JP2020026575A - 成膜装置、成膜システム、および成膜方法 - Google Patents
成膜装置、成膜システム、および成膜方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020026575A JP2020026575A JP2018222067A JP2018222067A JP2020026575A JP 2020026575 A JP2020026575 A JP 2020026575A JP 2018222067 A JP2018222067 A JP 2018222067A JP 2018222067 A JP2018222067 A JP 2018222067A JP 2020026575 A JP2020026575 A JP 2020026575A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- film forming
- film
- sputter
- sputtered
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000151 deposition Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 230000008021 deposition Effects 0.000 title claims abstract description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 285
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 266
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 52
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 74
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 53
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 14
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 12
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 3
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 claims 1
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 63
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 11
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 9
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/0226—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process
- H01L21/02263—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase
- H01L21/02266—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process deposition from the gas or vapour phase deposition by physical ablation of a target, e.g. sputtering, reactive sputtering, physical vapour deposition or pulsed laser deposition
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67276—Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68764—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a movable susceptor, stage or support, others than those only rotating on their own vertical axis, e.g. susceptors on a rotating caroussel
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
最初に、第1の実施形態について説明する。
図1は第1の実施形態で用いる成膜装置を示す縦断面図、図2は図1のII-II線による水平断面図である。
である。
次に、以上のように構成される第1の実施形態の成膜装置における成膜方法について説明する。
第1の例では、上記成膜装置1により、第1のスパッタ粒子放出部12aと第2のスパッタ粒子放出部12bとを交互に用いて成膜する。
最初に図4Aに示すように、退避位置にある基板支持部14に基板Wを受け渡す。次いで、図4Bに示すように、基板支持部14上の基板WをX方向に沿った図中A方向に移動させながら、第2のスパッタ粒子放出部12bのターゲット30bからのみスパッタ粒子Pを斜めに放出させる。これにより、スパッタ粒子Pが一方向から基板W上に斜めに入射され、基板上に堆積される(第1成膜)。
