で行って省スペース化するので、設置や作業スペース等が最小限になり、基板搬送装置の追加や新たな装置全体の設置を、安価にしかも大幅なレイアウト等の変更なしに簡易かつ確実に行える。【選択図】図１

Description

本願発明は、基板に穴明け加工等を行う基板加工装置に対して加工前の基板を投入し、又、加工後の基板を排出するという、穴明け加工前後の基板を搬送してなる基板搬送方法、該基板搬送方法を備える基板搬送装置、及び該基板搬送装置と基板加工装置とからなる基板搬送装置付き基板加工装置に関する。

従来、基板に穴明け加工等を行う基板加工装置に対して加工前の基板を投入し、又、加工後の基板を排出するという、加工前後の基板を搬送する基板搬送方法を備える基板搬送装置では、基板加工装置での加工作業も含めて短時間で完了させるため、該基板加工装置へ加工前の基板を投入し、又、加工後の基板を排出するという、加工前後の基板を搬送する時間も短時間とすることを必然的に要求されていた。

そのため、図１１において示すように、基板加工装置Ｋが複数のスピンドル（図示せず。尚、図１１に示す基板加工装置Ｋにおいては、６個のスピンドルが設置された６加工軸仕様となっている。）を有することから、その各加工軸に対して、それぞれ加工前の基板Ｉを投入し、又、加工後の基板Ｊを排出するという、加工前後の基板Ｉ、Ｊを搬送する基板搬送装置Ｂが複数（図１１においては、基板加工装置Ｋの６加工軸に対応して、６個の基板搬送装置）使用されていた。

すなわち、各基板搬送装置Ｂにおいては、加工前収納装置Ｃから基板加工装置Ｋを経て加工後収納装置Ｄへ至る加工前後の基板Ｉ、Ｊの移動方向を一致させるとともに、基板Ｉ、Ｊの移動距離が最短となるように、基板加工装置Ｋに対してその各加工軸毎に各々独立した基板搬送装置Ｂが直列に且つ相互に並列に配置されていた。

そして、各基板搬送装置Ｂは、基板加工装置Ｋの各加工軸に対応してそれぞれ独立するものであって、それぞれ加工前収納装置Ｃ、加工後収納装置Ｄ、基板エレベーターＥ、基板載置スペースＨ、搬入搬出リフトＦ及び投入排出リフトＧとからなるものである。
ここで、加工前収納装置Ｃと加工後収納装置Ｄとは、後述するように上下に積層するように配置されるので、該加工前収納装置Ｃから加工前基板Ｉを搬出搬入リフトＦにより基板載置スペースＨへ搬入する際、又は基板加工装置Ｋから基板載置スペースＨへ排出されて載置された加工後基板Ｊを加工後収納装置Ｄへ搬入する際には、その加工前・後基板Ｉ、Ｊを円滑に搬出入させるために、基板載置スペースＨと加工前収納装置Ｃ、あるいは加工後収納装置Ｄとの高さをそれぞれ合わせる必要がある。そのため、上下に積層されて配置されている加工前収納装置Ｃと加工後収納装置Ｄとを、基板エレベーターＥによって保持しつつ、該基板エレベーターＥを上昇又は下降させて各収納装置Ｃ、Ｄの高さの制御を行うものである。

従って、上記基板搬送装置Ｂは、基板加工装置Ｋの各加工軸に対応して設置されるとともに、その各基板搬送装置Ｂにおいて、基板加工装置Ｋでの基板加工に際しては、基板エレベーターＥによって基板載置スペースＨとの高さが一致させられている加工前収納装置Ｃから、加工前基板Ｉが搬入搬出リフトＦにより基板載置スペースＨへ搬入されるとともに、投入排出リフトＧにより該基板載置スペースＨに載置された加工前基板Ｉが、基板加工装置Ｋの加工軸に応じて設けられた加工テーブルＬ上の加工部Ｍへ各々投入されることになる。

一方、基板加工装置Ｋでの加工後は、投入排出リフトＧにより加工後基板Ｊが基板載置スペースＨへ排出されるとともに、該基板載置スペースＨに載置された加工後基板Ｊが基板エレベーターＥの作動によって基板載置スペースＨとの高さが一致することになる加工後収納装置Ｄへ、搬入搬出リフトＦにより搬出される。
そして、加工後基板Ｊの加工後収納装置Ｄへの搬出後は、再び加工前収納装置Ｃから加工前基板Ｉを搬入するために、加工前収納装置Ｃと基板載置スペースＨとの高さが一致するように、基板エレベーターＥが作動するものである。

