JP2020100135A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射システム - Google Patents

液体噴射ヘッド及び液体噴射システム Download PDF

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Abstract

【課題】圧力室や個別連通流路を効率よく配置して、大型化を抑制した液体噴射ヘッド及び液体噴射システムを提供する。【解決手段】第１の共通液室１０１と第２の共通液室１０２とをつなぐ個別流路２００Ａと個別流路が並設され、各個別流路には、圧力室１２Ａと圧力室が設けられている。個別流路の少なくとも一部は、Ｚ軸方向に見て隣接する圧力室間の領域と重なり、且つ、Ｙ軸方向に見て圧力室と重ならない空間に形成されている。【選択図】図２

Description

本発明は、ノズルから液体を噴射する液体噴射ヘッド及び液体噴射システムに関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録システムに関する。
液体を噴射する液体噴射ヘッドとして、被印刷媒体に液体としてインクを吐出して印刷を行うインクジェット式記録ヘッドが知られている。
インクジェット式記録ヘッドは、ノズルに連通する圧力室を有する個別流路と、複数の個別流路に共通して連通する共通液室と、圧力室内のインクに圧力変化を生じさせる圧電アクチュエーター等のエネルギー発生素子と、を具備し、エネルギー発生素子が圧力室内のインクに圧力変化を生じさせることで、ノズルからインク滴を吐出する。
このようなインクジェット式記録ヘッドでは、圧力室内に気泡が滞留すると、エネルギー発生素子による圧力変化を気泡が吸収し、ノズルからインク滴を正常に吐出することができなくなってしまう。
このため個別流路に共通する共通液室として第１の共通液室と第２の共通液室とを設け、第１の共通液室から個別流路を通って第２の共通液室にインクを流す、いわゆる循環するようにした構成のインクジェット式記録ヘッドが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
特開２０１３−１８４３７２号公報
このようなインクジェット式記録ヘッドでは、圧力室や圧力室と共通流路とを連通する個別連通流路を効率よく配置して、大型化を抑制したいという要望がある。
このような要望はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
本発明はこのような事情に鑑み、圧力室や個別連通流路を効率よく配置して、大型化を抑制した液体噴射ヘッド及び液体噴射システムを提供することを目的とする。
上記課題を解決する本発明の態様は、第１軸方向に液体を吐出する複数のノズルと、複数のノズルに共通して連通する第１及び第２の共通液室と、前記ノズル毎に設けられた個別流路であって、前記第１の共通液室と前記第２の共通液室とを接続すると共に前記第１の共通液室と前記第２の共通液室との間で当該ノズルと連通する個別流路と、を備え、各個別流路は、エネルギー発生素子が設けられた圧力室と、当該圧力室と前記第１及び第２の共通液室とをつなぐ個別連通流路と、を含み、複数の前記圧力室は、第１軸方向に直交する第２軸方向に沿って並設されて第１及び第２の圧力室列を構成し、前記第１の圧力室列と前記第２の圧力室列とは、前記第２軸方向に見て、前記第１軸方向及び前記第２軸方向に直交する第３軸方向に互いにシフトして配置されており、前記第１の圧力室列に対応する前記個別連通流路は、前記第１軸方向に見て、前記第２の圧力室列における隣接する前記圧力室間の領域と重なる部分であって、且つ前記第２軸方向に見て、前記第２の圧力室列と重ならない部分を有することを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
実施形態１に係る記録ヘッドの平面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。 実施形態１に係る流路の要部を表す斜視図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの要部断面図である。 実施形態１に係る記録システムを説明するブロック図である。 実施形態１に係る記録システムの電気的構成を表すブロック図である。 実施形態１に係る駆動信号を示す駆動波形である。 実施形態１に係る記録ヘッドの変形例の平面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの変形例の断面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの変形例の断面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの変形例の平面図である。 実施形態２に係る記録ヘッドの断面図である。 実施形態２に係る記録ヘッドの断面図である。 実施形態３に係る記録ヘッドの断面図である。 実施形態３に係る記録ヘッドの断面図である。 実施形態４に係る記録ヘッドの断面図である。 実施形態４に係る記録ヘッドの断面図である。 実施形態４に係る記録ヘッドの変形例の断面図である。 実施形態４に係る記録ヘッドの変形例の断面図である。 実施形態４に係る記録ヘッドの変形例の断面図である。 実施形態４に係る記録ヘッドの変形例の断面図である。 実施形態５に係る記録ヘッドの断面図である。 実施形態５に係る記録ヘッドの断面図である。 実施形態５に係る記録ヘッドの変形例の断面図である。 実施形態５に係る記録ヘッドの変形例の断面図である。 実施形態５に係る記録ヘッドの変形例の断面図である。 実施形態５に係る記録ヘッドの変形例の断面図である。 実施形態６に係る記録ヘッドの断面図である。 実施形態６に係る記録ヘッドの断面図である。 実施形態６に係る流路の要部を表す斜視図である。 実施形態６に係る記録ヘッドの断面図である。 実施形態６に係る記録ヘッドの断面図である。 実施形態６に係る流路の変形例の要部を表す斜視図である。 実施形態６に係る記録ヘッドの変形例の断面図である。 実施形態６に係る記録ヘッドの変形例の断面図である。 一実施形態に係る記録装置の概略構成の図である。
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。ただし、以下の説明は、本発明の一態様を示すものであって、本発明の範囲内で任意に変更可能である。各図において同じ符号を付したものは、同一の部材を示しており、適宜説明が省略されている。また、各図においてＸ、Ｙ、Ｚは、互いに直交する３つの空間軸を表している。本明細書では、これらの軸に沿った方向をＸ方向、Ｙ方向、及びＺ方向とする。各図の矢印が向かう方向を正（＋）方向、矢印の反対方向を負（−）方向として説明する。また、Ｚ方向が第１軸方向に相当し、Ｘ方向が第２軸方向に相当し、Ｙ方向が第３軸方向に相当する。さらに、Ｘ方向、Ｙ方向又はＺ方向に見るとは、Ｘ方向、Ｙ方向又はＺ方向からの平面視のことである。
（実施形態１）
本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドについて図１〜図５を参照して説明する。なお、図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドのノズル面側から見た平面図である。図２は、図１のＡ−Ａ′線断面図である。図３は、図１のＢ−Ｂ′線断面図である。図４は、流路の一部の斜視図である。図５は、図２のＣ−Ｃ′線断面図である。
図示するように、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド１（以下、単に記録ヘッド１とも言う）は、流路基板として流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、保護基板３０、ケース部材４０及びコンプライアンス基板４９等の複数の部材を備える。
流路形成基板１０は、シリコン単結晶基板からなり、その一方の面には振動板５０が形成されている。振動板５０は、二酸化シリコン層や酸化ジルコニウム層から選択される単一層又は積層であってもよい。
流路形成基板１０には、個別流路２００を構成する圧力室１２が、複数の隔壁によって区画されて複数設けられている。ここで圧力室１２とは、詳しくは後述するエネルギー発生素子を設ける領域として区画化されたものである。複数の圧力室１２は、第２軸方向であるＸ方向に沿って所定のピッチで並設されている。また、流路形成基板１０には、圧力室１２がＸ方向に並設された列が第３軸方向であるＹ方向に複数列、本実施形態では、２列設けられている。本実施形態では、２列の圧力室１２において、一方の圧力室１２の列を第１の圧力室列１２０Ａと称し、他方の圧力室１２の列を第２の圧力室列１２０Ｂと称する。すなわち、第１の圧力室列１２０Ａは、Ｙ方向に同じ位置となるようにＸ方向に並設された複数の圧力室１２によって構成されている。本実施形態では、第１の圧力室列１２０Ａを構成する圧力室１２を第１の圧力室１２Ａと称する。また、第２の圧力室列１２０Ｂは、Ｙ方向に同じ位置となるように並設された複数の圧力室１２によって構成されている。本実施形態では、第２の圧力室列１２０Ｂを構成する圧力室１２を第２の圧力室１２Ｂと称する。これら第１の圧力室列１２０Ａと第２の圧力室列１２０Ｂとは、Ｘ方向に見て、Ｙ方向に互いにシフトして配置されている。すなわち、第１の圧力室列１２０Ａと第２の圧力室列１２０Ｂとは、Ｘ方向に見て、Ｙ方向に異なる位置に配置されている。ちなみに、本実施形態では、第１の圧力室列１２０Ａと第２の圧力室列１２０Ｂとは、Ｘ方向に見て、Ｚ方向に同じ位置に配置されている。
また、第１の圧力室列１２０Ａの第１の圧力室１２Ａと、第２の圧力室列１２０Ｂの第２の圧力室１２Ｂとは、Ｘ方向にずれた位置に配置された、いわゆる、千鳥配置となっている。本実施形態では、第１の圧力室列１２０Ａと第１の圧力室１２Ａ、第２の圧力室列１２０Ｂとは、Ｘ方向に互いに圧力室１２のピッチの半分、いわゆる、半ピッチずれた位置に配置されている。なお、第１の圧力室１２Ａの一部と第２の圧力室１２Ｂの一部とが、Ｘ方向に見て、互いに重なる位置に配置されていてもよい。すなわち、第１の圧力室列１２０Ａと第２の圧力室列１２０ＢとがＸ方向に見て、互いにＹ方向にシフトして配置されているとは、Ｘ方向に見て、第１の圧力室列１２０Ａと第２の圧力室列１２０Ｂとの少なくとも一部が重ならない位置に配置されていることを言い、第１の圧力室列１２０Ａの第１の圧力室１２Ａと第２の圧力室列１２０Ｂの第２の圧力室１２Ｂとの全てが重ならない位置に配置されているものも、第１の圧力室１２Ａと第２の圧力室１２Ｂとの一部が重ならない位置に配置されているものも含む。
なお、本実施形態では、流路形成基板１０に圧力室１２のみを設けるようにしたが、圧力室１２に供給されるインクに流路抵抗を付与するように圧力室１２よりも流路を横断する断面積を絞った流路抵抗付与部を設けるようにしてもよい。
このような流路形成基板１０の−Ｚ方向の面には、振動板５０が形成され、この振動板５０の−Ｚ方向上には、第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とが成膜及びリソグラフィー法によって順に積層されて圧電アクチュエーター３００を構成している。本実施形態では、圧電アクチュエーター３００が、圧力室１２内のインクに圧力変化を生じさせるエネルギー発生素子となっている。ここで、圧電アクチュエーター３００は、圧電素子とも言い、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分を言う。一般的には、圧電アクチュエーター３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を圧力室１２毎にパターニングして構成する。本実施形態では、第１電極６０を圧電アクチュエーター３００の共通電極とし、第２電極８０を圧電アクチュエーター３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。なお、上述した例では、振動板５０、第１電極６０が、振動板として作用するが、勿論これに限定されるものではなく、例えば、振動板５０を設けずに、第１電極６０のみが振動板として作用するようにしてもよい。また、圧電アクチュエーター３００自体が実質的に振動板を兼ねるようにしてもよい。本実施形態では、第１の圧力室列１２０Ａと第２の圧力室列１２０Ｂとに対応して、圧電アクチュエーター３００がＸ方向に並設された列が、Ｙ方向に２列設けられている。
また、このような各圧電アクチュエーター３００の第２電極８０には、リード電極９０がそれぞれ接続され、このリード電極９０を介して各圧電アクチュエーター３００に選択的に電圧が印加されるようになっている。
また、流路形成基板１０の−Ｚ方向の面には、保護基板３０が接合されている。保護基板３０の圧電アクチュエーター３００に対向する領域には、圧電アクチュエーター３００の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電アクチュエーター保持部３１が設けられている。圧電アクチュエーター保持部３１は、圧電アクチュエーター３００の運動を阻害しない程度の空間を有していればよく、当該空間は密封されていても、密封されていなくてもよい。また、圧電アクチュエーター保持部３１は、本実施形態では、Ｘ方向に並設された圧電アクチュエーター３００の列毎にそれぞれ独立して設けられている。すなわち、各圧電アクチュエーター保持部３１は、Ｘ方向に並設された複数の圧電アクチュエーター３００の列を一体的に覆う大きさで形成されている。もちろん、圧電アクチュエーター保持部３１は、特にこれに限定されず、圧電アクチュエーター３００を個別に覆うものであってもよく、Ｘ方向に並設された２以上の圧電アクチュエーター３００で構成される群毎に覆うものであってもよい。つまり、圧電アクチュエーター保持部３１は、Ｘ方向に分割して設けられていてもよい。
このような保護基板３０としては、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料、例えば、ガラス、セラミック材料等を用いることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
また、保護基板３０には、保護基板３０をＺ方向に貫通する貫通孔３２が設けられている。そして、各圧電アクチュエーター３００から引き出されたリード電極９０の端部近傍は、貫通孔３２内に露出するよう延設されており、貫通孔３２内でフレキシブルケーブル１３０と電気的に接続されている。フレキシブルケーブル１３０は、可撓性を有する配線基板であって、本実施形態では、半導体素子である駆動回路１３１が実装されている。なお、フレキシブルケーブル１３０を介さずに、リード電極９０と駆動回路１３１とを電気的に接続してもよい。また、保護基板３０に流路を設けてもよい。
また、保護基板３０の−Ｚ方向の面には、ケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、保護基板３０の流路形成基板１０とは反対面側が接合されると共に、後述する連通板１５にも接合して設けられている。
このようなケース部材４０には、第１の共通液室１０１の一部を構成する第１液室部４１と、第２の共通液室１０２の一部を構成する第２液室部４２とが設けられている。第１液室部４１と第２液室部４２とは、Ｙ方向において、２列の圧力室１２を挟んだ両側にそれぞれ設けられている。
第１液室部４１及び第２液室部４２のそれぞれは、ケース部材４０のＺ方向の面に開口する凹形状を有し、Ｘ方向に並設された複数の圧力室１２に亘って連続して設けられている。
また、ケース部材４０のＺ方向の面には、第１液室部４１に連通する導入口４３と、第２液室部４２に連通する排出口４４とが開口して設けられている。
さらに、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通して、フレキシブルケーブル１３０が挿通される接続口４５が設けられている。
一方、流路形成基板１０のＺ方向の面には、連通板１５が設けられており、連通板１５のＺ方向の面には、ノズルプレート２０とコンプライアンス基板４９とが設けられている。
連通板１５は、本実施形態では、第１連通板１５１と第２連通板１５２とがＺ方向に積層されて構成されている。これら第１連通板１５１と第２連通板１５２とは、流路形成基板１０からノズルプレート２０に向かってＺ方向にこの順に積層されている。
このような第１連通板１５１及び第２連通板１５２は、ステンレス鋼等の金属、ガラス、セラミック材料等によって製造することができる。なお、連通板１５は、流路形成基板１０と熱膨張率が略同一の材料を用いるのが好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
また、連通板１５には、詳しくは後述するが、第１の共通液室１０１の一部を構成する第１連通部１６と、第２の共通液室１０２の一部を構成する第２連通部１７とが設けられている。
第１連通部１６は、Ｚ方向に見て、ケース部材４０の第１液室部４１に重なる位置に設けられており、連通板１５の＋Ｚ方向の面及び−Ｚ方向の面の両面に開口して設けられている。第１連通部１６は、第１液室部４１と連通することで第１の共通液室１０１を構成する。すなわち、第１の共通液室１０１は、ケース部材４０の第１液室部４１と連通板１５の第１連通部１６とによって構成されている。また、第１連通部１６は、Ｚ方向において圧力室１２に重なる位置まで−Ｙ方向に延設されている。なお、連通板１５に第１連通部１６を設けずに、第１の共通液室１０１をケース部材４０の第１液室部４１のみによって構成してもよい。
第２連通部１７は、Ｚ方向に見て、ケース部材４０の第２液室部４２に重なる位置に設けられており、連通板１５のＺ方向及び−Ｚ方向の面の両面に開口して設けられている。第２連通部１７は、第２液室部４２と連通することで第２の共通液室１０２を構成する。すなわち、第２の共通液室１０２は、ケース部材４０の第２液室部４２と連通板１５の第２連通部１７とによって構成されている。また、第２連通部１７は、＋Ｚ方向において圧力室１２に重なる位置まで＋Ｙ方向に延設されている。なお、連通板１５に第２連通部１７を設けずに、第２の共通液室１０２をケース部材４０の第２液室部４２のみによって構成してもよい。
連通板１５の第１連通部１６及び第２連通部１７が開口するＺ方向の面には、コンプライアンス部４９４を有するコンプライアンス基板４９が設けられている。このコンプライアンス基板４９が、第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２の＋Ｚ方向の開口、すなわち、ノズル面２０ａ側の開口を封止している。
このようなコンプライアンス基板４９は、本実施形態では、可撓性を有する薄膜からなる封止膜４９１と、金属等の硬質の材料からなる固定基板４９２と、を具備する。固定基板４９２の第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４９３となっているため、第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２の壁面の一部は可撓性を有する封止膜４９１のみで封止された可撓部であるコンプライアンス部４９４となっている。本実施形態では、第１の共通液室１０１に設けられたコンプライアンス部４９４を第１コンプライアンス部４９４Ａと称し、第２の共通液室１０２に設けられたコンプライアンス部４９４を第２コンプライアンス部４９４Ｂと称する。このように第１の共通液室１０１とのそれぞれの壁面の一部にコンプライアンス部４９４を設けることで、第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２内のインクの圧力変動をコンプライアンス部４９４が変形することによって吸収することができる。
ちなみに、第２コンプライアンス部４９４Ｂを設けずに第１コンプライアンス部４９４Ａのみを設けた場合、圧力室１２とノズル２１が設けられた個別流路においてインク滴を吐出させた際の圧力変動が、第２の共通液室１０２を介して他の個別流路に伝わり、他の個別流路から吐出されるインク滴の吐出特性が安定せず、複数のノズル２１から吐出されるインク滴の吐出特性にばらつきが生じてしまう虞がある。同様に、第１コンプライアンス部４９４Ａを設けずに、第２コンプライアンス部４９４Ｂのみを設けた場合、第１の共通液室１０１を介して個別流路の圧力変動が伝わり、インク滴の吐出特性にばらつきが生じてしまう虞がある。本実施形態では、第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２の両方にコンプライアンス部４９４を設けることで、個別流路２００の圧力変動が第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２を介して他の個別流路２００に伝わり難く、インク滴の吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。
また、第２コンプライアンス部４９４Ｂを設けずに、第１コンプライアンス部４９４Ａのみを設けた場合、少数のノズル２１からインク滴を吐出させた場合には、第１コンプライアンス部４９４Ａの変形によって圧力室１２へのインクの供給が十分に間に合うものの、多数のノズル２１から同時にインク滴を吐出させた際に第１コンプライアンス部４９４Ａの変形だけでは圧力室１２へのインクの供給が十分に行われず、同時に吐出するノズル２１の数によってインク滴の吐出特性、特にインク滴の重量にばらつきが生じてしまう虞がある。本実施形態では、第１コンプライアンス部４９４Ａと第２コンプライアンス部４９４Ｂとの両方を設けることで、同時にインク滴を吐出するノズル２１の数によって圧力室１２へのインクの供給不足が生じるのを抑制して、インク滴の吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。
また、このように第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２の両方にコンプライアンス部４９４を設ける場合、本実施形態では、第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２をノズル２１が開口する＋Ｚ方向の面に開口するように設けることで、ノズルプレート２０とコンプライアンス部４９４とは、個別流路２００に対して同じ＋Ｚ方向に配置することができる。このように、コンプライアンス部４９４を個別流路２００に対してノズル２１と同じ方向に配置することで、ノズル２１が設けられていない領域にコンプライアンス部４９４を設けることができ、コンプライアンス部４９４を比較的広い面積で設けることができる。また、コンプライアンス部４９４とノズル２１とを個別流路２００に対して同じ方向に配置することで、コンプライアンス部４９４を個別流路２００に近い位置に配置して、個別流路２００内のインクの圧力変動をコンプライアンス部４９４によって効果的に吸収させることができる。
なお、コンプライアンス部４９４の位置は、特にこれに限定されず、Ｚ方向において個別流路２００に対してノズル２１とは反対方向に配置するようにしてもよい。すなわち、コンプライアンス部４９４をケース部材４０の−Ｚ方向の面や、ケース部材４０及び連通板１５のＺ方向に直交する側面に設けることも可能である。ただし、上述のように、コンプライアンス部４９４をノズル２１と同じＺ方向に配置した方が、コンプライアンス部４９４を個別流路２００に近い位置に配置して、個別流路２００内のインクの圧力変動をコンプライアンス部４９４によって効果的に吸収することができると共に、コンプライアンス部４９４を比較的広い面積で形成することができる。
また、本実施形態の２つのコンプライアンス部４９４は、図１に示すように、１つのコンプライアンス基板４９に設けられている。もちろん、コンプライアンス基板４９は、これに限定されず、コンプライアンス部４９４毎に独立したコンプライアンス基板４９を設けるようにしてもよい。
ノズルプレート２０には、インク滴を＋Ｚ方向に吐出する複数のノズル２１が設けられている。本実施形態では、図１に示すように、ノズル２１がＸ方向に並設された列が、Ｙ方向に２列並設されている。本実施形態では、ノズル２１の一方の列を第１のノズル列２２Ａと称し、ノズル２１の他方の列を第２のノズル列２２Ｂと称する。また、第１のノズル列２２Ａを構成するノズル２１を第１のノズル２１Ａと称し、第２のノズル列２２Ｂを構成するノズル２１を第２のノズル２１Ｂと称する。
また、第１のノズル列２２Ａの第１のノズル２１Ａと、第２のノズル列２２Ｂの第２のノズル２１Ｂとは、Ｘ方向にずれた位置に配置された、いわゆる、千鳥配置となっている。本実施形態では、第１のノズル列２２Ａと、第２のノズル列２２Ｂとは、Ｘ方向に互いにノズル２１のピッチの半分、いわゆる、半ピッチずれた位置に配置されている。これら第１のノズル２１Ａ及び第２のノズル２１Ｂからは同じ種類のインクが吐出される。なお、第１のノズル列２２Ａの第１のノズル２１Ａと第２のノズル列２２Ｂの第２のノズル２１Ｂとは、Ｙ方向に同じ位置に配置されて、Ｘ方向に沿った一直線上に配置されていてもよい。
