JP2020066154A - 液体吐出ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】 電極を封止する封止材にミスト等の液体が付着することで液体が封止材の内部に浸透し、その結果封止材が電極から剥離する場合がある。封止材が電極から剥離すると電極にまで液体が進入して電気回路に影響を及ぼす恐れがある。【解決手段】 液体吐出ヘッドは、液体を吐出する吐出口１を有する吐出口形成部材２７と、液体を吐出するため液体を加圧する圧力発生素子を有する基板４と、を備える記録素子基板１０と、吐出口１を露出させるための開口部を備え、記録素子基板１０の吐出口１が形成される側に配されるカバー部材１１と、を有する。記録素子基板１０は、基板４の吐出口形成部材２７が形成される側の面に配置される電極２６と、電極２６を覆う絶縁部材４３と、をさらに有し、絶縁部材４３はカバー部材１１で覆われていることを特徴とする。【選択図】 図８

Description

本発明は、液体を吐出する液体吐出ヘッドに関する。

一般に、液体を吐出する液体吐出ヘッドは記録素子基板を有し、記録素子基板は、液体を吐出する吐出口を備える吐出口形成部材と、液体を加圧して吐出口から液体を吐出するための圧力発生素子を備えるシリコン基板とを含む。シリコン基板の吐出口形成部材が形成されている面に電極が設けられていると、吐出口から吐出された液体に付随して発生する微小液滴であるミスト等がこの電極に付着する場合があり、電極の腐食等の問題が引き起こされることがある。したがって、特許文献１に記載の記録素子基板は、電極を封止材により封止し、電極と液体との接触を防止している。

特許４４５５５７７号公報

しかしながら、封止材にミスト等の液体が付着することで液体が封止材の内部に浸透し、その結果封止材が電極から剥離する場合がある。封止材が電極から剥離すると電極にまで液体が進入して電気回路に影響を及ぼす恐れがある。

そこで本発明は、電極を覆う封止材が液体と接触することを抑制し、電気回路の信頼性を確保することができる液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明は、液体を吐出する吐出口を有する吐出口形成部材と、前記液体を吐出するため前記液体を加圧する圧力発生素子を有する基板と、を備える記録素子基板と、前記吐出口を露出させるための開口部を備え、前記記録素子基板の前記吐出口が形成される側に配されるカバー部材と、を有する液体吐出ヘッドにおいて、前記記録素子基板は、前記基板の前記吐出口形成部材が形成される側の面に配置される電極と、該電極を覆う絶縁部材と、をさらに有し、前記絶縁部材は前記カバー部材で覆われていることを特徴とする。

本発明によれば、基板の吐出口が形成される面側に電極が設けられる構成において電気回路の信頼性を確保することができる液体吐出ヘッドを提供することができる。

記録装置の概略図を示す図。 記録装置の循環系の模式図を示す図。 液体吐出ヘッドの斜視図を示す図。 液体吐出ヘッドの分解図を示す図。 吐出モジュールの斜視図を示す図。 記録素子基板の拡大図を示す図。 カバー部材を示す概略図。 第１の実施形態に係る液体吐出ユニットの拡大断面図。 第２の実施形態に係る液体吐出ユニットの拡大断面図。 第３の実施形態に係る液体吐出ユニットの拡大断面図。 第４の実施形態に係る液体吐出ユニットの拡大断面図。

以下、本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッドについて、図面を参照しながら説明する。ただし、以下の記載は本発明の範囲を限定するものではない。一例として、本実施形態では液体吐出ヘッドとしてインクを吐出するインクジェットヘッドでの説明を行うが、これに限らず各種液滴を吐出する液体吐出ヘッドへの適用が可能である。また液体吐出ヘッドとして、発熱素子により気泡を発生させて液体を吐出するサーマル方式が採用されているが、ピエゾ方式およびその他の各種液体吐出方式が採用された液体吐出ヘッドにも本発明を適用することができる。また、本実施形態の液体吐出ヘッドは被記録媒体の幅に対応した長さを有する、所謂ページワイド型ヘッドで説明するが、被記録媒体に対してスキャンを行いながら記録を行う、所謂シリアル型の液体吐出ヘッドにも本発明を適用できる。シリアル型の液体吐出ヘッドとしては、例えばブラックインク用、およびカラーインク用記録素子基板を各１つずつ搭載する構成があげられる。しかしながら、これに限らず、数個の記録素子基板を吐出口列方向に吐出口をオーバーラップさせるよう配置した、被記録媒体の幅よりも短いヘッドを作成し、それを被記録媒体に対してスキャンさせる形態のものであっても良い。