ところが、上記基板搬送装置Ｂは、１台の基板加工装置Ｋに複数（図１１の場合は６加工軸）設けられた各加工軸に各々対応するように並設されており、しかもできるだけ基板搬送装置Ｂの設置場所をとらないようにするために、基板加工装置Ｋに設けられた加工軸の幅を基礎として、互いに接近するように配置されている。
ここで、基板加工装置Ｋの加工軸ピッチは、加工する基板の大きさによって規制されているが、現在一般的に５６０ｍｍが採用されているので、基板加工装置Ｋに対して加工前後の基板Ｉ、Ｊを搬送する各基板搬送装置Ｂの最大幅は、その加工軸ピッチ５６０ｍｍに合わせて、５６０ｍｍ未満とする制約を受けることになる。また、現在、基板Ｉ、Ｊ自体の最大幅は一般的に５１０ｍｍであり、前述のようにできるだけ基板搬送装置Ｂの設置場所をとらないようにするために、各基板搬送装置Ｂが並列して設置されることから、基板搬送装置Ｂを構成する構成部品や制御機構等の幅について、上記基板搬送装置Ｂの最大幅と基板Ｉ、Ｊ自体の最大幅との寸法差である５０ｍｍ未満との制限が発生し、基板搬送装置Ｂの奥行きが長くなった。
そもそも、基板加工装置Ｋに対して基板搬送装置Ｂが直列に配置されていることから、基板搬送装置付き基板加工装置Ａの奥行き（図１１における紙面左右方向）が大きくなるものであった。それに加えて、前述のように幅方向の制約が加わることとから、より奥行きが長くなる上、基板搬送装置Ｂでは加工前収納装置Ｃへ加工前基板Ｉを収納し、また加工後収納装置Ｄから加工後基板Ｊを取り出すための搬入搬出作業スペースが、基板搬送装置Ｂの後側に必要となって、更に装置設置に伴う奥行きが長くなった。しかも、基板加工装置Ｋの前面にはオペレータ作業スペースが、また、その側面には側面メンテナンススペースが併せて必要となるため、単に搬送装置Ｂのみを設置するだけでもその周囲に大きなスペースが必要になった。

一方、基板搬送装置Ｂの奥行きを少しでも短くするためには、加工前収納装置Ｃと加工後収納装置Ｄを上下に積層して配置せざるを得ず、その結果、基板エレベーターＥを用いて基板の収納装置の高さを変える必要があることと合わせて、基板搬送装置Ｂを構成する各構成部品や制御機構についてコクパクト化する必要があることから、複雑で精緻な機構が必要となって、それら構成部品や制御機構の製造コストが増大することとなった。
その結果、基板搬送装置Ｂ自体が非常に大きくなって設置場所をとったり、あるいはその製造コストが著しく高くなったりした。

ところで、基板に対する加工作業が複雑化するにつれ、基板加工装置Ｋにおける加工作業に必要となる作業時間が増大してきたため、基板加工装置Ｋに対する基板搬送装置Ｂの搬送作業時間の重要性は低下するものとなった。

そこで、基板加工装置Ｋに対する基板搬送装置Ｂの作業内容も、加工前後の基板Ｉ、Ｊを基板加工装置Ｋの加工軸に応じて設けられた加工テーブルＬ上の加工部Ｍへ搬入し、又、搬出することが中心となって容易であるため、上記コストの高い基板搬送装置Ｂを省略し、基板加工装置Ｋに対して加工前後の基板Ｉ、Ｊを投入し、又、排出する作業をオペレータ作業スペース側から人手により行うこともなされた。

ところが、近年、基板加工作業に必要とされる加工作業時間が増大するにつれ、基板加工装置Ｋに対する加工前後の基板Ｉ、Ｊの搬入、搬出工程が、必然的に深夜や早朝になることが頻発するようになった。

そのため、作業者を雇用しようとしても昨今の人手不足により作業者を十分に集められず、基板加工作業自体に時間的制約が発生して、さらなる製造コストの上昇につながるものとなった。

その結果、単体としての基板加工装置Ｋに対して加工前後の基板Ｉ、Ｊを人手によって投入・排出する場合には、人手不足という問題から、製造コストの上昇を招来するという欠点があり、また、単体としての基板加工装置Ｋに対して前記従来例に示すような基板搬送装置Ｂを追加し、あるいは単体としての基板加工装置に換えて新たに前記従来例に示すような基板搬送装置も含めた基板加工装置Ｋを設置することは、大幅なレイアウトやスペースの変更を伴うことから、安価に、しかも大幅なレイアウトの変更無しに、基板搬送装置Ｂの付随した基板加工装置Ｋを設置することができないという欠点があった。

特開昭６１−２４４４４１号公報

解決しようとする問題点は、基板加工装置に対して加工前後の基板を加工のための所定位置に搬入して投入し、また、排出して搬出する基板搬送装置において、加工前後の基板の搬送方向や構成部材の配置を変更し、また構成部材を省略することで省スペース化し、基板搬送装置の追加設置においても最低限のコストで、大幅なレイアウトやスペースの変更を伴わずに、簡易かつ確実に実現できるようにする。

そこで、まず一つの基板搬送方法として、
複数の加工軸を有する基板加工装置に対して平行に展開され、一端に載置された加工前基板を他端方向へ順次送出し、所定位置に各々配置し、該加工前基板を基板加工装置の加工テーブル上に複数並設された加工部へ投入し、基板加工装置によって加工した後には、該加工後基板を基板加工装置の加工部から、投入前と同位置に排出した上で、該加工後基板を他端方向へ順次送出して、収納するという工程を反復して行うものであって、
イ）搬送機構の外側一端に載置された加工前基板を、基板加工装置に対して平行に駆 動する搬送機構へ搬入する、
ロ）該加工前基板を搬送機構により他端方向へ送出するとともに、新たな加工前基板を基板加工装置の加工軸数に合わせて順次加工前基板を搬送機構へ搬入し、基板加工装置の加工テーブル上に複数並設された加工部に対応する位置に各々配置する、
ハ）該基板加工装置の各加工部に対応する位置に各々配置された前記加工前基板を、基 板加工装置の各対応する加工部へ投入する、
ニ）基板加工装置による基板加工が終了した加工後基板を、基板加工装置の加工部 から、搬送機構上の元の位置に排出する、
ホ）搬送機構上の元の位置に排出された加工後基板の内、搬送機構の最他端側に排出さ れた加工後基板を、搬送機構の他端の外側に搬出する、
ヘ）残りの加工後基板を、順次、搬送機構により他端方向へ送出して、最他端側の位置で、搬送機構の他端の外側に搬出して収納する、
ト）以降、上記イ）〜ヘ）の工程を反復する、
ものである。