また、図２〜図４に示すように、流路基板を構成する流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０及びコンプライアンス基板４９には、ノズル２１毎に設けられた個別流路２００が設けられている。個別流路２００は、第１の共通液室１０１と第２の共通液室１０２とを接続すると共に第１の共通液室１０１と第２の共通液室１０２との間でノズル２１と連通して設けられている。ここで、複数の個別流路２００は、第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２のみで互いに連通して設けられており、複数の個別流路２００は、第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２以外で互いに連通することがない。つまり、本実施形態では、１つのノズル２１に対して設けられた１つの圧力室１２を有する流路を個別流路２００と称する。また、本実施形態では、第１のノズル２１Ａに連通して第１の圧力室１２Ａを有する個別流路２００を第１の個別流路２００Ａと称し、第２のノズル２１Ｂに連通して第２の圧力室１２Ｂを有する個別流路２００を第２の個別流路２００Ｂと称する。これら第１の個別流路２００Ａと第２の個別流路２００Ｂとは、Ｘ方向に交互に配置されている。
また、個別流路２００は、圧力室１２とノズル２１と個別連通流路２０１とを具備する。個別連通流路２０１は、圧力室１２と第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２とをつなぐものである。本実施形態では、第１の個別流路２００Ａに設けられた個別連通流路２０１を第１の個別連通流路２０１Ａと称し、第２の個別流路２００Ｂに設けられた個別連通流路２０１を第２の個別連通流路２０１Ｂと称する。すなわち、第１の個別流路２００Ａは、第１のノズル２１Ａと第１の圧力室１２Ａと第１の個別連通流路２０１Ａとを具備する。また、第２の個別流路２００Ｂは、第２のノズル２１Ｂと第２の圧力室１２Ｂと第２の個別連通流路２０１Ｂとを具備する。
ここで第１の個別連通流路２０１Ａは、図２及び図４に示すように、第１−１流路２１１と第１−２流路２１２と第１−３流路２１３と第１−４流路２１４と第１−５流路２１５とを具備する。
第１の個別連通流路２０１Ａの第１−１流路２１１は、第１の圧力室１２Ａよりも上流、すなわち、第１の圧力室１２Ａと第１の共通液室１０１との間に設けられたものであり、第１の圧力室１２Ａと第１の共通液室１０１とを接続するものである。
また、第１の個別連通流路２０１Ａの第１−２流路２１２と第１−３流路２１３と第１−４流路２１４と第１−５流路２１５とは、第１の圧力室１２Ａよりも下流、すなわち、第１の圧力室１２Ａと第２の共通液室１０２との間に設けられたものであり、第１の圧力室１２Ａと第２の共通液室１０２とを接続するものである。
なお、ここで言う上流、下流とは、第１の共通液室１０１から第２の共通液室１０２に向かって第１の個別流路２００Ａ内にインクの流れである循環流を生じさせた際の第１の圧力室１２Ａを基準とした上流、下流のことである。
具体的には、第１−１流路２１１は、第１の圧力室１２Ａの＋Ｙ方向の端部に連通すると共に第１連通部１６の−Ｙ方向の端部に連通するように、第１連通板１５１をＺ方向に貫通して設けられている。
また、第１−１流路２１１は、詳しくは後述する第２の圧力室列１２０Ｂに対応する第２の個別連通流路２０１Ｂを間に挟まずにＸ方向に並設された第２部分となっている。なお、第２の個別連通流路２０１Ｂを間に挟まずにＸ方向に並設された第２部分とは、Ｘ方向に見て、第２の個別連通流路２０１Ｂに重ならない部分のことである。
この第１−１流路２１１を第２部分とすることで、第１の個別連通流路２０１ＡをＸ方向で隔てる隔壁が薄くなるのを抑制して、隔壁の剛性が低下するのを抑制することができる。また、第１−１流路２１１を第２部分とすることで、第１−１流路２１１をＸ方向に幅広に設けて、流路抵抗及びイナータンスを低減することもできる。
第１の圧力室１２Ａは、上述のように流路形成基板１０に設けられたものであり、第１の圧力室１２Ａの−Ｚ方向の開口は振動板５０によって封止され、第１の圧力室１２Ａの＋Ｚ方向の開口の一部は連通板１５によって覆われている。このような第１の圧力室１２Ａは、流路の並ぶ方向、すなわち、Ｘ方向に第１のピッチで形成されている。第１の圧力室１２Ａと第２の圧力室１２Ｂとは、Ｙ方向に異なる位置にシフトして配置されているため、第１のピッチとは、第１の圧力室１２Ａ及び第２の圧力室１２Ｂのそれぞれのピッチのことである。
第１−２流路２１２は、第１の圧力室１２Ａと第１のノズル２１Ａとを連通するものであり、一端が第１の圧力室１２Ａの−Ｙ方向の端部に連通し、他端が第１のノズル２１Ａの−Ｚ方向の端部とに連通するように、連通板１５をＺ方向に貫通して設けられている。
また、第１−２流路２１２の＋Ｚ方向の端部側の流路部２１２ａは、詳しくは後述する第２の圧力室列１２０Ｂに対応する第２の個別連通流路２０１Ｂを間に挟んでＸ方向に並設された第１部分となっている。また、第１−２流路２１２の−Ｚ方向の端部側の流路部２１２ｂは、第２の圧力室列１２０Ｂに対応する第２の個別連通流路２０１Ｂを間に挟まずにＸ方向に並設された第２部分となっている。
なお、第２の個別連通流路２０１Ｂを間に挟んでＸ方向に並設された第１部分とは、Ｘ方向に見て、第２の個別連通流路２０１Ｂに重なる部分のことである。
このようにＺ方向に延びる局所流路である第１−２流路２１２は、Ｚ方向に見て、第２の個別流路２００Ｂと交差することが困難な部分である。別の言い方をすると、このような局所流路は流路基板の厚み方向、すなわちＺ方向に位置をずらして第２の個別流路２００Ｂとの干渉を避けることが困難な流路となるため、一般的には第２の個別流路２００Ｂと隣接した引き回しになりやすい。しかしながら、このような第１−２流路２１２であっても第２部分を設けることで、第１−２流路２１２をＸ方向で隔てる隔壁が全体に亘って薄くなるのを抑制して、隔壁の剛性が低下するのを抑制することができる。
また、第１の圧力室１２Ａと第１のノズル２１Ａとをつなぐ局所流路である第１−２流路２１２が、第２部分を有することで、第１−２流路２１２のＸ方向の幅を広げることや、隔壁の剛性を向上して、第１のノズル２１Ａから吐出されるインク滴の吐出特性を向上することができる。すなわち、第１の圧力室１２Ａと第１のノズル２１Ａとをつなぐ局所流路である第１−２流路２１２は、インク滴の吐出特性に大きく影響を与える流路であり、この第１−２流路２１２に第２部分を設けることで、インクの吐出特性が向上するように、第１−２流路２１２のＸ方向の幅を広げて流路抵抗やイナータンスを低減することや、壁の剛性を向上して壁が変形するのを抑制して壁の変形による圧力損失を抑制してインク滴の重量が低下するのを抑制することができる。
第１のノズル２１Ａは、第１−２流路２１２のＺ方向の端部に連通すると共に、ノズルプレート２０の＋Ｚ方向の面であるノズル面２０ａに開口することで外部と連通して設けられている。
第１−３流路２１３は、第２連通板１５２とノズルプレート２０との間に、一端が第１−２流路２１２の第１のノズル２１Ａに接続された他端、すなわち、第１−２流路２１２のＺ方向の端部に連通するように、Ｙ方向に沿って設けられている。本実施形態の第１−３流路２１３は、第２連通板１５２に凹部を設け、この凹部の開口をノズルプレート２０で蓋をすることで形成されている。なお、第１−３流路２１３は特にこれに限定されず、ノズルプレート２０に凹部を設け、凹部を第２連通板１５２によって蓋をするようにしてもよく、第２連通板１５２とノズルプレート２０との両方に凹部を設けるようにしてもよい。
この第１−３流路２１３は、第２の圧力室列１２０Ｂに対応する第２の個別連通流路２０１Ｂを間に挟んでＸ方向に並設された第１部分となっている。このように、第１の個別連通流路２０１Ａのうち、第１のノズル２１Ａとの接続部からＹ方向に延びる局所流路である第１−３流路２１３を第１部分とすることで、ノズルプレート２０に沿って配置される局所流路である第１−３流路２１３と詳しくは後述する第２の圧力室列１２０Ｂに対応する第２の個別連通流路２０１Ｂの局所流路である第２−３流路２５３とをＹ方向に引き離して配置しなくても済む。したがって、これら局所流路の近傍に配置される第１のノズル２１Ａと第２のノズル２１Ｂとを近接して設けることができ、ノズル２１をＹ方向に高密度に配置することができる。
第１−４流路２１４は、＋Ｚ方向の一端が第１−３流路２１３に連通するように、第２連通板１５２をＺ方向に貫通して設けられている。
この第１−４流路２１４は、第２の圧力室列１２０Ｂに対応する第２の個別連通流路２０１Ｂを間に挟んでＸ方向に並設された第１部分となっている。
第１−５流路２１５は、第１連通板１５１と第２連通板１５２との間に、一端が第１−４流路２１４の−Ｚ方向の端部に連通し、他端が第２の共通液室１０２の＋Ｙ方向の端部に連通するように、Ｙ方向に沿って設けられている。本実施形態の第１−５流路２１５は、第２連通板１５２に凹部を設け、凹部を第１連通板１５１によって蓋をすることで形成されている。もちろん、第１−５流路２１５は、第１連通板１５１に凹部を設け、第２連通板１５２によって蓋をすることで形成してもよく、第１連通板１５１と第２連通板１５２との両方に凹部を設けるようにしてもよい。
これら第１−４流路２１４及び第１−５流路２１５は、Ｚ方向に見て、第２の圧力室列１２０ＢにおいてＸ方向で隣接する第２の圧力室１２Ｂの間の領域と重なる部分であって、且つＸ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂと重ならない部分となっている。すなわち、第１−４流路２１４及び第１−５流路２１５と第２の圧力室１２Ｂとは、Ｘ方向に見て互いに重ならないようにＺ方向に異なる位置に配置されている。
なお、第１−４流路２１４及び第１−５流路２１５が、Ｘ方向に見て第２の圧力室１２Ｂの間の領域と重なるとは、第１−４流路２１４及び第１−５流路２１５がＸ方向で隣接する第２の圧力室１２Ｂの間の領域である隔壁と重なる位置に配置されていれば、その一部がＺ方向に見て第２の圧力室１２Ｂに重なっているものも含む。本実施形態では、第１−４流路２１４及び第１−５流路２１５は、Ｚ方向に見て第２の圧力室１２Ｂの間の領域と重なる位置のみに配置されている。
このように、第１−４流路２１４及び第１−５流路２１５と第２の圧力室１２ＢとをＸ方向に見て互いに重ならないようにＺ方向に異なる位置に配置することで、第１−４流路２１４及び第１−５流路２１５と第２の圧力室１２Ｂとを、Ｚ方向に見て、Ｘ方向に近接して配置しても、第２の圧力室１２Ｂを隔てる隔壁の厚さが薄くなるのを抑制することができる。したがって、第２の圧力室１２ＢをＸ方向に幅広に形成して排除体積を増大させることができると共に、第２の圧力室１２Ｂの隔壁の剛性が低下するのを抑制して、隔壁が変形することで第２の圧力室１２Ｂ内のインクの圧力を吸収するのを抑制し、吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。また、たとえ第１−４流路２１４及び第１−５流路２１５の一部をＺ方向に見て第２の圧力室１２Ｂと重なるように配置したとしても、第１−４流路２１４及び第１−５流路２１５はＸ方向に見て第２の圧力室１２Ｂと重ならない位置に配置されているので、第２の圧力室１２Ｂと第１−４流路２１４及び第１−５流路２１５とが互いに連通することがない。
また、本実施形態の第１−５流路２１５は、第２の圧力室列１２０Ｂに対応する第２の個別連通流路２０１Ｂを間に挟まずにＸ方向に並設された第２部分となっている。このため、Ｘ方向に並設された第１−５流路２１５の隔壁が、第２の圧力室１２Ｂ及び第２の個別連通流路２０１Ｂによって薄くなることがなく、また、Ｘ方向に並設された第２の個別連通流路２０１Ｂの隔壁が、第１−５流路２１５によって薄くなることがない。したがって第１−５流路２１５をＸ方向に幅広に形成することができ、流路抵抗及びイナータンスを低減してインク滴の吐出特性、すなわち、インク滴の重量を大きくすることができると共に、隔壁の剛性を向上して、インク滴の吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。
また、第１−５流路２１５は、第２部分となっているため、第１部分に比べてＸ方向の幅を広げても、第２の個別連通流路２０１Ｂとの間の壁の厚みが薄くなり難い。したがって、第２部分である第１−５流路２１５は、第１部分である第１−２流路２１２、第１−３流路２１３及び第１−４流路２１４よりもＸ方向の幅が大きくなるように設けることができる。これにより、第１−５流路２１５の断面積を大きくして、第１−５流路２１５の流路抵抗及びイナータンスを低減することができる。
このような第１の個別流路２００Ａは、第１の共通液室１０１から第２の共通液室１０２に向かって順に第１−１流路２１１、第１の圧力室１２Ａ、第１−２流路２１２、第１−３流路２１３、第１−４流路２１４及び第１−５流路２１５を備えている。そして、第１の個別流路２００Ａは、第１−２流路２１２のＺ方向の端部において第１のノズル２１Ａと連通している。つまり、本実施形態では、図２に示すように、第１の個別流路２００Ａは、第１の共通液室１０１から第２の共通液室１０２に向かうインクの流れに対して、上流から下流に向かって圧力室１２と第１のノズル２１Ａとがこの順番に配置されている。すなわち、第１の個別流路２００Ａでは、第１のノズル２１Ａと第１の共通液室１０１との間に第１の圧力室１２Ａが設けられている。
このような第１の個別流路２００Ａでは、第１の共通液室１０１から第１の個別流路２００Ａを通り第２の共通液室１０２にインクが流れる。また、圧電アクチュエーター３００を駆動することによって第１の圧力室１２Ａ内のインクに圧力変化を生じさせて、第１のノズル２１Ａ内のインクの圧力を上昇させることで第１のノズル２１Ａから外部にインク滴が吐出される。第１の共通液室１０１から第１の個別流路２００Ａを通り第２の共通液室１０２にインクが流れる時に、圧電アクチュエーター３００を駆動してもよいし、第１の共通液室１０１から第１の個別流路２００Ａを通り第２の共通液室１０２にインクが流れない時に、圧電アクチュエーター３００を駆動してもよい。また、圧電アクチュエーター３００の駆動による圧力変化により、第２の共通液室１０２から第１の共通液室１０１へのインクの流れが一時的に生じてもよい。
なお、本実施形態では、第１の個別流路２００Ａのうち、第１の共通液室１０１から第２の共通液室１０２に向かう循環流において第１のノズル２１Ａよりも上流、すなわち、第１のノズル２１Ａと第１の共通液室１０１との間の流路である第１−１流路２１１、第１の圧力室１２Ａ及び第１−２流路２１２を第１上流流路と称する。また、第１の個別流路２００Ａのうち、第１の共通液室１０１から第２の共通液室１０２に向かう循環流において第１のノズル２１Ａよりも下流、すなわち、第１のノズル２１Ａと第２の共通液室１０２との間の流路である第１−３流路２１３、第１−４流路２１４及び第１−５流路２１５を第１下流流路と称する。
また、第２の個別流路２００Ｂを構成する本実施形態の第２の個別連通流路２０１Ｂは、図３及び図４に示すように、第２−１流路２５１と第２−２流路２５２と第２−３流路２５３と第２−４流路２５４と第２−５流路２５５とを具備する。以下に詳述するが、第２の個別流路２００Ｂは第１の個別流路２００ＡをＺ方向の軸に対して反転させた形状となっている。
第２−１流路２５１と第２−２流路２５２と第２−３流路２５３と第２−４流路２５４とは、第２の圧力室１２Ｂよりも上流、すなわち、第２の圧力室１２Ｂと第１の共通液室１０１との間に設けられたものであり、第２の圧力室１２Ｂと第１の共通液室１０１とを接続するものである。
また、第２−５流路２５５は、第２の圧力室１２Ｂよりも下流、すなわち、第２の圧力室１２Ｂと第２の共通液室１０２との間に設けられたものであり、第２の圧力室１２Ｂと第２の共通液室１０２とを接続するものである。
なお、ここで言う上流、下流とは、第１の共通液室１０１から第２の共通液室１０２に向かって第２の個別流路２００Ｂ内にインクの流れである循環流を生じさせた際の第２の圧力室１２Ｂを基準とした上流、下流のことである。
第２−１流路２５１は、第１連通板１５１と第２連通板１５２との間に、一端が第１の共通液室１０１の−Ｙ方向の端部に連通するようにノズル面２０ａの面内方向においてＹ方向に沿って設けられている。本実施形態の第２−１流路２５１は、第２連通板１５２に凹部を設け、凹部を第１連通板１５１によって蓋をすることで形成されている。もちろん、第２−１流路２５１は、第１連通板１５１に凹部を設け、第２連通板１５２によって蓋をすることで形成してもよく、第１連通板１５１と第２連通板１５２との両方に凹部を設けるようにしてもよい。
第２−２流路２５２は、−Ｚ方向の端部が第２−１流路２５１に連通するように、第２連通板１５２をＺ方向に貫通して設けられている。
これら第２−１流路２５１及び第２−２流路２５２は、Ｚ方向に見て、第１の圧力室列１２０Ａにおける隣接する第１の圧力室１２Ａの間の領域と重なる部分であって、且つＸ方向に見て、第１の圧力室列１２０Ａと重ならない部分となっている。すなわち、第２−１流路２５１及び第２−２流路２５２と第１の圧力室１２Ａとは、Ｘ方向に見て互いに重ならないようにＺ方向に異なる位置に配置されている。なお、第２−１流路２５１及び第２−２流路２５２が、Ｘ方向に見て第１の圧力室１２Ａの間の領域と重なるとは、第２−１流路２５１及び第２−２流路２５２がＸ方向で隣接する第１の圧力室１２Ａの間の領域である隔壁と重なる位置に配置されていれば、その一部がＺ方向に見て第１の圧力室１２Ａに重なっているものも含む。本実施形態では、第２−１流路２５１及び第２−２流路２５２は、Ｚ方向に見て第１の圧力室１２Ａの間の隔壁と重なる位置のみに配置されている。
また、第２−２流路２５２は、第１の圧力室列１２０Ａに対応する第１の個別連通流路２０１Ａを間に挟んでＸ方向に並設された第１部分となっている。本実施形態では、第２−２流路２５２は、第１の個別連通流路２０１Ａの第１−２流路２１２を間に挟んでＸ方向に並設されている。なお、第１の個別連通流路２０１Ａを挟んでＸ方向に並設された第１部分とは、Ｘ方向に見て、第１の個別連通流路２０１Ａに重なる部分のことである。
第２−３流路２５３は、第２連通板１５２とノズルプレート２０との間に、一端が第２−２流路２５２の＋Ｚ方向の端部に連通するように、Ｙ方向に沿って設けられている。本実施形態の第２−３流路２５３は、第２連通板１５２に凹部を設け、この凹部の開口をノズルプレート２０で蓋をすることで形成されている。なお、第２−３流路２５３は、特にこれに限定されず、ノズルプレート２０に凹部を設け、凹部を第２連通板１５２によって蓋をするようにしてもよく、第２連通板１５２とノズルプレート２０との両方に凹部を設けるようにしてもよい。
また、第２−３流路２５３は、第１の圧力室列１２０Ａに対応する第１の個別連通流路２０１Ａを間に挟んでＸ方向に並設された第１部分となっている。すなわち、第２−３流路２５３は、Ｘ方向に見て、第１の個別連通流路２０１Ａの第１−３流路２１３と重なる部分となっている。つまり、第２−３流路２５３と第１−３流路２１３とは、Ｘ方向に交互に配置されている。
この第２−３流路２５３と第１−３流路２１３とが、Ｘ方向に交互に配置されたピッチを第２のピッチと称する。そして、この第２のピッチは、第１の圧力室１２Ａ及び第２の圧力室１２Ｂのそれぞれの第１のピッチよりも小さい。例えば、第１の圧力室１２Ａが３００ｄｐｉ、第２の圧力室１２Ｂが３００ｄｐｉとなる第１のピッチで形成されていると、第２−３流路２５３と第１−３流路２１３とは、第１のピッチの半分の第２のピッチ、すなわち、６００ｄｐｉとなる第２のピッチで形成されることになる。したがって、第１の圧力室１２Ａ及び第２の圧力室１２Ｂのそれぞれの第１のピッチを、第２−３流路２５３と第１−３流路２１３と第２のピッチよりも大きくして、第１の圧力室１２Ａ及び第２の圧力室１２ＢのＸ方向の開口幅を広げることができ、圧力室１２の排除体積を増大させることができると共に、第１の圧力室１２Ａの間の隔壁、及び第２の圧力室１２Ｂの間の隔壁の剛性を向上して、圧力室１２内のインクの圧力変化によって隔壁が変形して圧力吸収することによる吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。
第２−４流路２５４は、第２の圧力室１２Ｂと第２のノズル２１Ｂとを連通するものであり、一端が第２の圧力室１２Ｂの＋Ｙ方向の端部に連通し、他端が第２のノズル２１Ｂの−Ｚ方向の端部に連通するように、連通板１５をＺ方向に貫通して設けられている。
また、第２−４流路２５４の＋Ｚ方向の端部側の流路部２５４ａは、第１の圧力室列１２０Ａに対応する第１の個別連通流路２０１Ａを間に挟んでＸ方向に並設された第１部分となっている。また、第２−４流路２５４の−Ｚ方向の端部側の流路部２５４ｂは、第１の個別連通流路２０１Ａを間に挟まずにＸ方向に並設された第２部分となっている。
第２のノズル２１Ｂは、第２−４流路２５４のＺ方向の端部に連通すると共に、ノズルプレート２０のＺ方向の面であるノズル面２０ａに開口することで外部と連通して設けられている。
すなわち、第１のノズル２１Ａと第２のノズル２１Ｂとは、Ｘ方向に見て、Ｙ方向に異なる位置にシフトして配置されている。
本実施形態では、第１のノズル２１Ａとの接続部からＹ方向に延びる局所流路である第１−３流路２１３と、第２のノズル２１Ｂとの接続部からＹ方向に延びる局所流路である第２−３流路２５３とは、Ｘ方向に見て互いに重なる位置に配置されているため、第１のノズル２１Ａと第２のノズル２１ＢとをＹ方向に引き離して配置しなくて済み、両者をＹ方向に近接して配置することができ、ノズル２１をＹ方向に高密度に配置することができる。
第２の圧力室１２Ｂは、上述のように流路形成基板１０に設けられたものであり、第２の圧力室１２Ｂの−Ｚ方向の開口は振動板５０によって封止され、第２の圧力室１２ＢのＺ方向の開口の一部は、連通板１５によって覆われている。このような第２の圧力室１２Ｂは、第１の個別流路２００Ａの第１の圧力室１２ＡとＹ方向に異なる位置にシフトして配置されており、Ｘ方向に見て、第１の圧力室１２Ａと第２の圧力室１２Ｂとは互いに重ならない位置に設けられている。このような第２の圧力室１２Ｂは、第１の圧力室１２Ａと同様にＸ方向に第１のピッチで形成されている。
また、上述のように、第１の個別連通流路２０１Ａの第１−４流路２１４及び第１−５流路２１５は、Ｚ方向に見て、第２の圧力室列１２０ＢにおいてＸ方向で隣接する第２の圧力室１２Ｂの間の領域と重なる部分であって、且つＸ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂと重ならない部分となっている。したがって、第２の圧力室１２ＢをＸ方向に幅広に設けて排除体積を増大させることができると共に、第１の個別連通流路２０１Ａを第２の圧力室１２Ｂの間に、第２の圧力室１２Ｂに干渉することなく、効率よく配置することができる。したがって、流路形成基板１０及び連通板１５等の流路基板が大型化するのを抑制して個別流路２００を効率よく配置することができる。
第２−５流路２５５は、第２の圧力室１２Ｂと第２の共通液室１０２とを連通するものであり、一端が第２の圧力室１２Ｂの−Ｙ方向の端部に連通し、他端が第２の共通液室１０２のＹ方向の端部に連通するように、第１連通板１５１をＺ方向に貫通して設けられている。
この第２−５流路２５５は、第１の圧力室列１２０Ａに対応する第１の個別連通流路２０１Ａを間に挟まずにＸ方向に並設された第２部分となっている。
このように第２の個別流路２００Ｂは、第１の共通液室１０１から第２の共通液室１０２に向かって順に第２−１流路２５１、第２−２流路２５２、第２−３流路２５３、第２−４流路２５４、第２の圧力室１２Ｂ及び第２−５流路２５５を備える。そして、第２の個別流路２００Ｂは、第２−４流路２５４のＺ方向の端部において第２のノズル２１Ｂと連通している。つまり、本実施形態では、図３に示すように、第２の個別流路２００Ｂは、第１の共通液室１０１から第２の共通液室１０２に向かうインクの流れに対して、上流から下流に向かって第２のノズル２１Ｂと第２の圧力室１２Ｂとがこの順番に配置されている。すなわち、第２の個別流路２００Ｂでは、第２のノズル２１Ｂと第２の共通液室１０２との間に第２の圧力室１２Ｂが設けられている。
このような第１の個別流路２００Ａと第２の個別流路２００Ｂとでは、第１の共通液室１０１から第２の共通液室１０２に向かうインクの流れに対して圧力室１２とノズル２１との順番が異なるように配置されている。本実施形態では、各個別流路２００に圧力室１２とノズル２１とが１つずつ設けられているため、第１の個別流路２００Ａと第２の個別流路２００Ｂとは、圧力室１２とノズル２１との順番が、逆転して配置されている。
そして、このような第２の個別流路２００Ｂでは、第１の共通液室１０１から第２の個別流路２００Ｂを通り第２の共通液室１０２にインクが流れる。また、圧電アクチュエーター３００を駆動することによって第２の圧力室１２Ｂ内のインクに圧力変化を生じさせて、第２のノズル２１Ｂ内の圧力を上昇させることで第２のノズル２１Ｂから外部にインク滴が吐出される。第１の共通液室１０１から第２の個別流路２００Ｂを通り第２の共通液室１０２にインクが流れる時に、圧電アクチュエーター３００を駆動してもよいし、第１の共通液室１０１から第２の個別流路２００Ｂを通り第２の共通液室１０２にインクが流れない時に、圧電アクチュエーター３００を駆動してもよい。また、圧電アクチュエーター３００の駆動による圧力変化により、第２の共通液室１０２から第１の共通液室１０１へのインクの流れが一時的に生じてもよい。ちなみに、第２のノズル２１Ｂからのインク滴の吐出は、第２のノズル２１Ｂ内のインクの圧力によって決定される。第２のノズル２１Ｂ内のインクの圧力は、第１の共通液室１０１から第２の共通液室１０２に向かって流れるインクの圧力、所謂、循環の圧力と、圧電アクチュエーター３００の駆動によって第２の圧力室１２Ｂから第２のノズル２１Ｂに向かう圧力とによって決定される。
