JP2021024080A - 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】効率的な流路の配置と、複数のノズルにおける吐出効率の向上とを両立させる。【解決手段】液体を吐出する第１ノズルＮ１と第２ノズルＮ２と、液体の吐出方向に直交する方向に沿って並設された複数の個別流路を含む個別流路列と、複数の個別流路に共通して連通する第１共通液室と、複数の個別流路に共通して連通する第２共通液室と、を具備する液体吐出ヘッドであって、複数の個別流路は隣り合う第１個別流路Ｑ１および第２個別流路Ｑ２を含み、第１個別流路においては、第１共通液室と第１ノズルとを連通させる第１連通流路Ｑ１１のイナータンスが、第２共通液室と第１ノズルとを連通させる第２連通流路Ｑ１２のイナータンスよりも小さく、第２個別流路においては、第２共通液室と第２ノズルとを連通させる第３連通流路Ｑ２３のイナータンスが、第１共通液室と第２ノズルとを連通させる第４連通流路Ｑ２４のイナータンスよりも小さい液体吐出ヘッド。【選択図】図６

Description

本発明は、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置に関する。

インク等の液体を複数のノズルから吐出する液体吐出ヘッドが従来から提案されている。例えば特許文献１には、複数のノズルが配列された２つのノズル列を具備する液体吐出ヘッドが開示されている。複数のノズルが配列する方向における各ノズルの位置は、２つのノズル列の間において相違する。

特開２０１３−１８４３７２号公報

近年の液体噴射ヘッドにおいてはノズルの高密度化の要求が非常に高い。多数のノズルを高密度に形成するには、各ノズルに連通する流路を効率的に配置することが重要である。他方、各ノズルによるインクの吐出に関する効率を高い水準に維持する必要もある。従来の技術においては、各ノズルに連通する流路の配置に関する効率化と、各ノズルによるインクの吐出に関する効率化との両立は容易ではない。

以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様に係る液体吐出ヘッドは、第１軸に沿って液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルについてそれぞれ設けられ、前記第１軸の方向からみて前記第１軸に直交する第２軸に沿って並設された複数の個別流路を含む個別流路列と、前記複数のノズルについてそれぞれ設けられ、液体を吐出するためのエネルギーを発生する複数のエネルギー発生部と、前記複数の個別流路に共通して連通する第１共通液室と、前記複数の個別流路に共通して連通する第２共通液室と、を具備する液体吐出ヘッドであって、前記複数の個別流路は、前記個別流路列において隣り合う第１個別流路および第２個別流路を含み、前記第１個別流路においては、前記第１共通液室と前記複数のノズルのうちの第１ノズルとを連通させる第１連通流路の途中に前記複数のエネルギー発生部のうちの第１エネルギー発生部が設けられ、当該第１連通流路のイナータンスが、前記第２共通液室と前記第１ノズルとを連通させる第２連通流路のイナータンスよりも小さく、前記第２個別流路においては、前記第２共通液室と前記複数のノズルのうちの第２ノズルとを連通させる第３連通流路の途中に前記複数のエネルギー発生部のうちの第２エネルギー発生部が設けられ、当該第３連通流路のイナータンスが、前記第１共通液室と前記第２ノズルとを連通させる第４連通流路のイナータンスよりも小さい。

本発明の第１実施形態に係る液体吐出装置の構成を示すブロック図である。 液体吐出ヘッドの分解斜視図である。 液体吐出ヘッドの断面図である。 液体吐出ヘッドの断面図である。 液体吐出ヘッドに形成される流路の模式図である。 第１個別流路および第２個別流路の模式図である。 第１個別流路の断面図である。 第２個別流路の断面図である。 第２実施形態に係る第１個別流路の断面図である。 第２実施形態に係る第２個別流路の断面図である。

Ａ．第１実施形態
図１は、本発明の第１実施形態に係る液体吐出装置１００を例示する構成図である。第１実施形態の液体吐出装置１００は、液体の例示であるインクを媒体１２に吐出するインクジェット方式の印刷装置である。媒体１２は、典型的には印刷用紙であるが、樹脂フィルムまたは布帛等の任意の材質の印刷対象が媒体１２として利用される。図１に例示される通り、液体吐出装置１００には、インクを貯留する液体容器１４が設置される。例えば液体吐出装置１００に着脱可能なカートリッジ、可撓性のフィルムで形成された袋状のインクパック、または、インクを補充可能なインクタンクが液体容器１４として利用される。色彩が相違する複数種のインクが液体容器１４には貯留される。

図１に例示される通り、液体吐出装置１００は、制御ユニット２０と搬送機構２２と移動機構２４と液体吐出ヘッド２６とを具備する。制御ユニット２０は、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）またはＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）等の処理回路と半導体メモリー等の記憶回路とを含み、液体吐出装置１００の各要素を統括的に制御する。搬送機構２２は、制御ユニット２０による制御のもとで媒体１２をＹ軸の方向に搬送する。

移動機構２４は、制御ユニット２０による制御のもとで液体吐出ヘッド２６をＸ軸の方向に往復させる。Ｘ軸は、媒体１２が搬送されるＹ軸に交差する。典型的にはＸ軸とＹ軸とは直交する。第１実施形態の移動機構２４は、液体吐出ヘッド２６を収容する略箱型の搬送体８２と、搬送体８２が固定された搬送ベルト８４とを具備する。なお、複数の液体吐出ヘッド２６を搬送体８２に搭載した構成や、液体容器１４を液体吐出ヘッド２６とともに搬送体８２に搭載した構成も採用され得る。

液体吐出ヘッド２６は、液体容器１４から供給されるインクを制御ユニット２０による制御のもとで複数のノズルから媒体１２に吐出する。制御ユニット２０は、ノズルからインクを吐出させるための各種の信号および電圧を生成して液体吐出ヘッド２６に供給する。インクはＺ軸に沿って吐出される。Ｘ-Ｙ平面に垂直な軸がＺ軸である。すなわち、Ｘ軸とＹ軸とはＺ軸に直交する。Ｚ軸は「第１軸」の例示であり、Ｙ軸は「第２軸」の例示であり、Ｘ軸は「第３軸」の例示である。搬送機構２２による媒体１２の搬送と搬送体８２の反復的な往復とに並行して液体吐出ヘッド２６が媒体１２にインクを吐出することで、媒体１２の表面に所望の画像が形成される。

図２は、液体吐出ヘッド２６の分解斜視図である。図２に例示される通り、液体吐出ヘッド２６は、Ｙ軸の方向に配列された複数のノズルＮを具備する。第１実施形態の複数のノズルＮは、Ｘ軸の方向に相互に間隔をあけて並設された第１列Ｌ1と第２列Ｌ2とに区分される。第１列Ｌ1および第２列Ｌ2の各々は、Ｙ軸の方向に直線状に配列された複数のノズルＮの集合である。図２に例示される通り、第１列Ｌ1と第２列Ｌ2との間で各ノズルＮのＹ軸における位置が相違する。具体的には、Ｘ軸の方向からみて、第１列Ｌ1において相互に隣り合う２個のノズルＮの間に第２列Ｌ2における１個のノズルＮが位置する。

図３は、図２におけるIII−III線の断面図であり、図４は、図２おけるIV−IV線の断面図である。図３は、第１列Ｌ1における１個のノズルＮに関連する要素の断面図であり、図４は、第２列Ｌ2における１個のノズルＮに関連する要素の断面図である。図３および図４から理解される通り、第１列Ｌ1のノズルＮに関連する要素と第２列Ｌ2の各ノズルＮに関連する要素とは、Ｙ-Ｚ平面に対して反転した関係にある。

