JP2020056653A - マイクロ流路用感光性樹脂積層体 - Google Patents
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Abstract
Description
また、ELISAなどのイムノアッセイにおいて、含水試料がマイクロ流路を通過すると、試験後のシール材が膨潤し、しわになることがあり得た。
それ故に、特許文献2又は3に記載のシール材は、流路閉塞又は耐水性について検討の余地がある。
上記課題は、本発明の以下の構成によって解決されることができる。
[1]
支持フィルムと感光性樹脂組成物層を含むマイクロ流路デバイス用感光性樹脂積層体であって、前記感光性樹脂組成物層の膜厚が1〜15μmであり、かつ前記感光性樹脂組成物層に含まれる感光性樹脂組成物の70℃での溶融粘度が100,000mPa・秒以下であることを特徴とするマイクロ流路デバイス用感光性樹脂積層体。
[2]
前記感光性樹脂組成物層の無機性値(I)と有機性値(O)との比(I/O)が、1.0以下である、項目1に記載のマイクロ流路デバイス用感光性樹脂積層体。
[3]
支持フィルムと感光性樹脂組成物層を含むマイクロ流路デバイス用感光性樹脂積層体であって、前記感光性樹脂組成物層の無機性値(I)と有機性値(O)との比(I/O)が1.0以下であることを特徴とするマイクロ流路デバイス用感光性樹脂積層体。
[4]
前記感光性樹脂組成物層の膜厚が1〜15μmであり、かつ前記感光性樹脂組成物層に含まれる感光性樹脂組成物の70℃での溶融粘度が100,000mPa・秒以下である、項目3に記載のマイクロ流路デバイス用感光性樹脂積層体。
[5]
前記感光性樹脂組成物層の前記支持フィルムが形成された面とは反対側の面に保護フィルムを有し、かつ前記保護フィルムがプロピレンフィルム又は離形処理されたプラスチックフィルムである、項目1〜4のいずれかに記載のマイクロ流路デバイス用感光性樹脂積層体。
[6]
前記支持フィルムと前記感光性樹脂組成物層とが積層された状態で分析光が前記感光性樹脂組成物層側から入射するように測定された露光後の波長515nmおよび600nmのいずれか一方又は両方の透過率が、80%以上である、項目1〜5のいずれかに記載のマイクロ流路デバイス用感光性樹脂積層体。
[7]
マイクロ流路のシール材として適用される、項目1〜6のいずれかに記載のマイクロ流路デバイス用感光性樹脂積層体。
[8]
減圧状態でラミネートされる、項目1〜7のいずれかに記載のマイクロ流路デバイス用感光性樹脂積層体。
感光性樹脂積層体は、少なくとも支持フィルムと、支持フィルム上に積層される感光性樹脂組成物層とを含み、所望により、感光性樹脂組成物層上に積層される保護フィルムをさらに含んでよい。ドライフィルムレジスト又はドライフィルムフォトレジストと呼ばれる感光性フィルムも感光性樹脂積層体に含まれる。感光性樹脂積層体は、フォトリソグラフィーによるマイクロ流路の形成に使用されることができ、例えば、マイクロ流路のシール材、マイクロ流路の隔壁材などとして使用されることができる。
支持フィルムと、
膜厚1〜15μmの感光性樹脂組成物層と、
を含み、かつ感光性樹脂組成物層に含まれる感光性樹脂組成物の70℃での溶融粘度が100,000mPa・秒以下である。
支持フィルムと、
無機性値(I)と有機性値(O)との比(I/O)が1.0以下である感光性樹脂組成物層と、
を含む。
支持フィルムと、
無機性値(I)と有機性値(O)との比(I/O)が1.0以下であり、かつ膜厚が1〜15μmである感光性樹脂組成物層と、
を含み、かつ感光性樹脂組成物層に含まれる感光性樹脂組成物の70℃での溶融粘度が100,000mPa・s以下である。
ロイコ染料としては、例えば、トリス(4−ジメチルアミノ−2−メチルフェニル)メタン[ロイコクリスタルバイオレット]、トリス(4−ジメチルアミノ−2−メチルフェニル)メタン[ロイコマラカイトグリ−ン]、及びフルオラン染料が挙げられる。
ハロゲン化合物としては、臭化アミル、臭化イソアミル、臭化イソブチレン、臭化エチレン、臭化ジフェニルメチル、臭化ベンザル、臭化メチレン、トリブロモメチルフェニルスルホン、四臭化炭素、トリス(2,3−ジブロモプロピル)ホスフェート、トリクロロアセトアミド、ヨウ化アミル、ヨウ化イソブチル、1,1,1−トリクロロ−2,2−ビス(p−クロロフェニル)エタン、ヘキサクロロエタン、クロル化トリアジン化合物等が挙げられる。
