JP2020009904A - 半導体メモリ - Google Patents
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Abstract
【課題】ワード線の抵抗値を低減する。【解決手段】実施形態の半導体メモリは、交互に積層された第1導電体WL及び第1絶縁体INSと、メモリピラーMPとを含む。メモリピラーは、積層された第1導電体及び第1絶縁体を貫通し、半導体31とトンネル絶縁膜33と第2絶縁体34とブロック絶縁膜35、36とを含む。積層された第1絶縁体は、第1方向に隣り合う第1及び第2層を含む。第1及び第2層間の第1導電体は、第1及び第2導電部と異種導電部とを含む。第1導電部52は、第1及び第2層のそれぞれに接し且つ第1方向と交差する第2方向に沿って広がっている。第2導電部50は、ブロック絶縁膜と第1導電部との間に設けられ且つブロック絶縁膜と第1導電部とのそれぞれに接した導電部であって、第1導電部と同じ材料で形成される。異種導電部51は、ブロック絶縁膜と第1導電部との間で第1方向に沿って第2導電部を挟むように設けられた1対の導電部であって、第1及び第2導電部と異なる材料で形成される。【選択図】図5
Description
実施形態は、半導体メモリに関する。
データを不揮発に記憶することが可能なNAND型フラッシュメモリが知られている。
ワード線の抵抗値を低減する。
実施形態の半導体メモリは、第1方向に沿って交互に積層された第1導電体及び第1絶縁体と、複数のメモリピラーと、を含む。複数のメモリピラーは、各々が積層された第1導電体及び第1絶縁体を貫通する。複数のメモリピラーは、各々が第1方向に沿って延伸した半導体と、半導体の側面を囲むトンネル絶縁膜と、トンネル絶縁膜の側面を囲む第2絶縁体と、第2絶縁体の側面を囲むブロック絶縁膜と、を含む。複数のメモリピラーは、第1メモリピラーを含む。積層された第1絶縁体は、第1方向に隣り合う第1層と、第2層とを含む。第1層と第2層との間の第1導電体は、第1及び第2導電部と、異種導電部とを含む。第1導電部は、第1層と第2層とのそれぞれに接し且つ第1方向と交差する第2方向に沿って広がっている。第2導電部は、第1メモリピラーのブロック絶縁膜と第1導電部との間に設けられ且つブロック絶縁膜と第1導電部とのそれぞれに接した導電部であって、第1導電部と同じ材料で形成されている。異種導電部は、第1メモリピラーのブロック絶縁膜と第1導電部との間で第1方向に沿って第2導電部を挟むように設けられた1対の導電部であって、第1導電部及び第2導電部と異なる材料で形成されている。
以下に、実施形態について図面を参照して説明する。各実施形態は、発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示している。図面は模式的又は概念的なものであり、各図面の寸法及び比率等は必ずしも現実のものと同一とは限らない。本発明の技術思想は、構成要素の形状、構造、配置等によって特定されるものではない。
尚、以下の説明において、略同一の機能及び構成を有する構成要素については、同一符号を付す。参照符号を構成する文字の後の数字は、同じ文字を含んだ参照符号によって参照され、且つ同様の構成を有する要素同士を区別するために使用される。同様に、参照符号を構成する数字の後の文字は、同じ数字を含んだ参照符号によって参照され、且つ同様の構成を有する要素同士を区別するために使用される。同じ文字又は数字を含んだ参照符号で示される要素を相互に区別する必要がない場合、これらの要素はそれぞれ文字又は数字のみを含んだ参照符号により参照される。
[1]実施形態
以下に、実施形態に係る半導体メモリ1について説明する。
以下に、実施形態に係る半導体メモリ1について説明する。
[1−1]半導体メモリ1の構成
[1−1−1]半導体メモリ1の全体構成
半導体メモリ1は、例えばデータを不揮発に記憶することが可能なNAND型フラッシュメモリである。半導体メモリ1は、例えば外部のメモリコントローラ2によって制御される。図1は、実施形態に係る半導体メモリ1の構成例を示している。
[1−1−1]半導体メモリ1の全体構成
半導体メモリ1は、例えばデータを不揮発に記憶することが可能なNAND型フラッシュメモリである。半導体メモリ1は、例えば外部のメモリコントローラ2によって制御される。図1は、実施形態に係る半導体メモリ1の構成例を示している。
図1に示すように、半導体メモリ1は、例えばメモリセルアレイ10、コマンドレジスタ11、アドレスレジスタ12、シーケンサ13、ドライバモジュール14、ロウデコーダモジュール15、並びにセンスアンプモジュール16を備えている。
メモリセルアレイ10は、複数のブロックBLK0〜BLKn(nは1以上の整数)を含んでいる。ブロックBLKは、データを不揮発に記憶することが可能な複数のメモリセルの集合であり、例えばデータの消去単位として使用される。
また、メモリセルアレイ10には、複数のビット線及び複数のワード線が設けられる。各メモリセルは、例えば1本のビット線と1本のワード線とに関連付けられている。メモリセルアレイ10の詳細な構成については後述する。
コマンドレジスタ11は、半導体メモリ1がメモリコントローラ2から受信したコマンドCMDを保持する。コマンドCMDは、例えばシーケンサ13に読み出し動作、書き込み動作、消去動作等を実行させる命令を含んでいる。
アドレスレジスタ12は、半導体メモリ1がメモリコントローラ2から受信したアドレス情報ADDを保持する。アドレス情報ADDは、例えばブロックアドレスBA、ページアドレスPA、及びカラムアドレスCAを含んでいる。例えば、ブロックアドレスBA、ページアドレスPA、及びカラムアドレスCAは、それぞれブロックBLK、ワード線、及びビット線の選択に使用される。
シーケンサ13は、半導体メモリ1全体の動作を制御する。例えば、シーケンサ13は、コマンドレジスタ11に保持されたコマンドCMDに基づいてドライバモジュール14、ロウデコーダモジュール15、及びセンスアンプモジュール16等を制御して、読み出し動作、書き込み動作、消去動作等を実行する。
ドライバモジュール14は、読み出し動作、書き込み動作、消去動作等で使用される電圧を生成する。そして、ドライバモジュール14は、例えばアドレスレジスタ12に保持されたページアドレスPAに基づいて、選択されたワード線に対応する信号線に生成した電圧を印加する。
ロウデコーダモジュール15は、アドレスレジスタ12に保持されたブロックアドレスBAに基づいて、対応するメモリセルアレイ10内の1つのブロックBLKを選択する。そして、ロウデコーダモジュール15は、例えば選択されたワード線に対応する信号線に印加された電圧を、選択されたブロックBLK内の選択されたワード線に転送する。
センスアンプモジュール16は、書き込み動作において、メモリコントローラ2から受信した書き込みデータDATに応じて、各ビット線に所望の電圧を印加する。また、センスアンプモジュール16は、読み出し動作において、ビット線の電圧に基づいてメモリセルに記憶されたデータを判定し、判定結果を読み出しデータDATとしてメモリコントローラ2に転送する。
半導体メモリ1とメモリコントローラ2との間の通信は、例えばNANDインターフェイス規格をサポートしている。例えば、半導体メモリ1とメモリコントローラ2との間の通信では、コマンドラッチイネーブル信号CLE、アドレスラッチイネーブル信号ALE、ライトイネーブル信号WEn、リードイネーブル信号REn、レディビジー信号RBn、及び入出力信号I/Oが使用される。
