JP2020010148A - 高周波受動部品およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】導体層が基板から剥離することを抑制することが可能な高周波受動部品およびその製造方法を提供する。【解決手段】導波領域を含む誘電体からなる基板101と、基板101の厚さ方向の少なくとも片面において、平面視で導波領域を囲むように接する導体層103と、基板101の厚さ方向に交差する側方に設けられた誘電体層106と、を備え、導体層103の外周部103aの少なくとも一部が、誘電体層106に配置されていることを特徴とする高周波受動部品100。【選択図】図1
Description
本発明は、ミリ波等の高周波通信に利用可能な導波路構造を有する高周波受動部品およびその製造方法に関する。
近年、ミリ波帯を利用した数G[bps]の高速大容量通信が提案され、その一部が実現されつつある。小型で安価なミリ波通信モジュールを実現する形態として、例えば、特許文献1には、ポスト壁導波路(Post−wall Waveguide)を利用したモード変換器が提案されている。
外部接続用の配線または電磁界を閉じ込める導波路構造等を設けた基板において、配線または導波路構造の広壁等を構成する導体層を基板の直上に設けると、使用環境によっては導体層が基板から剥離することがあった。高周波用途の基板材料を選択する場合は、導体層に対する密着性よりも、高周波特性に優れていることが優先的に要求されることがある。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、導体層が基板から剥離することを抑制することが可能な高周波受動部品およびその製造方法を提供することを課題とする。
前記課題を解決するため、本発明は、導波領域を含む誘電体からなる基板と、前記基板の厚さ方向の少なくとも片面において、平面視で前記導波領域を囲むように接する導体層と、前記基板の厚さ方向に交差する側方に設けられた誘電体層と、を備え、前記導体層の外周部の少なくとも一部が、前記誘電体層に配置されていることを特徴とする高周波受動部品を提供する。
前記導体層が配置された前記誘電体層の面は粗面化されていてもよい。
前記導体層の外周部の隅部が、前記誘電体層に配置されていてもよい。
前記導体層の外周部全体が、前記誘電体層に配置されていてもよい。
前記導体層の外周部全体が、前記誘電体層に配置されていてもよい。
上述の高周波受動部品において、前記導波領域が、前記基板の両面に形成された広壁および前記広壁に接続された側壁により囲まれた導波路構造で構成され、前記導体層が、前記広壁の少なくとも一方であってもよい。
また、前記導体層は、少なくとも一部を、樹脂で封止されていてもよい。
また、前記導体層は、少なくとも一部を、樹脂で封止されていてもよい。
また、本発明は、誘電体からなる基板と、前記基板に形成された側壁とを有する高周波受動部品の製造方法であって、前記側壁に対応する凹部を有する基板を作製する工程と、前記凹部内に誘電体層を設ける工程と、前記基板の前記凹部が開口する側とは反対側の面を研磨して、前記誘電体層を前記反対側の研磨された面に露出する工程と、導体層の外周部が、前記誘電体層に配置されるように、前記導体層を形成する工程と、を有することを特徴とする高周波受動部品の製造方法を提供する。
本発明によれば、誘電体層と導体層との配置を工夫することにより、基板から導体層が剥離することを抑制することができる。
以下、好適な実施形態に基づき、図面を参照して本発明を説明する。
図1に、本実施形態の高周波受動部品100の断面構造を示す。基板101としては、例えば、ガラス基板、サファイア基板、石英基板、樹脂基板などの誘電体基板が挙げられる。基板101は、誘電正接が小さい等、高周波特性の優れた材料が好ましい。図1では、基板101の厚さ方向が上下となるように表されている。
基板101の第1主面101aには、導体層103が形成されている。導体層103は、配線等を含むことができる。本実施形態の場合、基板101の厚さ方向の両主面101a,101bに形成された導体層103,102と、基板101の側方に形成された側壁104とにより囲まれた空間が導波領域となるように、導波路構造が構成されている。この導波路構造は、例えばミリ波などの高周波信号(電磁波)が伝搬される高周波デバイスとして利用することができる。周波数は特に限定されないが、例えば30〜300GHz、60〜80GHz等が挙げられる。導波路構造は、導波路、フィルタ、ダイプレクサ、方向性結合器、分配器等の受動部品(パッシブデバイス)を構成してもよい。