また、当該基板搬送方法を備える基板搬送装置として、
複数の加工軸を有する基板加工装置に対して平行に展開され、一端に加工前基板を載置・収納する加工前収納装置、他端に加工後基板を載置・収納する加工後収納装置、加工前収納装置と加工後収納装置間を連絡する軸移動コンベア、加工前収納装置から軸移動コンベアへ加工前基板を移動可能とする搬入リフト、軸移動コンベアから加工後収納装置へ加工後基板を移動可能とする搬出リフト、及び基板加工装置の加工テーブル上に複数並設された各加工部に対応して設けられ、軸移動コンベアと基板加工装置の各加工部との間で加工前後の基板を投入し、排出する投入排出リフトからなるものであって、
イ）加工前収納装置に載置・収納された加工前基板を、軸移動コンベアの一端へ搬入リフトにより搬入する、
ロ）該加工前基板を軸移動コンベアにより他端方向へ送出するとともに、基板加工装置の加工軸数及び加工軸ピッチに合わせて、順次新たな加工前基板を搬入リフトにより軸移動コンベアへ搬入し、基板加工装置の加工テーブル上に複数並設された加工部に対応する位置まで軸移動コンベアにより移動させる、
ハ）軸移動コンベア上の、該基板加工装置の各加工部に対応する位置に各々配置された前記加工前基板を、基板加工装置の各対応する加工部へ投入排出リフトにより投入する、
ニ）基板加工装置による基板加工が終了した加工後基板を、基板加工装置の加工部から軸移動コンベア上の元の位置に投入排出リフトにより排出する、
ホ）軸移動コンベア上の元の位置に排出された加工後基板の内、軸移動コンベアの最他端側に排出された加工後基板を、搬出リフトにより軸移動コンベアから加工後収納装置へ搬出して載置・収納する、
ヘ）軸移動コンベア上に排出されている残りの加工後基板を、順次、軸移動コンベアにより加工後収納装置側へ送出して、最他端側の位置で、搬出リフトにより軸移動コンベアから加工後収納装置へ搬出して載置・収納する、
ト）以降、イ）〜ヘ）の工程を反復する
としてなる基板搬送方法を備えるものである。

そのため、上記基板搬送方法及び該基板搬送方法を使用した基板搬送装置において、加工前後の基板は基板加工装置に対して平行に搬送機構、すなわち基板搬送装置においては軸移動コンベアによって搬送されるとともに、搬送機構あるいは該基板搬送装置の軸移動コンベアから基板加工装置へ直接投入、排出するものとなるので、基板加工装置の加工軸の数に対応した基板搬送装置を設置する必要がなく、また、基板搬送装置における基板移動のための各機構の設置面積の制約から生じる制御機構の高コスト化を招来することもなく、しかも基板搬送装置の奥行きを小さくすることができる上、その背面側には基板の搬入・排出作業のためのスペースを設けることもないため、基板搬送装置のみならず、該基板搬送装置付きの基板加工装置に必要とされる設置スペースを最小限にすることができるものである。

また、その他の基板搬送方法として、
複数の加工軸を有する基板加工装置に対して平行に展開され、一端に載置された加工前基板を、基板載置台の、基板加工装置の有する加工テーブル上に複数並設された加工部に対応する位置へ順次搬入して各々配置するとともに、該加工前基板を基板加工装置の各加工部へ投入し、基板加工装置によって加工した後には、該加工後基板を基板加工装置の加工部から、投入前と同位置に排出した上で、該加工後基板を他端方向へ順次搬出して、収納するという工程を反復して行うものであって、
イ）基板載置台の外側一端に載置された加工前基板を、基板載置台の、基板加工装置の有する加工テーブル上に複数並設された加工部に対応する位置へ、搬入機構により順次搬入して各々配置する、
ロ）該基板加工装置の各加工部に対応する位置に各々配置された前記加工前基板を、基 板加工装置の各対応する加工部へ投入する、
ハ）基板加工装置による基板加工が終了した加工後基板を、基板加工装置の加工部 から、基板載置台の元の位置に排出する、
ニ）加工後基板を当該位置から、搬出機構により順次移動させて、基板載置台の他端の 外側に搬出する、
ホ）前記ニ）により加工後基板を順次移動させた所から、順次前記イ）の工程により、 同位置に加工前基板を搬入して配置する、
ヘ）以降、上記ロ）〜ホ）の工程を反復する、
ものである。

また、その他の基板搬送方法を備える基板搬送装置として、
複数の加工軸を有する基板加工装置に対して平行に展開され、一端に加工前基板を載置・収納する加工前収納装置、他端に加工後基板を載置・収納する加工後収納装置、加工前収納装置と加工後収納装置間に基板載置台、加工前収納装置から基板載置台へ加工前基板を移動可能とする搬入リフト、基板載置台から加工後収納装置へ加工後基板を移動可能とする搬出リフト、及び基板加工装置の加工テーブル上に複数並設された各加工部に対応して設けられ、基板載置台と基板加工装置の各加工部との間で加工前後の基板を投入し、排出する投入排出リフトからなるものであって、
イ）加工前収納装置に載置・収納された加工前基板を、基板載置台の、基板加工装置の有する加工テーブルに複数並設される加工部に対応する位置へ、搬入リフトにより順次搬入して各々配置する、
ロ）基板加工装置の各加工部に対応する位置に各々配置された該加工前基板を、基板加 工装置の各対応する加工部に投入排出リフトにより投入する
ハ）基板加工装置による基板加工が終了した加工後基板を、基板加工装置の加工部 から基板載置台における元の位置に投入排出リフトにより排出する、
ニ）加工後基板を当該位置から、搬出リフトにより順次加工後収納装置へ搬出して、載 置・収納する、
ホ）前記ニ）により加工後基板を順次移動させた所から、順次前記イ）の工程により、 基板載置台の同位置に、加工前基板を加工前収納装置から搬入リフトにより順次搬入 して配置する、
ヘ）以降、ロ）〜ホ）の工程を反復する、
としてなる基板搬送方法を備えるものである。

