JP2020037634A - 熱伝導性材料、その製造方法、及び熱伝導性組成物 - Google Patents
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Abstract
【課題】特性を向上させた熱伝導性材料及びその製造方法を提供する。【解決手段】第1の無機フィラーと、第2の無機フィラーと、カップリング剤部分を含み、前記第1の無機フィラーと前記第2の無機フィラーが、1つもしくは複数の結合部位において互いに結合されており、1つの結合部位においては1つの前記カップリング剤部分によって結合されている、熱伝導性材料、並びに熱伝導性材料の製造方法であって、ヒドロキシ基を有する無機フィラーを提供すること、前記無機フィラーを前記ヒドロキシ基とカップリングする基を少なくとも2つ有するカップリング剤と混合して、脱水縮合により前記無機フィラーとカップリング剤を結合させることを含む方法。【選択図】図1
Description
本発明は、熱伝導性材料、その製造方法、及び熱伝導性組成物に関する。
近年、ハイブリッド自動車や電気自動車などの電力制御用の半導体素子や、高速コンピューター用のCPU等において、内部の半導体の温度が高くなりすぎないように、半導体チップから発生した熱を効果的に外部に放出させる能力が重要になっている。
このような放熱問題を解決する方法として、発熱部位に熱伝導性の高い材料を接触させて熱を外部に導き、放熱する方法が挙げられる。このような熱伝導性の高い材料として、従来から金属や金属酸化物などの無機材料や、この無機材料と樹脂との複合材料など、各種材料が提案されている。
例えば、特許文献1には、第1の無機フィラーと第2の無機フィラーが複数のカップリング剤を介して結合している放熱部材用組成物が開示されている。引用文献2には、酸化アルミニウム粉末又はシリカ粉末の表面をシランカップリング剤などの表面処理剤によって処理されてなる高熱伝導性無機粉末が開示されている。引用文献3には、Si、Tiなどからなる化合物により表面処理がなされた無機フィラーが樹脂体中に分散されてなるプリプレグが開示されている。
しかしながら、従来の熱伝導性材料において、必ずしも熱伝導性は十分ではなく、熱伝導性の向上に関して改善の余地があった。
本発明は、上記実情を鑑みてなされたものであり、熱伝導性がより一層向上した熱伝導性材料及びその製造方法を提供することを目的とする。
本発明は、以下の手段により上記目的を達成するものである。
<1>第1の無機フィラーと、第2の無機フィラーと、カップリング剤部分を含み、前記第1の無機フィラーと前記第2の無機フィラーが、1つもしくは複数の結合部位において互いに結合されており、1つの結合部位においては1つの前記カップリング剤部分によって結合されている、熱伝導性材料。
<2>前記カップリング剤部分は、少なくとも2つのアルコキシ基を含むシラン化合物に由来する部分である、上記<1>記載の熱伝導性材料。
<3>前記少なくとも2つのアルコキシ基を含むシラン化合物は、テトラエトキシシランである、上記<2>記載の熱伝導性材料。
<4>前記第1の無機フィラー及び第2の無機フィラーは独立に、窒化ホウ素、炭化ホウ素、窒化ホウ素炭素、黒鉛、炭素繊維、及びカーボンナノチューブより選ばれる少なくとも1種である、上記<1>記載の熱伝導性材料。
<5>ヒドロキシ基を有する無機フィラーを提供すること、
前記無機フィラーを前記ヒドロキシ基とカップリングする基を少なくとも2つ有するカップリング剤と混合して、脱水縮合により前記無機フィラーとカップリング剤を結合させること
を含む、熱伝導性材料の製造方法。
<6>前記カップリング剤は、少なくとも2つのアルコキシ基を含むシラン化合物である、上記<5>記載の熱伝導性材料の製造方法。
<7>前記少なくとも2つのアルコキシ基を含むシラン化合物は、テトラエトキシシランである、上記<6>記載の熱伝導性材料の製造方法。
<8>前記第1の無機フィラー及び第2の無機フィラーは独立に、窒化ホウ素、炭化ホウ素、窒化ホウ素炭素、黒鉛、炭素繊維、及びカーボンナノチューブより選ばれる少なくとも1種である、上記<5>記載の熱伝導性材料の製造方法。
<9>上記<1>〜<4>のいずれかに記載の熱伝導性材料を含む、熱伝導性組成物。