図２から図４に例示される通り、液体吐出ヘッド２６は、流路構造体３０を具備する。流路構造体３０は、各ノズルＮにインクを供給するための流路を構成する。図２に例示される通り、流路構造体３０におけるＺ軸の負方向には、振動板４２と保護基板４６と筐体部４８とが設置される。他方、流路基板３２におけるＺ軸の正方向には、ノズル板６２と吸振体６４とが設置される。液体吐出ヘッド２６の各要素は、概略的にはＹ軸に沿う長尺な板状部材であり、例えば接着剤を利用して相互に接合される。

ノズル板６２は、複数のノズルＮが形成された板状部材であり、流路構造体３０におけるＺ軸の正方向の表面に設置される。複数のノズルＮの各々は、インクを通過させる円形状の貫通孔である。第１実施形態のノズル板６２には、第１列Ｌ1を構成する複数のノズルＮと第２列Ｌ2を構成する複数のノズルＮとが形成される。例えばドライエッチングやウェットエッチング等の半導体製造技術を利用してシリコンの単結晶基板を加工することで、ノズル板６２が製造される。ただし、ノズル板６２の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。

図２から図４に例示される通り、流路構造体３０は、流路基板３２と圧力室基板３４とを具備する。流路基板３２は流路構造体３０におけるＺ軸の正方向に位置し、圧力室基板３４は流路構造体３０におけるＺ軸の負方向に位置する。図２に例示される通り、流路基板３２には空間Ｋa1と空間Ｋa2とが形成される。空間Ｋa1および空間Ｋa2の各々は、Ｙ軸に沿う長尺状の開口である。空間Ｋa1は、流路基板３２におけるＸ軸の正方向に形成され、空間Ｋa2は、流路基板３２におけるＸ軸の負方向に形成される。

第１実施形態の流路基板３２は、第１基板３２１と第２基板３２２との積層で構成される。第２基板３２２と圧力室基板３４との間に第１基板３２１が位置する。図３および図４に例示される通り、空間Ｋa1は、第１基板３２１と第２基板３２２とにわたり形成される。同様に、空間Ｋa2は、第１基板３２１と第２基板３２２とにわたり形成される。

筐体部４８は、インクを貯留するためのケースである。筐体部４８には、空間Ｋa1に対応する空間Ｋb1と、空間Ｋa2に対応する空間Ｋb2とが形成される。流路構造体３０の空間Ｋa1と筐体部４８の空間Ｋb1とは相互に連通し、流路構造体３０の空間Ｋa2と筐体部４８の空間Ｋb2とは相互に連通する。空間Ｋa1と空間Ｋb1とで構成される空間は、第１共通液室Ｋ1として機能し、空間Ｋa2と空間Ｋb2とで構成される空間は第２共通液室Ｋ2として機能する。第１共通液室Ｋ1と第２共通液室Ｋ2とは、複数のノズルＮにわたり共通に形成された空間であり、複数のノズルＮに供給されるインクを貯留する。

筐体部４８には、導入口４８１と排出口４８２とが形成される。第１共通液室Ｋ1には導入口４８１を介してインクが供給される。第２共通液室Ｋ2内のインクは排出口４８２を介して排出される。吸振体６４は、第１共通液室Ｋ1および第２共通液室Ｋ2の壁面を構成する可撓性のフィルムであり、第１共通液室Ｋ1内のインクおよび第２共通液室Ｋ2内のインクの圧力変動を吸収する。

図５は、液体吐出ヘッド２６に形成される流路の模式図である。図５に例示される通り、流路構造体３０にはノズルＮ毎に個別流路Ｑが形成される。すなわち、複数のノズルＮについて複数の個別流路Ｑがそれぞれ設けられる。図３および図４に例示される通り、ノズル板６２において個別流路Ｑの壁面を構成する部分にノズルＮが形成される。すなわち、個別流路Ｑから分岐するようにノズルＮが形成される。第１共通液室Ｋ1と第２共通液室Ｋ2とは、個別流路Ｑを介して相互に連通する。具体的には、第１共通液室Ｋ1の空間Ｋa1と第２共通液室Ｋ2の空間Ｋa2とが連通するように個別流路Ｑが形成される。個別流路Ｑは、第１共通液室Ｋ1の内壁面から第２共通液室Ｋ2の内壁面にかけて形成される流路である。第１列Ｌ1のノズルＮに対応する個別流路Ｑと、第２列Ｌ2のノズルＮに対応する個別流路ＱとはＹ-Ｚ平面に対して反転した関係にある。

図３に例示される通り、第１列Ｌ1のノズルＮに対応する個別流路Ｑの一方の端部である開口Ｏ1は、空間Ｋa1の内壁面における上面に形成され、他方の端部である開口Ｏ2は、空間Ｋa2の内壁面における側面に形成される。開口Ｏ1は、第１列Ｌ1のノズルＮに対応する個別流路Ｑと空間Ｋa1の内壁面との境界面であり、開口Ｏ2は、第１列Ｌ1のノズルＮに対応する個別流路Ｑと空間Ｋa2の内壁面との境界面であるとも換言できる。図４に例示される通り、第２列Ｌ2のノズルＮに対応する個別流路Ｑの一方の端部である開口Ｏ3は、空間Ｋa2の内壁面における側面に形成され、他方の端部である開口Ｏ4は、空間Ｋa1の内壁面における側面に形成される。開口Ｏ4は、第２列Ｌ2のノズルＮに対応する個別流路Ｑと空間Ｋa1の内壁面との境界面であり、開口Ｏ3は、第２列Ｌ2のノズルＮに対応する個別流路Ｑと空間Ｋa2の内壁面との境界面であるとも換言できる。

図５に例示される通り、複数の個別流路Ｑは、Ｙ軸に沿って相互に並設される。すなわち、複数の個別流路Ｑを含む個別流路列が形成される。具体的には、第１列Ｌ1のノズルＮに対応する個別流路Ｑと、第２列Ｌ2のノズルＮに対応する個別流路Ｑとは、Ｙ軸の方向に交互に配列される。以上の説明から理解される通り、複数の個別流路Ｑは、第１供給液室Ｋ1および第２共通液室Ｋ2の各々に連通する。第１共通液室Ｋ1から個別流路Ｑに供給されるインクのうちノズルＮから吐出されないインクが第２共通液室Ｋ2に貯留される。

図５に例示される通り、液体吐出装置１００は循環機構９０を具備する。循環機構９０は、液体吐出ヘッド２６から排出されるインクを当該液体吐出ヘッド２６に環流させる機構である。循環機構９０は、液体吐出ヘッド２６に供給されるインクを循環させる機構であり、例えば供給流路９１と排出流路９２と循環ポンプ９３とを具備する。

供給流路９１は、第１共通液室Ｋ1にインクを供給するための流路であり、第１共通液室Ｋ1の導入口４８１に接続される。排出流路９２は、第２共通液室Ｋ2からインクを排出するための流路であり、第２共通液室Ｋ2の排出口４８２に接続される。循環ポンプ９３は、排出流路９２から供給されるインクを供給流路９１に送出する圧送機構である。すなわち、第２共通液室Ｋ2から排出されたインクが排出流路９２と循環ポンプ９３と供給流路９１とを経由して第１共通液室Ｋ1に環流される。以上の説明から理解される通り、循環機構９０は、第２共通液室Ｋ2からインクを回収し、回収後のインクを第１共通液室Ｋ1に還流させる要素として機能する。なお、循環機構９０が、第１共通液室Ｋ1からインクを回収し、第２共通液室Ｋ2に還流させる構成も採用される。