そのため、上記その他の基板搬送方法及び該基板搬送方法を使用した基板搬送装置においては、前記と同様に、基板加工装置の加工軸の数に対応した基板搬送装置を設置する必要がなく、また、基板搬送装置における基板移動のための各機構の設置面積の制約からの制御機構の高コスト化を招来することもなく、しかも該基板搬送装置も含めた基板加工装置に必要とされる設置スペースを最小限にすることができるものである上、より短時間での基板搬送が可能となり、１台の基板加工装置において、同一の基板加工を多数枚に対して行うに際しては、その加工対象たる基板の基板加工装置への搬入・搬出及び投入・排出回数も多数回となることから、全体としての加工時間数を減少させることができる。

更に、前記いずれかの基板搬送装置は既存の基板加工装置に後付けで設置できるものであるが、当初から前記いずれかの基板搬送装置と基板加工装置とから構成される基板搬送装置付き基板加工装置を用いることも有用である。

本願発明の基板搬送方法によれば、基板搬送装置を構成する各機構あるいは装置の配置の変更及び各機構等の多機能化によって、基板加工作業の精度を維持しつつ最低限のコストで装置全体としての省スペース化が図ることができるので、安価に、しかも大幅なレイアウトやスペースの変更を行うことなく基板搬送装置付き基板加工装置の新たな設置、又は既存の基板加工装置への基板搬送装置の追加設置をも簡易かつ確実に行うことができる優れた効果を有するものである。

図１は、本願発明の実施例１である基板搬送装置付き基板加工装置の配置を示した模式図である。 図２は、本願発明の実施例１である基板搬送装置付き基板加工装置おける、加工前収納装置から加工部までの、加工前基板の搬送状態の一部を示した模式図である。 図３は、本願発明の実施例１である基板搬送装置付き基板加工装置おける、加工前収納装置から加工部までの、加工前基板の搬送状況の一部を示した模式図である。 図４は、本願発明の実施例１である基板搬送装置付き基板加工装置おける、加工部から加工後収納装置までの、加工後基板の搬送状況の一部を示した模式図である。 図５は、本願発明の実施例１である基板搬送装置付き基板加工装置おける、加工部から加工後収納装置までの、加工後基板の搬送状況の一部を示した模式図である。 図６は、本願発明の実施例２である基板搬送装置付き基板加工装置の配置を示した模式図である。 図７は、本願発明の実施例２である基板搬送装置付き基板加工装置おける、加工前収納装置から加工部までの、加工前基板の搬送状態の一部を示した模式図である。 図８は、本願発明の実施例２である基板搬送装置付き基板加工装置おける、加工前収納装置から加工部までの、加工前基板の搬送状況の一部を示した模式図である。 図９は、本願発明の実施例２である基板搬送装置付き基板加工装置おける、加工部から加工後収納装置までの、加工後基板の搬送状況の一部を示した模式図である。 図１０は、本願発明の実施例２である基板搬送装置付き基板加工装置おける、加工部から加工後収納装置までの、加工後基板の搬送状況の一部を示した模式図である。 図１１は、従来の基板搬送装置付き基板加工装置の配置を示した模式図である。

安価に、しかも大幅なレイアウトの変更やスペースの変更を行うことなく、新たに基板搬送装置を含めた基板加工装置を設置し、又は該基板搬送装置のみの追加設置をできるようにする。

図１乃至図５において示すのは、本願発明における実施例１である基板搬送方法を実現した基板搬送装置２を備える基板搬送装置付き基板加工装置１であって、上記基板搬送装置付き基板加工装置１は、基板加工装置１１と、該基板加工装置１１に対して加工前後の基板９、１０を投入、排出しつつ搬送してなる基板搬送装置２とから構成されるものである。
そして、該基板加工装置１１には、６個のスピンドル（図示せず。尚、図１における基板加工装置においては、６個のスピンドルがＸ方向に並列して設けられており、加工軸となるスピンドルが６個あることから、図１に示す基板加工装置は６軸の基板加工装置である。）が設けられ、それに対応して、縦軸（Ｙ方向）に移動可能となる加工テーブル１２において加工部１３ａ〜１３ｆが６個並設されており、前記加工部１３ａ〜１３ｆ各々の上部にはスピンドルが6個が搭載され、横軸（X方向）に移動可能となる横行機構により併設されており、Y方向、X方向の組み合わせ動作により加工部上に搬入された加工前基板の任意の場所に穴明け加工ができるようになっている。該基板加工装置１１の背後側に、加工前後の基板９、１０を該基板加工装置１１へ投入し、又排出させるとともに搬送してなる基板搬送装置２が平行に展開されている。
従って、基板加工装置１１の手前側（図１においては紙面の右側に当たる）にはオペレータ作業スペースを、同側方（図１においては紙面の上下側に当たる）には側面メンテナンススペースを、基板搬送装置２の側方（図１においては紙面の上下側に当たる）には加工前後の基板９、１０の搬入、搬出作業スペースをそれぞれ確保しているが、基板搬送装置２の背面（図１においては紙面の左側に当たる）ではスペースの確保が不要となり、省スペース化を図ることができる（図１参照）。
また、該加工前収納装置３と加工後収納装置４とを上下に積層することなく、それぞれ基板搬送装置２の両端に各々一つずつ配置するので、加工前基板９の軸移動コンベア５への搬入及び軸移動コンベア５からの加工後基板１０の搬出に際しては、加工前収納装置３と加工後収納装置４の各上部を開放状態にして行うことができることで、構造を単純化して安価で、且つ故障を防止することができるようになる。しかも、加工前基板９の搬入作業及び加工後基板１０の搬出作業も各々一箇所に集中させることができることから、基板搬送装置付き基板加工装置１全体としての作業工程数を大幅に削減するとともに、加工前収納装置３への加工前基板９の供給作業、及び加工後収納装置４からの加工後基板１０の回収作業も側面からアクセスするものとして、省スペース化を図ることができるものである。