<1>第1の無機フィラーと、第2の無機フィラーと、カップリング剤部分を含み、前記第1の無機フィラーと前記第2の無機フィラーが、1つもしくは複数の結合部位において互いに結合されており、1つの結合部位においては1つの前記カップリング剤部分によって結合されている、熱伝導性材料。
<2>前記カップリング剤部分は、少なくとも2つのアルコキシ基を含むシラン化合物に由来する部分である、上記<1>記載の熱伝導性材料。
<3>前記少なくとも2つのアルコキシ基を含むシラン化合物は、テトラエトキシシランである、上記<2>記載の熱伝導性材料。
<4>前記第1の無機フィラー及び第2の無機フィラーは独立に、窒化ホウ素、炭化ホウ素、窒化ホウ素炭素、黒鉛、炭素繊維、及びカーボンナノチューブより選ばれる少なくとも1種である、上記<1>記載の熱伝導性材料。
<5>ヒドロキシ基を有する無機フィラーを提供すること、
前記無機フィラーを前記ヒドロキシ基とカップリングする基を少なくとも2つ有するカップリング剤と混合して、脱水縮合により前記無機フィラーとカップリング剤を結合させること
を含む、熱伝導性材料の製造方法。
<6>前記カップリング剤は、少なくとも2つのアルコキシ基を含むシラン化合物である、上記<5>記載の熱伝導性材料の製造方法。
<7>前記少なくとも2つのアルコキシ基を含むシラン化合物は、テトラエトキシシランである、上記<6>記載の熱伝導性材料の製造方法。
<8>前記第1の無機フィラー及び第2の無機フィラーは独立に、窒化ホウ素、炭化ホウ素、窒化ホウ素炭素、黒鉛、炭素繊維、及びカーボンナノチューブより選ばれる少なくとも1種である、上記<5>記載の熱伝導性材料の製造方法。
<9>上記<1>〜<4>のいずれかに記載の熱伝導性材料を含む、熱伝導性組成物。
本発明の熱伝導性材料によれば、無機フィラー同士を1つのカップリング剤部分によって結合させることにより、無機フィラー間の熱抵抗を低減させ、熱伝導性を向上させることができる。また、本発明の熱伝導性材料の製造方法によれば、ヒドロキシ基を有する無機フィラーを用いることにより、カップリング剤との親和性が高くなり、1つのカップリング剤部分によって無機フィラー同士が結合される割合が高くなる。
以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々変形して実施することができる。
《熱伝導性材料》
本発明の熱伝導性材料は、第1の無機フィラーと、第2の無機フィラーと、カップリング剤部分を含み、前記第1の無機フィラーと前記第2の無機フィラーが、1つもしくは複数の結合部位において互いに結合されており、1つの結合部位においては1つの前記カップリング剤部分によって結合されている。
本発明の熱伝導性材料は、第1の無機フィラーと、第2の無機フィラーと、カップリング剤部分を含み、前記第1の無機フィラーと前記第2の無機フィラーが、1つもしくは複数の結合部位において互いに結合されており、1つの結合部位においては1つの前記カップリング剤部分によって結合されている。
従来の一般的な放熱部材の高熱伝導化対策としては、シリコーン樹脂、ポリアミド樹脂、ポリスチレン樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂などの汎用樹脂のマトリックス中に、無機フィラー材を多量に添加することにより行われてきた。フィラーの充填率を高めることにより、フィラー同士が接触する部分が増加するためである。しかしながら、フィラーは固体であるため、それらの接触形態はほとんどの場合点接触であり、また固体同士のため、接触界面の熱抵抗も高く、熱伝導性を十分に高めることができなかった。
これに対して本発明の熱伝導性材料は、図1に示すように、第1の無機フィラー11と、第2の無機フィラー12と、カップリング剤部分13を含み、第1の無機フィラー11と第2の無機フィラー12が、1つもしくは複数の結合部位において互いに結合されており、1つの結合部位においては1つのカップリング剤部分13によって結合されている。このように、本発明の熱伝導性材料は、フィラー同士を物理接触ではなく、1つのカップリング剤部分によって接結合させているため、直接的に、熱伝導の主な要素であるフォノンを伝播させることができ、フィラー間の熱伝導率を向上させることができる。