感光性樹脂組成物は、感光性樹脂積層体に感光性を付与できる限り、任意の高分子及び/又はモノマーを含むことができ、所望により、光重合開始剤、その他の添加剤などをさらに含んでよい。
(a)カルボキシル基を含有するアルカリ可溶性高分子は、α,β−不飽和カルボキシル基含有単量体を重合成分としており、アルカリ可溶性高分子の酸当量が100〜600、かつ、重量平均分子量が5,000〜500,000であることが好ましい。カルボキシル基を含有するアルカリ可溶性高分子中のカルボキシル基は、感光性樹脂組成物がアルカリ水溶液から成る現像液又は剥離液に対して、現像性又は剥離性を有するために必要である。酸当量とは、その中に1当量のカルボキシル基を有するアルカリ可溶性高分子の質量を言う。酸当量のより好ましい下限は250であり、またより好ましい上限は450である。(a)カルボキシル基を含有するアルカリ可溶性高分子の酸当量は、現像耐性が向上し、解像度及び密着性が向上する点、さらに溶媒又は感光性樹脂組成物中の他の成分、特に後述する(b)付加重合性モノマーとの相溶性を確保するという観点から100以上が好ましく、現像性及び剥離性が向上する点から600以下が好ましい。酸当量の測定は、平沼産業(株)製平沼自動滴定装置(COM−555)を使用し、0.1mol/Lの水酸化ナトリウムを用いて電位差滴定法により行われる。
示差屈折率計:RI−1530
ポンプ:PU−1580
デガッサー:DG−980−50
カラムオーブン:CO−1560
カラム:順にKF−8025、KF−806M×2、KF−807
溶離液:THF。
第一の単量体は、分子中に重合性不飽和基を1個有するカルボン酸又は酸無水物である。例えば、(メタ)アクリル酸、フマル酸、ケイ皮酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸無水物、マレイン酸半エステルが挙げられる。中でも、アルカリ現像性の観点から、(メタ)アクリル酸が好ましい。
(b)付加重合性モノマーは、分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する化合物である。エチレン性不飽和結合は、末端エチレン性不飽和基であることが好ましい。また、マイクロ流路パターンの高解像性及び隔壁の形状の観点から、(b)付加重合性モノマーとして、ビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物、多官能モノマー、アルキレンオキサイドの繰り返し単位を有するモノマー、環状モノマー及び芳香族モノマーから成る群から選択される少なくとも1種を用いることが好ましい。
4−n−オクチルフェノキシペンタプロピレングリコールアクリレート、1,6−ヘキサンジオール(メタ)アクリレート、1,4−シクロヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート等のポリオキシアルキレングリコールジ(メタ)アクリレート、2−ジ(p−ヒドロキシフェニル)プロパンジ(メタ)アクリレート、グリセロールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールのトリ、テトラ又はペンタ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ(メタ)アクリレート;
2,2−ビス(4−(メタ)アクリロキシペンタエトキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−((メタ)アクリロキシペンタエトキシ)シクロヘキシル)プロパン;
ヘキサメチレンジイソシアネートとノナプロピレングリコールモノメタクリレートとのウレタン化物等のウレタン基を含有する多官能基(メタ)アクリレート、平均28モルのブチレンオキサイドを付加したポリブチレングリコールとヘキサメチレンジアミンとから合成されるポリウレタンジオールのジメタクリレート、イソシアヌル酸エステル化合物の多官能(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらは、単独で使用しても、2種類以上併用してもよく、ビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物と併用することもできる。