基板101の第2主面101b側の導体層102、および基板101の側方における側壁104には、樹脂等からなる誘電体層106が設けられている。ここで、基板101の側方とは、厚さ方向に交差する方向であり、例えば導波路構造の長手方向または幅方向である。また、基板101の第1主面101a側の導体層103には、樹脂等からなる封止層107が設けられている。基板101の第1主面101a側の導体層103の外周部103aは、誘電体層106に配置されている。
本実施形態によれば、導体層103と誘電体層106との配置を工夫することにより、基板101から導体層103が剥離することを抑制することができる。この理由については、特に本発明を限定するものではないが、例えば次のような仮説が考えられる。もし、導体層103の端面を基板101上に配置した場合、使用環境によっては導体層103が基板101から剥離する場合がある。例えば、低温から高温への温度上昇や、高温から低温への温度降下が甚だしいと、導体層103を構成する材料と、基板101を構成する材料との熱膨張率の違いから、層間に応力が生じるおそれがある。また、導体層103の剥離は、導体層103の外周部103aを起点とする。そこで、基板101の側方に誘電体層106を設け、導体層103の外周部103aを誘電体層106に配置することにより、導体層103の外周部103aが基板101に接することなく、誘電体層106を介して応力を緩和する状況になる。このため、導体層103の外周部103aの剥離が抑制できると考えられる。
一般に、高周波特性がよい材料は、配線、広壁等の導体層となる金属との密着性が低い。金属との密着性を高めるため、導体層が設けられる基板の主面を粗面化する等も考えられるが、導波領域を構成する面が粗面化されると、高周波特性を悪化させる要因となる。そこで、剥離の起点となり得る導体層103の外周部103aが、導波路構造の外側に設けられた誘電体層106に配置される。導体層103が配置される誘電体層106の面106aを粗面化して、金属との密着性を高めてもよい。ここで、面106aは、基板101の第1主面101aに沿う面である。導体層103が配置された誘電体層106の面106aが粗面化されている箇所が導波路構造の外側であるため、粗面化されても導波路の高周波特性に影響しないで、金属との密着性を高めることができる。
誘電体層106に配置された導体層103の外周部103aは少なくとも隅部、あるいは外周部全体であることが好ましい。
図1に示す導波路構造では、詳しくは後述するが、モード変換機構となる貫通電極105を設けてもよい。また、封止層107上には、導体層103に電気的に接続される再配線層109,111を設けることができる。再配線層109,111は各々、ビア108,110を介して導体層103と接続することができる。ここで、ビア108および再配線層109は、モード変換機構となる貫通電極105と接続されている。また、ビア110および再配線層111は、側壁104と接続されている。
図2に、導体層103の平面上のパターンを例示する。端面103cを有する円形状のパターンは、モード変換機構となる貫通電極105と接続される導体層103を示す。2つのモード変換機構は、導波路の長手方向の両端部に設けられてもよい。周囲の導体層103は、導波路構造の広壁となる部分である。広壁となる導体層103の外周部103aは、上述したように、図1に示す誘電体層106に配置される。広壁とモード変換機構とを絶縁するパターンの周囲における導体層103の端面103b,103cは、パターンが小さく、または閉じた形状であるため、基板101上に直接配置されても剥離が起きにくい。
次に、本実施形態の高周波受動部品を製造する方法の一例を説明する。図3(a)〜(c)は、原型から型を作製する工程を順に示す。図4(a)〜(c)は、型から基板を作製する工程を順に示す。図5(a)〜(d)は、基板に高周波受動部品を作製する工程を順に示す。図6(a)〜(c)は、外部接続用の配線を設ける工程を順に示す。
本実施形態による高周波受動部品の製造方法は、概略として、図3に示すように、側壁に対応する凹部11および貫通電極に対応する凹部12を有する原型10をガラスから作製する工程と、原型10を用いて、原型10の凹部11,12に対応する凸部21,22を有する型20を金属から作製する工程と、図4に示すように、型20を用いて、型20の凸部21,22に対応する凹部31,32を有する基板35を樹脂からなる基板材料30から作製する工程と、図5に示すように、基板35の凹部31,32が開口する側とは反対側の第1主面34を研磨して、基板35の凹部31,32を基板35の第1主面36に露出する工程と、を有する。基板35の第1主面36に露出した凹部31,32には各々、側壁45、貫通電極46を設けることができる。