コマンドラッチイネーブル信号CLEは、半導体メモリ1が受信した入出力信号I/OがコマンドCMDであることを示す信号である。アドレスラッチイネーブル信号ALEは、半導体メモリ1が受信した信号I/Oがアドレス情報ADDであることを示す信号である。ライトイネーブル信号WEnは、入出力信号I/Oの入力を半導体メモリ1に命令する信号である。リードイネーブル信号REnは、入出力信号I/Oの出力を半導体メモリ1に命令する信号である。
レディビジー信号RBnは、半導体メモリ1がメモリコントローラ2からの命令を受け付けるレディ状態であるか命令を受け付けないビジー状態であるかを、メモリコントローラ2に通知する信号である。入出力信号I/Oは、例えば8ビット幅の信号であり、コマンドCMD、アドレス情報ADD、データDAT等を含み得る。
以上で説明した半導体メモリ1及びメモリコントローラ2は、それらの組み合わせにより1つの半導体装置を構成しても良い。このような半導体装置としては、例えばSDTMカードのようなメモリカードや、SSD(solid state drive)等が挙げられる。
[1−1−2]メモリセルアレイ10の回路構成
図2は、実施形態に係る半導体メモリ1の備えるメモリセルアレイ10の回路構成の一例を、メモリセルアレイ10に含まれた複数のブロックBLKのうち1つのブロックBLKを抽出して示している。
図2は、実施形態に係る半導体メモリ1の備えるメモリセルアレイ10の回路構成の一例を、メモリセルアレイ10に含まれた複数のブロックBLKのうち1つのブロックBLKを抽出して示している。
図2に示すように、ブロックBLKは、例えば4つのストリングユニットSU0〜SU3を含んでいる。各ストリングユニットSUは、複数のNANDストリングNSを含んでいる。
複数のNANDストリングNSは、それぞれビット線BL0〜BLm(mは1以上の整数)に関連付けられている。各NANDストリングNSは、例えばメモリセルトランジスタMT0〜MT7、並びに選択トランジスタST1及びST2を含んでいる。
メモリセルトランジスタMTは、制御ゲート及び電荷蓄積層を含み、データを不揮発に保持する。選択トランジスタST1及びST2のそれぞれは、各種動作時におけるストリングユニットSU及びブロックBLKの選択に使用される。
各NANDストリングNSにおいて、メモリセルトランジスタMT0〜MT7は、選択トランジスタST1及びST2間に直列接続される。同一のブロックBLKにおいて、メモリセルトランジスタMT0〜MT7の制御ゲートは、それぞれワード線WL0〜WL7に共通接続される。
各NANDストリングNSにおいて、選択トランジスタST1のドレインは、関連付けられたビット線BLに接続され、選択トランジスタST1のソースは、直列接続されたメモリセルトランジスタMT0〜MT7の一端に接続される。同一のブロックBLKにおいて、ストリングユニットSU0〜SU3内の選択トランジスタST1のゲートは、それぞれ選択ゲート線SGD0〜SGD3に共通接続される。
各NANDストリングNSにおいて、選択トランジスタST2のドレインは、直列接続されたメモリセルトランジスタMT0〜MT7の他端に接続される。同一のブロックBLKにおいて、選択トランジスタST2のソースは、ソース線SLに共通接続され、選択トランジスタST2のゲートは、選択ゲート線SGSに共通接続される。
以上で説明したメモリセルアレイ10の回路構成において、ビット線BLは、例えばブロックBLK毎に対応する複数のNANDストリングNS間で共通接続される。ソース線SLは、例えば複数のブロックBLK間で共通接続される。
1つのストリングユニットSU内で共通のワード線WLに接続された複数のメモリセルトランジスタMTの集合は、例えばセルユニットCUと称される。例えば、それぞれが1ビットデータを記憶するメモリセルトランジスタMTを含むセルユニットCUの記憶容量が、「1ページデータ」として定義される。セルユニットCUは、メモリセルトランジスタMTが記憶するデータのビット数に応じて、2ページデータ以上の記憶容量を有し得る。
尚、実施形態に係る半導体メモリ1が備えるメモリセルアレイ10の回路構成は、以上で説明した構成に限定されない。例えば、各NANDストリングNSが含むメモリセルトランジスタMT並びに選択トランジスタST1及びST2の個数は、それぞれ任意の個数に設計され得る。各ブロックBLKが含むストリングユニットSUの個数は、任意の個数に設計され得る。
[1−1−3]メモリセルアレイ10の構造
以下に、実施形態におけるメモリセルアレイ10の構造の一例について説明する。
以下に、実施形態におけるメモリセルアレイ10の構造の一例について説明する。
尚、以下で参照される図面において、X方向はワード線WLの延伸方向に対応し、Y方向はビット線BLの延伸方向に対応し、Z方向は半導体メモリ1が形成される半導体基板20の表面に対する鉛直方向に対応している。
また、以下で参照される断面図では、図を見易くするために絶縁層(層間絶縁膜)、配線、コンタクト等の構成要素が適宜省略されている。また、平面図には、図を見易くするためにハッチングが適宜付加されている。平面図に付加されたハッチングは、ハッチングが付加された構成要素の素材や特性とは必ずしも関連していない。
図3は、実施形態に係る半導体メモリ1の備えるメモリセルアレイ10の平面レイアウトの一例を、ストリングユニットSU0及びSU1のそれぞれに対応する構造体を抽出して示している。
図3に示すように、メモリセルアレイ10が形成される領域には、例えば複数のスリットSLTと、複数のストリングユニットSUと、複数のビット線BLとが含まれている。
複数のスリットSLTは、それぞれがX方向に延伸し、Y方向に配列している。Y方向に隣り合うスリットSLT間には、例えば1つのストリングユニットSUが配置される。
各ストリングユニットSUは、複数のメモリピラーMPを含んでいる。複数のメモリピラーMPは、例えばX方向に沿って千鳥状に配置される。メモリピラーMPの各々は、例えば1つのNANDストリングNSとして機能する。
複数のビット線BLは、それぞれがY方向に延伸し、X方向に配列している。例えば、各ビット線BLは、ストリングユニットSU毎に少なくとも1つのメモリピラーMPと重なるように配置される。具体的には、各メモリピラーMPには、例えば2本のビット線BLが重なっている。
メモリピラーMPに重なっている複数のビット線BLのうち1本のビット線BLと、当該メモリピラーMPとの間には、コンタクトCPが設けられる。各メモリピラーMPは、コンタクトCPを介して対応するビット線BLと電気的に接続される。
尚、隣り合うスリットSLT間に設けられるストリングユニットSUの個数は、任意の個数に設計され得る。図3に示されたメモリピラーMPの個数及び配置はあくまで一例であり、メモリピラーMPは任意の個数及び配置に設計され得る。各メモリピラーMPと重なるビット線BLの本数は、任意の本数に設計され得る。
図4は、図3のIV−IV線に沿った断面図であり、実施形態に係る半導体メモリ1の備えるメモリセルアレイ10の断面構造の一例を示している。
図4に示すように、メモリセルアレイ10が形成される領域には、例えば導電体21〜25、メモリピラーMP、コンタクトCP、並びにスリットSLTが含まれている。
具体的には、半導体基板20の上方に、絶縁層を介して導電体21が設けられる。例えば導電体21は、XY平面に沿って広がった板状に形成され、ソース線SLとして使用される。導電体21は、例えばポリシリコン(Si)を含んでいる。
図示が省略されているが、半導体基板20と導電体21との間の領域には、例えばセンスアンプモジュール16等の回路が設けられる。