図５に例示される通り、個別流路Ｑは、圧力室Ｃを含む。図２に例示される通り、圧力室Ｃは圧力室基板３４に形成される。圧力室基板３４は、複数のノズルＮについて複数の圧力室Ｃがそれぞれ設けられた板状部材である。各圧力室Ｃは、平面視でＸ軸に沿う長尺状の空間である。図２および図３に例示される通り、第１列Ｌ1の各ノズルＮに対応する複数の圧力室Ｃは、圧力室基板３４におけるＸ軸の正方向の部分において、Ｙ軸の方向に沿って配列される。図４に例示される通り、第２列Ｌ2の各ノズルＮに対応する複数の圧力室Ｃは、圧力室基板３４におけるＸ軸の負方向の部分において、Ｙ軸の方向に沿って配列される。各圧力室Ｃは、平面視においてノズルＮに重なる。

流路基板３２および圧力室基板３４は、前述のノズル板６２と同様に、例えば半導体製造技術を利用してシリコンの単結晶基板を加工することで製造される。ただし、流路基板３２および圧力室基板３４の製造には公知の材料や製法が任意に採用され得る。

図２に例示される通り、圧力室基板３４において流路基板３２とは反対側の表面には振動板４２が形成される。第１実施形態の振動板４２は、弾性的に振動可能な板状部材である。なお、所定の板厚の板状部材のうち圧力室Ｃに対応する領域について板厚方向の一部を選択的に除去することで、振動板４２の一部または全部を圧力室基板３４と一体に形成してもよい。圧力室Ｃは、流路基板３２と振動板４２との間に位置する空間である。

図２から図４に例示される通り、振動板４２において圧力室Ｃとは反対側の面上には、ノズルＮ毎にエネルギー発生部４４が形成される。複数のノズルＮについて複数のエネルギー発生部４４がそれぞれ設けられる。各エネルギー発生部４４は、インクを吐出するためのエネルギーを発生する。具体的には、エネルギー発生部４４は、圧力室Ｃ内の圧力を変動させることで、インクをノズルＮから吐出させる駆動素子である。第１実施形態では、振動板４２を変形させることで当該圧力室Ｃの容積を変化させる圧電素子がエネルギー発生部４４として利用される。すなわち、エネルギー発生部４４は、インクを吐出するための圧力を発生する。具体的には、エネルギー発生部４４は、駆動信号の供給により変形するアクチュエーターであり、平面視でＸ軸に沿う長尺状に形成される。複数のエネルギー発生部４４は、複数の圧力室Ｃに対応するようにＹ軸の方向に配列する。エネルギー発生部４４の変形に連動して振動板４２が振動すると、圧力室Ｃ内の圧力が変動することで、圧力室Ｃに充填されたインクがノズルＮを通過して吐出される。

図２の保護基板４６は、複数のエネルギー発生部４４を保護するとともに振動板４２の機械的な強度を補強する板状部材である。振動板４２を挟んで圧力室基板３４とは反対側に保護基板４６が設置される。保護基板４６と振動板４２との間に複数のエネルギー発生部４４が設置される。保護基板４６は、例えばシリコン（Ｓi）で形成される。図３および図４に例示される通り、振動板４２の表面には、例えば配線基板５０が接合される。配線基板５０は、制御ユニット２０または電源回路と液体吐出ヘッド２６とを電気的に接続するための複数の配線が形成された実装部品である。例えばＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）やＦＦＣ（Flexible Flat Cable）等の可撓性の配線基板５０が好適に採用される。配線基板５０に実装される駆動回路５２は、駆動信号を各エネルギー発生部４４に供給する。

図６は、個別流路列においてＹ軸の方向に相互に隣り合う２つの個別流路Ｑに着目した模式図である。２つの個別流路Ｑのうち一方を「第１個別流路Ｑ1」と表記し、他方を「第２個別流路Ｑ2」と表記する。図７は、第１個別流路Ｑ1の断面図であり、図８は、第２個別流路Ｑ2の断面図である。図３に例示される個別流路Ｑの拡大図が図７であり、図４に例示される個別流路Ｑの拡大図が図８である。第１個別流路Ｑ1は、第１列Ｌ1における任意の１個のノズルＮ（以下「第１ノズルＮ1」という）に対応する個別流路Ｑであり、第２個別流路Ｑ2は、第２列Ｌ2における任意の１個のノズルＮ（以下「第２ノズルＮ2」という）に対応する個別流路Ｑである。第１ノズルＮ1と第２ノズルＮ2とは、ノズル板６２に形成される複数のノズルＮのうち、Ｘ軸の方向からみて相互に隣り合う２個のノズルＮである。また、複数の圧力室Ｃのうち第１個別流路Ｑ1に対応する圧力室Ｃを「第１圧力室Ｃ1」と表記し、複数の圧力室Ｃのうち第２個別流路Ｑ2に対応する圧力室Ｃを「第２圧力室Ｃ2」と表記する。

第１個別流路Ｑ1と第２個別流路Ｑ2とは、Ｘ-Ｚ平面に対して反転した関係にある。図６および図７に例示される通り、第１個別流路Ｑ1は、第１連通流路Ｑ11と第２連通流路Ｑ12とを含む。

第１連通流路Ｑ11は、第１共通液室Ｋ1と第１ノズルＮ1とを連通する。具体的には、第１連通流路Ｑ11は、空間Ｋa1の上面に形成された開口Ｏ1から、第１ノズルＮ1におけるＺ軸の負方向の開口に至るまでの流路である。第１実施形態の第１連通流路Ｑ11は、第１流路１１１と圧力室Ｃと第２流路１１２とを含む。第１流路１１１は、空間Ｋa1と第１圧力室Ｃ1とを連通する。具体的には、第１流路１１１は、第１基板３２１においてＺ軸に沿って形成される貫通孔である。第１圧力室Ｃ1は、第１流路１１１と第２流路１１２とを連通する。上述した通り、第１圧力室Ｃ1は、圧力室基板３４に形成されるＸ軸に沿った長尺状の空間である。第１ノズルＮ1に対応するエネルギー発生部４４は、振動板４２のうち第１圧力室Ｃ1とは反対側の表面に設置される。第１個別流路Ｑ1の途中に第１ノズルＮ1に対応するエネルギー発生部４４が設けられる、とも換言できる。なお、第１ノズルＮ1に対応するエネルギー発生部４４は「第１エネルギー発生部」の例示である。第２流路１１２は、圧力室Ｃと第１ノズルＮ1とを連通する。具体的には、第２流路１１２は、第１基板３２１および第２基板３２２にわたりＺ軸に沿って形成される貫通孔である。

第１圧力室Ｃ1は、第１流路１１１を介して第１共通液室Ｋ1に連通し、第２流路１１２を介して第１ノズルＮ1に連通する。したがって、第１共通液室Ｋ1から第１流路１１１を介して第１圧力室Ｃ1に充填されたインクは、当該第１圧力室Ｃ1に対応するエネルギー発生部４４の変形により、第２流路１１２を通過して第１ノズルＮ1から吐出される。

第２連通流路Ｑ12は、第２共通液室Ｋ2と第１ノズルＮ1とを連通する。具体的には、第２連通流路Ｑ12は、第１ノズルＮ1の中心軸を含みＹ-Ｚ平面に平行な平面から、空間Ｋa2の側面に形成された開口Ｏ2に至るまでの流路である。第１実施形態の第２連通流路Ｑ12は、第３流路１２１と第４流路１２２と第５流路１２３とを含む。第３流路１２１は、第１ノズルＮ1と第４流路１２２とを連通する。具体的には、第３流路１２１は、第２基板３２２におけるＺ軸の正方向の表面にＸ軸に沿って形成される。第４流路１２２は、第３流路１２１と第５流路１２３とを連通する。具体的には、第４流路１２２は、第２基板３２２においてＺ軸に沿って形成される貫通孔である。第５流路１２３は、第４流路１２２と第２共通液室Ｋ2とを連通する。具体的には、第５流路１２３は、第２基板３２２におけるＺ軸の負方向の表面にＸ軸に沿って形成される。第１共通液室Ｋ1から第１個別流路Ｑ1に供給されたインクのうち第１ノズルＮ1から吐出されないインクが、第２共通液室Ｋ2に貯留される。

