JP4984960B2 - 液滴吐出装置及びその製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、インクジェットプリンタに用いられるヘッドユニット等のような液滴吐出装置及びその製造方法に関するものである。

インクジェットプリンタでは、インクタンクから供給されるインクを移送して、ノズルから記録用紙等に向けてインク滴を吐出するインクジェットヘッドが既に知られている。例えば、特開２００６−２３１９１３号公報に開示されたインクジェットヘッドは、インク供給口に繋がる共通液室から複数のノズルまでの流路中に各ノズルに夫々対応する複数の圧力室が設けられた流路ユニットと、この流路ユニットの上に積層されて圧力室の容積を選択的に変動させる圧電アクチュエータとを備えている。

圧電アクチュエータは、複数枚が積層された圧電シートの間に共通電極と個別電極とが交互に介設された構成であり、それら個別電極及び共通電極は、外部機器との電気的接続を行うためのフレキシブル配線材に導通接続される必要がある。そのため、個別電極及び共通電極は、圧電アクチュエータの最上層の圧電シートの上面に表面電極である端子部をそれぞれ設け、圧電シート間の各電極からスルーホールを通じて導通接続させ、圧電アクチュエータの上面の各端子部とフレキシブル配線材の端子部とを接続させることで、個別電極及び共通電極が外部機器と電気的に接続されている。また、圧電アクチュエータの表面において、個別電極の端子部は、流路ユニットの圧力室（及びノズル）に対応して複数列をなして形成されており、共通電極の端子部は個別電極の端子部の群の両側（圧電アクチュエータの短辺側）に設けられている。
特開２００６−２３１９１３号公報

ところで、近年、小型でかつ高速や高解像度といった高性能なインクジェットプリンタの要望がある。それに伴い、インクジェットヘッドを大面積化することなく、ノズル数やノズル列数をさらに増設させ、対応する個別電極を更に増設させることが求められている。しかしながら、特許文献１のように圧電アクチュエータの同一表面において、フレキシブル配線材との導通のために個別電極とともに共通電極の端子部が、個別電極の端子部の群の両側に並んで配置される必要があるため、圧電アクチュエータを大面積化することなく、個別電極を増やして高密度化させることに限界が生じていた。さらに、フレキシブル配線材には、圧電アクチュエータの個別電極の端子部に接続される多数の個別導体と、圧電アクチュエータの共通電極の端子部に接続される接地導体とが形成され、それぞれの各導体と外部電源とを接続するための配線が形成されている。その配線のうち、フレキシブル配線材の表面に実装された圧電アクチュエータへ駆動信号を送る駆動回路と、多数の個別導体群を結ぶ配線は、接地導体に接続する配線を迂回して配線されなければならず、フレキシブル配線材を大面積化させずに個別電極の数を増やすと、配線間の密度が狭ピッチになり、製造限界が生じていた。

そこで、本発明は、液滴吐出装置の電極の高密度化に伴い、フレキシブル配線材やアクチュエータを大面積化させることなく、電極の高密度化を図ることを目的としている。

本発明は上述のような事情に鑑みてなされたものであり、本発明に係る液滴吐出装置は、液滴を吐出する複数のノズルに夫々対応する複数の圧力室が設けられた流路ユニットと、前記流路ユニットに前記圧力室と対向するように積層され、前記複数の圧力室に対応した複数の活性部を選択的に駆動させるアクチュエータと、前記アクチュエータの表面に接続され、複数の個別導体を有するフレキシブル配線材と、接地導体を有し、前記フレキシブル配線材とは別体である可撓性ケーブルのアース配線材とを備え、前記アクチュエータは、前記複数の活性部に対応して連続配置される共通電極と、前記複数の活性部に夫々対応して個々に配置される複数の個別電極とを有し、前記フレキシブル配線材の前記複数の個別導体が、前記アクチュエータの前記複数の個別電極に夫々接続されているとともに、前記アース配線材の前記接地導体が、前記アクチュエータの前記共通電極に接続されていることを特徴とする。

前記構成によれば、フレキシブル配線材とは別体のアース配線材が用いられて、アクチュエータの共通電極にアース配線材の接地導体が接続されているので、フレキシブル配線材には接地導体を形成する必要がなくなる。よって、フレキシブル配線材の大面積化を抑制することが可能となる。また、従来は接地導体を形成していた面積に個別導体を増設することもできるので、フレキシブル配線材を大面積化することなく個別導体を増設でき、フレキシブル配線材の配線ピッチが狭ピッチとなることを抑制できる。さらに、アース配線材はフレキシブル配線材とは別体であるため、アース配線材のレイアウトは個別導体に制約されず、アース配線材の配置自由度が向上する。よって、アクチュエータの共通電極におけるアース配線材の接地導体に接続される部分を比較的自由な位置に形成することができ、アクチュエータの小型化や個別電極の高密度化を図ることが可能となる。

前記アクチュエータは、圧電体を前記共通電極と前記複数の個別電極とで挟むように構成され、前記アクチュエータの側端部に前記共通電極の端縁部が露出しており、前記アース配線材の前記接地導体が、導電性接着剤を介して前記共通電極の前記端縁部に接続されていてもよい。

前記構成によれば、アクチュエータの側端部に露出した共通電極の端縁部がアース配線材の接地導体と接続されるので、共通電極には従来のような表面電極となる端子部を設ける必要がなく、アクチュエータの小面積化を図ることができる。また、従来は共通電極が設けられていた面に個別電極を増設することができ、アクチュエータを大面積化することなく高密度化できる。さらに、アース配線材の接地導体は導電性接着剤を介して共通電極の端縁部に接続されるので、安定かつ容易に導通を確保することができる。

前記アクチュエータの両側の側端部に前記共通電極の前記端縁部が夫々露出しており、前記アース配線材の前記接地導体と導通する前記導電性接着剤が少なくとも前記両側の端縁部を含んで塗布されていてもよい。

前記構成によれば、アクチュエータの対向する側端部の両方において共通電極が接地されるので、複数の個別電極と共通電極との間の電流方向を一方向にならぬよう両側に分散させることができ、アクチュエータにおける電気的バランスが良好となる。

前記流路ユニットは導電性材料からなり、前記導電性接着剤が前記流路ユニットにも接触していてもよい。

前記構成によれば、アース配線材の接地導体が導電性接着剤を介して流路ユニットに導通されることとなり、導電性材料からなる流路ユニットの接地を別途行う必要がなくなる。よって、流路ユニットの接地のための部品点数、製造工数及び製造コストを削減することができる。

