JP2020064969A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体層内の結晶粒の粒径を小さくすることが可能な半導体装置およびその製造方法を提供する。【解決手段】一の実施形態によれば、半導体装置は、導電性を有する多結晶半導体層である第1半導体層と、前記第1半導体層上に設けられ、導電性を有し前記第1半導体層よりも粒径の小さい多結晶半導体層である第2半導体層と、前記第2半導体層上に、第1方向に互いに離間して積層された複数の電極層とを備える。前記装置はさらに、前記第1半導体層、前記第2半導体層、および各々の前記電極層内に、前記第1方向に延びるように設けられ、かつ、前記第2半導体層と接するように設けられた第3半導体層と、前記複数の電極層と前記第3半導体層との間に設けられた電荷蓄積層とを備える。【選択図】図18
Description
本発明の実施形態は、半導体装置およびその製造方法に関する。
半導体メモリのチャネル半導体層に接する配線層(例えばソース層)として半導体層を形成する場合に、配線層内の結晶粒の粒径を小さくすることが望ましい場合がある。
半導体層内の結晶粒の粒径を小さくすることが可能な半導体装置およびその製造方法を提供する。
一の実施形態によれば、半導体装置は、導電性を有する多結晶半導体層である第1半導体層と、前記第1半導体層上に設けられ、導電性を有し前記第1半導体層よりも粒径の小さい多結晶半導体層である第2半導体層と、前記第2半導体層上に、第1方向に互いに離間して積層された複数の電極層とを備える。前記装置はさらに、前記第1半導体層、前記第2半導体層、および各々の前記電極層内に、前記第1方向に延びるように設けられ、かつ、前記第2半導体層と接するように設けられた第3半導体層と、前記複数の電極層と前記第3半導体層との間に設けられた電荷蓄積層とを備える。
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。図1から図24において、同一または類似の構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
(第1実施形態)
図1は、第1実施形態の半導体装置の構造を示す断面図である。図1の半導体装置は、例えば3次元メモリである。
図1は、第1実施形態の半導体装置の構造を示す断面図である。図1の半導体装置は、例えば3次元メモリである。
図1の半導体装置は、基板1と、第1層間絶縁膜2と、ソース層3と、第2層間絶縁膜4と、ゲート層5と、複数の絶縁層6と、複数の電極層7と、第3層間絶縁膜8と、メモリ絶縁膜11と、チャネル半導体層12と、コア絶縁膜13と、複数の素子分離絶縁膜14とを備えている。
基板1は例えば、シリコン基板などの半導体基板である。図1は、基板1の表面に平行で互いに垂直なX方向およびY方向と、基板1の表面に垂直なZ方向とを示している。本明細書では、+Z方向を上方向として取り扱い、−Z方向を下方向として取り扱う。−Z方向は、重力方向と一致していてもよいし、重力方向と一致していなくてもよい。Z方向は、第1方向の例である。
第1層間絶縁膜2、ソース層3、第2層間絶縁膜4、およびゲート層5は、基板1上に順に形成されている。第1層間絶縁膜2は例えば、シリコン酸化膜またはシリコン窒化膜である。ソース層3は、第1層間絶縁膜2上に順に形成された金属層3a、下部半導体層3b、中間半導体層3c、および上部半導体層3dを含んでいる。金属層3aは例えば、タングステン層またはタングステンシリサイド層である。下部半導体層3b、中間半導体層3c、および上部半導体層3dは、例えば導電性を有する多結晶半導体層であり、より詳細にはポリシリコン層である。第2層間絶縁膜4は例えば、シリコン酸化膜またはシリコン窒化膜である。ゲート層5は例えば、ポリシリコン層である。
複数の絶縁層6と複数の電極層7は、ゲート層5上に交互に形成された積層膜となっている。第3層間絶縁膜8はこの積層膜上に形成されている。絶縁層6は例えば、シリコン酸化膜である。電極層7は例えば、タングステン層である。第3層間絶縁膜8は例えば、シリコン酸化膜である。電極層7間に絶縁層6が形成されているため、電極層7同士は互いにZ方向に離間して積層されている。なお、絶縁層6は、エアギャップに置き換えてもよい。