第2の例では、上記成膜装置1により、第1のスパッタ粒子放出部12aと第2のスパッタ粒子放出部12bとを同時に用いて成膜する。
次に、第2の実施形態について説明する。
図14は第2の実施形態に係る成膜システムの一例を示す概略構成図、図15はその第1の成膜装置を示す断面図である。
この成膜システム100は、多角形の真空搬送室101を有している。真空搬送室101には、ゲートバルブGを介して第1の成膜装置102aおよび第2の成膜装置102bが互いに対向するように接続され、第1および第2の成膜装置102aおよび102bの間に基板回転室103が接続されている。また、真空搬送室101の基板回転室103の反対側には、2つのロードロック室104がゲートバルブG1を介して接続されている。真空搬送室101を挟んで2つのロードロック室104の反対側には大気搬送室105が設けられている。2つのロードロック室104は、ゲートバルブG2を介して大気搬送室105に接続されている。ロードロック室104は、大気搬送室105と真空搬送室101との間で基板Wを搬送する際に、大気圧と真空との間で圧力制御するものである。
次に、第3の実施形態について説明する。
図17は第3の実施形態に係る成膜システムの一例を示す概略構成図、図18はその第2の成膜装置を示す断面図である。
この成膜システム100aは、基本的に図14に示す第2の実施形態に用いる成膜システム100と同様であるが、基板回転室103が存在しない点、および第2の実施形態とは異なる第2の成膜装置102b´を有する点が成膜システム100と異なっている。
次に、第4の実施形態について説明する。
図19は、第4の実施形態で用いる成膜システムの一例を示す概略構成図である。
この成膜システム100bは、基本的に図14に示す第2の実施形態に用いる成膜システム100と同様であるが、第2の成膜装置102bの代わりに、スパッタ成膜以外の処理を行う処理装置120が設けられている点が成膜システム100と異なっている。
次に、第5の実施形態について説明する。
本実施形態に係る成膜システムは、複数の成膜装置と、直列に設けられた複数の真空搬送室(搬送モジュール)と、複数の真空搬送室の間に設けられた基板回転室(基板回転機構)とを有し、基板をシリアルに搬送するものである。
この成膜システム100cは、第2の実施形態の成膜システム100と同様、3つのキャリアCを取り付ける大気搬送室105を有しており、大気搬送室105には、2つのロードロック室104aおよび104b、ならびにアライメントチャンバ107が設けられている。大気搬送室105内には第2の搬送機構111が設けられている。
以上、実施形態について説明したが、今回開示された実施形態は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の特許請求の範囲およびその主旨を逸脱することなく、様々な形態で省略、置換、変更されてもよい。
10;処理チャンバ
12a,12b;スパッタ粒子放出部
14;基板支持部
16;基板移動機構
18;スパッタ粒子遮蔽板
19,19a,19b;通過孔
22;ガス導入ポート
30a,30b;ターゲット
35a,35b;フィン
40;制御部
100,100a,100b,100c;成膜システム
101,101a〜101d;真空搬送室
102a,102b、102b´,132a〜132h;成膜装置
103;基板回転室(基板回転機構)
110;第1の基板搬送機構
120;処理装置
W;基板
Claims (36)
- 基板に対して成膜処理が行われる処理空間を規定する処理チャンバと、
前記処理空間で互いに異なる斜め方向にスパッタ粒子を放出させるターゲットをそれぞれ有する第1のスパッタ粒子放出部および第2のスパッタ粒子放出部と、
前記第1のスパッタ粒子放出部および前記第2のスパッタ粒子放出部から放出された前記スパッタ粒子が通過する通過孔を有するスパッタ粒子遮蔽板と、
前記処理空間の前記スパッタ粒子遮蔽板を挟んで、前記第1のスパッタ粒子放出部および前記第2のスパッタ粒子放出部と反対側に設けられた、基板を支持する基板支持部と、
前記基板支持部に支持された基板を直線的に移動させる基板移動機構と、
前記第1のスパッタ粒子放出部、前記第2のスパッタ粒子放出部、および前記基板移動機構を制御する制御部と
を備え、
前記制御部は、前記基板移動機構により前記基板を直線的に移動させるように制御しつつ、前記第1のスパッタ粒子放出部および前記第2のスパッタ粒子放出部からのスパッタ粒子の放出を制御し、
前記第1のスパッタ粒子放出部および前記第2のスパッタ粒子放出部から放出された前記スパッタ粒子が、前記通過孔を通過し、前記基板上に堆積される、成膜装置。 - 前記処理チャンバ内にスパッタガスを導入するガス導入部をさらに有し、
前記第1のスパッタ粒子放出部および前記第2のスパッタ粒子放出部は、それぞれ、前記ターゲットを保持するターゲットホルダと、前記ターゲットホルダに電圧を印加する電源とを有し、前記ターゲットホルダに前記電源から電圧が印加されることにより、前記スパッタガスが解離して形成されたイオンが前記ターゲットに衝突し、スパッタ粒子が放出される、請求項1に記載の成膜装置。 - 前記スパッタ粒子遮蔽板は、前記第1のスパッタ粒子放出部から放出されたスパッタ粒子を通過させる第1の通過孔と、前記第2のスパッタ粒子放出部から放出されたスパッタ粒子を通過させる第2の通過孔と、前記第1の通過孔の周囲に設けられた、所定角度でスパッタ粒子を導く第1のフィンと、前記第2の通過孔の周囲に設けられた、所定角度でスパッタ粒子を導く第2のフィンとを有する、請求項1または請求項2に記載の成膜装置。
