JP2020009816A

JP2020009816A - 搬送装置

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Publication number: JP2020009816A
Application number: JP2018127106A
Authority: JP
Inventors: 純一大谷; Junichi Otani; 学船戸; Manabu Funato; 竜也廣田; Tatsuya Hirota
Original assignee: Sinfonia Technology Co Ltd
Current assignee: Sinfonia Technology Co Ltd
Priority date: 2018-07-03
Filing date: 2018-07-03
Publication date: 2020-01-16
Anticipated expiration: 2038-07-03
Also published as: US20200013653A1; JP7177332B2; US11227783B2

Abstract

【課題】ベルトテンションの安定性やアーム平行度の精度向上を可能とした搬送装置を提供する。【解決手段】搬送装置１において、同一長さの一対の第１リンクＬ１ａ,Ｌ１ｂの基端部が固定台Ａに回転可能に連結され、その先端部が中間リンク台Ｅに回転可能に連結された第１平行四節リンク機構ＬＤ１と、同一長さの一対の第２リンクＬ２ａ、Ｌ２ｂの基端部が中間リンク台Ｅに回転可能に連結され、その先端部が先端リンク板Ｃに回転可能に連結された第２平行四節リンク機構ＬＤ２と、中間リンク台Ｅに配置され、一対の第１リンクのそれぞれに連結された２のプーリ体と、第２リンクＬ２ａに連結された他のプーリ体と、前記２のプーリ体と前記他のプーリ体とに張設されたベルトとを有し、第１リンクＬ１ａ、Ｌ１ｂと第２リンクＬ２ａ、Ｌ２ｂとが互いに反対方向に回転するように回転駆動力を伝達するベルト伝動機構Ｄとを備える。【選択図】図４

Description

本発明は、例えば半導体製造装置や液晶基板製造装置等において、被加工物を搬送するための搬送装置に関する。

従来、半導体製造装置や液晶基板製造装置等においては、例えば被搬送物のウエハを載置するためのハンド部材をアームにより水平方向に直線的に移動させる搬送用ロボット装置が知られている。

従来の搬送用ロボット装置としては、特許文献１の図１及び図２に図示されるように、旋回台１１と外側の第２リンク１４とが一対の第１の中間リンク１２，１３で連結されて第１の平行四節リンク１５が形成され、第２リンク１４とハンド用リンク１８とが一対の第２の中間リンク１６，１７で連結されて第２の平行四節リンク１９が形成される。第１の中間リンク１２，１３と第２の中間リンク１６，１７とは同一のリンク長さに形成され、旋回台１１と第１の中間リンク１２，１３とは、Ｙ方向に離間する第１支点Ｏ１及び第２支点Ｏ２廻りに枢支されている。第１の中間リンク１２，１３と第２リンク１４とは、第３支点Ｏ３廻りに枢支され、第２の中間リンク１６，１７と第２リンク１４とは、第４支点Ｏ４廻りに枢支されている。第１及び第２の中間リンク間には、回転伝達機構２０が配設される。

したがって、第１の回転軸２及び第１の中間リンク１３が、第１支点Ｏ１を中心として時計方向に回転されると、第１の平行四節リンク１５は第１支点Ｏ１及び第２支点Ｏ２を支点としてＹ１方向に平行に移動する。この場合、第１の中間リンク１３は第２リンク１４に対して第３支点Ｏ３を中心として時計方向に回転された状態となる。これにより、回転伝達機構２０を介して第２の中間リンク１６が、第２リンク１４に対して第４支点Ｏ4を中心として反時計方向に回転されて、第２の平行四節リンク１９が第４の支点Ｏ４を支点としてＹ１方向に平行に移動する。

特許文献１の図１０に図示されるように、搬送用ロボット装置において、回転伝達機構２０は、第１の中間リンク１２と第２の中間リンク１７との間に配置されると共に、第１の中間リンク１３と第２の中間リンク１６との間に配置される。即ち、第１の中間リンク１２の第３支点Ｏ３と同軸に固定されたプーリ２０Ｄと、第２の中間リンク１７の第４支点Ｏ４と同軸に固定されたプーリ２０Ｃとの間には、ベルト２０Ｅが張設される。また、第１の中間リンク１３の第３支点Ｏ３と同軸に固定されたプーリ２０Ｄと、第２の中間リンク１６の第４支点Ｏ４と同軸に固定されたプーリ２０Ｃとの間には、ベルト２０Ｅが張設される。