図3(a)に示すように、原型10は、凹部11,12が開口した第2主面13と、この第2主面13とは反対側にある第1主面14とを有する。凹部11,12は第1主面14に到達せず、底部が閉鎖されている。本実施形態で原型10とは、基板35と同様な形状を有し、原型10の形状を型20に転写し、さらに型20の形状を基板材料30に転写するために用いられる。つまり、原型10は、直接基板35を成形するための型20ではなく、型20の元となるマスター型である。
原型10を構成する誘電体としては、ガラスが挙げられる。ガラスとしては、多成分ガラス、石英ガラス(シリカガラス)、ケイ酸塩ガラス等が挙げられる。ガラスと同様な材料として、サファイア、合成石英、天然石英、半導体等の無機材料を採用することもできる。原型10を構成する誘電体基板は、例えばウエハ状をした大面積の基板であってもよい。図3では原型10の凹部11,12を下向きに表示しているが、下向きとは異なる向きに原型10を配置してもよい。
原型10に凹部11,12を形成する方法としては、ドリル等の穿孔機械、レーザ、エッチング等が挙げられる。例えば、レーザの集光照射により、ガラス等の材料を局所的に改質した後、改質により溶解性が高くなった部分をウェットエッチングで選択的に除去する方法が挙げられる。例えばフェムト秒レーザアシストエッチングにより、位置精度および加工精度の高い加工が可能となる。ここでいうフェムト秒レーザーアシストエッチングとは、第一に、パルス幅10ps以下の超短パルスレーザーを集光走査させることで集光部に沿って、クラックあるいは構造変性部からなる改質部を設け、次いで、エッチングによって改質部を選択的にエッチングし凹部11,12などを設ける加工法を指す。アスペクト比(径に対する深さの比率)が高い微細孔を形成できるだけでなく、テーパ形状、段差形状等を含む任意形状の凹部が加工できる。テーパ形状は、材料の第2主面から第1主面または内部に向けて、径または形状が小さくなってもよく、逆に、径または形状が大きくなってもよい。
図3(b)に示すように、例えばNi等の金属を用いた電鋳、メッキ等により、原型10の凹部11,12と第2主面13に金属を付着させ、型20を形成する。原型10の凹部11,12に堆積した金属から凸部21,22が構成され、原型10の第2主面13に堆積した金属から基部23が構成される。原型10と型20とを剥離することにより、図3(c)に示すように、基部23の片面に凸部21,22が突出して形成された型20が得られる。原型10を構成する材料は耐久性に優れるため、同一の原型10を用いて、原型10から型20を作製する工程を複数回繰り返して行うことができる。
図4(a)に示すように、樹脂からなる基板材料30を準備し、図4(b)に示すように、型20の凸部21,22に基板材料30を重ね合わせる。基板材料30は、平坦なフィルム、シート等でもよい。基板材料30として好ましい樹脂としては、シクロオレフィンコポリマー(COC)、フッ素樹脂、液晶ポリマー(LCP)等が挙げられる。図4では型20の凸部21,22を上向きに表示しているが、上向きとは異なる向きに型20を配置してもよい。
基板材料30を構成する樹脂が熱可塑性樹脂である場合、加熱により樹脂を軟化させ、ホットエンボス法により、型20の形状を基板材料30に転写させ、凸部21,22に対応する形状の凹部31,32を形成することができる。基板材料30が熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂等の硬化性樹脂である場合は、液状などの流動性を有する未硬化の状態で基板材料30を型20に塗布し、型20と重ね合わせたまま樹脂を硬化させることで、凸部21,22に対応する形状の凹部31,32を形成することができる。
型20と基板材料30とを剥離することにより、図4(c)に示すように、型20の基部23に接した第2主面33に凹部31,32が形成された基板35が得られる。第2主面33は、凹部31,32が開口した側の面である。また、第1主面34は、第2主面33とは反対側の面である。凹部31,32は第1主面34に到達せず、底部が閉鎖されている。型20を構成する材料は耐久性に優れるため、同一の型20を用いて、凹部31,32を有する基板35を成形する工程を複数回繰り返して行うことができる。
図5(a)に示すように、第2主面33に凹部31,32が開口した基板35に対して、第2主面33側に第1導体層41,42,43が形成される。これらのうち、第1導体層41は凹部31の内壁に、第1導体層42は凹部32の内壁に、第1導体層43は第2主面33に、それぞれ形成されている。凹部31,32の内壁に各々形成された第1導体層41,42は、基板35の第1主面34側に露出していない。第1導体層41,42はブラインドビアを構成している。