前記アクチュエータは、前記流路ユニットの一部に重ねられ、前記流路ユニットには、前記アクチュエータを囲繞するように導電性材料からなる枠状のフレーム板が重ねられており、前記導電性接着剤は、前記アクチュエータの前記側端部と前記フレーム板の内周縁部との隙間に塗布されていてもよい。

前記構成によれば、導電性接着剤がアクチュエータの外周とフレーム板の内周との間で位置決めされ、導電性接着剤の塗布固化を精度良く且つ容易に行うことができる。また、導電性接着剤がアクチュエータとフレーム板との隙間に塗布されることで、アース配線材の接地導体が導電性接着剤を介してフレーム板に導通させることが可能となり、導電性材料からなるフレーム板の接地を別途行う必要がなくなる。よって、フレーム板の接地のための部品点数及び製造工数を削減することができる。

前記フレキシブル配線材は、前記アクチュエータとの対向面の反対側の面に接地導通部を露出して有しており、前記接地導通部と接続されたアース配線材は余長部を有していてもよい。

前記構成によれば、フレキシブル配線材が撓むことに伴ってアース配線材が湾曲した場合でも、その湾曲が余長部で吸収され、アース配線材に無理な応力が発生するのを防止することができ、アース配線材とフレキシブル配線材の接続部の剥離などを防止できる。

前記フレキシブル配線材は、その一端部が前記アクチュエータの前記個別電極にそれぞれ接続されていて、その他端部が外部信号源と接続する中継回路基板と接続されており、前記アース配線材は、その一端部が前記共通電極と接続されていて、その他端部が前記中継回路基板に接続されていてもよい。

前記構成によれば、フレキシブル配線材に接地導通部を設ける必要がなく、アース配線材によって直接に中継回路基板と接地導通されるため、フレキシブル配線材の大面積化が抑制され、個別導体の増設に対しても、配線ピッチが狭ピッチになることを防止できる。

前記アクチュエータの表面には、列をなして露出する前記各個別電極の端子部と、前記列方向に直交する方向における一端側に露出する前記共通電極の端子部とが設けられており、前記フレキシブル配線材は、前記アクチュエータの表面と略平行な方向でかつ前記列と直交する方向における他端側に延出されており、前記フレキシブル配線材の前記個別導体が前記個別電極の前記端子部に接続され、前記アース配線材の前記接地導体が前記共通電極の前記端子部に接続されていてもよい。

前記構成によれば、フレキシブル配線材の一端側に対応する位置にアクチュエータの共通電極の端子部が配置されているが、共通電極の端子部に対してはアース配線材を用いて接地配線がなされるので、フレキシブル配線材に個別導体を迂回する接地導体を設ける必要がなくなる。よって、フレキシブル配線材の大面積化を抑制することができる。

前記フレキシブル配線材は、前記他端側において前記アクチュエータとの対向面と反対側の面に露出した接地導通部と、前記一端側において両面に露出した独立導体とを有し、前記アース配線材が、前記フレキシブル配線材の前記対向面と反対側の面にて前記接地導通部と前記独立導体との間に接続されることで、前記フレキシブル配線材と前記アース配線材とを有するケーブルモジュールが構成されており、前記独立導体の前記フレキシブル配線材の前記対向面に露出した部分が、前記共通電極の端子部に接続されていてもよい。

前記構成によれば、フレキシブル配線材とアース配線材とを接続したケーブルモジュールが構成されているので、ケーブルモジュールをアクチュエータに一括接続するだけで、フレキシブル配線材とアース配線材との両方をアクチュエータに同時に接続することができ、製造効率が向上する。また、ケーブルモジュールはフレキシブル配線材が延在する方向に平行して構成されるため、省スペース化できる。

前記フレキシブル配線材は、前記一端側において両面に露出した独立導体を有し、前記他端側が外部信号源と接続する中継回路基板と接続されており、前記アース配線材は、前記フレキシブル配線材の前記アクチュエータとの対向面と反対側の面にて前記独立導体と前記中継回路基板との間で接続されることで、前記フレキシブル配線材と前記アース配線材とを有するケーブルモジュールが構成されており、前記独立導体の前記フレキシブル配線材の前記対向面に露出した部分が、前記共通電極の端子部に接続されていてもよい。

前記構成によれば、フレキシブル配線材に接地導通部を設ける必要がなく、アース配線材によって直接に中継回路基板と接地導通されるため、フレキシブル配線材の大面積化が抑制され、個別導体の増設に対しても、配線ピッチが狭ピッチになることを防止することができる。

また本発明に係る液滴吐出装置の製造方法は、圧電体の複数の活性部を共通電極と複数の個別電極とで挟むように構成されて表面に前記各個別電極の端子部が露出している積層体であって、前記共通電極が前記複数の活性部に対応して連続配置され、前記複数の個別電極が前記複数の活性部に夫々対応して個々に配置された積層体を所要形状に切断することで、その切断面である側端部に前記共通電極の端縁部が露出したアクチュエータを形成する工程と、液滴を吐出する複数のノズルに夫々対応する複数の圧力室が設けられた流路ユニットに、前記圧力室と前記活性部とを対応させて前記アクチュエータを重ねる工程と、フレキシブル配線材の複数の個別導体を前記アクチュエータの前記各個別電極の前記各端子部に夫々接続する工程と、前記アクチュエータの前記共通電極の前記端縁部に導電性接着剤を塗布する工程と、前記フレキシブル配線材とは別体である可撓性ケーブルのアース配線材の接地導体を前記導電性接着剤に接続する工程と、を備えていること特徴とする。

前記方法によれば、積層体を所要形状に切断するだけで共通電極の端子となる端縁部が形成され、容易な方法で製造工数を削減することができる。また、フレキシブル配線材とは別体のアース配線材が用いられ、アクチュエータの共通電極にはアース配線材の接地導体が接続されているので、フレキシブル配線材に接地導体を形成する必要がなくなる。よって、フレキシブル配線材の大面積化を抑制することが可能となる。また、アース配線材はフレキシブル配線材とは別体であるため、アース配線材のレイアウトは個別導体に制約されず、アース配線材の配置自由度が向上する。よって、アクチュエータの共通電極におけるアース配線材の接地導体に接続される部分を比較的自由な位置に形成することができ、アクチュエータの小型化や高密度化を図ることが可能となる。

以上の説明から明らかなように、本発明によれば、液滴吐出装置の電極の高密度化に伴い、フレキシブル配線材やアクチュエータを大面積化させることなく、電極の高密度化を図ることが可能となる。