図６および図８に例示される通り、第２個別流路Ｑ2は、第３連通流路Ｑ23と第４連通流路Ｑ24とを含む。第３連通流路Ｑ23は第１連通流路Ｑ11に対応し、第４連通流路Ｑ24は第２連通流路Ｑ12に対応する。第１連通流路Ｑ11と第４連通流路Ｑ24とは、Ｘ軸の正方向においてＹ軸に沿って交互に位置する。第２連通流路Ｑ12と第３連通流路Ｑ23とは、Ｘ軸の負方向においてＹ軸に沿って交互に位置する。

第４連通流路Ｑ24は、第１共通液室Ｋ1と第２ノズルＮ2とを連通する。具体的には、第４連通流路Ｑ24は、空間Ｋa1の側面に形成された開口Ｏ4から、第２ノズルＮ2の中心軸を含みＹ-Ｚ平面に平行な平面に至るまでの流路である。第１実施形態の第４連通流路Ｑ24は、第６流路２４１と第７流路２４２と第８流路２４３とを含む。第６流路２４１は、第１共通液室Ｋ1と第７流路２４２とを連結する。具体的には、第６流路２４１は、第２基板３２２におけるＺ軸の負方向の表面にＸ軸に沿って形成される。第７流路２４２は、第６流路２４１と第８流路２４３とを連結する。具体的には、第７流路２４２は、第２基板３２２においてＺ軸に沿って形成される貫通孔である。第８流路２４３は、第７流路２４２と第２ノズルＮ2とを連通する。具体的には、第８流路２４３は、第２基板３２２におけるＺ軸の正方向の表面にＸ軸に沿って形成される。

第３連通流路Ｑ23は、第２共通液室Ｋ2と第２ノズルＮ2とを連通する流路である。具体的には、第３連通流路Ｑ23は、第２ノズルＮ2のうちＺ軸の負方向における開口から、空間Ｋa2の上面に形成された開口Ｏ3に至るまでの流路である。第１実施形態の第３連通流路Ｑ23は、第９流路２３１と第２圧力室Ｃ2と第１０流路２３２とを含む。第９流路２３１は、第２ノズルＮ2と第２圧力室Ｃ2とを連結する。具体的には、第９流路２３１は、第１基板３２１および第２基板３２２にわたりＺ軸に沿って形成される貫通孔である。
第２圧力室Ｃ2は、第９流路２３１と第１０流路２３２とを連通する。上述した通り、第２圧力室Ｃ2は、圧力室基板３４に形成されるＸ軸に沿った長尺状の空間である。第２ノズルＮ2に対応するエネルギー発生部４４は、振動板４２のうち第２圧力室Ｃ2とは反対側の表面に設置される。第２個別流路Ｑ2の途中に第２ノズルＮ2に対応するエネルギー発生部４４が設けられる、とも換言できる。なお、第２ノズルＮ2に対応するエネルギー発生部４４は「第２エネルギー発生部」の例示である。第１０流路２３２は、第２圧力室Ｃ2と空間Ｋa2とを連通する。具体的には、第１０流路２３２は、第１基板３２１においてＺ軸に沿って形成される貫通孔である。

第１共通液室Ｋ1から第４連通流路Ｑ24および第９流路２３１を介して第２圧力室Ｃ2にインクが充填される。第２圧力室Ｃ2内のインクは、エネルギー発生部４４の変形により、第９流路２３１を介して第２ノズルＮ2から吐出される。第１共通液室Ｋ1から第２個別流路Ｑ2に供給されたインクのうち第２ノズルＮ2から吐出されないインクが、第２共通液室Ｋ2に貯留される。

第１個別流路Ｑ1の流路抵抗Ｒと第２個別流路Ｑ2の流路抵抗Ｒとは等しい。流路抵抗Ｒは、第１連通流路Ｑ11の流路抵抗Ｒと第２連通流路Ｑ12の流路抵抗Ｒとの合計値である。第２個別流路Ｑ2の流路抵抗Ｒは、第３連通流路Ｑ23の流路抵抗Ｒと第４連通流路Ｑ24の流路抵抗Ｒとの合計値である。流路抵抗Ｒは、例えば、以下の式（１）により算出される。μはインクの粘度であり、Ｌは流路長であり、ｄは流路径である。なお、流路の断面形状が真円以外である場合は、流路の断面積と面積が等しい円形における直径を流路径ｄとする。なお、流路径が異なる複数の区間で構成される流路の流路抵抗Ｒは、当該各区間の流路抵抗Ｒの合計値が流路の流路抵抗Ｒとなる。
Ｒ＝１２８μＬ／πｄ^４…（１）

式（１）から理解される通り、流路長Ｌおよび流路径ｄを調整することで流路抵抗Ｒを設定することが可能である。第１個別流路Ｑ1の流路抵抗Ｒと第２個別流路Ｑ2の流路抵抗Ｒとを等しくすることで、第１ノズルＮ1と第２ノズルＮ2との間で吐出特性に誤差が生じることを低減できる。吐出特性は、例えば吐出量、吐出方向または吐出速度である。

第１実施形態では、第１連通流路Ｑ11の流路抵抗Ｒと第４連通流路Ｑ24の流路抵抗Ｒとは等しい。したがって、第１共通液室Ｋ1から第１連通流路Ｑ11を介して第１ノズルＮ1へと向かうインクの流動で生じる圧力損失と、第１共通液室Ｋ1から第４連通流路Ｑ24を介して第２ノズルＮ2へと向かうインクの流動で生じる圧力損失との誤差を低減できる。すなわち、第１ノズルＮ1と第２ノズルＮ2との間における吐出特性の誤差を低減できる。なお、第１連通流路Ｑ11の流路抵抗Ｒは、第１流路１１１の流路抵抗Ｒと第１圧力室Ｃ1の流路抵抗Ｒと第２流路１１２の流路抵抗Ｒとの合計値である。また、第４連通流路Ｑ24の流路抵抗Ｒは、第６流路２４１の流路抵抗Ｒと第７流路２４２の流路抵抗Ｒと第８流路２４３の流路抵抗Ｒとの合計値である。

第２連通流路Ｑ12の流路抵抗Ｒと第３連通流路Ｑ23の流路抵抗Ｒとは等しい。したがって、第１ノズルＮ1から第２連通流路Ｑ12を介して第２共通液室Ｋ2へと向かうインクの流動で生じる圧力損失と、第２ノズルＮ2から第３連通流路Ｑ23を介して第２共通液室Ｋ2へと向かうインクの流動で生じる圧力損失との誤差を低減できる。すなわち、第１ノズルＮ1と第２ノズルＮ2との間における吐出特性の誤差を低減できる。なお、第２連通流路Ｑ12の流路抵抗Ｒは、第３流路１２１の流路抵抗Ｒと第４流路１２２の流路抵抗Ｒと第５流路１２３の流路抵抗Ｒとの合計値である。また、第３連通流路Ｑ23の流路抵抗Ｒは、第９流路２３１の流路抵抗Ｒと第２圧力室Ｃ2の流路抵抗Ｒと第１０流路２３２の流路抵抗Ｒとの合計値である。

実際には、第２共通液室Ｋ2からも第１ノズルＮ1にインクが供給され得る。そこで、第１実施形態では、第１連通流路Ｑ11の流路抵抗Ｒと第２連通流路Ｑ12の流路抵抗Ｒとを等しくする。すなわち、第１個別流路Ｑ1において第１ノズルＮ1からみて第１共通液室Ｋ1側と第２共通液室Ｋ2側とで流路抵抗Ｒが等しくなる。したがって、第１共通液室Ｋ1から第１ノズルＮ1にインクが供給された場合と、第２共通液室Ｋ2から第１ノズルＮ1にインクが供給された場合とで、第１ノズルＮ1の吐出特性に誤差が生じることを低減できる。