例えば、第１の共通液室１０１から第２の共通液室１０２に向かうインクの流れに対して、第２の圧力室１２Ｂ内のインクの圧力変動によって第２の圧力室１２Ｂから第２のノズル２１Ｂに向かってインクが逆流して第２のノズル２１Ｂからインク滴が吐出されてもよい。このように、第２の圧力室１２Ｂから第２のノズル２１Ｂに向かってインクが逆流するということは、第１の共通液室１０１から第２の共通液室１０２に向かう循環の圧力が小さいことになるため、循環の圧力を比較的小さくすることで、個別流路２００の圧力損失を小さくすることができる。そして、個別流路２００の圧力損失を小さくすることで、各個別流路２００間での圧力損失の差を減少させることができるため、各ノズル２１から吐出されるインク滴の吐出特性のばらつきを低減することができる。
また、例えば、第１の共通液室１０１から第２の共通液室１０２に向かうインクの流れに対して、第２の圧力室１２Ｂ内のインクの圧力変動によって第２の圧力室１２Ｂから第２のノズル２１Ｂに向かってインクが逆流することなく第２のノズル２１Ｂからインクが吐出されてもよい。この場合、第２の圧力室１２Ｂから第２のノズル２１Ｂに向かうインクの流れが発生しないため、第２の圧力室１２Ｂから第２のノズル２１Ｂに向かって気泡が逆流し難く、気泡によって第２のノズル２１Ｂからのインク滴の吐出不良が生じ難い。
なお、本実施形態では、第２の個別流路２００Ｂのうち、第１の共通液室１０１から第２の共通液室１０２に向かう循環流において第２のノズル２１Ｂよりも上流、すなわち、第２のノズル２１Ｂと第１の共通液室１０１との間の流路である第２−１流路２５１、第２−２流路２５２及び第２−３流路２５３を第２上流流路と称する。また、第２の個別流路２００Ｂのうち、第１の共通液室１０１から第２の共通液室１０２に向かう循環流において第２のノズル２１Ｂよりも下流、すなわち、第２のノズル２１Ｂと第２の共通液室１０２との間の流路である第２−４流路２５４、第２の圧力室１２Ｂ及び第２−５流路２５５を第２下流流路と称する。
このような第１の個別流路２００Ａと第２の個別流路２００Ｂとが、図４に示すように、Ｘ方向に交互に配設されている。すなわち、本実施形態の記録ヘッド１では、第１の共通液室１０１から第２の共通液室１０２に向かうインクの流れに対して、圧力室１２とノズル２１との位置に関係なく、圧力室１２内の圧力変動によってノズル２１からインク滴を吐出することができる。つまり、図２に示す第１の個別流路２００Ａのように第１の圧力室１２Ａが上流、第１のノズル２１Ａが下流に配置されていても、また、図３に示す第２の個別流路２００Ｂのように第２のノズル２１Ｂが上流、第２の圧力室１２Ｂが下流に配置されていても、圧力室１２内のインクの圧力変動によって第１のノズル２１Ａ及び第２のノズル２１Ｂの両者から選択的にインク滴を吐出することができる。このため、上述のように第１の共通液室１０１から第２の共通液室１０２に向かうインクの流れに対して、圧力室１２とノズル２１との順番が異なる第１の個別流路２００Ａと第２の個別流路２００ＢとをＸ方向に交互に配置することで、第１の個別流路２００Ａと第２の個別流路２００Ｂとで圧力室１２の位置を変更、すなわち、第１の圧力室１２Ａと第２の圧力室１２ＢとをＸ方向に見てＹ方向の異なる位置にシフトして配置することができる。したがって、各個別流路２００の圧力室１２をＸ方向に幅広に形成して排除体積を増大させることや、圧力室１２の間の隔壁の剛性が低下し難いため、圧力室１２をＸ方向に高密度に配置することができる。つまり、第１の圧力室１２Ａと第２の圧力室１２ＢとをＹ方向に異なる位置にシフトして配置することで、第１の圧力室１２Ａと第２の圧力室１２Ｂとが互いに干渉することなく、第１の圧力室１２ＡをＸ方向で隔てる隔壁を厚くすることができると共に、第２の圧力室１２ＢをＸ方向で隔てる隔壁を厚くすることができる。
ちなみに、例えば、第１の圧力室１２Ａと第２の圧力室１２Ｂとを、Ｘ方向に見て、重なる位置に配置した場合、圧力室１２をＸ方向に幅広に設けることができず排除体積が減少し、インク滴の吐出特性であるインク滴の重量が減少する。また、圧力室１２をＸ方向で隔てる隔壁の剛性が低下するため、隔壁の変形によるクロストークが発生する。
また、本実施形態では、第１の圧力室列１２０Ａに対応する個別連通流路２０１である第１の個別連通流路２０１Ａは、第１軸方向であるＺ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂにおける隣接する第２の圧力室１２Ｂの間の領域と重なる部分であって、且つＸ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂと重ならない部分を有する。
本実施形態では、上述したように第１の個別連通流路２０１Ａのうち第１−４流路２１４と第１−５流路２１５とは、Ｚ方向に見て、Ｘ方向で隣接する第２の圧力室１２Ｂの間の隔壁に重なるように配置されていると共に、Ｘ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂと重ならない位置に設けられている。なお、第１の個別連通流路２０１Ａが、Ｚ方向に見て、第２の圧力室１２Ｂの間の領域と重なる部分を有するとは、第１の個別連通流路２０１Ａの少なくともある一部が、第２の圧力室１２Ｂの間の領域に重なっていればよく、第１の個別連通流路２０１Ａの他の一部が、Ｚ方向に見て、第２の圧力室１２Ｂに重なっているものも含む。
ちなみに、第１の圧力室１２Ａと第２の圧力室１２Ｂとを、Ｘ方向に見てＹ方向に互いにシフトして配置したとしても、例えば、第１の個別連通流路２０１Ａを、Ｘ方向に隣接する第２の圧力室１２Ｂの間に配置してしまうと、第２の圧力室１２ＢをＸ方向で隔てる隔壁の厚さが薄くなるため、第２の圧力室１２ＢをＸ方向に幅広に設けることができず排除体積が減少すると共に、隔壁の剛性が低下するためクロストークが発生する。また、隔壁の剛性を向上させるためには、流路基板がＸ方向に大型化してしまう。すなわち、第２の圧力室列１２０Ｂやその隔壁のスペースを確保して高特性なヘッドを得るためには、第２の圧力室列１２０Ｂやその隔壁との干渉を避けるのに有利な空間、すなわち低干渉空間を利用して第１の個別連通流路２０１Ａを引き回すのが好ましいと言える。またこのような関係は、第１の圧力室列１２０Ａと第２の個別連通流路２０１Ｂとの間にも当てはまる。
本実施形態では、Ｚ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂにおける隣接する第２の圧力室１２Ｂの間の領域と重なると共に、Ｘ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂと重ならない領域を低干渉空間として利用して第１−４流路２１４と第１−５流路２１５とを配している。かかる低干渉空間は、Ｘ方向にもＺ方向にも第２の圧力室列１２０Ｂとの干渉を避けるのに有利な空間である。これにより、第２の圧力室１２ＢをＸ方向に幅広に形成しても、隔壁の剛性が低下するのを抑制することができ、排除体積を増大させてインク滴の吐出特性、すなわち、インク滴の重量を増大させることができる。また、第２の圧力室１２ＢをＸ方向で隔てる隔壁の剛性を向上することができるため、第２の圧力室１２Ｂ内のインクの圧力変化によって隔壁が変形するのを抑制して、隔壁の剛性が低下することによるインク滴の吐出特性にばらつきが生じる、所謂クロストークが発生するのを抑制することができる。
また、これにより、第１の個別流路２００Ａと第２の個別流路２００ＢとをＺ方向に見て交差するように複雑に取り回す必要がなく、個別流路２００の構造を簡略化することができると共に、個別流路２００が無駄に長くなるのを抑制して流路抵抗が増大するのを抑制することができ、インク滴の吐出特性や気泡排出性が低下するのを抑制することができる。
また、本実施形態では、第２の圧力室列１２０Ｂに対応する個別連通流路である第２の個別連通流路２０１Ｂは、Ｚ方向に見て、第１の圧力室列１２０Ａにおける隣接する第１の圧力室１２Ａの間の領域と重なる部分であって、且つＸ方向に見て、第１の圧力室列１２０Ａと重ならない部分を有する。
本実施形態では、上述のように、第２の個別連通流路２０１Ｂを構成する第２−１流路２５１と第２−２流路２５２とは、Ｚ方向に見て、Ｘ方向で隣接する第１の圧力室１２Ａの間の領域と重なる部分であって、且つＸ方向に見て、第１の圧力室列１２０Ａと重ならない部分となっている。なお、第２の個別連通流路２０１Ｂが、Ｚ方向に見て、第１の圧力室１２Ａの間の領域に重なるとは、第２の個別連通流路２０１Ｂの少なくともある一部が、第１の圧力室１２Ａの間の領域の隔壁に重なっていればよく、Ｚ方向に見て、第２の個別連通流路２０１Ｂの他の一部が、第１の圧力室１２Ａに重なっているものも含む。本実施形態では、第２の個別連通流路２０１Ｂは、Ｚ方向に見て、第１の圧力室１２Ａに重ならない位置に配置されている。
また、本実施形態では、第１の圧力室列１２０Ａに対応する個別連通流路である第１の個別連通流路２０１Ａは、第２の圧力室列１２０Ｂに対応する個別連通流路である第２の個別連通流路２０１Ｂを挟んで第２軸方向であるＸ方向に並設される第１部分と、第２の圧力室列１２０Ｂに対応する個別流路である第２の個別連通流路２０１Ｂを挟まずにＸ方向に並設される第２部分とを有する。
上述したように、第１の個別連通流路２０１Ａの第１−２流路２１２の＋Ｚ方向の端部側の流路部２１２ａは、第２の個別連通流路２０１Ｂの第２−２流路２５２を挟んでＸ方向に並設されている。また、第１の個別連通流路２０１Ａの第１−３流路２１３は、第２の個別連通流路２０１Ｂの第２−３流路２５３を挟んでＸ方向に並設されている。さらに、第１の個別連通流路２０１Ａの第１−４流路２１４は、第２の個別連通流路２０１Ｂの第２−４流路２５４を挟んでＸ方向に並設されている。すなわち、本実施形態では、第１の個別連通流路２０１Ａの第１−２流路２１２のＺ方向の端部側の流路部２１２ａと第１−３流路２１３と第１−４流路２１４とが、第１部分に相当する。
また、第１の個別連通流路２０１Ａの第１−１流路２１１は、第２の個別連通流路２０１Ｂを挟むことなくＸ方向に並設されている。また、第１の個別連通流路２０１Ａの第１−２流路２１２の−Ｚ方向の端部側の流路部２１２ｂは、第２の個別連通流路２０１Ｂを挟まずにＸ方向に並設されている。さらに、第１の個別連通流路２０１Ａの第１−５流路２１５は、第２の個別連通流路２０１Ｂを挟まずにＸ方向に並設されている。すなわち、本実施形態では、第１の個別連通流路２０１Ａの第１−１流路２１１と第１−２流路２１２の−Ｚ方向の端部側の流路部２１２ｂと第１−５流路２１５とが、第２部分に相当する。
このように第１の個別連通流路２０１Ａに第２の個別連通流路２０１Ｂを挟んでＸ方向に並設される第１部分である第１−２流路２１２の＋Ｚ方向の端部側の流路部２１２ａと第１−３流路２１３と第１−４流路２１４とを設けることで、Ｘ方向に見て、第１の個別連通流路２０１Ａと第２の圧力室列１２０Ｂを有する第２の個別流路２００Ｂとを交差配置することが可能となる。したがって、Ｘ方向に並設された第２の個別流路２００Ｂの間のスペースに第１の個別連通流路２０１Ａを効率よく配置することができる。
また、第１の個別連通流路２０１Ａに第２の個別連通流路２０１Ｂを挟むことなくＸ方向に並設された第２部分である第１−１流路２１１と第１−２流路２１２の−Ｚ方向の端部側の流路部２１２ｂと第１−５流路２１５とを設けることで、第２部分をＸ方向に幅広に設けることや、Ｘ方向に並設された第２部分の壁部を厚くすることができ、インク滴の吐出特性であるインク重量の増加や、インク滴の吐出特性のばらつきを抑制するなどの特性向上に資する流路設計が可能となる。
また、第２の個別連通流路２０１Ｂについても同様に、第１の個別連通流路２０１Ａを挟んでＸ方向に並設された第１部分と、第１の個別連通流路２０１Ａを挟まずにＸ方向に並設された第２部分とを有する。
また、本実施形態では、第１の個別連通流路２０１Ａのうち、Ｚ方向に延びる局所流路が、第１部分と第２部分とを有する。すなわち、上述のように、第１の個別連通流路２０１Ａのうち、Ｚ方向に延びる第１−２流路２１２が、第１部分と第２部分との両方を有するため、本実施形態では、第１−２流路２１２がこのような局所流路に相当する。
このように、Ｚ方向に延びる局所流路である第１−２流路２１２は、Ｚ方向に見て、第２の個別流路２００Ｂと交差することが困難な構造部分であるが、このような第１−２流路２１２をＸ方向に見て第２の個別連通流路２０１Ｂと完全に重ならないように、第２部分である−Ｚ方向の端部側の流路部２１２ｂを設けることで、局所流路である第１−２流路２１２をＸ方向で隔てる隔壁の剛性が全体に亘って低下するのを抑制することができる。
なお、本実施形態では、第２の個別連通流路２０１Ｂについても同様に、Ｚ方向に延びる局所流路が第１部分と第２部分とを有する。すなわち、第２の個別連通流路２０１Ｂのうち、Ｚ方向に延びる第２−４流路２５４が第１部分である＋Ｚ方向の端部側の流路部２２３ａと第２部分である−Ｚ方向の端部側の流路部２２３ｂとを有する。
また、本実施形態では、第１の個別連通流路２０１Ａのうち、第１の圧力室１２Ａと第１のノズル２１Ａとをつなぐ局所流路が少なくとも第２部分を有する。すなわち、本実施形態では、第１−２流路２１２が、第１の圧力室１２Ａと第１のノズル２１Ａとをつなぎ、第２の個別連通流路２０１Ｂの間に設けられていない第２部分として−Ｚ方向の端部側の流路部２１２ｂを有するため、この第１−２流路２１２が、このような局所流路に相当する。
このように、第１の圧力室１２Ａと第１のノズル２１Ａとをつなぐ局所流路である第１−２流路２１２に第２部分となる−Ｚ方向の端部側の流路部２１２ｂを設けることで、第１−２流路２１２のＺ方向の端部側の流路部２１２ｂのＸ方向の幅を広げることや、Ｘ方向で隔てる隔壁の剛性を向上して、第１のノズル２１Ａから吐出されるインク滴の吐出特性を向上することができる。すなわち、第１の圧力室１２Ａと第１のノズル２１Ａとをつなぐ局所流路である第１−２流路２１２は、インク滴の吐出特性に大きく影響を与える流路であり、この第１−２流路２１２に第２部分として−Ｚ方向の端部側の流路部２１２ｂを設けることで、インクの吐出特性が向上するように、第１−２流路２１２の−Ｚ方向の端部側の流路部２１２ｂのＸ方向の幅を広げて流路抵抗やイナータンスを低減することや、Ｘ方向で隔てる隔壁の剛性を向上して、流路基板を大型化することなくクロストークの発生を抑制することができる。
なお、第１の圧力室１２Ａと第１のノズル２１Ａとをつなぐ局所流路である第１−２流路２１２は、少なくとも第２部分を有するものであればよく、第２部分だけを有するものであってもよい。
また、本実施形態では、第２の個別連通流路２０１Ｂについても同様に、第２の圧力室１２Ｂと第２のノズル２１Ｂとをつなぐ局所流路が少なくとも第２部分を有する。すなわち、第２の個別連通流路２０１Ｂのうち、第２−４流路２５４は第２部分として−Ｚ方向の端部側の流路部２５４ｂを有する。
また、本実施形態では、第１の個別連通流路２０１Ａのうち、第１のノズル２１Ａとの接続部からＹ方向に延びる局所流路が少なくとも第１部分を有する。すなわち、本実施形態では、第１のノズル２１Ａとの接続部である第１−２流路２１２からＹ方向に延びる第１−３流路２１３が第２の個別連通流路２０１Ｂの間に挟まれた第１部分となっている。
このように第１のノズル２１Ａとの接続部からＹ方向に延びる第１−３流路２１３が第１部分を有することで、第１−３流路２１３と第２の圧力室列１２０Ｂに対応する第２の個別連通流路２０１Ｂの局所流路である第２−３流路２５３とをＹ方向に引き離して配置しなくても済む。したがって、これら局所流路である第１−３流路２１３と第２−３流路２５３の近傍に配置される第１のノズル２１Ａと第２のノズル２１Ｂとを近接して設けることができ、ノズル２１をＹ方向に高密度に配置することができる。
なお、第１−２流路２１２は、少なくとも第１部分を有するものであればよく、本実施形態のように第１部分だけを有するものであってもよく、また、第１部分と第２部分との両方を有するものであってもよい。
同様に、実施形態では、第２の個別連通流路２０１Ｂのうち、第２のノズル２１Ｂとの接続部からＹ方向に延びる局所流路が少なくとも第１部分を有する。すなわち、本実施形態では、第２のノズル２１Ｂとの接続部である第２−４流路２５４からＹ方向に延びる第２−３流路２５３が第１の個別連通流路２０１Ａの間に挟まれた第１部分となっている。
また、本実施形態では、第１の個別連通流路２０１Ａの第２部分の容積は、第１部分の容積よりも大きい。同様に、本実施形態では、第２の個別連通流路２０１Ｂの第２部分の容積は、第１部分の容積よりも大きい。
また、本実施形態では、第１部分の第１の個別連通流路２０１Ａと第２の圧力室列１２０Ｂに対応する個別連通流路である第２の個別連通流路２０１Ｂとを隔てる隔壁の最大厚さよりも、第２部分の隣接する第１の個別連通流路２０１Ａを隔てる隔壁の最大厚さの方が大きい。例えば、図５に示すように、第１の個別連通流路２０１Ａの第１−２流路２１２の＋Ｚ方向の端部側に設けられた第１部分である流路部２１２ａと第２の個別連通流路２０１Ｂの第２−２流路２５２との間の隔壁の厚さｄ１よりも、第２部分の隣接する第１の個別連通流路２０１Ａを隔てる隔壁、すなわち、第１−２流路２１２の流路部２１２ｂを隔てる隔壁の厚さｄ２の方が大きくなっている。
なお、隔壁の最大厚さとは、個別連通流路２０１の幅が途中で変わる場合において、最も厚い隔壁の厚さのことであり、上述した位置に限定されるものではない。
また、本実施形態では、特に図示していないが、第１部分の第２の個別連通流路２０１Ｂと第１の圧力室列１２０Ａに対応する個別連通流路である第１の個別連通流路２０１Ａとを隔てる隔壁の最大厚さよりも、第２部分の隣接する第１の個別連通流路２０１Ａを隔てる隔壁の最大厚さの方が大きい。
また、本実施形態では、第１の圧力室列１２０Ａの隣接する第１の圧力室１２Ａを隔てる隔壁の厚さよりも、第２部分の隣接する第１の個別連通流路２０１Ａを隔てる隔壁の方が厚い。すなわち、図５に示すように、第１の圧力室１２ＡをＸ方向で隔てる隔壁の厚さｄ３よりも、第２部分の隣接する第１の個別連通流路２０１Ａを隔てる隔壁、すなわち、第１−２流路２１２の流路部２１２ｂをＸ方向で隔てる隔壁の厚さｄ２の方が大きくなっている。
このように、第１の圧力室１２Ａを隔てる隔壁の厚さｄ３を小さくして、第１の圧力室１２ＡをＸ方向に幅広に設けることで、第１の圧力室１２Ａの排除体積を増大させることができる。また、第１の圧力室１２Ａを隔てる隔壁のＺ方向の高さは、第２部分を隔てる隔壁のＺ方向の高さに比べて低いため、第１の圧力室１２Ａの隔壁の厚さに対する変形の感度が比較的低い。これに対して、第２部分を隔てる隔壁は、Ｚ方向に高いため、第２部分の隔壁の厚さに対する変形の感度が比較的高い。したがって、第２部分を隔てる隔壁の厚さｄ２を、比較的厚くすることで、第２部分を隔てる隔壁の剛性を向上して、クロストークの発生を抑制することができる。
また、本実施形態では、特に図示していないが、第２の圧力室列１２０Ｂの隣接する第２の圧力室１２Ｂを隔てる隔壁の厚さよりも、第２部分の隣接する第１の個別連通流路２０１Ａ間を隔てる隔壁の方が厚い。
また、本実施形態では、第１のノズル２１Ａを、Ｚ方向に沿って設けられた第１−２流路２１２の＋Ｚ方向の端部に連通する位置に配置している。このため、第１の圧力室１２Ａから第１のノズル２１Ａまでの第１−２流路２１２の横断面積を比較的大きくして、第１−２流路２１２の流路抵抗を小さくして、第１のノズル２１Ａから吐出されるインク滴の重量を大きくすることができる。
同様に、本実施形態では、第２のノズル２１Ｂを、Ｚ方向に沿って設けられた第２−４流路２５４の＋Ｚ方向の端部に連通する位置に配置している。このため、第２の圧力室１２Ｂから第２のノズル２１Ｂまでの第２−４流路２５４の横断面積を比較的大きくして、第２−４流路２５４の流路抵抗を小さくして、第２のノズル２１Ｂから吐出されるインク滴の重量を大きくすることができる。
すなわち、第１のノズル２１Ａと第２のノズル２１Ｂとは、Ｘ方向に沿って並設されてノズル列である第１のノズル列２２Ａと第２のノズル列２２Ｂとを構成しており、第１のノズル列２２Ａと第２のノズル列２２Ｂとは、Ｘ方向に見て、Ｙ方向にシフトして配置されている。
なお、図１に示すように、第１のノズル列２２Ａと第２のノズル列２２ＢとのＹ方向のシフト距離Ｌ１は、第１の圧力室列１２０Ａと第２の圧力室列１２０ＢとのＹ方向のシフト距離Ｌ２よりも小さい。ここで第１のノズル列２２Ａと第２のノズル列２２Ｂとのシフト距離Ｌ１とは、第１のノズル２１Ａと第２のノズル２１ＢとのＹ方向における中心間距離のことである。同様に第１の圧力室列１２０Ａと第２の圧力室列１２０ＢとのＹ方向のシフト距離Ｌ２とは、第１の圧力室１２Ａと第２の圧力室１２ＢとのＹ方向における中心間距離のことである。
このように、第１のノズル２１Ａと第２のノズル２１ＢとのＹ方向のシフト距離Ｌ１を第１の圧力室１２Ａ及び第２の圧力室１２ＢのＹ方向のシフト距離Ｌ２よりも小さくすることで、複数のノズル２１をＹ方向に近接させて高密度に配置することができると共に、第１の圧力室１２Ａ及び第２の圧力室１２ＢをＹ方向に離れた位置に配置することができ、第１の圧力室列１２０Ａ及び第２の圧力室列１２０Ｂのそれぞれをノズル２１に比べて低密度に配置することができる。したがって、各圧力室１２の排除体積を大きくすることや高密度に配置して流路基板の小型化を図ることができる。
もちろん、第１のノズル２１Ａを第１−３流路２１３の途中に連通するように配置し、第２のノズル２１Ｂを第２−３流路２５３の途中に連通するように配置してもよいが、第１−３流路２１３及び第２−３流路２５３を横断する横断面積を大きくするには、連通板１５をＺ方向に厚くしなくてはならず、連通板１５がＺ方向に大型化してしまう。そして、連通板１５をＺ方向に大型化すると、Ｚ方向に沿って設けられた第１−２流路２１２や第２−４流路２５４等の流路長も長くなって流路抵抗が増大するため、第１−２流路２１２及び第２−４流路２５４に直接第１のノズル２１Ａ及び第２のノズル２１Ｂを接続する場合に比べて、第１−３流路２１３及び第２−３流路２５３は流路抵抗が大きくなり易い。したがって、第１のノズル２１Ａ及び第２のノズル２１Ｂから吐出されるインク滴の重量が比較的小さくなる虞がある。ただし、第１のノズル２１Ａ及び第２のノズル２１Ｂのそれぞれを第１−３流路２１３の途中及び第２−３流路２５３の途中に連通するように設けることで、第１のノズル２１Ａ及び第２のノズル２１ＢをＸ方向に沿って一直線上に配置することができる。
このように第１のノズル２１Ａと第２のノズル２１ＢとをＸ方向に沿って一直線上に配置した場合であっても、第１のノズル列２２Ａと第２のノズル列２２ＢとのＹ方向のシフト距離は、第１の圧力室列１２０Ａと第２の圧力室列１２０ＢとのＹ方向のシフト距離Ｌ２よりも小さくすることができる。
また、本実施形態では、個別流路２００において、第１の共通液室１０１からノズル２１までの流路抵抗と、ノズル２１から第２の共通液室１０２までの流路抵抗とは、実質的に同じとなるように設けられている。
すなわち、第１の個別流路２００Ａの第１上流流路と第１下流流路とは、流路抵抗が実質的に同じとなっている。つまり、第１上流流路である第１−１流路２１１、第１の圧力室１２Ａ及び第１−２流路２１２を合わせた流路抵抗と、第１下流流路である第１−３流路２１３、第１−４流路２１４及び第１−５流路２１５を合わせた流路抵抗とは、実質的に同じとなるように設けられている。ここで、第１上流流路と第１下流流路との流路抵抗とは、流路を横断する断面積、流路長、及び形状によって決定されるものである。
同様に、第２の個別流路２００Ｂの第２上流流路と第２下流流路とは、流路抵抗が実質的に同じとなっている。すなわち、第２上流流路である第２−１流路２５１、第２−２流路２５２及び第２−３流路２５３を合わせた流路抵抗と、第２下流流路である第２−４流路２５４、第２の圧力室１２Ｂ及び第２−５流路２５５を合わせた流路抵抗とは実質的に同じとなるように設けられている。
そして、本実施形態では、第１の個別流路２００Ａと第２の個別流路２００Ｂとは、第１の共通液室１０１から第２の共通液室１０２に向かうインクの流れる方向に対して互いに反転させた形状となっている。すなわち、第１の個別流路２００Ａの第１上流流路と、第２の個別流路２００Ｂの第２下流流路とは、同じ形状で且つ実質的に同じ流路抵抗となるように設けられている。同様に、第１の個別流路２００Ａの第１下流流路と、第２の個別流路２００Ｂの第２上流流路とは、同じ形状で且つ実質的に同じ流路抵抗となるように設けられている。
このように、第１の個別流路２００Ａの第１上流流路と第１下流流路とを実質的に同じ流路抵抗とし、第２の個別流路２００Ｂの第２上流流路と第２下流流路とを実質的に同じ流路抵抗とすることで、第１の個別流路２００Ａと第２の個別流路２００Ｂとを、第１の共通液室１０１から第２の共通液室１０２に向かうインクの流れる方向に対して互いに反転させた形状としても、第１の個別流路２００Ａと第２の個別流路２００Ｂとで、第１の共通液室１０１からノズル２１までの流路抵抗を実質的に同じとなるように揃えることができる。したがって、第１のノズル２１Ａから吐出されるインク滴と第２のノズル２１Ｂから吐出されるインク滴との吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができると共に、流路の構造を簡略化することができる。
また、第１の個別流路２００Ａの第１下流流路と第２の個別流路２００Ｂの第２下流流路との流路抵抗を揃えることで、ノズル２１から吐出されるインク滴の吐出特性を揃えることができる。つまり、複数のノズル２１から同時にインク滴を吐出する場合、第１の共通液室１０１と第２の共通液室１０２との両方から圧力室１２にインクが供給されるため、第１下流流路と第２下流流路とを同じ流路抵抗とすることで、インクの供給量にばらつきが生じるのを抑制して、インク滴の吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。