導電体21の上方に、絶縁層を介して導電体22が設けられる。例えば導電体22は、XY平面に沿って広がった板状に形成され、選択ゲート線SGSとして使用される。導電体22は、例えばポリシリコン(Si)を含んでいる。
導電体22の上方に、絶縁層と導電体23とが交互に積層される。例えば導電体23は、XY平面に沿って広がった板状に形成される。積層された複数の導電体23は、半導体基板20側から順に、それぞれワード線WL0〜WL7として使用される。導電体23は、例えばタングステン(W)を含んでいる。
最上層の導電体23の上方に、絶縁層を介して導電体24が設けられる。導電体24は、例えばXY平面に沿って広がった板状に形成され、選択ゲート線SGDとして使用される。導電体24は、例えばポリシリコン(Si)を含んでいる。
導電体24の上方に、絶縁層を介して導電体25が設けられる。例えば導電体25は、Y方向に沿って延伸したライン状に形成され、ビット線BLとして使用される。つまり、図示せぬ領域において複数の導電体25は、X方向に沿って配列している。導電体25は、例えば銅(Cu)を含んでいる。
メモリピラーMPは、Z方向に沿って延伸した柱状に形成され、例えば導電体22〜24を貫通している。具体的には、メモリピラーMPの上端は、例えば導電体24が設けられた層と導電体25が設けられた層との間の層に含まれている。メモリピラーMPの下端は、例えば導電体21が設けられた層に含まれている。
また、メモリピラーMPは、例えばコア部材30、半導体31、及び積層膜32を含んでいる。
コア部材30は、Z方向に沿って延伸した柱状に形成される。コア部材30の上端は、例えば導電体24が設けられた層よりも上層に含まれている。コア部材30の下端は、例えば導電体21が設けられた層に含まれている。コア部材30は、例えば酸化シリコン(SiO2)等の絶縁体を含んでいる。
コア部材30は、半導体31によって覆われている。半導体31は、メモリピラーMPの側面を介して導電体21と接触している。半導体31は、例えばポリシリコン(Si)である。積層膜32は、導電体21と半導体31とが接触している部分を除いて、半導体31の側面及び底面を覆っている。
半導体31上には、柱状のコンタクトCPが設けられる。コンタクトCPの上面には、1個の導電体25、すなわち1本のビット線BLが接触している。尚、メモリピラーMPと導電体25との間は、2つ以上のコンタクトを介して電気的に接続されても良いし、その他の配線を介して電気的に接続されても良い。
スリットSLTは、Z方向に沿って延伸した板状に形成され、例えば導電体22〜24を分断している。具体的には、スリットSLTの上端は、例えばメモリピラーMPの上端を含む層と導電体25が設けられた層との間の層に含まれている。スリットSLTの下端は、例えば導電体21が設けられた層に含まれている。
スリットSLTの内部には、絶縁体40が設けられる。絶縁体40は、例えば酸化シリコン(SiO2)等の絶縁物を含んでいる。尚、絶縁体40は、複数種類の絶縁物により構成されても良い。例えば、スリットSLTに酸化シリコンが埋め込まれる前に、スリットSLTの側壁として窒化シリコン(SiN)が形成されても良い。
以上で説明したメモリピラーMPの構成では、例えばメモリピラーMPと導電体22とが交差する部分が、選択トランジスタST2として機能する。メモリピラーMPと導電体23とが交差する部分が、メモリセルトランジスタMTとして機能する。メモリピラーMPと導電体24とが交差する部分が、選択トランジスタST1として機能する。つまり、半導体31は、メモリセルトランジスタMT並びに選択トランジスタST1及びST2のそれぞれのチャネルとして機能する。
図5は、実施形態に係る半導体メモリ1の備えるメモリセルアレイ10のより詳細な断面図であり、1本のワード線WLが形成される配線層と、当該配線層を挟む2つの絶縁層INSとが抽出されて示されている。
図5に示すように、メモリピラーMPは、ワード線WLが形成される配線層において凸部TPを含んでいる。すなわち、メモリピラーMPは、ワード線WLを貫通する部分において、当該ワード線WLを挟む2つの絶縁層INSによって挟まれた部分を有している。
メモリピラーMP内の積層膜32は、例えばトンネル酸化膜33、絶縁膜34、並びにブロック絶縁膜35及び36を含んでいる。
トンネル酸化膜33は、半導体31の側面及び底面を覆うように設けられる。絶縁膜34は、トンネル酸化膜33の側面及び底面を覆うように設けられる。絶縁膜34は、メモリセルトランジスタMTの電荷蓄積層として使用される。絶縁膜34は、例えば窒化シリコン(SiN)を含んでいる。
ブロック絶縁膜35は、絶縁膜34の側面及び底面を覆うように設けられる。ブロック絶縁膜36は、ブロック絶縁膜35の側面及び底面を覆うように設けられる。ブロック絶縁膜35は、例えば酸化シリコン(SiO2)を含んでいる。ブロック絶縁膜36は、例えば酸化アルミニウム(Al2O3)を含んでいる。
ワード線WLとして使用される導電体23は、例えば導電部50〜52を含んでいる。
導電部50及び51のそれぞれは、ブロック絶縁膜36の側面に設けられる。具体的には、上層の絶縁層INSとブロック絶縁膜36とのそれぞれに接触した導電部51と、下層の絶縁層INSとブロック絶縁膜36とのそれぞれに接触した導電部51と、当該配線層において上層の導電部51と下層の導電部51との間に挟まれ、且つブロック絶縁膜36に接触した導電部50とがそれぞれ設けられる。
導電部50は、例えばタングステン(W)を含んでいる。導電部51は、例えば窒化チタン(TiN)を含み、半導体メモリ1の製造工程においてバリアメタルとして使用される。実施形態に係る半導体メモリ1では、メモリピラーMPの外周近傍にのみ、導電部50及び導電部51が設けられる。
具体的には、半導体基板20の表面に平行且つ導電部50を含む断面において、メモリピラーMPの中心と、当該メモリピラーMPに接する導電部50で当該メモリピラーMPから最も離れた部分との間の間隔は、隣り合うメモリピラーMPの中心間の間隔(MP Pitch)の半分よりも短い。
同様に、半導体基板20の表面に平行且つ導電部51を含む断面において、メモリピラーMPの中心と、当該メモリピラーMPに接する導電部51で当該メモリピラーMPから最も離れた部分との間の間隔は、隣り合うメモリピラーMPの中心間の間隔(MP Pitch)の半分よりも短い。
導電部50及び51の側面には、導電部52が設けられる。具体的には、導電部52は、例えば導電体23が形成される領域のうち、導電部50及び51が形成される領域以外の領域に、XY平面に沿って広がって設けられる。実施形態に係る半導体メモリ1では、導電部52が上層の絶縁層INSと下層の絶縁層INSとのそれぞれに接している。導電部52は、例えばタングステン(W)を含み、導電部51と同じ金属材料を含んでいる。
以上で説明した導電体23(導電部50〜52)の構造について言い換えると、上層の絶縁層INSと下層の絶縁層INSとの間の導電部52は、上層の絶縁層INSと下層の絶縁層INSとのそれぞれに接し、且つXY平面に沿って広がる導電部である。導電部50は、メモリピラーMPのブロック絶縁膜36と導電部52との間に設けられ、且つ当該ブロック絶縁膜36と導電部52とのそれぞれに接した導電部であって、導電部52と同じ材料で形成される。導電部51は、メモリピラーMPのブロック絶縁膜36と導電部52との間で例えばZ方向に沿って導電部50を挟むように設けられた1対の導電部であって、導電部50及び52と異なる材料で形成された異種導電部である。