同様に、第２共通液室Ｋ2からも第２ノズルＮ2にインクが供給される場合がある。そこで、第３連通流路Ｑ23の流路抵抗Ｒと第４連通流路Ｑ24の流路抵抗Ｒとを等しくする。すなわち、第２個別流路Ｑ2において第２ノズルＮ2からみて第１共通液室Ｋ1側と第２共通液室Ｋ2側とで流路抵抗Ｒが等しくなる。したがって、第１共通液室Ｋ1から第２ノズルＮ2にインクが供給された場合と、第２共通液室Ｋ2から第２ノズルＮ2にインクが供給された場合とで、第２ノズルＮ2の吐出特性に誤差が生じることを低減できる。

なお、「流路Ａの流路抵抗Ｒaと流路Ｂの流路抵抗Ｒbとが等しい」とは、流路抵抗Ｒaと流路抵抗Ｒbとが厳密に一致する場合のほか、流路抵抗Ｒaと流路抵抗Ｒbとが実質的に等しい場合も包含する。「流路抵抗Ｒaと流路抵抗Ｒbとが実質的に等しい」とは、例えば流路抵抗Ｒaと流路抵抗Ｒbとが製造誤差の範囲内にある場合である。例えば、流路抵抗Ｒaと流路抵抗Ｒｂとが以下の式（２）を満たす場合、「流路抵抗Ｒaと流路抵抗Ｒｂとが実質的に等しい」と言える。
０．４５≦Ｒa／（Ｒa＋Ｒb）≦０．５５…（２）

式（２）から理解される通り、例えば「第１連通流路Ｑ11の流路抵抗Ｒと第２連通流路Ｑ12の流路抵抗Ｒとが実質的に等しい」とは、第１個別流路Ｑ1の全体の流路抵抗Ｒの半値に対して、第１ノズルＮ1を基準として流路抵抗Ｒが±５％以内のズレ量で第１連通流路Ｑ11と第２連通流路Ｑ12とが形成されることを意味する。ここでは第１連通流路Ｑ11と第２連通流路Ｑ12との流路抵抗Ｒの関係に着目したが、他の流路間の流路抵抗Ｒの関係についても同様である。

以上に説明した流路抵抗の条件に加えて、第１実施形態においては、第１個別流路Ｑ1における第１連通流路Ｑ11のイナータンスＭを第２連通流路Ｑ12のイナータンスＭよりも小さくする。イナータンスＭは、以下の式（３）で算出される。ρはインクの密度であり、Ｌは流路長であり、Ｓは流路断面積である。なお、流路断面積が異なる複数の区間で構成される流路のイナータンスＭは、当該各区間のイナータンスＭの合計値が流路のイナータンスＭとなる。
Ｍ＝ρＬ／Ｓ…（３）

式（３）から理解される通り、流路長Ｌおよび流路断面積Ｓを調整することでイナータンスＭを設定することが可能である。エネルギー発生部４４により第１圧力室Ｃ1で発生した圧力振動は、第１連通流路Ｑ11内において第１ノズルＮ1へと向かうインクの流れを生じさせる。第１連通流路Ｑ11内において第１ノズルＮ1へと向かうインクの一部は、第１ノズルＮ1から吐出され、残りは第２連通流路Ｑ12を介して第２共通液室Ｋ2へと排出される。吐出効率を向上させるという観点からは、第２連通流路Ｑ12を介して排出されるインクの量を相対的に小さくして、第１ノズルＮ1から吐出されるインクの量を相対的に大きくする構成が好適である。以上の構成を採用するには、第２連通流路Ｑ12のイナータンスＭを大きくする設計が有効である。そこで、第１実施形態では、第２連通流路Ｑ12のイナータンスＭを第１連通流路Ｑ11のイナータンスＭよりも大きくする。言い換えれば、第１連通流路Ｑ11のイナータンスＭを第２連通流路Ｑ12のイナータンスＭよりも小さくする設計を採用している。

上述の式（３）から理解される通り、イナータンスＭは流路長Ｌに応じて調整可能である。具体的には、流路長ＬとイナータンスＭとは比例関係にある。したがって、第１連通流路Ｑ11の流路長Ｌを第２連通流路Ｑ12の流路長Ｌよりも短くすることで、第１連通流路Ｑ11のイナータンスＭを第２連通流路Ｑ12のイナータンスＭよりも小さくする。第１連通流路Ｑ11の流路長Ｌは、例えば第１連通流路Ｑ11における第１共通液室Ｋ1側の端点から当該第１連通流路Ｑ11の中心線を辿って第１ノズルＮ1側の端点に到達するまでの距離である。第１連通流路Ｑ11における第１共通液室Ｋ1側の端点は、開口Ｏ1と当該第１連通流路Ｑ11の中心線との交点である。他方、第１連通流路Ｑ11における第１ノズルＮ1側の端点は、当該第１連通流路Ｑ11における中心線と、第１ノズルＮ1におけるＺ軸の負方向の開口との交点である。第２連通流路Ｑ12の流路長Ｌは、例えば第２連通流路Ｑ12における第１ノズルＮ1側の端点から当該第２連通流路Ｑ12の中心線を辿って第２共通液室Ｋ2側の端点に到達するまでの距離である。第２連通流路Ｑ12における第１ノズルＮ1側の端点は、当該第２連通流路Ｑ12における中心線と、第１ノズルＮ1の中心軸を含みＹ-Ｚ平面に平行な平面との交点である。他方、第２連通流路Ｑ12における第２共通液室Ｋ2側の端点は、開口Ｏ2と当該第２連通流路Ｑ12の中心線との交点である。

例えば、第１連通流路Ｑ11の流路径ｄと第２連通流路Ｑ12の流路径ｄとを相違させることで、第１連通流路Ｑ11のイナータンスＭと第２連通流路Ｑ12のイナータンスＭとを調整する構成では、式（１）から理解される通り、流路抵抗Ｒへの影響が大きい。それに対して、第１連通流路Ｑ11の流路長Ｌと第２連通流路Ｑ12の流路長Ｌとを相違させる第１実施形態の構成によれば、流路抵抗Ｒへの影響を抑制しながら、第１連通流路Ｑ11のイナータンスＭを第２連通流路Ｑ12のイナータンスＭよりも小さくすることが可能である。ただし、第１連通流路Ｑ11の流路径ｄと第２連通流路Ｑ12の流路径ｄとを相違させる構成も採用される。

第１実施形態では、第１連通流路Ｑ11の最小径は、第２連通流路Ｑ12の最小径よりも小さい。最小径は、流路径の最小値である。第１連通流路Ｑ11の最小径は、例えば第１流路１１１の流路径である。第２連通流路Ｑ12の最小径は、例えば第５流路１２３の流路径である。なお、第１連通流路Ｑ11の最小流路断面積が第２連通流路Ｑ12の最小流路断面積よりも小さいとも換言できる。第５流路１２３のように相対的に絞られた流路は、イナータンスＭの付加に比べて大きな抵抗の付加を流路に与えることになる。逆に言うと、絞られた流路を設けてしまうと抵抗の付加量に対してわずかなイナータンスＭの付加量しか発生させることができないことになる。このため、第１連通流路Ｑ11の抵抗と第２連通流路Ｑ12の抵抗とを同等にするという条件下において、第２連通流路Ｑ12側に第１連通流路Ｑ11に比して絞られた流路を設けてしまうと、第２連通流路Ｑ12のイナータンスＭが相対的に小さくなってしまい、吐出効率の低下を招いてしまう。そこで、第１実施形態では、第２連通流路Ｑ12の最小径を第１連通流路Ｑ11の最小径よりも大きくする。言い換えれば、第１連通流路Ｑ11の最小径を第２連通流路Ｑ12の最小径よりも小さくする。ただし、第１連通流路Ｑ11の最小径が第２連通流路Ｑ12の最小径よりも大きい構成も採用される。