以下、本発明に係る実施形態を図面を参照して説明する。なお、以下の説明ではインクジェットヘッドからインクを吐出する方向を下方または下側とし、その反対側を上方または上側とする。

（第１実施形態）
図１は本発明の第１実施形態に係るインクジェットプリンタ１の要部を示す概略斜視図である。図１に示すように、インクジェットプリンタ１は、一対のガイドレール２，３が略平行に配設されており、そのガイドレール２，３にヘッドユニット４（液滴吐出装置）が走査方向にスライド可能に支持されている。ヘッドユニット４には、インクタンク（図示せず）からの４色のインク（ブラック、シアン、マゼンダ、イエロー）を夫々供給する複数のインク供給チューブ９が接続されている。ヘッドユニット４には、ノズル４９が下方に露出してインクジェットヘッド１４（図２参照）が搭載されており、その下方で走査方向と直角する方向に搬送される記録用紙に向けてインクジェットヘッド１４からインクが吐出される構成となっている。ヘッドユニット４は、一対のプーリー５，６に巻き掛けられたタイミングベルト７に接合されており、タイミングベルト７はガイドレール３の延在方向と略平行に配設されている。一方のプーリー５には正逆回転駆動するモータ８が設けられており、そのプーリー５が正逆回転駆動されることでタイミングベルト７が往復移動し、ヘッドユニット４がガイドレール２，３に沿って走査される。

図２は図１に示すインクジェットプリンタ１のヘッドユニット４の分解斜視図である。図２に示すように、ヘッドユニット４は、上から順に、バッファタンク１１と、キャリッジ１２と、フレーム板１３と、インクジェットヘッド１４と、保護カバー１５とを備え、さらに、インクジェットプリンタの本体側に固定的に設置されたメイン制御回路基板（図示せず）にフレキシブルケーブル７２を介して接続される中継回路基板７０をさらに備えている。そして、ヘッドユニット４の底面１２ａの下側に、フレーム板１３及び保護カバー１５を接着固定されたインクジェットヘッド１４が接着固定され、ヘッドユニット４の底面１２ａの上側にはバッファタンク１１が備え付けられ、キャリッジ１２の上面に中継回路基板５０が支持されて構成される。

バッファタンク１１は、カートリッジ型のインクタンク（図示せず）からインク供給チューブ９（図１参照）を介して供給される４色のインクを一旦貯留し、インクジェットヘッド１４に適宜インクを供給する構成となっている。バッファタンク１１の内部には、４色のインクに対応して４つのインク室がそれぞれ形成されており、各インク室内のインクをインクジェットヘッド１４に供給するためのインク流出口１１ａと連通している。また、バッファタンク１１の貯留量はインクタンク（図示せず）に貯留されるインク量に比べて小容量である。

キャリッジ１２は、底壁部１２ａと側壁部１２ｃとを有する断面凹形状の樹脂製のケースであり、バッファタンク１１がケース内に収容されるとともに、フレーム板１３及び保護カバー１５を備えたインクジェットヘッド１４が下面側に固定されて、ガイドレール５，６（図１参照）にスライド可能に載置される。底面１２ａには、後述するインクジェットヘッド１４のフレキシブル配線材１９を挿入するためのスリット１２ｂが貫通形成されている。フレキシブル配線材１９は、スリット１２ｂを通過して駆動ＩＣチップ２２を放熱板（図示せず）に接触させ、バッファタンク１１とキャリッジ１２の側壁部１２ｃとの間を上方に通って引き出され、他のフレキシブル配線材７２と接続されている中継回路基板７０のコネクタ７１に接続される。中継回路基板７０は、剛性を有する電気絶縁基板に配線パターンが印刷形成されたもので、フレキシブル配線材１９の一端の端子が着脱可能に接続されるコネクタ７１を上面に有する。コネクタ７１は、端子を挿抜するタイプ、レバー部材で端子を挟むタイプのものなど、各種のものが使用される。また、中継回路基板７０には、後述する共通電極端子７３をその上面に有している。

インクジェットヘッド１４は、インク滴を吐出する複数のノズル４９（図５及び図６参照）を最下面に有する流路ユニット１７と、流路ユニット１７の上面の一部に積層され流路ユニット１７内のインクに選択的に吐出圧力を与える圧電駆動式のアクチュエータ１８と、アクチュエータ１８の上面にその一端が接続され、他端が走査方向に引き出された可撓性の平坦なフレキシブル配線材１９と、アクチュエータ１８の側端部に接続されるアース配線材２０とを備えている。インクジェットヘッド１４についての詳細は後述する。
保護カバー１５は、平面視コ字形状であり、インクジェットヘッド１４の周囲に配置されるようにフレーム板１３の下面に取り付けられている。これにより、インクジェットヘッド１４とフレーム板１３との間の段差が解消された状態で、インクジェットヘッド１４のノズル４９が保護カバー１５により保護されることとなる。

図３は図２に示すインクジェットヘッド１４にフレーム板１３及び保護カバー１５が積層された状態の斜視図である。図２及び図３に示すように、フレーム板１３は、金属等の高剛性の導電性材料からなる扁平な枠状体であり、矩形状の窓部１３ａと、４つのインク通路孔１３ｂとを有している。窓部１３ａは、アクチュエータ１８と対応する位置に貫通形成されていて、平面視でアクチュエータ１８の外形よりも大きく、かつ流路ユニット１７の外形よりも小さく形成されていて、その窓部１３ａからインクジェットッヘッド１４のフレキシブル配線材１９の他端を引き出し、アクチュエータ１８部分が窓部１３ａから露出するようにして流路ユニット１７と接着されている。また、インク通路孔１３ｂは、流路ユニット１７の後述するインク供給口１７ａに連通するように貫通形成されている。

また、図２に示すように、フレーム板１３及び保護カバー１５が接着固定されたインクジェットヘッドは、キャリッジ１２の底面１２ａの下面とフレーム板１３が接着固定され、図示しないキャリッジ１２の底面１２ａの開口部からインク通路孔１３ｂが表出している。インク通路孔１３ｂは、キャリッジ１2内に収容されたバッファタンク１１のインク流出口１１ａとの間に弾性シール材２３が配設され、バッファタンク１１のインク流出口１１ａが、弾性シール材２３及びフレーム板１３のインク通路孔１３ｂを介して、流路ユニット１７のインク供給口１７ａと気密的に連通する。