導電部52には、隣り合うメモリピラーMP間において、例えばZ方向に延伸したシームSE1が形成される。このように、実施形態に係る半導体メモリ1においてシームSE1は、縦方向に形成される。シームSE1の領域には、空隙が含まれていても良いし、含まれていなくても良い。
尚、メモリピラーMPとスリットSLTとの間の領域において、導電部52にはシームが形成されない。メモリピラーMPとスリットSLT間に設けられた導電部52の端部EPは、スリットSLT部分と接していても良いし、接していなくても良い。つまり、スリットSLT内の絶縁体40は、上層の絶縁層INSと下層の絶縁層INSとの間に挟まれた部分を有していても良い。
以下に、図6、図7、及び図8を用いて、半導体基板20の表面に平行な断面におけるメモリピラーMPの構造の一例について説明する。図6は、図5のVI−VI線に沿った断面図であり、導電部50を含む層におけるメモリピラーMP及びワード線WLの断面構造の一例を示している。図7は、図5のVII−VII線に沿った断面図であり、導電部51を含む層におけるメモリピラーMP及びワード線WLの断面構造の一例を示している。図8は、図5のVIII−VIII線に沿った断面図であり、絶縁層INSを含む層におけるメモリピラーMPの断面構造の一例を示している。
図6に示すように、導電部50を含む層においてコア部材30は、メモリピラーMPの中央部に設けられる。半導体31は、コア部材30の側面を囲っている。トンネル酸化膜33は、半導体31の側面を囲っている。絶縁膜34は、トンネル酸化膜33の側面を囲っている。ブロック絶縁膜35は、絶縁膜34の側面を囲っている。ブロック絶縁膜36は、ブロック絶縁膜35の側面を囲っている。導電部50は、ブロック絶縁膜36の側面を囲っている。導電部52は、導電部50の側面を囲っている。
図7に示すように、導電部51を含む層におけるメモリピラーMPの構造は、図6を用いて説明したメモリピラーMPの構造と同様である。導電部51は、ブロック絶縁膜36の側面を囲っている。導電部52は、導電部51の側面を囲っている。
図8に示すように、絶縁層INSを含む層におけるメモリピラーMPの構造は、図6を用いて説明したメモリピラーMPの構造と同様である。絶縁層INSは、ブロック絶縁膜36の側面を囲っている。
以上で説明したメモリセルアレイ10の構造において、導電体23の個数は、ワード線WLの本数に基づいて設計される。選択ゲート線SGSには、複数層に設けられた複数の導電体22が割り当てられても良い。選択ゲート線SGSが複数層に設けられる場合に、導電体22と異なる導電体が使用されても良い。選択ゲート線SGDには、複数層に設けられた複数の導電体24が割り当てられても良い。
[1−2]半導体メモリ1の製造方法
図9〜図26のそれぞれは、第1実施形態に係る半導体メモリ1の製造工程における、メモリセルアレイ10に対応する構造体の断面構造の一例を示している。以下に、図9〜図26を用いて、ソース線SL部分の形成からスリットSLT内部の絶縁体40の形成までの一連の製造工程の一例について順に説明する。
図9〜図26のそれぞれは、第1実施形態に係る半導体メモリ1の製造工程における、メモリセルアレイ10に対応する構造体の断面構造の一例を示している。以下に、図9〜図26を用いて、ソース線SL部分の形成からスリットSLT内部の絶縁体40の形成までの一連の製造工程の一例について順に説明する。
まず、図9に示すように、ソース線SLに対応する積層構造が形成される。具体的には、半導体基板20上に、絶縁層60が形成される。図示が省略されているが、絶縁層60内には、例えばロウデコーダモジュール15やセンスアンプモジュール16等の回路が形成される。
そして、絶縁層60上に、導電体61、犠牲部材62、導電体63、及び絶縁層64が順に形成される。導電体61及び63のそれぞれは、例えばポリシリコン(Si)を含んでいる。犠牲部材62としては、導電体61及び63のそれぞれに対してエッチング選択比を大きくすることが可能な材料が選択される。
本工程において導電体61、犠牲部材62、及び導電体63が形成された配線層には、後述する工程によりソース線SLとして使用される導電体の組が形成される。
次に、図10に示すように、導電体65と複数の犠牲部材67とが積層される。具体的には、絶縁層64上に、導電体65が形成される。導電体65上に、絶縁層66及び犠牲部材67が交互に積層される。最上層の犠牲部材67上に、絶縁層68が形成される。
犠牲部材67が形成される層数は、例えば積層するワード線WL及び選択ゲート線SGDの層数に対応している。導電体65は、例えばポリシリコン(Si)を含んでいる。導電体65は、例えば図4を用いて説明した導電体22に対応し、選択ゲート線SGSとして使用される。絶縁層66及び68のそれぞれは、例えば酸化シリコン(SiO2)を含んでいる。犠牲部材67は、例えば窒化シリコン(SiN)を含んでいる。
次に、図11に示すように、メモリホールMHが形成される。具体的には、まずフォトリソグラフィ等によって、絶縁層68上に、メモリピラーMPを形成する領域が開口したマスクが形成される。そして、形成されたマスクを用いた異方性エッチングが実行され、メモリホールMHが形成される。
本工程のエッチングにおいてメモリホールMHは、絶縁層68、複数の犠牲部材67、複数の絶縁層66、導電体65、絶縁層64、導電体63、及び犠牲部材62のそれぞれを貫通する。そして、メモリホールMHの底部は、例えば導電体61が形成された層内で停止する。本工程におけるエッチング方法としては、例えばRIE(Reactive Ion Etching)が使用される。
尚、本工程のエッチングにおいて導電体65は、エッチングストッパとして利用されても良い。導電体65がエッチングストッパとして利用されることにより、メモリホールMHの底部が導電体61の内部に入り込み過ぎることが抑制され得、さらに複数のメモリホールMHの底部の位置のばらつきが抑制され得る。
次に、図12に示すように、メモリホールMHを介して犠牲部材67の一部が除去される。犠牲部材67の除去量は、例えば隣り合うメモリホールMH間が、犠牲部材67が除去された空間を介して繋がらないように調整される。言い換えると、隣り合うメモリホールMH間に設けられた犠牲部材67が完全に除去されないように調整される。
本工程において犠牲部材67を除去する方法としては、例えばウェットエッチングが使用される。以下では、本工程において犠牲部材67が除去された空間のことをメモリホールMHの凹部HEと称する。
次に、図13に示すように、メモリホールMH内と絶縁層68上とのそれぞれに金属膜69が形成される。金属膜69は、図14に示すように導電部50及び51を含んでいる。本工程では、導電部51と導電部50とが順に形成される。
導電部51は、凹部HEに沿って形成される。本工程において凹部HEに形成された導電部50は、隣り合う絶縁層66のうち上層の絶縁層66に接する導電部51の部分と、下層の絶縁層66に接する導電部51の部分とによって挟まれた部分を有する。
本工程において導電部51は、例えば導電部50を形成する際のバリアメタルとして使用される。つまり、導電部51は、例えば導電部50(例えばタングステン)を形成する際に、絶縁層66等の内部に不純物が注入されることを抑制し、さらに形成した導電部50の密着性を向上させ得る。
次に、図15に示すように、凹部HE内の一部を除いて、メモリホールMH内と絶縁層68上とのそれぞれに形成された金属膜69が除去される。凹部HE内に残った金属膜69は、図16に示すように導電部50及び51を含んでいる。例えば、本工程により凹部HE内で露出した金属膜69の面とメモリホールMHの中央部との間隔は、メモリホールMHに接する絶縁層66の面とメモリホールMHの中央部との間隔よりも広い。