ちなみに、例えば、第１の個別流路２００Ａの第１上流流路と第１下流流路との流路抵抗が異なる場合、第１の個別流路２００Ａを反転させて第２の個別流路２００Ｂとした際に、第１の個別流路２００Ａの第１下流流路が第２の個別流路２００Ｂの第２上流流路となるため、第１の共通液室１０１からノズル２１までの第１上流流路と第２上流流路とで異なる流路抵抗になってしまう。このため、第１の個別流路２００Ａの第１のノズル２１Ａと第２の個別流路２００Ｂの第２のノズル２１Ｂとから吐出されるインク滴の吐出特性にばらつきが生じてしまう。また、第１上流流路と第２上流流路とを同じ流路抵抗にするためには、第２上流流路を第１下流流路とは異なる断面積、流路長、形状等で形成しなくてはならず煩雑である。
なお、少なくとも第１の個別流路２００Ａの第１の共通液室１０１から第１のノズル２１Ａまでの流路である第１上流流路と、第２の個別流路２００Ｂの第１の共通液室１０１から第２のノズル２１Ｂまでの流路である第２上流流路とは、実質的に同じ流路抵抗となるように設けられていればよい。すなわち、第１上流流路と第２上流流路との流路抵抗が実質的に同じであれば、第１下流流路と第２下流流路との流路抵抗が異なっていてもよい。つまり、第１上流流路と第２上流流路との流路抵抗が実質的に同じにすることで、第１上流流路と第２上流流路との流路抵抗が異なると共に第１下流流路と第２下流流路との流路抵抗との流路抵抗が異なる場合に比べて、インク滴の吐出特性のばらつきを低減することができる。もちろん、上述のように第１上流流路と第２上流流路との流路抵抗を実質的に同じにすると共に、第１下流流路と第２下流流路との流路抵抗を実質的に同じにすることで、さらにインク滴の吐出特性のばらつきを向上することができる。
ここで、本実施形態の液体循環システムの一例であるインクジェット式記録システムについて図６を参照して説明する。なお、図６は、実施形態１に係る液体噴射システムの一例であるインクジェット式記録システムを説明するブロック図である。
図６に示すように、液体循環システムであるインクジェット式記録システム（以下、略して記録システムとも言う）は、第１の共通液室１０１と第２の共通液室１０２との何れか一方の共通液室に液体を供給すると共に、他方の共通液室から液体を回収して個別流路２００内に循環流を生じさせる循環系と、上述した各実施形態の記録ヘッド１と、を具備する。
本実施形態の循環系は、メインタンク５００と第１タンク５０１と第２タンク５０２とコンプレッサー５０３と真空ポンプ５０４と第１送液ポンプ５０５と第２送液ポンプ５０６とを具備する。
第１タンク５０１には、記録ヘッド１及びコンプレッサー５０３が接続されており、コンプレッサー５０３によって第１タンク５０１のインクは所定の正圧で記録ヘッド１の第１の共通液室１０１に供給される。
第２タンク５０２は、第１送液ポンプ５０５を介して第１タンク５０１と接続されており、第１送液ポンプ５０５によって第２タンク５０２のインクが第１タンク５０１に送液される。
また、第２タンク５０２には、記録ヘッド１と真空ポンプ５０４とが接続されており、真空ポンプ５０４によって記録ヘッド１の第２の共通液室１０２内のインクは所定の負圧で第２タンク５０２に回収される。
すなわち、第１タンク５０１から記録ヘッド１の第１の共通液室１０１にインクが供給され、記録ヘッド１の第２の共通液室１０２から第２タンク５０２にインクが回収される。これにより記録ヘッド１の個別連通流路２０１を含む個別流路２００には、第１の共通液室１０１から第２の共通液室１０２に向かう循環流を生じさせる。そして、第１送液ポンプ５０５によって第２タンク５０２から第１タンク５０１へインクが送液されることで第１タンク５０１と第２タンク５０２と記録ヘッド１との間でインクが循環される。
また、第２タンク５０２には、第２送液ポンプ５０６を介してメインタンク５００が接続されており、記録ヘッド１によって消費された分のインクが、メインタンク５００から第２タンク５０２に補充される。なお、メインタンク５００から第２タンク５０２へのインクの補充は、例えば、第２タンク５０２内のインクの液面が所定の高さよりも低くなった場合などのタイミングで行えばよい。
なお、本実施形態では、第１の共通液室１０１にインクを供給し、第２の共通液室１０２からインクを回収するようにしたが、特にこれに限定されず、第２の共通液室１０２にインクを供給し、第１の共通液室１０１からインクを回収するようにしてもよい。すなわち個別流路２００の循環流の向きが変わった場合であっても、上述の記録ヘッド１では、第１の個別流路２００Ａと第２の個別流路２００Ｂとは、第１の共通液室１０１から第２の共通液室１０２に向かうインクの流れる方向に対して互いに反転させた形状となっているため、ノズル２１から吐出されるインク滴の吐出特性が変化することがない。
このような記録システムにおいて、第１の共通液室１０１にインクを供給すると共に、第２の共通液室１０２からインクを回収することで、個別流路２００内に第１の共通液室１０１から第２の共通液室１０２に向かうインクの循環流が生じている状態で、ノズル２１からインク滴を吐出しない非吐出時において、ノズル２１内の大気圧を基準としたインクの圧力差は、±２％以内、つまり、−２％以上、＋２％以下であることが好ましい。すなわち、第１のノズル２１Ａ内のインクの圧力と、第２のノズル２１Ｂ内のインクの圧力との圧力差は、±２％以内であることが好ましい。また、複数の第１のノズル２１Ａ内のインクの圧力差が±２％以内であることが好ましい。さらに、複数の第２のノズル２１Ｂ内のインクの圧力差が±２％以内であることが好ましい。例えば、大気圧を１０１３ｈＰａとした場合、ノズル２１内の圧力は約１０００ｈＰａ程度である。このため、ノズル２１内のインクの圧力差は、最大で約２０ｈＰａ程度である。
このように、個別流路２００内に循環流が生じている状態で、ノズル２１からインク滴の非吐出時において、ノズル２１内のインクの圧力差、特に、第１のノズル２１Ａと第２のノズル２１Ｂとの内部のインクの圧力差を±２％以内と比較的小さくすることで、第１のノズル２１Ａから吐出されるインク滴と第２のノズル２１Ｂから吐出されるインク滴との吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。このように、第１のノズル２１Ａ内のインクの圧力と、第２のノズル２１Ｂ内のインクの圧力との差を比較的小さくするには、第１の共通液室１０１から第１のノズル２１Ａまでの第１上流流路の流路抵抗と、第１の共通液室１０１から第２のノズル２１Ｂまでの第２上流流路の流路抵抗とを、ノズル２１内のインクの圧力差が±２％以内と実質的に同じとなるように揃える必要がある。そして、第１の共通液室１０１から第１のノズル２１Ａまでの第１上流流路の流路抵抗と、第１の共通液室１０１から第２のノズル２１Ｂまでの第２上流流路の流路抵抗とをノズル２１内のインクの圧力差が±２％以内となるように形成する場合、第１の個別流路２００Ａと第２の個別流路２００Ｂとを同じ形状で且つインクの流れる方向に対して互いに反転させた形状とすることで容易に実現できる。
なお、第１上流流路と第１下流流路との流路抵抗、及び、第２上流流路と第２下流流路との流路抵抗や、ノズル２１内のインクの圧力差は、上述したものに限定されるものではない。例えば、第１上流流路と第１下流流路との流路抵抗、及び、第２上流流路と第２下流流路との流路抵抗のそれぞれが異なる場合や、ノズル２１内のインクの圧力差が±２％から外れた場合、つまり、圧力差が−２％より小さい、又は、＋２％より大きくてもよい。このような場合には、第１の圧力室列１２０Ａ及び第２の圧力室列１２０Ｂに対応する圧電アクチュエーター３００に異なる駆動パルスを供給するようにすればよい。
ここで、本実施形態の記録システムについて説明する。なお、図７は、実施形態１に係る液体噴射システムの一例であるインクジェット式記録システムの電気的構成を説明する図である。
本実施形態の記録システムは、エネルギー発生素子である圧電アクチュエーター３００に駆動パルスを供給する制御部６００を備える。
制御部６００は、外部インターフェース６０１（以下、略して外部Ｉ／Ｆ６０１という）と、各種データを一時的に記憶するＲＡＭ６０２と、制御プログラム等を記憶したＲＯＭ６０３と、ＣＰＵ等を含んで構成した制御処理部６０４と、クロック信号（ＣＫ）を発生する発振回路６０５と、記録ヘッド１へ供給するための駆動信号を発生する駆動信号発生部６０６と、駆動信号や印刷データに基づいて展開されたドットパターンデータ（ビットマップデータ）等を記録ヘッド１に送信する内部インターフェース６０７（以下、略して内部Ｉ／Ｆ６０７という）と、を備えている。
駆動信号発生部６０６は、第１駆動信号ＣＯＭ１を発生可能な第１駆動信号発生手段である第１駆動信号発生部６０６Ａと、第２駆動信号ＣＯＭ２を発生可能な第２駆動信号発生手段である第２駆動信号発生部６０６Ｂと、を具備する。
ここで、第１駆動信号発生部６０６Ａが生成する第１駆動信号ＣＯＭ１は、詳しくは後述するが、ノズル２１からインク滴を吐出させるように圧電アクチュエーター３００を駆動する第１吐出パルスＤＰ１を１記録周期Ｔ内に有する信号であり、記録周期Ｔ毎に繰り返し発生される。
また、第２駆動信号発生部６０６Ｂが生成する第２駆動信号ＣＯＭ２は、詳しくは後述するが、ノズルからインク滴を吐出させるように圧電アクチュエーター３００を駆動する第２吐出パルスＤＰ２を１記録周期Ｔ内に有する信号であり、記録周期Ｔ毎に繰り返し発生される。なお、第２吐出パルスＤＰ２は、第１吐出パルスＤＰ１と同じ記録周期Ｔ内で同じタイミングで生成されるものである。また、記録周期Ｔは、駆動信号ＣＯＭの繰り返し単位であり、本発明における吐出周期の一種であり、被噴射媒体に印刷する画像の１画素分に対応する。なお、第１駆動信号ＣＯＭ１、第２駆動信号ＣＯＭ２の詳細については後述する。
一方、記録ヘッド１は、第１シフトレジスタ１３２Ａ及び第２シフトレジスタ１３２Ｂからなるシフトレジスタ回路と、第１ラッチ回路１３３Ａ及び第２ラッチ回路１３３Ｂからなるラッチ回路と、デコーダー１３４と、制御ロジック１３５と、第１レベルシフター１３６Ａ及び第２レベルシフター１３６Ｂからなるレベルシフター回路と、第１スイッチ１３７Ａ及び第２スイッチ１３７Ｂからなるスイッチ回路と、圧電アクチュエーター３００とを具備する。そして、各シフトレジスタ１３２Ａ、１３２Ｂ、各ラッチ回路１３３Ａ、１３３Ｂ、各レベルシフター１３６Ａ、１３６Ｂ、スイッチ１３７Ａ、１３７Ｂ及び圧電アクチュエーター３００は、それぞれノズル２１の各々に対応して設けられている。
この記録ヘッド１は、制御部６００からの記録データ（ＳＩ）に基づいてインク滴を吐出させる。記録データは上位ビット群と下位ビット群とで構成されている。上位ビット群により第１スイッチ１３７Ａが制御され、これにより第１駆動信号ＣＯＭ１が圧電アクチュエーター３００に印加されると第１駆動信号ＣＯＭ１の波形に対応したインク滴が吐出される。また下位ビット群により第２スイッチ１３７Ｂが制御され、これにより第２駆動信号ＣＯＭ２が圧電アクチュエーター３００に印加されると第２駆動信号ＣＯＭ２の波形に対応したインク滴が吐出される。
次に、駆動信号発生部６０６が発生する第１駆動信号ＣＯＭ１及び第２駆動信号ＣＯＭ２と、これら第１駆動信号ＣＯＭ１及び第２駆動信号ＣＯＭ２の圧電アクチュエーター３００への供給制御について説明する。なお、図８は、駆動信号を示す駆動波形である。
図８に示した駆動信号を示す駆動波形は、第１駆動信号ＣＯＭ１と第２駆動信号ＣＯＭ２とからなる。
第１駆動信号ＣＯＭ１は、発振回路６０５から発信されるクロック信号により規定される単位周期Ｔ（吐出周期Ｔであって、記録周期Ｔともいう）毎に駆動信号発生部６０６の第１駆動信号発生部６０６Ａから繰り返し生成される。単位周期Ｔは、記録シートＳに印刷する画像等の１画素分に対応する。本実施形態では、単位周期Ｔにおいて駆動パルスである第１吐出パルスＤＰ１が生成される。
同様に、第２駆動信号ＣＯＭ２は、第１駆動信号ＣＯＭ１と同じ単位周期Ｔ毎に駆動信号発生部６０６の第２駆動信号発生部６０６Ｂから繰り返し生成される。本実施形態では、単位周期Ｔにおいて駆動パルスである第２吐出パルスＤＰ２が生成される。
具体的には、第１駆動信号ＣＯＭ１の第１吐出パルスＤＰ１は、中間電位Ｖｍが印加された状態から第１電位Ｖ１まで印加して圧力室１２の容積を基準容積から膨張させる第１膨張要素Ｐ０１と、第１膨張要素Ｐ０１によって膨張した圧力室１２の容積を一定時間維持する第１膨張維持要素Ｐ０２と、第１電位Ｖ１から第２電位Ｖ２まで印加して圧力室１２の容積を収縮させる第１収縮要素Ｐ０３と、第１収縮要素Ｐ０３によって収縮した圧力室１２の容積を一定時間維持する第１収縮維持要素Ｐ０４と、第２電位Ｖ２の収縮状態から中間電位Ｖｍの基準容積まで圧力室１２を復帰させる第１膨張復帰要素Ｐ０５と、を具備する。
このような第１吐出パルスＤＰ１が圧電アクチュエーター３００に供給されると、圧力室１２内のインクが加圧されてノズル２１からインク滴が吐出される。
これに対して、第２駆動信号ＣＯＭ２の第２吐出パルスＤＰ２は、中間電位Ｖｍが印加された状態から第１電位Ｖ１まで印加して圧力室１２の容積を基準容積から膨張させる第２膨張要素Ｐ１１と、第２膨張要素Ｐ１１によって膨張した圧力室１２の容積を一定時間維持する第２膨張維持要素Ｐ１２と、第１電位Ｖ１から第３電位Ｖ３まで印加して圧力室１２の容積を収縮させる第２収縮要素Ｐ１３と、第２収縮要素Ｐ１３によって収縮した圧力室１２の容積を一定時間維持する第２収縮維持要素Ｐ１４と、第３電位Ｖ３の収縮状態から中間電位Ｖｍの基準容積まで圧力室１２を復帰させる第２膨張復帰要素Ｐ１５と、を具備する。
これら第２駆動信号ＣＯＭ２の第２収縮要素Ｐ１３の第１電位Ｖ１から第３電位Ｖ３までに印加される第２印加電圧ΔＶＢは、第１駆動信号ＣＯＭ１の第１収縮要素Ｐ０３の第１電位Ｖ１から第２電位Ｖ２までに印加される第１印加電位ΔＶＡよりも小さい。本実施形態では、第２収縮要素Ｐ１３の終点電位である第３電位Ｖ３を第１収縮要素Ｐ０３の終点電位である第２電位Ｖ２よりも小さくすることで、第２印加電圧ΔＶＢを第１印加電位ΔＶＡよりも小さくしている。もちろん、第２吐出パルスＤＰ２の第２収縮要素Ｐ１３の始点電位である第１電位Ｖ１を、第１吐出パルスＤＰ１の第１収縮要素Ｐ０３の始点電位である第１電位Ｖ１よりも大きくすることで、第２印加電圧ΔＶＢを第１印加電位ΔＶＡよりも小さくしてもよく、始点電位と終点電位の両方の電位を変更するようにしてもよい。
このように第２吐出パルスＤＰ２の第２印加電位ΔＶＢは、第１吐出パルスＤＰ１の第１印加電位ΔＶＡよりも小さいため、第２吐出パルスＤＰ２で吐出させたインク滴の方が、第１吐出パルスＤＰ１で吐出させたインク滴に比べて重量が小さくなる。
ここで、例えば、第１の個別流路２００Ａの第１上流流路の流路抵抗が第１下流流路よりも大きい場合、第１の個別流路２００Ａと第２の個別流路２００Ｂとを反転させた構造とすると、第２の個別流路２００Ｂの第２上流流路の流路抵抗は、第２下流流路の流路抵抗よりも小さくなる。このため、第１のノズル２１Ａ内のインクの圧力は、第２のノズル２１Ｂ内のインクの圧力に比べて小さくなり、第１のノズル２１Ａから吐出されるインク滴の重量は第２のノズル２１Ｂから吐出されるインク滴の重量に比べて小さくなる。
このため、本実施形態の記録システムの制御部６００によって、第１の圧力室列１２０Ａ及び第２の圧力室列１２０Ｂに対応する圧電アクチュエーター３００に異なる駆動パルスを供給する。具体的には、インク滴の重量が小さくなる第１の個別流路２００Ａに対応する圧電アクチュエーター３００には、第１駆動信号ＣＯＭ１の第１吐出パルスＤＰ１を印加し、インク滴の重量が大きくなる第２の個別流路２００Ｂに対応する圧電アクチュエーター３００には、第２駆動信号ＣＯＭ２の第２吐出パルスＤＰ２を印加する。これにより、第１のノズル２１Ａ内のインクの圧力と第２のノズル２１Ｂ内のインクの圧力とに比較的大きな差が生じたとしても、圧電アクチュエーター３００に印加する電圧を調整することで、第１のノズル２１Ａ及び第２のノズル２１Ｂから吐出されるインク滴の重量のばらつきを低減して、印刷品質を向上することができる。
なお、本実施形態では、第１吐出パルスＤＰ１の第１収縮要素Ｐ０３の第１印加電位ΔＶＡと、第２吐出パルスＤＰ２の第２収縮要素Ｐ１３の第２印加電圧ΔＶＢとを変更することで、ノズル２１から吐出されるインク滴の重量を変更するようにしたが、特にこれに限定されない。例えば、第１吐出パルスＤＰ１の第１膨張要素Ｐ０１と、第２吐出パルスＤＰ２の第２膨張要素Ｐ１１との印加電位及び傾きの少なくとも一方を変更することによっても吐出されるインク滴の重量を変更することができる。また、第１吐出パルスＤＰ１の第１膨張維持要素Ｐ０２と、第２吐出パルスＤＰ２の第２膨張維持要素Ｐ１２との時間成分を変更することでも吐出されるインク滴の重量を変更することができる。また、第１吐出パルスＤＰ１の第１収縮要素Ｐ０３と、第２吐出パルスＤＰ２の第２収縮要素Ｐ１３との傾きを変更することでもインク滴の重量を変更することができる。なお、これらは２以上を組み合わせて変更するようにしてもよい。
すなわち、第１吐出パルスＤＰ１と第２吐出パルスＤＰ２とで、インク滴の重量に関わる印加電位、傾き、時間の少なくとも一つを変更することで、インク滴の重量を変更して、第１のノズル２１Ａと第２のノズル２１Ｂとのそれぞれから吐出されるインク滴の重量のばらつきを低減することができ、印刷品質を向上することができる。
なお、上述した構成では、第１の個別流路２００Ａの第１のノズル２１Ａと、第２の個別流路２００Ｂの第２のノズル２１Ｂとは、Ｙ方向にずれた位置に配置することでノズル２１がＸ方向に千鳥配置となるようにしたが、特にこれに限定されない。
ここで、変形例を図９〜図１１に示す。なお、図９は、本発明の実施形態１に係るインクジェット式記録ヘッドの変形例を示すノズル面側の平面図である。図１０は、インクジェット式記録ヘッドの変形例を示す図９のＤ−Ｄ′線断面図である。図１１は、インクジェット式記録ヘッドの変形例を示す図５のＥ−Ｅ′線に準じた断面図である。
図１０に示すように、第１のノズル２１Ａは、第１の個別流路２００Ａの第１の個別連通流路２０１Ａを構成する第１−３流路２１３の途中に連通する位置に設けられている。
また、図１０に示すように、第２のノズル２１Ｂは、第２の個別流路２００Ｂの第２の個別連通流路２０１Ｂを構成する第２−３流路２５３の途中に連通する位置に設けられている。すなわち、ノズル２１は、Ｙ方向に延びる第１−３流路２１３及び第２−３流路２５３の途中に連通して配置されている。
これにより、図９に示すように、第１のノズル２１Ａと第２のノズル２１ＢとをＹ方向に同じ位置に配置することができる。すなわち、第１のノズル２１Ａと第２のノズル２１Ｂとは、Ｘ方向に見て、互いに重なるように配置することができる。つまり、第１のノズル２１Ａと第２のノズル２１Ｂとは、Ｘ方向に沿った直線上に１列に配置することができる。
このように、ノズル２１をＹ方向に延びる流路である第１−３流路２１３及び第２−３流路２５３の途中に連通するように配置することで、第１の圧力室１２Ａと第２の圧力室１２ＢとがＹ方向に互いにシフトした位置に配置されていても、ノズル２１の位置をＹ方向に容易に調整することができるため、第１のノズル２１Ａと第２のノズル２１ＢとをＹ方向に近い位置に配置することや、複数のノズル２１をＹ方向に同じ位置、すなわち、Ｘ方向に沿った直線上に１列に容易に配置することができる。
このような構成では、Ｘ方向に見て、第１のノズル２１Ａと第２のノズル２１ＢとのＹ方向のシフト距離は、第１の圧力室列１２０Ａと第２の圧力室列１２０ＢとのＹ方向のシフト距離よりも小さい。すなわち、第１のノズル２１Ａと第２のノズル２１ＢとはＹ方向に同じ位置に設けられているため、これらのシフト距離は０（ゼロ）であるため、ノズル２１のシフト距離は、図１に示す第１の圧力室列１２０Ａと第２の圧力室列１２０ＢとのＹ方向のシフト距離Ｌ２よりも小さい。
このように、第１のノズル２１Ａと第２のノズル２１ＢとのＹ方向のシフト距離を第１の圧力室１２Ａ及び第２の圧力室１２ＢのＹ方向のシフト距離Ｌ２よりも小さくすることで、複数のノズル２１をＹ方向に近接させて高密度に配置することができると共に、第１の圧力室１２Ａ及び第２の圧力室１２ＢをＹ方向に離れた位置に配置することができ、第１の圧力室列１２０Ａ及び第２の圧力室列１２０Ｂのそれぞれをノズル２１に比べて低密度に配置することができる。したがって、各圧力室１２の排除体積を大きくすることや高密度に配置して流路基板の小型化を図ることができる。
また、第１のノズル２１Ａと第２のノズル２１ＢとをＹ方向に同じ位置に配置して、Ｘ方向に沿った直線上に一列に並べることで、各ノズル２１からインク滴を吐出させるタイミングをずらすように調整する必要がなく、圧電アクチュエーター３００の駆動制御を簡略化することができる。例えば、記録ヘッド１をＹ方向に移動させてインク滴を吐出させる際に、Ｙ方向に異なる位置に配置されたノズル２１から同じタイミングでインク滴を吐出させると、被噴射媒体へのインク滴の着弾位置がＹ方向にずれてしまうため、Ｙ方向で同じ位置にインク滴が着弾するように、圧電アクチュエーター３００の駆動タイミングを調整する必要があるからである。
また、図９に示す例では、第１のノズル２１Ａと第２のノズル２１ＢとがＸ方向に沿った直線上に配置されるようにしたが、特にこれに限定されない。例えば、第１のノズル２１Ａと第２のノズル２１ＢとをＸ方向に見て、Ｙ方向に互いにシフトして配置すると共に、第１のノズル２１Ａと第２のノズル２１ＢとのＹ方向のシフト距離が、第１の圧力室１２Ａと第２の圧力室１２ＢとのＹ方向のシフト距離Ｌ２よりも小さくするようにしてもよい。すなわち、第１のノズル２１Ａと第２のノズル２１ＢとがＸ方向に沿って千鳥状に配置されると共に、第１のノズル２１Ａは第１−３流路２１３に連通し、第２のノズル２１Ｂが第２−３流路２５３に連通するようにしてもよい。
また、第１のノズル２１Ａと第２のノズル２１ＢとをＹ方向に延設された流路である第１−３流路２１３及び第２−３流路２５３に連通させることで、ノズル２１によって乾燥することによって増粘したインクや、ノズル２１から侵入した気泡が、連通板１５とノズルプレート２０との境界の角部、すなわち、第１−２流路２１２及び第２−４流路２５４の＋Ｚ方向の端部のノズルプレート２０とによって画成された角部に滞留するのを抑制して、ノズル２１による増粘したインクや気泡を循環流における第１下流流路及び第２下流流路を介して第２の共通液室１０２に排出することができる。また、第１のノズル２１Ａと第２のノズル２１ＢとをＹ方向に延設された流路である第１−３流路２１３及び第２−３流路２５３に連通させることで、ノズル２１から侵入した気泡は、浮力によって圧力室１２に向かって−Ｚ方向に移動するのを抑制することができ、循環流における第１下流流路及び第２下流流路を介して第２の共通液室１０２に排出することができる。したがって、増粘したインクや気泡によって吐出不良が発生するのを抑制することができる。
また、上述した例では、第１の個別連通流路２０１Ａの第１−４流路２１４及び第１−５流路２１５は、Ｚ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂにおける隣接する第２の圧力室１２Ｂ間の領域と重なる位置のみに配置するようにしたが、特にこれに限定されない。例えば、第１−４流路２１４及び第１−５流路２１５は、Ｚ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂの第２の圧力室１２Ｂに部分的に重なる位置に配置されていてもよい。すなわち、第１の圧力室列１２０Ａに対応する個別連通流路２０１である第１の個別連通流路２０１Ａは、Ｚ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂにおける隣接する第２の圧力室１２Ｂ間の領域と重なる部分を有するとは、第１の個別連通流路２０１Ａの少なくともある一部が、Ｚ方向に見て、第２の圧力室１２Ｂ間の領域に重なっていればよく、他の一部が、Ｚ方向に見て、第２の圧力室１２Ｂに重なっているものも含む。
ここで、このような記録ヘッド１の変形例を図１２に示す。なお、図１２は、本発明の実施形態１に係る記録ヘッドの流路構成を示す平面図である。
図１２に示すように、第１の個別連通流路２０１Ａの第１−５流路２１５は、Ｚ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂの隣接する第２の圧力室１２Ｂの間の領域と、第２の圧力室１２Ｂの一部と、の両方に重なる位置に配置されている。また、第１−４流路２１４は、Ｚ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂの隣接する第２の圧力室１２Ｂ間の領域と重なる位置のみに設けられている。すなわち、第１−５流路２１５と第２の圧力室１２Ｂとは、Ｚ方向に見て、一部が互いに重なる位置に配置されている。このように第１−５流路２１５と第２の圧力室１２ＢとがＺ方向に見て、一部が互いに重なる位置に配置された構成は、第１−４流路２１４と第２の圧力室列１２０Ｂとが、Ｘ方向に見て、互いに重ならないように配置されていることで可能となる。
このように、第１の個別連通流路２０１Ａの第１−５流路２１５は、Ｚ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂの隣接する第２の圧力室１２Ｂ間の領域と、第２の圧力室１２Ｂとに重なる位置に配置することで、第２の圧力室１２ＢのＸ方向の幅を比較的広く形成することができ、第２の圧力室１２Ｂの排除体積を増大させて、第２のノズル２１Ｂから吐出されるインク滴の吐出特性、特にインク滴の重量を増大させることができる。
また、第１−５流路２１５を第２の圧力室１２Ｂと重なる位置までＸ方向に幅広に形成することができるため、第１−５流路２１５の横断面積を広げて流路抵抗及びイナータンスを低減することができる。