第1導体層41,42,43のような導体層を形成する方法としては、スパッタ、蒸着、無電解メッキ、電解メッキ、導体ペーストなどの1種または2種以上が挙げられる。2種以上の導体材料または成膜方法を併用してもよく、2種以上の導体を積層して導体層を構成してもよい。絶縁体上に導体層を形成する場合には、スパッタ、蒸着、無電解メッキにより目標より薄い膜厚でシード層を形成した後、電解メッキにより目標の膜厚まで導体を積層してもよい。第1導体層41,42,43の表面(基板35に接する側とは反対側の外面)には、酸化防止のため、NiAu,NiPdAu等の酸化防止層を設けてもよい。また、第1導体層43が配線、パッド等の形状を有するようにパターニング等を適宜行ってもよい。
図5(b)に示すように、第2主面33に第1導体層43が形成された基板35の第2主面33側を、絶縁材44で被覆する。絶縁材44は、凹部31には充填されるが、凹部32内には充填されなくてもよい。絶縁材44としては、例えば樹脂が挙げられる。これにより、後述するように、基板35の第1主面34を研磨する際に、第2主面33側の第1導体層41,42,43を保護することができる。また、基板35の第1主面34を研磨し、凹部31,32が基板35の第1主面34に露出した際に、絶縁材44が接合材または接着材として機能し、導波路構造48が基板35から離反することを防ぐことができる。
図5(c)に示すように、基板35の第1主面34を研磨することにより、凹部31,32が新たな第1主面36に露出する。また、凹部31,32に形成された第1導体層41,42が新たな第1主面36に露出されて、側壁45、貫通電極46となる。側壁45および貫通電極46の形状は各々、原型10の凹部11,12の形状に従って、精密に形成された凹部31,32の形状に基づく。これにより、樹脂からなる基板35に高精度な側壁および貫通孔を作製することができる。
図5(d)に示すように、基板35の第1主面36に第2導体層47を形成する。第2導体層47を形成する方法は、上述したように、第1導体層41,42,43を形成する方法と同様でよい。基板35を構成する誘電体が、第1導体層43と第2導体層47と側壁45とで囲まれる領域を有することにより、導波管と同様な導波路構造48を構成することができる。また、第2導体層47を形成する前に、第1主面36側に露出した絶縁材44を粗面化してもよい。
導波路構造48の内部に設けられる貫通電極46は、モード変換機構を構成してもよい。モード変換機構は、導波路構造48の外部に設けられる配線層(図6(c)の再配線層53)と接続され、配線層から導波路構造に対して電気信号を入力したり、または導波路構造から配線層に対して電気信号を出力したりすることができる。
図6(a)に示されるように、第2導体層47のパターニングなどを適宜行ってもよい。また、上述したように、第2導体層47の表面(基板35に接する側とは反対側の外面)に酸化防止層を設けてもよい。層構成、パターニング等に関して、第1主面36に形成された第2導体層47が、第2主面33に形成された第1導体層43と同様であってもよく、互いに異なってもよい。ここでは、例えばモード変換機構となる貫通電極46と、側壁45とが、間隙49を介して分断される。
パターン状のレジストを用いてパターン状の導体層を形成する方法としては、(1)パターン状のレジストを形成した後に導体層を形成し、レジスト上に積層された導体層をレジストと一緒に除去して、レジストのない領域に導体層を残す方法(リフトオフ)や、(2)全面的に導体層を形成した上にパターン状のレジストを形成した後、レジストに覆われていない領域の材料層をエッチング等で除去し、さらに必要に応じて不要なレジストを除去する方法などが挙げられる。エッチング法としては、適宜、ドライエッチング、ウェットエッチング等の各種から選択することができる。
図6(b)に示されるように、第2導体層47上に、樹脂等の誘電体からなる封止層50を設けてもよい。封止層50には、第2導体層47に通じる開口51を設けることができる。封止層50が感光性を持つ材料からなる場合はフォトリソグラフィーを用いることができる。また、封止層50が非感光性を持つ材料からなる場合は印刷法を用いることができる。
図6(c)に示されるように、封止層50上に再配線層53,55を設け、上述の開口51にビア52,54を設けてもよい。導波路構造48等の受動部品を有する基板35において、基板35が複数の受動部品を搭載している場合は、受動部品ごとに基板を切断する個片化工程を有してもよい。基板を切断する手段としては、ブレードダイサー、レーザーなどの公知の加工手段が挙げられる。