- 前記制御部は、前記第1のスパッタ粒子放出部からスパッタ粒子を放出させて基板上に第1の膜を成膜する第1の成膜と、前記第2のスパッタ粒子放出部からスパッタ粒子を放出させて基板上に第2の膜を成膜する第2の成膜とが1回以上交互に行われるように制御する、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の成膜装置。
- 前記制御部は、前記第1のスパッタ粒子放出部からスパッタ粒子を放出させている間に、前記基板移動機構に前記基板を第1の方向に移動させ、前記第2のスパッタ粒子放出部からスパッタ粒子を放出させている間に、前記基板移動機構に前記基板を前記第1の方向と反対方向である第2の方向に移動させる、請求項4に記載の成膜装置。
- 前記制御部は、前記第1のスパッタ粒子放出部と前記第2のスパッタ粒子放出部とでスパッタ粒子の放出出力を異ならせる、請求項4または請求項5に記載の成膜装置。
- 前記第1のスパッタ粒子放出部から放出され、前記基板に入射されるスパッタ粒子の角度と、前記第2のスパッタ粒子放出部から放出され、前記基板に入射されるスパッタ粒子の角度が異なる、請求項4から請求項6のいずれか1項に記載の成膜装置。
- 前記第1のスパッタ粒子放出部の前記ターゲットと、前記第2のスパッタ粒子放出部の前記ターゲットが、互いに異なる材料で形成されており、前記基板上に形成さる前記第1の膜と前記第2の膜とが異なる材料で形成される、請求項4から請求項7のいずれか1項に記載の成膜装置。
- 前記制御部は、前記第1のスパッタ粒子放出部および前記第2のスパッタ粒子放出部から同時にスパッタ粒子を放出させて成膜するように制御する請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の成膜装置。
- 前記第1のスパッタ粒子放出部の前記ターゲットの配置および角度、ならびに、前記第1のスパッタ粒子放出部および前記第2のスパッタ粒子から放出され、前記基板に入射されるスパッタ粒子の角度を調整することにより、成膜の制御が行われる、請求項9に記載の成膜装置。
- 成膜装置により所定の膜を成膜する成膜方法であって、
前記成膜装置は、
基板に対して成膜処理が行われる処理空間を規定する処理チャンバと、
前記処理空間で互いに異なる斜め方向にスパッタ粒子を放出させるターゲットをそれぞれ有する第1のスパッタ粒子放出部および第2のスパッタ粒子放出部と、
前記第1のスパッタ粒子放出部および前記第2のスパッタ粒子放出部から放出された前記スパッタ粒子が通過する通過孔を有するスパッタ粒子遮蔽板と、
前記処理空間の前記スパッタ粒子遮蔽板を挟んで、前記第1のスパッタ粒子放出部および前記第2のスパッタ粒子放出部と反対側に設けられた、基板を支持する基板支持部と、
前記基板支持部に支持された基板を直線的に移動させる基板移動機構と、
を備え、
基板を前記基板支持部に支持させる工程と、
前記基板を直線的に移動させる工程と、
前記基板が移動されている間に、前記第1のスパッタ粒子放出部および前記第2のスパッタ粒子放出部からスパッタ粒子を放出させる工程と、
前記第1のスパッタ粒子放出部および前記第2のスパッタ粒子放出部から放出されたスパッタ粒子を、前記通過孔を介して前記基板に入射させ、成膜する工程と、
を有する、成膜方法。 - 前記スパッタ粒子を放出させる工程は、前記第1のスパッタ粒子放出部からのスパッタ粒子の放出と、前記第2のスパッタ粒子放出部からのスパッタ粒子の放出とを1回以上交互に行い、
前記成膜する工程は、前記第1のスパッタ粒子放出部から放出されたスパッタ粒子により基板上に第1の膜を形成する第1の成膜と、前記第2のスパッタ粒子放出部から放出されたスパッタ粒子により基板上に第2の膜を形成する第2の成膜とを1回以上交互に行う、請求項11に記載の成膜方法。 - 前記第1のスパッタ粒子放出部からスパッタ粒子を放出させている間に、前記基板移動機構が前記基板を第1の方向に移動させ、前記第2のスパッタ粒子放出部からスパッタ粒子を放出させている間に、前記基板移動機構が前記基板を前記第1の方向と反対方向である第2の方向に移動させる、請求項12に記載の成膜方法。
- 前記第1のスパッタ粒子放出部と前記第2のスパッタ粒子放出部とでスパッタ粒子の放出出力を異ならせ、前記基板に成膜される前記第1の膜および前記第2の膜の成長方向を制御する、請求項11から請求項13のいずれか1項に記載の成膜方法。
- 前記第1のスパッタ粒子放出部から放出され、前記基板に入射されるスパッタ粒子の角度と、前記第2のスパッタ粒子放出部から放出され、前記基板に入射されるスパッタ粒子の角度を異ならせ、前記基板に成膜される前記第1の膜および前記第2の膜の成長方向を制御する、請求項11から請求項14のいずれか1項に記載の成膜方法。
- 前記第1のスパッタ粒子放出部の前記ターゲットと、前記第2のスパッタ粒子放出部の前記ターゲットを、互いに異なる材料で形成し、前記基板上に形成さる前記第1の膜と前記第2の膜とを異なる材料で形成する、請求項11から請求項15のいずれか1項に記載の成膜方法。
- 前記スパッタ粒子を放出させる工程は、前記第1のスパッタ粒子放出部からのスパッタ粒子の放出と、前記第2のスパッタ粒子放出部からのスパッタ粒子の放出とを同時に行い、