エネルギー発生部４４により第２圧力室Ｃ2で発生した圧力振動は、第３連通流路Ｑ23内において第２ノズルＮ2へと向かうインクの流れを生じさせる。第３連通流路Ｑ23内において第２ノズルＮ2へと向かうインクの一部は、第２ノズルＮ2から吐出され、残りは第４連通流路Ｑ24側に流動する。吐出効率を向上させるという観点からは、第４連通流路Ｑ24側に流動するインクの量を相対的に小さくして、第２ノズルＮ2から吐出されるインクの量を相対的に大きくする構成が好適である。以上の構成を採用するには、第４連通流路Ｑ24のイナータンスＭを大きくする設計が有効である。そこで、第１実施形態では、第４連通流路Ｑ24のイナータンスＭを第３連通流路Ｑ23のイナータンスＭよりも大きくする。言い換えれば、第３連通流路Ｑ23のイナータンスＭを第４連通流路Ｑ24のイナータンスＭよりも小さくする設計を採用している。

具体的には、第３連通流路Ｑ23の流路長Ｌを第４連通流路Ｑ24の流路長Ｌよりも短くすることで、第３連通流路Ｑ23のイナータンスＭを第４連通流路Ｑ24のイナータンスＭよりも小さくする。第３連通流路Ｑ23の流路長Ｌは、例えば第３連通流路Ｑ23の中心線を辿って第２ノズルＮ2側の端点から当該第３連通流路Ｑ23における第２共通液室Ｋ2側の端点に到達するまでの距離である。第３連通流路Ｑ23における第２ノズルＮ2側の端点は、当該第３連通流路Ｑ23における中心線と、第２ノズルＮ2におけるＺ軸の負方向の開口との交点である。他方、第３連通流路Ｑ23における第２共通液室Ｋ2側の端点は、開口Ｏ3と当該第３連通流路Ｑ23における中心線との交点である。第４連通流路Ｑ24の流路長Ｌは、例えば第４連通流路Ｑ24における第１共通液室Ｋ1側の端点から当該第４連通流路Ｑ24の中心線を辿って第２ノズルＮ2側の端点に到達するまでの距離である。第４連通流路Ｑ24における第１共通液室Ｋ1側の端点は、開口Ｏ4と当該第４連通流路Ｑ24の中心線との交点である。他方、第４連通流路Ｑ24における第２ノズルＮ2側の端点は、当該第４連通流路Ｑ24における中心線と、第２ノズルＮ2の中心軸を含みＹ-Ｚ平面に平行な平面との交点である。

例えば、第３連通流路Ｑ23の流路径ｄと第４連通流路Ｑ24の流路径ｄとを相違させることで、第３連通流路Ｑ23のイナータンスＭと第４連通流路Ｑ24のイナータンスＭとを調整する構成では、上述した通り、流路抵抗Ｒへの影響が大きい。それに対して、第３連通流路Ｑ23の流路長Ｌと第４連通流路Ｑ24の流路長Ｌとを相違させる第１実施形態の構成によれば、流路抵抗Ｒへの影響を抑制しながら、第３連通流路Ｑ23のイナータンスＭを第４連通流路Ｑ24のイナータンスＭよりも小さくすることが可能である。ただし、第３連通流路Ｑ23の流路径ｄと第４連通流路Ｑ24の流路径ｄとを相違させる構成も採用される。

第３連通流路Ｑ23の最小径は、第４連通流路Ｑ24の最小径よりも小さい。第３連通流路Ｑ23の最小径は、例えば第１０流路２３２の流路径である。第４連通流路Ｑ24の最小径は、例えば第６流路２４１の最小径である。なお、第３連通流路Ｑ23の最小流路断面積が第４連通流路Ｑ24の最小流路断面積よりも小さいとも換言できる。第６流路２４１のように相対的に絞られた流路は、イナータンスＭの付加に比べて大きな抵抗の付加を流路に与えることになる。逆に言うと、絞られた流路を設けてしまうと抵抗の付加量に対してわずかなイナータンスＭの付加量しか発生させることができないことになる。このため、第３連通流路Ｑ23の抵抗と第４連通流路Ｑ24の抵抗とを同等にするという条件下において、第４連通流路Ｑ24側に第３連通流路Ｑ23に比して絞られた流路を設けてしまうと、第４連通流路Ｑ24のイナータンスＭが相対的に小さくなってしまい、吐出効率の低下を招いてしまう。そこで、第１実施形態では、第４連通流路Ｑ24の最小径を第３連通流路Ｑ23の最小径よりも大きくする。言い換えれば、第３連通流路Ｑ23の最小径を第４連通流路Ｑ24の最小径よりも小さくする。ただし、第３連通流路Ｑ23の最小径が第４連通流路Ｑ24の最小径よりも大きい構成も採用される。

ここで、個別流路列が第１個別流路Ｑ1のみで形成される構成（以下「比較例」という）を想定する。比較例では、流路構造体３０におけるＸ軸の正方向において、複数の第１連通流路Ｑ11が配列し、流路構造体３０におけるＸ軸の負方向において、第１連通流路Ｑ11よりもイナータンスＭが大きい複数の第２連通流路Ｑ12が配列する。すなわち、イナータンスＭの大小が流路構造体３０内で偏在する。上述した通り、イナータンスＭは流路長または流路径に影響する。したがって、比較例では、効率的に流路を配置することができない。すなわち、流路構造体３０に無駄なスペースが存在する。

それに対して、第１実施形態においては、流路構造体３０におけるＸ軸の正方向において、第１連通流路Ｑ11と、当該第１連通流路Ｑ11よりもイナータンスＭが大きい第４連通流路Ｑ24とがＹ軸の方向において交互に位置する。同様に、流路構造体３０におけるＸ軸の負方向において、第３連通流路Ｑ23と、当該第３連通流路Ｑ23よりもイナータンスＭが大きい第２連通流路Ｑ12とがＹ軸の方向において交互に位置する。すなわち、イナータンスＭの大小が流路構造体３０内で均等に分散される。したがって、流路構造体３０において無駄な部分を削減して、効率的に流路を配置できる。以上の説明から理解される通り、第１実施形態では、効率的な流路の配置と、複数のノズルＮの吐出効率の向上とを両立させることができる。

Ｂ．第２実施形態
本発明の第２実施形態を説明する。なお、以下の各例示において機能が第１実施形態と同様である要素については、第１実施形態の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。

図９は、第２実施形態に係る第１個別流路Ｑ1の断面図であり、図１０は、第２実施形態に係る第２個別流路Ｑ2の断面図である。第２実施形態の第１個別流路Ｑ1および第２個別流路Ｑ2は、第１実施形態と同様の構造である。ただし、第２実施形態では、第１ノズルＮ1および第２ノズルＮ2の位置が第１実施形態とは異なる。なお、第２実施形態においても第１個別流路Ｑ1と第２個別流路Ｑ2とはＹ-Ｚ平面に対して反転させた関係にある。また、各流路の流路抵抗Ｒは、第１実施形態と同様である。

図９および図１０に例示される通り、第１個別流路Ｑ1および第２個別流路Ｑ2は、Ｘ軸の方向に延在する流路（以下「局所流路」という）Ｑaを含む。局所流路Ｑaは、第２基板３２２におけるＺ軸の正方向の表面に形成される。第１ノズルＮ1および第２ノズルＮ2の各々は、ノズル板６２のうち局所流路Ｑaに対応する領域（「局所領域」という）に形成される。局所領域が局所流路Ｑaの底面を構成するとも換言できる。すなわち、第１ノズルＮ1および第２ノズルＮ2の各々は、当該局所流路Ｑaから分岐するように形成される。図９に例示される通り、第１ノズルＮ1は、例えば、断面視において局所領域のうちＸ軸の正方向の領域に形成される。図１０に例示される通り、第２ノズルＮ2は、例えば、断面視において局所領域のうちＸ軸の負方向の領域に形成される。