また、本実施形態の液体吐出ヘッドは、インク等の液体を記録装置の本体に格納されているタンクと液体吐出ヘッド間で循環させる形態の記録装置に搭載されているが、本発明はこれに限らず、その他の形態であっても良い。例えば、液体吐出ヘッドの上流側と下流側にそれぞれ２つのタンクを設け、一方のタンクから他方のタンクへインク流すことで、液体吐出ヘッドの内部でのみインクを流動させる形態であっても良い。更には液体吐出ヘッド内のインクを循環させずに、吐出に必要なインクだけがタンクから供給される構成であっても良い。

（第１の実施形態）
（記録装置）
本実施形態に係る記録装置について、図１を用いて説明する。図１は、本発明に係る液体吐出ヘッド３を搭載した記録装置１０００を示す概略図である。記録装置１０００は、液体吐出ヘッド３に加えて、非記録動作時に液体吐出ヘッド３の吐出口面を覆うキャップ部材１０２２や吐出口面をクリーニングするワイプ機構１０２３を備える。また記録装置１０００は、ＣＭＹＫのインクごとに対応した単色用の液体吐出ヘッド３を４つ並列配置させることで被記録媒体２へフルカラー記録を行う。本実施形態においては、１色あたりに使用できる吐出口列数は２０列となっている。このため、記録データを複数の吐出口列に適宜振り分けて記録を行うことで、非常に高速な記録が可能となる。更には、インクの固着等によりインクを吐出することができなくなった吐出口があったとしても、その吐出口に対して被記録媒体２の搬送方向に対応する位置にある、他列の吐出口から補間的にインクの吐出をすることができる。これにより記録物の信頼性が向上するため、本実施形態は商業印刷などに好適である。液体吐出ヘッド３はキャリッジ（不図示）により図１中のＹ方向へ移動可能であり、ワイプ機構１０２３による液体吐出ヘッドの回復動作や、キャップ部材１０２２による液体吐出ヘッドの保管をすることができる。

（循環系）
記録装置１０００の循環系について、図２を参照しながら説明する。図２は、本実施形態の記録装置１０００に適用される循環経路を示す模式図である。負圧制御ユニット２３０を構成する２つの圧力調整機構が共に、負圧制御ユニット２３０よりも上流側の圧力を、所望の設定圧を中心として一定範囲内の変動で制御する機構（所謂「背圧レギュレーター」と同作用の機構部品）である。第２循環ポンプ１００４が負圧制御ユニット２３０の下流側を減圧する負圧源として作用する。また、第１循環ポンプ（高圧側）１００１及び第１循環ポンプ（低圧側）１００２が液体吐出ヘッド上流側に配置され、負圧制御ユニット２３０が液体吐出ヘッド下流側に配置されている。

負圧制御ユニット２３０は、液体吐出ヘッドにより記録を行う際の吐出量の変化によって生じる流量の変動があっても、自身の上流側（即ち液体吐出ユニット３００側）の圧力変動を、予め設定された圧力を中心として一定範囲内に安定にするように作動する。図２に示すように、第２循環ポンプ１００４によって、液体供給ユニット２２０を介して負圧制御ユニット２３０の下流側を減圧することが好ましい。このようにすると液体吐出ヘッド３に対するバッファタンク１００３の水頭圧の影響を抑制できるので、記録装置１０００におけるバッファタンク１００３のレイアウトの選択幅を広げることができる。第２循環ポンプ１００４の代わりに、例えば負圧制御ユニット２３０に対して所定の水頭差をもって配置された水頭タンクであっても適用可能である。

負圧制御ユニット２３０は、それぞれが互いに異なる制御圧が設定された２つの圧力調整機構を備えている。２つの負圧調整機構は高圧設定側（図２でＨと記載）と低圧設定側（図２でＬと記載）に分かれており、それぞれは液体供給ユニット２２０内を経由して、液体吐出ユニット３００内の共通供給流路２１１、および共通回収流路２１２に接続されている。２つの負圧調整機構により共通供給流路２１１の圧力を共通回収流路２１２の圧力より相対的に高くする。このようにすることで共通供給流路２１１から個別供給口１７、各記録素子基板１０の内部流路及び個別回収口１８を介して共通回収流路２１２へと流れるインク流れが発生する。