図1は、第3層間絶縁膜8、複数の電極層7、複数の絶縁層6、ゲート層5、第2層間絶縁膜4、上部半導体層3d、および中間半導体層3cを貫通するよう形成された複数の柱状部CLを示している。柱状部CLは、Z方向に延びる柱状の形状を有している。各柱状部CLは、第3層間絶縁膜8、複数の電極層7、複数の絶縁層6、ゲート層5、第2層間絶縁膜4、上部半導体層3d、中間半導体層3c、および下部半導体層3bの表面に順に形成されたメモリ絶縁膜11、チャネル半導体層12、およびコア絶縁膜13を含んでいる。チャネル半導体層12は、中間半導体層3cに接しており、中間半導体層3cに電気的に接続されている。下部半導体層3b、中間半導体層3c、およびチャネル半導体層14はそれぞれ、第1、第2、および第3半導体層の例である。
メモリ絶縁膜11は、図2に示すように、複数の電極層7や複数の絶縁層6などの表面に順に形成されたブロック絶縁膜11a、電荷蓄積層11b、およびトンネル絶縁膜11cを含んでいる。図2は、第1実施形態の半導体装置の構造を示す拡大断面図であり、具体的には、図1に示す領域Aを示している。ブロック絶縁膜11aは例えば、シリコン酸化膜である。電荷蓄積層11bは例えば、シリコン窒化膜である。電荷蓄積層11bは、絶縁膜でなくてもよく、例えばポリシリコン層としてもよい。トンネル絶縁膜11cは例えば、シリコン酸化膜である。チャネル半導体層12は、例えば導電性を有する多結晶半導体層であり、より詳細にはポリシリコン層である。コア絶縁膜13は例えば、シリコン酸化膜である。各電極層7は、柱状部CLと共にメモリセルMCを構成しており、ワード線として機能する。チャネル半導体層12は、電荷蓄積層11bを介して各電極層7の側面に形成されている。
図1はさらに、第3層間絶縁膜8、複数の電極層7、複数の絶縁層6、ゲート層5、第2層間絶縁膜4、および上部半導体層3dを貫通するよう形成された複数の素子分離絶縁膜14を示している。素子分離絶縁膜14は、Y方向に延びる板状の形状を有している。素子分離絶縁膜14は例えば、シリコン酸化膜である。
図3から図16は、第1実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図である。
まず、基板1上に、第1層間絶縁膜2、金属層3a、下部半導体層3b、第1保護膜21、犠牲層22、第2保護膜23、上部半導体層3d、第2層間絶縁膜4、およびゲート層5を順に形成する(図3)。第1保護膜21は例えば、シリコン酸化膜である。犠牲層22は例えば、ポリシリコン層である。第2保護膜23は例えば、シリコン酸化膜である。第1保護膜21、犠牲層22、および第2保護膜23は、第1膜の例である。
次に、ゲート層5上に、複数の絶縁層6と複数の犠牲層24とを順に形成し、これらの絶縁層6および犠牲層24上に、第3層間絶縁膜8を形成する(図4)。犠牲層24は例えば、シリコン窒化膜である。犠牲層24は、第2膜の例である。犠牲層24は、後述する工程により電極層7に置き換えられる。なお、この後述する工程を省略する手順を採用する場合には、図4の工程にて犠牲層24の代わりに電極層7を形成する。この場合の電極層7も、第2膜の例である。
次に、リソグラフィおよびRIE(Reactive Ion Etching)により、第3層間絶縁膜8、複数の犠牲層24、複数の絶縁層6、ゲート層5、第2層間絶縁膜4、上部半導体層3d、第2保護膜23、犠牲層22、および第1保護膜21を貫通する複数のメモリホールMHを形成する(図5)。
次に、これらのメモリホールMH内に、メモリ絶縁膜11、チャネル半導体層12、およびコア絶縁膜13を順に形成する(図6)。その結果、これらのメモリホールMH内に、複数の柱状部CLが形成される。なお、メモリ絶縁膜11は、メモリホールMH内に、上述のブロック絶縁膜11a、電荷蓄積層11b、およびトンネル絶縁膜11cを順に形成することで形成される。
次に、リソグラフィおよびRIEにより、第3層間絶縁膜8、複数の犠牲層24、複数の絶縁層6、およびゲート層5を貫通する複数の素子分離溝STを形成する(図7および図8)。本実施形態のRIEは、図7に示す段階以前は第1のエッチングガスを用いて行われ、図7に示す段階以後は第1のエッチングガスと異なる第2のエッチングガスを用いて行われる。
次に、素子分離溝STの底面から第2保護膜23をエッチングにより除去し(図9)、素子分離溝STの表面にライナー層25を形成し(図10)、素子分離溝STの底面からライナー層25をエッチングにより除去する(図11)。その結果、素子分離溝STの側面がライナー層25により保護される一方で、素子分離溝STの底面に犠牲層22が露出する。ライナー層25は例えば、シリコン窒化膜である。