上記基板加工装置１１は、縦横（Ｘ−Ｙ軸方向）に移動自在となる加工テーブル１２に並設された、前述の６個の加工部１３ａ〜１３ｆにおいて、固定装置によって、投入された加工前基板９を正確に固定して、各スピンドルにより穴明け作業を行う。

また、基板搬送装置２は、加工前基板９を載置・収納する加工前収納装置３、載置された加工前基板９を、該基板加工装置１１の加工テーブル１２において複数並設する加工部１３ａ〜１３ｆに対応する位置に移動させるとともに、加工後基板１０を当該位置から移動させ、また停止可能となる軸移動コンベア５、加工後基板１０を載置・収納する加工後収納装置４、加工前基板９を加工前収納装置３から軸移動コンベア５へ移動させてなる、バキュームの吸着を利用する搬入リフト６、加工後基板１０を軸移動コンベア５から加工後収納装置４へ移動させてなる、バキュームの吸着を利用する搬出リフト７、及び基板加工装置１１の加工部１３ａ〜１３ｆに対応してそれぞれ設けられ、バキュームの吸着を利用する投入排出リフト８とからなる。そして、該投入排出リフト８は加工前基板９を、軸移動コンベア５上の各加工部１３ａ〜１３ｆに対応する各所定の位置からその対応する各加工部１３ａ〜１３ｆへ投入し、また、加工後基板１０を、各加工部１３ａ〜１３ｆからそれぞれに対応する軸移動コンベア５上の所定の位置（投入前に加工前基板９があった位置）へ排出する。
これらの内、加工前収納装置３、軸移動コンベア５及び加工後収納装置４は一直線上に設置され、投入排出リフト８の作動方向は、軸移動コンベア５の作動方向に対して直交している。

以上のとおり、本願発明の実施例１である基板搬送装置付き基板加工装置１は構成されるので、加工前収納装置３に載置・収納された加工前基板９は、以下の工程により加工後基板１０へと加工され、加工後収納装置４に回収される（図２〜図５参照）。
第１の工程として、加工前基板９が載置・収納されている加工前収納装置３から一加工分の加工前基板９（加工前基板９は１枚ずつ加工されるとは限らず、複数枚を重ねて一塊として加工されることが多いが、ここでは両方の場合を含めて、一回の加工に供される加工前基板を単に一加工分の加工前基板９と言う。）を搬入リフト６により吸着しつつ取り出すとともに、基板加工装置１１の有する加工テーブル１２上の左端の加工部１３ａに対応する、軸移動コンベア５上の位置へ載置する［図２（ａ）〜（ｂ）参照］。
第２の工程として、軸移動コンベア５が作動して、その載置された一加工分の加工前基板９を、基板加工装置１１の加工軸のピッチに従い、次の加工部１３ｂへ対応する位置まで移動させる［図２（ｂ）〜（ｃ）参照］。一方、加工前基板９が載置・収納されている加工前収納装置３から、次の一加工分の加工前基板９を搬入リフト６により吸着しつつ取り出すとともに、基板加工装置１１の有する加工テーブル１２上の左端の加工部１３ａに対応する、軸移動コンベア５上の位置、すなわち、前記第１の工程において、最初の一加工分の加工前基板９が載置された位置へ載置する［図２（ｃ）参照］。
そして、上記基板加工装置１１の加工軸のピッチに従った軸移動コンベア５の移動と、加工前収納装置３から取り出した一加工分の加工前基板９を軸移動コンベア５における基板加工装置１１の左端の加工部１３ａに対応する位置への載置を、基板加工装置１１の全ての加工部１３ａ〜１３ｆに対応するまで繰り返す［図２（ｄ）〜図３（ｇ）参照］。
第３の工程として、軸移動コンベア５に載置された全ての加工前基板９を、各投入排出リフト８により基板加工装置１１の各対応する加工部１３ａ〜１３ｆへ投入する［図３（ｈ）参照］。
第４の工程として、基板加工装置１１の加工部１３ａ〜１３ｆで加工された各加工後基板１０を、前記投入排出リフト８により軸移動コンベア５上へと排出し、該軸移動コンベア５上の投入前の位置に載置する［図４（ｉ）〜（ｊ）参照］。
第５の工程として、軸移動コンベア５上に載置された６個の一加工分の加工後基板１０の内、右端の加工後基板１０を搬出リフト７により吸着しつつ取り出し、加工後収納装置４へ搬出する［図４（ｋ）参照］。
第６の工程として、軸移動コンベア５が作動して、その上に載置された残り５個の一加工分の加工後基板１０を、順次、加工後収納装置４側へ移動させるとともに、右端の位置に到達したものから搬出リフト７が吸着しつつ取り出し、加工後収納装置４へ搬出する［図４（ｋ）〜図５（ｏ）参照］。
第７の工程として、第６の工程における軸移動コンベア５の作動により、軸移動コンベア５の、基板加工装置１１の加工部１３ａ〜１３ｆに対応する位置にそれぞれ載置された加工後基板１０が、１加工軸分毎に加工後収納装置４側へ移動することで生じる、軸移動コンベア５上の加工前収納装置３側の空白位置に、加工前収納装置３より一加工分の加工前基板９が搬入リフト６により順次搬入される［図４（ｋ），（ｌ）、図５（ｍ）〜（ｐ）参照］。
このように、上記軸移動コンベア５上の加工後基板１０の搬出、及び加工前基板９の搬入作業を、加工前基板が尽き、又は作業終了に至るまで繰り返すものである。
以上の工程により、加工前収納装置３内に載置・収納されている加工前基板９は、基板加工装置１１内での加工を経て、加工後基板１０として加工後収納装置４内へ載置・収納されることになる。