前記成膜する工程は、前記第1のスパッタ粒子放出部および前記第2のスパッタ粒子放出部から同時に放出されたスパッタ粒子により基板上に膜を形成する、請求項11に記載の成膜方法。 - 前記成膜する工程は、前記第1のスパッタ粒子放出部の前記ターゲットの配置および角度、ならびに、前記第1のスパッタ粒子放出部および前記第2のスパッタ粒子から放出され、前記基板に入射されるスパッタ粒子の角度を調整することにより制御される、請求項17に記載の成膜方法。
- スパッタ粒子を斜めに放出させるスパッタ粒子放出部を有し、基板を一方向に直線的に移動させながら前記スパッタ粒子放出部からスパッタ粒子を放出させて基板に対してスパッタ成膜を行う少なくとも一つの成膜装置と、
前記成膜装置に基板を搬送する基板搬送モジュールと、
基板を面内で回転させる基板回転機構と、
を有する、成膜システム。 - 少なくとも2つの前記成膜装置を有し、前記成膜装置のうち一方で成膜を行った後、前記基板回転機構で基板を面内回転させ、前記基板搬送モジュールにより前記成膜装置のうち他方に搬送し、成膜を行う、請求項19に記載の成膜システム。
- 前記成膜装置を複数有し、前記搬送モジュールにより、前記複数の成膜装置に対してシリアルに基板が搬送されるように構成され、前記基板回転機構は、前記複数の成膜装置による成膜の向きが交互に切り替えられるように基板を回転させるように構成され、請求項19に記載の成膜システム。
- 成膜以外の処理を行う処理装置をさらに有する、請求項19から請求項21のいずれか1項に記載の成膜システム。
- 前記基板回転機構は、前記搬送モジュールに接続されている、請求項19から請求項22のいずれか1項に記載の成膜システム。
- 前記基板回転機構は、前記成膜装置内に設けられている、請求項19から請求項22のいずれか1項に記載の成膜システム。
- 前記基板回転機構は、基板の回転角度が180°になるように回転させる、請求項19から請求項24のいずれか1項に記載の成膜システム。
- 前記基板回転機構は、基板の回転角度が任意の角度になるように回転させる、請求項19から請求項24のいずれか1項に記載の成膜システム。
- スパッタ粒子を斜めの第1の方向に放出させる第1のスパッタ粒子放出部を有し、基板を第3の方向に直線的に移動させながら前記第1のスパッタ粒子放出部からスパッタ粒子を放出させて基板に対してスパッタ成膜を行う第1の成膜装置と、
スパッタ粒子を第1の方向とは逆向きの第2の方向に放出させる第2のスパッタ粒子放出部を有し、基板を第4の方向に直線的に移動させながら前記第2のスパッタ粒子放出部からスパッタ粒子を放出させて基板に対してスパッタ成膜を行う第2の成膜装置と、
前記第1の成膜装置と前記第2の成膜装置との間で基板を搬送する搬送モジュールと、
を有する、成膜システム。 - 前記第1の成膜装置の前記第3の方向と、前記第2の成膜装置の前記第4の方向とは、前記搬送モジュールにより基板を搬入および搬出する搬入出口に対して互いに反対方向である、請求項27に記載の成膜システム。
- 成膜システムにより所定の膜を成膜する成膜方法であって、
前記成膜システムは、
スパッタ粒子を斜めに放出させるスパッタ粒子放出部を有し、基板を一方向に直線的に移動させながら前記スパッタ粒子放出部からスパッタ粒子を放出させて基板に対してスパッタ成膜を行う少なくとも一つの成膜装置と、
前記成膜装置に基板を搬送する基板搬送モジュールと、
基板を面内で回転させる基板回転機構と、
を有し、
基板に対し前記成膜装置により第1の成膜を行う工程と、
前記搬送モジュールにより前記基板を前記成膜装置のチャンバから搬出する工程と、
前記基板回転機構により前記基板を面内回転させる工程と、
前記搬送モジュールにより前記面内回転された前記基板を前記成膜装置または他の成膜装置に搬送する工程と、
搬送された前記成膜装置により第2の成膜を行う工程と、
を有する成膜方法。 - 前記成膜システムは、少なくとも2つの前記成膜装置を有し、前記第1の成膜を行う工程は、前記成膜装置のうち一方で行い、前記第2の成膜を行う工程は前記成膜装置のうち他方により行う、請求項29に記載の成膜方法。
- 前記成膜システムは、前記成膜装置を複数有し、前記搬送モジュールにより、前記複数の成膜装置に対してシリアルに基板が搬送されるように構成され、前記基板回転機構は、前記複数の成膜装置による成膜の向きが交互に切り替えられるように基板を回転させるように構成される、請求項29に記載の成膜方法。
- 前記成膜システムは、成膜以外の処理を行う処理装置をさらに有し、
前記第1の成膜工程および/または前記第2の成膜工程の前、その途中、またはその後に、前記処理装置により成膜以外の処理を行う工程をさらに有する、請求項29から請求項31のいずれか1項に記載の成膜方法。 - 前記基板を面内回転させる工程は、前記基板回転機構により、基板の回転角度が180°になるように回転させる、請求項29から請求項32のいずれか1項に記載の成膜方法。
- 前記基板を面内回転させる工程は、前記基板回転機構により、基板の回転角度が任意の角度になるように回転させる、請求項29から請求項32のいずれか1項に記載の成膜方法。
- 成膜システムにより所定の膜を成膜する成膜方法であって、
前記成膜システムは、
スパッタ粒子を斜めの第1の方向に放出させる第1のスパッタ粒子放出部を有し、基板を第3の方向に直線的に移動させながら前記第1のスパッタ粒子放出部からスパッタ粒子を放出させて基板に対してスパッタ成膜を行う第1の成膜装置と、
スパッタ粒子を第1の方向とは逆向きの第2の方向に放出させる第2のスパッタ粒子放出部を有し、基板を第4の方向に直線的に移動させながら前記第2のスパッタ粒子放出部からスパッタ粒子を放出させて基板に対してスパッタ成膜を行う第2の成膜装置と、
前記第1の成膜装置と前記第2の成膜装置との間で基板を搬送する搬送モジュールと、
を有し、