次に、素子分離溝STを用いたウェットエッチングにより、犠牲層22を除去する(図12)。その結果、第1保護膜21と第2保護膜23との間に空洞(エアギャップ)C1が形成され、空洞C1の側面にメモリ絶縁膜11が露出する。
次に、素子分離溝STを用いたCDE(Chemical Dry Etching)により、第1保護膜21と、第2保護膜23と、空洞C1の側面に露出したメモリ絶縁膜11とを除去する(図13)。その結果、空洞C1の上面に上部半導体層3dが露出し、空洞C1の下面に下部半導体層3bが露出し、空洞C1の側面にチャネル半導体層12が露出する。
次に、空洞C1内に露出した上部半導体層3d、下部半導体層3b、およびチャネル半導体層12の表面に中間半導体層3cを形成することで、空洞C1内に中間半導体層3cを形成する(図14)。その結果、上部半導体層3d、下部半導体層3b、およびチャネル半導体層12に接する中間半導体層3cが、上部半導体層3dと下部半導体層3bとの間に形成される。なお、図14の工程の詳細、すなわち、本実施形態の中間半導体層3cの形成方法の詳細については、後述する。
次に、素子分離溝STを用いたウェットエッチングまたはドライエッチングにより、素子分離溝ST内のライナー層25と、絶縁層6間の犠牲層24とを除去する(図15)。その結果、これらの絶縁層6間に複数の空洞(エアギャップ)C2が形成される。
次に、CVD(Chemical Vapor Deposition)により、これらの空洞C2内に複数の電極層7を形成する(図16)。その結果、ゲート層5と第3層間絶縁膜8との間に、複数の絶縁層6と複数の電極層7とを交互に含む積層膜が形成される。
その後、素子分離溝ST内に素子分離絶縁膜14が形成される。さらには、基板1上に種々のプラグ、配線、層間絶縁膜などが形成される。このようにして、図1に示す半導体装置が製造される。
図17は、第1実施形態の粒界について説明するための断面図である。
図17は、下部半導体層3bと、中間半導体層3cと、上部半導体層3dとを示している。本実施形態の下部半導体層3b、中間半導体層3c、および上部半導体層3dは、ポリシリコン層であり、多数の結晶粒を含んでいる。
より詳細には、本実施形態の下部半導体層3bと上部半導体層3dは、結晶粒の粒径が大きくなるように形成される。これにより、下部半導体層3bと上部半導体層3dの抵抗を低くすることが可能となる。
また、本実施形態の中間半導体層3cは、上部半導体層3dや下部半導体層3bの表面に形成される(図14参照)。この場合、中間半導体層3cを一般的な手法で形成すると、上部半導体層3dや下部半導体層3bの粒径のサイズが中間半導体層3cの粒径のサイズに影響を与えることで、中間半導体層3cも結晶粒の粒径が大きくなるように形成される。
図17は、この場合に下部半導体層3b、中間半導体層3c、および上部半導体層3d内に形成される粒界Sの一例を模式的に示している。これらの半導体層内の結晶粒の粒径が大きくなると、これらの半導体層内に粒界Sがまばらに形成されることとなる。その結果、チャネル半導体層12の表面では、粒界Sに接するまたは近い箇所と、粒界Sから遠く離れた箇所とが生じる。この場合、前者の箇所と後者の箇所でチャネル半導体層12や中間半導体層3cの特性が大きく異なる可能性が生じ、半導体装置の性能を悪化させる可能性がある。例えば、前者の箇所と後者の箇所で、不純物のリン原子の拡散ばらつきが変化する可能性がある。
そこで、本実施形態では、以下で説明するように、中間半導体層3cの結晶粒の粒径が小さくなるように中間半導体層3cを形成する。これにより、粒界Sに起因する上記の現象を抑制することが可能となる。
図18は、第1実施形態の半導体装置の構造を示す断面図である。図18は、図1に示す下部半導体層3bと、中間半導体層3cと、上部半導体層3dとを示している。
本実施形態の下部半導体層3bと上部半導体層3dは、不純物として、B(ボロン)原子、P(リン)原子、As(ヒ素)原子などのドーパント原子と、ドーパント原子以外の不純物原子とを含むポリシリコン層である。ドーパント原子以外の不純物原子は、例えばC(炭素)原子やN(窒素)原子である。例えば、下部半導体層3bおよび上部半導体層3dは、P原子とC原子(またはN原子)とを含み、下部半導体層3bおよび上部半導体層3d内のC原子(またはN原子)の平均濃度は、1.4×1021個/cm3よりも低い値(例えば4.0×1020個/cm3程度)となっている。