次に、図17に示すように、メモリホールMH内にメモリピラーMPが形成され、半導体基板20上に形成された構造体の上面に絶縁層70が形成される。具体的には、例えば、積層膜32(ブロック絶縁膜36及び35、絶縁膜34、及びトンネル酸化膜33)、半導体31、及びコア部材30が、この順番で、絶縁層68の上面とメモリホールMHの内壁とのそれぞれに形成される。
その後、絶縁層68の上面よりも上層に形成されたコア部材30、半導体31、及び積層膜32が除去され、メモリホールMHの上部に設けられたコア部材30が除去される。尚、この“メモリホールMHの上部”は、最上層に設けられた犠牲部材67の上面よりも上層に含まれた部分に対応している。それから、メモリホールMHのそれぞれの内部でコア部材30が除去された領域に半導体31が形成され、半導体基板20上に形成された構造体の上面に絶縁層70が形成される。
本工程によって、図18に示すように、凸部TPを有し且つ凸部TPに設けられたブロック絶縁膜36が金属膜69と接したメモリピラーMPが形成される。
次に、図19に示すように、スリットSLTが形成される。具体的には、まずフォトリソグラフィ等によって、絶縁層70上に、スリットSLTを形成する領域が開口したマスクが形成される。そして、形成されたマスクを用いた異方性エッチングが実行され、スリットSLTが形成される。
本工程のエッチングにおいてスリットSLTは、例えば絶縁層70、絶縁層68、複数の犠牲部材67、複数の絶縁層66、導電体65、絶縁層64、導電体63、及び犠牲部材62のそれぞれを貫通する。そして、スリットSLTの底部は、例えば導電体61が形成された層内で停止する。スリットSLTの底部は、少なくとも犠牲部材62が設けられた層に到達していれば良い。本工程におけるエッチング方法としては、例えばRIE(Reactive Ion Etching)が使用される。
次に、図20に示すように、スリットSLTを介したエッチングにより犠牲部材62が選択的に除去される。そして、続けて犠牲部材62が除去された領域を介して、メモリピラーMPの側面に設けられた積層膜32の一部分が除去される。
その結果、犠牲部材62が除去された層において、メモリピラーMP内の半導体31が露出する。本工程における犠牲部材62の除去方法としては、例えば導電体61及び63よりも犠牲部材62の選択比が大きい水溶液を用いたウェットエッチングが使用される。
次に、図21に示すように、導電体71が形成される。具体的には、例えばCVD(Chemical Vapor Deposition)によって、犠牲部材62が除去された空間に導電体71が形成され、その後エッチバックされる。
その結果、メモリピラーMP内の半導体31と、導電体61、71、及び63の組とが電気的に接続される。導電体61、71、及び63の組は、例えば図4を用いて説明した導電体21に対応し、ソース線SLとして使用される。導電体71としては、例えばリンがドープされたポリシリコンが形成される。
次に、図22に示すように、犠牲部材67が除去される。具体的には、まずスリットSLT内で露出した導電体61、71、63、及び65(例えばポリシリコン)の表面が酸化され、図示されない酸化保護膜が形成される。
その後、例えば熱リン酸によるウェットエッチングによって、犠牲部材67が除去される。犠牲部材67が除去された構造体は、例えば複数のメモリピラーMPによってその立体構造が維持される。
本工程において金属膜69は、図23に示すように、スリットSLTを介したエッチングにより一部分が除去される。具体的には、凸部TPの近傍に設けられた金属膜69では、犠牲部材67が除去された領域を介して導電部51の一部分が除去され、導電部50が露出する。
次に、図24に示すように、犠牲部材67が除去された空間に導電部52が形成される。具体的には、図25に示すように、例えば選択的なCVD(Chemical Vapor Deposition)によって、導電部50に含まれた金属材料を選択的に成長(再成長)させる。その結果、導電部50の表面から導電部52が成長し、導電部52が形成される。
本工程において導電部52は、例えば隣り合うメモリピラーMP間で接触し、且つ導電部52の端部EPがスリットSLTの近傍まで達するように成長させられる。尚、導電部52の端部EPの位置は、少なくとも隣り合う配線層に設けられた導電部52間で短絡していなければ良く、任意の位置に設計され得る。
このように、導電部52は、導電部50を再成長させることにより形成される金属配線である。導電部50と導電部52とは、形成方法が異なるため、粒径が異なる場合がある。導電部50と導電部52との間には、境界が形成され得る。本工程により複数の配線層に形成された導電部50〜52の組が、例えばワード線WL若しくは選択ゲート線SGDとして使用される。
次に、図26に示すように、スリットSLT内に絶縁体40が形成される。本工程では、スリットSLT内に絶縁体40が埋め込まれる前に、スリットSLTの側壁として窒化シリコン等が形成されても良い。
以上で説明した製造工程によって、NANDストリングNSと、NANDストリングNSに接続されるソース線SL、選択ゲート線SGS及びSGD、並びにワード線WLとのそれぞれが形成される。以下では、犠牲部材67を例えば導電部52に置き換える処理のことを、配線の置換処理と称する。
尚、以上で説明した製造工程はあくまで一例であり、各製造工程の間にその他の処理が挿入されても良い。例えば、導電部52を選択的に形成する際の選択比が小さい場合に、図24及び図25を用いて説明した工程の後にエッチバック工程が挿入され、スリットSLT内に形成され得る金属等が除去されても良い。
[1−3]実施形態の効果
実施形態に係る半導体メモリ1に依れば、半導体メモリ1におけるワード線WLの抵抗値を低減することが出来る。以下に、実施形態に係る半導体メモリ1の効果の詳細について、比較例を用いて説明する。
実施形態に係る半導体メモリ1に依れば、半導体メモリ1におけるワード線WLの抵抗値を低減することが出来る。以下に、実施形態に係る半導体メモリ1の効果の詳細について、比較例を用いて説明する。
図27は、実施形態の比較例に係る半導体メモリの備えるメモリセルアレイの断面構造の一例を示している。図27に示すように、比較例におけるメモリセルアレイの断面構造は、実施形態におけるメモリセルアレイ10の断面構造に対して、メモリピラーMP及びスリットSLTの構造と、ワード線WLに対応する導電体の構造とが異なっている。
具体的には、比較例に係る半導体メモリでは、ブロック絶縁膜36と導電部51とが、メモリピラーMPの形成時ではなく、配線の置換処理時に形成される。このため、比較例におけるメモリピラーMPでは、実施形態におけるメモリピラーMPに対してブロック絶縁膜36が省略されている。
また、比較例に係る半導体メモリでは、導電部51がスリットSLTを用いた配線の置換処理時に形成され、例えば実施形態のようにメモリホールMHに凹部HEを形成し、凹部HEに金属膜69を残す処理が行われない。このため、比較例におけるメモリピラーMPでは、例えば実施形態におけるメモリピラーMPのような凸部TPが形成されない。
そして、比較例に係る半導体メモリにおける導電部52は、例えばCVD(Chemical Vapor Deposition)によってバリアメタル(導電部51)の表面に形成されるため、実施形態のような縦方向のシームSE1ではなく、横方向のシームSE2が形成される。比較例においてシームSE2は、隣り合うメモリピラーMP間だけで無く、メモリピラーMPとスリットSLT間にも形成される。メモリピラーMPとスリットSLT間に形成されるシームSE2は、例えばスリットSLT内に形成された絶縁体40に接触している。