（液体吐出ヘッド）
液体吐出ヘッド３の構成について、図３及び図４を参照しながら説明する。図３（ａ）及び図３（ｂ）は本実施形態に係る液体吐出ヘッド３の斜視図である。図４は液体吐出ヘッド３の分解図であり、液体吐出ヘッド３を構成する各部品またはユニットがその機能毎に分割されて表示されている。液体吐出ヘッド３は、液体吐出ヘッド３の長手方向に直線状に配列される１６個の記録素子基板１０を備えたインクジェット式のページワイド型記録ヘッドである。図３においては記録素子基板１０を直線状に配置された液体吐出ヘッド３を図示しているが、本発明は記録素子基板１０を千鳥状に配置した液体吐出ヘッドであってもよい。液体吐出ヘッド３は、プレート状の電気配線基板９０（図４）と電気的に接続された信号入力端子９１と電力供給端子９２を備える。信号入力端子９１及び電力供給端子９２は記録装置１０００（図１）の制御部と電気的に接続され、それぞれ吐出駆動信号及び吐出に必要な電力を、電気配線部材１２を介して記録素子基板１０に供給する。電気配線部材１２は例えばフレキシブル配線である。電気配線基板９０内の電気回路によって配線を集約することで、信号入力端子９１及び電力供給端子９２の数を記録素子基板１０の数に比べて少なくできる。これにより、記録装置１０００に対して液体吐出ヘッド３を組み付けるとき又は液体吐出ヘッド３の交換時に取り外しが必要な電気接続部数が少なくて済む。

液体吐出ユニット３００に含まれる第２流路部材２０によって液体吐出ヘッド３の剛性を担保している。液体吐出ユニット支持部８１は第２流路部材２０の両側にそれぞれ１つずつ接続されており、記録装置１０００のキャリッジと機械的に結合されて、液体吐出ヘッド３の位置決めを行う。負圧制御ユニット２３０を備える液体供給ユニット２２０と電気配線基板９０は、液体吐出ユニット支持部８１と結合している。２つの液体供給ユニット２２０内にはそれぞれフィルタ２２１（図２）が内蔵されている。また、図４に示すように、液体吐出ヘッド３の長手方向の両端部にそれぞれ、高圧側と低圧側の負圧制御ユニット２３０が設置されている。その場合には、液体吐出ヘッド３の長手方向に延在する共通供給流路２１１（図２）と共通回収流路２１２（図２）における液体の流れが互いに対向する。このようにすることで、共通供給流路２１１と共通回収流路２１２の間で熱交換が促進され、２つの共通流路内における温度差が低減される。しがたって、各記録素子基板１０同士には温度差が生じにくく、温度差による記録ムラが生じにくくなるという利点がある。

次に、液体吐出ユニット３００の流路部材２１０の詳細について説明する。図４に示すように、流路部材２１０は主に第１流路部材１４及び第２流路部材２０を積層したものであり、液体供給ユニット２２０から供給された液体を記録素子基板１０へと分配する。記録素子基板１０と第１流路部材１４との間には第１シール部材１３が、第１流路部材１４と第２流路部材２０との間には第２シール部材２１がそれぞれ設けられており、外部へ液体が漏洩しないように部材間をシールしている。この際、第１シール部材１３及び第２シール部材２１は各部材の交差や組み立て交差を踏まえた量を潰して設けている。

また、流路部材２１０は、記録素子基板１０から環流する液体を液体供給ユニット２２０へと戻すための流路部材としても機能する。第２流路部材２０は、内部に共通供給流路２１１及び共通回収流路２１２が形成された流路部材であるとともに、液体吐出ヘッド３の剛性を主に担うという機能を有する。このため、第２流路部材２０の材質としては、液体に対する十分な耐食性と高い機械強度を有するものが好ましい。具体的にはＳＵＳやＴｉ、アルミナなどを好ましく用いることができる。また、第１流路部材１４、第２流路部材２０はともにそれぞれ２以上の部材を積層して構成されていてもよい。

（吐出モジュール）
記録素子基板１０及び電気配線部材１２から成る吐出モジュール２００について、図５を参照しながら説明する。図５（ａ）は、１つの吐出モジュール２００の斜視図を、図５（ｂ）はその分解図をそれぞれ示す。なお、それぞれの図は吐出口１（図６）が形成されている面の裏面側から吐出モジュール２００を見た際のものである。記録素子基板１０の複数の吐出口列方向に沿った両辺部（記録素子基板１０の各長辺部）に複数の裏面電極１６がそれぞれ配置され、それに電気接続される電気配線部材１２も、１つの記録素子基板１０に対して２つ配置される。これは記録素子基板１０に設けられる吐出口列数が２０列あり、それに伴って配線数が多くなっているためである。