本実施形態の下部半導体層3bと上部半導体層3dは、結晶粒の粒径が大きくなるように形成される。本実施形態の下部半導体層3bおよび上部半導体層3d内の結晶粒の平均粒径は、100nmよりも大きい値(例えば300nm程度)である。本実施形態の下部半導体層3bと上部半導体層3dでは、結晶粒の粒径が大きいため、粒界Sが疎になっている。
中間半導体層3cは、第1領域の例である小粒径層31と、第2領域の例である中粒径層32とを備えている。小粒径層31は、下部半導体層3bと上部半導体層3dとの間において、下部半導体層3bの上面や、上部半導体層3dの下面や、チャネル半導体層12の側面などに形成されている。中粒径層32は、下部半導体層3bと上部半導体層3dとの間に小粒径層31を介して形成されている。逆に言うと、小粒径層31は、中粒径層32の下面と下部半導体層3bの上面との間や、中粒径層32の上面と上部半導体層3dの下面との間や、中粒径層32の側面とチャネル半導体層3dの側面との間などに形成されている。
本実施形態の中間半導体層3cは、下部半導体層3bや上部半導体層3dと比べて結晶粒の粒径が小さくなるように形成される。よって、中間半導体層3c内の粒界Sは、下部半導体層3bや上部半導体層3d内の粒界Sよりも密になっている。さらに、中粒径層32は、小粒径層31と比べて結晶粒の粒径が大きくなるように形成される。よって、中粒径層32内の粒界Sは、小粒径層31内の粒界Sよりも疎になっている。本実施形態の小粒径層31内の結晶粒の平均粒径は、50nmよりも小さい値(例えば20nm程度)である。本実施形態の中粒径層32内の結晶粒の平均粒径は、50nmよりも大きく100nmよりも小さい値(例えば70nm程度)である。小粒径層31内の結晶粒の粒径は第1粒径の例であり、中粒径層32内の結晶粒の粒径は第2粒径の例である。
本実施形態の小粒径層31は、不純物として、B原子、P原子、As原子などのドーパント原子と、ドーパント原子以外の不純物原子とを含むポリシリコン層である。ドーパント原子以外の不純物原子は、例えばC原子やN原子である。例えば、小粒径層31は、P原子とC原子(またはN原子)とを含み、小粒径層31内のC原子(またはN原子)の平均濃度は、1.4×1021個/cm3よりも高い値(例えば2.0×1021個/cm3程度)となっている。本実施形態では、小粒径層31がこのように高濃度のC原子(またはN原子)を含むように形成されることで、小粒径層31内の結晶粒の粒径が小さくなる。
本実施形態の中粒径層32は、不純物として、B原子、P原子、As原子などのドーパント原子を含むが、ドーパント原子以外の不純物原子はまったく含まないか微量にしか含まないポリシリコン層である。例えば、中粒径層32は、P原子を含むが、C原子(またはN原子)はまったく含まないか微量にしか含まず、中粒径層32内のC原子(またはN原子)の平均濃度は、1.4×1021個/cm3よりも低い値(例えばほぼゼロ)となっている。本実施形態の中粒径層32は、高濃度のC原子(またはN原子)は含まないが、後述するように小粒径層31の表面に形成される。そのため、中粒径層32内の結晶粒の粒径は、小粒径層31内の結晶粒の粒径ほど小さくはならないが、小粒径層31の影響により下部半導体層3bや上部半導体層3d内の結晶粒の粒径よりは小さくなる。
なお、本実施形態のチャネル半導体層12内の結晶粒の平均粒径は、例えば100nm程度である。よって、本実施形態では、下部半導体層3bと上部半導体層3d内の結晶粒の平均粒径は、チャネル半導体層12内の結晶粒の平均粒径より大きくなり、小粒径層31や中粒径層32内の結晶粒の平均粒径は、チャネル半導体層12内の結晶粒の平均粒径より小さくなる。
図19は、第1実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図である。
まず、図3〜図13の工程を実行する。この際、下部半導体層3bや上部半導体層3dは、不純物として、ドーパント原子と、ドーパント原子以外の低濃度の不純物原子とを含むように形成される。これにより、平均粒径が100nmよりも大きい結晶粒を含む下部半導体層3bや上部半導体層3dを形成することができる。