また、第２の個別連通流路２０１Ｂについても同様に、上述した例では第２の個別連通流路２０１Ｂの第２−１流路２５１及び第２−２流路２５２は、Ｚ方向に見て、第１の圧力室列１２０Ａにおける隣接する第１の圧力室１２Ａ間の領域である隔壁と重なる位置のみに配置されるようにしたが、特にこれに限定されない。
図１２に示すように、第２の個別連通流路２０１Ｂの第２−１流路２５１は、Ｚ方向に見て、第１の圧力室列１２０Ａの隣接する第１の圧力室１２Ａ間の領域と、第１の圧力室１２Ａと、の両方に重なる位置に配置されている。また、第２−２流路２５２は、Ｚ方向に見て、第１の圧力室列１２０Ａの隣接する第１の圧力室１２Ａ間の領域と重なる位置のみに設けられている。すなわち、第２−１流路２５１と第１の圧力室１２Ａとは、Ｚ方向に見て、一部が互いに重なる位置に配置されている。このように第２−１流路２５１と第１の圧力室１２ＡとがＺ方向に見て、一部が互いに重なる位置に配置された構成は、第２−１流路２５１と第１の圧力室列１２０Ａとが、Ｘ方向に見て、互いに重ならないように配置されていることで可能となる。
このように、第２の個別連通流路２０１Ｂの第２−１流路２５１は、Ｚ方向に見て、第１の圧力室列１２０Ａの隣接する第１の圧力室１２Ａ間の領域と、第１の圧力室１２Ａとに重なる位置に配置することで、第１の圧力室１２ＡのＸ方向の幅を比較的広く形成することができ、第１の圧力室１２Ａの排除体積を増大させて、第１のノズル２１Ａから吐出されるインク滴の吐出特性、特にインク滴の重量を増大させることができる。
また、第２−１流路２５１を第１の圧力室１２Ａと重なる位置までＸ方向に幅広に形成することができるため、第２−１流路２５１の横断面積を広げて流路抵抗及びイナータンスを低減することができる。
（実施形態２）
図１３は、本発明の実施形態２に係る記録ヘッドの断面図であって、図１のＡ−Ａ′線に準じた断面図である。また、図１４は、実施形態２に係る記録ヘッドの断面図であって、図１のＡ−Ａ′線に準じた断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
図１３及び図１４に示すように、本実施形態の連通板１５は１枚の基板で構成されている。また、流路基板を構成する流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０及びコンプライアンス基板４９には、第１の共通液室１０１と第２の共通液室１０２とノズル２１毎に設けられた複数の個別流路２００とが設けられている。
また、個別流路２００としては、図１３に示すように、第１のノズル２１Ａと第１の圧力室１２Ａと第１の個別連通流路２０１Ａとを有する第１の個別流路２００Ａと、図１４に示すように、第２のノズル２１Ｂと第２の圧力室１２Ｂと第２の個別連通流路２０１Ｂとを有する第２の個別流路２００Ｂと、が設けられている。
図１３に示すように、第１の個別連通流路２０１Ａは、第１−１流路２１１と第１−２流路２１２と第１−３流路２１３と第１−６流路２１６と第１−７流路２１７と第１−８流路２１８とを有する。
本実施形態の第１−１流路２１１と第１−２流路２１２と第１−３流路２１３とは、上述した実施形態１と同様であるため重複する説明は省略する。
第１−６流路２１６は、一端が第１−３流路２１３に連通し、他端が連通板１５の−Ｚ方向の面に開口するように連通板１５をＺ方向に貫通して設けられている。
この第１−６流路２１６は、Ｚ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂの隣接する第２の圧力室１２Ｂ間の領域と重なる部分であって、且つＸ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂと重ならない部分となっている。本実施形態では、第１−６流路２１６は、第２の圧力室１２ＢをＸ方向で隔てる隔壁に重なる領域のみに配置されている。
また、第１−６流路２１６は、第２の圧力室列１２０Ｂに対応する第２の個別連通流路２０１Ｂを間に挟んでＸ方向に並設された第１部分となっている。すなわち、第１−６流路２１６は、第２の個別連通流路２０１Ｂの第２−４流路２５４を間に挟んでＸ方向に並設されている。
第１−７流路２１７は、流路形成基板１０にＹ方向に沿って設けられている。すなわち、第１−７流路２１７は、流路形成基板１０に＋Ｚ方向の面に開口する凹部を設け、凹部を連通板１５によって覆うことで形成されている。
このような第１−７流路２１７は、Ｚ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂの隣接する第２の圧力室１２Ｂの間の領域と重なる部分であって、且つＸ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂと重なるように配置されている。このため、第１−７流路２１７は、第２の圧力室列１２０Ｂに対応する第２の個別連通流路２０１Ｂを間に挟んでＸ方向に並設された第１部分となっている。
第１−８流路２１８は、一端が第１の圧力室１２Ａの−Ｙ方向の端部と連通し、他端が第２の共通液室１０２の−Ｚ方向の端部に連通するようにＺ方向に沿って設けられている。
この第１−８流路２１８は、Ｚ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂの隣接する第２の圧力室１２Ｂ間の領域と重なる部分であって、且つＸ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂと重ならない部分となっている。
また、第１−８流路２１８は、第２の圧力室列１２０Ｂに対応する第２の個別連通流路２０１Ｂを間に挟んでＸ方向に並設された第１部分となっている。すなわち、第１−８流路２１８は、第２の個別連通流路２０１Ｂの第２−５流路２５５を間に挟んでＸ方向に並設されている。
また、図１４に示すように、第２の個別連通流路２０１Ｂは、第２−６流路２５６と第２−７流路２５７と第２−８流路２５８と第２−３流路２５３と第２−４流路２５４と第２−５流路２５５とを具備する。
本実施形態の第２−３流路２５３と第２−４流路２５４と第２−５流路２５５とは、上述した実施形態１と同様であるため重複する説明は省略する。
第２−６流路２５６は、一端が第１の共通液室１０１の−Ｚ方向の端部に連通し、他端が第２の圧力室１２Ｂの＋Ｙ方向の端部に連通するようにＺ方向に沿って設けられている。
この第２−６流路２５６は、Ｚ方向に見て、第１の圧力室列１２０Ａの隣接する第１の圧力室１２Ａ間の領域と重なる部分であって、且つＸ方向に見て、第１の圧力室列１２０Ａと重ならない部分となっている。
また、第２−６流路２５６は、第１の圧力室列１２０Ａに対応する第１の個別連通流路２０１Ａを間に挟んでＸ方向に並設された第１部分となっている。すなわち、第２−６流路２５６は、第１の個別連通流路２０１Ａの第１−１流路２１１を間に挟んでＸ方向に並設されている。
第２−７流路２５７は、流路形成基板１０にＹ方向に沿って設けられている。すなわち、第２−７流路２５７は、流路形成基板１０に＋Ｚ方向の面に開口する凹部を設け、凹部を連通板１５によって覆うことで形成されている。
このような第２−７流路２５７は、Ｚ方向に見て、第１の圧力室列１２０Ａの隣接する第１の圧力室１２Ａの間の領域と重なる部分であって、且つＸ方向に見て、第１の圧力室列１２０Ａと重なる部分となっている。このため、第２−７流路２５７は、第１の圧力室列１２０Ａに対応する第１の個別連通流路２０１Ａを間に挟んでＸ方向に並設された第１部分となっている。
第２−８流路２５８は、一端が第２−３流路２５３に連通し、他端が第２−７流路２５７の−Ｙ方向の端部に連通するように連通板１５をＺ方向に貫通して設けられている。
この第２−８流路２５８は、Ｚ方向に見て、第１の圧力室列１２０Ａの隣接する第１の圧力室１２Ａ間の領域と重なる部分であって、且つＸ方向に見て、第１の圧力室列１２０Ａと重ならない部分となっている。
また、第２−８流路２５８は、第１の圧力室列１２０Ａに対応する第１の個別連通流路２０１Ａを間に挟んでＸ方向に並設された第１部分となっている。すなわち、第２−８流路２５８は、第１の個別連通流路２０１Ａの第１−２流路２１２を間に挟んでＸ方向に並設されている。
このように、本実施形態では、第１−７流路２１７と第２−７流路２５７とを流路形成基板１０に設けることで、連通板１５をＺ方向の厚さの途中でＹ方向に沿って設けられた流路を設ける必要がなく、連通板１５を１枚の基板で形成することができ、記録ヘッド１の構造を簡略化して部品点数を減少させてコストを低減することができる。
（実施形態３）
図１５は、本発明の実施形態３に係る記録ヘッドの断面図であって、図１のＡ−Ａ′線に準じた断面図である。また、図１６は、実施形態３に係る記録ヘッドの断面図であって、図１のＡ−Ａ′線に準じた断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
図１５及び図１６に示すように、本実施形態の連通板１５は、１枚の基板で構成されている。また、流路基板を構成する流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０及びコンプライアンス基板４９には、第１の共通液室１０１と第２の共通液室１０２とノズル２１毎に設けられた複数の個別流路２００とが設けられている。
個別流路２００としては、図１５に示すように、第１のノズル２１Ａと第１の圧力室１２Ａと第１の個別連通流路２０１Ａとを有する第１の個別流路２００Ａと、図１６に示すように、第２のノズル２１Ｂと第２の圧力室１２Ｂと第２の個別連通流路２０１Ｂとを有する第２の個別流路２００Ｂと、が設けられている。
図１５に示すように、第１の個別連通流路２０１Ａは、第１−１流路２１１と第１−２流路２１２と第１−３流路２１３と第１−６流路２１６と第１−９流路２１９とを具備する。
本実施形態の第１−１流路２１１と第１−２流路２１２と第１−３流路２１３と第１−６流路２１６とは、上述した実施形態と同様であるため重複する説明は省略する。
第１−９流路２１９は、連通板１５の−Ｚ方向の面に開口する凹部を形成し、この凹部の開口を流路形成基板１０で蓋をすることでＹ方向に沿って形成されている。
また、第１−９流路２１９は、−Ｙ方向の端部で第２の共通液室１０２の−Ｚ方向の端部と連通して設けられている。
この第１−９流路２１９は、Ｚ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂの隣接する第２の圧力室１２Ｂ間の領域と重なる部分であって、且つＸ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂと重ならない部分となっている。本実施形態では、第１−９流路２１９は、Ｚ方向に見て、第２の圧力室１２ＢをＸ方向で隔てる隔壁に重なる位置のみに設けられている。
また、第１−９流路２１９の＋Ｙ方向の端部側の流路部２１９ａは、詳しくは後述する第２の圧力室列１２０Ｂに対応する第２の個別連通流路２０１Ｂの第２−４流路２５４を間に挟んでＸ方向に並設されている。すなわち、第１−９流路２１９の＋Ｙ方向の端部側の流路部２１９ａは、第１部分となっている。
また、第１−９流路２１９の−Ｙ方向の端部側の流路部２１９ｂは、第２の個別連通流路２０１Ｂの第２−５流路２５５を間に挟んでＸ方向に並設されている。すなわち、第１−９流路２１９の−Ｙ方向の端部側の流路部２１９ｂは、第１部分となっている。
さらに、第１−９流路２１９の端部側の流路部２１９ａ、２１９ｂに挟まれた流路部２１９ｃは、第２の個別連通流路２０１Ｂを間に挟むことなくＸ方向に並設された第２部分となっている。
このような第１の個別連通流路２０１Ａでは、第２の個別連通流路２０１Ｂを間に挟んでＸ方向に並設された第１部分として、第１−１流路２１１と第１−２流路２１２と第１−３流路２１３と第１−６流路２１６と第１−９流路２１９の流路部２１９ａ、２１９ｂとを有する。
また、第１の個別連通流路２０１Ａでは、第２の個別連通流路２０１Ｂを間に挟まずにＸ方向に並設された第２部分として、第１−９流路２１９の流路部２１９ｃを有する。
また、図１６に示すように、第２の個別連通流路２０１Ｂは、第２−９流路２５９と第２−８流路２５８と第２−３流路２５３と第２−４流路２５４と第２−５流路２５５とを有する。
本実施形態の第２−８流路２５８と第２−３流路２５３と第２−４流路２５４と第２−５流路２５５とは、上述した実施形態と同様であるため重複する説明は省略する。
第２−９流路２５９は、連通板１５の−Ｚ方向の面に開口する凹部を形成し、この凹部の開口を流路形成基板１０で蓋をすることでＹ方向に沿って形成されている。
また、第２−９流路２５９は、＋Ｙ方向の端部で第１の共通液室１０１の−Ｚ方向の端部と連通して設けられている。
この第２−９流路２５９は、Ｚ方向に見て、第１の圧力室列１２０Ａの隣接する第１の圧力室１２Ａ間の領域と重なる部分であって、且つＸ方向に見て、第１の圧力室列１２０Ａと重ならない部分となっている。本実施形態では、第２−９流路２５９は、Ｚ方向に見て、第１の圧力室１２ＡをＸ方向で隔てる隔壁に重なる位置のみに設けられている。
また、第２−９流路２５９の＋Ｙ方向の端部側の流路部２５９ａは、第１の圧力室列１２０Ａに対応する第１の個別連通流路２０１Ａの第１−１流路２１１を間に挟んでＸ方向に並設されている。すなわち、第２−９流路２５９の＋Ｙ方向の端部側の流路部２５９ａは、第１部分となっている。
また、第２−９流路２５９の−Ｙ方向の端部側の流路部２５９ｂは、第１の個別連通流路２０１Ａの第１−２流路２１２を間に挟んでＸ方向に並設されている。すなわち、第２−９流路２５９の−Ｙ方向の端部側の流路部２５９ｂは、第１部分となっている。
さらに、第２−９流路２５９の流路部２５９ａ、２５９ｂに挟まれた流路部２５９ｃは、第１の個別連通流路２０１Ａを間に挟むことなくＸ方向に並設された第２部分となっている。
このような第２の個別連通流路２０１Ｂでは、第１の個別連通流路２０１Ａを間に挟んでＸ方向に並設された第１部分として、第２−９流路２５９の流路部２５９ａ、２５９ｂと第２−８流路２５８と第２−３流路２５３と第２−４流路２５４と第２−５流路２５５とを有する。
また、第２の個別連通流路２０１Ｂでは、第１の個別連通流路２０１Ａを間に挟まずにＸ方向に並設された第２部分として、第２−９流路２５９の流路部２５９ｃを有する。
このように、第２の個別連通流路２０１Ｂについても同様に、第１の個別連通流路２０１Ａを挟んでＸ方向に並設された第１部分と、第１の個別連通流路２０１Ａを挟まずにＸ方向に並設された第２部分とを有する。すなわち、本実施形態の第２の個別連通流路２０１Ｂは、第１部分として第２−９流路２５９の流路部２５９ａ、２５９ｂと第２−８流路２５８と第２−３流路２５３と第２−４流路２５４と第２−５流路２５５とを有し、第２部分として第２−９流路２５９の流路部２５９ｃを有する。
また、本実施形態では、第１−９流路２１９と第２−９流路２５９とを連通板１５の−Ｚ方向の面に開口するように設けることで、連通板１５をＺ方向の厚さの途中でＹ方向に沿って設けられた流路を設ける必要がなく、連通板１５を１枚の基板で形成することができ、記録ヘッド１の構造を簡略化して部品点数を減少させてコストを低減することができる。
（実施形態４）
図１７は、本発明の実施形態４に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの断面図であって、図１のＡ−Ａ′線に準じた断面図である。図１８は、本発明の実施形態４に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図であって、図１のＢ−Ｂ′線に準じた断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
本実施形態の記録ヘッド１は、ノズルプレート２０とコンプライアンス基板４９とが一体となったものである。
具体的には、図１７及び図１８に示すように、ノズルプレート２０は、第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２の開口を覆う大きさで設けられている。このようなノズルプレート２０の第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２のそれぞれの壁の一部を構成する部分には、コンプライアンス部４９４が設けられている。すなわち、ノズルプレート２０の第１の共通液室１０１に対応する部分には、第１コンプライアンス部４９４Ａが設けられており、第２の共通液室１０２に対応する部分には、第２コンプライアンス部４９４Ｂが設けられている。
本実施形態では、ノズルプレート２０を、ポリイミド等の樹脂材料で製造されたフィルムで形成することで、ノズルプレート２０の第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２を画成する壁のそれぞれをコンプライアンス部４９４として機能するようにした。
このように、第１の共通液室１０１と第２の共通液室１０２とのそれぞれの壁面の一部に、インクの圧力を吸収可能なコンプライアンス部４９４を設けることで、第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２内のインクの圧力変動をコンプライアンス部４９４が変形することによって吸収することができ、インク滴の吐出特性にばらつきが生じるのを抑制することができる。
また、本実施形態では、ノズルプレート２０の一部にコンプライアンス部４９４を設けたため、ノズルプレート２０とコンプライアンス部４９４とは、個別流路２００に対して同じ＋Ｚ方向側に配置されている。
このようにコンプライアンス部４９４をノズル２１と同じ側に配置することで、ノズル２１が設けられていない領域にコンプライアンス部４９４を設けることができ、コンプライアンス部４９４を比較的広い面積で設けることができる。また、コンプライアンス部４９４とノズル２１とを同じ側に配置することで、コンプライアンス部４９４を個別流路２００に近い位置に配置して、個別流路２００内のインクの圧力変動をコンプライアンス部４９４によって効果的に吸収させることができる。
また、ノズルプレート２０が第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２の開口を覆うため、連通板１５の＋Ｚ方向の面のうち、第１の共通液室１０１とノズル２１との間、及び、第２の共通液室１０２とノズル２１との間は、ノズルプレート２０で覆われている。このため、ノズルプレート２０と連通板１５との接合界面に第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２に連通する個別流路２００を形成することができる。このため、本実施形態の連通板１５は、複数の基板を積層して構成する必要がなく、１枚の基板で構成されている。
ここで、本実施形態の流路基板である流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、ケース部材４０等には、第１の共通液室１０１と第２の共通液室１０２とノズル２１毎に設けられた複数の個別流路２００とが設けられている。
個別流路２００としては、図１７に示すように、第１のノズル２１Ａと第１の圧力室１２Ａと第１の個別連通流路２０１Ａとを有する第１の個別流路２００Ａと、図１８に示すように、第２のノズル２１Ｂと第２の圧力室１２Ｂと第２の個別連通流路２０１Ｂとを有する第２の個別流路２００Ｂと、が設けられている。
図１７に示すように、第１の個別連通流路２０１Ａは、第１−１流路２１１と第１−２流路２１２と第１−１０流路２２０とを具備する。
本実施形態の第１−１流路２１１と第１−２流路２１２とは、上述した実施形態と同様であるため重複する説明は省略する。
第１−１０流路２２０は、＋Ｙ方向の一端が第１−２流路２１２と連通し、−Ｙ方向の他端が第２の共通液室１０２の＋Ｙ方向の端部と連通するように、Ｙ方向に沿って延設されている。本実施形態の第１−１０流路２２０は、連通板１５にＺ方向の面に開口する凹部を設け、この凹部の開口をノズルプレート２０で蓋をすることで形成されている。なお、第１−１０流路２２０は特にこれに限定されず、ノズルプレート２０に凹部を設け、凹部を連通板１５によって蓋をするようにしてもよく、連通板１５とノズルプレート２０との両方に凹部を設けるようにしてもよい。
このような第１−１０流路２２０は、Ｚ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂの隣接する第２の圧力室１２Ｂ間の領域と重なる部分であって、且つＸ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂと重ならない部分を−Ｙ方向の端部側に有する。なお、第１−１０流路２２０のＹ方向の端部は、Ｚ方向に見て、第２の圧力室１２Ｂの間の領域の外側まで延設されている。また、本実施形態では、第１−１０流路２２０は、Ｚ方向に見て、第２の圧力室１２ＢをＸ方向で隔てる隔壁に重なる位置のみに設けられている。
また、第１−１０流路２２０は、＋Ｙ方向の端部側の流路部２２０ａが、詳しくは後述する第２の圧力室列１２０Ｂに対応する第２の個別連通流路２０１Ｂの第２−１０流路２６０を間に挟んでＸ方向に並設されている。すなわち、第１−１０流路２２０の＋Ｙ方向の端部側の流路部２２０ａは、第１部分となっている。
また、第１−１０流路２２０は、−Ｙ方向の端部側の流路部２２０ｂが、詳しくは後述する第２の個別連通流路２０１Ｂを間に挟むことなくＸ方向に並設されている。すなわち、第１−１０流路２２０の−Ｙ方向の端部側の流路部２２０ｂは、第２部分となっている。
また、図１８に示すように、第２の個別連通流路２０１Ｂは、第２−１０流路２６０と第２−４流路２５４と第２−５流路２５５とを有する。
本実施形態の第２−４流路２５４と第２−５流路２５５とは、上述した実施形態と同様であるため重複する説明は省略する。
第２−１０流路２６０は、＋Ｙ方向の一端が第１の共通液室１０１と連通し、−Ｙ方向の他端が第２−４流路２５４と連通するように、Ｙ方向に沿って延設されている。本実施形態の第２−１０流路２６０は、連通板１５にＺ方向の面に開口する凹部を設け、この凹部の開口をノズルプレート２０で蓋をすることで形成されている。なお、第２−１０流路２６０は特にこれに限定されず、ノズルプレート２０に凹部を設け、凹部を連通板１５によって蓋をするようにしてもよく、連通板１５とノズルプレート２０との両方に凹部を設けるようにしてもよい。
このような第２−１０流路２６０は、Ｚ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂの隣接する第２の圧力室１２Ｂ間の領域と重なる部分であって、且つＸ方向に見て、第１の圧力室列１２０Ａと重ならない部分を＋Ｙ方向の端部側に有する。なお、第２−１０流路２６０の−Ｙ方向の端部は、Ｚ方向に見て、第１の圧力室１２Ａの間の領域の外側まで延設されている。また、本実施形態では、第２−１０流路２６０は、Ｚ方向に見て、第１の圧力室１２ＡをＸ方向で隔てる隔壁に重なる位置のみに設けられている。
また、第２−１０流路２６０は、−Ｙ方向の端部側の流路部２６０ａが、第１の圧力室列１２０Ａに対応する第１の個別連通流路２０１Ａの第１−１０流路２２０を間に挟んでＸ方向に並設されている。すなわち、第２−１０流路２６０の−Ｙ方向の端部側の流路部２６０ａは、第１部分となっている。
また、第２−１０流路２６０は、＋Ｙ方向の端部側の流路部２６０ｂが、第１の個別連通流路２０１Ａを間に挟むことなくＸ方向に並設されている。すなわち、第２−１０流路２６０の＋Ｙ方向の端部側の流路部２６０ｂは、第２部分となっている。
このように、本実施形態では、第１−９流路２１９と第２−９流路２５９とを連通板１５の−Ｚ方向の面に開口するように設けることで、連通板１５をＺ方向の厚さの途中でＹ方向に沿って設けられた流路を設ける必要がなく、連通板１５を１枚の基板で形成することができ、記録ヘッド１の構造を簡略化して部品点数を減少させてコストを低減することができる。
また、本実施形態では、ノズルプレート２０で第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２の開口を覆い、ノズルプレート２０にコンプライアンス部４９４を設けることで、個別流路２００として、第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２とノズル２１とを接続する流路、すなわち、第１−１０流路２２０及び第２−１０流路２６０をノズルプレート２０と連通板１５との接合界面に設けることができる。したがって、個別流路２００の構成を簡略化することができ圧力損失を低減することができる。また、第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２とノズル２１とを連通する流路である第１−１０流路２２０及び第２−１０流路２６０をノズルプレート２０と連通板１５との間に設けることで、連通板１５を複数の基板を積層して構成する必要がなく、１枚の基板で製造することができるため、連通板１５のＺ方向の厚さを比較的薄くして、圧力室１２とノズル２１とを接続する流路長を短くすることができる。これにより、圧力室１２からノズル２１までの流路の流路抵抗を小さくして、ノズル２１から吐出されるインク滴の重量が低下するのを抑制することができる。
また、連通板１５を複数の基板を積層して構成する必要がなく、また、上述した実施形態１のようにコンプライアンス基板４９をノズルプレート２０と別途設ける必要がないため、部品点数を減少させてコストを低減することができる。