次にインクジェットヘッド１４について説明する。図４は図２に示すインクジェットヘッド１４の平面図である。図５は図４のＶ−Ｖ線断面図である。図６は図４のＶＩ−ＶＩ線断面図である。なお、説明のため、フレキシブル配線材１９は省略して記載されてある。

インクジェットヘッド１４は、上述したように流路ユニット１７とアクチュエータ１８とが積層接着され、さらにアクチュエータ１８の上面にフレキシブル配線材１９を接合し、さらにアース配線材２０とを接続した構成である。

流路ユニット１７は、内部にインク流路を構成する開口を有する複数のプレート４３〜４７が積層接着された構成となっている。その最下面のプレート４７には、複数のノズル４９が下方に開口露出して形成され、列方向（走査方向に直角方向）に千鳥状に並び、走査方向にインク色ごとに４列配列されている。最上面のプレート４３には、複数の圧力室３９が平面視細長形状に形成され、複数のノズル４９に対応して列方向に千鳥状に並び、走査方向に４列配列して形成されている。圧力室３９の長手方向（走査方向）の一端部が複数のノズル４９と、他端部が後述する共通液室３７に連通して形成されている。共通液室３７は、２枚のプレート４５、４６にインク色ごとに走査方向に４列配列されていて、列方向に延在して形成されている。共通液室３７には、後述するインク供給口１７ａから各インクが供給されている。

また、プレート４４、４５及び４６には、共通液室３７と圧力室３９とノズル４９とを連通させる各インク流路が形成されている。例えば、プレート４５には、各圧力室３９と各ノズル４９を連通する流出路４８が形成されていて、プレート４４及び４６には、各共通液室３７と圧力室３９の一端部とを連通させる複数の接続流路３８が形成されている。また、インクを流路ユニット１７の長手方向（列方向）の一側の端部には、バッファタンク１１からの各インクが供給されるインク供給口１７ａがインク色別に形成され、共通液室３７に各インクを供給している。なお、複数のプレート４３〜４６は、４２％ニッケル合金鋼板製などの金属の導電性材料からなり、プレート４７は、ポリイミド等の合成樹脂製である。

アクチュエータ１８は、その平面視における外形を流路ユニット１７の外形よりも小さくし、流路ユニット１７の上面のうちインク供給口１７ａを含むアクチュエータ１８の周囲が露出するようになっている。図４乃至図６に示すように、アクチュエータ１８は、複数の圧力室３９を覆う最下層の圧電体３０を含んだ複数枚のシート状の圧電体３０〜３３が積層されている。１枚の圧電体の厚さは３０μｍ程度で、例えばＰＺＴなどからなる。各圧電体のうち、下から偶数段目の圧電層３１の上面（広幅面）には、圧力室３９に対応した箇所に細幅の個別電極３５が形成され、下から奇数段目の圧電層３２の上面（広幅面）には、複数の圧力室に対して共通の共通電極３４がアクチュエータ１８の両側端部１８ａにまで連続して設けられている。共通電極３４と個別電極３５は、最下層の圧電体を除いて、少なくとも１つの圧電体を挟んで交互に配置され、互いに対向している。そして、アクチュエータ１８の個別電極３５のそれぞれと、流路ユニット１７の圧力室のそれぞれを対向させて、その両者が接着固定されている。

また、圧電体は、共通電極３４と個別電極３５とで挟まれた部位が変形可能な活性部Ａとなっており、即ち、共通電極３４が複数の活性部Ａに対応して連続配置されており、個別電極３５は複数の活性部Ａに夫々対応して個々に配置されている。活性部Ａは、後述する駆動ＩＣチップ２２が、印字データに応じて選択的に個別電極３５と共通電極３４との間に電圧を印加させることにより、その印加された個別電極３５に対応した活性部Ａを積層方向に歪ませ、この変位が圧力室の容積を変化させ、インクを吐出する圧力と圧力波を発生させ、インクをノズルから吐出させる。

さらに、アクチュエータ１８は、最上層に絶縁シート３３が積層されており、圧電シート内の個別電極３５に、公知のスルーホールに充填された導電性材料を介して導通する個別表面電極３５が絶縁シート３３の表面に列方向に千鳥状に並び、走査方向に４列に並んで形成している。そして、アクチュエータ１８上には、後述するフレキシブル配線材１９の接合面（下面）と接続される個別電極３５の端子部３５ａが設けられている。個別電極端子部３５ａは、個別電極３５と同じ細幅の矩形状で、個別電極３５の１つの列において、各個別電極３５の長手方向（走査方向）の一端寄りまたは他端よりに交互に配列されている。

また、共通電極３４は、アクチュエータ１８の列方向両側の側端部１８ａに共通電極３４の端縁部３４ａが夫々露出しており、この端縁部３４ａがアース配線材２０との接続端子の役目を果たしている。

アクチュエータ１８の形成方法としては、圧電体３０〜３２、共通電極３４、個別電極３５及び絶縁シート３３からなる大面積の積層体を焼成後に所要形状にダイサーで切断することで、その切断面である列方向両側の側端部１８ａに共通電極３４の両端縁部３４ａが露出したアクチュエータ１８が形成されている。

フレキシブル配線材１９は、外部からの制御信号を伝達するための複数の配線パターン１００、１０１ａ、１０１ｂが配設されており、フレキシブル配線材１９の一端はアクチュエータ１８の最上層の面と接合して電気的に接続され、他端は走査方向に引き出されている。フレキシブル配線材１９上の他端側には、印字データにもとづいてアクチュエータ１８に電圧を選択的に印加する駆動ＩＣチップ２２が搭載されている。フレキシブル配線材は、例えば、ＣＯＦ(Chip on Film)で、電気絶縁性を有し可撓性の合成樹脂材（例えば、ポリイミド樹脂）からなる帯状のベース材の片面に、銅箔からなる複数の個別導体１９ａ、複数の配線１００、１０１ａ、１０１ｂがフォトレジスト等により形成されていて、これらの表面を、電気絶縁性を有し可撓性の合成樹脂（例えば、ポリイミド樹脂）からなるカバーレイにて被覆させている。また、ベース材の上面に塔載された駆動ＩＣチップ２２は、入力側個別配線１０１ａと出力側個別配線１０１ｂ及び共通電極配線１００が接続されている。個別導体１９ａは、アクチュエータ１８と接続する下面に、アクチュエータ１８の個別電極３５の端子部３５ａと対応する位置に形成され、配線パターン１０１ｂの端部と接続されている。個別導体１９ａは、フレキシブル配線材１９のベース材の個別電極３５の端子部３５ａに対応する部位に開口部を形成することで露出しており、その露出した個別導体１９ａと個別電極３５の端子部３５ａとが導電性ろう材により固着されている。