特許第３８０６８１２号明細書

特許文献１の搬送用ロボット装置では、第２の平行四節リンク１９の第２の中間リンク１６，１７に連結されたプーリ２０Ｃが解放状態のため、ベルト２０Ｅが緩む方向に回転し、ベルト２０Ｅの張力（テンション）が低下してしまう。また、特許文献１の搬送用ロボット装置では、第２リンク１４に対して回転伝達機構２０を組み付ける際、ベルト２０Ｅのテンション調整とアームの軌道調整とを同時にしながら、プーリ２０Ｃ等の取り付け作業を行う必要がある。そのため、組み立てや調整が困難であり、生産性が非常に悪い。また、ベルト２０Ｅのテンション調整とアームの軌道調整とを同時にしながら取り付け作業を行ったとしても、ベルトテンションの安定性やアーム平行度の精度が悪く、品質を安定させるためにプーリ等の組み付け作業の改善が必要であった。

本発明は、このような課題に着目してなされたものであって、ベルトテンションの安定性やアーム平行度の精度向上を可能とした搬送装置を提供することを目的としている。

本発明は、かかる課題を解決するために、次のような手段を講じたものである。
すなわち、本発明に係る搬送装置は、同一長さの一対の第１リンクの基端部が第１リンク台に回転可能に連結されていると共に、当該一対の第１リンクの先端部が中間リンク台に回転可能に連結された第１平行四節リンク機構と、同一長さの一対の第２リンクの基端部が前記中間リンク台に回転可能に連結されていると共に、当該一対の第２リンクの先端部が第２リンク台に回転可能に連結された第２平行四節リンク機構と、前記中間リンク台に配置され、前記一対の第１リンクのそれぞれに連結された一対の第１プーリと、前記一対の第２リンクの一方に連結された第２プーリと、前記一対の第１プーリと前記第２プーリとに張設されたベルトとを有し、前記第１リンクと前記第２リンクとが互いに反対方向に回転するように回転駆動力を伝達するベルト伝動機構とを備えることを特徴とする。

これにより、本発明に係る搬送装置では、一対の第２プーリの一方の両側に一対の第１プーリが配置されるようにベルトを張設することにより、一対の第２プーリの一方が解放状態となる場合であっても、ベルトを一対の第１プーリに固定することでベルトの回転が規制される。したがって、解放状態の一対の第２プーリの一方が緩む方向に回転してベルトの張力が低下するのが防止され、ベルトテンションの安定性が向上する。

本発明に係る搬送装置において、前記ベルト伝動機構は、前記ベルトの張力を調節する張力調節手段を有することを特徴とする。

これにより、本発明に係る搬送装置では、中間リンク台に対してベルト伝動機構を組み付ける際、ベルトのテンション調整とアームの軌道調整とを個別に行うことが可能となり、プーリ等の取り付け作業が容易になり生産性が向上すると共に、ベルトテンションの安定性やアーム平行度の精度が向上する。

本発明に係る搬送装置において、前記張力調節手段は、前記ベルトに対する押圧力が変化するように前記中間リンク台に対して移動可能に構成された押圧部材を有することを特徴とする。

これにより、本発明に係る搬送装置では、張力調節手段を簡易に構成できる。

本発明に係る搬送装置において、前記張力調節手段は、前記押圧部材を１つだけ有することを特徴とする。

これにより、本発明に係る搬送装置では、ベルトを１箇所だけ押圧することにより、ベルトの張力を調節可能である。

本発明に係る搬送装置において、前記押圧部材は、前記ベルトの移動にともなって回転可能に構成された従動ローラであることを特徴とする。

これにより、本発明に係る搬送装置では、押圧部材がベルトの移動にともなって回転する従動ローラであることにより、押圧部材が固定された状態でベルトを押圧する場合と比べて、ベルトとの摩擦が低減すると共に、ベルトの張力が押圧部材の両側において均一化される。

本発明に係る搬送装置において、前記ベルト伝動機構は、前記中間リンク台に対して前記一対の第２リンクの他方が回転可能な範囲を制限する回転制限手段を有することを特徴とする。

これにより、本発明に係る搬送装置では、中間リンク台に対して一対の第２リンクの他方が回転可能な範囲を制限することにより、ベルトの破断を防止できる。

以上、本発明によれば、ベルトテンションの安定性やアーム平行度の精度向上を可能とした搬送装置を提供できる。

本発明の第１実施形態に係る搬送装置の斜視図である。図１の搬送装置の平面図である。図１の搬送装置の正面図である。図１の搬送装置において直線搬送した状態を示す平面図である。図１の搬送装置のベルト伝動機構を示す平面図である。本発明の第２実施形態に係る搬送装置のベルト伝動機構を示す平面図である。本発明の第３実施形態に係る搬送装置のベルト伝動機構を示す平面図である。本発明の第４実施形態に係る搬送装置のベルト伝動機構を示す平面図である。