次に、上部半導体層3d、下部半導体層3bなどの表面に小粒径層31を形成することで、空洞C1の表面に小粒径層31を形成する(図19)。この際、小粒径層31は、不純物として、ドーパント原子と、ドーパント原子以外の高濃度の不純物原子とを含むように形成される。これにより、平均粒径が50nmよりも小さい結晶粒を含む小粒径層31を形成することができる。例えば、小粒径層31は、C原子の平均濃度が1.4×1021個/cm3よりも高くなるように形成される。
次に、小粒径層31の表面に中粒径層32を形成することで、空洞C1内に中粒径層32を形成する。これにより、図18に示す構造が実現される。この際、中粒径層32は、不純物として、ドーパント原子を含むが、ドーパント原子以外の不純物原子はまったく含まないか微量にしか含まないように形成される。これにより、平均粒径が50nmよりも大きく100nmよりも小さい結晶粒を含む中粒径層32を形成することができる。例えば、中粒径層32は、C原子の平均濃度が1.4×1021個/cm3よりも低くなるように形成される。
本実施形態ではその後、図15および図16の工程を実行する。このようにして、図1に示す半導体装置が製造される。
図20は、第1実施形態の粒径について説明するための図である。
図20(a)は、小粒径層31のある断面S1を示している。図20(a)の符号P1は、断面S1内のある結晶粒P1を示す。図20(b)は、結晶粒P1の断面と同じ面積を有する円C1を示している。符号D1は、円C1の直径を示す。
図20(c)は、中粒径層32のある断面S2を示している。図20(c)の符号P2は、断面S2内のある結晶粒P2を示す。図20(d)は、結晶粒P2の断面と同じ面積を有する円C2を示している。符号D2は、円C2の直径を示す。
本実施形態の結晶粒P1の粒径は、円C1の直径D1とする。例えば、小粒径層31の断面S1の顕微鏡画像を取得し、顕微鏡画像を用いて断面S1内の結晶粒P1の断面積を算出し、結晶粒P1の断面積から直径D1を算出することで、結晶粒P1の粒径を算出可能である。結晶粒P1の断面積は例えば、顕微鏡画像内の結晶粒P1のピクセル数から算出可能である。同様に、本実施形態の結晶粒P2の粒径は、円C2の直径D2とする。
本実施形態では、断面S1内の個々の結晶粒の粒径を算出し、これらの結晶粒の粒径の平均値を算出することにより、小粒径層31内の結晶粒の平均粒径を算出可能である。本実施形態や後述するその他の実施形態では、その他の半導体層内の結晶粒の平均粒径も同様に算出可能である。
以上のように、本実施形態によれば、中間半導体層3c内の結晶粒の粒径を、下部半導体層3bや上部半導体層3d内の結晶粒の粒径よりも小さくすることで、チャネル半導体層12に接する半導体層内の結晶粒の粒径を小さくすることができる。よって、本実施形態によれば例えば、チャネル半導体層12の表面付近に粒界Sがまばらに形成されることを抑制することが可能となり、粒界Sに起因する半導体装置の性能の悪化を抑制することが可能となる。
(第2実施形態)
図21は、第2実施形態の半導体装置の構造を示す断面図である。図21は、図1に示す下部半導体層3bと、中間半導体層3cと、上部半導体層3dとを示している。
図21は、第2実施形態の半導体装置の構造を示す断面図である。図21は、図1に示す下部半導体層3bと、中間半導体層3cと、上部半導体層3dとを示している。
本実施形態の下部半導体層3bは、ほぼ全体が大粒径層35により形成されているが、大粒径層35の上面に小粒径層33を備えている。一方、本実施形態の中間半導体層3cは、中粒径層34のみにより形成されている。その結果、小粒径層33は、中粒径層34の下面と大粒径層35の上面との間に形成されている。なお、本実施形態の上部半導体層3dの構造は、第1実施形態の上部半導体層3dの構造と同様である。本実施形態では、大粒径層35が第1半導体層の例であり、小粒径層33および中粒径層34が第2半導体層の例であり、上部半導体層3dが第3半導体層の例である。また、小粒径層33は第1領域の例であり、中粒径層34は第2領域の例である。
本実施形態の大粒径層35と上部半導体層3dの構造はそれぞれ、第1実施形態の下部半導体層3bと上部半導体層3dの構造と同様である。例えば、大粒径層35および上部半導体層3dは、P原子とC原子とを含み、大粒径層35および上部半導体層3d内のC原子の平均濃度は、1.4×1021個/cm3よりも低い値となっている。大粒径層35および上部半導体層3d内の結晶粒の平均粒径は、100nmよりも大きい値である。