配線パターン１００は共通電極用配線で、フレキシブル配線材の幅方向（列方向）の一側に配線されていて、その部分においてカバーレイが少なくとも１箇所で露出して、接地導通部１９ｂ（図７参照）を設けている。接地導通部１９ｂは、アクチュエータ１８の個別電極端子と接続するフレキシブル配線材１９の個別導体が形成されていない余白領域に設けられていて、接地導通部１９ｂはグランド電位に保持されている。フレキシブル配線材１９の引き出された側の一端は、バッファタンク１１の上側に設けられた中継回路基板７０に接続され、その中継回路基板７０は、他のフレキシブルフラットケーブルを介してプリンタ本体側のメイン制御回路基板（図示せず）に接続される。

アース配線材２０は、平面視で略Ｕ字形状とすることで余長部２０ｄを有する平坦なジャンパーケーブルからなり、内部に幅広の接地導体２０ａ（図７参照）を有しており、両端にそれぞれ端子部２０ｂ，２０ｃが設けられている。アース配線材２０は、共通電極に接続されてグランド線になる。

図７はアース配線材２０が接続された状態のインクジェットヘッド１４の平面図である。インクジェットヘッド１４は、流路ユニット１７の上面の一部にアクチュエータ１８が重ねられ、アクチュエータ１８の上面に露出した複数の個別電極３５の端子部３５ａ（図４参照）にフレキシブル配線材１９の下面に露出した個別導体１９ａが夫々導電性ろう材により接続されている。さらにフレーム板１３の窓部１３ａからフレキシブル配線材１９を引き出し、アクチュエータ１８に対応する部分を露出させた状態でそのフレーム板１３の窓部１３ａによりアクチュエータ１８が囲繞された状態となっている。フレキシブル配線材１９の接地導通部１９ｂには、予めアース配線材２０の一端側の端子部２０ｂが接続されている。アクチュエータ１８の両側端部１８ａとフレーム板１３の窓部１３ａの内周縁部との隙間Ｓには、導電性接着剤４０，４１が塗布されている。即ち、導電性接着剤４０，４１は、アクチュエータ１８の共通電極３４の両端縁部３４ａと、流路ユニット１７の上面と、フレーム板１３の窓部１３ａの内周縁部とに接触するように塗布され、流路ユニット１７をグランドに落としている。

その導電性接着剤４０には、アース配線材２０の他端側の端子部２０ｃが接続されている。こうすることで、アクチュエータ１８の共通電極３４の一端側（図７左側）の端縁部３４ａは、導電性接着剤４０を介してアース配線材２０の接地導体２０ａに接続されている。さらに、アクチュエータ１８の共通電極３４の他端側（図７右側）の端縁部３４ａは、導電性接着剤４１、流路ユニット１７、フレーム板１３及び導電性接着剤４０を介して、アース配線材２０の接地導体２０ａに導通されている。また、アクチュエータ１８の長手方向の側端部とフレーム板１３の窓部１３ａとの隙間Ｓには、ポッティング剤４２が塗布されているが、ポッティング剤４２を導電性接着剤に替え、導電性接着剤４０、４１をつなぐようにすることでグランドとなる配線を太くすることができる。導電性接着剤４０、４１は、アクチュエータ１８の両側端部１８ａに塗布させることが好ましいが、アース配線材２０の接地導体２０ａと接続される側の側端部１８ａに塗布されていれば、片方の側端部１８ａだけでも良い。さらに、本実施形態では、フレーム板１３の窓部１３ａとの隙間に導電性接着剤４０、４１が塗布されるが、フレーム板１３が配置されないようなインクジェットヘッド１４の構成の場合でも、アクチュエータ１８の側端部１８ａとアース配線材２０とに、導電性接着剤４０または４１が塗布されていれば、電気的に接続することが可能である。

フレキシブル配線材１９は、図２に示すように、キャリッジ１２のスリット１２ｂに挿入され、図示しない放熱板と駆動ＩＣチップ２２を接触させ、バッファタンク１１とキャリッジ１２の側壁部１２ｃとの間を通って、他のフレキシブル配線材（図示せず）と接続されるため、キャリッジ１２内で撓ませる、または、折り曲げる必要がある。そのため、アース配線材２０は、可撓性を持たすために余長部２０ｄが備えられていて、その余長部２０ｄが一端側（図７右側）に向くように配置されることでフレキシブル配線材１９に対して平面視で重ねられている。余長部２０ｄが設けられていることで、フレキシブル配線材１９の撓みにより、フレキシブル配線材１９とアース配線材２０との接合部との剥離を防止することができる。アース配線材２０の形状は、余長部２０ｄが設けられていればこの形状に限らない。

以上に説明した構成によれば、アクチュエータ１８の側端部１８ａに共通電極３４を側端部３４ａに露出させて、フレキシブル配線材１９とは別体のアース配線材２０が用いられて、アクチュエータ１８の共通電極３４にアース配線材２０の接地導体２０ａが接続されているので、アクチュエータ１８の上面に従来のような共通電極３４用の端子部を設ける必要がなく、アクチュエータ１８の小面積化を図ることができる。また、アース配線材２０の接地導体２０ａは導電性接着剤４０，４１を介して共通電極３４の端縁部３４ａに接続されるので、安定かつ容易に導通を確保することができる。さらに、アクチュエータ１８の対向する側端部１８ａの両方において共通電極３４が接地されるので、複数の個別電極３５と共通電極３４との間の電流方向を一方向にならぬよう両側に分散させることができ、アクチュエータ１８における電気的バランスを良好に保つことができる。導電性また、積層体を所要形状に切断してアクチュエータ１８を形成するだけで共通電極３４の端子となる端縁部３４ａが形成されるので、共通電極３４に特別な端子部を設ける必要がなくなり、製造工数を削減することができる。アクチュエータ１８の最上面に共通電極３４を設置せず、個別電極３５の端子部３５ａのみを設置することができ、アクチュエータ１９を大面積化することなく、個別電極数を増やすことができる。

また、フレキシブル配線材１９にはアクチュエータ１８の共通電極に接続する接地導体を少なくとも１箇所設けてあればよいため、フレキシブル配線材１９の大面積化を抑制して、個別電極数の増加に対応することが可能となり、配線密度も狭ピッチにしなくても良い。また、アース配線材２０はフレキシブル配線材１９とは別体であるため、アース配線材２０のレイアウトはフレキシブル配線材１９の個別導体１９ａに制約されず、アース配線材２０の配置自由度が向上する。よって、アクチュエータ１８の共通電極３４における端子部分を比較的自由な位置に形成することができ、アクチュエータ１８の小型化や高密度化を図ることが可能となる。