図６乃至図１０において示すのは、本願発明における実施例２の基板搬送方法を実現した基板搬送装置２’を備える基板搬送装置付き基板加工装置１’であって、上記基板搬送装置付き基板加工装置１’は、基板加工装置１１と該基板加工装置１１に対して加工前後の基板９、１０を投入、排出しつつ搬送してなる基板搬送装置２’とから構成されるものである。
そして、基板加工装置１１の構成や、作業の仕方は実施例１と同じであるため、実施例２においてはその点の説明は省略するが、実施例１と同様に、該基板加工装置１１の背後側に、加工前後の基板９、１０を該基板加工装置１１へ投入し、又排出させるとともに搬送してなる基板搬送装置２’が平行に展開されている。
従って、実施例１の基板搬送装置付き基板加工装置１と同様に、基板加工装置１１の手前側（図６においては紙面の右側に当たる）にはオペレータ作業スペースを、同側方（図６においては紙面の上下側に当たる）にはメンテナンススペースを、基板搬送装置２’の側方（図６においては紙面の上下側に当たる）には加工前後の基板９、１０の搬入・搬出作業スペースを確保しているが、基板搬送装置２’の背面（図６においては紙面の左側に当たる）においてはスペースの確保が不要となり、省スペース化を図ることができる（図６参照）。
また、実施例１と同様に、該加工前収納装置３と加工後収納装置４とを上下に積層することなく、それぞれ基板搬送装置２‘の両端に各々一つずつ配置するので、加工前基板９の基板載置台１４への搬入及び基板載置台１４からの加工後基板１０の搬出に際しては、加工前収納装置３と加工後収納装置４の各上部を開放状態にして行うことができることで、構造を単純化して安価で、且つ故障を防止することができるようになる。しかも、加工前基板９の搬入作業及び加工後基板１０の搬出作業も各々一箇所に集中させることができることから、基板搬送装置付き基板加工装置１全体としての作業工程数を大幅に削減するとともに、加工前収納装置３への加工前基板９の供給作業、及び加工後収納装置４からの加工後基板１０の回収作業も側面からアクセスするものとして、省スペース化を図ることができるものである。

また、基板搬送装置２’は、加工前基板９を載置・収納する加工前収納装置３、該基板加工装置１１の加工テーブル１２において複数並設する加工部１３ａ〜１３ｆに対応する位置に加工前後の基板９、１０を載置してなる基板載置台１４、加工後基板１０を載置・収納する加工後収納装置４、加工前基板９を加工前収納装置３から基板載置台１４へ高精度で移動させてなる、リニアモータ装置１５のリニアモータレール１５ａに吊持され、バキュームの吸着を利用する搬入リニアモータリフト１５ｂ、加工後基板１０を基板載置台１４から加工後収納装置４へ高精度で移動させてなる、前記リニアモータレール１５ａに吊持され、バキュームの吸着を利用する搬出リニアモータリフト１５ｃ、及び実施例１と同じく、基板加工装置１１の６個の加工部１３ａ〜１３ｆに対応してそれぞれ設けられる、バキュームの吸着を利用する投入排出リフト８とからなる。
実施例１と同様に、これらの内、加工前収納装置３、基板載置台１４及び加工後収納装置４は一直線上に設置され、投入排出リフト８の作動方向は、それに対して直交している。