本実施形態の小粒径層33と中粒径層34の構造はそれぞれ、第1実施形態の小粒径層31と中粒径層32の構造と同様である。例えば、小粒径層33は、P原子とC原子とを含み、小粒径層33内のC原子の平均濃度は、1.4×1021個/cm3よりも高い値となっている。例えばまた、中粒径層34は、P原子を含むが、C原子はまったく含まないか微量にしか含まず、中粒径層34内のC原子の平均濃度は、1.4×1021個/cm3よりも低い値となっている。小粒径層33内の結晶粒の平均粒径は、50nmよりも小さい値である。中粒径層34内の結晶粒の平均粒径は、50nmよりも大きく100nmよりも小さい値である。
図22は、第2実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図である。
まず、図3〜図13の工程を実行する。この際、下部半導体層3bや上部半導体層3dは、P原子とC原子とを含むように形成される。これにより、平均粒径が100nmよりも大きい結晶粒を含む下部半導体層3bや上部半導体層3dを形成することができる。さらには、図3の工程で、下部半導体層3bの形成後に下部半導体層3bの上面にC原子を高濃度にドープする(図22)。これにより、平均粒径が50nmよりも小さい結晶粒を含む小粒径層33を下部半導体層3b内に形成することができる。その結果、下部半導体層3b内の残りの部分は、大粒径層35となる。
次に、小粒径層33の表面に中粒径層34を形成することで、空洞C1内に中粒径層34を形成する。これにより、図21に示す構造が実現される。この際、中粒径層34は、P原子を含むが、C原子はまったく含まないか微量にしか含まないように形成される。これにより、平均粒径が50nmよりも大きく100nmよりも小さい結晶粒を含む中粒径層34を形成することができる。
本実施形態ではその後、図15および図16の工程を実行する。このようにして、図1に示す半導体装置が製造される。
以上のように、本実施形態によれば、小粒径層33内や中粒径層34内の結晶粒の粒径を、大粒径層35内や上部半導体層3d内の結晶粒の粒径よりも小さくすることで、チャネル半導体層12に接する半導体層内の結晶粒の粒径を小さくすることができる。
(第3実施形態)
図23は、第3実施形態の半導体装置の構造を示す断面図である。図23は、図1に示す下部半導体層3bと、中間半導体層3cと、上部半導体層3dとを示している。
図23は、第3実施形態の半導体装置の構造を示す断面図である。図23は、図1に示す下部半導体層3bと、中間半導体層3cと、上部半導体層3dとを示している。
本実施形態の下部半導体層3bは、ほぼ全体が大粒径層38により形成されているが、メモリ絶縁膜11、チャネル半導体層12、およびコア絶縁膜13の下方の大粒径層38の上面に小粒径層36を備えている。小粒径層36は、大粒径層38の上面とメモリ絶縁膜11の下面との間に形成されている。一方、本実施形態の中間半導体層3cは、中粒径層37のみにより形成されている。なお、本実施形態の上部半導体層3dの構造は、第1実施形態の上部半導体層3dの構造と同様である。本実施形態では、大粒径層38が第1半導体層の例であり、小粒径層36および中粒径層37が第2半導体層の例であり、上部半導体層3dが第3半導体層の例である。また、小粒径層36は第1領域の例であり、中粒径層37は第2領域の例である。
本実施形態の大粒径層38と上部半導体層3dの構造はそれぞれ、第1実施形態の下部半導体層3bと上部半導体層3dの構造と同様である。例えば、大粒径層38および上部半導体層3dは、P原子とC原子とを含み、大粒径層38および上部半導体層3d内のC原子の平均濃度は、1.4×1021個/cm3よりも低い値となっている。大粒径層38および上部半導体層3d内の結晶粒の平均粒径は、100nmよりも大きい値である。
本実施形態の小粒径層36と中粒径層37の構造はそれぞれ、第1実施形態の小粒径層31と中粒径層32の構造と同様である。例えば、小粒径層36は、P原子とC原子とを含み、小粒径層36内のC原子の平均濃度は、1.4×1021個/cm3よりも高い値となっている。例えばまた、中粒径層37は、P原子を含むが、C原子はまったく含まないか微量にしか含まず、中粒径層37内のC原子の平均濃度は、1.4×1021個/cm3よりも低い値となっている。小粒径層36内の結晶粒の平均粒径は、50nmよりも小さい値である。中粒径層37内の結晶粒の平均粒径は、50nmよりも大きく100nmよりも小さい値である。