図28は、実施形態の比較例に係る半導体メモリで、スリットSLTを用いた配線の置換処理において導電部52が形成される過程の一例を示している。以下では、犠牲部材67が除去された領域でスリットSLTと接した部分のことを開口部分OPと称する。
図28(1)に示すように、比較例では、犠牲部材67が除去された後に、ブロック絶縁膜36と導電部51とが順に形成される。続けて、導電部52が形成される。この工程において導電部52は、図28(2)に示すように導電部51の表面に形成される。
処理が進行すると、図28(3)に示すように、例えば犠牲部材67が形成されていた空間全体が、成長した導電部52によって埋め込まれた構造が形成される。その後、図28(4)に示すように、スリットSLT内に形成された導電部52がエッチングにより除去され、積層方向に隣り合う導電部52が電気的に絶縁される。
以上で説明した導電部52の形成過程では、開口部分OPにおいて上層側及び下層側からそれぞれ成長した導電部52が接触して開口部分OPが閉じると、メモリセルアレイ内側における導電部52の成長が停止する。
例えば、比較例では、配線の置換処理時に、メモリピラーMP間における導電部52の埋め込みが完了する前に開口部分OPが閉じることによって、メモリピラーMP間における導電部52の埋め込みが不完全になる可能性が生じ得る。導電部52の埋め込みが不完全になると、形成される導電部52の体積が減少し、配線抵抗が高くなる可能性がある。
これに対して、実施形態に係る半導体メモリ1では、スリットSLTを用いた配線の置換処理が実行される前に、メモリホールMHを用いて犠牲部材67の一部分が除去され、導電部50及び51が形成される。そして、ブロック絶縁膜36を含むメモリピラーMPが形成され、スリットSLT形成後に導電部52の選択成長、すなわち導電部50の再成長が実行される。
図29は、実施形態に係る半導体メモリ1で、スリットSLTを用いた配線の置換処理において導電部52が形成される過程の一例を示している。
図29(1)に示すように、実施形態では、スリットSLTを介して犠牲部材67が除去された時点で、開口部分OPとメモリピラーMPのブロック絶縁膜36との間に、導電部50及び51が形成されている。
そして、実施形態において導電部52は、導電部50に含まれた金属材料を選択成長(再成長)させることによって形成される。このため、本工程において導電部52は、図29(2)に示すように、導電部50の表面から横方向に成長する。この成長過程において導電部52は、当該配線層と隣り合う絶縁層にも接触する。
処理が進行すると、図29(3)に示すように、例えば成長した導電部52が開口部分OPの近傍まで到達し、隣り合うメモリピラーMP間で成長した導電部52同士が接触する。これにより、実施形態では、例えば犠牲部材67が形成されていた空間全体が、成長した導電部52によって埋め込まれた構造が形成される。
このように、実施形態に係る半導体メモリ1では、選択成長によって導電部52が形成される。このため、本工程において導電部52は、スリットSLTの側面部分や半導体基板20上に形成された構造体の表面に形成されることが抑制され得る。
以上のように、実施形態に係る半導体メモリ1では、メモリホールMHを介して予め犠牲部材67の一部を導電部50に置換することによって、スリットSLTを介して導電部52を形成する方法として選択成長を使用することが出来る。
また、実施形態に係る半導体メモリ1では、選択成長を使用することによって、比較例のように導電部52の形成時に開口部分OPが閉じることが生じ得ないため、導電部52の埋め込み性を改善することが出来る。
さらに、実施形態に係る半導体メモリ1では、スリットSLTを使用した配線の置換処理を実行する際に、ブロック絶縁膜36と導電部51とを形成しないことから、隣り合う絶縁層間に形成される導電部52の体積が、比較例に係る半導体メモリよりも多くなる。
その結果、実施形態に係る半導体メモリ1は、メモリセルアレイ10に設けられた積層配線の配線抵抗の低下を抑制することが出来、例えばワード線の抵抗値を低減することが出来る。そして、実施形態に係る半導体メモリ1は、配線抵抗の低下に伴い、消費電力を抑制することが出来る。
尚、例えば導電部51(例えば窒化チタンTiN)の抵抗値は、導電部52(例えばタングステンW)よりも高い。このため、比較例においてブロック絶縁膜36がメモリピラーMP内に含まれている場合においても、実施形態に係る半導体メモリ1は、低抵抗な導電部52が占める体積が比較例よりも大きくなるため、ワード線WL等の配線抵抗を比較例よりも低下させることが出来る。
実施形態に係る半導体メモリ1におけるその他の効果について、以下に羅列する。
以上で説明した比較例では、スリットSLTを介してワード線WLに対応する犠牲部材を除去するエッチング処理において、スリットSLTからの距離に応じて、ブロック絶縁膜35がエッチング溶液にさらされる時間が異なる。具体的には、スリットSLTから離れた領域(例えばメモリピラーMP間の領域)において犠牲部材が除去されるタイミングが、スリットSLT近傍に形成された犠牲部材が除去されるタイミングよりも遅い。
その結果、スリットSLT近傍に形成されたブロック絶縁膜35がエッチング溶液にさらされる時間が、スリットSLTから離れた領域に形成されたブロック絶縁膜35がエッチング溶液にさらされる時間よりも長くなる。犠牲部材を除去する工程では、犠牲部材のエッチング選択比がブロック絶縁膜35よりも高くなるようなエッチング溶液が選択されるが、エッチング溶液にさらされる時間の長さやエッチング選択比に依っては、スリットSLTからの距離に応じてブロック絶縁膜35の膜厚のばらつきが生じ得る。
これに対して、実施形態に係る半導体メモリ1では、メモリホールMH内にブロック絶縁膜36を形成する。さらに、スリットSLTを用いた導電部52の形成時において、ブロック絶縁膜36が導電部50及び51(金属膜69)によって保護されている。
これにより、実施形態に係る半導体メモリ1では、比較例に係る半導体メモリよりも、複数のメモリピラーMPのそれぞれに含まれたブロック絶縁膜35及び36の膜厚ばらつきが抑制され得る。
その結果、実施形態に係る半導体メモリ1は、比較例に係る半導体メモリよりもメモリピラーMP毎の特性ばらつきを抑制することが出来、半導体メモリ1が記憶するデータの信頼性を向上することが出来る。
図30は、半導体メモリ1の書き込み動作時においてメモリピラーMPに印加される電界の一例を示している。図30に示すように、実施形態に係る半導体メモリ1は、ワード線WLが形成された層内で、半導体31に凸部CVが形成され得る。
例えば、書き込み動作時においてワード線WLに高電圧が印加されると、半導体31の凸部CVに電界が集中し得る。図示するような電界集中が発生すると、対応するメモリセルトランジスタMTのチャネル−電荷蓄積層(絶縁膜34)間の電位差が大きくなる。その結果、実施形態に係る半導体メモリ1では、書き込み効率が向上し、書き込み動作を高速化することが出来る。
[1−4]実施形態の変形例
以上で説明した実施形態に係る半導体メモリ1では、図23を用いて説明した製造工程において、例えば犠牲部材67の除去に使用される水溶液のエッチング選択比が導電部50よりも導電部51の方が高く、導電部51が残らない場合がある。以下に、実施形態の変形例に係る半導体メモリ1の構造及び効果について説明する。