裏面電極１６と電気配線部材１２の端子４１との電気接続は、ワイヤーボンディング法によるＡｕワイヤ（不図示）を用いて行っており、その電気接続部は封止剤１１０により封止されている。裏面電極１６と電気配線部材１２とが電気接続されることにより、記録装置１０００（図１）からの電気信号が電気配線基板９０（図４）、電気配線部材１２を介して記録素子基板１０に入力される。

（記録素子基板）
記録素子基板１０について、図６を参照しながら説明する。図６は、記録素子基板１０の拡大図である。図６に示すように、吐出口１から液体を吐出するために必要な圧力を液体に付与する圧力発生素子１５が、各吐出口１に対応した位置にそれぞれ設けられている。圧力発生素子１５は、例えば、液体を加熱する発熱素子であるヒータである。液体を加熱することにより液体中に気泡を発生させ、その発泡圧力により液体が吐出される。隔壁２２により、エネルギー発生素子１５を内部に備える圧力室２３が区画されている。圧力発生素子１５は記録素子基板１０に設けられる電気配線（不図示）によって、図５（ｂ）の裏面電極１６と電気的に接続されている。液体は個別供給口１７から圧力室２３内を通り、個別回収口１８へと流れる。

このような構成にすることにより、吐出口付近で蒸発し、粘度が大きくなった液体を下流に流すことができ、圧力室２３内の液体の粘度上昇を抑制することができる。また、吐出口毎に個別供給口１７及び個別回収口１８が形成されており、図２において示したように各々は共通供給流路２１１又は共通回収流路２１２に繋がっている。

（カバー部材）
本実施形態におけるカバー部材について、図７を参照しながら説明する。図７（ａ）はカバー部材１１の斜視図、図７（ｂ）は複数の吐出モジュール２００が配列された構造体に対してカバー部材１１を接合した状態を、記録素子基板１０の裏面側から見た際の概略図である。電気配線部材１２は説明を簡略化するために、一部の記録素子基板１０にのみ設けた例を示している。

図７（ａ）に示すようにカバー部材１１は記録素子基板１０の吐出口が設けられた領域を露出するための開口部を備える枠体形状である。また、図７（ｂ）に示すように接着剤（不図示）を用いて枠体の内面側と記録素子基板１０の吐出口が設けられる側とを固定している。カバー部材１１の材料としては樹脂や金属等、各種材料が適用可能であるが、強度の点からはＳＵＳ等の金属が好ましい。樹脂を用いる場合には強度の点からフィラーを含有させた樹脂を適用することが好ましい。

液体吐出ヘッド３の吐出口側に位置するカバー部材１１に対して各吐出モジュール２００の記録素子基板１０を接合することで、より吐出口に近い側での位置決めが可能となる。よって、積層された複数の支持部材の上に記録素子基板を接合する場合に比べて、各部材の寸法公差や接合交差を小さくできるので、吐出口から吐出された液体の被記録媒体への着弾精度が向上する。

（表面電極周りの構成）
本発明の特徴部である表面電極周りの構成について、図８を参照しながら説明する。図８は液体吐出ユニット３００（図３）の一部の断面の拡大図である。なお説明のため、第２流路部材２０及び第２シール部材２１は省略して図示している。記録素子基板１０はシリコンから成るシリコン基板４と、吐出口１を形成する吐出口形成層２８及び吐出口１に液体を供給する流路形成層２９から成る吐出口形成部材２７と、から主に構成されている。

図８に示す表面電極２６は、例えば、記録素子基板１０の裏面に形成された裏面電極１６と電気的に接続され、記録素子基板１０に形成された電気回路（不図示）の状態を確認するためのテスト端子として用いられる。表面電極２６をテスト端子として用いる場合には、まず表面電極２６を使用して表面電極２６に接続される電気回路の動作を確認する。その後に裏面電極１６と表面電極２６を電気的に接続し、以後は電気回路の作動には裏面電極１６を使用する。なお、表面電極２６はテスト端子としての利用だけでなく、液体吐出ヘッドの外部と接続され、圧力発生素子１５を駆動して吐出口から液体を吐出するための電気接続部として利用することももちろん可能である。表面電極２６と裏面電極１６との電気接続は、本実施形態においては、記録素子基板１０のシリコン基板４に表面電極２６と裏面電極１６とを繋ぐ貫通孔（不図示）を設け、その内側に金属メッキを施した貫通電極（不図示）により行った。但し、本発明はこれに限定されることはなく、所謂ワイヤーボンディング法によるＡｕワイヤ（不図示）等、各種の電気接続方法を用いて行ってもよい。