図24は、第3実施形態の半導体装置の製造方法を示す断面図である。
まず、図3〜図13の工程を実行する。この際、下部半導体層3bや上部半導体層3dは、P原子とC原子とを含むように形成される。これにより、平均粒径が100nmよりも大きい結晶粒を含む下部半導体層3bや上部半導体層3dを形成することができる。さらには、図5の工程で、メモリホールMHの形成後にメモリホールMH内の下部半導体層3bの上面にC原子を高濃度にドープする(図24)。これにより、平均粒径が50nmよりも小さい結晶粒を含む小粒径層36を下部半導体層3b内に形成することができる。その結果、下部半導体層3b内の残りの部分は、大粒径層38となる。
次に、小粒径層36の表面に中粒径層37を形成することで、空洞C1内に中粒径層37を形成する。これにより、図23に示す構造が実現される。この際、中粒径層37は、P原子を含むが、C原子はまったく含まないか微量にしか含まないように形成される。これにより、平均粒径が50nmよりも大きく100nmよりも小さい結晶粒を含む中粒径層37を形成することができる。
本実施形態ではその後、図15および図16の工程を実行する。このようにして、図1に示す半導体装置が製造される。
以上のように、本実施形態によれば、小粒径層36内や中粒径層37内の結晶粒の粒径を、大粒径層38内や上部半導体層3d内の結晶粒の粒径よりも小さくすることで、チャネル半導体層12に接する半導体層内の結晶粒の粒径を小さくすることができる。
以上、いくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例としてのみ提示したものであり、発明の範囲を限定することを意図したものではない。本明細書で説明した新規な装置および方法は、その他の様々な形態で実施することができる。また、本明細書で説明した装置および方法の形態に対し、発明の要旨を逸脱しない範囲内で、種々の省略、置換、変更を行うことができる。添付の特許請求の範囲およびこれに均等な範囲は、発明の範囲や要旨に含まれるこのような形態や変形例を含むように意図されている。
1:基板、2:第1層間絶縁膜、3:ソース層、3a:金属層、
3b:下部半導体層、3c:中間半導体層、3d:上部半導体層、
4:第2層間絶縁膜、5:ゲート層、6:絶縁層、7:電極層、
8:第3層間絶縁膜、11:メモリ絶縁膜、11a:ブロック絶縁膜、
11b:電荷蓄積層、11c:トンネル絶縁膜、12:チャネル半導体層、
13:コア絶縁膜、14:素子分離絶縁膜、21:第1保護膜、
22:犠牲層、23:第2保護膜、24:犠牲層、25:ライナー層、
31:小粒径層、32:中粒径層、33:小粒径層、34:中粒径層、
35:大粒径層、36:小粒径層、37:中粒径層、38:大粒径層
3b:下部半導体層、3c:中間半導体層、3d:上部半導体層、
4:第2層間絶縁膜、5:ゲート層、6:絶縁層、7:電極層、
8:第3層間絶縁膜、11:メモリ絶縁膜、11a:ブロック絶縁膜、
11b:電荷蓄積層、11c:トンネル絶縁膜、12:チャネル半導体層、
13:コア絶縁膜、14:素子分離絶縁膜、21:第1保護膜、
22:犠牲層、23:第2保護膜、24:犠牲層、25:ライナー層、
31:小粒径層、32:中粒径層、33:小粒径層、34:中粒径層、
35:大粒径層、36:小粒径層、37:中粒径層、38:大粒径層
Claims (16)
- 導電性を有する多結晶半導体層である第1半導体層と、
前記第1半導体層上に設けられ、導電性を有し前記第1半導体層よりも粒径の小さい多結晶半導体層である第2半導体層と、
前記第2半導体層上に、第1方向に互いに離間して積層された複数の電極層と、
前記第1半導体層、前記第2半導体層、および各々の前記電極層内に、前記第1方向に延びるように設けられ、かつ、前記第2半導体層と接するように設けられた第3半導体層と、
前記複数の電極層と前記第3半導体層との間に設けられた電荷蓄積層と、
を備える半導体装置。 - 前記第1半導体層の粒径は、100nmよりも大きく、前記第2半導体層の粒径は、100nmよりも小さい、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第2半導体層は、第1粒径を有する多結晶半導体層である第1領域と、前記第1粒径よりも大きい第2粒径を有する多結晶半導体層である第2領域とを備える、請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記第1粒径は50nmよりも小さく、前記第2粒径は50nmよりも大きい、請求項3に記載の半導体装置。