以上のとおり、本願発明の実施例２である基板搬送装置付き基板加工装置１’は構成されるので、加工前収納装置３に載置・収納された加工前基板９は、以下の工程により加工後基板１０へと加工され、加工後収納装置４に回収されるものである（図７〜図１０参照）。
第１の工程として、加工前基板９が載置・収納されている加工前収納装置３から一加工分の加工前基板９を搬入リニアモータリフト１５ｂにより吸着しつつ取り出すとともに、基板加工装置１１の加工テーブル１２における左端の加工部１３ａに対応する、基板載置台１４上の位置へ該加工前基板９を載置し、同様に、加工前基板９が収納されている加工前収納装置３から一加工分ずつの加工前基板９を、搬入リニアモータリフト１５ｂにより吸着しつつ取り出すとともに、基板加工装置１１の隣接する加工部１３ｂ〜１３ｆに対応する、基板載置台１４上の位置へ加工前基板９を各々載置する［図７（ａ’）〜図８（ｇ’）参照］。尚、本実施例においては、加工テーブル１２上の左端の加工部１３ａに対応する位置から、順次加工前基板９を基板載置台１４上に載置して行ったが、その順序はそれに限定されるものではなく、搬入リニアモータリフト１５ｂと搬出リニアモータリフト１５ｃを同期して作動させることから、そのための制御のし易い順番に加工前基板９を基板載置台１４上に載置して良い。
第２の工程として、基板載置台１４における、基板加工装置１１の６個の加工部１３ａ〜１３ｆそれぞれに対応する位置に加工前基板９が全て載置された後、この全ての加工前基板９を各投入排出リフト８により、基板加工装置１１の各対応する加工部１３ａ〜１３ｆへ投入する［図８（ｈ’）参照］。尚、本実施例においては、加工前基板９が全て載置された後に、一斉に加工部１３ａ〜１３ｆへ投入することとしたが、基板載置台１４に載置されたものから順次、加工部１３ａ〜１３ｆへ投入することとしてもよい。
第３の工程として、基板加工装置１１の加工部１３ａ〜１３ｆで加工された各加工後基板１０は、前記投入排出リフト８により基板載置台１４へと排出され、該基板載置台１４上の投入前の位置に載置される［図９（ｉ‘）〜（ｊ’）参照］。
第４の工程として、該基板載置台１４上に載置された６個の一加工分の加工後基板１０の内、左端の加工後基板１０から右端の加工後基板１０へと順次加工後収納装置４へ搬出リニアモータリフト１５ｃの吸着により搬出して、加工後収納装置４に載置・収納する［図９（ｋ’），（ｌ‘）、図１０（ｍ’）〜（ｐ’）参照］。
第５の工程として、搬出リニアモータリフト１５ｃにより加工後基板１０を搬出するのに同期させて、搬入リニアモータリフト１５ｂが加工前収納装置３から一加工分の加工前基板９を取り出して、加工後基板１０の搬出により基板載置台１４上の開いたスペースに順次加工前基板９を載置する。尚、本実施例においては第４の工程において、搬出リニアモータリフト１５ｃにより、左端の加工後基板１０から右端の加工後基板１０へと順次搬出することとし、第５の工程において、それに同期して搬入リニアモータリフト１５ｂによって新たな加工前基板９を搬入しているが、前記第１の工程において記載したように、搬出リニアモータリフト１５ｃによる搬出と搬入リニアモータリフト１５ｂによる搬入を同期させることから、そのための制御のし易い順番に搬出リニアモータリフト１５ｃによる搬出と搬入リニアモータリフト１５ｂによる搬入を行えばよい。
このように、上記基板載置台１４における、加工後基板１０の搬出、及び加工前基板９の搬入作業を、加工前基板が尽き、又は作業終了に至るまで繰り返すものである。
以上の工程により、加工前収納装置３内に収納されている加工前基板９は、基板加工装置１１内での加工を経て、加工後基板１０として加工後収納装置４内へ載置・収納されることになる。

加工前後の基板を搬送する基板搬送装置を、基板加工装置に対して平行に展開し、該加工前収納装置と加工後収納装置とを上下に積層することなく、それぞれ基板搬送装置の両端に各々一つずつ配置するので、加工前基板の搬入及び加工後基板の搬出に際しては、加工前収納装置と加工後収納装置の各上部を開放状態にして行うことができることで、構造を単純化して安価で、且つ故障を防止することができるようになり、しかも加工前基板の搬入作業及び加工後基板の搬出作業も各々一箇所に集中させることができることから、基板搬送装置付き基板加工装置全体としての作業工程数を大幅に削減するとともに、加工前収納装置への加工前基板の供給作業、及び加工後収納装置からの加工後基板の回収作業も側面からアクセスするものとして、省スペース化を図り、設置スペースを最小限とするので、加工装置全体としての設置スペースの省スペース化を図るとともに、搬送装置自体の追加設置も簡易かつ確実になり、あらゆる加工装置に適用することができる。

１、１’ 基板搬送装置付き基板加工装置
２、２’ 基板搬送装置
３ 加工前収納装置
４ 加工後収納装置
５ 軸移動コンベア
６ 搬入リフト
７ 搬出リフト
８ 投入排出リフト
９ 加工前基板
１０ 加工後基板
１１ 基板加工装置
１２ 加工テーブル
１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１３ｄ、１３ｅ、１３ｆ 加工部
１４ 基板載置台
１５ リニアモータ装置
１５ａ リニアモータレール
１５ｂ 搬入リニアモータリフト
１５ｃ 搬入リニアモータリフト

Claims (5)