図９に例示される通り、第１連通流路Ｑ11は、第１実施形態と同様に、第１共通液室Ｋ1と第１ノズルＮ1とを連通する。第２実施形態の第１連通流路Ｑ11は、空間Ｋa1の上面に形成された開口Ｏ1から、第１ノズルＮ1の中心軸を含みＹ-Ｚ平面に平行な平面に至るまでの流路である。第１連通流路Ｑ11の流路長は、第１実施形態と同様に、第１連通流路Ｑ11における第１共通液室Ｋ1側の端点から当該第１連通流路Ｑ11の中心線を辿って第１ノズルＮ1側の端点に到達するまでの距離である。第１連通流路Ｑ11における第１共通液室Ｋ1側の端点は、第１実施形態と同様に、当該第１連通流路Ｑ11における中心線と、第１ノズルＮ1におけるＺ軸の負方向の開口との交点である。他方、第１連通流路Ｑ11における第１ノズルＮ1側の端点は、当該第１連通流路Ｑ11における中心線と、第１ノズルＮ1の中心軸を含みＹ-Ｚ平面に平行な平面との交点である。

第２連通流路Ｑ12は、第１実施形態と同様に、第２共通液室Ｋ2と第１ノズルＮ1とを連通する。第２実施形態の第２連通流路Ｑ12は、第１ノズルＮ1の中心軸を含みＹ-Ｚ平面に平行な平面から、空間Ｋa2の側面に形成された開口Ｏ2に至るまでの流路である。第２連通流路Ｑ12の流路長は、第１実施形態と同様に、第２連通流路Ｑ12における第１ノズルＮ1側の端点から当該第２連通流路Ｑ12の中心線を辿って第２共通液室Ｋ2側の端点に到達するまでの距離である。第２連通流路Ｑ12における第１ノズルＮ1側の端点は、当該第２連通流路Ｑ12における中心線と、第１ノズルＮ1の中心軸を含みＹ-Ｚ平面に平行な平面との交点である。他方、第２連通流路Ｑ12における第２共通液室Ｋ2側の端点は、第１実施形態と同様に、開口Ｏ2と当該第２連通流路Ｑ12の中心線との交点である。第２実施形態においても第１実施形態と同様に、第１連通流路Ｑ11のイナータンスＭが第２連通流路Ｑ12のイナータンスＭよりも小さく、第１連通流路Ｑ11の流路長が第２連通流路Ｑ12の流路長よりも短い。

図１０に例示される通り、第４連通流路Ｑ24は、第１実施形態と同様に、第１共通液室Ｋ1と第２ノズルＮ2とを連通する。第２実施形態の第４連通流路Ｑ24は、空間Ｋa1に形成された開口Ｏ4から、第２ノズルＮ2の中心軸を含みＹ-Ｚ平面に平行な平面に至るまでの流路である。第４連通流路Ｑ24の流路長は、第１実施形態と同様に、第４連通流路Ｑ24における第１共通液室Ｋ1側の端点から当該第４連通流路Ｑ24の中心線を辿って第２ノズルＮ2側の端点に到達するまでの距離である。第４連通流路Ｑ24における第１共通液室Ｋ1側の端点は、第１実施形態と同様に、開口Ｏ4と当該第４連通流路Ｑ24の中心線との交点である。他方、第４連通流路Ｑ24における第２ノズルＮ2側の端点は、当該第４連通流路Ｑ24における中心線と、第２ノズルＮ2の中心軸を含みＹ-Ｚ平面に平行な平面との交点である。

第３連通流路Ｑ23は、第１実施形態と同様に、第２共通液室Ｋ2と第２ノズルＮ2とを連通する。第２実施形態の第３連通流路Ｑ23は、第２ノズルＮ2の中心軸を含みＹ-Ｚ平面に平行な平面から、空間Ｋa2の上面に形成された開口Ｏ3に至るまでの流路である。第３連通流路Ｑ23の流路長は、第１実施形態と同様に、第３連通流路Ｑ23の中心線を辿って第２ノズルＮ2側の端点から当該第３連通流路Ｑ23における第２共通液室Ｋ2側の端点に到達するまでの距離である。第３連通流路Ｑ23における第２ノズルＮ2側の端点は、当該第３連通流路Ｑ23における中心線と、第２ノズルＮ2の中心軸を含みＹ-Ｚ平面に平行な平面との交点である。他方、第３連通流路Ｑ23における第２共通液室Ｋ2側の端点は、第１実施形態と同様に、開口Ｏ3と当該第３連通流路Ｑ23の中心線との交点である。第２実施形態においても第１実施形態と同様に、第３連通流路Ｑ23のイナータンスＭが第４連通流路Ｑ24のイナータンスＭよりも小さく、第３連通流路Ｑ23の流路長が第４連通流路Ｑ24の流路長よりも短い。

第２実施形態においても第１実施形態と同様の効果が実現される。以上の説明から理解される通り、第１連通流路Ｑ11のイナータンスＭが第２連通流路Ｑ12のイナータンスＭよりも小さく、第３連通流路Ｑ23のイナータンスＭが第４連通流路Ｑ24のイナータンスＭよりも小さい構成であれば、第１ノズルＮ1および第２ノズルＮ2の位置は任意である。例えば、第１ノズルＮ1におけるＸ軸の方向の位置と、第２ノズルＮ2におけるＸ軸の方向の位置とが同じでもよい。

Ｃ．変形例
以上に例示した各形態は多様に変形され得る。前述の各形態に適用され得る具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。

（１）個別流路Ｑの形状は、前述の各形態で例示した構成に限定されない。例えば、第１連通流路Ｑ11が、第１流路１１１と第１圧力室Ｃ1と第２流路１１２とに加えて他の流路を含んでもよい。第２連通流路Ｑ12、第３連通流路Ｑ23および第４連通流路Ｑ24についても同様である。また、第１個別流路Ｑ1と第２個別流路Ｑ2とで形状を相違させてもよいし、第１個別流路Ｑ1と第２個別流路Ｑ2とが同じ形状でもよい。

（２）前述の各形態では、第１基板３２１と第２基板３２２との積層で流路基板３２を構成したが、流路基板３２の構成は以上の例示に限定されない。例えば、単層で流路基板３２を構成してもよいし、３層以上の積層で流路基板３２を構成してもよい。

（３）前述の各形態では、第１連通流路Ｑ11の流路抵抗Ｒと第４連通流路Ｑ24の流路抵抗Ｒとが等しい構成を例示したが、第１連通流路Ｑ11の流路抵抗Ｒと第４連通流路Ｑ24の流路抵抗Ｒとが相違してもよい。同様に、第２連通流路Ｑ12の流路抵抗Ｒおよび第３連通流路Ｑ23の流路抵抗Ｒとが相違してもよい。また、第１連通流路Ｑ11の流路抵抗Ｒと第２連通流路Ｑ12の流路抵抗Ｒとが相違してもよいし、第３連通流路Ｑ23の流路抵抗Ｒと第４連通流路Ｑ24の流路抵抗Ｒとが相違してもよい。

（４）前述の各形態では、第１流路１１１の流路径を第１連通流路Ｑ11の最小径としたが、第１流路１１１径の最小径は第１流路１１１とは異なる流路の流路径でもよい。第２連通流路Ｑ12と第３連通流路Ｑ23と第４連通流路Ｑ24とについても同様に、各連通流路における任意の流路の流路径を最小径としてよい。