- 前記第1領域が、前記第2領域と前記第1半導体層との間に設けられているか、あるいは、前記第2領域が、前記第1領域と前記第1半導体層との間に設けられている、請求項3または4に記載の半導体装置。
- 前記第1領域は、前記第2領域と前記第3半導体層との間に設けられている、請求項3から5のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記第1領域は、前記第1半導体層の上面と前記第3半導体層の下面との間に設けられている、請求項3から6のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記第1領域は少なくとも、ボロン原子、リン原子、およびヒ素原子以外の不純物原子を含む、請求項3から7のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記不純物原子は、炭素原子または窒素原子である、請求項8に記載の半導体装置。
- 前記第1領域内の前記不純物原子の濃度は、1.4×1021個/cm3よりも高い、請求項8または9に記載の半導体装置。
- 第1半導体層と、
前記第1半導体層上に設けられ、ボロン原子、リン原子、およびヒ素原子以外の不純物原子を少なくとも含む第2半導体層と、
前記第2半導体層上に、第1方向に互いに離間して積層された複数の電極層と、
前記第1半導体層、前記第2半導体層、および各々の前記電極層内に、前記第1方向に延びるように設けられ、かつ、前記第2半導体層と接するように設けられた第3半導体層と、
前記複数の電極層と前記第3半導体層との間に設けられた電荷蓄積層とを備え、
前記第2半導体層は、前記不純物原子の濃度が1.4×1021個/cm3よりも高い第1領域と、前記不純物原子の濃度が1.4×1021個/cm3よりも低い第2領域とを備える、半導体装置。 - 多結晶半導体層である第1半導体層を形成し、
前記第1半導体層上に第1膜を形成し、
前記第1膜上に、第1方向に互いに離間して複数の第2膜を積層し、
前記第1半導体層、前記第2半導体層、および各々の前記第2膜内に、前記第1方向に延びるように電荷蓄積層と第3半導体層とを順に形成し、
前記第3半導体層の形成後に前記第1膜を除去し、
前記第1半導体層と前記複数の第2膜との間に、前記第1半導体層よりも粒径の小さい多結晶半導体層であり、前記第3半導体層と接する第2半導体層を形成する、
ことを含む半導体装置の製造方法。 - 前記第2半導体層は、第1粒径を有する多結晶半導体層である第1領域と、前記第1粒径よりも大きい第2粒径を有する多結晶半導体層である第2領域とを備える、請求項12に記載の半導体装置の形成方法。
- 前記第1領域は、前記第1膜の除去前または除去後に形成され、前記第2領域は、前記第1膜の除去後に形成される、請求項13に記載の半導体装置の形成方法。
- 前記複数の第2膜を除去し、前記複数の第2膜の除去により形成された複数の空洞内に複数の電極層を形成することをさらに含む、請求項12から14のいずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 第1半導体層を形成し、
前記第1半導体層上に第1膜を形成し、
前記第1膜上に、第1方向に互いに離間して複数の第2膜を積層し、
前記第1半導体層、前記第2半導体層、および各々の前記第2膜内に、前記第1方向に延びるように電荷蓄積層と第3半導体層とを順に形成し、
前記第3半導体層の形成後に前記第1膜を除去し、
前記第1半導体層と前記複数の第2膜との間に、ボロン原子、リン原子、およびヒ素原子以外の不純物原子を少なくとも含み、前記第3半導体層と接する第2半導体層を形成することを含み、
前記第2半導体層は、前記不純物原子の濃度が1.4×1021個/cm3よりも高い第1領域と、前記不純物原子の濃度が1.4×1021個/cm3よりも低い第2領域とを備える、半導体装置の製造方法。
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KR102437779B1 (ko) * | 2015-08-11 | 2022-08-30 | 삼성전자주식회사 | 3차원 반도체 메모리 장치 |
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