前記第1の成膜装置により、基板を第3の方向に直線的に移動させながら前記第1のスパッタ粒子放出部からスパッタ粒子を放出させて基板に対して第1のスパッタ成膜を行う工程と、
前記搬送モジュールにより基板を前記第2の成膜装置に搬送する工程と、
前記第2の成膜装置により、基板を第4の方向に直線的に移動させながら前記第2のスパッタ粒子放出部からスパッタ粒子を放出させて基板に対して第2のスパッタ成膜を行う工程と、
を有する、成膜方法。 - 前記第1の成膜装置の前記第3の方向と、前記第2の成膜装置の前記第4の方向とは、前記搬送モジュールにより基板を搬入および搬出する搬入出口に対して互いに反対方向である、請求項35に記載の成膜方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW108126727A TW202012659A (zh) | 2018-08-10 | 2019-07-29 | 成膜裝置、成膜系統及成膜方法 |
KR1020190093032A KR102269997B1 (ko) | 2018-08-10 | 2019-07-31 | 성막 장치, 성막 시스템 및 성막 방법 |
US16/531,782 US11664207B2 (en) | 2018-08-10 | 2019-08-05 | Film-forming apparatus, film-forming system, and film-forming method |
CN201910733755.5A CN110819949A (zh) | 2018-08-10 | 2019-08-09 | 成膜装置、成膜系统以及成膜方法 |
CN202111498049.0A CN114293156A (zh) | 2018-08-10 | 2019-08-09 | 成膜系统和成膜方法 |
CN202111499892.0A CN114318254A (zh) | 2018-08-10 | 2019-08-09 | 成膜系统和成膜方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018151673 | 2018-08-10 | ||
JP2018151673 | 2018-08-10 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020026575A true JP2020026575A (ja) | 2020-02-20 |
Family
ID=69619684
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018222067A Pending JP2020026575A (ja) | 2018-08-10 | 2018-11-28 | 成膜装置、成膜システム、および成膜方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2020026575A (ja) |
KR (1) | KR102269997B1 (ja) |
CN (2) | CN114293156A (ja) |
TW (1) | TW202012659A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210118745A (ko) | 2020-03-23 | 2021-10-01 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 스퍼터 장치 |
US20220051900A1 (en) * | 2020-08-11 | 2022-02-17 | Tokyo Electron Limited | Pattern forming method |
US12014911B2 (en) | 2020-03-23 | 2024-06-18 | Tokyo Electron Limited | Sputtering apparatus |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI773411B (zh) * | 2021-06-29 | 2022-08-01 | 天虹科技股份有限公司 | 遮蔽裝置及具有遮蔽裝置的薄膜沉積設備 |
TWI771083B (zh) * | 2021-06-29 | 2022-07-11 | 天虹科技股份有限公司 | 具有對開式遮蔽構件的薄膜沉積設備 |
TWI777640B (zh) * | 2021-06-29 | 2022-09-11 | 天虹科技股份有限公司 | 遮蔽機構及具有遮蔽機構的薄膜沉積腔體 |
CN115537763A (zh) * | 2021-06-29 | 2022-12-30 | 鑫天虹(厦门)科技有限公司 | 开合式遮蔽构件及具有开合式遮蔽构件的薄膜沉积机台 |
JP2023010398A (ja) * | 2021-07-09 | 2023-01-20 | 日新電機株式会社 | スパッタリング装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004070131A (ja) * | 2002-08-08 | 2004-03-04 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 薄膜偏光子およびその製造方法 |
US20060054494A1 (en) * | 2004-09-16 | 2006-03-16 | Veeco Instruments Inc. | Physical vapor deposition apparatus for depositing thin multilayer films and methods of depositing such films |