以上で説明した実施形態に係る半導体メモリ1では、図23を用いて説明した製造工程において、例えば犠牲部材67の除去に使用される水溶液のエッチング選択比が導電部50よりも導電部51の方が高く、導電部51が残らない場合がある。以下に、実施形態の変形例に係る半導体メモリ1の構造及び効果について説明する。
図31は、実施形態の変形例に係る半導体メモリ1の備えるメモリセルアレイ10の断面構造の一例を示している。図31に示すように、変形例におけるメモリセルアレイ10は、実施形態におけるメモリセルアレイ10の断面構造に対して、導電部51が省略された構造を有している。
導電部51が省略された領域には、例えば空間SPが設けられる。空間SPは、メモリピラーMPの凸部TPに接している。言い換えると、空間SPは、メモリピラーMPのブロック絶縁膜36と導電部52との間で例えばZ方向に沿って導電部50を挟むように設けられた1対の空間SPである。つまり、空間SPは、メモリピラーMPのブロック絶縁膜36と導電部52との間の一部分に含まれている。空間SPの広さは、導電部52が形成される領域の広さに応じて変化する。空間SPは、エアーギャップと称されても良い。
このように、実施形態の変形例に係る半導体メモリ1では、メモリピラーMPの外周近傍に空間SPが設けられる。半導体基板20の表面に平行且つ空間SPを含む断面において、メモリピラーMPの中心と、当該メモリピラーMPに接する空間SPで当該メモリピラーMPから最も離れた部分との間の間隔は、隣り合うメモリピラーMPの中心間の間隔(MP Pitch)の半分よりも短い。
図32は、図31のXXXII−XXXII線に沿った断面図であり、半導体基板20の表面に平行且つ空間SPを含む断面におけるメモリピラーMPの構造の一例を示している。
図32に示すように、空間SPを含む層におけるメモリピラーMPの構造は、図6を用いて説明したメモリピラーMPの構造と同様である。空間SPは、ブロック絶縁膜36の側面を囲っている。導電部52は、空間SPを囲っている。言い換えると、空間SPは、導電部52とブロック絶縁膜36との間に設けられる。
図33は、実施形態の変形例に係る半導体メモリ1で、スリットSLTを用いた配線の置換処理において導電部52が形成される過程の一例を示している。
図33(1)に示すように、実施形態の変形例では、スリットSLTを介して犠牲部材67を除去する際に、導電部51も除去される。これは、例えば本工程におけるエッチングの処理時間が長くなることによって生じ得る。
次に、導電部50に含まれた金属材料を基に、導電部52の選択成長が実行される。本工程において導電部52は、図33(2)に示すように、導電部50の側面から再成長する。この再成長の過程において導電部52は、導電部51が形成されていた空間にも形成される。
導電部52が形成される速度は、スリットSLTを介して供給されるガスの付着し易さに応じて変化するため、図33(3)に示すように、成長した導電部52が当該配線層と隣り合う絶縁層に接触し、空間SPが形成される。以降の処理において、空間SP内にはガスが供給されないため、空間SPが残った状態で続く再成長処理が進行する。
処理が進行すると、図33(4)に示すように、例えば成長した導電部52が開口部分OPの近傍まで到達し、隣り合うメモリピラーMP間で成長した導電部52同士が接触する。これにより、実施形態の変形例では、例えば犠牲部材67が形成されていた空間が成長した導電部52によって埋め込まれ、且つメモリピラーMPの側面部分に空間SPが残った構造が形成される。
以上で説明した実施形態の変形例に係る半導体メモリ1では、例えば実施形態に係る半導体メモリ1よりも導電部52の体積が増加する。導電部52の抵抗値は導電部51よりも低いため、実施形態の変形例に係る半導体メモリ1は、実施形態に係る半導体メモリ1よりもワード線WL等の配線抵抗が低減され得る。
また、メモリピラーMPと隣接する空間SPは、フリンジ効果を抑制する効果がある。従って、実施形態の変形例に係る半導体メモリ1は、隣接するメモリセルトランジスタMT間の干渉を抑制することが出来、記憶するデータの信頼性を向上することが出来る。
尚、以上で説明した実施形態の変形例に係る半導体メモリ1では導電部51が完全に除去される場合について例示したが、これに限定されない。例えば、実施形態の変形例に係る半導体メモリ1において、導電部51が空間SPの近傍に残存していても良い。
[2]その他の変形例
実施形態の半導体メモリは、第1方向に沿って交互に積層された第1導電体及び第1絶縁体と、複数のメモリピラーと、を含む。複数のメモリピラーは、各々が積層された第1導電体及び第1絶縁体を貫通する。複数のメモリピラーは、各々が第1方向に沿って延伸した半導体と、半導体の側面を囲むトンネル絶縁膜と、トンネル絶縁膜の側面を囲む第2絶縁体と、第2絶縁体の側面を囲むブロック絶縁膜と、を含む。複数のメモリピラーは、第1メモリピラーを含む。積層された第1絶縁体は、第1方向に隣り合う第1層と、第2層とを含む。第1層と第2層との間の第1導電体は、第1及び第2導電部と、異種導電部とを含む。第1導電部は、第1層と第2層とのそれぞれに接し且つ第1方向と交差する第2方向に沿って広がっている。第2導電部は、第1メモリピラーのブロック絶縁膜と第1導電部との間に設けられ且つブロック絶縁膜と第1導電部とのそれぞれに接した導電部であって、第1導電部と同じ材料で形成されている。異種導電部は、第1メモリピラーのブロック絶縁膜と第1導電部との間で第1方向に沿って第2導電部を挟むように設けられた1対の導電部であって、第1導電部及び第2導電部と異なる材料で形成されている。これにより、実施形態に係る半導体メモリでは、ワード線等の配線抵抗を低減することが出来る。
実施形態の半導体メモリは、第1方向に沿って交互に積層された第1導電体及び第1絶縁体と、複数のメモリピラーと、を含む。複数のメモリピラーは、各々が積層された第1導電体及び第1絶縁体を貫通する。複数のメモリピラーは、各々が第1方向に沿って延伸した半導体と、半導体の側面を囲むトンネル絶縁膜と、トンネル絶縁膜の側面を囲む第2絶縁体と、第2絶縁体の側面を囲むブロック絶縁膜と、を含む。複数のメモリピラーは、第1メモリピラーを含む。積層された第1絶縁体は、第1方向に隣り合う第1層と、第2層とを含む。第1層と第2層との間の第1導電体は、第1及び第2導電部と、異種導電部とを含む。第1導電部は、第1層と第2層とのそれぞれに接し且つ第1方向と交差する第2方向に沿って広がっている。第2導電部は、第1メモリピラーのブロック絶縁膜と第1導電部との間に設けられ且つブロック絶縁膜と第1導電部とのそれぞれに接した導電部であって、第1導電部と同じ材料で形成されている。異種導電部は、第1メモリピラーのブロック絶縁膜と第1導電部との間で第1方向に沿って第2導電部を挟むように設けられた1対の導電部であって、第1導電部及び第2導電部と異なる材料で形成されている。これにより、実施形態に係る半導体メモリでは、ワード線等の配線抵抗を低減することが出来る。
尚、メモリピラーMPは、複数のピラーがZ方向に連結された構造であっても良い。例えば、メモリピラーMPは、導電体24(選択ゲート線SGD)を貫通するピラーと、複数の導電体23(ワード線WL)を貫通するピラーとが連結された構造であっても良い。また、メモリピラーMPは、それぞれが複数の導電体23を貫通する複数のピラーがZ方向に連結された構造であっても良い。