図6(c)に示される受動部品を個片化することにより、図1に示す高周波受動部品100を得ることができる。ここで、図1の基板101は、図6(c)の基板35に相当し、図1の導体層102,103は、図6(c)の第1導体層43および第2導体層47にそれぞれ相当する。図1の側壁104は、図6(c)の側壁45に相当し、図1の貫通電極105は、図6(c)の貫通電極46に相当する。また、図1の誘電体層106は、図6(c)の絶縁材44に相当し、図1の封止層107は、図6(c)の封止層50に相当する。また、図1のビア108,110および再配線層109,111は、図6(c)のビア52,54および再配線層53,55にそれぞれ相当する。
以上、本発明を好適な実施形態に基づいて説明してきたが、本発明は上述の実施形態に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の改変が可能である。改変としては、各実施形態における構成要素の追加、置換、省略、その他の変更が挙げられる。また、2以上の実施形態に用いられた構成要素を適宜組み合わせることも可能である。
図1に示す高周波受動部品100を製造する際に、図4(c)に示すように、側壁となる凹部31および貫通孔となる凹部32が形成されている基板35を作製する方法は、原型10に凹部11,12を形成する方法と同様にしてもよい。例えば、基板材料30がガラス、石英等である場合は、フェムト秒レーザアシストエッチング等により凹部31,32を形成してもよい。この場合は、図3および図4に示す工程を省略して、図5および図6に示す工程を行うことで、図1に示す高周波受動部品100を製造することができる。
上述の実施形態に係る高周波受動部品においては、同一の基板に複数の部品が構成されてもよい。基板に構成される他の部品は、高周波用の受動部品に限らず、他の受動部品や能動部品等を含んでもよい。部品をモジュール化することにより、高周波モジュールを構成することもできる。本実施形態の高周波モジュールは、例えば、上述の高周波受動部品を備えるモジュールである。モジュールには、機能に必要な種々の部品を組み込むことができる。
35,101…基板、41,42,43…第1導体層、44…絶縁材(誘電体層)、45,104…側壁、46,105…貫通電極、47…第2導体層、48…導波路構造、100…高周波受動部品、102,103…導体層、106…誘電体層、50,107…封止層。
Claims (7)
- 導波領域を含む誘電体からなる基板と、前記基板の厚さ方向の少なくとも片面において、平面視で前記導波領域を囲むように接する導体層と、前記基板の厚さ方向に交差する側方に設けられた誘電体層と、を備え、
前記導体層の外周部の少なくとも一部が、前記誘電体層に配置されていることを特徴とする高周波受動部品。 - 前記導体層が配置された前記誘電体層の面は粗面化されていることを特徴とする請求項1に記載の高周波受動部品。
- 前記導体層の外周部の隅部が、前記誘電体層に配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の高周波受動部品。
- 前記導体層の外周部全体が、前記誘電体層に配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の高周波受動部品。
- 前記導波領域が、前記基板の両面に形成された広壁および前記広壁に接続された側壁により囲まれた導波路構造で構成され、
前記導体層が、前記広壁の少なくとも一方であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の高周波受動部品。 - 前記導体層は、少なくとも一部を、樹脂で封止されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の高周波受動部品。
- 誘電体からなる基板と、前記基板に形成された側壁とを有する高周波受動部品の製造方法であって、
前記側壁に対応する凹部を有する基板を作製する工程と、
前記凹部内に誘電体層を設ける工程と、
前記基板の前記凹部が開口する側とは反対側の面を研磨して、前記誘電体層を前記反対側の研磨された面に露出する工程と、
導体層の外周部が、前記誘電体層に配置されるように、前記導体層を形成する工程と、
を有することを特徴とする高周波受動部品の製造方法。
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