(c)光重合開始剤としては、感光性樹脂の光重合開始剤として通常使用されるものを適宜使用できる。例えば、ヘキサアリールビスイミダゾール(以下、トリアリールイミダゾリル二量体ともいう。)を使用することができる。
2,4,5−トリス−(o−クロロフェニル)−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(o−クロロフェニル)−ビス−4,5−(3,4−ジメトキシフェニル)−イミダゾリル二量体、2,2’−ビス−(2−フルオロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス−(3−メトキシフェニル)−イミダゾリル二量体、2,2’−ビス−(2,3−ジフルオロメチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス−(3−メトキシフェニル)−イミダゾリル二量体、2,2’−ビス−(2,4−ジフルオロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス−(3−メトキシフェニル)−イミダゾリル二量体;
2,2’−ビス−(2,5−ジフルオロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス−(3−メトキシフェニル)−イミダゾリル二量体、2,2’−ビス−(2,6−ジフルオロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス−(3−メトキシフェニル)−イミダゾリル二量体、2,2’−ビス−(2,3,4−トリフルオロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス−(3−メトキシフェニル)−イミダゾリル二量体、2,2’−ビス−(2,3,5−トリフルオロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス−(3−メトキシフェニル)−イミダゾリル二量体;
2,2’−ビス−(2,3,6−トリフルオロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス−(3−メトキシフェニル)−イミダゾリル二量体、2,2’−ビス−(2,4,5−トリフルオロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス−(3−メトキシフェニル)−イミダゾリル二量体、2,2’−ビス−(2,4,6−トリフルオロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス−(3−メトキシフェニル)−イミダゾリル二量体;
2,2’−ビス−(2,3,4,5−テトラフルオロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス−(3−メトキシフェニル)−イミダゾリル二量体、2,2’−ビス−(2,3,4,6−テトラフルオロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス−(3−メトキシフェニル)−イミダゾリル二量体、及び2,2’−ビス−(2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラキス−(3−メトキシフェニル)−イミダゾリル二量体が挙げられる。
9−(4−メチルフェニル)アクリジン、9−(4−エチルフェニル)アクリジン、9−(4−n−プロピルフェニル)アクリジン、9−(4−n−ブチルフェニル)アクリジン、9−(4−tert−ブチルフェニル)アクリジン、9−(4−エトキシフェニル)アクリジン、9−(4−アセチルフェニル)アクリジン、9−(4−ジメチルアミノフェニル)アクリジン、9−(4−クロロフェニル)アクリジン;
9−(4−ブロモフェニル)アクリジン、9−(3−メチルフェニル)アクリジン、9−(3−tert−ブチルフェニル)アクリジン、9−(3−アセチルフェニル)アクリジン、9−(3−ジメチルアミノフェニル)アクリジン、9−(3−ジエチルアミノフェニル)アクリジン、9−(3−クロロフェニル)アクリジン、9−(3−ブロモフェニル)アクリジン、9−(2−ピリジル)アクリジン、9−(3−ピリジル)アクリジン、9−(4−ピリジル)アクリジンが挙げられる。中でも、9−フェニルアクリジンが望ましい。