1. 複数の加工軸を有する基板加工装置に対して平行に展開され、一端に載置された加工前基板を他端方向へ順次送出し、所定位置に各々配置し、該加工前基板を基板加工装置の加工テーブル上に複数並設された加工部へ投入し、基板加工装置によって加工した後には、該加工後基板を基板加工装置の加工部から、投入前と同位置に排出した上で、該加工後基板を他端方向へ順次送出して、収納するという工程を反復して行うものであって、
   イ）搬送機構の外側一端に載置された加工前基板を、基板加工装置に対して平行に駆 動する搬送機構へ搬入する、
   ロ）該加工前基板を搬送機構により他端方向へ送出するとともに、新たな加工前基板を基板加工装置の加工軸数に合わせて順次加工前基板を搬送機構へ搬入し、基板加工装置の加工テーブル上に複数並設された加工部に対応する位置に各々配置する、
   ハ）該基板加工装置の各加工部に対応する位置に各々配置された前記加工前基板を、基 板加工装置の各対応する加工部へ投入する、
   ニ）基板加工装置による基板加工が終了した加工後基板を、基板加工装置の加工部 から、搬送機構上の元の位置に排出する、
   ホ）搬送機構上の元の位置に排出された加工後基板の内、搬送機構の最他端側に排出さ れた加工後基板を、搬送機構の他端の外側に搬出する、
   ヘ）残りの加工後基板を、順次、搬送機構により他端方向へ送出して、最他端側の位置で、搬送機構の他端の外側に搬出して収納する、
   ト）以降、上記イ）〜ヘ）の工程を反復する、
   としてなる基板搬送方法。
2. 複数の加工軸を有する基板加工装置に対して平行に展開され、一端に載置された加工前基板を、基板載置台の、基板加工装置の有する加工テーブル上に複数並設された加工部に対応する位置へ順次搬入して各々配置するとともに、該加工前基板を基板加工装置の各加工部へ投入し、基板加工装置によって加工した後には、該加工後基板を基板加工装置の加工部から、投入前と同位置に排出した上で、該加工後基板を他端方向へ順次搬出して、収納するという工程を反復して行うものであって、
   イ）基板載置台の外側一端に載置された加工前基板を、基板載置台の、基板加工装置の 有する加工テーブル上に複数並設された加工部に対応する位置へ、搬入機構により順 次搬入して各々配置する、
   ロ）該基板加工装置の各加工部に対応する位置に各々配置された前記加工前基板を、基 板加工装置の各対応する加工部へ投入する、
   ハ）基板加工装置による基板加工が終了した加工後基板を、基板加工装置の加工部 から、基板載置台の元の位置に排出する、
   ニ）加工後基板を当該位置から、搬出機構により順次移動させて、基板載置台の他端の 外側に搬出する、
   ホ）前記ニ）により加工後基板を順次移動させた所から、順次前記イ）の工程により、 同位置に加工前基板を搬入して配置する、
   ヘ）以降、上記ロ）〜ホ）の工程を反復する、
   としてなる基板搬送方法。
3. 複数の加工軸を有する基板加工装置に対して平行に展開され、一端に加工前基板を載置・収納する加工前収納装置、他端に加工後基板を載置・収納する加工後収納装置、加工前収納装置と加工後収納装置間を連絡する軸移動コンベア、加工前収納装置から軸移動コンベアへ加工前基板を移動可能とする搬入リフト、軸移動コンベアから加工後収納装置へ加工後基板を移動可能とする搬出リフト、及び基板加工装置の加工テーブル上に複数並設された各加工部に対応して設けられ、軸移動コンベアと基板加工装置の各加工部との間で加工前後の基板を投入し、排出する投入排出リフトからなるものであって、
   イ）加工前収納装置に載置・収納された加工前基板を、軸移動コンベアの一端へ搬入リフトにより搬入する、
   ロ）該加工前基板を軸移動コンベアにより他端方向へ送出するとともに、基板加工装置の加工軸数及び加工軸ピッチに合わせて、順次新たな加工前基板を搬入リフトにより軸移動コンベアへ搬入し、基板加工装置の加工テーブル上に複数並設された加工部に対応する位置まで軸移動コンベアにより移動させる、
   ハ）軸移動コンベア上の、該基板加工装置の各加工部に対応する位置に各々配置された 前記加工前基板を、基板加工装置の各対応する加工部へ投入排出リフトにより投入す る、
   ニ）基板加工装置による基板加工が終了した加工後基板を、基板加工装置の加工部から 軸移動コンベア上の元の位置に投入排出リフトにより排出する、
   ホ）軸移動コンベア上の元の位置に排出された加工後基板の内、軸移動コンベアの最他 端側に排出された加工後基板を、搬出リフトにより軸移動コンベアから加工後収納装 置へ搬出して載置・収納する、
   ヘ）軸移動コンベア上に排出されている残りの加工後基板を、順次、軸移動コンベアにより加工後収納装置側へ送出して、最他端側の位置で、搬出リフトにより軸移動コンベアから加工後収納装置へ搬出して載置・収納する、
   ト）以降、イ）〜ヘ）の工程を反復する
   としてなる請求項１記載の基板搬送方法を備える基板搬送装置。
4. 複数の加工軸を有する基板加工装置に対して平行に展開され、一端に加工前基板を載置・収納する加工前収納装置、他端に加工後基板を載置・収納する加工後収納装置、加工前収納装置と加工後収納装置間に基板載置台、加工前収納装置から基板載置台へ加工前基板を移動可能とする搬入リフト、基板載置台から加工後収納装置へ加工後基板を移動可能とする搬出リフト、及び基板加工装置の加工テーブル上に複数並設された各加工部に対応して設けられ、基板載置台と基板加工装置の各加工部との間で加工前後の基板を投入し、排出する投入排出リフトからなるものであって、
   イ）加工前収納装置に載置・収納された加工前基板を、基板載置台の、基板加工装置の有する加工テーブルに複数並設される加工部に対応する位置へ、搬入リフトにより順次搬入して各々配置する、
   ロ）基板加工装置の各加工部に対応する位置に各々配置された該加工前基板を、基板加 工装置の各対応する加工部に投入排出リフトにより投入する
   ハ）基板加工装置による基板加工が終了した加工後基板を、基板加工装置の加工部 から基板載置台における元の位置に投入排出リフトにより排出する、
   ニ）加工後基板を当該位置から、搬出リフトにより順次加工後収納装置へ搬出して、載 置・収納する、
   ホ）前記ニ）により加工後基板を順次移動させた所から、順次前記イ）の工程により、 基板載置台の同位置に、加工前基板を加工前収納装置から搬入リフトにより順次搬入 して配置する、
   ヘ）以降、ロ）〜ホ）の工程を反復する、
   としてなる請求項２記載の基板搬送方法を備える基板搬送装置。
5. 上記請求項３又は請求項４記載の基板搬送装置と基板加工装置とから構成される基板搬送装置付き基板加工装置。
   

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