第1の無機フィラーと第2の無機フィラーとは、図1に示すように1つの結合部位のみにおいて結合していてもよいが、2か所以上の部位において結合していてもよい。ただし、1つの結合部位においては1つのカップリング剤部分のみが存在する。
<カップリング剤>
カップリング剤としては、無機フィラーに付与した官能基としてのOH基と反応することができる化合物を用いる。このような化合物としては、末端にアルコキシ基(−OR基、Rはアルキル基である)を少なくとも2個有するシラン化合物を用いることが好ましい。具体的には、シランカップリング剤として一般に用いられている化合物を用いることができる。このシランカップリング剤としては、テトラエトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、ジメチルジメトキシシランなどのシラン化合物を用いることができる。
カップリング剤としては、無機フィラーに付与した官能基としてのOH基と反応することができる化合物を用いる。このような化合物としては、末端にアルコキシ基(−OR基、Rはアルキル基である)を少なくとも2個有するシラン化合物を用いることが好ましい。具体的には、シランカップリング剤として一般に用いられている化合物を用いることができる。このシランカップリング剤としては、テトラエトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、ジメチルジメトキシシランなどのシラン化合物を用いることができる。
カップリング剤部分とは、カップリング剤と無機フィラー上のOH基(官能基)との反応により、カップリング剤から除去された基を除いた残余の部分を意味する。従ってカップリング剤部分とは、カップリング剤としてテトラエトキシシランを用いた場合、−Si(C2H5O)2−、あるいはエトキシ基が加水分解によりヒドロキシ基となった−Si(OH)2−を意味する。
<無機フィラー>
無機フィラーの種類、形状、大きさ、添加量などは、目的に応じて適宜選択することができる。また、第1の無機フィラーと第2の無機フィラーは同一であっても異なっていてもよい。この無機フィラーとしては、窒化ホウ素、炭化ホウ素、窒化ホウ素炭素、黒鉛、炭素繊維、及びカーボンナノチューブより選ばれる少なくとも1種を用いることができる。六方晶系の窒化ホウ素を用いることが好ましい。窒化ホウ素は、平面方向の熱伝導率が非常に高く、誘電率も低く、絶縁性も高いからである。
無機フィラーの種類、形状、大きさ、添加量などは、目的に応じて適宜選択することができる。また、第1の無機フィラーと第2の無機フィラーは同一であっても異なっていてもよい。この無機フィラーとしては、窒化ホウ素、炭化ホウ素、窒化ホウ素炭素、黒鉛、炭素繊維、及びカーボンナノチューブより選ばれる少なくとも1種を用いることができる。六方晶系の窒化ホウ素を用いることが好ましい。窒化ホウ素は、平面方向の熱伝導率が非常に高く、誘電率も低く、絶縁性も高いからである。
無機フィラーの平均粒径は、0.1μm以上、又は1μm以上であってよく、また200μm以下、又は100μm以下であってよい。高い熱伝導率及び充填率を達成するためである。
無機フィラーとカップリング剤部分の割合は、使用する無機フィラーと、これに結合させるカップリング剤の量に依存するが、無機フィラーにはできるだけ多くのカップリング剤を結合させることが好ましい。
《熱伝導性材料の製造方法》
本発明の熱伝導性材料の製造方法は、
ヒドロキシ基を有する無機フィラーを提供すること、
前記無機フィラーを前記ヒドロキシ基とカップリングする基を少なくとも2つ有するカップリング剤と混合して、脱水縮合により前記無機フィラーとカップリング剤を結合させること
を含む。
本発明の熱伝導性材料の製造方法は、
ヒドロキシ基を有する無機フィラーを提供すること、
前記無機フィラーを前記ヒドロキシ基とカップリングする基を少なくとも2つ有するカップリング剤と混合して、脱水縮合により前記無機フィラーとカップリング剤を結合させること
を含む。
<ヒドロキシ基を有する無機フィラー提供工程>