また、アース配線材２０の接地導体２０ａは導電性接着剤４０，４１を介して流路ユニット１７にも導通されているので、従来、銀ペーストを用いて手作業で行なっていた流路ユニット１７の接地を別途行う必要がなくなり、部品点数、製造工数及び製造コストを削減することができる。かつ、アース配線材２０の接地導体２０ａが導電性接着剤４０，４１を介してフレーム板１３ａにも導通されているので、フレーム板１３の接地を別途行う必要がなくなり、部品点数及び製造工数をさらに削減することができる。

さらに、導電性接着剤４０，４１は、アクチュエータ１８とフレーム板１３との隙間Ｓに塗布されているので、導電性接着剤４０，４１がその隙間Ｓより位置決めされ、導電性接着剤４０，４１の塗布固化を精度良く且つ容易に行うことができる。また、アース配線材２０は、フレキシブル配線材１９の接地導通部１９ｂとアクチュエータ１８の共通電極３４の端縁部３４ａとの間の距離よりも全長が長くなるように余長部２０ｄを有している。よって、フレキシブル配線材１９の撓みによりアース配線材２０が湾曲した場合でも、その湾曲が余長部２０ｄで吸収され、アース配線材２０に無理な応力が発生するのを防止することができる。なお、本実施形態では、導電性接着剤４０，４１をアクチュエータ１８の両側に塗布しているが、片側に導電性接着剤４０を塗布するだけでもよい。

また、アース配線材２０は、アクチュエータ１８及びフレキシブル配線材１９の一方側（図７左側）のみに配線されているが、両側（図７左右両側）に分割させてもよく、フレキシブル配線材の幅方向（列方向）に対称に２つの接地導通部を設け、２つの接地導通部に引き回される配線１００を形成させ、アクチュエータの両側端部１８の両側縁部３４ａと導電性接着剤４０、４１を導通させて、２つのアース配線材２０を導電性接着剤４０、４１と、２つの接地導通部とをそれぞれ接続させてもよい。このように構成することで、フレキシブル配線材に配線１００を両側に設ける必要はあるため、大面積化の点では効果は小さいが、アクチュエータ１８の両側間での電位差を低減することができる。

なお、アース配線材２０は、ジャンパーケーブルに限定されることはなく、可撓性を有する導電性の接続材料（例えば、撚り電線やフレキシブルフラットケーブルなど）であれば十分に機能することができる。

また、第１実施形態の変形例として、フレキシブル配線材１９の接地導通部１９ｂを設けず、フレキシブル配線材１９は、その個別導体１９ａがアクチュエータ１８の個別電極３５の端子部３５ａと接続され、その接続されたアクチュエータ１８から引き出された側の端部が中継回路基板７０と接続されていて、アース配線材２０の一端をアクチュエータ１８の側端部１８ａの共通電極３４の端縁部３４ａと接続する一方、その引き出された側の他端部を中継回路基板７０に直接接続させるようにしても良い。引き出されたアース配線材２０は、フレキシブル配線材１９と同様にキャリッジ１２内のスリット１２ｂから側壁部１２ｃに沿って上方に引き出されて、中継回路基板７０の共通電極端子７３と接続する。共通電極端子７３は、導電性ろう材等で基板７０上にハンダ付けしてもよいし、アース配線材２０の接地導体と同数の接点を有するものであって、端子を挿抜するタイプ、レバー部材で端子を挟むタイプのものなど、各種のものが使用される。

このような構成にすることで、フレキシブル配線材１９内の共通電極配線１００を形成する必要がないため、フレキシブル配線材１９は大面積化を抑制できるだけでなく、入力側個別配線１０１ａ及び出力側個別配線１０１ｂのみを配線させることができ、個別電極を増設した場合でも、配線密度を狭ピッチにしないでもよい。

（第２実施形態）
次に、第２実施形態について説明する。図８は本発明の第２実施形態に係るインクジェットヘッドのアクチュエータ５０を示す平面図である。図９は図８のＩＸ−ＩＸ線断面図である。なお、第１実施形態と同様の構成については説明を省略する。図８及び図９に示すように、アクチュエータ５０は、複数のシート状の圧電体５１〜５３が積層され、圧電体５２の下面側に共通電極５５が設けられていると共に圧電体５２の上面側に複数の個別電極５６が設けられており、共通電極５５と個別電極５６とで挟まれた部位が変形可能な活性部Ａとなっている。即ち、共通電極５５は、複数の活性部Ａに対応して連続配置されており、個別電極５６は複数の活性部Ａに夫々対応して個々に配置されている。

また、アクチュエータ５０は、最上層に絶縁シート５４が積層されており、個別電極５６にスルーホール５７を介して導通する端子部５６ａが絶縁シート５４の表面に４列露出している。さらに、アクチュエータ５０は、共通電極５５にスルーホール５８を介して導通する端子部５５ａが絶縁シート５４の表面に１列露出している。共通電極５５の端子部５５ａは、列方向に直交する方向（走査方向）における一端側（図８下側）に並んで露出しており、後述するフレキシブル配線材６０（図１０参照）がアクチュエータ５０の表面と略平行な方向でかつ列方向と直交する方向（走査方向）における他端側（図８上側）に延出配置される。

図１０は図８に示すアクチュエータ５０に接続されるフレキシブル配線材６０の平面図である。図１０に示すように、フレキシブル配線材６０は、駆動ＩＣチップ６３が搭載されたＣＯＦ(Chip on Film)であり、第１実施形態と同じものである。フレキシブル配線材６０は、アクチュエータ５０の各個別電極５６に駆動電圧を供給するための多数の個別導体６１がアクチュエータ５０の個別電極５６の端子部５６ａに対応した位置に形成されている。さらに、フレキシブル配線材６０の上面（アクチュエータ５０との対向面の反対側の面）にはカバーレイを開口させて銅箔を露出してアース電位に保持される接地導通部６２が形成されていて、さらにフレキシブル配線材のカバーレイを上下両面に島状に開口して銅箔を露出させ独立した導体である独立導体６４が、アクチュエータ１８の共通電極５５の端子部５５ａに対応した位置に形成されている。接地導通部６２は、平面視で個別電極６１群と駆動ＩＣチップ６３との間の領域に銅箔を露出している。個別電極６１の群は、接地導通部６２と独立導体６４との間の領域に配置されている。配線パターンは、共通電極配線１０２、駆動ＩＣチップ２２の入力側個別配線１０３ａと出力側個別配線１０３ｂが形成されていて、接地導通部６２は、共通電極配線１０２のカバーレイを露出させて形成され、出力側個別配線１０３ｂは、接地導通部６２を迂回して各個別電極６１まで引き出されて接続されている。