表面電極２６と、隣接する他の表面電極（不図示）やカバー部材１１との電気的な接続を防ぐため表面電極２６上には絶縁部材を設ける。本実施形態においては絶縁部材として封止部材４３を用いている。封止部材４３は例えばエポキシ樹脂である。さらに封止部材４３を覆うようにカバー部材１１が設けられており、これにより封止部材４３が液体（インク）と接触しないようになっていることが本発明の特徴である。仮に封止部材４３が露出した状態であると、吐出口から吐出されたミスト等のインクが封止部材に付着し、付着したインクが封止部材４３内に浸透することにより封止部材４３が剥離し、表面電極２６にインクが付着する恐れがある。本発明では図８に示すように封止部材４３の表面をカバー部材１１で覆うことで、封止部材４３へのインクの付着を抑制でき、上述した封止部材４３が剥離を抑制することができる。このようにして表面電極２６がインクと接触することによる電気回路（不図示）のショートを抑制でき、液体吐出ヘッドの故障を低減することができる。また、封止部材４３はカバー部材１１と記録素子基板１０とを接合する際の接着剤として使用することもできる。これに限らず、表面電極２６が配置されていない記録素子基板１０の領域に、封止部材４３とは別に接着剤を付してカバー部材１１と記録素子基板１０を固定してもよい。

図８に示すように、カバー部材１１の延在部（領域Ａ）はひさしのように記録素子基板１０上に張り出している。カバー部材１１と第１流路部材及び第２流路部材とをボルト締結により固定するため、この締結力によって延在部Ａは封止部材４３に押し付けられる。したがって、封止部材４３とカバー部材１１は密着状態となり、吐出口面からのインクが侵入しにくい構成となっている。また、吐出口からインクが吐出される方向から見て、記録素子基板１０の裏面の裏面電極１６とカバー部材１１の延在部Ａとが重なる位置にある。それにより、裏面電極１６と電気配線部材１２とをワイヤーボンディング法により電気接続をする際、裏面電極１６にかかる荷重をカバー部材１１が受けることができ、安定的な電気接続が可能となる。

（第２の実施形態）
本発明に係る第２の実施形態について、図９を参照しながら説明する。図９は第２の実施形態に係る液体吐出ユニット３００（図３）の一部の断面の拡大図である。なお、第１の実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、説明を省略する。本実施形態の特徴部は、表面電極２６を封止する部材が封止部材４３（図８）ではなく、吐出口形成部材２７を構成する流路形成層２９であることである。流路形成層２９は絶縁性を有しており、隣接する表面電極２６同士の間を絶縁することができる。流路形成層２９が表面電極２６を覆っていることにより、液体が表面電極に到達するには流路形成層２９の端部を回り込む必要があるため、液体が表面電極に接触することをさらに抑制することができる。

また図９に示すように、表面電極２６を覆う絶縁部材である流路形成層２９を封止部材４３でさらに覆うことにより、流路形成層２９と記録素子基板１０の界面を封止して、インクの侵入をより防ぐことができるため電気信頼性が向上する。カバー部材１１の延在部Ａはひさしのように記録素子基板１０上に張り出しており、ボルト締結により押し付けられて密着し、ほとんど隙間の無い状態になるため、吐出口面からのインクが侵入しにくい構成となっている。なお、流路形成層２９とカバー部材１１との接着には接着剤を用いてもよいし、封止部材４３を用いてもよい。封止部材４３を用いる場合には接着剤を塗布する工程がなくなるため液体吐出ヘッドの製造が簡易になる。

（第３の実施形態）
本発明に係る第３の実施形態について、図１０を参照しながら説明する。図１０は第３の実施形態に係る液体吐出ユニット３００（図３）の一部の断面の拡大図である。なお、第１の実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、説明を省略する。本実施形態の特徴部は、表面電極２６を封止する封止部材４３上に、吐出口形成部材２７を構成する吐出口形成層２８が形成されていることである。第１の実施形態として示した図８においては、吐出口形成層２８は表面電極２６上には形成されていない。一方、本実施形態においては図１０に示すように、封止部材４３を介して表面電極２６を覆うように吐出口形成層２８が表面電極２６の上方に張り出して形成されている。このような構成により、インクが表面電極２６に到達するには張り出した吐出口形成層２８の端部を回り込む必要があるため、インクが表面電極２６に到達することをさらに抑制することができる。