以下、本発明の実施形態を、図面を参照して説明する。

（第１実施形態）
図１−図４に示されるように、搬送装置１は、基本構成が同一の２基の搬送ユニット１１ａ、１１ｂを有した２アーム方式の搬送装置であり、搬送ユニット１１ａ、１１ｂは、固定台Ａの両側において例えば被搬送物のウェハを直線搬送する構成である。よって、以下の説明では、搬送ユニット１１ａについてのみ説明し、搬送ユニット１１ｂについては説明を省略する。

搬送ユニット１１ａは、本発明の第１平行四節リンク機構としての第１リンク機構ＬＤ１と、本発明の第２平行四節リンク機構としての第２リンク機構ＬＤ２とが、ベルト伝動機構Ｄを介して連結された構成である。第１リンク機構ＬＤ１は、同一長さの一対の第１リンクＬ１ａ,Ｌ１ｂの基端部が一対の第１連結軸Ｓ１ａ,Ｓ１ｂを介して固定台Ａに回転可能に連結され、一対の第１リンクＬ１ａ,Ｌ１ｂの先端部が一対の中間連結軸Ｓ３ａ，Ｓ３ｂを介して中間リンク台Ｅに回転可能に連結された構成である。

第１連結軸Ｓ１ａは、固定台Ａに回転可能に支持され、第１連結軸Ｓ１ａと第１リンクＬ１ａとは一体に連結されている。第１連結軸Ｓ１ｂは、図示しない駆動手段により駆動される駆動軸Ｓ０を兼用し、駆動軸Ｓ０（第１連結軸Ｓ１ｂ）は固定台Ａに回転可能に支持され、駆動軸Ｓ０（第１連結軸Ｓ１ｂ）と第１リンクＬ１ｂとは一体に連結されている。第３連結軸Ｓ３ａは、中間リンク台Ｅに回転可能に支持され、第３連結軸Ｓ３ａと第１リンクＬ１ａとは一体に連結されている。第３連結軸Ｓ３ｂは、中間リンク台Ｅに回転可能に支持され、第３連結軸Ｓ３ｂと第１リンクＬ１ｂとは一体に連結されている。第１連結軸Ｓ１ａは、第１連結軸Ｓ１ｂと同軸に配置された図示しない回転軸Ｓ１ｃに接続されている。回転軸Ｓ１ｃが回転すると、第１連結軸Ｓ１ａが回転軸Ｓ１ｃ（第１連結軸Ｓ１ｂ）を中心として回転し、固定台Ａが回転する。したがって、アームを伸縮するときは、回転軸Ｓ１ｃを固定して、第１連結軸Ｓ１ｂのみを回転駆動する。一方、第１連結軸Ｓ１ｂと回転軸Ｓ１ｃとを同期させて同時に回転すると、固定台Ａが回転し、アームの伸縮方向が変化する。このように、搬送装置１では、アームの伸縮動作のみが可能であると共に、固定台Ａの旋回動作とアームの伸縮動作とを並行して行うことが可能である。

第２リンク機構ＬＤ２は、同一長さの一対の第２リンクＬ２ａ,Ｌ２ｂの基端部が一対の中間連結軸Ｓ４ａ，Ｓ４ｂを介して中間リンク台Ｅに回転可能に連結され、一対の第２リンクＬ２ａ,Ｌ２ｂの先端部が一対の第２連結軸Ｓ２ａ,Ｓ２ｂを介して先端リンク板Ｃに回転可能に連結された構成である。先端リンク板Ｃの上面にウェハ載置台Ｃ１が設けられている。

中間連結軸Ｓ４ａは、中間リンク台Ｅに回転可能に支持され、中間連結軸Ｓ４ａと第２リンクＬ２ａとは一体に連結されている。中間連結軸Ｓ４ｂは、中間リンク台Ｅに回転可能に支持され、中間連結軸Ｓ４ｂと第２リンクＬ２ｂとは一体に連結されている。第２連結軸Ｓ２ａは、先端リンク板Ｃに回転可能に支持され、第２連結軸Ｓ２ａと第２リンクＬ２ａとは一体に連結されている。第２連結軸Ｓ２ｂは、先端リンク板Ｃに回転可能に支持され、第２連結軸Ｓ２ｂと第２リンクＬ２ｂとは一体に連結されている。