本発明の方法においては、まずヒドロキシ基を有する無機フィラーを提供する。このヒドロキシ基を有する無機フィラーは、上記の無機フィラーに官能基であるヒドロキシ基を付与したものである。無機フィラーの表面には、カップリング剤との結合の起点となる官能基が存在しないか少ないため、カップリング剤を結合させることは容易ではないことがある。そこで、無機フィラーに官能基としてヒドロキシ基を付与することにより、カップリング剤との結合が容易になる。無機フィラーへのヒドロキシ基の付与は、一般的な方法により行うことができる。例えば、大気中において950〜1000℃に8〜24時間加熱することにより行うことができる。
本発明の方法においては、まずヒドロキシ基を有する無機フィラーを提供する。このヒドロキシ基を有する無機フィラーは、上記の無機フィラーに官能基であるヒドロキシ基を付与したものである。無機フィラーの表面には、カップリング剤との結合の起点となる官能基が存在しないか少ないため、カップリング剤を結合させることは容易ではないことがある。そこで、無機フィラーに官能基としてヒドロキシ基を付与することにより、カップリング剤との結合が容易になる。無機フィラーへのヒドロキシ基の付与は、一般的な方法により行うことができる。例えば、大気中において950〜1000℃に8〜24時間加熱することにより行うことができる。
<無機フィラーとカップリング剤の結合工程>
次いで、ヒドロキシ基を有する無機フィラーにカップリング剤を結合させる。この工程において、カップリング剤としてテトラエトキシシランを用いた場合を例示すると、下式に示すように、まず、テトラエトキシシランを加水分解し、エトキシ基をヒドロキシ基にする。この加水分解は、一般的な方法、例えば酸性溶液中で攪拌すること、により行うことができる。
次いで、ヒドロキシ基を有する無機フィラーにカップリング剤を結合させる。この工程において、カップリング剤としてテトラエトキシシランを用いた場合を例示すると、下式に示すように、まず、テトラエトキシシランを加水分解し、エトキシ基をヒドロキシ基にする。この加水分解は、一般的な方法、例えば酸性溶液中で攪拌すること、により行うことができる。
次いで、ヒドロキシ基を有する無機フィラーと、加水分解したテトラエトキシシランを混合し、図2に示すように、無機フィラーのOH基と加水分解したテトラエトキシシランのOH基との間に水素結合を形成させる。
最後に、図3に示すように、脱水縮合により、無機フィラーとテトラエトキシシランの部分とを結合させる。この無機フィラーとテトラエトキシシランの部分との結合は、図4及び図5に示すような様々な態様が可能である。この脱水縮合は、一般的な方法によって行うことが可能である。
《熱伝導性組成物》
本発明の熱伝導性組成物は、上記の熱伝導性材料に加え、熱伝導性組成物として一般に用いられる各種の成分を含む。そのような成分としては、ポリオレフィン樹脂、ポリビニル樹脂などの高分子化合物、ビニル誘導体、スチレン誘導体などの重合性化合物、組成物の粘度や色を調整するための添加剤、安定剤、などが挙げられる。
本発明の熱伝導性組成物は、上記の熱伝導性材料に加え、熱伝導性組成物として一般に用いられる各種の成分を含む。そのような成分としては、ポリオレフィン樹脂、ポリビニル樹脂などの高分子化合物、ビニル誘導体、スチレン誘導体などの重合性化合物、組成物の粘度や色を調整するための添加剤、安定剤、などが挙げられる。
<実施例1>
(工程1:窒化ホウ素粒子表面へのヒドロキシ基の付与)
モメンティブ社製窒化ホウ素粒子(PT110)5gをアルミナ製るつぼに入れた。このるつぼをマッフル炉に入れ、大気中で950℃にて8時間熱処理した。次いで室温まで徐冷後、取り出した。
(工程1:窒化ホウ素粒子表面へのヒドロキシ基の付与)
モメンティブ社製窒化ホウ素粒子(PT110)5gをアルミナ製るつぼに入れた。このるつぼをマッフル炉に入れ、大気中で950℃にて8時間熱処理した。次いで室温まで徐冷後、取り出した。
(工程2:シランカップリング剤の加水分解)
蒸留水に酢酸を滴下し、pHを3に調整した。この溶液に、信越化学社製シランカップリング剤(KBE−04、テトラエトキシシラン)0.6gを滴下し、溶解するまで攪拌し、テトラエトキシシラン中のエトキシ基を加水分解させてヒドロキシ基とした。
蒸留水に酢酸を滴下し、pHを3に調整した。この溶液に、信越化学社製シランカップリング剤(KBE−04、テトラエトキシシラン)0.6gを滴下し、溶解するまで攪拌し、テトラエトキシシラン中のエトキシ基を加水分解させてヒドロキシ基とした。
