JP2020004935A5 - - Google Patents
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図１２は、図６のＡ−Ａ’線で切断したフォトダイオードアレイ２００の断面の第５の例を示す断面図である。図１１との相違点を説明する。図１２の例では、半導体層２９３と、ソース電極２９４及びドレイン電極２９５と、の接続がコンタクト型である。
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