次に、駆動軸Ｓ０である第１連結軸Ｓ１ｂの回転駆動により第１リンク機構ＬＤ１が平行リンク運動を行う際に、第２リンク機構ＬＤ２を作動させるベルト伝動機構Ｄについて説明する。

ベルト伝動機構Ｄは、図５に示すように、中間リンク台Ｅの内部に組み込まれた構成であって、プーリ体Ｐ１ａ、Ｐ１ｂ、Ｐ２ａと、張力調整手段ＤＴとしての押圧部材Ｐ３と、ベルトＴとを有している。プーリ体Ｐ１ａは、第１リンクＬ１ａの先端部に連結された第３連結軸Ｓ３ａに一体に連結され、プーリ体Ｐ１ｂは、第１リンクＬ１ｂの先端部に連結された第３連結軸Ｓ３ｂに一体に連結され、プーリ体Ｐ２ａは、第２リンクＬ２ａの先端部に連結された第４連結軸Ｓ４ａに一体に連結されている。

中間リンク台Ｅの一対の中間連結軸Ｓ３ａ,Ｓ３ｂの間隔は、固定台Ａの一対の第１連結軸Ｓ１ａ,Ｓ１ｂの間隔と同一であり、中間リンク台Ｅの一対の中間連結軸Ｓ４ａ,Ｓ４ｂの間隔は、先端リンク板Ｃの一対の第２連結軸Ｓ２ａ,Ｓ２ｂの間隔と同一である。

ベルト伝動機構Ｄにおいて、プーリ体Ｐ１ａ、Ｐ２ａ、Ｐ１ｂの外周面には、ベルトＴが張設される。ベルトＴは、例えばスチールベルトであり、図５において、プーリ体Ｐ１ａの外周面の下側に沿った後、プーリ体Ｐ２ａの外周面の上側に沿うように張設される。その後、ベルトＴは、押圧部材Ｐ３の外周面に沿った後、プーリ体Ｐ１ｂの外周面の下側に沿うように張設される。ベルトＴの両端部は、プーリ体Ｐ１ａ及びプーリ体Ｐ１ｂの外周部に図示しない複数本のボルトを介してそれぞれ固定される。

押圧部材Ｐ３は、中間リンク台Ｅに回転可能に支持された軸Ｓ５ａに一体に連結され、ベルトＴの移動にともなって回転可能な従動ローラで構成される。押圧部材Ｐ３は、図５において、ベルトＴを左下斜め方向に向かって押圧し、プーリ体Ｐ２ａとプーリ体Ｐ１ｂとの間においてベルトＴの張力（テンション）を調節する。したがって、押圧部材Ｐ３は、軸Ｓ５ａと共に中間リンク台Ｅに対して移動可能であり、且つ、ベルトＴを押圧した状態で軸Ｓ５ａと共に中間リンク台Ｅに固定可能に構成される。このように、押圧部材Ｐ３は、ベルトＴに対する押圧力が変化するように中間リンク台Ｅに対して移動することにより、プーリ体Ｐ１ａ、Ｐ１ｂ、Ｐ２ａに張設されたベルトＴの張力を調節する張力調節手段ＤＴとして構成される。本実施形態では、張力調節手段ＤＴは、押圧部材Ｐ３を１つだけ有している。

したがって、ベルト伝動機構Ｄにおいて、駆動軸Ｓ０（第１連結軸Ｓ１ｂ）と第１リンクＬ１ｂを介して連結されたプーリ体Ｐ１ｂが回転すると、張力調節手段ＤＴ（押圧部材Ｐ３）によって張力が調節されたベルトＴを介して、プーリ体Ｐ１ｂの回転力が、プーリ体Ｐ２ａ、Ｐ１ａに伝達される。

例えばプーリ体Ｐ１ｂが平面視で反時計方向に回転すると、プーリ体Ｐ２ａが平面視で時計方向に回転し、プーリ体Ｐ１ａが平面視で反時計方向に回転する。即ち、第１リンク機構ＬＤ１の第１リンクＬ１ａが連結されたプーリ体Ｐ１ａと、第２リンク機構ＬＤ２の第２リンクＬ２ａが連結されたプーリ体Ｐ２ａとは、互いに反対方向に回転する。