(工程3:窒化ホウ素粒子表面上のOH基へのシランカップリング剤の水素結合)
工程2で得た、加水分解させたテトラエトキシシランを含む溶液に、工程1で得たヒドロキシ基を付与した窒化ホウ素を加え、室温において攪拌した。次いで、攪拌しながら80℃に加熱し、蒸発乾固させた。得られた粒子を乳鉢において粉砕し、遠沈管にエタノールとともに入れ、遠心分離機を用いて洗浄し、窒化ホウ素粒子表面上のOH基とシランカップリング剤上のOH基とを水素結合させた。
工程2で得た、加水分解させたテトラエトキシシランを含む溶液に、工程1で得たヒドロキシ基を付与した窒化ホウ素を加え、室温において攪拌した。次いで、攪拌しながら80℃に加熱し、蒸発乾固させた。得られた粒子を乳鉢において粉砕し、遠沈管にエタノールとともに入れ、遠心分離機を用いて洗浄し、窒化ホウ素粒子表面上のOH基とシランカップリング剤上のOH基とを水素結合させた。
(工程4:窒化ホウ素粒子へのシランカップリング剤の脱水縮合)
上記の洗浄した粒子を、φ10mmの圧粉体成型用ダイスに入れ、成型後の厚みが約0.5mm、圧粉体密度が2000kg/m3となるように成型した。その後、圧粉体をダイスから取り出し、乾燥炉に入れ、120℃において6時間加熱し、窒化ホウ素粒子表面上のOH基とシランカップリング剤上のOH基とを脱水縮合させ、窒化ホウ素粒子とシランカップリング剤部分とを結合させた。
上記の洗浄した粒子を、φ10mmの圧粉体成型用ダイスに入れ、成型後の厚みが約0.5mm、圧粉体密度が2000kg/m3となるように成型した。その後、圧粉体をダイスから取り出し、乾燥炉に入れ、120℃において6時間加熱し、窒化ホウ素粒子表面上のOH基とシランカップリング剤上のOH基とを脱水縮合させ、窒化ホウ素粒子とシランカップリング剤部分とを結合させた。
未処理窒化ホウ素粒子、OH基付与窒化ホウ素粒子、及びテトラエトキシシラン部分を結合させた窒化ホウ素粒子について、FT−IRスペクトルを測定した。このスペクトルを図6に示す。図6において、(1)は未処理窒化ホウ素粒子のスペクトルであり、(2)はOH基付与窒化ホウ素粒子のスペクトルであり、(3)はテトラエトキシシラン部分を結合させた窒化ホウ素粒子のスペクトルである。−OH基及び−O−Si−結合に由来するピークが確認できる。
<比較例1>
工程4における120℃において6時間加熱する工程を行わないことを除き、実施例1と同様にして圧粉体を得た。すなわち、得られた圧粉体においては、無機フィラーとカップリング剤部分は水素結合により結合しており、化学結合していない。
工程4における120℃において6時間加熱する工程を行わないことを除き、実施例1と同様にして圧粉体を得た。すなわち、得られた圧粉体においては、無機フィラーとカップリング剤部分は水素結合により結合しており、化学結合していない。
<比較例2>
工程2及び3を行わず、かつ工程4における120℃において6時間加熱する工程を行わないことを除き、実施例1と同様にして圧粉体を得た。すなわち、得られた圧粉体においては、窒化ホウ素にヒドロキシ基を付与したのみであり、カップリング剤を介した結合を行っていない。
工程2及び3を行わず、かつ工程4における120℃において6時間加熱する工程を行わないことを除き、実施例1と同様にして圧粉体を得た。すなわち、得られた圧粉体においては、窒化ホウ素にヒドロキシ基を付与したのみであり、カップリング剤を介した結合を行っていない。
<比較例3>
モメンティブ社製窒化ホウ素粒子(PT110)5gと3−アミノプロピルトリメトキシシラン0.75gをトルエン(無水)50mLに加え、スターラーを用いて750rpmで1時間攪拌し、得られた混合物を40℃で5時間、次いで室温で19時間乾燥した。さらに、溶媒乾燥後に125℃に設定した真空乾燥機を用いて真空条件下で5時間熱処理した。
モメンティブ社製窒化ホウ素粒子(PT110)5gと3−アミノプロピルトリメトキシシラン0.75gをトルエン(無水)50mLに加え、スターラーを用いて750rpmで1時間攪拌し、得られた混合物を40℃で5時間、次いで室温で19時間乾燥した。さらに、溶媒乾燥後に125℃に設定した真空乾燥機を用いて真空条件下で5時間熱処理した。