アクリジン化合物は、感光性樹脂層の露光後の硬化性の観点からハロゲン化合物と組み合わせて用いる事が好ましい。ハロゲン化合物としては、例えば、臭化アミル、臭化イソアミル、臭化イソブチレン、臭化エチレン、臭化ジフェニルメチル、臭化ベンザル、臭化メチレン、トリブロモメチルフェニルスルホン、四臭化炭素、トリス(2,3−ジブロモプロピル)ホスフェート、トリクロロアセトアミド、ヨウ化アミル、ヨウ化イソブチル、1,1,1−トリクロロ−2,2−ビス(p−クロロフェニル)エタン、ヘキサクロロエタン、クロル化トリアジン化合物等が挙げられる。中でも硬化性の観点からトリブロモメチルフェニルスルホンが好ましい。
ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン[4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン]、及び4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等の芳香族ケトン類、ベンゾイン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル、メチルベンゾイン、及びエチルベンゾイン等のベンゾインエーテル類;
ベンジルジメチルケタール、ベンジルジエチルケタール、チオキサントン類とアルキルアミノ安息香酸の組み合わせ、1−フェニル−1,2−プロパンジオン−2−O−ベンゾインオキシム、1−フェニル−1,2−プロパンジオン−2−(O−エトキシカルボニル)オキシム等のオキシムエステル類が挙げられる。
マイクロ流路の無色透明性を要求する場合又は蛍光発光を抑制してマイクロ流路デバイスの発光シグナルを検出し易くするという観点から、オキシム化合物が好ましい。オキシム化合物としては、例えば、BASFジャパン株式会社製Irgacure OXE01及びIrgacure OXE02、株式会社ADEKA製アデカアークルズNCI−831などを挙げることができる。
感光性樹脂組成物には、上記(a)〜(c)の成分の他に各種の添加剤を含有させることができる。
感光性樹脂積層体の製造方法としては、既知の方法を採用することができる。例えば、感光性樹脂組成物層を構成する感光性樹脂組成物を、溶剤と混合して感光性樹脂組成物調合液として準備しておいて、支持フィルムにバーコーター又はロールコーターを用いて塗布して乾燥させ、支持フィルム上に感光性樹脂組成物から成る感光性樹脂組成物層を積層し、所望により、感光性樹脂組成物層上に保護フィルムをさらに積層して、感光性樹脂積層体を得ることができる。
第一、第二又は第三の実施形態に係る感光性樹脂積層体は、マイクロ流路デバイスの部材として使用されることができ、露光後に永久膜としてマイクロ流路デバイスに含まれることもできる。感光性樹脂積層体は、耐水性の観点からはマイクロ流路デバイスの隔壁又はシール材として好ましく、流路閉塞を抑制しながらシール性を確保するという観点からはシール材として好ましい。
(1)基板の面上に複数の隔壁を形成して、マイクロ流路を形成する工程;
(2)基板に貫通孔を設ける工程;
(3)基板の裏面側から貫通孔を通じて分析部を嵌め込んで、分析ユニットを形成する工程;
(4)基板の表面側からシール材をラミネートする工程;
(5)所望により、マイクロ流路が形成された基板を部分的に切削して、例えばコンパクトディスク型などの外形に整える工程;及び
(6)所望により、隔壁を洗浄する工程;
を含む。各工程の順序は製造工程の効率に応じて自由に前後させることができる。
第一、第二又は第三の実施形態に係る感光性樹脂積層体をマイクロ流路のシール材として使用する場合には、感光性樹脂積層体から支持フィルムを剥離せずに維持することができる。感光性樹脂積層体が保護フィルムを有する場合には、保護フィルムを剥離してシール材を形成することが好ましい。本技術分野では、マイクロ流路のシール材は、マイクロ流路の蓋材とも呼ばれることがある。シールされたCD型ELISAデバイスの場合には、シール材としての感光性樹脂積層体をレーザー照射で開封することにより、マイクロ流路内に試料を供給するための供給口を形成することが可能である。
最初に実施例及び比較例の評価用サンプルの作製方法を説明し、次いで、得られたサンプルについての評価方法およびその評価結果を示す。
実施例1〜6及び10〜12における評価用サンプルは次のとおりにして作製した。
<感光性樹脂積層体の作製>