したがって、プーリ体Ｐ１ｂが回転すると、プーリ体Ｐ１ａ、Ｐ１ｂが所定方向に回転し、第１リンクＬ１ａ,Ｌ１ｂが中間リンク台Ｅに対して回転する。それにともなって、プーリ体Ｐ２ａが所定方向と反対方向に回転し、第２リンクＬ２ａ,Ｌ２ｂが中間リンク台Ｅに対して回転する。即ち、ベルトＴは、第１リンク機構ＬＤ１の第１リンクＬ１ａ,Ｌ１ｂを中間リンク台Ｅに対して所定方向に回転させると共に、第２リンク機構ＬＤ２の一対の第２リンクＬ２ａ,Ｌ２ｂを中間リンク台Ｅに対して所定方向と反対方向に回転させる。

本実施形態において、駆動軸Ｓ０を回転駆動すると（回転軸Ｓ１ｃを固定して、第１連結軸Ｓ１ｂのみを駆動する場合）、固定台Ａにおいて駆動軸Ｓ０である第１連結軸Ｓ１ｂが回転駆動され、図４に示すように、第１リンク機構ＬＤ１の第１リンクＬ１ｂが、固定台Ａに対して平面視で反時計方向に回転すると、プーリ体Ｐ１ｂの反時計方向の回転力がベルトＴによりプーリ体Ｐ２ａ、Ｐ１ａに伝達されて、プーリ体Ｐ２ａが時計方向に回転すると共にプーリ体Ｐ１ａが反時計方向に回転する。したがって、第１リンク機構ＬＤ１の第１リンクＬ１ａ、Ｌ１ｂが、中間リンク台Ｅに対して平面視で反時計方向に回転し、第２リンク機構ＬＤ２の第２リンクＬ２ａ，Ｌ２ｂが中間リンク台Ｅに対して平面視で時計方向に回転する。逆に、第１リンク機構ＬＤ１の第１リンクＬ１ａが、固定台Ａに対して平面視で時計方向に回転すると、プーリ体Ｐ１ｂの時計方向の回転力がベルトＴによりプーリ体Ｐ２ａ、Ｐ１ａに伝達されて、プーリ体Ｐ２ａが反時計方向に回転すると共にプーリ体Ｐ１ａが時計方向に回転する。したがって、第１リンク機構ＬＤ１の第１リンクＬ１ａ、Ｌ１ｂが、中間リンク台Ｅに対して平面視で時計方向に回転し、第２リンク機構ＬＤ２の第２リンクＬ２ａ，Ｌ２ｂが中間リンク台Ｅに対して平面視で反時計方向に回転する。

即ち、本実施形態の搬送装置１は、同一長さの一対の第１リンクＬ１ａ, Ｌ１ｂの基端部が固定台Ａに回転可能に連結されていると共に、一対の第１リンクＬ１ａ, Ｌ１ｂの先端部が中間リンク台Ｅに回転可能に連結された第１平行四節リンク機構ＬＤ１と、同一長さの一対の第２リンクＬ２ａ,Ｌ２ｂの基端部が中間リンク台Ｅに回転可能に連結されていると共に、一対の第２リンクＬ２ａ,Ｌ２ｂの先端部が先端リンク板Ｃに回転可能に連結された第２平行四節リンク機構ＬＤ２と、中間リンク台Ｅに配置され、一対の第１リンクＬ１ａ,Ｌ１ｂのそれぞれに連結されたプーリ体Ｐ１ａ、Ｐ１ｂと、第２リンクＬ２ａに連結されたプーリ体Ｐ２ａと、プーリ体Ｐ１ａ、Ｐ１ｂとプーリ体Ｐ２ａとに張設されたベルトＴとを有し、第１リンクＬ１ａ,Ｌ１ｂと第２リンクＬ２ａ,Ｌ２ｂとが互いに反対方向に回転するように回転駆動力を伝達するベルト伝動機構Ｄとを備える。

このように構成すると、本実施形態の搬送装置１では、プーリ体Ｐ２ａの両側にプーリ体Ｐ１ａ、Ｐ１ｂが配置されるようにベルトＴを張設することにより、プーリ体Ｐ２ａが解放状態となる場合であっても、ベルトＴをプーリ体Ｐ１ａ、Ｐ１ｂに固定することでベルトＴの回転が規制される。したがって、解放状態のプーリ体Ｐ２ａが緩む方向に回転してベルトＴの張力が低下するのが防止され、ベルトテンションの安定性が向上する。