このカップリング剤を結合させた窒化ホウ素粒子をサンプル管に移し、テトラヒドロフラン(ナカライテスク(株)製)50mLを加えた後、超音波処理により粉砕した。さらにこの溶液を遠心分離機を用いて6000rpmで10分間分離精製した。上澄み液を捨てた後、アセトンを50mL加えて同様の操作を2回行った。精製後の窒化ホウ素粒子を60℃のオーブン中で24時間乾燥した。得られた粒子を、第1の無機フィラーAとする。
第1の無機フィラーA2gと下式
で表される液晶性エポキシ4gを薬包紙上に量り取り(窒化ホウ素の配合比19体積%)、乳鉢を用いて混合した後、2軸ロールを用いて120℃で10分混練した。その後、超音波処理及び遠心分離によって分離精製し、未反応成分を取り除いた、カップリング剤結合窒化ホウ素粒子を得た。この粒子を、第2の無機フィラーBとする。
第1の無機フィラーAを0.5972g、第2の無機フィラーBを1.4812g量り取り、メノウ乳鉢において混合した後、2軸ロールを用いて55℃で10分間混合した。得られた混合物を、φ10mmの圧粉体成型用ダイスに入れ、成型後の厚みが約0.5mm、圧粉体密度が2000kg/m3となるように成型し、150℃まで加熱し、15分間加熱状態を維持した。その後、圧粉体をダイスから取り出し、オーブンに入れ、80℃において1時間、150℃において3時間の後硬化を行った。得られた圧粉体は、窒化ホウ素を、カップリング剤―エポキシ―カップリング剤を介して結合させている。
<熱伝導率の測定>
実施例1及び比較例1〜3において得られた圧粉体を黒化スプレーにて黒化した。次いで、熱拡散率測定装置を用いて、この圧粉体の平面方向の熱拡散率を測定した。下式
(熱拡散率)×(圧粉体の密度)×(圧粉体の比率)
より、圧粉体の熱伝導率を算出した。結果を図7に示す。
実施例1及び比較例1〜3において得られた圧粉体を黒化スプレーにて黒化した。次いで、熱拡散率測定装置を用いて、この圧粉体の平面方向の熱拡散率を測定した。下式
(熱拡散率)×(圧粉体の密度)×(圧粉体の比率)
より、圧粉体の熱伝導率を算出した。結果を図7に示す。
図7に示す結果より明らかなように、本発明の熱伝導性材料は、熱伝導率の向上を示した。
11 第1の無機フィラー
12 第2の無機フィラー
13 カップリング剤部分
12 第2の無機フィラー
13 カップリング剤部分
Claims (9)
- 第1の無機フィラーと、第2の無機フィラーと、カップリング剤部分を含み、前記第1の無機フィラーと前記第2の無機フィラーが、1つもしくは複数の結合部位において互いに結合されており、1つの結合部位においては1つの前記カップリング剤部分によって結合されている、熱伝導性材料。
- 前記カップリング剤部分は、少なくとも2つのアルコキシ基を含むシラン化合物に由来する部分である、請求項1記載の熱伝導性材料。
- 前記少なくとも2つのアルコキシ基を含むシラン化合物は、テトラエトキシシランである、請求項2記載の熱伝導性材料。
- 前記第1の無機フィラー及び第2の無機フィラーは独立に、窒化ホウ素、炭化ホウ素、窒化ホウ素炭素、黒鉛、炭素繊維、及びカーボンナノチューブより選ばれる少なくとも1種である、請求項1記載の熱伝導性材料。
- ヒドロキシ基を有する無機フィラーを提供すること、
前記無機フィラーを前記ヒドロキシ基とカップリングする基を少なくとも2つ有するカップリング剤と混合して、脱水縮合により前記無機フィラーとカップリング剤を結合させること
を含む、熱伝導性材料の製造方法。 - 前記カップリング剤は、少なくとも2つのアルコキシ基を含むシラン化合物である、請求項5記載の熱伝導性材料の製造方法。
- 前記少なくとも2つのアルコキシ基を含むシラン化合物は、テトラエトキシシランである、請求項6記載の熱伝導性材料の製造方法。
- 前記第1の無機フィラー及び第2の無機フィラーは独立に、窒化ホウ素、炭化ホウ素、窒化ホウ素炭素、黒鉛、炭素繊維、及びカーボンナノチューブより選ばれる少なくとも1種である、請求項5記載の熱伝導性材料の製造方法。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の熱伝導性材料を含む、熱伝導性組成物。
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