下記表1及び2に示す組成(但し、各成分の数字は固形分としての配合量(質量部)を示す)の感光性樹脂組成物及び溶媒を十分に攪拌及び混合して感光性樹脂組成物調合液とし、支持フィルムとしての16μm厚のポリエチレンテレフタレートフィルム(帝人フィルム(株)製、GR−16)の表面にバーコーターを用いて均一に塗布し、95℃の乾燥機中で5分間乾燥して感光性樹脂組成物層を形成した。感光性樹脂組成物層の厚みは5μmであった。
次いで、感光性樹脂組成物層のポリエチレンテレフタレートフィルムを積層していない表面上に、保護フィルムとしてリンテック株式会社製離形処理PETフィルム25X(膜厚25μm)を貼り合わせて感光性樹脂積層体を得た。
表1及び2には感光性樹脂組成物調合液中の材料成分の名称、樹脂組成物調合液中の配合量、及び評価結果の一部を示す。
表1及び2に示されるとおりに得られた感光性樹脂積層体から保護フィルムを剥離し、23℃及び50%RHの環境下で1日調湿した。その後、必要量の感光性樹脂組成物層を剥離し、株式会社島津製作所製キャピラリーレオメーターCFT−500D(PC)により溶融粘度を測定し、70℃の溶融粘度を得た。測定は以下の条件で実施した。
・昇温速度(Rate)2℃/min、開始温度(StartT)40℃、終了温度(EndT)110℃、予熱温度(PreH)120℃、測定間隔(Intvl.)2℃
・測定可動範囲(Strk) max 20mm
・荷重(Load)20kg/cm2(分銅 1.5kg)
・ダイ直径(Die d) 1.0mm、ダイ長(Die l) 1.0mm
また、70℃の溶融粘度は有効数字二桁で読み取った。感光性樹脂の溶融が昇温速度に対して速く、昇温途中にサンプルがシリンダー内から全て流出した場合は、測定値が得られた範囲で、縦軸を粘度、横軸を温度とした片対数プロットを行い、近似曲線を高温側へ外挿して70℃の溶融粘度を読み取った。
表1及び2で使用される各ベース樹脂(B)について、有機概念図に基づいて、無機性値(I)を算出して表1及び2に示される配合量(質量)を乗じてB(I×配合量)値を算出し、そして有機性値(O)を算出して配合量を乗じてB(O×配合量)値を算出する。
表1及び2で使用される各モノマー(M)について、有機概念図に基づいて、無機性値(I)を算出して表1及び2に示される配合量を乗じてM(I×配合量)値を算出し、そして有機性値(O)を算出して配合量を乗じてM(O×配合量)値を算出する。
全ベース樹脂(B)のB(I×配合量)値の合計値と全モノマー(M)のM(I×配合量)値の合計値とを合算して、合算値I(B+M)を得る。
全ベース樹脂(B)のB(O×配合量)値の合計値と全モノマー(M)のM(O×配合量)値の合計値とを合算して、合算値O(B+M)を得る。
I(B+M)をO(B+M)で除して、I(B+M)/O(B+M)を算出して比(I/O)とする。
表1及び2に示されるとおりに得られた感光性樹脂積層体を株式会社オーク製作所製露光機HMW−201KBにより500mJ/cm2露光し、10分後、保護フィルムを剥離し、株式会社日立ハイテクサイエンス製分光光度計U−3010により透過率を測定した。分析は、支持フィルムと感光性樹脂組成物層が積層された状態で実施し、分析光(波長600nm)が感光性樹脂組成物層側から入射するような状態で測定した。
表1及び2に示されるとおりに得られた感光性樹脂積層体から保護フィルムを剥離した。射出成型により、幅70μm、深さ30μm及び長さ2.5mmの流路の片側が直径5mmの円形貫通孔に接続されたアクリル樹脂製マイクロ流路を作製した。流路は1セット9本であり、15セットが円形の基板上に放射状に配置された。株式会社タカトリ製真空貼り合わせ装置を用い、真空度50Pa及び温度70℃で、表1及び2に示される感光性樹脂積層体を上記マイクロ流路に貼りつけた。貼り付け後、株式会社オーク製作所製露光機HMW−201KBにより500mJ/cm2で露光し、シールを完了した。マイクロ流路のシール性を以下のようにランク分けした。
◎(著しく良好):マイクロ流路を光学顕微鏡で観察したところ、流路の閉塞なく、流路基板表面と感光性樹脂積層体との間に不必要な空気の巻き込みもなく、良好にシールすることができた。
〇(良好):流路セットの1〜3個に閉塞または空気の巻き込みがある。
△(許容):流路セットの4〜6個約に閉塞または空気の巻き込みがある
×(不良):流路セットの7個以上に閉塞または空気の巻き込みがある。