本実施形態の搬送装置１において、ベルト伝動機構Ｄは、ベルトＴの張力を調節する張力調節手段ＤＴを有する。

このように構成すると、本実施形態の搬送装置１では、中間リンク台Ｅに対してベルト伝動機構Ｄを組み付ける際、ベルトＴのテンション調整とアームの軌道調整とを個別に行うことが可能となり、プーリ等の取り付け作業が容易になり生産性が向上すると共に、ベルトテンションの安定性やアーム平行度の精度が向上する。本実施形態では、例えば、中間リンク台Ｅに対してベルト伝動機構Ｄを組み付けて、ベルトＴのテンションを調整した後に、第２リンク機構ＬＤ２の第２リンクＬ２ａ,Ｌ２ｂをプーリ体Ｐ２ａに対して平行度を合わせながら、中間リンク台Ｅに組み付けることが可能となる。

本実施形態の搬送装置１において、張力調節手段ＤＴは、ベルトＴに対する押圧力が変化するように中間リンク台Ｅに対して移動可能に構成された押圧部材Ｐ３である。

このように構成すると、本実施形態の搬送装置１では、ベルトＴの張力を調節する張力調節手段ＤＴを簡易に構成できる。

本実施形態の搬送装置１において、張力調節手段ＤＴは、押圧部材Ｐ３を１つだけ有する。

これにより、本実施形態の搬送装置１では、ベルトＴを１箇所だけ押圧することにより、ベルトＴの張力を調節可能である。

本実施形態の搬送装置１において、押圧部材Ｐ３は、ベルトＴの移動にともなって回転可能に構成された従動ローラである。

これにより、本実施形態の搬送装置１では、押圧部材Ｐ３がベルトＴの移動にともなって回転する従動ローラであることにより、押圧部材Ｐ３が固定された状態でベルトＴを押圧する場合と比べて、ベルトＴとの摩擦が低減すると共に、ベルトＴの張力が押圧部材Ｐ３の両側において均一化される。

（第２実施形態）
本発明の第２実施形態に係る搬送装置について説明する。本実施形態の搬送装置が第１実施形態の搬送装置と主に異なる点は、ベルト伝動機構Ｄの構成である。したがって、本実施形態の搬送装置の構成が第１実施形態の搬送装置と同一の構成については説明を省略する。

ベルト伝動機構Ｄは、図６に示すように、中間リンク台Ｅの内部に組み込まれた構成であって、プーリ体Ｐ１ａ、Ｐ１ｂ、Ｐ２ａと、押圧部材Ｐ３と、ベルトＴとを有している。

中間連結軸Ｓ４ｂは、回転板Ｐ２ｂを支持し、回転板Ｐ２ｂの外周面には、径方向外側に向かって突出した突出部Ｎ１が形成される。また、中間リンク台Ｅの内部において、回転板Ｐ２ｂの両側には、回転板Ｐ２ｂが回転した際に、突出部Ｎ１が当接する一対の規制部Ｎ２が形成される。したがって、中間リンク台Ｅに対して、回転板Ｐ２ｂ及び中間連結軸Ｓ４ｂが回転可能な範囲が制限される。本実施形態では、突出部Ｎ１及び一対の規制部Ｎ２が、本発明の回転制限手段を構成する。即ち、本実施形態のベルト伝動機構Ｄは、回転制限手段を有する点で、第１実施形態のベルト伝動機構Ｄと異なる。

図６において、回転板Ｐ２ｂが中間リンク台Ｅに対して時計方向に回転する際、突出部Ｎ１が図６の右側の規制部Ｎ２に当接するまで回転可能であると共に、回転板Ｐ２ｂが中間リンク台Ｅに対して反時計方向に回転する際、突出部Ｎ１が図６の左側の規制部Ｎ２に当接するまで回転可能である。よって、中間リンク台Ｅに対して、中間連結軸Ｓ４ｂに連結された第２リンクＬ２ｂが回転可能な範囲が制限される。

即ち、本実施形態の搬送装置１において、ベルト伝動機構Ｄは、中間リンク台Ｅに対して第２リンクＬ２ｂが回転可能な範囲を制限する回転制限手段を有する。

これにより、本実施形態の搬送装置１では、中間リンク台Ｅに対して第２リンクＬ２ｂが回転可能な範囲を制限することにより、ベルトＴの破断を防止できる。

（第３実施形態）
本発明の第３実施形態に係る搬送装置について説明する。本実施形態の搬送装置が第１実施形態の搬送装置と主に異なる点は、ベルト伝動機構Ｄの構成である。したがって、本実施形態の搬送装置の構成が第１実施形態の搬送装置と同一の構成については説明を省略する。

ベルト伝動機構Ｄは、図７に示すように、中間リンク台Ｅの内部に組み込まれた構成であって、プーリ体Ｐ１ａ、Ｐ１ｂ、Ｐ２ａと、ベルトＴとを有している。即ち、本実施形態のベルト伝動機構Ｄは、押圧部材Ｐ３を有してない点で第１実施形態のベルト伝動機構Ｄと異なる。