（５）圧力室Ｃ内の液体をノズルＮから吐出させるためのエネルギーを発生するエネルギー発生部４４は、圧電素子に限定されない。例えば、加熱により圧力室Ｃの内部に気泡を発生させて圧力を変動させる発熱素子をエネルギー発生部４４として利用することも可能である。以上の例示から理解される通り、エネルギー発生部４４は、圧力室Ｃ内の液体をノズルＮから吐出させる要素として包括的に表現され、圧電方式および熱方式等の動作方式や具体的な構成の如何は不問である。すなわち、液体を吐出するためのエネルギーには、熱と圧力との双方が包含される。

（６）前述の各形態では、液体吐出ヘッド２６を搭載した搬送体８２を往復させるシリアル方式の液体吐出装置１００を例示したが、複数のノズルＮが媒体１２の全幅にわたり分布するライン方式の液体吐出装置にも本発明を適用することが可能である。

（７）前述の各形態で例示した液体吐出装置１００は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体吐出装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を吐出する液体吐出装置は、液晶表示パネル等の表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を吐出する液体吐出装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。また、生体に関する有機物の溶液を吐出する液体吐出装置は、例えばバイオチップを製造する製造装置として利用される。

１００…液体吐出装置、１２…媒体、１４…液体容器、２０…制御ユニット、２２…搬送機構、２４…移動機構、８２…搬送体、８４…搬送ベルト、２６…液体吐出ヘッド、３０…流路構造体、３２…流路基板、３２１…第１基板、３２２…第２基板、３４…圧力室基板、４２…振動板、４４…エネルギー発生部、４６…保護基板、４８…筐体部、４８１,４８２…排出口、５０…配線基板、５２…駆動回路、６２…ノズル板、６４…吸振体、９０…循環機構、９１…供給流路、９２…排出流路、９３…循環ポンプ、Ｃ…圧力
室、Ｃ1…第１圧力室、Ｃ2…第２圧力室、Ｌ1…第１列、Ｌ2…第２列、Ｎ…ノズル、Ｎ1…第１ノズル、Ｎ2…第２ノズル、Ｋ1…第１共通液室、Ｋ2…第２共通液室、Ｑ…個別流路、Ｑ1…第１個別流路、Ｑ11…第１連通流路、Ｑ12…第２連通流路、Ｑ2…第２個別流路、Ｑ23…第３連通流路、Ｑ24…第４連通流路、Ｑa…局所流路、１１１…第１流路、１１２…第２流路、１２１…第３流路、１２２…第４流路、１２３…第５流路、２４１…第６流路、２４２…第７流路、２４３…第８流路、２３１…第９流路、２３２…第１０流路。

Claims (11)

1. 第１軸に沿って液体を吐出する複数のノズルと、
   前記複数のノズルについてそれぞれ設けられ、前記第１軸の方向からみて前記第１軸に直交する第２軸に沿って並設された複数の個別流路を含む個別流路列と、
   前記複数のノズルについてそれぞれ設けられ、液体を吐出するためのエネルギーを発生する複数のエネルギー発生部と、
   前記複数の個別流路に共通して連通する第１共通液室と、
   前記複数の個別流路に共通して連通する第２共通液室と、
   を具備する液体吐出ヘッドであって、
   前記複数の個別流路は、前記個別流路列において隣り合う第１個別流路および第２個別流路を含み、
   前記第１個別流路においては、前記第１共通液室と前記複数のノズルのうちの第１ノズルとを連通させる第１連通流路の途中に前記複数のエネルギー発生部のうちの第１エネルギー発生部が設けられ、当該第１連通流路のイナータンスが、前記第２共通液室と前記第１ノズルとを連通させる第２連通流路のイナータンスよりも小さく、
   前記第２個別流路においては、前記第２共通液室と前記複数のノズルのうちの第２ノズルとを連通させる第３連通流路の途中に前記複数のエネルギー発生部のうちの第２エネルギー発生部が設けられ、当該第３連通流路のイナータンスが、前記第１共通液室と前記第２ノズルとを連通させる第４連通流路のイナータンスよりも小さい
   液体吐出ヘッド。
2. 第１軸に沿って液体を吐出する複数のノズルと、
   前記複数のノズルについてそれぞれ設けられ、前記第１軸の方向からみて前記第１軸に直交する第２軸に沿って並設された複数の個別流路を含む個別流路列と、
   前記複数のノズルについてそれぞれ設けられ、液体を吐出するためのエネルギーを発生する複数のエネルギー発生部と、
   前記複数の個別流路に共通して連通する第１共通液室と、
   前記複数の個別流路に共通して連通する第２共通液室と、
   を具備する液体吐出ヘッドであって、
   前記複数の個別流路は、前記個別流路列において隣り合う第１個別流路および第２個別流路を含み、
   前記第１個別流路においては、前記第１共通液室と前記複数のノズルのうちの第１ノズルとを連通させる第１連通流路の途中に前記複数のエネルギー発生部のうちの第１エネルギー発生部が設けられ、当該第１連通流路の流路長が、前記第２共通液室と前記第１ノズルとを連通させる第２連通流路の流路長よりも短く、
   前記第２個別流路においては、前記第２共通液室と前記複数のノズルのうちの第２ノズルとを連通させる第３連通流路の途中に前記複数のエネルギー発生部のうちの第２エネルギー発生部が設けられ、当該第３連通流路の流路長が、前記第１共通液室と前記第２ノズルとを連通させる第４連通流路の流路長よりも短い
   液体吐出ヘッド。
3. 前記第１連通流路の流路抵抗と前記第４連通流路の流路抵抗とは等しい
   請求項１または請求項２の液体吐出ヘッド。
4. 前記第２連通流路の流路抵抗と前記第３連通流路の流路抵抗とは等しい
   請求項３の液体吐出ヘッド。
5. 前記第１連通流路の流路抵抗と前記第２連通流路の流路抵抗とは等しい
   請求項１から請求項４の何れかの液体吐出ヘッド。
6. 前記第３連通流路の流路抵抗と前記第４連通流路の流路抵抗とは等しい
   請求項５の液体吐出ヘッド。
7. 前記第１連通流路の最小径は、第２連通流路の最小径よりも小さい
   請求項１から請求項６の何れかの液体吐出ヘッド。
8. 前記第３連通流路の最小径は、前記第４連通流路の最小径よりも小さい
   請求項７の液体吐出ヘッド。
9. 前記複数の個別流路の各々は、前記第１軸の方向からみて前記第２軸に直交する第３軸の方向に延在する局所流路を有し、
   前記複数のノズルの各々は、当該ノズルに対応する局所流路から分岐する
   請求項１からい請求項８の何れかの液体吐出ヘッド。
10. 液体を吐出する第１ノズルおよび第２ノズルと、
    前記第１ノズルおよび前記第２ノズルに共通に連通する第１共通液室と、
    前記第１ノズルおよび前記第２ノズルに共通に連通する第２共通液室と、
    前記第１ノズルと前記第１共通液室とを連通する第１連通流路と、
    前記第１ノズルと前記第２共通液室とを連通する第２連通流路と、
    前記第２ノズルと前記第２共通液室とを連通する第３連通流路と、
    前記第２ノズルと前記第１共通液室とを連通する第４連通流路と、
    前記第１連通流路に対応する位置に設置される第１エネルギー発生部と、
    前記第３連通流路に対応する位置に設置される第２エネルギー発生部と、を具備し、
    前記第１連通流路におけるイナータンスは、前記第２連通流路におけるイナータンスよりも小さく、
    前記第３連通流路におけるイナータンスは、前記第４連通流路におけるイナータンスよりも小さい
    液体吐出ヘッド。
11. 請求項１から請求項１０の何れかの液体吐出ヘッドと、
    前記第１共通液室および前記第２共通液室の一方から液体を回収し、他方に還流させる循環機構と
    を具備する液体吐出装置。

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