JP2013253316A (ja) * | 2012-05-09 | 2013-12-19 | Iza Corp | スパッタリング装置 |
JP2015067856A (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-13 | シーゲイト テクノロジー エルエルシー | マグネトロンスパッタ装置 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR960002080B1 (ko) * | 1992-09-30 | 1996-02-10 | 현대전자산업주식회사 | 반도체 소자 제조용 스퍼터링 장치 |
US6267851B1 (en) * | 1999-10-28 | 2001-07-31 | Applied Komatsu Technology, Inc. | Tilted sputtering target with shield to block contaminants |
JP2002167661A (ja) * | 2000-11-30 | 2002-06-11 | Anelva Corp | 磁性多層膜作製装置 |
JP4642789B2 (ja) * | 2006-07-14 | 2011-03-02 | セイコーエプソン株式会社 | 成膜装置及び成膜方法 |
JP5190316B2 (ja) * | 2007-10-04 | 2013-04-24 | キヤノンアネルバ株式会社 | 高周波スパッタリング装置 |
CN101855717B (zh) * | 2007-11-09 | 2011-10-19 | 佳能安内华股份有限公司 | 在线型晶圆输送装置 |
JP5584409B2 (ja) * | 2008-02-21 | 2014-09-03 | キヤノンアネルバ株式会社 | スパッタリング装置およびその制御方法 |
JP4505032B2 (ja) * | 2008-09-30 | 2010-07-14 | キヤノンアネルバ株式会社 | スパッタリング装置 |
JP2011017034A (ja) * | 2009-07-07 | 2011-01-27 | Seiko Epson Corp | スパッタリング装置および液晶装置の製造装置 |
WO2012002473A1 (ja) * | 2010-06-30 | 2012-01-05 | 株式会社アルバック | 成膜装置及び成膜方法 |
JP2013157059A (ja) * | 2012-01-31 | 2013-08-15 | Panasonic Corp | 記録媒体および記録媒体を製造するためのスパッタリング装置 |
JP6224677B2 (ja) * | 2012-05-09 | 2017-11-01 | シーゲイト テクノロジー エルエルシーSeagate Technology LLC | スパッタリング装置 |
JP6255647B2 (ja) * | 2013-07-25 | 2018-01-10 | 株式会社ユーテック | 結晶膜、結晶膜の製造方法、蒸着装置及びマルチチャンバー装置 |
JP2015110814A (ja) * | 2013-12-06 | 2015-06-18 | 信越化学工業株式会社 | スパッタ成膜方法、スパッタ装置、フォトマスクブランクの製造方法及びフォトマスクブランク |
-
2018
- 2018-11-28 JP JP2018222067A patent/JP2020026575A/ja active Pending
-
2019
- 2019-07-29 TW TW108126727A patent/TW202012659A/zh unknown
- 2019-07-31 KR KR1020190093032A patent/KR102269997B1/ko active IP Right Grant
- 2019-08-09 CN CN202111498049.0A patent/CN114293156A/zh active Pending
- 2019-08-09 CN CN202111499892.0A patent/CN114318254A/zh active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004070131A (ja) * | 2002-08-08 | 2004-03-04 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 薄膜偏光子およびその製造方法 |
US20060054494A1 (en) * | 2004-09-16 | 2006-03-16 | Veeco Instruments Inc. | Physical vapor deposition apparatus for depositing thin multilayer films and methods of depositing such films |
JP2013253316A (ja) * | 2012-05-09 | 2013-12-19 | Iza Corp | スパッタリング装置 |