ベルト伝動機構Ｄにおいて、プーリ体Ｐ１ａ、Ｐ２ａ、Ｐ１ｂの外周面には、ベルトＴが張設される。ベルトＴは、例えばスチールベルトであり、プーリ体Ｐ１ａの外周面の下側に沿った後、プーリ体Ｐ２ａの外周面の上側に沿うように張設され、その後、プーリ体Ｐ１ｂの外周面の下側に沿うように張設される。ベルトＴの両端部は、プーリ体Ｐ１ａ及びプーリ体Ｐ１ｂの外周部に図示しない複数本のボルトを介してそれぞれ固定される。

（第４実施形態）
本発明の第４実施形態に係る搬送装置について説明する。本実施形態の搬送装置が第１実施形態の搬送装置と主に異なる点は、ベルト伝動機構Ｄの構成である。したがって、本実施形態の搬送装置の構成が第１実施形態の搬送装置と同一の構成については説明を省略する。

ベルト伝動機構Ｄは、図８に示すように、中間リンク台Ｅの内部に組み込まれた構成であって、プーリ体Ｐ１ａ、Ｐ１ｂ、Ｐ２ａと、押圧部材Ｐ３と、ベルトＴとを有している。

押圧部材Ｐ３は、中間リンク台Ｅに回転可能に支持された軸Ｓ５ａに支持され、ベルトＴの移動にともなって回転可能な従動ローラで構成される。押圧部材Ｐ３は、ベルトＴを右上斜め方向に向かって押圧し、プーリ体Ｐ２ａとプーリ体Ｐ１ｂとの間においてベルトＴの張力を調節する。即ち、本実施形態のベルト伝動機構Ｄは、押圧部材Ｐ３がベルトＴを押圧する方向が第１実施形態のベルト伝動機構Ｄと異なる。したがって、押圧部材Ｐ３は、ベルトＴに対する押圧力が変化するように中間リンク台Ｅに対して移動することにより、プーリ体Ｐ１ａ、Ｐ２ａ、Ｐ１ｂに張設されたベルトＴの張力を調節する張力調節手段ＤＴとして構成される。

その他の構成も、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。

上記実施形態では、搬送ユニット１１ａ、１１ｂを有した２アーム方式の搬送装置について説明したが、搬送ユニット１１ａ、１１ｂのいずれかを有した１アーム方式の搬送装置であってよい。

上記実施形態では、ベルト伝動機構Ｄにおいて、ベルトＴが、第１リンクＬ１ａに連結されたプーリ体Ｐ１ａと、第２リンクＬ２ａに連結されたプーリ体Ｐ２ａと、第１リンクＬ１ｂに連結されたプーリ体Ｐ１ｂとの外周面に張設され、ベルトＴの両端部が、プーリ体Ｐ１ａ及びプーリ体Ｐ１ｂの外周部に固定されているが、ベルト伝動機構Ｄが、第２リンクＬ２ｂに連結されたプーリ体Ｐ２ｂを有し、ベルトＴが、第１リンクＬ１ａに連結されたプーリ体Ｐ１ａと、第２リンクＬ２ｂに連結されたプーリ体Ｐ２ｂと、第１リンクＬ１ｂに連結されたプーリ体Ｐ１ｂとの外周面に張設され、ベルトＴの両端部が、プーリ体Ｐ１ａ及びプーリ体Ｐ１ｂの外周部に固定されたものであってよい。したがって、プーリ体Ｐ２ｂの両側にプーリ体Ｐ１ａ、Ｐ１ｂが配置されるようにベルトＴを張設することにより、プーリ体Ｐ２ｂが解放状態となる場合であっても、ベルトＴをプーリ体Ｐ１ａ、Ｐ１ｂに固定することでベルトＴの回転が規制され、解放状態のプーリ体Ｐ２ｂが緩む方向に回転してベルトＴの張力が低下するのが防止される。

上記実施形態では、第１リンク台としての固定台Ａと中間リンク台Ｅとを連結する第１リンク機構ＬＤ１を本発明の第１平行四節リンク機構とし、中間リンク台Ｅと第２リンク台としての先端リンク板Ｃとを連結する第２リンク機構ＬＤ２を本発明の第２平行四節リンク機構とした場合を説明したが、第１リンク台としての先端リンク板Ｃと中間リンク台Ｅとを連結する第２リンク機構ＬＤ２を本発明の第１平行四節リンク機構とし、中間リンク台Ｅと第２リンク台としての固定台Ａとを連結する第１リンク機構ＬＤ１を本発明の第２平行四節リンク機構としてよい。