実施例2で得られた感光性樹脂積層体の保護フィルムを剥離した。射出成型により、幅70μm、深さ30μm及び長さ5mmのアクリル樹脂製マイクロ流路を作製した。流路は1セット9本であり、15セットが円形の基板上に放射状に配置された。常圧式のラミネーター(大成ラミネーター株式会社製VA−400III)によって、速度0.2m/min、シリンダー圧力0.2MPa及びロール温度70℃の条件下で、実施例2の感光性樹脂積層体を上記マイクロ流路に貼りつけた。貼り付け後、株式会社オーク製作所製露光機HMW−201KBにより500mJ/cm2で露光し、シールを完了した。ラミネート方向と平行に近い方向の流路の1セットに閉塞が見られた。ラミネート方向と垂直に近い方向の流路の1セットに基板表面と感光性樹脂積層体との間に不必要な空気の巻き込みが見られた。
実施例2と実施例4において、保護フィルムを、20μm厚のポリエチレンフィルム(タマポリ(株)製、GF−18)に変更し、それぞれ感光性樹脂積層体(実施例8)および感光性樹脂積層体(実施例9)を得た。上記「5.マイクロ流路シール性評価」に記載の方法でマイクロ流路に実施例8と9の感光性樹脂積層体をラミネートしたところ、実施例8では実施例2と同様にラミネートが可能であった。実施例9では保護フィルム剥離時に剥離強度が高く感光性樹脂組成物層に段差が生じた。感光性樹脂組成物層の段差がラミネートされた部分のマイクロ流路には閉塞が見られた。
表1及び2に示される感光性樹脂積層体を用いて上記「5.マイクロ流路シール性評価」に記載の方法でマイクロ流路をシールした。流路内で発光基質SuperSignalTM West Femtoを使った発光実験を行った。マイクロ流路発光検出性を以下のようにランク分けした。
◎(著しく良好):問題なく発光検出ができる。
〇(良好):発光のコントラストに影響があり検出感度が下がっている。
△(許容):発光のコントラストに大きな影響があり検出感度が下がっている。
×(不良):発光が検出できない。
表1及び2に示される感光性樹脂積層体を用いて上記「5.マイクロ流路シール性評価」に記載の方法でマイクロ流路をシールした。マイクロ流路にイオン交換水を導入し、1時間後に感光性樹脂組成物層の状態を観察して、耐水性を以下のようにランク分けした。
◎(著しく良好):シワが見られない。
〇(良好):円形貫通孔の周りにシワが見られる。
△(許容):流路の一部でシワが見られる。
×(不良):流路全体でシワが見られる。
Claims (8)
- 支持フィルムと感光性樹脂組成物層を含むマイクロ流路デバイス用感光性樹脂積層体であって、前記感光性樹脂組成物層の膜厚が1〜15μmであり、かつ前記感光性樹脂組成物層に含まれる感光性樹脂組成物の70℃での溶融粘度が100,000mPa・秒以下であることを特徴とするマイクロ流路デバイス用感光性樹脂積層体。
- 前記感光性樹脂組成物層の無機性値(I)と有機性値(O)との比(I/O)が、1.0以下である、請求項1に記載のマイクロ流路デバイス用感光性樹脂積層体。
- 支持フィルムと感光性樹脂組成物層を含むマイクロ流路デバイス用感光性樹脂積層体であって、前記感光性樹脂組成物層の無機性値(I)と有機性値(O)との比(I/O)が1.0以下であることを特徴とするマイクロ流路デバイス用感光性樹脂積層体。
- 前記感光性樹脂組成物層の膜厚が1〜15μmであり、かつ前記感光性樹脂組成物層に含まれる感光性樹脂組成物の70℃での溶融粘度が100,000mPa・秒以下である、請求項3に記載のマイクロ流路デバイス用感光性樹脂積層体。
- 前記感光性樹脂組成物層の前記支持フィルムが形成された面とは反対側の面に保護フィルムを有し、かつ前記保護フィルムがプロピレンフィルム又は離形処理されたプラスチックフィルムである、請求項1〜4のいずれか1項に記載のマイクロ流路デバイス用感光性樹脂積層体。
- 前記支持フィルムと前記感光性樹脂組成物層とが積層された状態で分析光が前記感光性樹脂組成物層側から入射するように測定された露光後の波長515nmおよび600nmのいずれか一方又は両方の透過率が、80%以上である、請求項1〜5のいずれか1項に記載のマイクロ流路デバイス用感光性樹脂積層体。
- マイクロ流路のシール材として適用される、請求項1〜6のいずれか1項に記載のマイクロ流路デバイス用感光性樹脂積層体。
- 減圧状態でラミネートされる、請求項1〜7のいずれか1項に記載のマイクロ流路デバイス用感光性樹脂積層体。
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