JP2015067856A (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-13 | シーゲイト テクノロジー エルエルシー | マグネトロンスパッタ装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210118745A (ko) | 2020-03-23 | 2021-10-01 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 스퍼터 장치 |
JP7482730B2 (ja) | 2020-03-23 | 2024-05-14 | 東京エレクトロン株式会社 | スパッタ装置 |
US12014911B2 (en) | 2020-03-23 | 2024-06-18 | Tokyo Electron Limited | Sputtering apparatus |
US20220051900A1 (en) * | 2020-08-11 | 2022-02-17 | Tokyo Electron Limited | Pattern forming method |
US11776817B2 (en) * | 2020-08-11 | 2023-10-03 | Tokyo Electron Limited | Pattern forming method |
JP7418306B2 (ja) | 2020-08-11 | 2024-01-19 | 東京エレクトロン株式会社 | パターン形成方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN114293156A (zh) | 2022-04-08 |
KR20200018270A (ko) | 2020-02-19 |
KR102269997B1 (ko) | 2021-06-25 |
CN114318254A (zh) | 2022-04-12 |
TW202012659A (zh) | 2020-04-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2020026575A (ja) | 成膜装置、成膜システム、および成膜方法 | |
US11664207B2 (en) | Film-forming apparatus, film-forming system, and film-forming method | |
KR100867839B1 (ko) | 연속적인 증착 시스템 | |
JP2001237296A (ja) | 連続堆積装置 | |
US20120225194A1 (en) | Apparatus And Process For Atomic Layer Deposition | |
US11512388B2 (en) | Film forming apparatus and film forming method | |
JP2001135704A (ja) | 基板処理装置及び基板搬送用トレイの搬送制御方法 | |
JPWO2003100848A1 (ja) | 基板処理装置及び処理方法 | |
JP2013136839A (ja) | 真空処理システム | |
KR101760667B1 (ko) | 고생산성 박막증착이 가능한 원자층 증착 시스템 | |
WO2020059574A1 (ja) | 真空処理装置及び基板搬送方法 | |
TW201230233A (en) | Vacuum processing apparatus | |
JP6970624B2 (ja) | 成膜システム及び基板上に膜を形成する方法 | |
KR102202463B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 방법 | |
JP2023051251A (ja) | 成膜装置および成膜方法 | |
KR20210008549A (ko) | 버퍼 유닛, 그리고 이를 가지는 기판 처리 장치 및 방법 | |
KR20210043181A (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
US20220081757A1 (en) | Film forming apparatus, film forming system, and film forming method | |
WO2018105427A1 (ja) | 基板上に膜を形成する方法、及び、成膜システム | |
JP2022047469A (ja) | 成膜装置、成膜システムおよび成膜方法 | |
KR20210000356A (ko) | 기판 처리 장치 및 방법 | |
JP7482730B2 (ja) | スパッタ装置 | |
US12014911B2 (en) | Sputtering apparatus | |
WO2011142193A1 (ja) | 金属膜形成システム、金属膜形成方法及びコンピュータ記憶媒体 | |
US20210296103A1 (en) | Sputtering apparatus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210701 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220715 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220726 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220922 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20221213 |