この場合、ベルト伝動機構Ｄが、第２リンクＬ２ｂに連結されたプーリ体Ｐ２ｂを有し、ベルトＴが、第２リンクＬ２ａに連結されたプーリ体Ｐ２ａと、第１リンクＬ１ａに連結されたプーリ体Ｐ１ａと、第２リンクＬ２ｂに連結されたプーリ体Ｐ２ｂとの外周面に張設され、ベルトＴの両端部が、プーリ体Ｐ２ａ及びプーリ体Ｐ２ｂの外周部に固定されたものであってよい。また、ベルト伝動機構Ｄが、第２リンクＬ２ｂに連結されたプーリ体Ｐ２ｂを有し、ベルトＴが、第２リンクＬ２ａに連結されたプーリ体Ｐ２ａと、第１リンクＬ１ｂに連結されたプーリ体Ｐ１ｂと、第２リンクＬ２ｂに連結されたプーリ体Ｐ２ｂとの外周面に張設され、ベルトＴの両端部が、プーリ体Ｐ２ａ及びプーリ体Ｐ２ｂの外周部に固定されたものであってよい。

上記実施形態では、ベルト伝動機構Ｄにおいて、第３連結軸Ｓ３ａと一体に連結されたプーリ体Ｐ１ａと、第４連結軸Ｓ４ａと一体に連結されたプーリ体Ｐ２ａと、第３連結軸Ｓ３ｂと一体に連結されたプーリ体Ｐ１ｂと、プーリ体Ｐ１ａ、Ｐ２ａ、Ｐ１ｂに張設されたベルトＴとにより、第３連結軸Ｓ３ａの回転駆動力が第４連結軸Ｓ４ａ及び第３連結軸Ｓ３ｂに伝達されるが、第３連結軸Ｓ３ａと一体に連結されたギアと、第４連結軸Ｓ４ａと一体に連結されたギアと、第３連結軸Ｓ３ｂと一体に連結されたギアとが噛合することにより、第３連結軸Ｓ３ａの回転駆動力が第４連結軸Ｓ４ａ及び第３連結軸Ｓ３ｂに伝達されてよい。

Ａ固定台（第１リンク台）
Ｃ先端リンク板（第２リンク台）
Ｅ中間リンク台
Ｄベルト伝動機構
ＤＴ張力調節手段
ＬＤ１第１リンク機構（第１平行四節リンク機構）
Ｌ１ａ,Ｌ１ｂ第１リンク
ＬＤ２第２リンク機構（第２平行四節リンク機構）
Ｌ２ａ,Ｌ２ｂ第２リンク
Ｐ１ａ、Ｐ１ｂプーリ体（第１プーリ）
Ｐ２ａプーリ体（第２プーリ）
Ｐ３押圧部材
Ｎ１突出部（回転制限手段）
Ｎ２規制部（回転制限手段）
Ｔベルト

Claims

同一長さの一対の第１リンクの基端部が第１リンク台に回転可能に連結されていると共に、当該一対の第１リンクの先端部が中間リンク台に回転可能に連結された第１平行四節リンク機構と、
同一長さの一対の第２リンクの基端部が前記中間リンク台に回転可能に連結されていると共に、当該一対の第２リンクの先端部が第２リンク台に回転可能に連結された第２平行四節リンク機構と、
前記中間リンク台に配置され、前記一対の第１リンクのそれぞれに連結された一対の第１プーリと、前記一対の第２リンクの一方に連結された第２プーリと、前記一対の第１プーリと前記第２プーリとに張設されたベルトとを有し、前記第１リンクと前記第２リンクとが互いに反対方向に回転するように回転駆動力を伝達するベルト伝動機構とを備えることを特徴とする搬送装置。
前記ベルト伝動機構は、前記ベルトの張力を調節する張力調節手段を有することを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
前記張力調節手段は、前記ベルトに対する押圧力が変化するように前記中間リンク台に対して移動可能に構成された押圧部材を有することを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
前記張力調節手段は、前記押圧部材を１つだけ有することを特徴とする請求項３に記載の搬送装置。
前記押圧部材は、前記ベルトの移動にともなって回転可能に構成された従動ローラであることを特徴とする請求項３または４に記載の搬送装置。
前記ベルト伝動機構は、前記中間リンク台に対して前記一対の第２リンクの他方が回転可能な範囲を制限する回転制限手段を有することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の搬送装置。