図１１は図１０に示すフレキシブル配線材６０にアース配線材６５が接続されてなるケーブルモジュール６６の平面図である。図１１に示すように、アース配線材６５は、平面視で略矩形状の平坦なジャンパーケーブルからなり、内部に幅広の接地導体６５ａを有しており、両端にそれぞれ端子部６５ｂ，６５ｃが設けられている。このアース配線材６５は、その端子部６５ｂを接地導通部６２と接続し、その端子部６５ｃを独立導体６４と接続することで、フレキシブル配線材６０の上面に重なるように接続されている。即ち、アース配線材６５が接地導通部６２と独立導体６４との間に接続されることで、フレキシブル配線材６０とアース配線材６５とを有するケーブルモジュール６６が予め一体的に形成されている。なお、アース配線材６５は、端子部６５ｂ、６５ｃを除いてフレキシブル配線材６０の表面と接合されていないが、互いに面接合されていてもよい。

そして、そのケーブルモジュール６６がアクチュエータ５０の上面に載置され、フレキシブル配線材６０の個別導体６１がアクチュエータ５０の個別電極５６の端子部５６ａに接続されているとともに、フレキシブル配線材６０の独立導体６４の下面（図１１紙面奥側）に露出した部分がアクチュエータ５０の共通電極５５の端子部５５ａに導電性ろう材にて接続されている。即ち、フレキシブル配線材６０の接地導通部６２は、アース配線材６５の接地導体６５ａ及びフレキシブル配線材６０の独立導体６４を介して、アクチュエータ５０の共通電極５５に導通されている。独立導体６４は、カバーレイを上下面に島状に開口して銅箔を露出させて形成されているが、上面だけ銅箔を露出させ、下面には個別電極端子と同様に端子を設けてもよい。また、独立導体６４は、アクチュエータ５０の端子部５５ａとアース配線材６５の接地導体６５ａとを接続できるように、フレキシブル配線材６０の銅箔を露出させてあればよいので、開口形状は特に島状でなくてもよい。

以上に説明した構成によれば、フレキシブル配線材６０の一端側（図１０紙面下側）に対応する位置にアクチュエータ５０の共通電極５５の端子部５５ａが配置されているが、共通電極５５の端子部５５ａに対してはアース配線材６５を用いて接地配線がなされるので、フレキシブル配線材６０に個別導体６１を迂回する接地導体を設ける必要がなくなる。よって、フレキシブル配線材６０の大面積化を抑制することができる。また、アクチュエータ５０の共通電極５５の端子部５５ａが、従来列方向の両端側に設けられていたが、走査方向の一端側に配置されることで、アクチュエータの列方向の長さを小さくすることができるとともに、アクチュエータの列方向に多数の電極を高密度配置することも可能となる。また、フレキシブル配線材６０とアース配線材６５とを接続したケーブルモジュール６６が予め形成されているので、ケーブルモジュール６６をアクチュエータ５０に一括接続するだけで、フレキシブル配線材６０とアース配線材６５との両方をアクチュエータ５０に同時に接続することができ、製造効率が向上する。また、ケーブルモジュール６６が、フレキシブル配線材１９の他端側が引き出された方向と平行に設けられるため、キャリッジ１２にインクジェットヘッド１４を配置しても、フレキシブル配線材１９に沿って撓むことができるので、他の部品に接触することなく、コンパクトに収容することができるため、省スペース化の点で好ましい。

また、第２実施形態の変形例として、フレキシブル配線材６０の接地導通部６２を設けず、フレキシブル配線材６０は、その個別導体６１がアクチュエータ５０の個別電極５６の端子部５６ａと接続され、その接続されたアクチュエータ５０から引き出された側の端部が中継回路基板７０と接続されていて、アース配線材６５の一端をフレキシブル配線材６０の一端側の独立導体６４と接続する一方、その引き出された側の他端部を中継回路基板７０に直接接続させるようにしても良い。引き出されたアース配線材６５は、フレキシブル配線材１９の上面を覆うように沿って、キャリッジ１２内のスリット１２ｂから側壁部１２ｃに沿って上方に引き出し、中継回路基板７０の共通電極端子７３と接続する。共通電極端子７３とアース配線材６５は、導電性ろう材等でハンダ付けしてもよいし、幅広に形成されたアース配線材６５と接続できるように、共通電極端子７３をアース配線材６５の接地導体と同数の接点を有するものであって、端子を挿抜するタイプ、レバー部材で端子を挟むタイプのものなど、各種のものが使用される。

このような構成にすることで、フレキシブル配線材６０内の共通電極配線１０２を形成する必要がないため、フレキシブル配線材６０は大面積化を抑制できる。また第２実施形態では、少なからず接地導通部６２が形成されている部分を迂回して配線１０３ｂを引き回す必要があったが、変形例においては、接地導通部６２を設ける必要がないため、入力側個別配線１０３ａ及び出力側個別配線１０３ｂのみを配線させることができ、個別電極を増設した場合でも、配線密度を狭ピッチにしないでもよい。

なお、他の構成は第１実施形態と同様であるため説明を省略する。また、前述した各実施形態は本発明をインクジェットヘッドに適用したものであるが、インク以外の液体を吐出する液滴吐出装置に適用してもよい。

以上のように、本発明に係る液滴吐出装置及び液滴吐出装置の製造方法は、液滴吐出装置の電極の高密度化に伴い、フレキシブル配線材やアクチュエータを大面積化させることなく、電極の高密度化を図ることが可能となる優れた効果を有し、この効果を発揮できるインクジェットヘッド等に適用すると有益である。

本発明の第１実施形態に係るインクジェットプリンタの要部を示す概略斜視図である。 図１に示すインクジェットプリンタのヘッドユニットの分解斜視図である。 図２に示すインクジェットヘッドにフレーム板が積層された状態の斜視図である。 図２に示すインクジェットヘッドのアクチュエータの平面図である。 図４のＶ−Ｖ線断面図である。 図４のＶＩ−ＶＩ線断面図である。 図３に示すインクジェットヘッドにアース配線材が接続された状態の平面図である。 本発明の第２実施形態に係るインクジェットヘッドのアクチュエータを示す平面図である。 図８のＩＸ−ＩＸ線断面図である。 図８に示すアクチュエータに接続されるフレキシブル配線材の平面図である。 図１０に示すフレキシブル配線材にアース配線材が接続されてなるケーブルモジュールの平面図である。