また、上述した例では、ノズルプレート２０をポリイミド等の樹脂材料で製造するようにしたが、特にこれに限定されない。ここで、ノズルプレートの変形例を図１９及び図２０を参照して説明する。なお、図１９は、実施形態４の記録ヘッドの変形例を示す断面図であり、図１のＡ−Ａ′線に準じた断面図である。図２０は、実施形態４の記録ヘッドの変形例を示す断面図であり、図１のＢ−Ｂ′線に準じた断面図である。
図１９及び図２０に示すように、ノズルプレート２０を樹脂フィルムに比べて剛性が高いステンレス鋼等の金属材料で製造し、ノズルプレート２０の第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２の壁を形成する部分の厚みを他の部分に比べて薄くすることでノズルプレート２０にコンプライアンス部４９４が形成されている。すなわち、ノズルプレート２０の第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２に対応する領域を、ノズル２１が形成される領域に比べて薄くする。これにより、ノズルプレート２０の第１の共通液室１０１に対応する部分にはノズル２１が形成された領域に比べて剛性が低い第１コンプライアンス部４９４Ａが形成され、第２の共通液室１０２に対応する部分にはノズル２１が形成された領域に比べて剛性が低い第２コンプライアンス部４９４Ｂが形成されている。このように、ノズルプレート２０を比較的高い剛性の材料で形成しても、第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２を塞ぐ部分の厚さを薄くすることで変形し易くして、第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２の壁の一部に容易にコンプライアンス部４９４を形成することができる。
また、連通板１５とノズルプレート２０との間に、封止膜４９１を設けるようにしてもよい。このような例を図２１及び図２２を参照して説明する。なお、図２１は、実施形態４の記録ヘッドの変形例を示す断面図であり、図１のＡ−Ａ′線に準じた断面図である。図２２は、実施形態４の記録ヘッドの変形例を示す断面図であり、図１のＢ−Ｂ′線に準じた断面図である。
図２１及び図２２に示すように、ノズルプレート２０は、第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２のＺ方向の面の開口を覆わない大きさで設けられており、第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２が開口するＺ方向の面、すなわち、Ｚ方向でノズルプレート２０に向かう面は、封止膜４９１で封止されている。すなわち、連通板１５のＺ方向の面には、封止膜４９１とノズルプレート２０とがこの順番に積層されている。そして、ノズルプレート２０を第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２のＺ方向の面の開口を覆わない大きさで設けることで、第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２のＺ方向の面の開口は、封止膜４９１のみで封止されたコンプライアンス部４９４、すなわち、第１コンプライアンス部４９４Ａ及び第２コンプライアンス部４９４Ｂとなっている。ちなみに、図２１に示すように、第１のノズル２１Ａと第１−２流路２１２とを連通する部分には、第１のノズル２１Ａよりも大きな第１開口４９５Ａが設けられており、第１−２流路２１２から第１のノズル２１Ａに向かうインクの流れを阻害しないようになっている。なお、第１開口４９５Ａは、第１のノズル２１Ａよりも大きい開口面積で設けられていれば、第１−２流路２１２よりも大きくてもよく、また、第１−２流路２１２よりも小さくてもよい。同様に、図２２に示すように、第２のノズル２１Ｂと第２−４流路２５４とを連通する部分には、第２のノズル２１Ｂよりも大きな第２開口４９５Ｂが設けられており、第２−４流路２５４から第２のノズル２１Ｂに向かうインクの流れを阻害しないようになっている。なお、第２開口４９５Ｂは、第２のノズル２１Ｂよりも大きい開口面積で設けられていれば、第２−４流路２５４よりも大きくてもよく、また、第２−４流路２５４よりも小さくてもよい。
このような構成であっても、封止膜４９１と連通板１５との間に個別流路２００、すなわち、第１−１０流路２２０及び第２−１０流路２６０を形成することができるため、個別流路２００の構造を簡略化して、複数の基板を積層して連通板１５を製造する必要がなく、連通板１５を１枚の基板で製造することができる。また、ノズルプレート２０の面積を小さくすることができるため、コストを低減することができる。
（実施形態５）
図２３は、本発明の実施形態５に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの図１のＡ−Ａ′線に準じた断面図である。図２４は、実施形態５に係るインクジェット式記録ヘッドの図１のＢ−Ｂ′線に準じた断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
図２３及び図２４に示すように、流路基板である流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、コンプライアンス基板４９、ケース部材４０等には、第１の共通液室１０１と第２の共通液室１０２とノズル２１毎に設けられた複数の個別流路２００とが設けられている。
第１の共通液室１０１を構成する第１連通部１６は、−Ｚ方向に設けられた第１幅狭部１６ａと、Ｚ方向に設けられた第１幅広部１６ｂと、を具備する。
第１幅狭部１６ａは、第１連通板１５１の＋Ｚ方向の面に開口するように＋Ｚ方向の端部に設けられており、第１幅広部１６ｂは、第２連通板１５２に設けられている。
また、第１幅狭部１６ａと第１幅広部１６ｂとは、Ｘ方向において同じ幅で設けられており、Ｙ方向において第１幅広部１６ｂの方が第１幅狭部１６ａよりも広い幅で形成されている。また、第１幅広部１６ｂは、第１幅狭部１６ａよりも−Ｙ方向に拡幅して設けられている。つまり、第１幅広部１６ｂの＋Ｙ方向の端部は、第１幅狭部１６ａと同じ位置に設けられており、第１幅広部１６ｂの−Ｙ方向の端部は、第１幅狭部１６ａよりもさらに−Ｙ方向の外側に配置されている。
第２の共通液室１０２を構成する第２連通部１７は、−Ｚ方向に設けられた第２幅狭部１７ａと、Ｚ方向に設けられた第２幅広部１７ｂと、を具備する。
第２幅狭部１７ａは、第１連通板１５１の＋Ｚ方向の面に開口するように＋Ｚ方向の端部に設けられており、第２幅広部１７ｂは、第２連通板１５２に設けられている。
また、第２幅狭部１７ａと第２幅広部１７ｂとは、Ｘ方向において同じ幅で設けられており、Ｙ方向において第２幅広部１７ｂの方が第２幅狭部１７ａよりも広い幅で形成されている。また、第２幅広部１７ｂは、第２幅狭部１７ａよりも＋Ｙ方向に拡幅して設けられている。つまり、第２幅広部１７ｂの−Ｙ方向の端部は、第２幅狭部１７ａと同じ位置に設けられており、第２幅広部１７ｂの＋Ｙ方向の端部は、第２幅狭部１７ａよりもさらに＋Ｙ方向の外側に配置されている。
このような第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２のＺ方向の面の開口は、コンプライアンス基板４９によって覆われている。ここで、コンプライアンス基板４９が覆う第１の共通液室１０１の第１幅広部１６ｂの開口面積は、第１幅狭部１６ａの開口面積よりも大きい。したがって、第１幅狭部１６ａの開口面積に対して第１コンプライアンス部４９４Ａを設けた場合に比べて、第１幅広部１６ｂの比較的広い開口面積に対して第１コンプライアンス部４９４Ａを設けることで、第１コンプライアンス部４９４Ａの面積を大きくすることができる。
同様に、コンプライアンス基板４９が覆う第２の共通液室１０２の第２幅広部１７ｂの開口面積は、第２幅狭部１７ａの開口面積よりも大きい。したがって、第２幅狭部１７ａの開口面積に対して第２コンプライアンス部４９４Ｂを設けた場合に比べて、第２幅広部１７ｂの比較的広い開口面積に対して第２コンプライアンス部４９４Ｂを設けることで、第２コンプライアンス部４９４Ｂの面積を大きくすることができる。
このように第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２の開口を覆うコンプライアンス部４９４の面積を比較的大きくすることで、第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２内のインクの圧力変動に対応するコンプライアンス部４９４の変形の反応性を向上することができ、インク滴の吐出周期を短くして、高速印刷を実現することができる。
また、流路基板を構成する流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、コンプライアンス基板４９には、第１の共通液室１０１と第２の共通液室１０２とノズル２１毎に設けられた複数の個別流路２００とが設けられている。
本実施形態では、個別流路は、第１のノズル２１Ａに連通する第１の個別流路２００Ａと、第２のノズル２１Ｂに連通する第２の個別流路２００Ｂとを有する。
個別流路２００としては、図２３に示すように、第１のノズル２１Ａと第１の圧力室１２Ａと第１の個別連通流路２０１Ａとを有する第１の個別流路２００Ａと、図２４に示すように、第２のノズル２１Ｂと第２の圧力室１２Ｂと第２の個別連通流路２０１Ｂとを有する第２の個別流路２００Ｂと、が設けられている。
図２３に示すように、第１の個別連通流路２０１Ａは、第１−１流路２１１と第１−１１流路２２１と第１−３流路２１３と第１−４流路２１４と第１−５流路２１５とを具備する。
本実施形態の第１−１流路２１１と第１−３流路２１３と第１−４流路２１４と第１−５流路２１５とは、上述した実施形態と同様であるため重複する説明は省略する。
第１−１１流路２２１は、＋Ｚ方向の開口が、−Ｚ方向の開口よりも−Ｙ方向となるように形成されている。
ここで、第１−１１流路２２１の＋Ｚ方向の開口が、−Ｚ方向の開口よりも−Ｙ方向となるように形成されているとは、Ｚ方向に見て、第１−１１流路２２１の＋Ｚ方向の開口が、第１−１１流路２２１の−Ｚ方向の開口よりも−Ｙ方向にずれた位置に配置されていることを言う。ちなみに、Ｚ方向に見て、第１−１１流路２２１の＋Ｚ方向の開口と−Ｚ方向の開口との一部が重なっていてもよいが、第１−１１流路２２１の＋Ｚ方向の開口と−Ｚ方向の開口との何れか一方が、他方に完全に重なったものは含まれない。
具体的には、第１−１１流路２２１は、第１−１２流路２２２と第１−１３流路２２３と第１−１４流路２２４とを具備する。
第１−１２流路２２２は、−Ｚ方向の一端が第１の圧力室１２Ａの−Ｙ方向の端部に連通するように、第１連通板１５１をＺ方向に貫通して設けられている。
第１−１３流路２２３は、第１−１２流路２２２の＋Ｚ方向の他端に連通して、第１連通板１５１と第２連通板１５２との間にＹ方向に沿って延設されている。第１−１３流路２２３は、本実施形態では、第２連通板１５２に−Ｚ方向の面に開口する凹部を形成し、第２連通板１５２の凹部の開口を第１連通板１５１で覆うことで形成されている。もちろん、第１−１３流路２２３は特にこれに限定されず、第１連通板１５１に凹部を形成するようにしてもよく、第１連通板１５１及び第２連通板１５２の両方に凹部を形成するようにしてもよい。
第１−１４流路２２４は、第１−１３流路２２３の−Ｙ方向の端部に連通するように、第２連通板１５２をＺ方向に貫通して設けられている。
このように、第１−１１流路２２１の途中にＹ方向に沿って延設された第１−１３流路２２３を設けることで、第１−１４流路２２４を第１−１２流路２２２に対して−Ｙ方向に異なる位置に移動させることができる。そして、第１−１４流路２２４を−Ｙ方向に移動することで、第１の共通液室１０１の第１幅広部１６ｂを第１幅狭部１６ａよりも−Ｙ方向に向かって拡幅することができる。ちなみに、第１コンプライアンス部４９４Ａの面積を広くするために、第１の共通液室１０１のＺ方向の面の開口を＋Ｙ方向に向かって広げると、連通板１５がＹ方向に大型化してしまう。本実施形態では、第１−１１流路２２１の＋Ｚ方向の開口を、−Ｚ方向の開口よりも−Ｙ方向に配置することで、第１の共通液室１０１の＋Ｚ方向の面の開口を−Ｙ方向に向かって広げることができるため、連通板１５がＹ方向に大型化するのを抑制して、第１コンプライアンス部４９４Ａの面積を広げることができる。
また、本実施形態の第１−４流路２１４は、第２の共通液室１０２に第２幅広部１７ｂを設けた分だけ、＋Ｙ方向に移動して配置されている。このため、本実施形態の第１−４流路２１４は、Ｚ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂの隣接する第２の圧力室１２Ｂの間の領域である隔壁と重ならない位置に配置されている。
すなわち、本実施形態では、第１の個別連通流路２０１Ａは、Ｚ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂの隣接する第２の圧力室１２Ｂの間の領域と重なる部分であって、且つＸ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂと重ならない部分として第１−５流路２１５を有する。
また、第１−１１流路２２１の第１−１３流路２２３と第１−１４流路２２４とは、詳しくは後述する第２の圧力室列１２０Ｂに対応する第２の個別連通流路２０１Ｂの第２−１流路２５１と第２−２流路２５２とをそれぞれ間に挟んでＸ方向に並設されている。すなわち、第１−１３流路２２３と第１−１４流路２２４とは、第１部分となっている。
また、第１−１１流路２２１の第１−１２流路２２２は、詳しくは後述する第２の個別連通流路２０１Ｂを間に挟まずにＸ方向に並設されている。すなわち、第１−１２流路２２２は、第２部分となっている。
また、第１−５流路２１５の＋Ｙ方向の端部側の流路部２１５ａは、第２の個別連通流路２０１Ｂの第２−１３流路２６３を間に挟んでＸ方向に並設された第１部分となっている。
また、第１−５流路２１５の−Ｙ方向の端部側の流路部２１５ｂは、第２の個別連通流路２０１Ｂを間に挟まずにＸ方向に並設された第２部分となっている。
つまり、第１の個別連通流路２０１Ａは、第１部分として、第１−１流路２１１と第１−１３流路２２３と第１−１４流路２２４と第１−３流路２１３と第１−４流路２１４と第１−５流路２１５の＋Ｙ方向の端部側の流路部２１５ａとを有する。
また、第１の個別連通流路２０１Ａは、第２部分として、第１−５流路２１５の−Ｙ方向の端部側の流路部２１５ｂと第１−１２流路２２２とを有する。
また、図２４に示すように、第２の個別連通流路２０１Ｂは、第２−１流路２５１と第２−２流路２５２と第２−３流路２５３と第２−１１流路２６１と第２−５流路２５５とを具備する。
本実施形態の第２−１流路２５１と第２−２流路２５２と第２−３流路２５３と第２−５流路２５５とは、上述した実施形態と同様であるため重複する説明は省略する。
第２−１１流路２６１は、＋Ｚ方向の開口が、−Ｚ方向の開口よりも＋Ｙ方向となるように形成されている。
ここで、第２−１１流路２６１の＋Ｚ方向の開口が、−Ｚ方向の開口よりも＋Ｙ方向となるように形成されているとは、Ｚ方向に見て、第２−１１流路２６１の＋Ｚ方向の開口が、第２−１１流路２６１の−Ｚ方向の開口よりも＋Ｙ方向にずれた位置に配置されていることを言う。ちなみに、Ｚ方向に見て、第２−１１流路２６１の＋Ｚ方向の開口と−Ｚ方向の開口との一部が重なっていてもよいが、第２−１１流路２６１の＋Ｚ方向の開口と−Ｚ方向の開口との何れか一方が、他方に完全に重なったものは含まれない。
具体的には、第２−１１流路２６１は、第２−１２流路２６２と第２−１３流路２６３と第２−１４流路２６４とを具備する。
第２−１２流路２６２は、−Ｚ方向の一端が第２の圧力室１２Ｂの＋Ｙ方向の端部に連通するように、第１連通板１５１をＺ方向に貫通して設けられている。
第２−１３流路２６３は、第２−１２流路２６２の＋Ｚ方向の他端に連通して、第１連通板１５１と第２連通板１５２との間にＹ方向に沿って延設されている。第２−１３流路２６３は、本実施形態では、第２連通板１５２に−Ｚ方向の面に開口する凹部を形成し、第２連通板１５２の凹部の開口を第１連通板１５１で覆うことで形成されている。もちろん、第２−１３流路２６３は特にこれに限定されず、第１連通板１５１に凹部を形成するようにしてもよく、第１連通板１５１及び第２連通板１５２の両方に凹部を形成するようにしてもよい。
第２−１４流路２６４は、第２−１３流路２６３の＋Ｙ方向の端部に連通するように、第２連通板１５２をＺ方向に貫通して設けられている。
このように、第２−１１流路２６１の途中にＹ方向に沿って延設された第２−１３流路２６３を設けることで、第２−１４流路２６４を第２−１２流路２６２に対して＋Ｙ方向に異なる位置に移動させることができる。そして、第２−１４流路２６４を＋Ｙ方向に移動することで、第２の共通液室１０２の第２幅広部１７ｂを第２幅狭部１７ａよりも＋Ｙ方向に向かって拡幅することができる。ちなみに、第２コンプライアンス部４９４Ｂの面積を広くするために、第２の共通液室１０２の＋Ｚ方向の面の開口を−Ｙ方向に向かって広げると、連通板１５がＹ方向に大型化してしまう。本実施形態では、第２−１１流路２６１のＺ方向の開口を、−Ｚ方向の開口よりも＋Ｙ方向に配置することで、第２の共通液室１０２の＋Ｚ方向の面の開口を＋Ｙ方向に向かって広げることができるため、連通板１５がＹ方向に大型化するのを抑制して、第２コンプライアンス部４９４Ｂの面積を広げることができる。
また、本実施形態の第２−２流路２５２は、第１の共通液室１０１に第１幅広部１６ｂを設けた分だけ、−Ｙ方向に移動して配置されている。このため、本実施形態の第２−２流路２５２は、Ｚ方向に見て、第１の圧力室列１２０Ａの隣接する第１の圧力室１２Ａの間の領域である隔壁と重ならない位置に配置されている。
すなわち、本実施形態では、第２の個別連通流路２０１Ｂは、Ｚ方向に見て、第１の圧力室列１２０Ａの隣接する第１の圧力室１２Ａ間の領域と重なる部分であって、且つＸ方向に見て、第１の圧力室列１２０Ａと重ならない部分として第２−１流路２５１を有する。
また、第２−１３流路２６３と第２−１４流路２６４とは、第１の圧力室列１２０Ａに対応する第１の個別連通流路２０１Ａの第１−５流路２１５と第１−４流路２１４とをそれぞれ間に挟んでＸ方向に並設されている。すなわち、第２−１３流路２６３と第２−１４流路２６４とが第１部分となっている。
また、第２−１１流路２６１の第２−１２流路２６２は、第１の個別連通流路２０１Ａを間に挟まずにＸ方向に並設されている。すなわち、第２−１２流路２６２は、第２部分となっている。
また、第２−１１流路２６１の−Ｙ方向の端部側の流路部２５１ａは、第１の個別連通流路２０１Ａの第１−１３流路２２３を間に挟んでＸ方向に並設された第１部分となっている。
また、第２−１１流路２６１の＋Ｙ方向の端部側の流路部２５１ｂは、第１の個別連通流路２０１Ａを間に挟まずにＸ方向に並設された第２部分となっている。
つまり、第２の個別連通流路２０１Ｂは、第１部分として、第２−１流路２５１の−Ｙ方向の端部側の流路部２５１ａと第２−２流路２５２と第２−３流路２５３と第２−１４流路２６４と第２−１３流路２６３とを有する。
また、第２の個別連通流路２０１Ｂは、第２部分として、第２−１流路２５１の＋Ｙ方向の端部側の流路部２５１ｂと第２−５流路２５５とを有する。
また、本実施形態では、第１の個別連通流路２０１Ａのうち、Ｚ方向に延びる局所流路が、第１部分と第２部分とを有する。すなわち、上述のように、第１の個別連通流路２０１Ａのうち、Ｚ方向に延びる第１−１４流路２２４が第１部分となっており、Ｚ方向に延びる第１−１２流路２２２が第２部分となっている。このため、本実施形態では、第１−１４流路２２４と第１−１２流路２２２とがこのような局所流路に相当する。
なお、本実施形態では、第２の個別連通流路２０１Ｂについても同様に、Ｚ方向に延びる局所流路が第１部分と第２部分とを有する。すなわち、第２の個別連通流路２０１Ｂのうち、Ｚ方向に延びる第２−１４流路２６４が第１部分となっており、Ｚ方向に延びる第２−１２流路２６２が第２部分となっている。
また、本実施形態では、第１の個別連通流路２０１Ａのうち、第１の圧力室１２Ａと第１のノズル２１Ａとをつなぐ局所流路が少なくとも第２部分を有する。すなわち、本実施形態では、第１−１１流路２２１が、第１の圧力室１２Ａと第１のノズル２１Ａとをつなぐ局所流路であって、第１−１１流路２２１のうち第１−１２流路２２２が、第２の個別連通流路２０１Ｂを間に挟まずにＸ方向に並設された第２部分となっている。
また、本実施形態では、第２の個別連通流路２０１Ｂについても同様に、第２の圧力室１２Ｂと第２のノズル２１Ｂとをつなぐ局所流路が少なくとも第２部分を有する。すなわち、第２の個別連通流路２０１Ｂのうち、第２−１１流路２６１が第２の圧力室１２Ｂと第２のノズル２１Ｂとをつなぐ局所流路であると共に、第２−１１流路２６１のうち第２−１２流路２６２が、第１の個別連通流路２０１Ａを間に挟まずにＸ方向に並設された第２部分となっている。
また、本実施形態では、図２３に示すように、第１の共通液室１０１には、第１幅狭部１６ａと第１幅広部１６ｂとによって段差が設けられているため、この段差に気泡が滞留し易い。しかしながら、本実施形態では、図２４に示すように、段差部分には、第２の個別流路２００Ｂの第２−１流路２５１が開口しているため、段差によって滞留した気泡は第２の個別流路２００Ｂを介して第２の共通液室１０２に排出される。したがって、第１の共通液室１０１内に気泡が滞留するのを抑制して、第１の共通液室１０１の気泡が成長し、圧力室１２へのインクの供給不良や、気泡が予期せぬタイミングで圧力室１２に流れ込むことによるインク滴の吐出不良等を抑制することができる。
また、第２の共通液室１０２にも第２幅狭部１７ａと第２幅広部１７ｂとによって段差が設けられているが、段差の気泡は、第２の共通液室１０２内のインクの流れによって排出口４４に向かって移動するため、気泡が第２の共通液室１０２内で成長することや、圧力室１２内に流れ込むのを抑制することができる。
このように、圧力室１２とノズル２１とを連通する連通路である第１−１４流路２２４及び第２−１４流路２６４をＹ方向において互いに近づけるように配置することで、連通板１５がＹ方向に大型化することなく、第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２のＺ方向の面の開口面積が広くなるように拡幅することができ、コンプライアンス部４９４を広い面積で形成して、個別流路２００内のインクの圧力変動を第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２のコンプライアンス部４９４で吸収することができる。したがって、インク滴の吐出特性のばらつきを低減して、インク滴の吐出を安定させることができる。
また、本実施形態では、第１の共通液室１０１の第１連通部１６に第１幅狭部１６ａと第１幅広部１６ｂを設けることで、第１の共通液室１０１のノズル２１側の開口面積を流路形成基板１０側の開口面積よりも広げるようにしたが、特にこれに限定されない。ここで、第１の共通液室１０１と第２の共通液室１０２との変形例を図２５及び図２６を参照して説明する。なお、図２５は、実施形態５の記録ヘッドの変形例を示す断面図であって、図１のＡ−Ａ′線に準じた断面図である。図２６は、実施形態５の記録ヘッドの変形例であって、図１のＢ−Ｂ′線に準じた断面図である。
図２５及び図２６に示すように、第１の共通液室１０１の第１連通部１６の−Ｙ方向の側面は、＋Ｚ方向の端部が−Ｚ方向の端部よりも−Ｙ方向の位置となるように傾斜して設けられている。
同様に、第２の共通液室１０２の第２連通部１７の＋Ｙ方向の側面は、＋Ｚ方向の端部が−Ｚ方向の端部よりも＋Ｙ方向の位置となるように傾斜して設けられている。
このような構成であっても、上述したように第１の共通液室１０１及び第２の共通液室１０２のＺ方向の面の開口の開口面積を広げて、コンプライアンス部４９４を比較的広い面積で形成することができる。また、第１の共通液室１０１の側面に段差を設けることなく、側面を傾斜させることで、段差に気泡が滞留するのを抑制することができる。もちろん、このような傾斜した側面は、図２３、２４に示す第１幅広部１６ｂ及び第２幅広部１７ｂの側面のみに適用してもよい。
また、本実施形態では、第１−１１流路２２１と第２−１１流路２６１とのそれぞれの途中にＹ方向に沿って設けられた第１−１３流路２２３と第２−１３流路２６３とを設けることで、第１−１１流路２２１と第２−１１流路２６１のＺ方向の面の開口を−Ｚ方向の面の開口よりもＹ方向においてノズル２１に近づける位置に移動するようにしたが、特にこれに限定されない。ここで、第１−１１流路２２１と第２−１１流路２６１との変形例を図２７及び図２８を参照して説明する。なお、図２７は、実施形態５の記録ヘッドの変形例を示す断面図であって、図１のＡ−Ａ′線に準じた断面図である。図２８は、実施形態５の記録ヘッドの変形例を示す断面図であって、図１のＢ−Ｂ′線に準じた断面図である。
図２７に示すように、第１−１１流路２２１は、Ｚ方向に対して傾斜して設けられている。具体的には、第１−１１流路２２１は、第１の圧力室１２Ａに連通する−Ｚ方向の端部よりも、第１のノズル２１Ａに連通する＋Ｚ方向の端部が−Ｙ方向に位置するように傾斜して設けられている。これにより、第１の共通液室１０１の＋Ｚ方向の面の開口を−Ｙ方向に向かって拡幅することができ、第１コンプライアンス部４９４Ａを比較的広い面積で形成することができる。
また、図２８に示すように、第２−１１流路２６１は、Ｚ方向に対して傾斜して設けられている。具体的には、第２−１１流路２６１は、第２の圧力室１２Ｂに連通する−Ｚ方向の端部よりも、第２のノズル２１Ｂに連通する＋Ｚ方向の端部が＋Ｙ方向に位置するように傾斜して設けられている。これにより、第２の共通液室１０２のＺ方向の面の開口を＋Ｙ方向に向かって拡幅することができ、第２コンプライアンス部４９４Ｂを比較的広い面積で形成することができる。