（第４の実施形態）
本発明に係る第４の実施形態について、図１１を参照しながら説明する。図１１は第４の実施形態に係る液体吐出ユニット３００（図３）の一部の断面の拡大図である。なお、第１の実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、説明を省略する。本実施形態の特徴部は、表面電極２６が吐出口形成部材２７、すなわち吐出口形成層２８及び流路形成層２９の両方の部材に覆われて封止されていることである。吐出口形成部材２７を構成する吐出口形成層２８及び流路形成層２９は共に絶縁性を有しており、隣接する表面電極２６の間を絶縁することができる。

裏面電極１６と電気配線部材１２の端子４１とをワイヤーボンディング法による電気接続する場合、ボンディングツール（不図示）を裏面電極１６に押し当てるため、吐出口形成部材２７には荷重が加わる。本実施形態のように表面電極２６を吐出口形成部材２７により封止することで、記録素子基板１０とカバー部材１１との間が吐出口形成部材２７で埋まる。これにより、ボンディングツールによる吐出口形成部材２７への荷重をカバー部材１１で受けることができるので、記録素子基板１０に荷重が集中することを抑制することができる。したがって、記録素子基板１０の割れ等を抑制することできる。また、第３の実施形態と同様に、インクが表面電極２６に到達するには張り出した吐出口形成部材２７の端部を回り込む必要があるため、インクが表面電極２６に到達することをさらに抑制することもできる。

本発明は、表面電極を覆う絶縁部材が液体吐出ヘッドの複数個所に設けられる場合においては少なくとも１つの表面電極上の絶縁部材をカバー部材１１が覆っていればよい。しかながら、より好ましくはすべての表面電極を封止する絶縁部材をカバー部材１１が覆うことである。

３ 液体吐出ヘッド
４ シリコン基板
１０ 記録素子基板
１１ カバー部材
１５ 圧力発生素子
２６ 表面電極
２７ 吐出口形成部材
９０ 電気配線基板
２１０ 流路部材

Claims (13)

1. 液体を吐出する吐出口を有する吐出口形成部材と、前記液体を吐出するため前記液体を加圧する圧力発生素子を有する基板と、を備える記録素子基板と、
   前記吐出口を露出させるための開口部を備え、前記記録素子基板の前記吐出口が形成される側に配されるカバー部材と、
   を有する液体吐出ヘッドにおいて、
   前記記録素子基板は、前記基板の前記吐出口形成部材が形成される側の面に配置される電極と、該電極を覆う絶縁部材と、をさらに有し、
   前記絶縁部材は前記カバー部材で覆われていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記絶縁部材は、樹脂による封止部材であることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記絶縁部材は、前記吐出口形成部材であることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記吐出口形成部材は、前記吐出口を形成する吐出口形成層と、前記吐出口に前記液体を供給するための流路を形成する流路形成層と、を有し、前記絶縁部材は前記吐出口形成層であることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記吐出口形成部材は、前記吐出口を形成する吐出口形成層と、前記吐出口に前記液体を供給するための流路を形成する流路形成層と、を有し、前記絶縁部材は前記流路形成層であることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記基板の前記吐出口形成部材が形成される側の面の裏面側には裏面電極が形成されており、前記電極は前記裏面電極と電気的に接続されることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記カバー部材には電気配線部材が設けられており、前記裏面電極と前記電気配線部材とはワイヤにより電気的に接続されていることを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記吐出口形成部材が配される側から見て、前記裏面電極は前記カバー部材と重なる位置に設けられていることを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記圧力発生素子は、前記液体を加熱するためのヒータであることを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
10. 複数の前記記録素子基板が液体吐出ヘッドの長手方向に直線状に配置されていることを特徴とする請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
11. 複数の前記記録素子基板が液体吐出ヘッドの長手方向に千鳥状に配置されていることを特徴とする請求項１乃至請求項９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
12. 複数の前記記録素子基板が配列されるページワイド型の液体吐出ヘッドであることを特徴とする請求項１乃至請求項１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
13. 前記記録素子基板は、前記圧力発生素子と前記吐出口との間の領域である圧力室に前記液体を供給するための供給口と、前記吐出口から吐出されなかった前記液体を前記圧力室から回収するための回収口を備え、前記圧力室と該圧力室の外部との間で前記液体が循環することを特徴とする請求項１乃至請求項１２のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
    

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