符号の説明

１ インクジェットプリンタ
４ ヘッドユニット（液滴吐出装置）
１３ フレーム板
１４ インクジェットヘッド
１７ 流路ユニット
１８，５０ アクチュエータ
１８ａ 側端部
１９、６０ フレキシブル配線材
１９ａ，６１ 個別導体
１９ｂ 接地導通部
２０，６５ アース配線材
２０ａ，６５ａ 接地導体
３４，５５ 共通電極
３４ａ 端縁部
３５，５６ 個別電極
３９ 圧力室
４０，４１ 導電性接着剤
４９ ノズル
６２ 接地導通部
６４ 独立導体
６６ ケーブルモジュール
Ａ 活性部
Ｓ 隙間

Claims (11)

1. 液滴を吐出する複数のノズルに夫々対応する複数の圧力室が設けられた流路ユニットと、
   前記流路ユニットに前記圧力室と対向するように積層され、前記複数の圧力室に対応した複数の活性部を選択的に駆動させるアクチュエータと、
   前記アクチュエータの表面に接続され、複数の個別導体を有するフレキシブル配線材と、
   接地導体を有し、前記フレキシブル配線材とは別体である可撓性ケーブルのアース配線材とを備え、
   前記アクチュエータは、前記複数の活性部に対応して連続配置される共通電極と、前記複数の活性部に夫々対応して個々に配置される複数の個別電極とを有し、
   前記フレキシブル配線材の前記複数の個別導体が、前記アクチュエータの前記複数の個別電極に夫々接続されているとともに、前記アース配線材の前記接地導体が、前記アクチュエータの前記共通電極に接続されていることを特徴とする液滴吐出装置。
2. 前記アクチュエータは、圧電体を前記共通電極と前記複数の個別電極とで挟むように構成され、前記アクチュエータの側端部に前記共通電極の端縁部が露出しており、
   前記アース配線材の前記接地導体が、導電性接着剤を介して前記共通電極の前記端縁部に接続されている請求項１に記載の液滴吐出装置。
3. 前記アクチュエータの両側の側端部に前記共通電極の前記端縁部が夫々露出しており、
   前記アース配線材の前記接地導体と導通する前記導電性接着剤が少なくとも前記両側の端縁部を含んで塗布されている請求項２に記載の液滴吐出装置。
4. 前記流路ユニットは導電性材料からなり、前記導電性接着剤が前記流路ユニットにも接触している請求項２又は３に記載の液滴吐出装置。
5. 前記アクチュエータは、前記流路ユニットの一部に重ねられ、
   前記流路ユニットには、前記アクチュエータを囲繞するように導電性材料からなる枠状のフレーム板が重ねられており、
   前記導電性接着剤は、前記アクチュエータの前記側端部と前記フレーム板の内周縁部との隙間に塗布されている請求項２乃至４のいずれかに記載の液滴吐出装置。
6. 前記フレキシブル配線材は、前記アクチュエータとの対向面の反対側の面で接地導通部を露出して有しており、前記接地導通部と接続されたアース配線材は余長部を有している請求項１乃至５のいずれかに記載の液滴吐出装置。
7. 前記フレキシブル配線材は、その一端部が前記アクチュエータの前記個別電極にそれぞれ接続されていて、その他端部が外部信号源と接続する中継回路基板と接続されており、
   前記アース配線材は、その一端部が前記共通電極と接続されていて、その他端部が前記中継回路基板に接続されている請求項１乃至５のいずれかに記載の液滴吐出装置。
8. 前記アクチュエータの表面には、列をなして露出する前記各個別電極の端子部と、前記列方向に直交する方向における一端側に露出する前記共通電極の端子部とが設けられており、
   前記フレキシブル配線材は、前記アクチュエータの表面と略平行な方向でかつ前記列と直交する方向における他端側に延出されており、
   前記フレキシブル配線材の前記個別導体が前記個別電極の前記端子部に接続され、前記アース配線材の前記接地導体が前記共通電極の前記端子部に接続されている請求項１に記載の液滴吐出装置。
9. 前記フレキシブル配線材は、前記他端側において前記アクチュエータとの対向面と反対側の面に露出した接地導通部と、前記一端側において両面に露出した独立導体とを有し、
   前記アース配線材が、前記フレキシブル配線材の前記対向面と反対側の面にて前記接地導通部と前記独立導体との間に接続されることで、前記フレキシブル配線材と前記アース配線材とを有するケーブルモジュールが構成されており、
   前記独立導体の前記フレキシブル配線材の前記対向面に露出した部分が、前記共通電極の端子部に接続されている請求項８に記載の液滴吐出装置。
10. 前記フレキシブル配線材は、前記一端側において両面に露出した独立導体を有し、前記他端側が外部信号源と接続する中継回路基板と接続されており、
    前記アース配線材は、前記フレキシブル配線材の前記アクチュエータとの対向面と反対側の面にて前記独立導体と前記中継回路基板との間で接続されることで、前記フレキシブル配線材と前記アース配線材とを有するケーブルモジュールが構成されており、
    前記独立導体の前記フレキシブル配線材の前記対向面に露出した部分が、前記共通電極の端子部に接続されている請求項８に記載の液滴吐出装置。
11. 圧電体の複数の活性部を共通電極と複数の個別電極とで挟むように構成されて表面に前記各個別電極の端子部が露出している積層体であって、前記共通電極が前記複数の活性部に対応して連続配置され、前記複数の個別電極が前記複数の活性部に夫々対応して個々に配置された積層体を所要形状に切断することで、その切断面である側端部に前記共通電極の端縁部が露出したアクチュエータを形成する工程と、
    液滴を吐出する複数のノズルに夫々対応する複数の圧力室が設けられた流路ユニットに、前記圧力室と前記活性部とを対応させて前記アクチュエータを重ねる工程と、
    フレキシブル配線材の複数の個別導体を前記アクチュエータの前記各個別電極の前記各端子部に夫々接続する工程と、
    前記アクチュエータの前記共通電極の前記端縁部に導電性接着剤を塗布する工程と、
    前記フレキシブル配線材とは別体である可撓性ケーブルのアース配線材の接地導体を前記導電性接着剤に接続する工程と、を備えていること特徴とする液滴吐出装置の製造方法。

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