なお、図２７及び図２８に示す傾斜した第１−１１流路２２１及び第２−１１流路２６１と、図２５及び図２６に示す第１幅広部１６ｂ及び第２幅広部１７ｂの傾斜した壁面とを組み合わせてもよい。
また、本実施形態では、第１のノズル２１Ａと第２のノズル２１Ｂとを、Ｘ方向に見て、Ｙ方向に互いにシフトする位置に設けることで、第１のノズル列２２Ａと第２のノズル列２２Ｂとの２列がＹ方向に並設された構成、所謂、ノズル２１がＸ方向に向かって千鳥状に配置された構成を例示したが、特にこれに限定されず、上述した実施形態１の図９と同様に、第１のノズル２１Ａと第２のノズル２１ＢとをＸ方向に見て互いに重なる位置に設け、複数のノズル２１をＸ方向に沿った直線上に配置するようにしてもよい。このような構成の場合、特に図示していないが、第１のノズル２１Ａは、第１−３流路２１３の途中に連通する位置に設け、第２のノズル２１Ｂは、第２−３流路２５３の途中に連通するように設ければよい。
（実施形態６）
図２９は、本発明の実施形態６に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの断面図であって図１のＡ−Ａ′線に準じた断面図である。図３０は、実施形態６に係るインクジェット式記録ヘッドの断面図であって図１のＢ−Ｂ′線に準じた断面図である。図３１は、流路を表す−Ｚ方向から見た斜視図である。図３２は、実施形態６に係る記録ヘッドの断面図であって、図２９のＦ−Ｆ′線断面図、Ｇ−Ｇ′線断面図、Ｈ−Ｈ′線断面図である。図３３は、実施形態６に係る記録ヘッドの要部断面図であって、図３２のＩ−Ｉ′線断面図である。なお、上述した実施形態と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
図２９及び図３０に示すように、流路基板を構成する流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、コンプライアンス基板４９、ケース部材４０等には、第１の共通液室１０１と第２の共通液室１０２とノズル２１毎に設けられた複数の個別流路２００とが設けられている。
個別流路２００としては、図２９に示すように、第１のノズル２１Ａと第１の圧力室１２Ａと第１の個別連通流路２０１Ａとを有する第１の個別流路２００Ａと、図３０に示すように、第２のノズル２１Ｂと第２の圧力室１２Ｂと第２の個別連通流路２０１Ｂとを有する第２の個別流路２００Ｂと、が設けられている。
図２９に示すように、第１の個別連通流路２０１Ａは、第１−１流路２１１と第１−２流路２１２と第１−３流路２１３と第１−４流路２１４と第１−５流路２１５とを具備する。
また、図３０に示すように、第２の個別連通流路２０１Ｂは、第２−１流路２５１と第２−２流路２５２と第２−３流路２５３と第２−４流路２５４と第２−５流路２５５とを具備する。
これら第１の個別連通流路２０１Ａと第２の個別連通流路２０１ＢとのＺ方向に沿って設けられた流路は、Ｘ方向に見て互いに重ならないように配置されている。
具体的には、第１の個別連通流路２０１Ａの第１−４流路２１４は、Ｘ方向に見て、第２の個別連通流路２０１Ｂの第２−４流路２５４と重ならないように、第２−４流路２５４に対して＋Ｙ方向にずれた位置に配置されている。このように、第１−４流路２１４と第２−４流路２５４とは、Ｙ方向に異なる位置に配置されることで、Ｘ方向に沿って、所謂、千鳥状に配置されている。
このため、本実施形態の第１−４流路２１４は、Ｚ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂにおける隣接する第２の圧力室１２Ｂの間の領域に重ならない位置に配置されている。すなわち、本実施形態の記録ヘッド１では、第１の個別連通流路２０１Ａは、Ｚ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂの第２の圧力室１２Ｂの間の領域と重なる部分であって、且つＸ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂと重ならない部分である第１−５流路２１５を有する。なお、第１−５流路２１５の＋Ｙ方向の端部は、第２の圧力室１２Ｂの間の領域よりも外側まで延設されている。したがって、第１−５流路２１５の−Ｙ方向の端部側に、Ｚ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂの第２の圧力室１２Ｂの間の領域に重なるように配置されていると共に、Ｘ方向に見て第２の圧力室列１２０Ｂと重ならない部分を有する。
このように、第１の個別連通流路２０１Ａは、Ｚ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂにおける隣接する第２の圧力室１２Ｂ間の領域と重なる部分であって、且つＸ方向に見て、第２の圧力室列１２０Ｂと重ならない部分である第１−５流路２１５の一部を有する。
また、図３１に示すように、第１−４流路２１４を第２−４流路２５４よりも＋Ｙ方向に配置することで、第２−４流路２５４と第１−５流路２１５とは、Ｘ方向に見て交差して配置されている。すなわち、第１−５流路２１５は、第２−４流路２５４を挟んでＸ方向に並設された第１部分である流路部２１５ａと、第２の個別連通流路２０１Ｂを挟まずにＸ方向に並設された第２部分である流路部２１５ｂと、を具備する。同様に、第２−４流路２５４には、第１−５流路２１５を挟んでＸ方向に並設された第１部分である流路部２５４ａと、第２の個別連通流路２０１Ｂを挟むことなくＸ方向に並設された第２部分である流路部２５４ｂと、を具備する。つまり、第１部分である流路部２１５ａと流路部２５４ａとは、Ｘ方向に見て、互いに重なる部分のことである。
また、第１−５流路２１５と第２−４流路２５４との少なくとも一方の第２部分には、Ｘ方向に見て互いに重なる第１部分よりもＸ方向の幅が広くなるように設けられた部分を有する。本実施形態では、第１−５流路２１５の第２部分である流路部２１５ｂに、第１部分である流路部２１５ａよりもＸ方向の幅が広い部分を設けるようにした。具体的には、第１−５流路２１５は、第１部分である流路部２１５ａを含む＋Ｙ方向の端部側の領域に設けられた第１幅狭部２１５ｃと、第２部分である流路部２１５ｂの一部であって−Ｙ方向の端部側に第１幅狭部２１５ｃよりもＸ方向の幅が広い第１幅広部２１５ｄと、を具備する。このように第１の個別連通流路２０１Ａの第２の個別連通流路２０１Ｂを挟まずにＸ方向に並設された第２部分であれば、Ｘ方向の幅を第１部分に比べて広くした部分を設けても、Ｘ方向に隔てる隔壁の剛性が著しく低下するのを抑制することができる。
そして、第１−５流路２１５に第１幅狭部２１５ｃと第１幅広部２１５ｄとを設けることで、第１−５流路２１５の全体を第１幅狭部２１５ｃと同じ幅だけで設けた場合に比べて、第１−５流路２１５の流路抵抗及びイナータンスを低減することができ、第２の共通液室１０２から第１の圧力室１２Ａへのインクの供給不足が生じるのを抑制して、インク滴を短い周期で連続して吐出させることができる。また、第１−５流路２１５の流路抵抗及びイナータンスを小さくすることができるため、第１の共通液室１０１から第２の共通液室１０２へのインクの循環量が低減するのを抑制することができる。さらに、第１−５流路２１５に第１幅狭部２１５ｃを設けることで、Ｘ方向にみて第１−５流路２１５と第２−４流路２５４とが互いに重なる第１部分を隔てる隔壁の剛性が著しく低下するのを抑制して、流路基板が大型化するのを抑制することができる。
同様に、第２の個別連通流路２０１Ｂの第２−２流路２５２は、Ｘ方向に見て、第１の個別連通流路２０１Ａの第１−２流路２１２と重ならないように、第１−２流路２１２に対して−Ｙ方向にずれた位置に配置されている。このように、第１−２流路２１２と第２−２流路２５２とは、Ｙ方向に異なる位置に配置されることで、Ｘ方向に沿って、所謂、千鳥状に配置されている。
このため、本実施形態の第２−２流路２５２は、Ｚ方向に見て、第１の圧力室列１２０Ａにおける隣接する第１の圧力室１２Ａの間の領域に重ならない位置に配置されている。すなわち、本実施形態の記録ヘッド１では、第２の個別連通流路２０１Ｂは、Ｚ方向に見て、第１の圧力室列１２０Ａの第１の圧力室１２Ａの間の領域と重なる部分であって、且つＸ方向に見て、第１の圧力室列１２０Ａと重ならない部分として第２−１流路２５１を有する。なお、第２−１流路２５１の−Ｙ方向の端部は、第１の圧力室１２Ａの間の領域よりも外側まで延設されている。したがって、第２−１流路２５１のＹ方向の端部側に、Ｚ方向に見て、第１の圧力室列１２０Ａの第１の圧力室１２Ａの間の領域に重なるように配置されていると共に、Ｘ方向に見て第２の圧力室列１２０Ｂと重ならない部分を有する。
また、第２−２流路２５２を第１−２流路２１２よりも−Ｙ方向に配置することで、第１−２流路２１２と第２−１流路２５１とは、Ｘ方向に見て交差して配置されている。すなわち、第１−２流路２１２は、第２−１流路２５１を挟んでＸ方向に並設された第１部分である流路部２１２ａと、第２の個別連通流路２０１Ｂを挟まずにＸ方向に並設された第２部分である流路部２１２ｂと、を具備する。同様に、第２−１流路２５１は、第１−２流路２１２を挟んでＸ方向に並設された第１部分である流路部２５１ａと、第２の個別連通流路２０１Ｂを挟まずにＸ方向に並設された第２部分である流路部２５１ｂとを具備する。つまり、第１部分である流路部２１２ａと流路部２５１ａとは、Ｘ方向に見て、互いに重なる部分のことである。
また、第１−２流路２１２と第２−１流路２５１との少なくとも一方の第２部分には、Ｘ方向に見て互いに重なる第１部分よりもＸ方向の幅が広くなるように設けられた部分を有する。本実施形態では、第２−１流路２５１の第２部分である流路部２５１ｂに、第１部分である流路部２５１ａよりもＸ方向の幅が広い部分を設けるようにした。具体的には、第２−１流路２５１は、第１部分である流路部２５１ａを含む−Ｙ方向の端部側の領域に設けられた第２幅狭部２５１ｃと、第２部分である流路部２５１ｂの一部であって＋Ｙ方向の端部側に第２幅狭部２５１ｃよりもＸ方向の幅が広い第２幅広部２５１ｄと、を具備する。このように第２の個別連通流路２０１Ｂの第１の個別連通流路２０１Ａを挟まずにＸ方向に並設された第２部分であれば、Ｘ方向の幅を第１部分に比べて広くした部分を設けても、Ｘ方向に隔てる隔壁の剛性が著しく低下するのを抑制することができる。
そして、第２−１流路２５１に第２幅狭部２５１ｃと第２幅広部２５１ｄとを設けることで、第２−１流路２５１の全体を第２幅狭部２５１ｃと同じ幅だけで設けた場合に比べて、第２−１流路２５１の流路抵抗及びイナータンスを低減することができ、第１の共通液室１０１から第２の圧力室１２Ｂへのインクの供給不足が生じるのを抑制して、インク滴を短い周期で連続して吐出させることができる。また、第２−１流路２５１の流路抵抗及びイナータンスを小さくすることができるため、第１の共通液室１０１から第２の共通液室１０２へのインクの循環量が低減するのを抑制することができる。さらに、第２−１流路２５１に第２幅狭部２５１ｃを設けることで、Ｘ方向に見て第１−２流路２１２と第２−１流路２５１とを互いに重なる第１部分を隔てる隔壁の剛性が著しく低下するのを抑制して、流路基板が大型化するのを抑制することができる。
さらに、第１−４流路２１４及び第２−２流路２５２を互いにＹ方向に近づくように、すなわち、第１−４流路２１４及び第２−２流路２５２のそれぞれを＋Ｙ方向及び−Ｙ方向に移動することで、第１−３流路２１３及び第２−３流路２５３にも、第１部分と第２部分とが設けられている。
具体的には、第１−３流路２１３には、−Ｙ方向の端部側に第２−３流路２５３を挟んでＸ方向に並設された第１部分である流路部２１３ａが設けられ、＋Ｙ方向の端部側に第２部分である流路部２１３ｂが設けられている。また、第２−３流路２５３には、＋Ｙ方向の端部側に第１−３流路２１３を挟んでＸ方向に並設された第１部分である流路部２５３ａが設けられ、−Ｙ方向に第２部分となる流路部２５３ｂが設けられている。
なお、第１−３流路２１３及び第２−３流路２５３は、Ｙ方向に亘ってＸ方向の幅が同じ幅で設けられているが特にこれに限定されない。例えば、上述した第１−５流路２１５及び第２−１流路２５１と同様に、第１−３流路２１３と第２−３流路２５３との少なくとも一方の第２部分には、Ｘ方向に見て互いに重なる第１部分よりもＸ方向の幅が広くなるように設けられた部分を設けるようにしてもよい。このように第１の個別連通流路２０１Ａ及び第２の個別連通流路２０１Ｂの第２部分であれば、第１部分に比べてＸ方向の幅が広い部分を設けても、Ｘ方向で隔てる隔壁の剛性を確保することができる。
また、本実施形態では、第１の個別連通流路２０１Ａのうち、Ｚ方向に延びる局所流路が、第１部分と第２部分とを有する。すなわち、上述のように、第１の個別連通流路２０１Ａのうち、Ｚ方向に延びる第１−２流路２１２が、第１部分である流路部２１２ａと第２部分である流路部２１２ｂとの両方を有するため、本実施形態では、第１−２流路２１２がこのような局所流路に相当する。
また、本実施形態では、第２の個別連通流路２０１Ｂについても同様に、Ｚ方向に延びる局所流路が第１部分と第２部分とを有する。すなわち、第２の個別連通流路２０１Ｂのうち、Ｚ方向に延びる第２−４流路２５４が第１部分である流路部２５４ａと第２部分である流路部２５４ｂとを有する。
また、本実施形態では、第１の個別連通流路２０１Ａのうち、第１の圧力室１２Ａと第１のノズル２１Ａとをつなぐ局所流路が少なくとも第２部分を有する。すなわち、本実施形態では、第１−２流路２１２が、第１の圧力室１２Ａと第１のノズル２１Ａとをつなぎ、第２の個別連通流路２０１Ｂの間に設けられていない第２部分として流路部２１２ｂを有するため、この第１−２流路２１２が、このような局所流路に相当する。
また、本実施形態では、第２の個別連通流路２０１Ｂについても同様に、第２の圧力室１２Ｂと第２のノズル２１Ｂとをつなぐ局所流路が少なくとも第２部分を有する。すなわち、第２の個別連通流路２０１Ｂのうち、第２−４流路２５４は第２部分である流路部２５４ｂを有する。
また、本実施形態では、第１の個別連通流路２０１Ａのうち、第１のノズル２１Ａとの接続部からＹ方向に延びる局所流路が少なくとも第１部分を有する。すなわち、本実施形態では、第１のノズル２１Ａとの接続部である第１−２流路２１２からＹ方向に延びる第１−３流路２１３は、第１部分である流路部２１３ａと第２部分である流路部２１３ｂとを有する。
同様に、実施形態では、第２の個別連通流路２０１Ｂのうち、第２のノズル２１Ｂとの接続部からＹ方向に延びる局所流路が少なくとも第１部分を有する。すなわち、本実施形態では、第２のノズル２１Ｂとの接続部である第２−４流路２５４からＹ方向に延びる第２−３流路２５３が第１部分である流路部２５３ａと第２部分である流路部２５３ｂとを有する。
また、本実施形態では、第１の個別連通流路２０１Ａの第２部分の容積は、第１部分の容積よりも大きい。同様に、本実施形態では、第２の個別連通流路２０１Ｂの第２部分の容積は、第１部分の容積よりも大きい。
また、第１の個別連通流路２０１Ａにおける第２部分のＸ方向の最大幅は、第１部分のＸ方向の最大幅よりも大きい。上述のように本実施形態の第１の個別連通流路２０１Ａの第１部分は、第１−２流路２１２の流路部２１２ａと、第１−３流路２１３の流路部２１３ａと、第１−５流路２１５の流路部２１５ａと、であり、第２部分は、第１−１流路２１１と、第１−２流路２１２の流路部２１２ｂと、第１−３流路２１３の流路部２１３ｂと、第１−４流路２１４と、第１−５流路２１５の流路部２１５ｂと、である。
このため、第２部分である第１−１流路２１１と、第１−２流路２１２の流路部２１２ｂと、第１−３流路２１３の流路部２１３ｂと、第１−４流路２１４と、第１−５流路２１５の流路部２１５ｂとにおけるＸ方向の最大幅が、第１部分である第１−３流路２１３の流路部２１３ａと、第１−５流路２１５の流路部２１５ａとにおけるＸ方向の最大幅よりも大きい。すなわち、Ｘ方向の最大幅とは、第１部分及び第２部分のそれぞれにおいて流路の途中でＸ方向の幅が変わっている場合には、そのうち最も大きな幅のことである。
本実施形態では、図３１に示すように、第２部分のＸ方向の最大幅は、第１−５流路２１５の第２部分である流路部２１５ｂに設けられた第１幅広部２１５ｄの幅Ｗ１である。したがって、第１幅広部２１５ｄのＸ方向の幅は、第１の個別連通流路２０１Ａの第１部分、例えば、第１−５流路２１５の第１部分である流路部２１５ａの幅Ｗ２に比べて大きい。
また、第２の個別連通流路２０１Ｂにおける第２部分のＸ方向の最大幅は、第１部分のＸ方向の最大幅よりも大きい。すなわち、第２幅広部２５１ｄのＸ方向の幅Ｗ３は、第２の個別連通流路２０１Ｂの第２幅広部２５１ｄ以外の流路の幅、例えば、流路部２５１ａのＸ方向の幅Ｗ４に比べて大きい。
また、本実施形態では、第１部分の第１の個別連通流路２０１Ａと第２の圧力室列１２０Ｂに対応する個別連通流路である第２の個別連通流路２０１Ｂとを隔てる隔壁の最大厚さよりも、第２部分の隣接する第１の個別連通流路２０１Ａを隔てる隔壁の最大厚さの方が大きい。例えば、図３２に示すように、第１の個別連通流路２０１Ａの第１−２流路２１２の第１部分である流路部２１２ａと第２の個別連通流路２０１Ｂである第２−１流路２５１とのＸ方向で隔てる隔壁の厚さｄ１１よりも、隣接する第１の個別連通流路２０１Ａを隔てる隔壁、すなわち、第１−２流路２１２の第２部分である流路部２１２ｂをＸ方向で隔てる隔壁の厚さｄ１２の方が大きくなっている。
また、本実施形態では、特に図示していないが、第１部分の第２の個別連通流路２０１Ｂと第１の圧力室列１２０Ａに対応する個別連通流路である第１の個別連通流路２０１Ａとを隔てる隔壁の最大厚さよりも、第２部分の隣接する第１の個別連通流路２０１Ａを隔てる隔壁の最大厚さの方が大きい。
また、本実施形態では、第１の圧力室列１２０Ａの隣接する第１の圧力室１２Ａを隔てる隔壁の厚さよりも、第２部分の隣接する第２の個別連通流路２０１Ｂ間を隔てる隔壁の方が厚い。すなわち、図３３に示すように、第１の圧力室１２ＡをＸ方向で隔てる隔壁の厚さｄ１３よりも、第２部分の隣接する第１の個別連通流路２０１Ａを隔てる隔壁、すなわち、第１−２流路２１２の流路部２１２ｂをＸ方向で隔てる隔壁の厚さｄ１２の方が大きくなっている。
また、本実施形態では、特に図示していないが、第２の圧力室列１２０Ｂの隣接する第２の圧力室１２Ｂを隔てる隔壁の厚さよりも、第２部分の隣接する第１の個別連通流路２０１Ａ間を隔てる隔壁の方が厚い。
なお、本実施形態では、第１のノズル２１Ａと第２のノズル２１ＢとをＹ方向に異なる位置に設けることで、第１のノズル２１ＡがＸ方向に並設された第１のノズル列２２Ａと、第２のノズル２１ＢがＸ方向に並設された第２のノズル列２２Ｂとの２列がＹ方向に並設された構成、所謂、ノズル２１がＸ方向に向かって千鳥状に配置された構成を例示したが、特にこれに限定されず、上述した実施形態１の図９と同様に、第１のノズル２１Ａと第２のノズル２１ＢとをＹ方向で同じ位置に設け、複数のノズル２１をＸ方向に直線上に配置するようにしてもよい。
また、本実施形態では、第１−４流路２１４を第２−４流路２５４よりも＋Ｙ方向に配置するようにしたが、特にこれに限定されず、第１−４流路２１４は、第２−４流路２５４よりも−Ｙ方向に配置してもよい。この場合には、第２−４流路２５４と第１−５流路２１５とは、Ｘ方向に見て交差しないが、第１−３流路２１３の流路長が長くなり、流路抵抗が増大してしまう虞がある。本実施形態では、第１−４流路２１４を第２−４流路２５４よりも＋Ｙ方向に配置することで、第１−３流路２１３の流路長を短くして流路抵抗を低減することができる。
同様に、第２−２流路２５２を第１−２流路２１２よりも−Ｙ方向に配置するようにしたが、特にこれに限定されず、第２−２流路２５２を第１−２流路よりも＋Ｙ方向に配置してもよい。この場合には、第１−２流路２１２と第２−１流路２５１とは、Ｘ方向に見て交差しないが、第２−３流路２５３の流路長が長くなり、流路抵抗が増大してしまう虞がある。本実施形態では第２−２流路２５２を第１−２流路２１２よりも−Ｙ方向に配置することで、第２−３流路２５３の流路長を短くして流路抵抗を低減することができる。
なお、上述した例では、第１の個別連通流路２０１Ａの第２部分である第１−５流路２１５の流路部２１５ｂに第１幅広部２１５ｄを設けるようにしたが、特にこれに限定されず、その他の第２部分に第１部分よりもＸ方向の幅が広くなるように設けられた部分を有してもよい。また、同様に、第２の個別連通流路２０１Ｂの第２部分である第２−１流路２５１の流路部２５１ｂに第２幅広部２５１ｄを設けるようにしたが、特にこれに限定されず、その他の第２部分に第１部分よりもＸ方向の幅が広くなるように設けられた部分を有してもよい。ここで、このような例を図３４及び図３５に示す。なお、図３４は、実施形態７に係る記録ヘッドの流路の変形例を示す−Ｚ方向からの斜視図である。また、図３５は、本実施形態の記録ヘッドの変形例を示す要部断面図であって図３２のＩ−Ｉ′線に準じた断面図である。
図３４及び図３５に示すように、第１の個別連通流路２０１Ａの第１−２流路２１２は、第１部分である流路部２１５ａを含むＺ方向の中央部に設けられた第３幅狭部２１２ｃと、第２部分である流路部２１２ｂの一部であって＋Ｚ方向の端部及び−Ｚ方向の端部のそれぞれに設けられて第３幅狭部２１２ｃよりもＸ方向の幅が広い第３幅広部２１２ｄと、を具備する。
このように、第１−２流路２１２に第３幅広部２１２ｄを設けることで、第１−２流路２１２の全体を第３幅狭部２１２ｃと同じ幅だけで設けた場合に比べて、流路抵抗及びイナータンスを小さくすることができる。したがって、第１のノズル２１Ａを高密度に配置してもインク滴の吐出特性、特にインク滴の重量を増大させることができる。また、第１−２流路２１２の流路抵抗及びイナータンスを小さくすることができるため、第１の共通液室１０１から第２の共通液室１０２へのインクの循環量が低下するのを抑制することができる。
また、図３４に示すように、第２の個別連通流路２０１Ｂの第２−４流路２５４は、第１部分である流路部２５４ａを含むＺ方向の中央部に設けられた第４幅狭部２５４ｃと、第２部分である流路部２５４ｂの一部であって＋Ｚ方向の端部及び−Ｚ方向の端部のそれぞれに設けられて第４幅狭部２５４ｃよりもＸ方向の幅が広い第４幅広部２５４ｄと、を具備する。
このように、第２−４流路２５４に第４幅広部２５４ｄを設けることで、第２−４流路２５４の全体を第４幅狭部２５４ｃと同じ幅だけで設けた場合に比べて、第２−４流路２５４の流路抵抗及びイナータンスを小さくすることができるため、第２のノズル２１Ｂを高密度に配置してもインク滴の吐出特性、特にインク滴の重量を増大させることができる。また、第２−４流路２５４の流路抵抗及びイナータンスを小さくすることができるため、第１の共通液室１０１から第２の共通液室１０２へのインクの循環量が低下するのを抑制することができる。
なお、図３５に示すように、第１の個別連通流路２０１Ａの第１−２流路２１２に第３幅広部２１２ｄを設けた場合であっても、第１の個別連通流路２０１Ａの第１−２流路２１２の第１部分である流路部２１２ａ、すなわち、第３幅狭部２１２ｃと第２の個別連通流路２０１Ｂである第２−１流路２５１との間の隔壁の最大厚さｄ２１よりも、第２部分の隣接する第１の個別連通流路２０１Ａを隔てる隔壁、すなわち、第１−２流路２１２の第２部分である流路部２１２ｂの第３幅広部２１２ｄを隔てる隔壁の最大厚さｄ２２の方が大きくなっている。
このように第１部分の第１の個別連通流路２０１Ａと第２の個別連通流路２０１Ｂとを隔てる隔壁の厚さｄ２１よりも、第２部分の隣接する第１の個別連通流路２０１Ａを隔てる隔壁の厚さｄ２２を厚くすることで、第２部分の隔壁の剛性を向上して、隔壁の剛性が低下することによるクロストークの発生を抑制することができる。
また、特に図示しないが、第２の個別連通流路２０１Ｂについても同様に、第２の個別連通流路２０１Ｂの第２−４流路２５４に第４幅広部２５４ｄを設けた場合であっても、第２の個別連通流路２０１Ｂの第２−４流路２５４の第１部分である流路部２５４ａ、すなわち、第４幅狭部２５４ｃと第１の個別連通流路２０１Ａである第１−５流路２１５との間の隔壁の最大厚さよりも、第２部分の隣接する第１の個別連通流路２０１Ａを隔てる隔壁、すなわち、第２−４流路２５４の第２部分である流路部２５４ｂの第４幅広部２５４ｄを隔てる隔壁の最大厚さの方が大きくなっている。
なお、図３５に示すように、第１−２流路２１２の第３幅狭部２１２ｃと第３幅広部２１２ｄとの間にノズル面２０ａと平行な段差面が設けられるようにしたが、特にこれに限定されない。例えば、図３６に示すように、第３幅狭部２１２ｃと第３幅広部２１２ｄとの接続部分では、Ｘ方向の幅が徐々に変化するようにしてもよい。つまり、第３幅狭部２１２ｃと第３幅広部２１２ｄとの間の段差面は、Ｙ方向に傾斜して設けられている。すなわち、第３幅広部２１２ｄから第３幅狭部２１２ｃに向かう＋Ｚ方向において、Ｘ方向の幅が徐々に漸小するようにし、第３幅狭部２１２ｃから第３幅広部２１２ｄに向かう＋Ｚ方向において、Ｘ方向の幅が徐々に漸大するようになっている。
このように、第１−２流路２１２において、第３幅狭部２１２ｃと第３幅広部２１２ｄとの接続部分を、Ｘ方向の幅が徐々に変化するようにすることで、第１−２流路２１２を通過するインクに気泡が含まれていても、気泡が段差面によって捕捉され難く、気泡排出性を向上して、気泡の滞留によるインク滴の吐出不良等の不具合を抑制することができる。
（他の実施形態）
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