実施形態では、スリットSLTが導電体22〜24を分断した構造が例示されているが、スリットSLTは、導電体24を分断していなくても良い。この場合、メモリピラーMPはZ方向に複数のピラーが連結された構造を有し、例えば下方に設けられたピラーが導電体22及び23を貫通し、上方に設けられたピラーが導電体24を貫通する。そして、導電体24は、例えばスリットSLTと異なるスリットによって分断され、複数に分割された導電体24のそれぞれが選択ゲート線SGDとして機能する。
実施形態では、半導体メモリ1がメモリセルアレイ10下にセンスアンプモジュール16等の回路が設けられた構造を有する場合を例に説明したが、これに限定されない。例えば、半導体メモリ1は、半導体基板20上にメモリセルアレイ10及びセンスアンプモジュール16が、半導体基板20の表面に平行な方向に隣り合って形成された構造であっても良い。この場合にメモリピラーMPは、例えばメモリピラーMPの底面を介して半導体31とソース線SLとが電気的に接続される。
尚、メモリセルアレイ10の構造は、その他の構造であってもよい。その他のメモリセルアレイ10の構成については、例えば“三次元積層不揮発性半導体メモリ”という2009年3月19日に出願された米国特許出願12/407,403号に記載されている。“三次元積層不揮発性半導体メモリ”という2009年3月18日に出願された米国特許出願12/406,524号、“不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法”という2010年3月25日に出願された米国特許出願12/679,991号に記載されている。“半導体メモリ及びその製造方法”という2009年3月23日に出願された米国特許出願12/532,030号に記載されている。これらの特許出願は、その全体が本願明細書において参照により援用されている。
本明細書において“接続”とは、電気的に接続されている事を示し、例えば間に別の素子を介することを除外しない。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことが出来る。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると共に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1…半導体メモリ、2…メモリコントローラ、10…メモリセルアレイ、11…コマンドレジスタ、12…アドレスレジスタ、13…シーケンサ、14…ドライバモジュール、15…ロウデコーダモジュール、16…センスアンプモジュール、20…半導体基板、21〜25…導電体、30…コア部材、31…半導体、32…積層膜、33…トンネル酸化膜
34…絶縁膜、35…ブロック絶縁膜、36…ブロック絶縁膜、40…絶縁体、50〜52…導電部、60…絶縁層、61…導電体、62…犠牲部材、63…導電体、64…絶縁層、65…導電体、66…絶縁層、67…犠牲部材、68…絶縁層、69…金属膜、70…絶縁層、71…導電体、SE1,SE2…シーム、BLK…ブロック、SU…ストリングユニット、MT…メモリセルトランジスタ、ST1,ST2…選択トランジスタ、BL…ビット線、WL…ワード線、SGD…選択ゲート線
34…絶縁膜、35…ブロック絶縁膜、36…ブロック絶縁膜、40…絶縁体、50〜52…導電部、60…絶縁層、61…導電体、62…犠牲部材、63…導電体、64…絶縁層、65…導電体、66…絶縁層、67…犠牲部材、68…絶縁層、69…金属膜、70…絶縁層、71…導電体、SE1,SE2…シーム、BLK…ブロック、SU…ストリングユニット、MT…メモリセルトランジスタ、ST1,ST2…選択トランジスタ、BL…ビット線、WL…ワード線、SGD…選択ゲート線
Claims (5)
- 第1方向に沿って交互に積層された第1導電体及び第1絶縁体と、
各々が前記積層された第1導電体及び第1絶縁体を貫通し、各々が前記第1方向に沿って延伸した半導体と、前記半導体の側面を囲むトンネル絶縁膜と、前記トンネル絶縁膜の側面を囲む第2絶縁体と、前記第2絶縁体の側面を囲むブロック絶縁膜と、を含む複数のメモリピラーと、
を備え、
前記複数のメモリピラーは、第1メモリピラーを含み、
前記積層された第1絶縁体は、前記第1方向に隣り合う第1層と、第2層とを含み、
前記第1層と前記第2層との間の第1導電体は、前記第1層と前記第2層とのそれぞれに接し且つ前記第1方向と交差する第2方向に沿って広がる第1導電部と、前記第1メモリピラーのブロック絶縁膜と前記第1導電部との間に設けられ且つ前記ブロック絶縁膜と前記第1導電部とのそれぞれに接した導電部であって、前記第1導電部と同じ材料で形成された第2導電部と、前記第1メモリピラーの前記ブロック絶縁膜と前記第1導電部との間で前記第1方向に沿って前記第2導電部を挟むように設けられた1対の導電部であって、前記第1導電部及び前記第2導電部と異なる材料で形成された第1異種導電部と、を含む、半導体メモリ。 - 前記複数のメモリピラーは、前記第1メモリピラーと隣り合う第2メモリピラーをさらに含み、
前記第1層と前記第2層との間の前記第1導電体は、
前記第2メモリピラーのブロック絶縁膜と前記第1導電部との間に設けられ且つ前記第2メモリピラーの前記ブロック絶縁膜と前記第1導電部とのそれぞれに接した導電部であって、前記第1導電部と同じ材料で形成された第3導電部と、前記第2メモリピラーの前記ブロック絶縁膜と前記第1導電部との間で前記第1方向に沿って前記第3導電部を挟むように設けられた1対の導電部であって、前記第1乃至前記第3導電部と異なる材料で形成された第2異種導電部と、をさらに含み、
前記第1導電部は、前記第1メモリピラーと前記第2メモリピラーとの間で、前記第1方向に沿って延伸したシームを含む、
請求項1に記載の半導体メモリ。 - 第1方向に沿って交互に積層された第1導電体及び第1絶縁体と、
各々が前記積層された第1導電体及び第1絶縁体を貫通し、各々が前記第1方向に沿って延伸した半導体と、前記半導体の側面を囲むトンネル絶縁膜と、前記トンネル絶縁膜の側面を囲む第2絶縁体と、前記第2絶縁体の側面を囲むブロック絶縁膜と、を含む複数のメモリピラーと、
を備え、
前記複数のメモリピラーは、第1メモリピラーを含み、
前記積層された第1絶縁体は、前記第1方向に隣り合う第1層と、第2層とを含み、
前記第1層と前記第2層との間の第1導電体は、前記第1層と前記第2層とのそれぞれに接し且つ前記第1方向と交差する第2方向に沿って広がる第1導電部と、前記第1メモリピラーのブロック絶縁膜と前記第1導電部との間に設けられ且つ前記ブロック絶縁膜と前記第1導電部とのそれぞれに接した導電部であって、前記第1導電部と同じ材料で形成された第2導電部と、を含み、
前記第1メモリピラーの前記ブロック絶縁膜と前記第1導電部との間の一部分は、空間を含む、半導体メモリ。 - 前記複数のメモリピラーは、前記第1メモリピラーと隣り合う第2メモリピラーをさらに含み、
前記第1層と前記第2層との間の前記第1導電体は、
前記第2メモリピラーのブロック絶縁膜と前記第1導電部との間に設けられ且つ前記第2メモリピラーの前記ブロック絶縁膜と前記第1導電部とのそれぞれに接した導電部であって、前記第1導電部と同じ材料で形成された第3導電部をさらに含み、
前記第1導電部は、前記第1メモリピラーと前記第2メモリピラーとの間で、前記第1方向に沿って延伸したシームを含む、
請求項3に記載の半導体メモリ。 - 前記第1導電部と前記第2導電部との間には、境界が形成される、
請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の半導体メモリ。
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