上述した実施形態３〜６においても実施形態１と同様に、第１の個別連通流路２０１Ａの第２部分の容積は、第１部分の容積よりも大きくするのが好ましい。第２の個別連通流路２０１Ｂに関しても同様である。
また、上述した実施形態１〜５においても実施形態６と同様に、第１の個別連通流路２０１Ａにおける第２部分のＸ方向の最大幅は、第１部分のＸ方向の最大幅よりも大きくするのが好ましい。第２の個別連通流路２０１Ｂに関しても同様である。
また、実施形態２〜５においても実施形態１及び６と同様に、第１部分の第１の個別連通流路２０１Ａと第２の圧力室列１２０Ｂに対応する個別連通流路である第２の個別連通流路２０１Ｂとを隔てる隔壁の最大厚さよりも、第２部分の隣接する第１の個別連通流路２０１Ａを隔てる隔壁の最大厚さの方を大きくするのが好ましい。第２の個別連通流路２０１Ｂに関しても同様である。
また、実施形態２〜５においても実施形態１及び６と同様に、第１の圧力室列１２０Ａの隣接する第１の圧力室１２Ａを隔てる隔壁の厚さよりも、第２部分の隣接する第１の個別連通流路２０１Ａを隔てる隔壁の方を厚くするのが好ましい。第２の個別連通流路２０１Ｂに関しても同様である。
また、上述した実施形態２〜６においても実施形態１と同様に、第１の共通液室１０１から第２の共通液室１０２に向かう循環流において、個別流路２００のノズル２１よりも第１の共通液室１０１側の上流流路と、ノズル２１よりも第２の共通液室１０２側の下流流路とは、同じ流路抵抗となるように設けられているのが好ましい。そして、本実施形態では、第１の個別流路２００Ａと第２の個別流路２００Ｂとは、第１の共通液室１０１から第２の共通液室１０２に向かう循環流において互いに反転させた形状とするのが好ましい。
また、実施形態２〜６においても実施形態１と同様に、第１の共通液室１０１から第２の共通液室１０２に向かって個別流路２００内に循環流が生じている状態で、ノズル２１からインク滴を吐出しない非吐出時において、ノズル２１内の大気圧を基準としたインクの圧力差は、±２％以内、つまり、−２％以上、＋２％以下であることが好ましい。
また、実施形態２〜６においても実施形態１と同様に、第１上流流路と第１下流流路との流路抵抗、及び、第２上流流路と第２下流流路との流路抵抗のそれぞれが異なる場合や、ノズル２１内のインクの圧力差が±２％から外れた場合であってもよく、このような場合には、第１の圧力室列１２０Ａ及び第２の圧力室列１２０Ｂに対応する圧電アクチュエーター３００に異なる駆動パルスを供給するようにすればよい。
また、上述した各実施形態では、１つの流路基板に第１の共通液室１０１と第２の共通液室１０２とが１つずつ設けられた構成を例示したが、特にこれに限定されるものではなく、第１の共通液室１０１と第２の共通液室１０２との組を２組以上設けるようにしてもよい。また、第１の共通液室１０１と第２の共通液室１０２とがマトリックス状に配置されていてもよい。
また、上述した各実施形態では、各個別流路２００にノズル２１と圧力室１２とが１つずつ設けられた構成を例示したが、ノズル２１と圧力室１２との数は特に限定されず、１つの圧力室１２に対して２以上の複数のノズル２１が設けられていてもよく、また、１つのノズル２１に対して２以上の圧力室１２が設けられていてもよい。ただし、１つの個別流路２００に設けられたノズル２１からは、１吐出周期で同時にインク滴が吐出されるものである。つまり、１つの個別流路２００に複数のノズル２１が設けられていても、複数のノズル２１からは同時にインク滴を吐出するか、同時にインク滴を吐出しない非吐出かの何れかのみが行われればよい。すなわち、１つの個別流路２００に複数のノズル２１を設けた構成では、複数のノズル２１からのインク滴の吐出、非吐出が同時に行われればよい。
また、上述した各実施形態では、流路基板は、流路形成基板１０、連通板１５、ノズルプレート２０、コンプライアンス基板４９、ケース部材４０等を有するものとしたが、特にこれに限定されるものではなく、流路基板は１枚の基板であっても、また、２枚以上の複数の基板が積層されたものであってもよい。例えば、流路基板は、流路形成基板１０、と、ノズルプレート２０とを含んでいてもよく、連通板１５と、コンプライアンス基板４９と、ケース部材４０とを含んでいなくてもよい。また、複数の流路形成基板１０により１つの圧力室１２を形成してもよいし、流路形成基板１０に圧力室１２と第１の共通液室１０１と第２の共通液室１０２とを形成してもよい。
また、上述した各実施形態では、圧力室１２に圧力変化を生じさせるエネルギー発生素子として、薄膜型の圧電アクチュエーター３００を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、エネルギー発生素子として、圧力室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズルから液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。
ここで、本実施形態の液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の一例について図３７を参照して説明する。なお、図３７は、本発明のインクジェット式記録装置の概略構成を示す図である。
図３７に示すように、液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置Ｉでは、複数の記録ヘッド１がキャリッジ３に搭載されている。記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。本実施形態では、キャリッジ３の移動方向がＹ方向となっている。
また、装置本体４には、液体としてインクが貯留された貯留手段であるタンク２が設けられている。タンク２は、チューブ等の供給管２ａを介して記録ヘッド１と接続されており、タンク２からのインクは供給管２ａを介して記録ヘッド１に供給される。また、記録ヘッド１とタンク２とはチューブ等の排出管２ｂを介して接続されており、記録ヘッド１から排出されたインクは排出管２ｂを介してタンク２に戻される、所謂、循環が行われる。なお、タンク２は、複数で構成されていてもよい。
そして、駆動モーター７の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７ａを介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッド１を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４には搬送手段としての搬送ローラー８が設けられており、紙等の被噴射媒体である記録シートＳが搬送ローラー８により搬送されるようになっている。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラー８に限られずベルトやドラム等であってもよい。本実施形態では、記録シートＳの搬送方向がＸ方向となっている。
なお、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、記録ヘッド１がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッド１が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
なお、各実施形態では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを、また液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドや液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられ、かかる液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置にも適用できる。
Ｉ…インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、１…インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、２…タンク、２ａ…供給管、２ｂ…排出管、３…キャリッジ、４…装置本体、５…キャリッジ軸、７…駆動モーター、７ａ…タイミングベルト、８…搬送ローラー、１０…流路形成基板、１２…圧力室、１２Ａ…第１の圧力室、１２Ｂ…第２の圧力室、１２０Ａ…第１の圧力室列、１２０Ｂ…第２の圧力室列、１５…連通板、１５１…第１連通板、１５２…第２連通板、１６…第１連通部、１７…第２連通部、２０…ノズルプレート、２０ａ…ノズル面、２１…ノズル、２１Ａ…第１のノズル、２１Ｂ…第２のノズル、２２Ａ…第１のノズル列、２２Ｂ…第２のノズル列、３０…保護基板、３１…圧電アクチュエーター保持部、３２…貫通孔、４０…ケース部材、４１…第１液室部、４２…第２液室部、４３…導入口、４４…排出口、４５…接続口、４９…コンプライアンス基板、５０…振動板、６０…第１電極、７０…圧電体層、８０…第２電極、９０…リード電極、１０１…第１の共通液室、１０２…第２の共通液室、１３０…フレキシブルケーブル、１３１…駆動回路、２００…個別流路、２００Ａ…第１の個別流路、２００Ｂ…第２の個別流路、２０１…個別連通流路、２０１Ａ…第１の個別連通流路、２０１Ｂ…第２の個別連通流路、２１１…第１−１流路、２１２…第１−２流路、２１２ａ…流路部、２１２ｂ…流路部、２１３…第１−３流路、２１４…第１−４流路、２１５…第１−５流路、２１６…第１−６流路、２１７…第１−７流路、２１８…第１−８流路、２１９…第１−９流路、２１９ａ…流路部、２１９ｂ…流路部、２１９ｃ…流路部、２２３ａ…流路部、２２３ｂ…流路部、２５１…第２−１流路、２５２…第２−２流路、２５３…第２−３流路、２５４…第２−４流路、２５４ａ…流路部、２５４ｂ…流路部、２５５…第２−５流路、２５６…第２−６流路、２５７…第２−７流路、２５８…第２−８流路、２５９…第２−９流路、２５９ａ…流路部、２５９ｂ…流路部、２５９ｃ…流路部、３００…圧電アクチュエーター、４９１…封止膜、４９２…固定基板、４９３…開口部、４９４…コンプライアンス部、４９４Ａ…第１コンプライアンス部、４９４Ｂ…第２コンプライアンス部、５００…メインタンク、５０１…第１タンク、５０２…第２タンク、５０３…コンプレッサー、５０４…真空ポンプ、５０５…第１送液ポンプ、５０６…第２送液ポンプ、６００…制御部、６０６…駆動信号発生部、６０６Ａ…第１駆動信号発生部、６０６Ｂ…第２駆動信号発生部、６０７…内部インターフェース（内部Ｉ／Ｆ）、ＣＯＭ…駆動信号、ＣＯＭ１…第１駆動信号、ＣＯＭ２…第２駆動信号、ＤＰ１…第１吐出パルス、ＤＰ２…第２吐出パルス

Claims (19)

  1. 第１軸方向に液体を吐出する複数のノズルと、
    複数のノズルに共通して連通する第１及び第２の共通液室と、
    前記ノズル毎に設けられた個別流路であって、前記第１の共通液室と前記第２の共通液室とを接続すると共に前記第１の共通液室と前記第２の共通液室との間で当該ノズルと連通する個別流路と、を備え、
    各個別流路は、エネルギー発生素子が設けられた圧力室と、当該圧力室と前記第１及び第２の共通液室とをつなぐ個別連通流路と、を含み、
    複数の前記圧力室は、第１軸方向に直交する第２軸方向に沿って並設されて第１及び第２の圧力室列を構成し、前記第１の圧力室列と前記第２の圧力室列とは、前記第２軸方向に見て、前記第１軸方向及び前記第２軸方向に直交する第３軸方向に互いにシフトして配置されており、
    前記第１の圧力室列に対応する前記個別連通流路は、前記第１軸方向に見て、前記第２の圧力室列における隣接する前記圧力室間の領域と重なる部分であって、且つ前記第２軸方向に見て、前記第２の圧力室列と重ならない部分を有することを特徴とする液体噴射ヘッド。
  2. 前記第１の圧力室列に対応する前記個別連通流路は、前記第２の圧力室列に対応する前記個別連通流路を挟んで前記第２軸方向に並設されている第１部分と、前記第２の圧力室列に対応する前記個別連通流路を挟まずに前記第２軸方向に並設される第２部分と、を有することを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
  3. 前記個別連通流路のうち前記第１軸方向に延びる局所流路が、前記第１部分と前記第２部分とを有することを特徴とする請求項２記載の液体噴射ヘッド。
  4. 前記個別連通流路のうち前記圧力室と前記ノズルとをつなぐ局所流路が少なくとも前記第２部分を有することを特徴とする請求項２又は３記載の液体噴射ヘッド。
  5. 前記個別連通流路のうち前記ノズルとの接続部から前記第３軸方向に延びる局所流路が少なくとも前記第１部分を有することを特徴とする請求項２〜４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
  6. 前記個別連通流路における前記第２部分の容積は、前記第１部分の容積よりも大きいことを特徴とする請求項２〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
  7. 前記個別連通流路における前記第２部分の前記第２軸方向の最大幅は、前記第１部分の前記第２軸方向の最大幅よりも大きいことを特徴とする請求項２〜６の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
  8. 前記第１部分の前記個別連通流路と前記第２の圧力室列に対応する前記個別連通流路とを隔てる隔壁の最大厚さよりも、前記第２部分の隣接する前記個別連通流路間を隔てる隔壁の最大厚さの方が大きいことを特徴とする請求項２〜７の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
  9. 前記第１の圧力室列の隣接する前記圧力室を隔てる隔壁の厚さよりも、前記第２部分の隣接する前記個別連通流路間を隔てる隔壁の方が厚いことを特徴とする請求項２〜８の何れか一項記載の液体噴射ヘッド。
  10. 前記第２の圧力室列に対応する前記個別連通流路は、前記第１軸方向に見て、前記第１の圧力室列における隣接する前記圧力室間の領域と重なるように配置される部分であって、且つ前記第２軸方向に見て、前記第１の圧力室列と重ならないように配置される部分を有することを特徴とする請求項１〜９の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
  11. 前記第１の共通液室から前記第２の共通液室へと向かう前記個別連通流路の液流を観念したとき、前記第１の圧力室列に対応する前記ノズルは、前記圧力室の下流に設けられており、前記第２の圧力室列に対応する前記ノズルは、前記前記圧力室の上流に設けられていることを特徴とする請求項１〜１０の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
  12. 前記第１及び第２の圧力室列に対応する前記ノズルは、それぞれ前記第２軸方向に沿って並設されてノズル列を構成しており、前記第１の圧力室列に対応するノズル列と前記第２の圧力室列に対応するノズル列とは、前記第２軸方向に見て前記第３軸方向にシフトして配置されていることを特徴とする請求項１〜１１の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
  13. 前記ノズル列間のシフト距離は、前記圧力室列間のシフト距離よりも小さいことを特徴とする請求項１２記載の液体噴射ヘッド。
  14. 前記第１の共通液室から前記ノズルまでの前記個別流路の流路抵抗は、前記第２の共通液室から前記ノズルまでの前記個別流路の流路抵抗と実質的に同じであることを特徴とする請求項１〜１３の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
  15. 前記第１の共通液室から前記ノズルまでの前記個別流路の流路抵抗は、前記第１の圧力室列に対応する前記個別流路と前記第２の圧力室列に対応する前記個別流路との間で実質的に同じであることを特徴とする請求項１〜１４の何れか一項に記載の液体噴射ヘッド。
  16. 請求項１〜１５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドと、
    前記第１及び第２の共通液室の何れか一方の共通液室に液体を供給すると共に、他方の共通液室から液体を回収して前記個別流路内に循環流を生じさせる循環系と、
    を具備する液体噴射システム。
  17. 前記個別流路に循環流が生じている状態で、前記ノズルから液体を吐出させないときの前記ノズル内の圧力は、当該ノズル間で±２％以内の差であることを特徴とする請求項１６記載に液体噴射システム。
  18. 前記エネルギー発生素子に駆動パルスを供給する制御部を備えており、前記制御部は、前記第１及び第２の圧力室列に対応するエネルギー発生素子に異なる駆動パルスを供給することを特徴とする請求項１６又は１７記載の液体噴射システム。
  19. 第１軸方向に液体を吐出する複数のノズルと、
    複数のノズルに共通して連通する第１及び第２の共通液室と、
    前記ノズル毎に設けられた個別流路であって、前記第１の共通液室と前記第２の共通液室とを接続すると共に前記第１の共通液室と前記第２の共通液室との間で当該ノズルと連通する個別流路と、を備え、
    各個別流路は、エネルギー発生素子が設けられた圧力室と、当該圧力室及び前記第１及び第２の共通液室とをつなぐ個別連通流路と、を含み、
    複数の前記圧力室は、第１軸方向に直交する第２軸方向に沿って並設されて第１及び第２の圧力室列を構成し、前記第１の圧力室列と前記第２の圧力室列とは、前記第２軸方向に見て、前記第１軸方向及び前記第２軸方向に直交する第３軸方向に互いにシフトして配置されており、
    前記第１の圧力室列に対応する前記個別連通流路は、前記第２の圧力室列に対応する前記個別連通流路を挟んで前記第２軸方向に並設される第１部分と、前記第２の圧力室列に対応する前記個別連通流路を挟まずに前記第２軸方向に並設される第２部分と、を有することを特徴とする液体噴射ヘッド。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11225073B2 (en) 2019-12-03 2022-01-18 Seiko Epson Corporation Liquid ejecting head and liquid ejecting system
US11225072B2 (en) 2019-12-03 2022-01-18 Seiko Epson Corporation Liquid ejecting head and liquid ejecting system
US11491785B2 (en) 2019-12-03 2022-11-08 Seiko Epson Corporation Liquid ejecting head and liquid ejecting system
US11548280B2 (en) 2019-12-03 2023-01-10 Seiko Epson Corporation Liquid ejecting head and liquid ejecting system

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008246863A (ja) * 2007-03-30 2008-10-16 Brother Ind Ltd 液滴吐出装置
JP2010241120A (ja) * 2009-02-26 2010-10-28 Fujifilm Corp 流体液滴吐出中の供給チャンネル及び回収チャンネルにおけるクロストークの低減装置
US20110141202A1 (en) * 2009-12-10 2011-06-16 Xerox Corporation High Frequency Mechanically Actuated Inkjet
JP2015212101A (ja) * 2011-03-08 2015-11-26 コニカミノルタ株式会社 液滴吐出装置
WO2016114396A1 (ja) * 2015-01-16 2016-07-21 コニカミノルタ株式会社 インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置
JP2016150487A (ja) * 2015-02-17 2016-08-22 セイコーエプソン株式会社 液体噴射装置
JP2017144699A (ja) * 2016-02-19 2017-08-24 キヤノン株式会社 記録素子基板、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置
WO2018225333A1 (ja) * 2017-06-06 2018-12-13 コニカミノルタ株式会社 インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4835554A (en) * 1987-09-09 1989-05-30 Spectra, Inc. Ink jet array
JP2010214847A (ja) * 2009-03-18 2010-09-30 Fujifilm Corp 液滴吐出ヘッドおよび画像形成装置
JP5410488B2 (ja) * 2011-09-27 2014-02-05 富士フイルム株式会社 インクジェットヘッドおよびインクジェット記録装置
CN103826860B (zh) * 2011-09-28 2015-12-02 惠普发展公司，有限责任合伙企业 流体喷射装置中的槽到槽循环
JP5928700B2 (ja) * 2012-03-07 2016-06-01 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置
JP6447819B2 (ja) * 2015-03-10 2019-01-09 セイコーエプソン株式会社 ヘッド及び液体噴射装置
US10315421B2 (en) * 2015-12-31 2019-06-11 Fujifilm Dimatix, Inc. Fluid ejection devices
IT201700034134A1 (it) * 2017-03-28 2018-09-28 St Microelectronics Srl Dispositivo di eiezione di fluido con elemento di riduzione del crosstalk, testina di stampa includente il dispositivo di eiezione, stampante includente la testina di stampa e procedimento di fabbricazione del dispositivo di eiezione

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008246863A (ja) * 2007-03-30 2008-10-16 Brother Ind Ltd 液滴吐出装置
JP2010241120A (ja) * 2009-02-26 2010-10-28 Fujifilm Corp 流体液滴吐出中の供給チャンネル及び回収チャンネルにおけるクロストークの低減装置
US20110141202A1 (en) * 2009-12-10 2011-06-16 Xerox Corporation High Frequency Mechanically Actuated Inkjet
JP2015212101A (ja) * 2011-03-08 2015-11-26 コニカミノルタ株式会社 液滴吐出装置
WO2016114396A1 (ja) * 2015-01-16 2016-07-21 コニカミノルタ株式会社 インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置
JP2016150487A (ja) * 2015-02-17 2016-08-22 セイコーエプソン株式会社 液体噴射装置
JP2017144699A (ja) * 2016-02-19 2017-08-24 キヤノン株式会社 記録素子基板、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置
WO2018225333A1 (ja) * 2017-06-06 2018-12-13 コニカミノルタ株式会社 インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11225073B2 (en) 2019-12-03 2022-01-18 Seiko Epson Corporation Liquid ejecting head and liquid ejecting system
US11225072B2 (en) 2019-12-03 2022-01-18 Seiko Epson Corporation Liquid ejecting head and liquid ejecting system
US11491785B2 (en) 2019-12-03 2022-11-08 Seiko Epson Corporation Liquid ejecting head and liquid ejecting system
US11548280B2 (en) 2019-12-03 2023-01-10 Seiko Epson Corporation Liquid ejecting head and liquid ejecting system

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